KR20070063968A - 이오나이저 및 에어나이프 일체형 장비 - Google Patents

Abstract

본 발명은 액정표시장치 제조장비에 관한 것으로, 특히 이오나이저(ionizer) 장비를 통한 제전공정과 에어나이프(air knife)장비를 통한 불순물 제거공정을 동시에 진행할 수 있는 이오나이저 및 에어나이프 일체형 장비에 관한 것이다.

본 발명의 특징은 이오나이저 및 에어나이프 일체형 장비인 이온나이프(ion-knife)장비를 구성하는 것으로, 상기 이온나이프 장비에는 청정건조공기(clean dry air : CDA)와 또는 질소(N₂)가스 등을 공급하기 위한 배관을 구성하며, 내부에는 +이온과 -이온을 발생시키기 위한 팁을 더욱 구성하는 것이다.

이로 인하여, 기판상에 발생되는 정전기로 인한 문제점을 해결하는 동시에 기판상에 흡착되는 미세먼지 또는 불순물 등을 제거할 수 있어, 공정의 효율성을 높일 수 있는 효과가 있다.

이오나이저 장비, 에어나이프 장비

Description

이오나이저 및 에어나이프 일체형 장비{Ionizer with air knife device}

도 1은 일반적인 이오나이저 장비의 공정 사시도를 개략적으로 도시한 도면.

도 2는 일반적인 에어나이프 장비의 공정 사시도를 개략적으로 도시한 도면.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 이온나이프(ion-knife) 장비의 구조를 개략적으로 도시한 도면.

도 4는 도 3의 이온나이프 장비의 공정 사시도를 개략적으로 도시한 도면.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

111 : 이온나이프 장비

117 : 팁 119 : 배관

본 발명은 액정표시장치의 제조장비에 관한 것으로, 특히 이오나이저 장비를 이용한 제전공정과 에어나이프 장비를 이용한 불순물 제거공정을 동시에 진행할 수 있는 이오나이저 및 에어나이프 일체형 장비에 관한 것이다.

일반적으로 액정표시장치는 박막트랜지스터 및 화소전극을 형성하는 어레이기판 제조공정과 컬러필터 및 공통전극을 형성하는 컬러필터기판 제조공정을 통해 각각 어레이기판 및 컬러필터기판을 형성하고, 이 두 기판 사이에 액정을 개재하는 액정셀 공정을 거쳐 완성한다.

이러한 액정표시장치는 투명한 유리기판 위에 증착(deposition), 식각(etching)공정을 거치는 거의 모든 공정에서 정전기가 발생하며, 이 같은 정전기는 정전기방전(electrostatic discharge : ESD) 등을 불러일으켜 집적회로에 치명적인 영향을 미치게 되어 미세입자(particle)의 불순물이 기판 표면으로 흡착되는 원인이 된다.

이러한 정전기를 방지하기 위한 방법으로, 보호회로나 다이오드의 삽입 혹은 쇼팅바 등을 이용하여 정전기를 방지, 분산시키기도 하는데, 최근에는 제전대상물에 유입된 정전기를 이온화장치에서 발생된 이온의 직접적인 대전에 의해 해결하는 방법을 더욱 많이 사용하고 있는 추세이다.

도 1은 일반적인 이오나이저(ionizer) 장비의 공정 사시도를 개략적으로 도시한 도면이다.

도시한 바와 같이, 이오나이저 장비(11)는 고전압을 주기적으로 반복하여 전달하는 본체부(5)와, 상기 본체부(5)에서 전달된 고전압을 방전하여 +이온과 -이온으로 발생시키는 다수의 팁(7)으로 구성된다.

이때, 상기 팁(7)에서 공급되는 +이온과 -이온을 블로우(blow)시키는 팁홀더(9)를 더욱 포함한다.

상기 이오나이저 장비(11)의 본체부(5)에서는 고전압발생기(미도시)가 구비되어 고전압이 상기 팁(7)에 전달되어 고전압이 공기이온과 방전하면서 +이온과 -이온이 주기적으로 반복하여 발생하게 된다.

상기 팁(7)에서 발생된 +이온과 -이온은 상기 팁홀더(9)에서 블로우시키기 위한 질소(N₂)가스 등과 같은 불활성가스의 기류를 따라 정전기가 있는 기판(3)에 접근하여 정전기를 중화시켜서 제전하게 된다.

한편, 상기 액정표시장치는 미세먼지(particle)에 무척 민감하게 반응하여, 미세먼지에 의해 액정표시장치의 특성이 크게 좌우된다.

