TWI284444B - Ionizer - Google Patents
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Description
1284444 (1) 九、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明,是有關離子產生器,可對於帶電有正極性或 是負極性電荷的各種帶電物,例如半導體關連的除電對象 物進行除電。 【先前技術】 • 習知的離子產生器,其使除電對象物的帶電量接近零 . 用的手段,已知是對於電極針外加來自高電壓發生部的直 流高電壓或是交流高電壓進行電暈放電,藉由該電極針輸 出正或是負極性的離子,利用空氣流將此離子吹附至帶電 體。 且,爲了此離子產生器的使用方便,已知具備在內部 可收容高壓電源元件及控制元件之筒狀的殻,且沿著該殼 的長度方向並列配設複數具有電暈放電用的電極針的電極 • 元件(例如,專利文獻1參照)。 如上述將離子產生器收容於筒狀的殼的結構的情況, 因爲需要讓空氣流流動於電極針的周圍,將所發生的離子 朝帶電體的方向流動,所以將來自供發生其空氣流用的供 給源的空氣流路,開設於電極針的周圍,因此,一般是如 上述專利文獻1,藉由將在空氣流路中供支撐電極針用的 部分作爲套筒等形成的相互接合在上下的扁平板狀的流路 形成構件的接合而形成空氣流路。 但是,這種情況,因爲藉由接合面積比較大的上下的 -5- (2) 1284444 ^ 板狀的流路形成構件形成空氣流路,所以供給至內部的空 氣壓力會使分別作用於流路形成構件的力量成爲非常大, 若未充分地提高接合強度的話,就不耐內部的空氣壓力, 結果就有:需使流路形成構件高強度且大型化形成,或需 降低供給空氣壓力等之限制。 且,上述流路形成構件因爲是與筒狀的殼分開形成, 所以需要經過筒狀殼的一部分與外部連通,如此,需要進 φ 行管連接等的煩雜的組裝作業。 〔專利文獻1〕日本特開2002-260821號公報 【發明內容】 (本發明所欲解決的課題) 本發明的技術地課題,是提供一種離子產生器,將離 子產生器的筒狀殼內的空氣流路,形成可確保有効剖面積 且体積不大且具有耐壓性,而可簡單容易確保流路。 (用以解決課題的手段) 供解決上述課題用的本發明的離子產生器,是具備筒 狀的殻,在該筒狀的殼的內部收容有高壓電源元件及控制 元件,沿著該殼的長度方向並列配設有複數電極元件,該 電極元件,具有電暈放電用的電極針及朝其周圍噴出空氣 流的空氣吹出口,其特徵爲:使上述筒狀的殼的全部或是 沿著長度方向的一部分由合成樹脂形成,在由該合成樹脂 構成的樹脂殻一體形成有將該殼的內壁的一部分作爲流路 -6 - 1284444 , (3) 、 筒壁且朝該殼的長度方向延伸之空氣流路的流路筒,且使 該空氣流路與上述空氣吹出口連通。 在本發明的離子產生器的較佳實施例,是在供保持上 述高壓電源元件及控制元件用的殼底板上,在可蓋住那些 元件的形態下被覆著一體形成有上述空氣流路的流路筒之 樹脂殼,在該情況下,上述樹脂殼中的空氣流路可沿著外 壁面呈扁平狀一體形成,由此可以增大空氣流路的剖面積 # 來擴大殼內的空間。 . 且,在本發明的離子產生器的其他的較佳實施例,是 使由合成樹脂構成的殼形成供保持上述高壓電源元件及控 制元件用的殼底板,由保護蓋被覆那些高壓電源元件及控 制元件,將上述空氣流路的流路筒一體形成於上述底板。 在本發明的上述實施例,是在供關閉上述樹脂殼的端 部用的端板,開設有與該樹脂殼內的空氣流路直接連通的 空氣供給口。 • 在本發明的離子產生器的其他的較佳實施例,是上述 電極元件,具備一對的相面對配置的第1及第2電極針, 該第1及第2電極針是個別被外加正及負的高電壓,上述 控制元件,可進行切換控制成爲:對於上述第1電極針外 加正的高電壓且第2電極針接地的通電狀態、上述第1電 極針接地且對於上述第2電極針外加負的高電壓的通電狀 態。 具有上述結構的本發明的離子產生器,因爲是具備筒 狀的殻,在該筒狀的殼的內部收容有高壓電源元件及控制 (4) 1284444 _ 元件,沿著該殼的長度方向並列配設有複數電極元件,該 電極元件,具有電暈放電用的電極針及朝其周圍噴出空氣 流的空氣吹出□,其特徵爲:使上述筒狀的殻的全部或是 沿著長度方向的一部分由合成樹脂形成,在由該合成樹脂 構成的樹脂殼一體形成有將該殻的內壁的一部分作爲流路 筒壁且朝該殼的長度方向延伸之空氣流路的流路筒,且使 該空氣流路與上述空氣吹出口連通,所以與將該空氣流路 φ 的形成構件藉由一對的板狀的流路形成構件接合形成的情 . 況相比,可以形成對於耐壓性非常優秀者。 具有上述結構的本發明的離子產生器,因爲是沿著筒 狀的殼的長度方向並列配設有複數電極元件,該電極元件 ,具有電暈放電用的電極針及朝其周圍噴出空氣流的空氣 吹出口,其中,使上述筒狀的殻的全部或是沿著長度方向 的一部分由合成樹脂形成,在由該合成樹脂構成的樹脂殼 一體形成有將該殻的內壁的一部分作爲流路筒壁且朝該殻 # 的長度方向延伸之空氣流路的流路筒,所以與將該空氣流 路的形成構件藉由一對的板狀的流路形成構件接合形成的 情況相比,可以形成對於耐壓性非常優秀者。 