TWI357288B - Ionizer - Google Patents

Description

1357288 九、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明關於使用於因靜電而帶電之各種工件的靜電消 除之靜電消除器》 【先前技術】 在半導體晶圓或液晶玻璃等的各種工件之處理製程， 對因靜電而帶電之該工件的靜電消除，使用靜電消除器。 此靜電消除器是藉由對電極針施加正負的高電壓，來產生 電暈放電，將此時所產生的正負離子以空氣噴吹至工件， 來使靜電中和。 在這種的靜電消除器，上述電極針容易被塵埃等附著 而污損’會有當該污損持續進行時，則逐漸變得不易產生 電暈放電’離子的產生量逐漸減少，最終變得無法產生離 子之情況產生。因此，當電極針受到污染之際，必須進行 該電極針的清掃或交換等的維修作業，爲了儘可能地簡單 且安全地進行繁雜的維修作業，能由收容部簡單且安全地 取出上述電極針的情事極爲重要。 在日本特開2004-22 8069號公報，作爲容易進行放電 針（電極針）的保養之靜電消除器，揭示有做成將電極針 單元對本體殻可自由裝卸的結構者。該靜電消除器是在上 述本體殻設置具備有成爲離子產生室的空噴射口之噴嘴， 並且，設置搭載有對上述電極針施加高電壓用的高電壓產 生電路之印刷配線基板，由該噴嘴的後方側將上述電極針 -4 - 1357288 單元可自由裝卸於上述噴嘴的離子產生室內。藉由這種結 構’當上述電極針受到污損時，利用從噴嘴取下上述電極 針單元，可容易進行該電極真的清掃或更換等。 但，上述專利文獻所記載的靜電消除器，由於將搭載 有高電壓產生電路的印刷配線基板或連接器等的電氣性零 件或部分、與空氣通孔或配管用連接埠等的空氣相關零件 或部分全部組裝至上述本體殼，故，因上述各零件或部分 的配置或電氣絕緣用的構造等之影響，使得該本體殼的構 造變得複雜的同時，容易造成大型化，且由於需要組裝， 當裝卸上述電極針單元時，使電極針對上述高電壓產生電 路部連接或分離用之機構，該構造也複雜。 【發明內容】 〔發明所欲解決之課題〕 因此，本發明之目的在於提供一靜電消除器，其是藉 由將電極針或高電壓產生裝置等的電氣相關的零件及部分 、與噴嘴或空氣通孔及配管用連接埠等的空氣相關的零件 及部分分成不同的構件來加以設置，使得容易進行這些構 件的配置而將結構予以簡單化的同時，能夠簡單且安全地 進行電極針的裝卸之具有合理的設計構造之靜電消除器。 爲了達到上述目的，本發明之靜電消除器’是藉由將 具備離子產生用的電極針之電極針匣與具備兼作電極針收 容室的空氣噴出口之本體塊，在將上述電極針插入於該空 氣噴出口內的狀態下可自由分離地連結來構成’且將這些 -5- 1357288 • 電極針匣與本體塊連結及分離之際’對上述空氣噴出口內 ，上述電極針由該空氣噴出口的後端部側之電極針插入口 插入、脫離的靜電消除器，其特徵爲：在上述電極針匣， 設置可自由裝卸的上述電極針、與對該電極針施加高電壓 用之高電壓產生裝置，在上述本體塊，設置用來對上述空 氣噴出口供給空氣的空氣通孔、與用來將空氣配管連接於 該空氣通孔的連接埠。 # 在本發明，期望僅以使上述電極針厘在非旋轉的狀態 下朝前後方向滑動，將該電極針匣對上述本體塊進行裝卸 ，並且將上述電極針插拔於上述空氣噴出口內。 