JP2003243199A - 静電気除去装置 - Google Patents
静電気除去装置Info
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- JP2003243199A JP2003243199A JP2002044518A JP2002044518A JP2003243199A JP 2003243199 A JP2003243199 A JP 2003243199A JP 2002044518 A JP2002044518 A JP 2002044518A JP 2002044518 A JP2002044518 A JP 2002044518A JP 2003243199 A JP2003243199 A JP 2003243199A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 静電気除去装置の耐久性を向上する。
【解決手段】 装置本体１２には導体からなるヘッド１
１が取り付けられ、ヘッド１１には空気供給源１６に連
通する貫通孔１５が形成され、その貫通孔１５には放電
調整用の絶縁部材としてのブッシュ２２が取り付けられ
ている。装置本体１２には先端部を貫通孔１５内に位置
させてブッシュ２２の一端部側に放電針２１が配置され
ており、ブッシュ２２の他端部側には、空気案内流路２
３と連通する連通孔２５が形成された継手２４が取り付
けられている。ブッシュ２２は絶縁性が高く水素を含ま
ないセラミックスなどの無機物により形成され、継手２
４はグラファイトなどの耐プラズマ性材料により形成さ
れている。
１が取り付けられ、ヘッド１１には空気供給源１６に連
通する貫通孔１５が形成され、その貫通孔１５には放電
調整用の絶縁部材としてのブッシュ２２が取り付けられ
ている。装置本体１２には先端部を貫通孔１５内に位置
させてブッシュ２２の一端部側に放電針２１が配置され
ており、ブッシュ２２の他端部側には、空気案内流路２
３と連通する連通孔２５が形成された継手２４が取り付
けられている。ブッシュ２２は絶縁性が高く水素を含ま
ないセラミックスなどの無機物により形成され、継手２
４はグラファイトなどの耐プラズマ性材料により形成さ
れている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は電子部品などの種々
の部材から静電気を除電するために使用されるイオン化
された空気を生成する静電気除去装置に関する。
の部材から静電気を除電するために使用されるイオン化
された空気を生成する静電気除去装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体チップなどの電子部品の製造や組
立を行う場合に、電子部品やその製造および組立を行う
治具などに静電気が発生すると、電子部品の製造や組立
作業を円滑に行うことができない。そこで、イオナイザ
ーあるいはイオン発生器とも言われる静電気除去装置を
用いて除電が必要となる部材にイオン化された空気を吹
き付けるようにしている。除電つまり静電気を除去する
必要がある部材としては、前述した電子部品以外に、空
気や液体を案内するパイプ、ロボットやパーツフィーダ
などの機械における稼働部などがあり、帯電された状態
のそれぞれの部材表面にイオン化された空気を供給する
ことにより帯電を中和することができる。
立を行う場合に、電子部品やその製造および組立を行う
治具などに静電気が発生すると、電子部品の製造や組立
作業を円滑に行うことができない。そこで、イオナイザ
ーあるいはイオン発生器とも言われる静電気除去装置を
用いて除電が必要となる部材にイオン化された空気を吹
き付けるようにしている。除電つまり静電気を除去する
必要がある部材としては、前述した電子部品以外に、空
気や液体を案内するパイプ、ロボットやパーツフィーダ
などの機械における稼働部などがあり、帯電された状態
のそれぞれの部材表面にイオン化された空気を供給する
ことにより帯電を中和することができる。
【０００３】このような用途で使用される静電気除去生
装置には、イオン化された空気をチューブやパイプで所
定の除電部位に案内するようにしたブロータイプと、イ
オン発生装置の吹き出し口からファンによってイオン化
空気を吹き出すようにしたファンタイプがある。ブロー
タイプの静電気除去装置は、空気を案内する貫通孔が形
成された導体からなるヘッドと、ヘッドの貫通孔に向け
て突出して配置される導体からなる放電針とを有してお
り、ヘッドの貫通孔の内面には放電調整用の絶縁部材が
取り付けられている。ヘッドにはホースやパイプなどを
接続する継手が取り付けられるようになっており、ホー
スなどを介して所定の帯電部位にイオン空気が案内され
る。一方、ファンタイプの静電気除去装置は、空気案内
路を形成するダクトと、このダクトの内部に配置される
放電針とを有しており、イオン化された空気はダクトに
案内されて所定の帯電部位に案内される。
装置には、イオン化された空気をチューブやパイプで所
定の除電部位に案内するようにしたブロータイプと、イ
オン発生装置の吹き出し口からファンによってイオン化
空気を吹き出すようにしたファンタイプがある。ブロー
