KR200377019Y1

KR200377019Y1 - 정전기 제거 장치

Info

Publication number: KR200377019Y1
Application number: KR20-2004-0032425U
Authority: KR
Inventors: 박갑선
Original assignee: (주)해강
Priority date: 2004-11-16
Filing date: 2004-11-16
Publication date: 2005-03-11

Abstract

본 고안은 코로나 방전을 이용한 정전기 제거장치에 관한 것으로, 고전압 방전에 의하여 생성된 이온을 에어를 분사시켜 원하는 곳으로 이동시키되 에어 전달 효율의 극대화와 고전압 누설차단 및 청정에어의 공급이 가능하도록 하는 것이다.

이러한 본 고안은 방전전극의 외측으로 에어가 분사되어 생성이온을 날리는 에어노즐이 형성된 방전소켓에 있어서, 상기 방전소켓의 에어노즐에 공급되는 에어가 별도로 형성된 에어전달통로를 통하여 각각의 에어노즐에 에어가 별도로 공급되어 분사되게 하므로서 이루어지는 것으로, 에어 압력이 일정하게 분사되는 한편 한쪽 에어전달통로가 이상이 발생하더라도 에어분사가 이루어지게 하는 한편 고전압방전라인이 에어와 분리되어 상호유도물질 생성을 방지하게 된다.

Description

정전기 제거 장치{Electrostatic remove apparatus}

일반적으로 반도체, 액정디스플레이(LCD), 플라즈마 디스플레이 패널(PDP), 유기EL, 다중 레이어 세라믹 콘덴서(MLCC; Multi-Layer Ceramic Condenser)등을 제작하기 위해서는 고도의 청정 작업공간을 요하게 되나, 이들의 인쇄, 도포 및 세정 공정에서는 정전기가 대전하기 쉬운 고절연 물질을 다량으로 취급하게 되어 정전기로 인한 먼지 등의 이물질 부착이 발생하게 되고, 이로 인하여 수율의 저하, 패턴의 파괴, 인쇄불량 등의 문제가 발생한다.

이러한 문제를 해결하기 위해서는 정전기를 제거해 주어야 하며, 현재 정전기제거를 위하여 코로나 방전 정전기 제거장치가 널리 사용되고 있으나, 정전기 대상 물질로부터의 거리에 따라 +이온과 -이온의 이온량 불균형 문제가 발생하여 정전기를 효과적으로 제거하기가 어려운 문제가 있어, 방전전극에서 생성된 이온을 에어로 분사시켜 정전기 제거효율을 높이는 장치가 국내 공개특허(공개번호 10-2004-0085091호)로 제시되어 있다.

그러나 상기된 선 공개특허는 도 7에 도시된 바와 같이 중앙에 방전전극(10)이 삽입되어 있고, 방전전극(10)을 중심으로 양측에 방전전극소켓(20)을 관통하는 원기둥형태의 에어노즐(22)이 형성되어 있으며, 상기 에어노즐(22)로 에어통로(30)를 통하여 전달되는 구조를 갖추고 있어, 방전전극(10)에서 발생된 이온을 에어노즐(22)에서 분사되는 에어로 정전대상 물질까지 운반하고 있으나, 에어통로(30)를 통하여 에어노즐(22)로 전달되는 에어는 에어통로(30)에 위치한 고압전달라인(31)에 의해 압력손실이 발생하여 모든 방전전극소켓(20)에서 동일한 에어 압력을 기대하기 어렵고, 또한 에어의 압력이 에어통로(30)를 거치면서 강한 기류를 발생하지 못해 이온을 원하는 곳까지 운반하는데 효율적이지 못하며, 에어통로(30)에 방전전극(10)이 노출되어 상호 유도물질에 의한 방해를 받거나 이물질을 외부로 유출시킬 우려가 있는 것이었다.

