JP2003243199A5 - - Google Patents
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Description
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明の静電気除去装置は、装置本体に形成された空気流入口に連通する貫通孔が形成された導体と、先端部を前記貫通孔内に位置させて前記装置本体に取り付けられる放電針と、前記空気流入口に連通する空気案内流路が形成され、前記貫通孔の内面に取り付けられる放電調整用の絶縁部材とを有し、前記絶縁部材を絶縁性が高く水素を含まないセラミックスなどの無機物により形成したことを特徴とする。
【課題を解決するための手段】
本発明の静電気除去装置は、装置本体に形成された空気流入口に連通する貫通孔が形成された導体と、先端部を前記貫通孔内に位置させて前記装置本体に取り付けられる放電針と、前記空気流入口に連通する空気案内流路が形成され、前記貫通孔の内面に取り付けられる放電調整用の絶縁部材とを有し、前記絶縁部材を絶縁性が高く水素を含まないセラミックスなどの無機物により形成したことを特徴とする。
【００１７】
ブッシュ２２は絶縁性が高く水素を含まないセラミックスにより形成されている。したがって、放電針２１とヘッド１１との間に印加される電圧によってコロナ放電が起こると、空気がプラズマに変化してプラズマ中の活性種により絶縁材料であるブッシュ２２が改質されても、酸素、オゾンと結合せずに、水分が生成されることが防止される。ブッシュ２２の材料としては、水素を含まない材料であって絶縁性が高いものであれば、セラミックス以外の他の無機物を使用するようにしても良い。また、ブッシュ２２としては、吸水性がない材料を用いることが望ましい。
ブッシュ２２は絶縁性が高く水素を含まないセラミックスにより形成されている。したがって、放電針２１とヘッド１１との間に印加される電圧によってコロナ放電が起こると、空気がプラズマに変化してプラズマ中の活性種により絶縁材料であるブッシュ２２が改質されても、酸素、オゾンと結合せずに、水分が生成されることが防止される。ブッシュ２２の材料としては、水素を含まない材料であって絶縁性が高いものであれば、セラミックス以外の他の無機物を使用するようにしても良い。また、ブッシュ２２としては、吸水性がない材料を用いることが望ましい。
【００１８】
一方、継手２４は耐プラズマ性材料により形成されており、耐プラズマ性材料としては、グラファイトやセラミックスなどを用いることができる。したがって、コロナ放電によって空気がプラズマ化されてプラズマ中の活性種つまりラディカルにより継手２４の内周面がスパッタ蒸発するという現象の発生が防止される。スパッタ蒸発により分子や原子が発生するとゴミの発生となり、それが酸素さらにはオゾンと結合して酸化物を形成することになるが、この静電気除去装置にあってはスパッタ蒸発の発生が防止されるので、そのようなゴミや酸化物の形成が防止される。
一方、継手２４は耐プラズマ性材料により形成されており、耐プラズマ性材料としては、グラファイトやセラミックスなどを用いることができる。したがって、コロナ放電によって空気がプラズマ化されてプラズマ中の活性種つまりラディカルにより継手２４の内周面がスパッタ蒸発するという現象の発生が防止される。スパッタ蒸発により分子や原子が発生するとゴミの発生となり、それが酸素さらにはオゾンと結合して酸化物を形成することになるが、この静電気除去装置にあってはスパッタ蒸発の発生が防止されるので、そのようなゴミや酸化物の形成が防止される。
【００２１】
【発明の効果】
本発明によれば、コロナ放電により空気案内流路内を流れる空気をイオン化させるときに空気がプラズマ化されても、放電調整用の絶縁部材がセラミックスなどの無機物により形成されているので、絶縁部材が改質されてもゴミや水分が生成されることを防止できる。また、継手を耐プラズマ性の材料により形成したり、継手の内周面に耐プラズマ性材料の正面処理層を形成することにより、プラズマ中の活性種によるスパッタ蒸発が防止され、さらに、ゴミや酸化物の形成が防止される。これにより、静電気除去装置の耐久性を向上させることができる。
【発明の効果】
本発明によれば、コロナ放電により空気案内流路内を流れる空気をイオン化させるときに空気がプラズマ化されても、放電調整用の絶縁部材がセラミックスなどの無機物により形成されているので、絶縁部材が改質されてもゴミや水分が生成されることを防止できる。また、継手を耐プラズマ性の材料により形成したり、継手の内周面に耐プラズマ性材料の正面処理層を形成することにより、プラズマ中の活性種によるスパッタ蒸発が防止され、さらに、ゴミや酸化物の形成が防止される。これにより、静電気除去装置の耐久性を向上させることができる。
Claims (1)
- 装置本体に形成された空気流入口に連通する貫通孔が形成された導体と、
先端部を前記貫通孔内に位置させて前記装置本体に取り付けられる放電針と、
前記空気流入口に連通する空気案内流路が形成され、前記貫通孔の内面に取り付けられる放電調整用の絶縁部材とを有し、
前記絶縁部材を絶縁性が高く水素を含まないセラミックスなどの無機物により形成したことを特徴とする静電気除去装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002044518A JP2003243199A (ja) | 2002-02-21 | 2002-02-21 | 静電気除去装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002044518A JP2003243199A (ja) | 2002-02-21 | 2002-02-21 | 静電気除去装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003243199A JP2003243199A (ja) | 2003-08-29 |
| JP2003243199A5 true JP2003243199A5 (ja) | 2004-11-25 |
Family
ID=27783868
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002044518A Pending JP2003243199A (ja) | 2002-02-21 | 2002-02-21 | 静電気除去装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003243199A (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006112020A1 (ja) * | 2005-04-15 | 2006-10-26 | Koganei Corporation | 除電装置 |
| JP4811731B2 (ja) * | 2007-02-14 | 2011-11-09 | Ｓｍｃ株式会社 | イオナイザ |
| JP4575948B2 (ja) * | 2007-12-18 | 2010-11-04 | 春日電機株式会社 | チューブ型除電器 |
| CN102064476B (zh) * | 2009-11-18 | 2013-12-18 | 株式会社小金井 | 离子发生器 |
| JP6341494B2 (ja) * | 2017-06-05 | 2018-06-13 | 春日電機株式会社 | イオン生成装置 |
-
2002
- 2002-02-21 JP JP2002044518A patent/JP2003243199A/ja active Pending
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