KR100955456B1 - 이오나이저 - Google Patents

Abstract

본 발명은 전극침에의 먼지의 부착을 억제하는 기능을 구비하고, 전극침이 더러워져도 그것을 용이하게 제거할 수 있는 이오나이저를 제공하는 것을 과제로 한다.

이를 위해, 하우징(2)에 부착한 전극 카트리지(13)에 양과 음의 전극침(4A, 4B)과, 에어 취출구(5)와, 이들 전극침(4A, 4B)과 에어 취출구(5)를 덮는 보호 커버(23)를 부착하고, 이 보호 커버(23)에 상기 에어 취출구(5)의 전방에 동심상으로 위치해서 상기 에어 취출구(5)로부터의 에어를 외부로 분사하는 에어 분사 구멍(25)과, 상기 양과 음의 전극침(4A, 4B)과 동심상으로 위치해서 상기 전극침(4A, 4B)의 선단부(4b) 외주를 에어 유출용의 갭(27)을 통해 둘러싸는 2개의 에어 유출 구멍(26)을 형성한다. 전극 카트리지를 하우징으로부터 분리 가능하게 함과 아울러, 전극침을 부착한 백플레이트를 분리 가능하게 함으로써, 전극침으로부터의 오염의 제거가 용이해진다.

이오나이저

Description

이오나이저{IONIZER}

본 발명은 정전기로 대전된 각종 워크의 제전에 사용하는 이오나이저에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 먼지의 부착 등에 의한 전극침의 오염을 방지하기 위한 기능을 구비한 이오나이저에 관한 것이다.

반도체 웨이퍼나 액정 유리 등의 각종 워크의 처리 공정에 있어서는, 정전기로 대전된 상기 워크의 제전에 이오나이저가 사용된다. 이 이오나이저는 예를 들면, 특허문헌1에 나타내는 바와 같이, 하우징의 하면의 전극 부착구 내에 양의 전극침과 음의 전극침을 나란히 배치하고, 이들 전극침에 양의 펄스상 고전압과 음의 펄스상 고전압을 교대로 인가함으로써, 양 전극침에 코로나 방전을 발생시켜서 양 및 음의 이온을 교대로 발생시키도록 구성되어 있다.

또한, 상기 양과 음의 전극침 사이의 위치에는 에어 취출구가 개구되어 있고, 이 에어 취출구로부터 에어를 분출시킴으로써, 전극침에서 발생한 이온을 도입함으로써 이온화된 에어를 워크를 향해서 블로잉(blowing)하도록 되어 있다.

이러한 종류의 이오나이저에 있어서는 상기 양과 음의 전극침이 공기중의 진애의 부착에 의해 더러워지기 쉽고, 그 오염이 진행되면, 서서히 코로나 방전이 발 생되기 어려워져 이온의 생성량이 감소해 가고, 결국에는 이온이 생성되지 않게 되어 버릴 우려가 있다.

이 때문에, 더러워진 전극침의 청소나 교환 등의 보수 작업을 빈번히 행하지 않으면 안되고, 그 보수 작업 사이에는 이오나이저나 관련 설비의 운전을 정지하지 않으면 안되기 때문에 수고와 시간이 걸려 작업 효율의 저하를 초래하기 쉽다는 문제가 있었다.

[특허문헌1] 일본 특허공개 2005-108829호 공보

본 발명은 상술한 종래의 문제점을 해소하기 위해서 전극침에의 먼지의 부착을 억제하는 기능을 구비하고, 전극침이 더러워져도 그 오염을 용이하게 제거할 수 있는 이오나이저를 제공하는 것을 목적으로 하는 것이다.

상기 목적을 달성하기 위해서 본 발명의 이오나이저는 전극 부착부를 1개 이상 갖는 하우징과, 상기 전극 부착부에 서로 병렬로 배치된 이온 발생용의 양과 음의 전극침과, 상기 전극 부착부에 양과 음의 양 전극침 사이의 위치에서 개구하는 에어 취출구와, 이들 양 전극침과 에어 취출구를 덮는 보호 커버와, 그 보호 커버의 내측에 상기 양 전극침과 에어 취출구에 걸쳐 위치하는 공간부를 갖고, 상기 보호 커버는 상기 에어 취출구의 전방에 위치해서 상기 에어 취출구로부터 분출된 에어를 워크를 향해서 분사하는 에어 분사 구멍과, 상기 양과 음의 전극침과 대응하는 위치에 각각 형성되고, 상기 에어 취출구로부터 분출되어 상기 공간부에 확산된 에어를 상기 전극침을 따라 보호 커버의 외부로 유출시키는 2개의 에어 유출 구멍을 갖는 것을 특징으로 하는 것이다.

본 발명에 있어서 바람직하게는 상기 양과 음의 전극침이 전극 카트리지에 부착되어 있고, 이 전극 카트리지를 통해 상기 양과 음의 전극침이 상기 하우징의 전극 부착부에 부착되어 있고, 또한, 상기 전극 카트리지는 상기 양과 음의 전극침의 선단부를 둘러싸는 오목부를 갖고, 이 오목부 내에 상기 에어 취출구가 개구함과 아울러 상기 보호 커버가 이 에어 취출구 및 상기 양 전극침을 덮도록 배치된다.

본 발명에 있어서는, 상기 에어 분사 구멍이 상기 에어 취출구와 동심상으로 위치 함과 아울러, 상기 에어 유출 구멍이 상기 전극침과 동심상으로 위치하고 있는 것이 바람직하고, 또한, 상기 전극침의 뾰족한 선단부는 상기 에어 유출 구멍으로부터 보호 커버의 앞면에 돌출되어 있는 것이 바람직하다. 또한, 상기 에어 분사 구멍의 구멍 직경은 상기 에어 유출 구멍의 구멍 직경보다 작은 것이 바람직하다.

본 발명의 이오나이저의 바람직한 실시형태에 있어서는, 전극 카트리지가 상기 하우징에 대해서 착탈 가능한 시스 카트리지에 양과 음의 전극침을 구비한 백플레이트를 착탈 가능하게 부착함으로써 구성되고, 그 시스 카트리지에 상기 오목부가 형성되어 있고, 상기 백플레이트에 부착한 전극침의 선단부가 상기 시스 카트리지 내의 전극침용 유지 구멍을 통해 상기 오목부로 돌출되도록 구성된다. 그 경우에 상기 에어 취출구가 노즐 부재에 형성되어 있고, 이 노즐 부재는 평면 형상이 타원 형상인 상기 전극 카트리지의 중심에 삽입되어 있는 것이 바람직하다. 또한, 상기 백플레이트는 시스 카트리지의 짧은 직경측을 끼움으로써, 상기 시스 카트리지에 대해서 백플레이트를 고정하기 위한 한쌍의 끼움편을 갖고, 그 끼움편의 적어도 한쪽이 백플레이트의 연결부에 형성한 얇은 탄성 변형부의 탄성에 의해 시스 카트리지를 탄성적으로 끼우는 것으로 해서 구성되어 있는 것이 바람직하다. 상기 백플레이트에 대해서 전극침이 회전 불능으로 고정되는 한편, 이탈 가능하게 장착되어 있는 것이 바람직하다.

