KR20020078293A - 액정 표시 장치용 기판의 건조 장치 - Google Patents

Abstract

건조 장치에는 기판을 일정 속도로 통과시키기 위한 롤러 컨베이어가 설치되어 있고, 기판에 이온화된 건조 공기와 이온화되지 않은 건조 공기를 분사하는 에어 나이프가 설치되어 있다. 에어 나이프 내에는 이온화된 공기를 분사하도록 이온 팁이 내장되어 있으며, 에어 나이프를 통하여 이온화된 공기를 분사시켜 기판을 건조시킴과 동시에 정전기를 제거할 수 있다.

Description

액정 표시 장치용 기판의 건조 장치{drying machine for liquid crystal display panel}

본 발명은 액정 표시 장치용 기판의 건조 장치에 관한 것이다.

액정 표시 장치는 현재 가장 널리 사용되고 있는 평판 표시 장치 중의 하나로서, 전극이 형성되어 있는 두 장의 유리 기판과 그 사이에 삽입되어 있는 액정층으로 이루어져 있으며, 두 전극에 전압을 인가하여 액정층의 액정 분자들을 재배열시켜 투과되는 빛의 양을 조절하는 표시 장치이다.

액정 표시 장치의 한 기판에는 전극에 인가되는 전압을 스위칭하는 박막 트랜지스터가 형성되어 있으며, 이러한 박막 트랜지스터 기판에는 박막 트랜지스터 외에도 박막 트랜지스터와 연결되어 있는 화소 전극, 게이트 신호를 인가받는 게이트선 및 데이터 신호를 인가받는 데이터선이 형성되어 있다. 다른 한 기판에는 색 필터와 공통 전극 등이 형성되어 있으며, 이를 색 필터 기판이라 한다.

이러한 액정 표시 장치용 기판은 다수의 사진 식각 공정을 통하여 다층의 박막 패턴을 형성함으로써 만들어지는데, 각 공정 사이에는 오염된 기판 표면에 부착되어 있는 미세 오염 물질 또는 식각 공정에서 남아 있는 잔유물을 세척하기 위한 세정 공정을 실시하여야 한다. 이러한 오염 물질 또는 잔유물은 박막의 불량을 일으키며 이로 인해 표시 소자의 특성을 저하시키는 원인이 되므로 완전히 제거되어야 하며 세정 공정이 완료되면 세정액의 건조 및 습기 제거 공정이 반드시 필요하다. 이를 위해 에어 나이프(air knife) 장치를 이용하여 건조 공정의 완성도를 높이고 있으나 이로 인해 기판 표면의 전하가 균형이 깨져 정전기가 발생하고, 이 정전기로 인해 기판 위에 형성되어 있는 소자가 파괴되는 문제점이 나타난다.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 기판을 세정한 후 정전기를 효과적으로 제거하는 것이다.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정 표시 장치용 기판의 건조 장치를 도시한 단면도이고,

도 2a는 도 1에서의 에어 나이프를 확대하여 도시한 사시도이고,

도 2b는 도 2a의 Ⅱ 방향에서 보았을 때의 정면 투시도이고,

도 3은 본 발명의 제2 실시예에 따른 액정 표시 장치용 기판의 건조 장치를 도시한 도면이다.

이러한 과제를 달성하기 위하여 본 발명에서는 에어 나이프 내에 정전기를 제거하기 위해 이온화된 공기를 공급하는 이온 팁을 내장한다.

본 발명에 따른 액정 표시 장치용 기판의 건조 장치에는 기판을 이송하는 롤러 컨베이어가 설치되어 있고, 기판에 이온화된 건조 공기를 분사하는 이온 팁이 내장되어 있는 에어 나이프가 설치되어 있다.

여기서, 건조 공기의 이온화율을 조절하는 이온 콘트롤러를 더 포함하는 것이 바람직하다.

한편, 에어 나이프를 통해 이온화되지 않은 건조 공기를 분사할 수도 있다.