又，在本發明，理想爲在上述本體塊的前端部與電極 針匣的前端部，形成相互抵接的凸段部與凹段部，於凸段 部的位置形成上述空氣噴出口，並且於凹段部的位置形成 上述電極針》 更理想爲，上述本體塊具有設有上述空氣噴出口、空 Φ 氣通孔、連接埠之基部；及位於該基部尙且用來收容上述 電極針匣的匣收容部，在上述基部的前端部上面，形成有 向上豎立的上述凸段部，在此凸段部的前面設有上述空氣 噴出口，並且在該凸段部的後面，設有與該空氣噴出口呈 同心狀的上述電極針插入口，又，上述電極針匣具有與上 述本體塊近似的前後方向長度，在前端部下面具有適合於 上述凸段部的上述凹段部’並且在此凹段部的位置，上述 電極針呈朝前方延伸的狀態安裝，對上述本體塊，以上述 基部的上面作爲導引，朝前後方向滑動，藉此進行裝卸。 -6- 1357288 在本發明，上述電極針可自由裝卸且彈性地保持於具 有彈性的導電性電極針座，此電極針座可自由裝卸且彈性 地安裝於由上述電極針匣的外殼朝外部突出的柱狀供電端 子。 或’上述電極針插入口由入口側的大徑部與深部側的 小徑部所構成’又’上述電極針座，在基端部具有突緣狀 抵接部，該抵接部的直徑形成較上述小徑部的口徑大，當 將保持於該電極針座的電極針由上述電極針插入口插入至 空氣噴出口內時，上述抵接部抵接於上述小徑部的口緣並 卡止，用以限制該電極針座朝前方移動。 又，在本發明，具有將上述電極針匣與本體塊鎖定成 連結狀態用之鎖定構件，該鎖定構件是在上述高電壓產生 裝置被連接於電源的狀態下，限制進行鎖定解除用操作爲 佳。 更理想爲，上述電極針匣具有用來連接安裝_於電源線 的供電連接器之受電連接器，上述鎖定構件具有可自由旋 轉地支承於上述電極針匣的主軸部、藉由該主軸部的往復 旋轉來對上述本體塊卡止分離之鉤掛部、及用來旋轉操作 該主軸部之手把部，藉由使該手把部接近並配設於上述受 電連接器的連接口，當供電連接器被連接至該受電連接器 時，藉由該供電連接器，限制上述手把部朝鎖定解除方向 的旋轉。 本發明之靜電消除器，藉由於電極針匣設置電極針與 高電壓產生裝置，於本體塊設置空氣噴出口與空氣通孔及 < s 1357288 連接埠，可將電氣相關零件及部分和空氣相關的零件及部 分合理地分配成個別的構件並加以支承’其結果’可減除 上述以往的問題點’可將全體結構簡單化的同時’並能簡 單且安全地進行電極針的裝卸。 【實施方式】 圖1至圖U顯示本發明之靜電消除器的一實施形態 。此靜電消除器爲對電極針施加交流高讀壓來產生離子之 交流方式靜電消除器’由電極針匣1及本體塊2所構成， 該電極針匣1具備有離子產生用的電極針3，該本體塊2 具備有用來將藉由在上述電極針3所產生的離子加以離子 化的空氣朝工件噴射之噴嘴4。 上述本體塊2是由合成樹脂等的電氣絕緣性材料所構 成，如圖4所示，具有在該本體塊2的下半部朝前後方向 細長延伸之基部6、及區劃形成於該基部6的上方，用來 收容上述電極針匣1之匣收容部7，由側面觀看時的外觀 形狀呈前後方向長的矩形。 在上述基部6的前端部，形成有向上豎立之凸段部8 ，在該基部6的上面6a，包含此凸段部8的上面，在該基 部6的前後方向形成爲不具有凹凸之實質上平坦的面。 在上述基部6的前端面，於與上述凸段部8相對應的 位置，安裝有呈圓筒狀之空氣噴射用上述噴嘴4。此噴嘴 4具有導電性，兼作爲接地用接地電極，此噴嘴4插入於 形成在上述基部6的噴嘴安裝孔5，以卡止扣件4a固定’ -8- 1357288 並且連接於設置在本體塊2的未圖示之接地部。