본 발명에 있어서, 상기 노즐 부재가 전극 카트리지의 중심에 삽입되어 있는 경우에 하우징에 대한 전극 카트리지의 부착은 다음과 같은 구성이 바람직하다.

즉, 상기 하우징에 설치하는 상기 전극 카트리지를 부착하기 위한 전극 부착 구멍은 상기 전극 카트리지의 평면 형상에 대응한 타원형을 이루는 동시에, 그 전극 부착 구멍에 끼워 넣은 전극 카트리지가 상기 전극 부착 구멍 내에 있어서 상기 하우징의 길이 방향에 대하여 경사질 수 있도록 하는 간격부가 있는 평면 형상을 갖는 것으로 하여 형성되고, 상기 전극 카트리지와 전극 부착 구멍 사이에 상기 전극 카트리지를 전극 부착 구멍에 끼워 넣은 후에 회전시켜 상기 하우징의 길이 방향을 따르는 정상의 부착 자세로 했을 때에는, 상기 전극 카트리지를 전극 부착 구멍 내에 걸림 고정시키고, 상기 전극 카트리지를 전극 부착 구멍에 대해서 상기 간격부의 범위 내에서 경사지게 한 상태에서는 상기 전극 카트리지의 전극 부착 구멍 내에의 끼움/이탈을 허용하는 걸림 기구를 설치하는 것이 바람직하다.

상기 걸림 기구는 전극 카트리지의 길이 방향의 양 단부에 상부의 걸림 돌기와 그 하부의 상기 걸림 돌기보다 돌출 높이가 작은 마찰 돌출조를 형성하고, 상기 전극 부착 구멍의 길이 방향의 양 단부에, 전극 부착 구멍에 대해서 전극 카트리지를 상기 간격부의 범위 내에서 경사지게 한 상태로 끼워 넣을 때에는 상기 걸림 돌기를 통과시키는 측홈을 형성함과 아울러, 그 측홈에 인접시켜서 전극 카트리지를 전극 부착 구멍에 끼워 넣은 후에 그것을 하우징의 길이 방향을 따르는 정상의 부착 자세로 되돌렸을 때에, 상기 마찰 돌출조에 탄성적으로 접촉하는 탄성 접촉편을 각각 형성하고, 상기 양 탄성 접촉편은 경사 자세로 있는 전극 카트리지를 회전시켜서 정상의 부착 자세로 되돌릴 때에 상기 마찰 돌출조에 의해 가압됨으로써, 상기 마찰 돌출조에 탄성적으로 접촉하는 것으로 하여 구성되고, 상기 양 탄성 접촉편은 정상의 부착 자세로 되돌린 전극 카트리지의 양단의 걸림 돌기의 하방에 위치해서 상기 걸림 돌기에 걸림으로써 전극 카트리지의 탈출을 억제하고, 상기 양 탄성 접촉편의 상기 걸림 돌기에서의 걸림에 의해 전극 카트리지가 착탈 가능하게 고정되는 구성으로 할 수 있다.

하우징의 고전압 발생 장치와 전극 카트리지의 전기적인 접속을 위해서는 전극 카트리지를 부착하는 하우징의 전극 부착부에 하우징 내의 고전압 발생 장치에 있어서의 양과 음의 고전압 발생 회로에 접속된 복수의 접속 단자를 설치하고, 또한, 이들 접속 단자는 상기 전극 부착부에 장착되는 전극 카트리지의 전극침에 대응하는 위치에 설치되어 있는 것이 요구된다. 또한, 상기 시스 카트리지는 평면 형상이 대략 타원 형상인 카트리지 본체와, 동형상의 보호 커버를 그들의 장축 방향의 슬라이드에 의해 그들이 갖는 차양부와 걸림홈을 맞물리게 해서 착탈 가능하게 연결된 것으로 할 수 있다.

(발명의 효과)

본 발명의 이오나이저에 있어서, 양과 음의 전극침에 양과 음의 고전압이 인가되면, 코로나 방전에 의해 이들 양 전극침으로부터 양 및 음의 이온이 발생한다. 이 때, 에어 취출구로부터 공간부 내에 에어가 분출됨으로써, 이 에어가 보호 커버에 개구하는 에어 분사 구멍으로부터 워크를 향해서 분사되고, 상기 전극침으로부터 발생한 이온을 도입해서 이온화 에어로 되고, 이 이온에 의해 워크의 제전이 행해지게 된다.

한편, 상기 에어 취출구로부터 분출된 에어의 일부는 상기 공간부 내에 확산되고, 전극침의 주위를 둘러싸는 에어 유출 구멍으로부터 외부로 유출된다. 이 에어의 흐름은 상기 전극침의 표면이나 주위의 공기중에 있는 진애 등의 먼지를 씻어 내려 상기 먼지가 전극침의 표면에 오염으로서 부착되는 것을 방지한다. 이 때문 에, 먼지의 부착에 의한 전극침의 오염이 경감되어 상기 전극침의 청소나 교환 등의 보수 작업의 빈도가 감소하게 된다.

또한, 전극 카트리지를 하우징에 대해서 착탈 가능하게 함과 동시에 전극침을 구비한 백플레이트를 이탈 가능하게 하면, 전극침의 교환이나 오염의 제거를 외부로부터 간이하게 행하는 것이 가능해진다.

도 1~도 4는 본 발명에 따른 이오나이저의 일실시형태를 나타내는 것이다. 이 이오나이저(1)는 반도체 웨이퍼나 액정 유리 등의 각종 워크의 처리 공정에 있어서, 정전기로 대전된 상기 워크의 제전에 사용하는 것으로, 도 1에 나타내는 바와 같이, 이 이오나이저(1)로부터 워크(W)를 향해서 양과 음의 이온을 교대로 투사하면, 상기 워크(W)가 양으로 대전되어 있는 경우에는 상기 워크(W)에 음이온이 흡착되고, 음으로 대전되어 있는 경우에는 양이온이 흡착됨으로써, 상기 워크(W)의 제전이 행해지는 것이다. 또한, 도 1에 있어서는 양이온이 투사되어 있는 순간이 나타내어져 있지만, 이 후 계속해서 음이온이 마찬가지로 해서 투사된다.

