JP2017208460A - 洗浄装置及び洗浄方法 - Google Patents
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Abstract
Description
18 チャックテーブル
24 レーザービーム照射ユニット
28 集光器
30 保護膜被覆装置を兼用する洗浄装置
48 スピンナテーブル
59 チャンバー
64 排水路
65 測定部
67 判定部
Claims (3)
- 板状の被加工物を洗浄する洗浄装置であって、
被加工物を保持するスピンナテーブルと、
該スピンナテーブルに保持された被加工物に洗浄水を供給する洗浄水供給ノズルと、
該スピンナテーブルを収容するチャンバーと、
該チャンバーから洗浄水を排出する排水路と、
該洗浄水と共に排出される洗浄水以外の成分を測定し洗浄の完了を判定する判定手段と、を具備し、
該判定手段は、洗浄水以外の成分の量を測定する測定部と、
該測定部で測定した洗浄水以外の成分の量が所定値以下になった際に洗浄が完了したと判定し、洗浄水の供給を終了させる判定部と、を含むことを特徴とする洗浄装置。 - 該測定部は、排出される洗浄水の電気伝導率又は濁度を測定し、該判定部は予め登録された該チャンバー内又は該排水路内の洗浄水の電気伝導率又は濁度の閾値と比較して、洗浄水以外の成分の量が該所定値以下になったと判定する請求項1記載の洗浄装置。
- 板状の被加工物を洗浄する洗浄方法であって、
被加工物をチャンバー内に収容された回転可能なスピンナテーブルで保持し、
該スピンナテーブルを回転させながら被加工物に洗浄水を供給して被加工物を洗浄し、
該チャンバーから排出される洗浄水の電気伝導率又は濁度を測定し、
予め登録された洗浄水の電気伝導率又は濁度の閾値と比較して測定した電気伝導率又は濁度が該閾値以下になった際に洗浄が完了したと判定し、洗浄水の供給を終了させることを特徴とする洗浄方法。
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