在上述噴 嘴4的內部，設有兼作爲電極針收容室之圓形空氣噴出口 9’並且以包圍此空氣噴出口 9的內週之方式安裝有電氣 絕緣性的套筒10。又’在上述凸段部8的後端面，用來對 上述噴嘴4的空氣噴出口 9插入分離上述電極針3的電極 針插入口 11以與該空氣噴出口 9呈同心狀地被設置著。 此電極針插入口 1 1是由入口側的大徑部1 1 a與其深部側 的小徑部1 1 b所構成。 在上述噴嘴4與電極針插入口 1 1的小徑部丨]b之間 的位置，形成有連通於上述空氣噴出口 9之空氣通孔12。 此空氣通孔12是由上述噴嘴4與電極針插入口 11之間的 位置一次朝下延伸後再朝橫向折彎而在上述基部6的內部 朝後方延伸，連通於形成在該基部6的後端部之空氣配管 用連接埠13。在此連接埠13，安裝有簡易連接式管接頭 14，僅藉由將配管插入至此管接頭14，可使該配管連接成 防止脫離狀態。 因此，當由上述配管對空氣通孔12供給壓力空氣時 ，此空氣會由上述噴嘴4的空氣噴出口 9朝工件噴射。 上述匣收容部7具有側面蓋1 6。此側面蓋1 6如圖2 及圖4所示，由覆蓋該匣收容部7的一方的側面之側壁部 分16a、覆蓋前面的前壁部分16b、及覆蓋上面的一部分 之上壁部分16c所構成’對應於此匣收容部7的另一方的 側面與後面之部分呈開放狀態。又，將上述電極針匣1載 置於上述基部6的上面6a’以此上面6a爲導引，在非旋 < S > -9- 1357288 ' 轉狀態下朝前方滑動，嵌合至前述側面蓋1 6的內部，藉 此該電極針匣1被收容於上述匣收容部7並連結於本體塊 2。當將上述電極針匣1由本體塊2分離時，進行與上述 連結時的操作相反之操作即可。 如上述，當將電極針匣1連結至本體塊2來組裝靜電 消除器時，藉由這些電極針匣1與本體塊2，使得靜電消 除器的全體形狀成爲矩形的方塊形。 # 上述電極針匣1是如圖3及圖4所示，藉由在以合成 樹脂等的電氣絕緣性材料所形成的外殼20，設置上述電極 針3、用來對該電極針3施加高電壓的高電壓產生裝置21 、安裝有此高電壓產生裝置2〗之印刷配線基板22、及用 來連接安裝於電源線23的供電連接器24之受電連接器25 所構成的。 上述外殼20，實質上形成矩形或與矩形類似之斷面形 狀的箱形，藉由使左右的皿形的外殼構件相互對齊結合來 • 形成的，具有近似於上述本體塊2的前後方向長度之前後 方向長度、與近似於上述匣收容部7的高度之高度，在該 外殼2 0的前端部下面，形成有與上述本體塊2的凸段部8 相互嵌合、相互抵接之凹段部2 6。這些凸段部8與凹段部 26’相互的高度大致相同，並且前後方向長度也大致相同 。又，該外殻20的下面20a，包含上述凹段部26的下面 ’除了安裝有後述的鎖定構件27之部分外’於該外殼20 的前後方向’形成爲不具凹凸之實質上呈平坦的面。 在上述外殼2 0，於上述凹段部2 6的縱向階差壁2 6 a -10-