タイプの静電気除去装置は、空気を案内する貫通孔が形
成された導体からなるヘッドと、ヘッドの貫通孔に向け
て突出して配置される導体からなる放電針とを有してお
り、ヘッドの貫通孔の内面には放電調整用の絶縁部材が
取り付けられている。ヘッドにはホースやパイプなどを
接続する継手が取り付けられるようになっており、ホー
スなどを介して所定の帯電部位にイオン空気が案内され
る。一方、ファンタイプの静電気除去装置は、空気案内
路を形成するダクトと、このダクトの内部に配置される
放電針とを有しており、イオン化された空気はダクトに
案内されて所定の帯電部位に案内される。
【０００４】いずれのタイプにあっても、放電針に数ｋ
Ｖ以上の交流電圧を印加させてコロナ放電を起こさせる
と、コロナ放電の電界によって空気流路内を流れる空気
中の酸素がイオン化される。上述のように、ヘッドなど
の導体と放電針との間には放電調整用の絶縁部材が配置
されており、従来では、この絶縁部材の材料として炭化
水素化合物である塩化ビニルが使用されている。
Ｖ以上の交流電圧を印加させてコロナ放電を起こさせる
と、コロナ放電の電界によって空気流路内を流れる空気
中の酸素がイオン化される。上述のように、ヘッドなど
の導体と放電針との間には放電調整用の絶縁部材が配置
されており、従来では、この絶縁部材の材料として炭化
水素化合物である塩化ビニルが使用されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】静電気除去装置の耐久
性を向上させるために、種々の実験を行ったところ、以
下のことが判明した。コロナ放電により空気中の酸素が
プラズマに変化すると、プラズマ中の活性種（ラディカ
ル）により放電を調整するための塩化ビニル製の絶縁部
材が改質されて塩化ビニル中の水素と空気中の酸素とが
結合し水が生成される。また、プラズマ中の活性種によ
り金属製の継手内面がスパッタ蒸発し、酸素と結合して
酸化物を形成し、前述した水により酸化が促進されるこ
とになる。
性を向上させるために、種々の実験を行ったところ、以
下のことが判明した。コロナ放電により空気中の酸素が
プラズマに変化すると、プラズマ中の活性種（ラディカ
ル）により放電を調整するための塩化ビニル製の絶縁部
材が改質されて塩化ビニル中の水素と空気中の酸素とが
結合し水が生成される。また、プラズマ中の活性種によ
り金属製の継手内面がスパッタ蒸発し、酸素と結合して
酸化物を形成し、前述した水により酸化が促進されるこ
とになる。
【０００６】このような現象が発生すると、絶縁部材の
内面が劣化し、継手の内面が劣化するため、静電気除去
装置の耐久性が低下することになる。
内面が劣化し、継手の内面が劣化するため、静電気除去
装置の耐久性が低下することになる。
【０００７】本発明の目的は、静電気除去装置の耐久性
を向上することにある。
を向上することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の静電気除去装置
は、装置本体に形成された空気流入口に連通する貫通孔
が形成された導体と、先端部を前記貫通孔内に位置させ
て前記装置本体に取り付けられる放電針と、前記空気流
入口に連通する空気案内流路が形成され、前記貫通孔の
内面に取り付けられる放電調整用の絶縁部材と、前記導
体と前記放電針に電気的に接続される電源ユニットとを
有し、前記絶縁部材を絶縁性が高く水素を含まないセラ
ミックスなどの無機物により形成したことを特徴とす
る。
は、装置本体に形成された空気流入口に連通する貫通孔
が形成された導体と、先端部を前記貫通孔内に位置させ
て前記装置本体に取り付けられる放電針と、前記空気流
入口に連通する空気案内流路が形成され、前記貫通孔の
内面に取り付けられる放電調整用の絶縁部材と、前記導
体と前記放電針に電気的に接続される電源ユニットとを
有し、前記絶縁部材を絶縁性が高く水素を含まないセラ
ミックスなどの無機物により形成したことを特徴とす
る。
【０００９】本発明の静電気除去装置は、前記導体から
突出する突出部を備え前記絶縁部材を固定する継手を有
し、当該継手をグラファイトやセラミックスなどの耐プ
ラズマ性材料により形成したことを特徴とする。
突出する突出部を備え前記絶縁部材を固定する継手を有
し、当該継手をグラファイトやセラミックスなどの耐プ
ラズマ性材料により形成したことを特徴とする。
【００１０】本発明の静電気除去装置は、前記導体から
突出する突出部を備え前記絶縁部材を固定する継手を有
し、当該継手の内周面に炭化チタンなどの耐プラズマ性
材料による表面処理層を形成したことを特徴とする。
突出する突出部を備え前記絶縁部材を固定する継手を有
し、当該継手の内周面に炭化チタンなどの耐プラズマ性
材料による表面処理層を形成したことを特徴とする。
【００１１】本発明の静電気除去装置は、前記絶縁部材
は円筒形状のブッシュであることを特徴とする。
は円筒形状のブッシュであることを特徴とする。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて詳細に説明する。図１は本発明の一実施の形
態である静電気除去装置を示す概略断面図である。この
静電気除去装置はブロータイプであり、アルミニウム合