특히 디스플레이 패널의 대형화와 생산성 향상을 위하여 글라스 사이즈가 대형화되고 있고, 이로 인하여 정전기 제거면적과 정전량 증가에 따라 원거리까지 이온을 이동시킬 수 있는 고성능의 노즐을 필요로 하게 되며, 또한 노즐에서 이온을 이동시키기 위한 에어로 질소나 클린에어를 사용하게 되는 데, 노즐의 효율을 증대시켜 청정에어의 사용량을 줄여 줄 필요가 있는 것이었다.

본 고안은 상기와 같은 점을 감안하여 방전전극에서 발생된 이온을 에어노즐에서 분사되는 에어로 전달하는 정전기 제거장치에 있어서, 에어노즐로 공급되는 에어가 일정한 압력으로 전달되어 에어 분사 압력을 균등하게 하는 한편 강한 분사가 가능하게 하고, 고전압 방전라인을 에어전달라인과 별도로 구분하여 상호유도 물질에 의한 방해를 받지 않도록 하므로서 정전기 제거 효율을 높이도록 하는 것이다.

본 고안은 코로나 방전식 정전기 제거장치(100)에 관한 것으로, 정전기 제거장치(100)에 일정간격으로 설치된 방전소켓(110)의 방전전극(120)주변에 방전전극(120)에서 발생된 이온을 원하는 곳으로 날리는 에어노즐(130)(131)을 설치하되 상기 에어노즐(130)(131)로 공급되는 에어가 별도로 설치된 에어전달통로(141)(142)를 통하여 각각의 에어노즐(130)(131)에 공급되게 하므로서 개별적인 에어분사가 이루어지도록 하는 것이다.

본 고안의 코로나 방전식 정전기 제거장치(100)는 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 일정 길이를 갖고 배면에 후면커버(102)가 결합된 메인커버(101)의 전면에 수 개의 방전소켓(110)이 설치되고, 양측으로는 측면커버(104)가 설치되고 전면에는 방전소켓(110)이 노출되게 전면커버(103)가 설치되며, 메인커버(101)와 측면커버(104)는 각각 수평 브라켓(106) 및 수직 브라켓(105)으로 고정된다.

메인커버(101)의 전면 내측에는 양쪽으로 에어전달통로(141)(142)가 형성되고 일측이 개방된 형태를 갖는 모듈 파이프(140)를 끼우고, 상기 모듈 파이프(140)의 개방된 쪽에는 에어 노즐(130)(131)이 형성된 팁 모듈(150)을 끼우되 상기 모듈 파이프(140)의 에어전달통로(141)(142)에서 각각의 에어노즐(130)(131)로 에어가 공급되도록 한다.

팁 모듈(150)에는 내측으로 모듈 인서트(151)를 끼우는 한편 그 전방으로 방전전극(120)이 중앙에 결합된 팁 서포트(152)를 결합시키며, 상기된 팁 모듈(150)은 모듈 파이프(140)에 끼워져 결합되게 한다.

모듈 파이프(140)의 배면에는 고압바(160)를 밀착시키되 볼트(161)로 모듈 파이프(140)를 관통하여 모듈 인서트(151)에 고정시키도록 하고, 상기 고압바(160)와 볼트(161)는 절연커버(170)로 씌워주도록 하되 상기 절연커버(170)는 모듈 파이프(140)의 배면에 형성된 결합구(143)에 끼워지도록 한다.

방전소켓(110)의 중앙에는 방전전극(120)이 위치하고, 상기 방전전극(120)에서 동일 거리를 갖는 곳에 에어 노즐(130)(131)을 형성시키되 상기 에어노즐(130)(131)은 각각 모듈 파이프(140)의 에어전달통로(141)(142)에서 에어가 독립적으로 전달될 수 있도록 한다.

모듈 파이프(140)와 팁 모듈(150)이 맞닿는 곳에는 오링(155)을 끼워주고, 상기 모듈 파이프(140)의 배면에서 절연 커버(170)가 끼워지는 결합구(143)를 형성시키며, 상기 에어전달통로(141)(142)에는 측면커버(104)에 형성된 피팅(180)을 통하여 에어발생장치에서 발생시킨 청정에어가 공급되도록 한다.