상기 이오나이저(1)는 가늘고 긴 봉상을 한 바 타입의 것으로 옆으로 가늘고 긴 중공의 하우징(2)을 갖고 있다. 이 하우징(2)의 세로 방향의 단면 형상은 상하 방향으로 긴 직사각형 또는 타원형 혹은 이들과 유사한 형상을 하고 있다.

이 하우징(2)의 하면에는 복수의 전극 부착부(3)가 상기 하우징(2)의 길이 방향으로 등간격으로 설치되고, 각 전극 부착부(3)에 도 2~도 4로부터 분명하듯이, 코로나 방전에 의해 양이온을 방출하는 양의 전극침(4A)과 음이온을 방출하는 음의 전극침(4B)이 각각 한쌍씩 부착됨과 아울러, 방출된 이온을 워크(W)를 향해서 블로잉하기 위한 에어 취출구(5)가 형성되어 있다.

또한, 상기 하우징(2)의 내부에는 상기 전극침(4A, 4B)에 펄스상의 직류 고전압을 인가하기 위한 고전압 발생 장치(7)와, 상기 에어 취출구(5)에 압축 공기를 공급하기 위한 에어 유로(8)가 설치되어 있다.

상기 하우징(2)의 길이 방향의 양 단부는 각각 엔드 플레이트(9)로 막혀 있고, 한쪽 또는 양쪽의 엔드 플레이트(9)에 이음매(10)가 설치되고, 이 이음매(10)에 압축 공기원(11)으로부터의 배관 튜브(11a)를 접속함으로써, 상기 에어 유로(8)가 이 압축 공기원(11)에 접속되도록 되어 있다.

상기 하우징(2)의 측면에는 조작 표시부(12)가 형성되고, 이 조작 표시부(12)에 조작 버튼이나 표시 램프 등이 부착되어 있다.

상기 고전압 발생 장치(7)는 특별히 도시하고 있지 않지만, 양의 펄스상 고전압을 양의 전극침(4A)에 인가하는 양의 고전압 발생 회로와, 음의 펄스상 고전압을 음의 전극침(4B)에 인가하는 음의 고전압 발생 회로를 갖고, 주기적으로 동작하는 이들 고전압 발생 회로로부터 양 전극침(4A, 4B)에 양과 음의 고전압을 교대로 인가함으로써, 이들 전극침(4A, 4B)에 코로나 방전을 발생시켜 양과 음의 이온을 발생시키는 것이다. 상기 양과 음의 고전압 발생 회로는 양과 음의 전극침에 양 및 음의 고전압을 동시에 인가하는 것이어도 좋다.

상기 전극침(4A, 4B)은 원기둥상을 한 부착용의 기단부(4b)와, 코로나 방전을 위한 원추상의 선단부(4a)를 갖는 것으로 합성 수지 등의 절연성의 비자성재로 형성된 전극 카트리지(13)를 통해 상기 전극 부착부(3)에 부착되어 있다. 이 전극 카트리지(13)는 도 3 및 도 4로부터 알 수 있듯이, 대략 타원형의 횡단면 형상을 갖고 있고, 그 앞면(하면)에 대략 타원 형상의 오목부(14)를 갖는 것이다. 이 오목부(14)의 평평한 내부 바닥벽(13a)에는 그 중앙부 즉 전극 카트리지(13)의 중심축선(L) 상의 위치에 노즐 부착 구멍(15)이 형성됨과 아울러, 이 중심축선(L)으로부터 타원의 길이 방향(장축 방향)으로 등거리 떨어진 위치에 2개의 전극침용 유지 구멍(16)이 형성되어 있고, 이들 유지 구멍(16, 16) 내에 상기 전극침(4A, 4B)의 기단부(4b)를 끼워 맞춤으로써, 2개의 전극침(4A, 4B)이 뾰족한 선단부(4a)를 상기 오목부(14) 내에 돌출시킨 상태로 상기 전극 카트리지(13)에 병렬로 부착되어 있다. 상기 전극침(4A, 4B)의 선단부(4a)가 오목부(14)의 내부 바닥벽(13a)으로부터 돌출되는 길이는 상기 오목부(14)의 깊이보다 작다. 따라서, 이들 전극침(4A, 4B)의 선단부(4a)는 오목부(14)로부터 외부로 돌출되는 일은 없고, 상기 오목부(14)에 내포된 상태에 있다.

그리고, 상기 전극 카트리지(13)가 상기 하우징(2)의 하면에 형성한 타원형의 부착 구멍(17) 내에 끼워 맞춰져 고정됨으로써, 타원의 장축을 하우징(2)의 길이 방향을 향한 상태로 상기 하우징(2)에 부착되어 있다. 따라서, 상기 양과 음 2개의 전극침(4A, 4B)도 하우징(2)의 길이 방향을 따라 배치되게 된다.

상기 전극 카트리지(13)의 하우징(2)에 대한 고정은 예를 들면, 이들의 한쪽과 다른쪽에 형성한 돌기와 오목부를 서로 맞물리게 하는 방법이나, 초음파 용착 등의 방법에 의해 행할 수 있다.

또한, 상기 전극 카트리지(13)의 노즐 부착 구멍(15) 내에는 선단에 상기 에어 취출구(5)를 구비한 노즐 부재(20)가 삽입되고, 상기 노즐 부재(20)를 통해 상기 에어 취출구(5)가 상기 오목부(14)의 내부 바닥벽(13a)의 중심축선(L) 상의 위치에 형성되어 있다. 이 노즐 부재(20)의 기단부(4b)는 상기 하우징(2)의 내부를 상기 하우징(2)의 길이 방향으로 연장되는 유로 형성부(21)에 연결되고, 상기 노즐 부재(20)의 내부에 이 유로 형성부(21) 내의 주 유로(8a)와 상기 에어 취출구(5)를 연결하는 분기 유로(8b)가 형성되어 있고, 이들 주 유로(8a)와 분기 유로(8b)에 의해 상기 에어 유로(8)가 형성되어 있다.

상기 주 유로(8a) 및 분기 유로(8b)의 단면적은 서로 거의 같은 크기이며, 또한, 상기 에어 취출구(5)의 개구 단면적은 이들 유로(8a, 8b)의 단면적보다 작게 형성되어 있고, 이것에 의해 상기 큰 직경의 에어 유로(8)로부터 이송되어 오는 에어를 작게 수축시킨 에어 취출구(5)로부터 고속으로 강력하게 분출시키도록 하고 있다.