金などの導体からなるヘッド１１が取り外し自在に装着
される装置本体１２を有している。この装置本体１２は
樹脂などの絶縁材料により形成されており、ヘッド１１
には装置本体１２に形成されたねじ孔にねじ結合される
雄ねじ部１３が形成されている。ヘッド１１は中空とな
っており、装置本体１２に形成された空気流入口１４に
連通する貫通孔１５を有している。
に基づいて詳細に説明する。図１は本発明の一実施の形
態である静電気除去装置を示す概略断面図である。この
静電気除去装置はブロータイプであり、アルミニウム合
金などの導体からなるヘッド１１が取り外し自在に装着
される装置本体１２を有している。この装置本体１２は
樹脂などの絶縁材料により形成されており、ヘッド１１
には装置本体１２に形成されたねじ孔にねじ結合される
雄ねじ部１３が形成されている。ヘッド１１は中空とな
っており、装置本体１２に形成された空気流入口１４に
連通する貫通孔１５を有している。
【００１３】空気流入口１４には、ファンやコンプレッ
サなどの空気供給源１６が空気導入路１７により接続さ
れており、空気導入路１７には空気供給源１６から供給
される空気中のゴミなどの異物を除去するためのフィル
タ１８が設けられている。
サなどの空気供給源１６が空気導入路１７により接続さ
れており、空気導入路１７には空気供給源１６から供給
される空気中のゴミなどの異物を除去するためのフィル
タ１８が設けられている。
【００１４】装置本体１２には放電針２１が取り付けら
れており、この放電針２１はその先端部がヘッド１１の
貫通孔１５内に位置している。ヘッド１１には放電調整
用の絶縁部材として円筒形状のブッシュ２２が組み込ま
れており、このブッシュ２２の外周面は貫通孔１５の内
周面に嵌合して取り付けられている。ブッシュ２２の内
周面は空気導入路１７を介して空気供給源１６に連通す
る空気案内流路２３となっている。したがって、空気供
給源１６から供給された空気はブッシュ２２の一端部か
ら他端部に向けて流れることになる。
れており、この放電針２１はその先端部がヘッド１１の
貫通孔１５内に位置している。ヘッド１１には放電調整
用の絶縁部材として円筒形状のブッシュ２２が組み込ま
れており、このブッシュ２２の外周面は貫通孔１５の内
周面に嵌合して取り付けられている。ブッシュ２２の内
周面は空気導入路１７を介して空気供給源１６に連通す
る空気案内流路２３となっている。したがって、空気供
給源１６から供給された空気はブッシュ２２の一端部か
ら他端部に向けて流れることになる。
【００１５】ブッシュ２２の先端部側には円筒形状の継
手２４が嵌合されており、この継手２４はヘッド１１の
先端面から突出する突出部を有するとともに、ブッシュ
２２の空気案内流路２３に連通する連通孔２５を有して
いる。この継手２４の端部外周に形成された雄ねじ部は
ヘッド１１に形成されたねじ孔にねじ結合しており、継
手２４をヘッド１１から取り外すことができるようにな
っている。
手２４が嵌合されており、この継手２４はヘッド１１の
先端面から突出する突出部を有するとともに、ブッシュ
２２の空気案内流路２３に連通する連通孔２５を有して
いる。この継手２４の端部外周に形成された雄ねじ部は
ヘッド１１に形成されたねじ孔にねじ結合しており、継
手２４をヘッド１１から取り外すことができるようにな
っている。
【００１６】導体からなるヘッド１１と放電針２１はそ
れぞれ放電電極を構成しており、これらの放電電極には
電源ユニット２６から数ｋＶ以上の高周波電圧が供給さ
れるようになっており、これらの放電電極の間で発生す
るコロナ放電によって空気案内流路２３内を流れる空気
はイオン化されることになる。イオン化された空気は継
手２４の先端から流出することになり、この継手２４に
ホースを接続すれば、そのホースを介して所定の帯電部
位にイオン化空気を供給してその部分の除電を行うこと
ができる。
れぞれ放電電極を構成しており、これらの放電電極には
電源ユニット２６から数ｋＶ以上の高周波電圧が供給さ
れるようになっており、これらの放電電極の間で発生す
るコロナ放電によって空気案内流路２３内を流れる空気
はイオン化されることになる。イオン化された空気は継
手２４の先端から流出することになり、この継手２４に
ホースを接続すれば、そのホースを介して所定の帯電部
位にイオン化空気を供給してその部分の除電を行うこと
ができる。
【００１７】ブッシュ２２は絶縁性が高く水素を含まな
いセラミックスにより形成されている。したがって、放
電針２１とヘッド１１との間に印加される電圧によって
コロナ放電が起こると、酸素がプラズマに変化してプラ
ズマ中の活性種により絶縁材料であるブッシュ２２が改
質されても、酸素、オゾンと結合せずに、水分が生成さ
れることが防止される。ブッシュ２２の材料としては、
水素を含まない材料であって絶縁性が高いものであれ
ば、セラミックス以外の他の無機物を使用するようにし
ても良い。また、ブッシュ２２としては、吸水性がない
材料を用いることが望ましい。
いセラミックスにより形成されている。したがって、放
電針２１とヘッド１１との間に印加される電圧によって
コロナ放電が起こると、酸素がプラズマに変化してプラ