且,因爲在供關閉上述樹脂殻的端部用的端板,開設 有與該樹脂殼內的空氣流路直接連通的空氣供給口,使上 述空氣流路可與壓縮空氣的供給源連接,所以壓縮空氣的 供給系的結構被簡單化。 (發明之效果) -8- (5) 1284444 依據以上詳述的本發明的離子產生器,能將筒狀殼內 的空氣流路,形成可確保有効剖面積且体積不大且具有耐 壓性,而可簡單容易確保流路。 【實施方式】 第1圖,顯示本發明的離子產生器的第1實施例的整 體的結構,第2圖中顯示其要部剖面。 # 此離子產生器,是沿著搬運線與被移送的除電對象物 - 等相面對配置使用,在長橫設置的筒狀的殻1的內部收容 有高壓電源元件2及控制元件3,並且在該殼1的一側( 下側),沿著該殼的長度方向並列配設複數電極元件4, 該電極元件4是具有電暈放電用的電極針5a、5b及朝其 周圍噴出空氣流用的空氣吹出口 6。 本發明的離子產生器,是使上述筒狀的殼1的全部或 是沿著長度方向形成一部分由合成樹脂形成,但是在此第 • 1實施例中,是在保持上述高壓電源元件2及控制元件3 用的殻底板11上,被覆供蓋住那些的元件2、3的樹脂殻 12,構成上述筒狀的殼1。底板11是由合成樹脂或是其 他的素材構成也可以。 上述樹脂殻12,是由合成樹脂一體形成:蓋住高壓 電源元件2及控制元件3用的蓋部1 2a、及將內壁的一部 分流路作爲筒壁並在內部形成朝該殻1的長度方向延伸的 空氣流路15之流路筒12b,且將該蓋部12a的兩腳部固 定於殼底板1 1的側緣。 -9 - (6) 1284444 . 且,在上述樹脂殻1 2中具備供封閉其端部用的端板 1 3,此端板1 3,是至少藉由密封構件的挾固來氣密地密 封該樹脂殻12內的空氣流路15的周圍並與該樹脂殼12 連結,在該端板1 3開設有與該空氣流路1 5直接連通的空 氣供給口 1 4。 上述樹脂殼12的流路筒12b,是分岐其空氣流路15 並使各電極元件4連通的複數分岐管16,對應於電極元 • 件4的配設間隔設置。此分岐管1 6,雖是圖示與上述流 • 路筒12b —體形成,但是與流路筒12b分開形成,再由接 合等的手段固定於該流路筒1 2b的外面,由此可單純化樹 脂殼1 2的形狀就容易成形。 而且,上述分岐管1 6,是經過省略圖示的貫通高壓 電源元件2或是控制元件3的流路,或者是回避那些的元 件2、3的流路,與朝各電極元件4的電極針5a、5b的周 圍噴出空氣流之空氣吹出口 6連通。設置這種空氣吹出口 • 6的話,可以將生成於一對的電極針5a、5b間的離子利 用空氣流送出至除電對象物的附近,就可高能率地進行除 電。 上述電極元件4,是在貫通殼底板11且並列配設複 數由絕緣材料構成的保持筒18的狀態下朝下面突出,在 該保持筒1 8內,相面對配置有個別被外加正及負的高電 壓的一對的第1及第2電極針5a、5b,將由前述高壓電 源元件2所發生的供電暈放電用的正或是負的高電壓’藉 由前述控制元件3的後述的控制外加於其電極針5 a、5 b -10- (7) 1284444 上述高壓電源元件2,因爲是對於電極針5a、5b外 加電暈放電用的高電壓,所以具備供發生其高電壓用的要 素,且,上述控制元件3,是除了進行此離子產生器的整 體地的動作控制及動作狀態的顯示之外,也對於朝電極針 的電壓外加進行切換控制成爲:對於上述第1電極針5 a 外加正的高電壓且第2電極針5b接地的通電狀態、及上 • 述第1電極針5a接地且對於上述第2電極針5b外加負的 . 高電壓的通電狀態。 如此,相面對配置一對的電極針5a、5b,對於一方 的電極針外加高電壓時另一方的電極針接地的話,就不需 要設置通常的離子產生器所使用的供接地用的接地托板, 並可效率地生成正負的離子,進行除電。 又,上述電極元件4,是不限於將上述第1及第2電 極針5a、5b相面對配置者,也可以利用已知的各種電極 • 針,該情況,當然控制元件3的朝電極針的通電控制,也 與上述相異,需要適合於該當電極針的控制態樣。 具有上述結構的離子產生器,因爲是由沿著筒狀的殻 1的長度方向並列配設複數具有電暈放電用的電極針5a、 5b及朝其周圍噴出空氣流的空氣吹出口 6之電極元件4 所構成,在沿著上述筒狀的殻1的長度方向設置的樹脂殻 1 2,一體形成有將內壁的一部分作爲流路筒壁且朝該樹脂 殻1 2的長度方向延伸的空氣流路1 5的流路筒1 2b,所以 藉由一對的板狀的流路形成構件的接合來形成該空氣流路 -11 - (8) 1284444 - 的形成構件之情況相比,可以非常高強度地形成。 且,在供封閉樹脂殻1 2的端部用的端板1 3,藉由開 設與該樹脂殻1 2內的空氣流路直接連通的空氣供給口 1 4 ’因爲上述空氣流路可與壓縮空氣的供給源連接,所以壓 縮空氣的供給系的結構被簡單化。 