1357288 ，上述電極針3經由供電端子30與電極針座3〗可自 卸地被安裝著。 上述供電端子30是藉由金屬等的導電性材料戶/ 的，如圖5及圖6所示’由前端起依次一體具有呈枯 想爲圓柱狀的電極針安裝軸部30a'在外周安裝有〇 32的密封用圓板部30b、嵌合於外殼20的上述階差！ 之安裝孔26b的嵌合軸部30c'抵接並卡止於上述外 的內面之突緣狀卡止部3 0d、及用來連接於高電壓違 置21之連接軸部30e，經由安裝於該連接軸部30e^ 式供電板3 3，電性連接於上述印刷配線基板2 2上庄 連接部22a。上述供電板33是藉由具有彈性的金屬相 爲剖面大致呈U字狀，受到上述連接軸部30e與端号 部22a彈性地夾持著。 當將上述供電端子30安裝於外殼20時，上述 30b是位於前述階差壁26a的外部前方，而上述安 3 0a由此圓板部30b的前面中央，朝前方呈同心狀 來。 上述安裝孔26b，是在外殼20之左右外殼構件 ，藉由使形成於這些外殼構件的半孔相互對齊配合 的，此時藉由將上述嵌合軸部30c嵌合夾持於這些 ，來將此嵌合軸部30c安裝於上述安裝孔26b內。 又，上述電極針座31是藉由金屬等具有導電 性的材料所形成之圓筒狀構件，具有傾斜成前端逐 之圓錐狀脫離防止部3]a，並且在後端具有朝外周 由裝 形成 :狀理 形環 I 26a 殼20 生裝 I夾子 丨端子 i形成 •連接 丨板部 :軸部 :伸出 I接縫 :形成 =孔間 :與彈 ί變細 「向突 -11 - 1357288 出的突緣狀抵接部31b，在側面具有朝該電極針座31的軸 方向延伸之縫隙，藉由此隙縫，該電極針座3 1的徑配合 電極針3及供電端子30的安裝軸部3 0a彈性且自動地被 調整。上述抵接部31b的直徑D形成較上述本體塊2的小 徑部1 1 b之口徑d大。 另外，上述電極針3具有緊密嵌合於上述電極針座31 並電性接觸之圓柱狀本體部3a、及傾斜成前端逐漸變細之 圓錐狀前端部3b，由其後端部側插入至上述電極針座3 1 ，將前端部3b卡止於該電極針座31的上述脫離防止部 31a，藉此在防止朝前方脫離之狀態下，可自由裝卸地被 保持於該電極針座31。 又，將保持上述電極針3之電極針座3〗以其抵接部 31b抵接至圓板部30b的位置爲止嵌合至上述安裝軸部 3〇a，藉此經由該電極針座31，將上述電極針3安裝於上 述供電端子30。在此情況，期望上述電極針3位於凹段部 26的領域內且前端部3b不會由外殻20更朝前方突出。 藉由此結構，使上述電極針匣1的外殼20之下面20a 抵接於上述本體塊2的基部6的上面6a，如圖4中之箭號 所示，使該電極針匣1朝前方滑動並連結至上述本體塊2 ，藉此，上述電極針3由電極針插入口 11被插入至噴嘴4 的內部，該電極針3的前端部3b位於上述空氣噴出口 9 的內部特別是套筒1 0的內部。此時，上述圓板部30b嵌 合於上述電極針插入口 1 1的大徑部1 1 a，0形環3 2將該 圓板部3 0 b的外周與大徑部Π a的內周之間加以密封。 -12-

1357288 又’電極針座3 ]的抵接部3 ] b抵接並卡止於/j lib的口緣，並且被夾持於該口緣與上述圓板部30b ，藉此，防止該電極針座31通過上述小徑部lib朝q 側移動。 當進行上述電極針3的保養時，使上述電極針匣 著基部6的上面6a朝後方滑動，由上述本體塊2取 ，因電極針3由噴嘴4朝後方被取出，所以，能夠進 電極針3的髒污除去或更換等。 上述高電壓產生裝置21被搭載於進行了印刷配 上述基板22上，經由此基板22設置於上述外殻20 部。又，在該外殼20的後端部，上述受電連接器25 連接口 25a朝該外殼20的後方進行安裝，經由基板 的印刷配線，連接於上述高電壓產生裝置2 1。 又，在上述電極針匣1的外殼20之後端部，設 來將此電極針匣1與上述本體塊2鎖定成連結狀態之 鎖定構件2 7。