상기 에어 취출구(5)는 상기 내부 바다벽(13a)에 직접 형성해도 좋다.

상기 전극 카트리지(13)의 오목부(14)의 내부에는 상기 양 전극침(4A, 4B)과 에어 취출구(5)를 덮는 보호 커버(23)가 배치되어 있다. 이 보호 커버(23)는 합성 수지 등의 절연성의 비자성재로 이루어지는 것으로, 상기 오목부(14) 전체적으로 넓어지는 평판상을 한 주체부(23a)와, 그 주체부(23a)의 외주로부터 상기 주체부(23a)와 직각으로 연장되는 플랜지상의 외주벽(23b)을 갖는 것으로, 전체적으로 얕은 접시 형상을 이루고, 상기 외주벽(23b)이 오목부(14)의 내부 바닥벽(13a)과 접촉함으로써, 상기 주체부(23a)와 오목부(14)의 내부 바닥벽(13a) 사이에 상기 오목부(14) 전체적으로 넓어지는 공간부(24)가 형성되어 있다. 상기 보호 커버(23)는 나사 고정이나 접착 등의 수단으로 전극 카트리지(13)에 착탈 가능하게 부착되어 있는 것이 바람직하다.

상기 보호 커버(23)의 주체부(23a)에는 상기 에어 취출구(5)로부터 분출된 에어를 워크를 향해서 분사시키기 위한 에어 분사 구멍(25)이 상기 에어 취출구(5)의 전방에 위치하도록 형성됨과 아울러, 상기 양과 음의 전극침(4A, 4B)의 선단부(4a)를 외부로 드러내기 위해서와, 상기 에어 취출구(5)로부터 분출되어 상기 공간부(24)에 확산된 에어를 이들 전극침(4A, 4B)을 따라 보호 커버(23)의 외부로 유출시키기 위한 2개의 에어 유출 구멍(26, 26)이 상기 양과 음의 전극침(4A, 4B)과의 대응 위치에 각각 하나씩 형성되어 있다.

상기 에어 분사 구멍(25)은 상기 에어 취출구(5)의 바로 앞의 위치에 상기 에어 취출구(5)와 동심상으로 배치되어 있고, 그 크기는 상기 에어 취출구(5)와 거의 동일한 직경으로 형성되어 있다. 그러나, 이 에어 분사 구멍(25)의 위치 및 크기는 상기 에어 취출구(5)와 완전히 동심이고 또한 동일한 직경일 필요는 없고, 예를 들면, 상기 에어 취출구(5)로부터 분출되는 에어의 분류 영역 내의 위치, 즉, 상기 에어 취출구(5)로부터 분출된 에어의 분류가 직접 블로잉되는 위치이면, 상기 에어 취출구(5)의 중심으로부터 약간 벗어난 위치이어도 좋고, 또한, 상기 에어 취출구(5)보다 약간 큰 직경이어도 약간 작은 직경이어도 상관 없다.

한편, 상기 에어 유출 구멍(26)은 상기 전극침(4A, 4B)과 동심상의 위치에 있고, 상기 에어 유출 구멍(26)으로부터 각 전극침(4A, 4B)의 뾰족한 선단부(4a)가 보호 커버(23)의 앞면측에 약간 돌출되어 있다. 그러나, 상기 전극침(4A, 4B)의 선단은 보호 커버(23)의 앞면과 동일한 위치나 그것보다 약간 후퇴한 위치에 있어도 상관없다. 또한, 상기 에어 유출 구멍(26)의 구멍 직경은 상기 에어 분사 구멍(25)의 구멍 직경보다 크게 형성되어 있다.

상기 구성을 갖는 이오나이저(1)에 있어서, 고전압 발생 장치(7)로부터 양과 음의 전극침(4A, 4B)에 양의 펄스상 고전압과 음의 펄스상 고전압이 교대로 인가 되면, 이들 양 전극침(4A, 4B)의 선단부(4a)에 있어서 코로나 방전이 발생하여 양 전극침(4A 및 4B)으로부터 양 및 음의 이온이 교대로 발생한다. 이 때, 압축 공기원(11)으로부터의 에어는 주 유로(8a) 및 분기 유로(8b)를 통해서 에어 취출구(5)에 공급되고, 이 에어 취출구(5)로부터 공간부(24) 내에 분출된다.

상기 에어 취출구(5)로부터 강력하게 분출된 에어의 분류는 주로, 도 5에 화살표(a1)로 나타내는 바와 같이, 상기 에어 취출구(5)의 바로 앞의 위치에서 상기 보호 커버(23)에 개구하는 에어 분사 구멍(25)으로부터, 거의 그 힘을 유지한 상태로 상기 보호 커버(23)의 외부로 분출되고, 주 에어류(A1)로 되어 워크에 분사된다. 이 때 상기 주 에어류(A1)는 상기 전극침(4A, 4B)으로부터 발생한 이온을 도입해서 이온화 에어로 되고, 이 이온화 에어가 워크에 블로잉됨으로써 상기 워크(W)의 제전이 행해진다.

한편, 상기 에어 취출구(5)로부터 공간부(24) 내에 분출된 에어의 일부는 도 5에 화살표(a2)로 나타내는 바와 같이, 상기 보호 커버(23)에 튀겨져 되돌아와 공 간부(24) 내에 확산되고, 전극침(4A, 4B)의 주위를 둘러싸는 에어 유출 구멍(26)으로부터 상기 전극침(4A, 4B)의 선단부(4a)를 따라 외부로 유출되고, 보조 에어류(A2)로서 워크를 향한다. 이 보조 에어류(A2)도 주 에어류(A1)와 마찬가지로 이온화된다.

상기 보조 에어류(A2)의 유속은 상기 주 에어류(A1)의 유속에 비해서 작지만, 이 보조 에어류(A2)가 전극침(4A, 4B)의 선단부(4a)를 따라 흐름으로써, 상기 전극침의 표면이나 주위의 공기중에 있는 진애 등의 먼지가 씻겨 내려가 이들 먼지가 전극침(4A, 4B)의 표면에 오염으로서 부착되는 것이 방지된다. 이 결과, 먼지의 부착에 의한 전극침의 오염이 경감되어 상기 전극침의 청소나 교환 등의 보수 작업의 빈도가 감소하게 된다.

상기 실시형태에 있어서는 하우징(2)이 복수의 전극 부착부(3)를 구비하고 있지만, 이 전극 부착부(3)의 수는 1개이어도 좋다.