又,此端板1 3,是封閉樹脂殻1 2內的細長空氣流路 的端部用,空氣流路內的空氣壓力所作用的面積因爲非常 # 小’所以即使與樹脂殼1 2接合,也不會受到空氣壓力所 . 產生的大的力量的影響。 第3圖及第4圖,是顯示本發明的離子產生器的第2 及第3實施例中的只有樹脂殻的剖面形狀。 第3圖的第2實施例,是與上述第1實施例的情況同 樣,將形成筒狀的殻1用的合成樹脂製的樹脂殻22中的 空氣流路25,沿著外壁面呈扁平狀一體形成,由此可以 增大空氣流路25的剖面積且可擴大筒狀的殻1內的空間 # 。又,圖中26是顯示分岐管。 且,如第4圖所示的第3實施例,是同樣地優先擴大 樹脂殼3 2中的空氣流路3 5的剖面積,而有利於分岐管 3 6數量多的情況等。 又,上述第2及第3實施例的其他的結構及作用是因 爲與第1實施例的情況相同,所以省略那些的圖示及說明 〇 進一步,第5圖是顯示本發明的離子產生器的第4實 施例,將供保持上述高壓電源元件2及控制元件3用的殻 -12- (9) 1284444 底板41由合成樹脂構成的殻形成,藉由保護蓋42被覆那 些的高壓電源元件2及控制元件3,在上述底板4 1內, 一體形成有流路筒,該流路筒是形成將其內壁的一部分作 爲流路筒壁用的空氣流路4 5,使該空氣流路4 5,與朝電 極元件4中的電極針5a、5b的周圍噴出空氣流用的空氣 吹出口 46連通。 上述電極元件4,是貫通殼底板41內的空氣流路45 ,在並列配設複數由絕緣材料構成的保持筒48的狀態下 朝該殼底板41的下面突出,在該保持筒48內相面對配置 前述一對的電極針5a、5b,並且在該保持筒48開設有從 空氣流路45朝電極針5a、5b的周圍噴出空氣流用的空氣 吹出口 4 ό。 又,此第4實施例的其他的結構及作用是與第1實施 例相同。 【圖式簡單說明】 〔第1圖〕顯示本發明的離子產生器的第1實施例的 意示圖。 〔第2圖〕上述第1實施例的要部擴大剖面圖。 〔第3圖〕本發明的離子產生器的第2實施例的樹脂 殼的擴大剖面圖。 〔第4圖〕同第3實施例的樹脂殻的擴大剖面圖。 〔第5圖〕本發明的離子產生器的第4實施例的要部 擴大剖面圖。 -13- (10) 1284444 【主要元件符號說明】 1 :殼 2 :高壓電源元件 3 :控制元件 4 :電極元件 5 a :電極針 φ 5 b :電極針 , 6 :空氣吹出口 1 1 :殼底板 1 2 :樹脂殼 12a :蓋部 12b :流路筒 13 :端板 1 4 :空氣供給口 # 1 5 :空氣流路 16 :分岐管 1 8 :保持筒 22 :樹脂殼 25 :空氣流路 32 :樹脂殼 3 5 :空氣流路 36 :分岐管 41 :殻底板 -14- (11) (11)1284444
42 :保護蓋 4 5 :空氣流路 46 :空氣吹出口 4 8 :保持筒 •15-
Claims (1)
1284444 (1) 十、申請專利範圍 1· 一種離子產生器,具備筒狀的殼,在該筒狀的殻的 內部收容有高壓電源元件及控制元件,沿著該殼的長度方 向並列配設有複數電極元件,該電極元件,具有電暈放電 用的電極針及朝其周圔噴出空氣流的空氣吹出口,其特徵 爲··使上述筒狀的殼的全部或是沿著長度方向的一部分由 合成樹脂形成,在由該合成樹脂構成的樹脂殼一體形成有 將該殼的內壁的一部分作爲流路筒壁且朝該殼的長度方向 延伸之空氣流路的流路筒,且使該空氣流路與上述空氣吹 出口連通。 2 ·如申請專利範圍第1項的離子產生器,其中,在供 保持上述高壓電源元件及控制元件用的殼底板上,在可蓋 住那些元件的形態下被覆著一體形成有上述空氣流路的流 路筒之樹脂殼。 3 ·如申請專利範圍第2項的離子產生器,其中,在蓋 住上述高壓電源元件及控制元件的樹脂殼內,一體形成有 上述空氣流路,該空氣流路是沿著可蓋住上述兩元件的外 壁面形成扁平狀。 4·如申請專利範圍第1項的離子產生器,其中,使由 合成樹脂構成的殼形成供保持上述高壓電源元件及控制元 件用的殼底板,由保護蓋被覆那些高壓電源元件及控制元 件,將上述空氣流路的流路筒一體形成於上述底板。 5 ·如申請專利範圍第1、2、3或4項的離子產生器, 其中,在供關閉上述樹脂殻的端部用的端板,開設有與該 -16- (2) (2)1284444 樹脂殼內的@氣流路直接連通的空氣供給口。 6.如申請專利範圍第1、2、3或4項的離子產生器, 其中,上述®極元件,是具備一對的相面對配置的第1及 第2電極針’該第1及第2電極針是個別被外加正及負的 高電壓,上述控制元件,可進行切換控制成爲:對於上述 第1電極針外加正的高電壓且第2電極針接地的通電狀態 、上述第1電極針接地且對於上述第2電極針外加負的高 電壓的通電狀態。