此鎖定構件2 7配設於接近上述受電連 25之位置，具有：以前後方向的軸線L爲中心可自 轉地被支承於上述外殼20之主軸部27a;在此主軸音 的前端以朝該主軸部的側方突出的方式形成，且藉由 軸部27a的往復旋轉，卡止脫離於上述本體塊2的卡 36之鉤掛部27b ;在該主軸部27a的後端部，與上述 部27b於軸線L的周圍保持90度差異之角度朝側力 地形成，將該主軸部27a進行旋轉操作之手把部27c . 又，如圖3及圖11所示在上述鉤掛部27b卡止 徑部 之間 I嘴4 1沿 下時 行該 線之 的內 將其 22上 :有用 上述 :接器 由旋 15 27a 該主 •止孔 :鉤掛 突出 ) .於卡 -13- <5 1357288 止孔3 6之鎖定狀態，如圖1 0所示’上述手把部2 7 c位於 受電連接器25的連接口 25a之旁邊，佔據由該連接口 25a 迴避之鎖定位置，而在如圖7及圖9所示上述鉤掛部27b 由卡止孔3 6脫離而解除鎖定之狀態’如圖7及圖8所示 ，上述手把部27c位於受電連接器25的連接口 25a之前 方’佔據覆蓋該連接口 25a的一部分之鎖定解除位置。因 此，當上述手把部27c位於上述鎖定位置時，可使供電連 接器24對受電連接器25自由地進行裝卸’而當上述手把 部27c位於上述鎖定解除位置時’無法將供電連接器24 連接於受電連接器25。 換言之，在當進行上述電極針3的保養之際’將電極 針匣I由本體塊2取下之情況，當供電連接器24被連接 於上述受電連接器25時，即高電壓產生裝置21被連接於 電源之狀態下，由於藉由上述供電連接器24限制手把部 2 7 c的旋轉操作，故，無法將位於鎖定位置之該手把部 2 7c朝鎖定解除位置旋轉。因此，可防止在對電極針3的 通電狀態下取下電極針匣〗之危險性產生，安全性極高。 但，若將上述供電連接器24由受電連接器25取下的 話，能夠使上述手把部2 7 c朝鎖定解除位置旋轉，故，可 取下電極針匣〗後，安全地進行電極針3的保養。 具有上述結構之靜電消除器是將電源線2 3的供電連 接器24連接於受電連接器25’並且將空氣配管連接於配 管用連接埠1 3來使用。當進行使用時，上述鎖定構件2 7 是由於手把部2 7 c如圖]〇所示佔據鎖定位置，故，鉤掛 -14- 1357288 部27b卡止於本體塊2的卡止孔36，將該本體塊2與電極 針匣1鎖定成連結狀態。 當在此狀態下打開電源時，則由高電壓產生裝置2 i 對電極針3施加父流商電壓，該電極針3產生電暈放電， 交互地產生正負離子。 另外’在上述噴嘴4通過空氣通孔I 2供給空氣，此 空氣由上述空氣噴出口 9噴出’而此空氣會取入由上述電 極針3所產生的離子而成爲離子化空氣，在該狀態夏朝工 件噴射。 當上述電極針3受到污染而需要進行保養時，如圖7 所示，在將上述供電連接器24由受電連接器25取下後， 藉由使上述鎖定構件27的手把部27c朝鎖定解除位置旋 轉來解除鎖定，再如圖4所示，使電極針匣1朝後方滑動 ，由本體塊2取下，進行電極針3的清掃或更換。在爲了 進行該清掃或更換而取下上述電極針3之情況時，如圖5 及圖6所示，將電極針座31由供電端子30的電極針安裝 軸部30a抽出，由此電極針座31抽出電極針3即可。 在此情況，由於上述電極針座3 1具有彈性並且具有 軸方向之隙縫，故，容易進行上述電極針3的裝卸或對安 裝軸部30a之裝卸。 