이러한 구성의 본 고안에서 팁 모듈(150)에 모듈 인서트(151)를 결합시키는 한편 중앙에 방전전극(120)이 설치된 팁 서포트(152)를 결합시킨 후 상기 팁 모듈(150)을 모듈 파이프(140)에 끼워 모듈 파이프(140)의 에어전달통로(141)(142)로 공급되는 에어가 에어노즐(130)(131)로 공급되게 한 후 상기 모듈 파이프(140)를 메인 커버(101)의 전면에 결합하고, 메인커버(101)의 전면에 전면커버(103)를 씌우는 한편 배면에 후면커버(102)를 씌운 후 측면커버(104)를 씌워 결합시키면 정전기 제거장치(100)의 조립이 완성되며, 상기 정전기 제거장치(100)는 수평 및 수직 프레임(103)(105)을 이용하여 고정시키게 된다.

조립된 정전기 제거장치(100)의 피팅(180)에는 에어공급라인을 연결하고, 방전전극(120)에는 공지의 고압발생회로에서 고압을 인가시켜 이온을 발생시키도록 하되 상기 고압발생회로는 제어회로에 의해 주파수 및 펄스폭을 변화시켜 최적의 이온이 발생되도록 하며, 이 같이 방전전극(120)에 주파수와 펄스폭이 조정된 고압을 인가시켜 정전기 제거에 최적의 이온을 생성시키는 과정은 일반적인 사항이므로 이에 대한 설명은 생략하기로 한다.

본 고안의 피팅(180)에 연결된 에어라인을 통하여 에어가 공급되면, 에어는 모듈 파이프(140)의 에어전달통로(141)(142)를 통하여 공급될 수 있도록 하고, 에어전달통로(141)(142)로 전달된 에어는 에어노즐(130)(131)을 통하여 분사되게 되어, 방전전극(120)에서 발생된 이온을 원하는 곳까지 전달할 수 있도록 하며, 여기서 에어전달통로(141)(142)는 양쪽으로 구분되어 다른 쪽의 영향을 받지 않게 된다.

이러한 본 고안은 에어전달통로(141)(142)의 직경이 커서 에어가 압력 손실 없이 각각의 에어노즐(130)(131)로 전달이 가능하고, 또한 에어전달통로(141)(142)와 에어노즐(130)(131)이 직각으로 교차되게 형성되어 에어노즐(131)간의 압력 차이를 줄이게 되므로, 에어노즐(130)(131)로 공급되는 에어가 일정한 압력으로 전달되어 에어 분사 압력을 균등하게 하는 한편 강한 분사가 가능하게 된다.

따라서 방전전극(120)에서 발생된 이온을 원하는 위치로 운반할 수 있으며, 이는 거리에 따른 이온량의 불균형을 없애주어 정전기를 효과적으로 제거할 수 있게 됨을 의미한다.

그리고 모듈 파이프(140)에는 에어전달통로(141)(142)가 각각 양쪽으로 구분되어 있고, 각각의 에어전달통로(141)(142)에 각각의 에어노즐(130)(131)이 설치되어 있어, 에어전달통로(141)(142)중 하나의 에어전달통로(141)에 에어전달이 원활치 못하더라도 하나의 에어전달통로(142)로 정상적인 에어가 전달되어 방전전극(120)에서 발생된 이온을 전달하지 못하는 경우를 없애게 된다.