또한, 횡단면 형상이 타원을 이루는 상기 전극 카트리지(13)를 그 타원의 장축을 하우징(2)의 길이 방향을 향한 상태로 상기 하우징(2)에 부착함으로써, 양과 음 2개의 전극침(4A, 4B)을 상기 하우징(2)의 길이 방향을 따라 배치하고 있지만, 상기 전극 카트리지(13)를 상기 방향과는 90도 다른 방향, 즉, 타원의 장축을 하우징(2)의 가로폭 방향을 향해서 부착함으로써, 상기 2개의 전극침(4A, 4B)을 상기 하우징(2)의 가로폭 방향으로 나란히 배치해도 좋다.

또한, 상기 실시형태에서는 보호 커버(23)의 주체부(23a)가 평판상을 이루고 있고, 오목부(14)의 내부 바닥벽(13a)에 대해서 평행하게 위치하고 있지만, 상기 주체부(23a)는 반드시 평판상일 필요는 없고, 그 전체 혹은 중앙의 일부가 외측(앞면측)을 향해서 원추상으로 움푹 패어 있어도 좋다. 이 경우, 원추의 정점의 위치에 상기 에어 분사 구멍(25)이 형성되게 된다.

도 6~도 13은 본 발명에 따른 이오나이저의 제 2 실시예를 나타내는 것이다. 이 제 2 실시예의 이오나이저(31)는 상기 제 1 실시예와 비교하면, 전극 카트리지(43)를 하우징(32)에 대해서 착탈 가능하게 한 시스 카트리지(43A)에 백플레이트(43D)를 착탈 가능하게 부착함으로써 구성하고, 그 백플레이트(43D)에 전극침(34A, 34B)을 부착하고 있다. 그 때문에 상기 전극침(34A, 34B)이 더러워져도, 그 오염을 용이하게 제거할 수 있도록 한 점에서 제 1 실시예와 상위한 것이다. 또한, 이 이오나이저(31)의 구성에서 제 1 실시예와 실질적으로 바뀌지 않는 부분에 대해서는 이하에 있어서 그 설명을 생략하고, 상술한 제 1 실시예와 상위한 점에 대해서 이하에 설명한다.

이 이오나이저(31)에 있어서의 하우징(32)의 복수의 전극 부착부(33)에 부착하는 전극 카트리지(43)는 상술한 바와 같이, 하우징(32)에 대해서 착탈 가능하게 한 시스 카트리지(43A)와, 전극침(34A, 34B)이 부착되어 있고, 그 시스 카트리지(43A)에 착탈 가능하게 부착되는 백플레이트(43D)에 의해 구성되고, 전극침(34A, 34B)을 제외하고 합성 수지 등의 절연성의 비자성재로 형성되어 있다. 또한, 상기 시스 카트리지(43A)는 도 9, 도 10 및 도 13으로부터 알 수 있듯이, 그 상반의 카트리지 본체(43B)와, 그 하반의 보호 커버(43C)를 착탈 가능하게 연결함으로써 구성되어 있다.

상기 카트리지 본체(43B)는 제 1 실시예의 전극 카트리지(13)와 마찬가지로, 평면 형상이 대략 타원형을 갖고 있고, 그 중앙부에 노즐 부착 구멍(45)이 형성됨과 아울러, 그 노즐 부착 구멍(45)의 양측에서 등거리의 위치에 각각 전극침용 유지 구멍(46)이 형성되고, 또한, 그 양단에 후술의 백플레이트(43D)의 장착을 위한 가이드가 되는 단면이 대략 반원 형상을 이루는 한쌍의 가이드벽(48a)을 기립 설치하고, 상기 중앙부의 노즐 부착 구멍(45)이 형성되어 있는 부분의 앞면에 후술하는 백플레이트(43D)에 있어서의 끼움편(49e)의 맞물림 구멍(49g)에 걸리는 돌출자(48b)를 돌출 설치하고 있다. 또한, 이 카트리지 본체(43B)의 하부의 전후 내측 가장자리에는 도 9, 도 10 및 도 13으로부터 알 수 있듯이, 보호 커버(43C)의 측부 상측 가장자리에 돌출 설치한 차양부(53b)를 걸리게 하는 걸림홈(49h)을 형성하고, 그 걸림홈(49h)에 상기 차양부(53b)를 끼워 넣고, 상기 보호 커버(43C)를 평면 형상이 대략 타원 형상인 카트리지 본체(43B)에 대해서 그 장축 방향으로 슬라이드 시켜서 장착할 수 있도록 하고 있다.

시스 카트리지(43A)의 하반을 구성하는 보호 커버(43C)는 그 평면 형상이 상기 카트리지 본체(43B)와 동일한 대략 타원 형상을 갖고, 그 측부 상측 가장자리에 상기 차양부(53b)를 형성함과 아울러, 그 하면에 대략 타원 형상의 오목부(44)를 형성하고 있다. 그리고, 카트리지 본체(43B)에 대한 보호 커버(43C)의 장착시에 이 오목부(44)의 저벽을 형성하는 평판상의 주체부(53a)가 상기 양 전극침(34A, 34B)과, 에어 유로(38)에 연통되어 있는 에어 취출구(35)를 덮고, 카트리지 본체(43B)의 저벽(43a)과의 사이에 에어 취출구(35)로부터 분출되는 에어를 확산시키는 공간 부(54)를 형성하도록 하고 있다.

상기 보호 커버(43C)의 주체부(53a)에는 그 보호 커버(43C)를 카트리지 본체(43B)의 소정의 위치에 장착했을 때에 상기 에어 취출구(35)로부터 분출된 에어를 워크를 향해서 분사시키기 위한 에어 분사 구멍(55)이 상기 에어 취출구(35)의 전방에 위치하도록 형성됨과 아울러, 양과 음의 전극침(34A, 34B)의 선단부(34a)를 외부로 드러내고, 또한, 상기 에어 취출구(35)로부터 분출된 에어를 이들 전극침(34A, 34B)을 따라 보호 커버(43C)의 외부로 유출시키기 위한 2개의 에어 유출 구멍(56, 56)이 상기 양과 음의 전극침(34A, 34B)과의 대응 위치에 각각 형성되어 있다. 상기 에어 분사 구멍(55)이나 에어 유출 구멍(56)의 기타 설치 형태는 상기 제 1 실시예의 경우와 실질적으로 동일하다.