如此，具有上述結構之靜電消除器，藉由在電極針匣 1設置電極針3、高電壓產生裝置21及受電連接器25，在 本體塊2設置空氣噴出口 9及連接埠1 3，可將電氣相關零 件及部分和空氣相關的零件及部分合理地分配成個別的構 < S> -15- 1357288 件並加以支承，其結果，可將全體結構予以簡單化的同時 ，能夠簡單且安全地進行電極針匣1與本體塊2之裝卸。 並且，由於藉由鎖定構件27能夠安全地進行電極針匣1 與本體塊2之分離，故，具有電極針3進行保養時之安全 性。 再者，上述實施形態爲交流式靜電消除器，但，本發 明亦適用於直流式靜電消除器。在此情況，正負兩個電極 針3被保持於上述電極針匣1，而這些電極針3被收容於 本體塊2的空氣噴出口 9。 又，在圖示之實施形態’噴嘴4具有導電性且兼作爲 接地電極，但’亦可藉由合成樹脂等的非導電性材料形成 此噴嘴4，而另外設置接地電極。例如圖12所示，使導電 性的接地電極37保持於由合成樹脂所構成之圓筒狀噴嘴4 。在此情況，該接地電極3 7期望爲圓筒狀，但，並非— 定需要剖面呈完全的圓形，亦可爲在側面具有軸線方向的 隙縫之剖面呈C字形者，或亦可如圖示般，將複數個（例 如2至4個）剖面形狀呈圓弧狀或類似圓弧狀的接地電極 3 7 ’在相互間存在有間隙的狀態下排列成大致圓筒狀並加 以保持。 上述各接地電極37能夠安裝於上述噴嘴4的內周或 外周或厚壁內。將此接地電極3 7如圖]2所示安裝於噴嘴 4的內周之1b況時’爲了迴避與電極針3之接觸，亦可沿 者此接地電極37的內周’因應需要安裝電氣絕緣型套筒 S). -16- 1357288 再者’圖中的符號3爲電極針，9爲空氣噴出口，31 爲電極針座。 【圖式簡單說明】 圖1是顯示本發明的靜電消除器之一實施形態的側面 圖。 圖2是圖1的靜電消除器之後面圖。 φ 圖3是圖1的縱斷側面圖。 圖4是上述靜電消除器之電極針匣與本體塊分離的狀 態之側面圖。 圖5是取下電極針的狀態之電極針匣的部分側面圖。 圖6是將電極針的安裝關連之零件予以分解並顯示的 電極針匣之部分側面圖。 圖7是圖1的局部放大斷面圖，顯示與圖3不同的動 作狀態之圖。 # 圖8是靜電消除器的後面圖，顯示與圖2不同的動作 狀態之圖。 圖9是顯示在圖8的動作狀態下之內部構造的局部斷 面圖。 圖10是連接有供電連接器的狀態下之靜電消除器的 後面圖。 圖11是顯示圖10的動作狀態下的內部構造之局部斷 面圖。 圖12是顯示噴嘴的其他構成例之斷面圖。 < S > -17- 1357288 元件符號說明】 電極針匣 —itr^ BJSb i4±3 本體塊 電極針 :本體部 :前端部 噴嘴 :卡止扣件 噴嘴安裝孔 基部 :上面 匣收容部 凸段部 空氣噴出口 =套筒 :電極針插入口 a :大徑部 b :小徑部 :空氣通孔 :連接埠 :管接頭 :側面蓋 a :側壁部分 -18 - 1357288 =前壁部分 :上壁部分 外殼 :下面 高電壓產生裝置 基板 :端子連接部 電源線 供電連接器 受電連接器 凹段部 :階差壁 :安裝孔 鎖定構件 :主軸部 :鉤掛部 :手把部 供電端子 :安裝軸部 :圓板部 :嵌合軸部 :卡止部 :連接軸部 電極針座 -19- 1357288 3 1 a :脫離防止部 3 1 b :抵接部 3 2 : 0形環 3 3 :供電板 3 6 :卡止孔 3 7 :接地電極