이때, 건조 공기는 순도가 높은 공기 또는 질소 기체일 수 있다.

본 발명의 다른 실시예에 따른 액정 표시 장치용 기판의 건조 장치에는, 회전이 가능한 원판 모양의 기판대가 있고, 기판대의 중심으로부터 뻗어나와 있는 다수의 고정 다리가 있으며, 기판대의 중심에서 일정 거리 떨어진 상부에는 이온화된 공기가 분사되는 이온 팁이 위치하고 있다.

이러한 본 발명에서는 기판을 건조할 때 건조 공기를 분사시킴과 동시에 에어 나이프 내에 설치된 이온 팁을 통해 이온화된 공기를 분사시켜 수분을 제거함과 동시에 정전기를 제거할 수 있다.

그러면, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치용 기판의 건조 장치에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있을 정도로 상세히 설명한다.

먼저, 도 1 내지 도 2b를 참조하여 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정 표시 장치용 기판 건조 장치에 대하여 상세히 설명한다.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정 표시 장치용 기판의 건조 장치를 도시한 단면도이고, 도 2a는 도 1에서의 에어 나이프를 확대하여 도시한 사시도이며, 도 2b는 도 2a의 Ⅱ 방향에서 보았을 때의 정면 투시도이다.

먼저, 도 1에서와 같이 건조 장치의 건조 챔버(11)에 액정 표시 장치용 기판(10)을 일정 속도로 통과시키기 위하여 다수의 롤러가 형성되어 있는 롤러 컨베이어(12)가 설치되어 있고, 롤러 컨베이어(12)의 상부와 하부에는 이온화된 건조 공기와 이온화되지 않은 건조 공기를 기판(10)에 분사하는 에어 나이프(13)가 각각 설치되어 있다. 여기서, 에어 나이프(13)를 통해 기판(10)에 분사되는 공기는 모두 이온화되거나 일부만 이온화될 수 있는데, 이에 대하여는 이후에 도 2a 및 도 2b를 참조하여 설명한다. 한편, 하나의 에어 나이프(13)로 잔류하는 수분을 모두 제거하기 어려운 경우에는 다수의 에어 나이프를 설치할 수도 있다. 액정 표시 장치용 기판(10)이 에어 나이프(13)를 거치게 되면 수분이 완전히 제거된 상태로 건조기 밖으로 배출된다.

이때, 롤러 컨베이어(12)의 상부에 설치된 에어 나이프(13)를 통하여 이온화된 공기를 분사시켜 기판(10)을 건조시킴과 동시에 정전기를 제거하며, 롤러 컨베이어(12)의 하부에도 에어 나이프(13)를 설치하여 기판을 건조시킴과 동시에 정전기를 제거할 수 있다. 롤러 컨베이어(12)의 하부에 설치된 에어 나이프(13)는 기판(10)의 밑면에 소자가 형성되어 있지 않으므로 정전기를 제거할 필요가 없기 때문에 건조 공기만 분사시키도록 할 수도 있다.

에어 나이프(13)는 순도가 높은 공기 또는 질소 기체를 공급하는 배관(14)과 연결되어 있다.

여기서, 에어 나이프(13)의 구조에 대하여 도 2a 및 도 2b를 참조하여 보다상세하게 설명한다.

에어 나이프(13)는 액정 표시 장치용 기판의 전면에 이온화된 건조 공기 또는 이온화되지 않은 건조 공기를 효율적으로 분사하기 위한 긴 슬릿(slit) 형상의 분사 노즐(131), 건조 공기가 유입되는 건조 공기 유입부(132)를 부착하고 있는 몸체(133) 및 몸체(133)를 지지하기 위한 몸체 지지부(134)로 이루어져 있다. 한편, 몸체(133) 내에는 건조 공기 유입부(132)를 통해 유입된 건조 공기를 이온화시켜 이온화된 공기를 분사 노즐(131)로 내보내는 이온 팁(135)이 내장되어 있다. 이온 팁(135)은 배선(141)을 통해 외부의 전원(power supply)(140)과 연결되어 있다.