또한, 상기 백플레이트(43D)는 도 9 및 도 13 등으로부터 알 수 있듯이, 상기 카트리지 본체(43B)의 상부 양단에 기립 설치한 한쌍의 가이드벽(48a) 사이에 끼워 넣는 플레이트 기반(49a)의 중앙부에 상기 카트리지 본체(43B)의 노즐 부착 구멍(45)과 동심으로 노즐 삽입 구멍(49b)이 형성됨과 아울러, 그 노즐 삽입 구멍(49b)의 양측에 각각, 상기 카트리지 본체(43B)의 전극침용 유지 구멍(46)과 동심으로 전극침 고정 구멍(49c)이 형성되고, 또한, 상기 플레이트 기반(49a)에 있어서의 노즐 삽입 구멍(49b)의 전후에 카트리지 본체(43B)의 중앙부의 노즐 부착 구멍(45)이 형성되어 있는 부분을 외측으로부터 끼움으로써, 상기 카트리지 본체(43B)에 대해서 백플레이트(43D)를 고정하는 한쌍의 끼움편(49d, 49e)을 설치하고 있다.

이들 끼움편(49d, 49e)은 그 한쪽이 카트리지 본체(43B)의 끼움 부분과 접촉하는 끼움편(49d)으로서 구성되고, 그 다른쪽이 백플레이트(43D)의 플레이트 기반(49a)에 얇은 탄성 변형부(49f)를 통해 연결되고, 상기 탄성 변형부(49f)의 탄성에 의해 카트리지 본체(43B)를 탄성적으로 끼우는 끼움편(49e)으로서 구성된 것으로, 카트리지 본체(43B)에 대한 백플레이트(43D)의 장착시에 그 끼움편(49e)에 형성한 맞물림 구멍(49g)을 카트리지 본체(43B)의 상기 돌출자(48b)에 걸리게 하도록 하고 있다. 따라서, 백플레이트(43D)는 전극침의 오염을 제거하기 위해서 카트리지 본체(43B)에 착탈 가능하게 부착된다.

상기 백플레이트(43D)에 고정하는 한쌍의 전극침(34A, 34B)은 상기 제 1 실시예의 경우와 동구조인 것으로 부착용의 기단부(34b)와 원추상의 선단부(34a)를 갖고 있지만, 또한, 상기 기단부(34b)에 플랜지부(34c)를 구비함과 아울러, 그 상단에 고전압 발생 장치(37)와 전기적으로 접속하기 위한 통전부(34d)를 구비하고 있다. 이들 전극침(34A, 34B)은 상기 플랜지부(34c)를 백플레이트(43D)의 전극침 고정 구멍(49c)에 압입해서 고정하거나, 혹은, 상기 부착용의 기단부(34b)의 단면 형상을 비원형으로 해서, 동형의 전극침 고정 구멍(49c)에 끼워 장착함으로써, 백플레이트(43D)에 대해서 회전 불능하게 고정하고, 백플레이트(43D)에 부착한 상태에 있는 전극침(34A, 34B)의 오염을 펠트 등으로 이루어지는 불식구로 제거함에 있어서, 백플레이트(43D)에 대한 전극침(34A, 34B)의 회전에 의한 오염 제거의 작업성의 저하를 억제하고 있다. 전극침(34A, 34B)의 교환을 위해서 이들 전극침은 백플레이트(43D)에 대해서 이탈 가능한 것이 필요하다.

또한, 상기 백플레이트(43D)를 카트리지 본체(43B)에 부착한 상태에 있어서는, 상기 백플레이트(43D)에 고정한 각 전극침(34A, 34B)이 카트리지 본체(43B)에 있어서의 전극침 유지 구멍(46, 46) 내에 끼워 맞춰지고, 전극침의 선단부(34a)가 상기 오목부(44) 내에 돌출되는 상태로 카트리지 본체(43B)에 유지되도록 형성하고 있다. 한편, 상기 백플레이트(43D)를 카트리지 본체(43B)로부터 이탈시켰을 때에는 전극침(34A, 34B)의 선단부(34a)가 불식에 의한 오염의 제거를 위해서 외부에 노출되게 된다.

또한, 상기 전극 카트리지(43)의 조립은 카트리지 본체(43B)에 대해서 보호 커버(43C)를 장착한 후에 백플레이트(43D)를 카트리지 본체(43B)에 고정하게 된다.

상기 전극 카트리지(43)는 상기 하우징(32)의 하면에 등간격으로 형성한 복수의 타원형의 전극 부착 구멍(47) 내에 상기 하우징(32)의 하방으로부터 착탈 가능하게 끼워 맞춰져 고정되지만, 이 고정을 위해서 하우징(32)에 형성되는 상기 전극 부착 구멍(47)은 도 7에 나타내는 바와 같이 전극 카트리지(43)의 평면 형상에 대응한 타원형이며, 또한, 그 전극 부착 구멍(47)에 끼워 넣은 전극 카트리지(43)가 상기 부착 구멍(47) 내에 있어서 경사질 수 있는 간격부(47a)가 있는 평면 형상으로 형성되어 있다. 그리고, 상기 전극 카트리지(43)와 전극 부착 구멍(47) 사이에 상기 전극 카트리지를 전극 부착 구멍에 끼워 넣은 후에 상기 경사질 수 있는 간격부(47a)로부터 벗어나서 정상의 부착 자세로 했을 때에는 전극 카트리지(43)를 전극 부착 구멍(47) 내에 걸림 고정시키고, 한편, 전극 카트리지(43)를 전극 부착 구멍(47)에 대해서 상기 간격부(47a)의 범위 내에서 경사지게 한 상태에서는 전극 카트리지(43)의 전극 부착 구멍(47) 내에의 끼움/이탈을 허용하는 걸림 기구를 설치하고 있다.

이 걸림 기구는 전극 카트리지(43)의 카트리지 본체(43B)에 있어서의 상기 가이드벽(48a)에 도 8, 도 12 및 도 13으로부터 알 수 있듯이, 상부의 걸림 돌기(48c)와 그 하부의 상기 걸림 돌기보다 돌출 높이가 작은 마찰 돌출조(48d)를 형성하고, 한편, 상기 전극 부착 구멍(47)의 길이 방향의 양 단부에는 전극 부착 구멍(47)에 대해서 전극 카트리지(43)를 상기 간격부(47a)의 범위 내에서 경사지게 한 상태로 끼워 넣을 때에는 상기 걸림 돌기(48c)를 통과시키는 측홈(47b)을 형성함과 아울러, 그 측홈(47b)에 인접시켜서 상기 전극 카트리지(43)를 전극 부착 구멍(47)에 끼워 넣은 후에 그것을 하우징(32)의 길이 방향을 따르는 정상의 부착 자세로 되돌렸을 때에 카트리지 본체(43B)의 양단의 가이드벽(48a)의 외면의 마찰 돌출조(48d)에 탄성적으로 접촉하는 탄성 접촉편(47c)을 형성한 것으로 할 수 있다.

