JP7433719B2 - 加工装置 - Google Patents
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- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 161
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims description 115
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims description 76
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims description 76
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 10
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 6
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 33
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 33
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 15
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 12
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 description 9
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 7
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 6
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 description 5
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 5
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 4
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 4
- 230000006870 function Effects 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005421 electrostatic potential Methods 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N iron(III) oxide Inorganic materials O=[Fe]O[Fe]=O JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
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- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
- Dicing (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
- Elimination Of Static Electricity (AREA)
Description
4a,4b,4d:開口、4c:支持体
6a:カセットエレベータ、6b:カセット
10:テーブルカバー、12:蛇腹状カバー
14:チャックテーブル、14a:保持面
20:第1のイオン噴射部、22:筐体、22a:開口
24a,24b:噴射口
26a,26b:針電極
28a,28b:直流電源
30a,30b:スイッチ
32:第1の金属板、32a:一面、32b:他面、34:開口
36:CPM(チャージプレートモニタ)
40:加工ユニット移動機構
42:Y軸ガイドレール、44:Y軸移動プレート
46:Y軸ボールネジ、48:Y軸パルスモータ
50:Z軸ガイドレール、52:Z軸移動プレート
54:Z軸ボールネジ、56:Z軸パルスモータ
58:切削ユニット、60:カメラユニット
62:洗浄ユニット、64:スピンナテーブル、66:ノズル
70:第2のイオン噴射部、72:筐体
74a,74b:噴射口
76a,76b:針電極
80:第2の金属板、82:開口
90:制御ユニット
92,94,96,98,100,102,104,106,108,110,112,114,116,118:第1の金属部材
92a,94a,96a,98a,100a,102a,104a,106a,108a,110c,112a:開口
110a,110b:金属棒
112b:切り欠き
11:被加工物、13:粘着テープ、15:フレーム、17:被加工物ユニット
21:エア、21a:イオン化されたエア
Claims (1)
- 被加工物を保持するチャックテーブルと、
該チャックテーブルで保持された該被加工物を加工する加工ユニットと、
該被加工物を保持するスピンナテーブルを含み、該スピンナテーブルで保持された該被加工物を洗浄する洗浄ユニットと、
該被加工物を該チャックテーブルへ搬送するときの該チャックテーブルの位置に隣接して設けられ、針電極を有し、イオン化されたエアを噴射口から該チャックテーブルへ噴射して該被加工物の帯電を緩和する第1のイオン噴射部と、該スピンナテーブルに隣接して設けられ、針電極を有し、イオン化されたエアを噴射口から該スピンナテーブルへ噴射して該被加工物の帯電を緩和する第2のイオン噴射部と、を有するイオン噴射ユニットと、
該第1のイオン噴射部の噴射口と該チャックテーブルとの間に配置され、該第1のイオン噴射部の噴射口から噴射されたイオン化されたエアの少なくとも一部が当たる第1の金属部材と、該第2のイオン噴射部の噴射口と該スピンナテーブルとの間に配置され、該第2のイオン噴射部の噴射口から噴射されたイオン化されたエアの少なくとも一部が当たる第2の金属部材と、を有する金属部材と、
該金属部材の電位を測定することにより、イオン化されたエアにおけるプラスイオンとマイナスイオンとのイオンバランスを検知するイオンバランス検知ユニットと、を備え、
該第1の金属部材及び該第2の金属部材の各々は、一面から、該一面の反対側に位置する他面まで貫通する開口部が形成された金属板であり、
該第1のイオン噴射部から噴射されるイオン化されたエアの一部は、該第1の金属部材の開口部を通過し、
該第2のイオン噴射部から噴射されるイオン化されたエアの一部は、該第2の金属部材の開口部を通過することを特徴とする加工装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020070790A JP7433719B2 (ja) | 2020-04-10 | 2020-04-10 | 加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020070790A JP7433719B2 (ja) | 2020-04-10 | 2020-04-10 | 加工装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021168251A JP2021168251A (ja) | 2021-10-21 |
JP7433719B2 true JP7433719B2 (ja) | 2024-02-20 |
Family
ID=78079659
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020070790A Active JP7433719B2 (ja) | 2020-04-10 | 2020-04-10 | 加工装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7433719B2 (ja) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002066865A (ja) | 2000-09-01 | 2002-03-05 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
JP2007149419A (ja) | 2005-11-25 | 2007-06-14 | Smc Corp | イオンバランス調整方法及びそれを用いたワークの除電方法 |
JP2010257756A (ja) | 2009-04-24 | 2010-11-11 | Midori Anzen Co Ltd | 除電装置 |
JP2012049359A (ja) | 2010-08-27 | 2012-03-08 | Disco Abrasive Syst Ltd | ダイシング加工装置 |
JP2013257952A (ja) | 2012-06-11 | 2013-12-26 | Sharp Corp | 除電装置 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02267880A (ja) * | 1989-04-07 | 1990-11-01 | Hiyuuguru Electron Kk | イオン化エアー送風機 |
-
2020
- 2020-04-10 JP JP2020070790A patent/JP7433719B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002066865A (ja) | 2000-09-01 | 2002-03-05 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
JP2007149419A (ja) | 2005-11-25 | 2007-06-14 | Smc Corp | イオンバランス調整方法及びそれを用いたワークの除電方法 |
JP2010257756A (ja) | 2009-04-24 | 2010-11-11 | Midori Anzen Co Ltd | 除電装置 |
JP2012049359A (ja) | 2010-08-27 | 2012-03-08 | Disco Abrasive Syst Ltd | ダイシング加工装置 |
JP2013257952A (ja) | 2012-06-11 | 2013-12-26 | Sharp Corp | 除電装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2021168251A (ja) | 2021-10-21 |
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