Claims (1)

1357288 十、申請專利範圍 1. 一種靜電消除器，是藉由將具備離子產生用的電 極針之電極針匣與具備兼作電極針收容室的空氣噴出口之 本體塊，在將上述電極針插入於該空氣噴出口內的狀態下 可自由分離地連結來構成，且將這些電極針匣與本體塊連 結及分離之際，對上述空氣噴出口內，上述電極針由該空 氣噴出口的後端部側之電極針插入口插入、脫離的靜電消 除器，其特徵爲： 在上述電極針匣，設置可自由裝卸的上述電極針、與 對該電極針施加高電壓用之高電壓產生裝置， 在上述本體塊，設置用來對上述空氣噴出口供給空氣 的空氣通孔、與用來將空氣配管連接於該空氣通孔的連接 填。 2 ·如申請專利範圍第1項之靜電消除器，其中，僅 以使上述電極針匣在非旋轉的狀態下朝前後方向滑動，將 該電極針匣對上述本體塊進行裝卸，並且將上述電極針插 拔於上述空氣噴出口內。 3.如申請專利範圍第1或2項之靜電消除器，其中 ’在上述本體塊的前端部與電極針匣的前端部，形成有進 行連結時相互抵接的凸段部與凹段部，於凸段部的位置形 成上述空氣噴出口，並且於凹段部的位置形成上述電極針 〇 4 ·如申請專利範圍第3項之靜電消除器，其中，上 述本體塊具有：設有上述空氣噴出口、空氣通孔、連接埠 < S )· -21 - 1357288 - 之基部；及位於該基部上且用來收容上述電極針匣的匣收 容部， 在上述基部的前端部上面，形成有向上豎立的上述凸 段部，在此凸段部的前面設有上述空氣噴出口，並且在該 凸段部的後面，設有與該空氣噴出口呈同心狀的上述電極 針插入口， 又’上述電極針匣具有與上述本體塊近似的前後方向 φ 長度’在前端部下面具有適合於上述凸段部的上述凹段部 ，並且在此凹段部的位置，上述電極針呈朝前方延伸的狀 態安裝，藉由對上述本體塊，以上述基部的上面作爲導引 ，朝前後方向滑動，來進行裝卸。 5.如申請專利範圍第1或2項之靜電消除器，其中 ，上述電極針可自由裝卸且彈性地保持於具有彈性的導電 性電極針座，此電極針座可自由裝卸且彈性地安裝於由上 述電極針匣的外殻朝外部突出的柱狀供電端子。 # 6.如申請專利範圍第5項之靜電消除器，其中，上 述電極針插入口由入口側的大徑部與深部側的小徑部所構 成，又，上述電極針座，在基端部具有突緣狀抵接部，該 抵接部的直徑形成較上述小徑部的口徑大’當將保持於該 電極針座的電極針由上述電極針插入口插入至空氣噴出口 內時，上述抵接部抵接於上述小徑部的口緣並卡止’用以 限制該電極針座朝前方移動。 7.如申請專利範圍第1或2項之靜電消除器’其中 ，具有將上述電極針匣與本體塊鎖定成連結狀態用之鎖定 -22- 1357288 構件，該鎖定構件是在上述高電壓產生裝置被連接於電源 的狀態下，限制進行鎖定解除用操作。 8.如申請專利範圍第7項之靜電消除器，其中，上 述電極針匣具有用來連接安裝於電源線的供電連接器之受 電連接器， 上述鎖定構件具有可自由旋轉地支承於上述電極針匣 的主軸部、藉由該主軸部的往復旋轉來對上述本體塊卡止 分離之鉤掛部、及用來旋轉操作該主軸部之手把部， 藉由使該手把部接近並配設於上述受電連接器的連接 口，當供電連接器被連接至該受電連接器時，藉由該供電 連接器，限制上述手把部朝鎖定解除方向的旋轉。

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