이러한 이유로, 상기 액정표시장치에 존재하는 미세먼지를 최소화시키는데 주력하고 있으며, 공정진행 상황에 따라 상기 액정표시장치의 기판의 표면이나 회로소자에 부착되는 미세먼지 또는 불순물을 제거하는 세정작업을 반복하여 실시하고 있는 실정이다.

이와 같은 미세먼지 또는 불순물 등을 제거하기 위한 에어나이프(air knife) 장비를 도 2에 도시하였다.

도시한 바와 같이, 에어나이프 장비(13)는 압축된 공기를 외부로 분사시키는 홀(미도시)이 다수 형성된 소정의 길이를 갖는 직선의 바(bar) 형상으로, 기판(3)의 상부에 구성된다.

상기 기판(3)은 일방향으로 이동되며, 상기 에어나이프 장비(13)는 상기 기판(3)의 일측 모서리에서 시작하여 이와 대각선 방향으로 대향하는 모서리를 끝으 로 압축공기를 분사하여 상기 기판(3) 표면의 미세먼지 또는 불순물 등을 제거하게 된다.

상기 에어나이프 장비(13)에서 분사되는 압축공기는 청정건조공기(clean dry air : CDA) 또는 질소(N₂)가스 등이 사용된다.

이때, 상기 에어나이프 장비(13)는 세정공정의 세정 챔버내에서 세정공정에서 사용된 세정액 등의 수분을 제거 및 건조하기 위하여, 상기 기판(3)의 상, 하부에 한쌍으로 구성될 수 도 있다.

그러나 앞서 전술한 바와 같이, 상기 이오나이저 장비(11)와 에어나이프 장비(13)는 서로 독립적인 장비로 분리되어 각각의 기능을 담당하게 되기 때문에, 먼저 기판(3) 상에 발생되는 정전기를 방지하기 위해 상기 이오나이저 장비(11)를 거쳐 제전처리 되고, 다음으로 기판(3)의 미세먼지 또는 불순물을 제거하기 위해 에어나이프 장비(13)를 거치게 된다.

이때, 상기 기판(3)은 상기 에어나이프 장비(13)의 압축공기에 의해 다시 대전되는 문제점이 발생하게 된다.

이로 인하여, 상기 기판(3)의 제전능력이 저하되어 정전기로 인한 문제점이 발생될 수 있으며, 공정의 효율성이 떨어지게 된다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 기판상에 발생되는 정전기로 인한 문제점을 해결하는 동시에, 기판상에 흡착되는 미세먼지 또는 불순물 등을 제거하는 것을 제 1 목적으로 한다.

또한, 공정의 효율성을 높이는 것을 제 2 목적으로 한다.

전술한 바와 같은 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 압축공기를 공급하기 위한 배관과; 상기 배관에 의해 압축공기가 유입되는 방전내부공간과; 상기 방전내부공간의 적어도 일측에 구성되는 팁과; 상기 방전내부공간을 외부로 연결시키는 적어도 하나의 홀과; 상기 방전내부공간에 구성된 팁에 고전압을 인가하기 위한 고전압발생기을 포함하는 이오나이저 및 에어나이프 일체형 장비를 제공한다.

상기 이오나이저 및 에어나이프 일체형 장비는 바(bar) 형상인 것을 특징으로 하며, 상기 고전압발생기에서 발생된 고전압은 상기 팁에 전달되어 공기이온과 방전되어 +이온 및 -이온을 발생시키는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 +이온 및 -이온은 상기 압축공기에 의해 블로우(blow) 되는 것을 특징으로 하며, 상기 압축공기는 청정건조공기(clean dry air : CDA) 또는 질소(N₂)가스를 포함하는 불활성기체인 것을 특징으로 한다.

이하, 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시예를 상세히 설명한다.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 이온나이프(ion-knife) 장비의 구조를 개략적으로 도시한 도면이다.

도시한 바와 같이, 이온나이프 장비(111)는 이오나이저 장비(도 1의 11)와 에어나이프 장비(도 2의 13)를 일체형으로 구성한 장비로서, 청정건조공기(clean dry air : CDA) 또는 질소(N₂) 가스 등을 공급하기 위한 배관(119)과, 상기 유입된 공기를 유출시키기 위한 다수의 홀(미도시)을 구성한다.

또한, 상기 이온나이프 장비(111)의 내부에는 +이온과 -이온을 발생시키기 위한 팁(117)을 구비하며, 상기 팁은 외부의 고전압발생기와 전기적으로 연결한다.

도 4는 도 3의 이온나이프 장비의 공정 사시도를 개략적으로 도시한 도면이다.

도시한 바와 같이, 미세먼지 또는 불순물이 흡착된 기판(113)을 일 방향으로 이동시키기 위한 다수의 구동롤러(121)가 구비되며, 이 같이 구동롤러(121) 상에서 일 방향으로 이송되는 기판(113)의 상부에 청정건조공기 또는 질소가스 등의 건조기체를 분사하는 이온나이프 장비(111)를 위치한다.