이 탄성 접촉편(47c)은 경사 자세로 있는 전극 카트리지(43)를 그 중심의 둘레에 회전시켜서 정상의 부착 자세로 되돌릴 때에 카트리지 본체(43B)의 양단의 가이드벽(48a)의 외면의 마찰 돌출조(48d)에 의해 가압되는 결과, 상기 마찰 돌출조(48d)에 탄성적으로 접촉해서 그것을 유지하는 것이며, 그 때문에 전극 부착 구멍(47)의 양단의 탄성 접촉편(47c)은 그 선단을 상기 측홈(47b)측을 향해서 서로 반대 방향을 향하도록 형성되어 있다. 또한, 상기 전극 부착 구멍(47)의 양단의 탄성 접촉편(47c)은 정상의 부착 자세로 되돌린 카트리지 본체(43B)의 양단의 걸림 돌기(48c)의 하방에 위치하여 상기 걸림 돌기(48c)에 걸려 전극 카트리지(43)의 탈 출을 억제하는 기능도 구비하고 있다.

또한, 상기 전극 카트리지(43)를 전극 부착 구멍(47)에 장착함과 동시에, 전극침(34A, 34B)을 각각 고전압 발생 장치(37)에 있어서의 양 및 음의 고전압 발생 회로에 접속할 수 있도록 하기 위해서 전극 부착 구멍(47)의 내부 바닥의 각 전극침(34A, 34B)에 대응하는 위치에서 전극 카트리지(43)의 착탈에 있어서 그 자세를 경사지게 할 수 있는 범위 내에 이들 고전압 발생 회로에 전기적으로 접속된 접속 단자(37a)를 수용하는 단자홈(47d)을 형성하고, 전극 부착 구멍(47)에 전극 카트리지(43)를 끼워 넣었을 때에 이들 전극침(34A, 34B)에 있어서의 통전부(34d)를 각각의 단자홈(47d)에 끼워 넣음으로써, 그 전극 카트리지(43)의 경사 자세의 여하에 관계없이, 양 전극침(34A, 34B)에 양과 음의 고전압을 인가할 수 있도록 구성하고 있다.

따라서, 상기 전극 카트리지(43)를 전극 부착 구멍(47)에 장착할 때에는 전극 카트리지(43)를 하우징(32)의 길이 방향에 대해서 경사지게 한 상태로 상기 부착 구멍(47)에 끼워 맞춘 후에 상기 전극 카트리지(43)를 중심축의 둘레로 회전시켜 상기 길이 방향을 향하는 정상의 부착 자세로 함으로써, 카트리지 본체(43B)의 양단의 걸림 돌기(48c)가 부착 구멍(47)의 양단의 탄성 접촉편(47c) 상에 위치하여 상기 걸림 돌기(48c)에 걸려 전극 카트리지(43)의 탈락이 방지된다. 이 전극 부착 구멍(47)에 대한 전극 카트리지(43)의 부착에 있어서는 백플레이트(43D)에 있어서의 노즐 삽입 구멍(49b) 및 카트리지 본체(43B)에 있어서의 노즐 부착 구멍(45)에 선단에 상기 에어 취출구(35)를 구비한 노즐 부재(50)가 삽입되고, 상기 노즐 부 재(50)를 통해 상기 에어 취출구(35)로부터 공간부(54)에 에어가 분출된다.

한편, 상기 전극 카트리지(43)를 전극 부착 구멍(47)으로부터 분리할 때에는 상기 전극 카트리지(43)를 전극 부착 구멍(47) 내에 있어서 회전시킴으로써, 하우징(32)의 길이 방향에 대해서 경사지게 하면, 카트리지 본체(43B)의 양단의 걸림 돌기(48c)가 부착 구멍(47)의 양단의 탄성 접촉편(47c)으로부터 빠지기 때문에 전극 카트리지(43)의 분리가 가능해진다.

도 1은 본 발명에 따른 이오나이저의 제 1 실시예를 나타내는 정면도이다.

도 2는 도 1의 부분 확대 단면도이다.

도 3은 도 2의 주요부 확대도이다.

도 4는 도 3의 저면도이다.

도 5는 제전시의 에어의 흐름 상태를 나타내는 단면도이다.

도 6은 본 발명에 따른 이오나이저의 제 2 실시예에 있어서의 상기 도 2에 대응하는 위치에서의 부분 확대 단면도이다.

도 7은 도 6에 있어서의 VII-VII선에서의 부분 확대 단면도이다.

도 8은 전극 카트리지의 정면도이다.

도 9는 도 8에 있어서의 IX-IX선에서의 단면도이다.

도 10은 도 8에 있어서의 X-X선에서의 단면도이다.

도 11은 상기 전극 카트리지의 하면도이다.

도 12는 상기 전극 카트리지의 사면도이다.

도 13은 상기 전극 카트리지의 분해 상태의 사면도이다.

(도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명)

1, 31: 이오나이저 2, 32: 하우징

3, 33: 전극 부착부 4A, 4B, 34A, 34B: 전극침

5, 35: 에어 취출구 7, 37: 고전압 발생 장치

13, 43: 전극 카트리지 14, 44: 오목부

16, 46: 전극침용 유지 구멍 17, 47: 전극 부착 구멍

20, 50: 노즐 부재 23: 보호 커버

23a, 53a: 주체부 24, 54: 공간부

25, 55: 에어 분사 구멍 26, 56: 에어 유출 구멍

27: 갭 37a: 접속 단자

43A: 시스 카트리지 43C: 보호 커버

43D: 백플레이트 47a: 간격부

47b: 측홈 47c: 탄성 접촉편

48c: 걸림 돌기 48d: 마찰 돌출조

49d, 49e: 끼움편 49f: 탄성 변형부

Claims (13)

1. 전극 부착부를 1개 이상 갖는 하우징과, 상기 전극 부착부에 서로 병렬로 배치된 이온 발생용의 양과 음의 전극침과, 상기 전극 부착부에 양과 음의 양 전극침 사이의 위치에서 개구하는 에어 취출구와, 이들 양 전극침과 에어 취출구를 덮는 보호 커버와, 그 보호 커버의 내측에 상기 양 전극침과 에어 취출구에 걸쳐 위치하는 공간부를 갖고;