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004346988A JP4345060B2 (ja) | 2004-11-30 | 2004-11-30 | イオナイザー |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
TW200633335A TW200633335A (en) | 2006-09-16 |
TWI284444B true TWI284444B (en) | 2007-07-21 |
Family
ID=36371613
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
TW094137915A TWI284444B (en) | 2004-11-30 | 2005-10-28 | Ionizer |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7391598B2 (zh) |
JP (1) | JP4345060B2 (zh) |
KR (1) | KR100751269B1 (zh) |
CN (1) | CN1783607B (zh) |
DE (1) | DE102005056595B4 (zh) |
TW (1) | TWI284444B (zh) |
Families Citing this family (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20060201541A1 (en) * | 2005-03-11 | 2006-09-14 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Cleaning-drying apparatus and cleaning-drying method |
JP4860433B2 (ja) * | 2006-09-29 | 2012-01-25 | パナソニック電工Sunx株式会社 | 除電装置 |
JP4910214B2 (ja) | 2006-10-31 | 2012-04-04 | Smc株式会社 | イオナイザ |
US7497898B2 (en) * | 2006-10-31 | 2009-03-03 | Smc Corporation | Ionizer |
JP4811731B2 (ja) * | 2007-02-14 | 2011-11-09 | Smc株式会社 | イオナイザ |
JP5240706B2 (ja) * | 2008-01-15 | 2013-07-17 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | バー型イオン発生器及び除電器 |
US8564924B1 (en) | 2008-10-14 | 2013-10-22 | Global Plasma Solutions, Llc | Systems and methods of air treatment using bipolar ionization |
FR2944263B1 (fr) | 2009-04-08 | 2015-07-24 | Bio Rad Pasteur | Dispositif de remplissage de cartes gel comportant un ioniseur |
JP5479780B2 (ja) * | 2009-05-29 | 2014-04-23 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 除電装置及び静電気除去システム |
CN102143644A (zh) * | 2010-12-29 | 2011-08-03 | 东莞市科园防静电设备有限公司 | 一种交流电晕放电式除静电设备 |
JP5654400B2 (ja) * | 2011-03-28 | 2015-01-14 | パナソニック デバイスSunx株式会社 | 除電装置 |
US9847623B2 (en) | 2014-12-24 | 2017-12-19 | Plasma Air International, Inc | Ion generating device enclosure |
JP6217675B2 (ja) * | 2015-03-13 | 2017-10-25 | トヨタ自動車株式会社 | 車両 |
US9660425B1 (en) | 2015-12-30 | 2017-05-23 | Plasma Air International, Inc | Ion generator device support |
JP2019044952A (ja) * | 2017-08-30 | 2019-03-22 | Smc株式会社 | エアシリンダ用流体回路およびその設計方法 |