즉 기존에는 하나의 에어전달통로에서 각각의 에어노즐로 에어를 분사시키게 되어 에어전달통로가 막히거나 이물질이 채워질 경우 에어노즐에서의 에어분사가 한꺼번에 이루어지지 않거나 극히 약하게 이루어져 방전전극에서 발생된 이온을 원하는 장소로 운반하지 못하는 경우가 발생되었으나, 본 고안에서는 에어전달통로(141)(142)가 양쪽으로 구성되어 있어, 하나의 에어전달통로(141)가 막히더라도 또 다른 에어전달통로(142)가 막히지 않아 에어노즐(130)(131)에서 에어를 분사시키지 못하는 경우를 없애주게 된다.

한편 본 고안은 고압바(160)가 에어에 노출되지 않아 에어가 고압바(160)에 흐르는 고압에 영향을 받지 않아 상호 유도 물질에 의한 영향을 최소화시키도록 한다.

즉 기존에는 에어전달통로에 고압바가 노출되어 있어 에어가 고압바를 흐르는 고압에 영향을 받아 상호 유도물질이 발생하는 문제가 있었으나, 본 고안에서는 에어가 고압에 노출되는 경우를 없애주어 청정한 에어의 공급이 가능하도록 하는 한편 상호유도 물질의 방해를 받지 않게 된다.

본 고안은 방전전극에서 발생된 이온을 에어노즐에서 분사되는 에어로 정전기 제거를 원하는 곳까지 전달하는 코로나 방식의 정전기 제거장치에 있어서, 에어노즐로 공급되는 에어가 양쪽으로 구분된 에어전달통로를 통하여 공급되게 하여 일정한 압력으로 에어가 전달되어 에어 분사 압력을 균등하게 하는 한편 강한 분사가 가능하게 하고, 또한 고전압 방전라인을 에어전달라인과 별도로 구분하여 상호유도 물질에 의한 방해를 받지 않도록 하는 한편 한쪽 에어전달통로가 막히더라도 다른 에어전달통로를 통하여 에어가 전달되게 하므로서 효과적인 정전기 제거가 이루어지는 것이다.

도 1은 본 고안 정전기 제거장치의 사시도

도 2는 본 고안 정전기 제거장치의 요부 분해 사시도

도 3은 본 고안 정전기 제거장치의 메인 커버 사시도

도 4는 본 고안 정전기 제거장치의 요부 조립 상태 측면도

도 5는 본 고안의 방전소켓 요부 단면도

도 6은 본 고안의 에어 노즐 분사 상태 설명도

도 7은 기존의 방전소켓 단면도

[도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명]

100 : 정전기 제거장치 101 : 메인커버

110 : 방전소켓 120 : 방전전극

130,131 : 에어노즐 140 : 모듈 파이프

141,142 : 에어전달통로 150 : 팁모듈

160 : 고압바 170 : 절연커버

Claims

방전전극(120)에서 발생된 이온을 에어노즐(130)(131)에서 에어를 분사시켜 정전기 제거 장소까지 운반하는 코로나 방식의 정전기 제거장치(100)에 있어서,

양쪽으로 구분되어 에어전달통로(141)(142)가 형성된 모듈 파이프(140)를 메인 프레임(101)에 결합시키고, 상기 모듈 파이프(140)에는 방전전극(120)이 형성되는 한편 에어노즐(130)(131)이 형성된 팁 모듈(150)을 결합시키되 에어전달통로(141)(142)로 공급된 에어가 에어노즐(130)(131)로 분사되게 구성한 것을 특징으로 하는 정전기 제거 장치.
제1항에 있어서, 에어전달통로(141)(142)는 각각 분리되어 개별적으로 에어가 공급되는 것을 특징으로 하는 정전기 제거 장치.
제1항에 있어서, 팁 모듈(150)의 내부에서 방전전극(120)과 에어전달통로(141)(142)는 격리시킨 것을 특징으로 하는 정전기 제거 장치.
제1항에 있어서, 에어전달통로(141)(142)에서 공급되는 에어를 분사시키는 에어노즐(130)(131)은 에어전달통로(141)(142)에 공급되는 에어와 직각 방향을 갖고 결합되는 것을 특징으로 하는 정전기 제거 장치.