상기 다수의 구동롤러(121) 상에 안착되어 일방향으로 이송되는 기판(113) 상에 상기 이온나이프 장비(111)가 상기 기판(113)의 일측 모서리에서 시작하여 이와 대각선 방향으로 대향하는 모서리를 끝으로 상기 배관(도 3의 119)을 통해 유입되는 청정건조공기 또는 질소가스 등을 상기 다수의 홀(미도시)을 통해 분사하면서 상기 기판(113)에 흡착된 미세먼지 또는 불순물 등을 제거한다.

이와 동시에, 상기 이온나이프 장비(111) 내부에 구성된 팁(도 3의 117)에 상기 이온나이프 장비(111)의 외부에 구성된 고전압발생기와 전기적으로 연결되어, 상기 고전압발생기에서 발생되는 고전압이 팁(도 3의 117)에 전달되어 공기이온과 방전하면서 주기적으로 반복하여 +이온과 -이온을 발생시키게 된다.

상기 +이온과 -이온은 상기 배관(도 3의 119)을 통해 유입되는 청정건조공기 또는 질소가스 등이 분사될 때 같이 블로우되어 상기 기판(113)에 접근하여 정전기를 중화시켜서 제전하게 된다.

상기 기판(113)을 제전시키는 방법에 대해 좀더 자세히 설명하면, 상기 기판(113)에 국부적으로 +이온이 대전되었을 경우, 상기 이온나이프 장비(111)에서 발생된 +이온들은 상기 기판(113)의 +이온에 의해 밀려나고, 반대로 -이온들은 인력을 받아 상기 기판(113)의 표면상으로 이동하여 상기 기판(113)에 대전된 +이온과 서로 중화되는 것에 의해 상기 기판(113) 상에 대전된 정전기를 제거하게 된다.

전술한 바와 같이, 이오나이저 장비(도 1의 11)와 에어나이프 장비(도 2의 13)를 일체형으로 구성한 이온나이프 장비(111)를 구성함으로써, 기판(113)상에 발생되는 정전기로 인한 문제점을 해결하는 동시에 기판(113)상에 흡착되는 미세먼지 또는 불순물 등을 제거할 수 있으며 이로 인하여, 공정의 효율성을 높일 수 있다.

본 발명은 상기 실시예로 한정되지 않고, 본 발명의 취지를 벗어나지 않는 한도내에서 다양하게 변경하여 실시할 수 있다.

위에 상술한 바와 같이, 본 발명에 따라 이오나이저 장비를 통한 제전공정과 에어나이프 장비를 통한 불순물 제거공정 동시에 진행할 수 있는 이온나이프 장비 를 구성함으로써, 기판상에 발생되는 정전기로 인한 문제점을 해결하는 동시에 기판상에 흡착되는 미세먼지 또는 불순물 등을 제거할 수 있는 효과가 있다.

또한, 기존의 이오나이저 장비를 통한 제전공정 후 다시 에어나이프 장비를 통한 불순물 제거공정으로 인해 제전능력이 떨어지는 문제점을 해결할 수 있으며 이로 인하여, 공정의 효율성을 높일 수 있는 효과가 있다.

Claims (5)

1. 압축공기를 공급하기 위한 배관과;

   상기 배관에 의해 압축공기가 유입되는 방전내부공간과;

   상기 방전내부공간의 적어도 일측에 구성되는 팁과;

   상기 방전내부공간을 외부로 연결시키는 적어도 하나의 홀과;

   상기 방전내부공간에 구성된 팁에 고전압을 인가하기 위한 고전압발생기

   을 포함하는 이오나이저 및 에어나이프 일체형 장비.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 이오나이저 및 에어나이프 일체형 장비는 바(bar) 형상인 것을 특징으로 하는 이오나이저 및 에어나이프 일체형 장비.
3. 제 2 항에 있어서,

   상기 고전압발생기에서 발생된 고전압은 상기 팁에 전달되어 공기이온과 방전되어 +이온 및 -이온을 발생시키는 것을 특징으로 하는 이오나이저 및 에어나이프 일체형 장비.
4. 제 3 항에 있어서,

   상기 +이온 및 -이온은 상기 압축공기에 의해 블로우(blow) 되는 것을 특징으로 하는 이오나이저 및 에어나이프 일체형 장비.
5. 제 1 항에 있어서,

   상기 압축공기는 청정건조공기(clean dry air : CDA) 또는 질소(N₂)가스를 포함하는 불활성기체인 것을 특징으로 하는 이오나이저 및 에어나이프 일체형 장비.

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