여기서, 이온화된 공기는 공급된 공기 또는 질소 기체를 이온 콘트롤러(도시하지 않음)에서 이온화시킴으로써 만들어지고, 배관(14)을 통해 전달되어 이온 팁에서 분사 정도를 조절한 후 분사 노즐(131)을 통해 분사된다.

따라서, 이온 팁을 통해 이온화된 건조 공기가 유입되어 에어 나이프(13)의 분사 노즐(131)을 통해 액정 표시 장치용 기판 위에 분사됨으로써 수분을 제거함과 동시에 정전기를 제거하게 된다. 배관(14)을 통해 공급되는 공기 또는 질소 기체의 이온화율은 이온 콘트롤러에 의해 결정된다.

한편, 이온화된 공기를 공급하여 액정 표시 장치용 기판의 정전기를 제거하면서 기판을 고정시키는 건조 장치를 도 3을 참조하여 본 발명의 제2 실시예로 설명한다.

도 3은 본 발명의 제2 실시예에 따른 액정 표시 장치용 기판의 건조 장치를 도시한 도면이다.

도 3에서와 같이, 원판 모양의 기판대(110)의 중심으로부터 기판(100)을 고정하는 다수의 고정 다리(120)가 뻗어나와 있으며, 기판대(110) 가장자리(111)로부터 배출관(130)이 밖으로 나와있고, 기판대(110)의 회전을 위한 모터(도시하지 않음)가 연결되어 있다. 기판대(110)의 중심(A)에서 일정 거리 떨어진 상부에는 순도가 높은 공기 또는 질소 기체를 공급받아 이온 콘트롤러에서 이온화 과정을 거쳐 만들어진 이온화된 공기가 분사되는 이온 팁(도시하지 않음)이 위치하고 있다.

이러한 건조 장치의 기판대(110) 위에 액정 표시 장치용 기판(100)을 고정 다리(120)를 이용하여 고정한 후 모터를 이용하여 기판대(110)를 회전시키면 회전 원심력에 의하여 기판(100) 표면의 수분이 기판(100)의 가장자리(111)로 밀려나 배출관(130)을 통해 외부로 배출된다. 이때, 이온 팁에서 발생하는 이온화된 공기에 의해 기판(100) 표면에 존재하는 정전기를 제거할 수 있다. 한편, 이온 팁에서 발생하는 이온화된 공기가 기판(100)의 중심을 눌러주는 효과가 있으므로 기판을 회전시킬 때 안정감있게 할 수 있다.

이와 같이 본 발명에서는 액정 표시 장치용 기판을 건조할 때 건조 공기를 분사시킴과 동시에 에어 나이프 내에 설치된 이온 팁을 통해 이온화된 공기를 분사시켜 수분을 제거함과 동시에 정전기를 제거할 수 있다.

Claims (5)

1. 기판을 이송하는 롤러 컨베이어,

   상기 기판에 이온화된 건조 공기를 분사하는 이온 팁이 내장되어 있는 에어 나이프

   를 포함하는 액정 표시 장치용 기판의 건조 장치.
2. 제1항에서,

   상기 건조 공기의 이온화율을 조절하는 이온 콘트롤러를 더 포함하는 액정 표시 장치용 기판의 건조 장치.
3. 제1항에서,

   상기 에어 나이프를 통해 이온화되지 않은 건조 공기를 분사하는 액정 표시 장치용 기판의 건조 장치.
4. 제1항에서,

   상기 건조 공기는 순도가 높은 공기 또는 질소 기체인 액정 표시 장치용 기판의 건조 장치.
5. 회전이 가능한 원판 모양의 기판대,

   상기 기판대의 중심으로부터 뻗어나와 있는 다수의 고정 다리,

   상기 기판대의 중심에서 일정 거리 떨어진 상부에 위치하며 이온화된 공기가 분사되는 이온 팁

   을 포함하는 액정 표시 장치용 기판의 건조 장치.