ズマ中の活性種により絶縁材料であるブッシュ２２が改
質されても、酸素、オゾンと結合せずに、水分が生成さ
れることが防止される。ブッシュ２２の材料としては、
水素を含まない材料であって絶縁性が高いものであれ
ば、セラミックス以外の他の無機物を使用するようにし
ても良い。また、ブッシュ２２としては、吸水性がない
材料を用いることが望ましい。
【００１８】一方、継手２４は耐プラズマ性材料により
形成されており、耐プラズマ性材料としては、グラファ
イトやセラミックスなどを用いることができる。したが
って、コロナ放電によって空気中の酸素がプラズマ化さ
れてプラズマ中の活性種つまりラディカルにより継手２
４の内周面がスパッタ蒸発するという現象の発生が防止
される。スパッタ蒸発により分子や原子が発生すると、
それが酸素さらにはオゾンと結合して酸化物を形成する
ことになるが、この静電気除去装置にあってはスパッタ
蒸発の発生が防止されるので、そのような酸化物の形成
が防止される。
形成されており、耐プラズマ性材料としては、グラファ
イトやセラミックスなどを用いることができる。したが
って、コロナ放電によって空気中の酸素がプラズマ化さ
れてプラズマ中の活性種つまりラディカルにより継手２
４の内周面がスパッタ蒸発するという現象の発生が防止
される。スパッタ蒸発により分子や原子が発生すると、
それが酸素さらにはオゾンと結合して酸化物を形成する
ことになるが、この静電気除去装置にあってはスパッタ
蒸発の発生が防止されるので、そのような酸化物の形成
が防止される。
【００１９】図示する継手２４は耐プラズマ性材料によ
り形成されているが、継手自体を耐プラズマ性材料によ
り形成することなく、金属などの導体からなる継手２４
の内周面に耐プラズマ性材料による表面処理層を被覆す
るようにしても良い。金属の表面に被覆する表面処理層
としては、炭化チタンTiCやDLCを用いることができる。
り形成されているが、継手自体を耐プラズマ性材料によ
り形成することなく、金属などの導体からなる継手２４
の内周面に耐プラズマ性材料による表面処理層を被覆す
るようにしても良い。金属の表面に被覆する表面処理層
としては、炭化チタンTiCやDLCを用いることができる。
【００２０】本発明は前記実施の形態に限定されるもの
ではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能で
ある。たとえば、図示する静電気除去装置はブロータイ
プであるが、ファンタイプの静電気除去装置にも同様に
して本発明を適用することができる。
ではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能で
ある。たとえば、図示する静電気除去装置はブロータイ
プであるが、ファンタイプの静電気除去装置にも同様に
して本発明を適用することができる。
【００２１】
【発明の効果】本発明によれば、コロナ放電により空気
案内流路内を流れる空気をイオン化させるときに空気中
の酸素がプラズマ化されても、放電調整用の絶縁部材が
セラミックスなどの無機物により形成されているので、
絶縁部材が改質されても水分が生成されることを防止で
きる。また、継手を耐プラズマ性の材料により形成した
り、継手の内周面に耐プラズマ性材料の正面処理層を形
成することにより、プラズマ中の活性種によるスパッタ
蒸発が防止され、さらに、酸化物の形成が防止される。
これにより、静電気除去装置の耐久性を向上させること
ができる。
案内流路内を流れる空気をイオン化させるときに空気中
の酸素がプラズマ化されても、放電調整用の絶縁部材が
セラミックスなどの無機物により形成されているので、
絶縁部材が改質されても水分が生成されることを防止で
きる。また、継手を耐プラズマ性の材料により形成した
り、継手の内周面に耐プラズマ性材料の正面処理層を形
成することにより、プラズマ中の活性種によるスパッタ
蒸発が防止され、さらに、酸化物の形成が防止される。
これにより、静電気除去装置の耐久性を向上させること
ができる。
【図１】本発明の一実施の形態である静電気除去装置を
示す概略断面図である。
示す概略断面図である。
１１ ヘッド
１２ 装置本体
１３ 雄ねじ部
１４ 空気流入口
１５ 貫通孔
１６ 空気供給源
１７ 空気導入路
１８ フィルタ
２１ 放電針
２２ ブッシュ（絶縁部材）
２３ 空気案内流路
２４ 継手
２５ 連通孔
２６ 電源ユニット
Claims (4)
- 【請求項１】 装置本体に形成された空気流入口に連通
する貫通孔が形成された導体と、 先端部を前記貫通孔内に位置させて前記装置本体に取り
付けられる放電針と、 前記空気流入口に連通する空気案内流路が形成され、前
記貫通孔の内面に取り付けられる放電調整用の絶縁部材
と、 前記導体と前記放電針に電気的に接続される電源ユニッ
トとを有し、 前記絶縁部材を絶縁性が高く水素を含まないセラミック
スなどの無機物により形成したことを特徴とする静電気
除去装置。 - 【請求項２】 請求項１記載の静電気除去装置におい
て、前記導体から突出する突出部を備え前記絶縁部材を
固定する継手を有し、当該継手をグラファイトやセラミ
ックスなどの耐プラズマ性材料により形成したことを特