   상기 보호 커버는 상기 에어 취출구의 전방에 위치해서 상기 에어 취출구로부터 분출된 에어를 워크를 향해서 분사하는 에어 분사 구멍과, 상기 양과 음의 전극침과 대응하는 위치에 각각 형성되고, 상기 에어 취출구로부터 분출되어 상기 공간부에 확산된 에어를 상기 전극침을 따라 보호 커버의 외부에 유출시키는 2개의 에어 유출 구멍을 갖는 것을 특징으로 하는 이오나이저.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 양과 음의 전극침이 전극 카트리지에 부착되어 있고, 이 전극 카트리지를 통해 상기 양과 음의 전극침이 상기 하우징의 전극 부착부에 부착되어 있고, 또한, 상기 전극 카트리지는 상기 양과 음의 전극침의 선단부를 둘러싸는 오목부를 갖고, 이 오목부 내에 상기 에어 취출구가 개구함과 아울러 상기 보호 커버가 이 에어 취출구 및 상기 양 전극침을 덮도록 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 이오나이저.
3. 제 2 항에 있어서, 상기 에어 분사 구멍이 상기 에어 취출구와 동심상으로 위치함과 아울러, 상기 에어 유출 구멍이 상기 전극침과 동심상으로 위치하고 있는 것을 특징으로 하는 이오나이저.
4. 제 3 항에 있어서, 상기 전극침의 뾰족한 선단부가 상기 에어 유출 구멍으로부터 보호 커버의 앞면에 돌출되어 있는 것을 특징으로 하는 이오나이저.
5. 제 3 항 또는 제 4 항에 있어서, 상기 에어 분사 구멍의 구멍 직경이 상기 에어 유출 구멍의 구멍 직경보다 작은 것을 특징으로 하는 이오나이저.
6. 제 2 항에 있어서, 전극 카트리지는 상기 하우징에 대해서 착탈 가능한 시스 카트리지에 양과 음의 전극침을 구비한 백플레이트를 착탈 가능하게 부착함으로써 구성되고, 그 시스 카트리지에 상기 오목부가 형성되어 있고, 상기 백플레이트에 부착한 전극침의 선단부는 상기 시스 카트리지 내의 전극침용 유지 구멍을 통해서 상기 오목부로 돌출되어 있는 것을 특징으로 하는 이오나이저.
7. 제 6 항에 있어서, 상기 에어 취출구가 노즐 부재에 형성되어 있고, 이 노즐 부재는 평면 형상이 타원 형상인 상기 전극 카트리지의 중심에 삽입되어 있는 것을 특징으로 하는 이오나이저.
8. 제 7 항에 있어서, 백플레이트는 시스 카트리지의 짧은 직경측을 끼움으로 써, 상기 시스 카트리지에 대해서 백플레이트를 고정하기 위한 한쌍의 끼움편을 갖고, 그 끼움편의 적어도 한쪽이 백플레이트와의 연결부에 형성한 얇은 탄성 변형부의 탄성에 의해 시스 카트리지를 탄성적으로 끼우는 것으로 하여 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 이오나이저.
9. 제 6 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 백플레이트에 대해서 전극침이 회전 불능으로 고정되는 한편, 이탈 가능하게 장착되어 있는 것을 특징으로 하는 이오나이저.
10. 제 7 항에 있어서, 상기 하우징에 설치하는 상기 전극 카트리지를 부착하기 위한 전극 부착 구멍은 상기 전극 카트리지의 평면 형상에 대응한 타원형을 이루는 동시에, 그 전극 부착 구멍에 끼워 넣은 전극 카트리지가 상기 전극 부착 구멍 내에 있어서 상기 하우징의 길이 방향에 대하여 경사질 수 있도록 하는 간격부가 있는 평면 형상을 갖는 것으로 하여 형성되고,

    상기 전극 카트리지와 전극 부착 구멍 사이에 상기 전극 카트리지를 전극 부착 구멍에 끼워 넣은 후에 회전시켜 상기 하우징의 길이 방향을 따르는 정상의 부착 자세로 했을 때에는, 상기 전극 카트리지를 전극 부착 구멍 내에 걸림 고정시키고, 상기 전극 카트리지를 전극 부착 구멍에 대해서 상기 간격부의 범위 내에서 경사지게 한 상태에서는 상기 전극 카트리지의 전극 부착 구멍 내에의 끼움/이탈을 허용하는 걸림 기구를 설치한 것을 특징으로 하는 이오나이저.
11. 제 10 항에 있어서, 상기 걸림 기구는 전극 카트리지의 길이 방향의 양 단부에 상부의 걸림 돌기와 그 하부의 상기 걸림 돌기보다 돌출 높이가 작은 마찰 돌출조를 형성하고, 상기 전극 부착 구멍의 길이 방향의 양 단부에, 전극 부착 구멍에 대해서 전극 카트리지를 상기 간격부의 범위 내에서 경사지게 한 상태로 끼워 넣을 때에는 상기 걸림 돌기를 통과시키는 측홈을 형성함과 아울러, 그 측홈에 인접시켜서 전극 카트리지를 전극 부착 구멍에 끼워 넣은 후에 그것을 하우징의 길이 방향을 따르는 정상의 부착 자세로 되돌렸을 때에, 상기 마찰 돌출조에 탄성적으로 접촉하는 탄성 접촉편을 각각 형성하고, 상기 양 탄성 접촉편은 경사 자세로 있는 전극 카트리지를 회전시켜서 정상의 부착 자세로 되돌릴 때에 상기 마찰 돌출조에 의해 가압됨으로써, 상기 마찰 돌출조에 탄성적으로 접촉하는 것으로 하여 구성되고, 상기 양 탄성 접촉편은 정상의 부착 자세로 되돌린 전극 카트리지의 양단의 걸림 돌기의 하방에 위치해서 상기 걸림 돌기에 걸림으로써 전극 카트리지의 탈출을 억제하고, 상기 양 탄성 접촉편의 상기 걸림 돌기에서의 걸림에 의해 전극 카트리지가 착탈 가능하게 고정되어 있는 것을 특징으로 하는 이오나이저.
12. 제 6 항 또는 제 7 항에 있어서, 전극 카트리지를 부착하는 하우징의 전극 부착부에 하우징 내의 고전압 발생 장치에 있어서의 양과 음의 고전압 발생 회로에 접속된 복수의 접속 단자가 설치되고, 이들 접속 단자가 상기 전극 부착부에 장착되는 전극 카트리지의 전극침에 대응하는 위치에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 이오나이저.
13. 제 6 항 또는 제 7 항에 있어서, 상기 시스 카트리지는 평면 형상이 타원 형상인 카트리지 본체와, 동형상의 보호 커버를 이들의 장축 방향의 슬라이드에 의해 이들이 갖는 차양부와 걸림홈을 맞물리게 해서 착탈 가능하게 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 이오나이저.

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