JPWO2019049434A1 (ja) * | 2017-09-07 | 2020-08-20 | Smc株式会社 | エアシリンダ用流体回路 |
DE102020215523B4 (de) | 2020-12-09 | 2023-12-21 | Metallux Ag | Elektrodenanordnung, Ionisationsvorrichtung und Verfahren zur Herstellung einer Elektrodenanordnung |
USD1041635S1 (en) * | 2021-06-30 | 2024-09-10 | Meech Static Eliminators Limited | Ionising bar |
DE102021117682B3 (de) | 2021-07-08 | 2022-09-08 | Kist + Escherich GmbH | Vorrichtung und Verfahren sowie deren Verwendung zur Ionisation gasförmiger Medien |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2492212A1 (fr) * | 1980-10-14 | 1982-04-16 | Onera (Off Nat Aerospatiale) | Procede et dispositifs pour transferer des charges electriques de signes differents dans une zone d'espace et application aux eliminateurs d'electricite statique |
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JPH077316B2 (ja) * | 1991-06-10 | 1995-01-30 | 松下電器産業株式会社 | システム再起動装置 |
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KR20010057476A (ko) * | 1999-12-23 | 2001-07-04 | 박종섭 | 반도체장치 제조방법 |
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-
2004
- 2004-11-30 JP JP2004346988A patent/JP4345060B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2005
- 2005-10-28 TW TW094137915A patent/TWI284444B/zh active
- 2005-11-23 KR KR1020050112450A patent/KR100751269B1/ko active IP Right Grant
- 2005-11-25 DE DE102005056595A patent/DE102005056595B4/de active Active
- 2005-11-29 US US11/288,110 patent/US7391598B2/en active Active
- 2005-11-29 CN CN2005101270441A patent/CN1783607B/zh active Active
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Publication number | Publication date |
---|---|
DE102005056595A1 (de) | 2006-06-01 |
JP2006156219A (ja) | 2006-06-15 |
US7391598B2 (en) | 2008-06-24 |
JP4345060B2 (ja) | 2009-10-14 |
KR20060060571A (ko) | 2006-06-05 |
TW200633335A (en) | 2006-09-16 |
US20060114636A1 (en) | 2006-06-01 |
KR100751269B1 (ko) | 2007-08-23 |
DE102005056595B4 (de) | 2012-05-31 |
CN1783607A (zh) | 2006-06-07 |
CN1783607B (zh) | 2011-07-20 |
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