徴とする静電気除去装置。 - 【請求項３】 請求項１記載の静電気除去装置におい
て、前記導体から突出する突出部を備え前記絶縁部材を
固定する継手を有し、当該継手の内周面に炭化チタンな
どの耐プラズマ性材料による表面処理層を形成したこと
を特徴とする静電気除去装置。 - 【請求項４】 請求項１〜３のいずれか１項に記載の静
電気除去装置において、前記絶縁部材は円筒形状のブッ
シュであることを特徴とする静電気除去装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002044518A JP2003243199A (ja) | 2002-02-21 | 2002-02-21 | 静電気除去装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002044518A JP2003243199A (ja) | 2002-02-21 | 2002-02-21 | 静電気除去装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003243199A true JP2003243199A (ja) | 2003-08-29 |
| JP2003243199A5 JP2003243199A5 (ja) | 2004-11-25 |
Family
ID=27783868
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002044518A Pending JP2003243199A (ja) | 2002-02-21 | 2002-02-21 | 静電気除去装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003243199A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006112020A1 (ja) * | 2005-04-15 | 2006-10-26 | Koganei Corporation | 除電装置 |
| JP2008198533A (ja) * | 2007-02-14 | 2008-08-28 | Smc Corp | イオナイザ |
| JP2009151950A (ja) * | 2007-12-18 | 2009-07-09 | Kasuga Electric Works Ltd | チューブ型除電器 |
| CN102064476A (zh) * | 2009-11-18 | 2011-05-18 | 株式会社小金井 | 离子发生器 |
| JP2017157572A (ja) * | 2017-06-05 | 2017-09-07 | 春日電機株式会社 | イオン生成装置 |
-
2002
- 2002-02-21 JP JP2002044518A patent/JP2003243199A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006112020A1 (ja) * | 2005-04-15 | 2006-10-26 | Koganei Corporation | 除電装置 |
| JP2008198533A (ja) * | 2007-02-14 | 2008-08-28 | Smc Corp | イオナイザ |
| JP2009151950A (ja) * | 2007-12-18 | 2009-07-09 | Kasuga Electric Works Ltd | チューブ型除電器 |
| JP4575948B2 (ja) * | 2007-12-18 | 2010-11-04 | 春日電機株式会社 | チューブ型除電器 |
| CN102064476A (zh) * | 2009-11-18 | 2011-05-18 | 株式会社小金井 | 离子发生器 |
| JP2017157572A (ja) * | 2017-06-05 | 2017-09-07 | 春日電機株式会社 | イオン生成装置 |
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Legal Events
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| A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20061222 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
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| A131 | Notification of reasons for refusal |
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| A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20070417 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |