DE102005038709A1

DE102005038709A1 - Wafertragvorrichtung

Info

Publication number: DE102005038709A1
Application number: DE102005038709A
Authority: DE
Inventors: Jong Sok Choi
Original assignee: DongbuAnam Semiconductor Inc
Current assignee: DB HiTek Co Ltd
Priority date: 2004-08-16
Filing date: 2005-08-15
Publication date: 2006-03-16
Also published as: US20090142176A1; US7500564B2; KR100573896B1; JP2006060213A; KR20060015905A; US20060099058A1; US20090191043A1

Abstract

Es wird eine Wafertragvorrichtung offenbart, an der eine Bindeeinheit fixiert ist, um zu verhindern, daß Wafer durch Abstürze und so weiter beschädigt werden. Die Wafertragvorrichtung umfaßt einen Hauptkörper, versehen mit mehreren Wafereinsetzrillen, die an Innenseiten ausgebildet sind, und einer Öffnung, die an einer Vorderfläche ausgebildet ist, um Wafer hineinzugeben und herauszunehmen, eine Bindeeinheit, die an der Vorderfläche des Hauptkörpers auf- und abbeweglich bereitgestellt ist, wobei ihre relative Stellung zu den Einsetzrillen verändert wird, um die Einsetzrillen zu schließen und zu öffnen, und ein Mittel zum Verändern der relativen Stellung der Bindeeinheit, wobei das Mittel mit der Bindeeinheit verbunden ist, um die relative Stellung der Bindeeinheit zu den Einsetzrillen zu verändern.

Description

Diese Anmeldung beansprucht den Vorteil der am 16. August 2001 eingereichten koreanischen Patentanmeldung Nr. P2001-64295, die hiermit verweisend aufgenommen wird, als ob sie hierin zur Gänze bekannt gemacht würde.
ALLGEMEINER STAND DER TECHNIK
GEBIET DER ERFINDUNG
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Wafertragvorrichtung und genauer eine Wafertragvorrichtung, die verwendet wird, um Wafer in einer Halbleiterfertigungsanlage zu halten und zu tragen, und an der eine Bindeeinheit fixiert ist, um zu verhindern, daß die Wafer durch Abstürze und so weiter beschädigt werden.
BESPRECHUNG DER VERWANDTEN TECHNIK
Im Allgemeinen ist eine Wafertragvorrichtung mit einer Öffnung, einem Einsetzloch, und einem Griff versehen. Die Öffnung ist an einer Vorderfläche der Vorrichtung ausgebildet, um Wafer hineinzugeben und herauszunehmen. Das Einsetzloch ist an einer Innenseite der Vorrichtung ausgebildet, um die Wafer zu halten, und der Griff ist am Einsetzloch ausgebildet, um die Wafer zu tragen. Doch da die Öffnung mit keinerlei Sicherheitseinheit versehen ist, ist die Vorrichtung der Gefahr ausgesetzt, daß die Wafer durch Zusammenstöße zwischen Arbeitern von der Vorrichtung losgelöst werden und dadurch Abstürze verursacht werden.

Zur Lösung eines solchen Problems wurde im koreanischen eingetragenen Gebrauchsmuster Nr. 121642 eine wie in 1 gezeigte Wafertragvorrichtung vorgeschlagen. Die Vorrichtung umfaßt Einsetzlöcher 9, die an unteren und oberen Abschnitten in einer Einsetzrichtung einer Seitenplatte 8 ausgebildet sind; Einsetzringe 10, die drehbar in den Einsetzlöchern 9 bereitgestellt sind, um selektiv an Innen- und Außenseite der Seitenplatte positioniert zu werden; eine Löserille 11 und eine Steuerrille 12, die ausgebildet sind, um mit den Einsetzlöchern 9 in Verbindung zu stehen, wobei sie einen unteren Endabschnitt der Binderinge 10 einsetzen; und eine Feder, die im oberen Einsetzloch der Einsetzlöcher 9 bereitgestellt ist, um die Binderinge aufwärts zu schieben.

Doch die oben erwähnte Wafertragvorrichtung weist mehrere Probleme auf.

Obwohl die Vorrichtung verhindert, daß die Wafer daraus losgelöst werden, sind die Herstellungskosten aufgrund eines komplizierten Aufbaus hoch. Außerdem werden zur Verwendung der Vorrichtung gesondert komplizierte Vorgänge in einer solchen Weise benötigt, daß die Binderinge 10 in die Steuerrille 12 eingesetzt werden, nachdem sie zu den Einsetzlöchern 9 bewegt und gedreht wurden.

KURZDARSTELLUNG DER ERFINDUNG

Demgemäß zielt die vorliegende Erfindung auf eine Wafertragvorrichtung ab, die im Wesentlichen eines oder mehrere Probleme aufgrund von Beschränkungen und Nachteilen der verwandten Technik beseitigt.

Eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist, eine Wafertragvorrichtung bereitzustellen, in der ein Mittel zum Verändern der Stellung einer Bindeeinheit, die Wafereinsetzrillen öffnet und schließt, bereitgestellt ist, um durch einfache Manipulation zu verhindern, das Wafer von der Vorrichtung losgelöst werden, wenn die Wafer getragen werden.

Eine andere Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist, eine Wafertragvorrichtung bereitzustellen, in der die Stellung einer Bindeeinheit durch einfaches Halten eines Griffs, der an einem oberen Abschnitt der Vorrichtung angeordnet ist, wodurch Wafereinsetzrillen geschlossen werden, natürlich verändert wird, um die Vorrichtung zu überführen.

Eine andere Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist, eine Wafertragvorrichtung bereitzustellen, die einen einfachen Aufbau aufweist, um die Herstellungskosten auf ein Mindestmaß zu verringern, und die für die bestehende Wafertragvorrichtung verwendet werden kann.

Zusätzliche Vorteile, Aufgaben und Merkmale der Erfindung werden zum Teil in der folgenden Beschreibung offenbart werden und zum Teil Fachleuten bei Prüfung des Folgenden offensichtlich werden, oder können aus der praktischen Ausführung der Erfindung erfahren werden. Die Aufgaben und anderen Vorteile der Erfindung können durch den Aufbau, der in der schriftlichen Beschreibung und den Ansprüchen davon wie auch in den beiliegenden Zeichnungen besonders aufgezeigt ist, verwirklicht und erreicht werden.

Um diese Aufgaben und andere Vorteile zu erzielen und in Übereinstimmung mit dem wie hierin verkörperten und allgemein beschriebenen Zweck der Erfindung umfaßt eine Wafertragvorrichtung nach der vorliegenden Erfindung einen Hauptkörper, versehen mit mehreren Wafereinsetzrillen, die an Innenseiten ausgebildet sind, und einer Öffnung, die an einer Vorderfläche ausgebildet ist, um Wafer hineinzugeben und herauszunehmen, eine Bindeeinheit, die an der Vorderfläche des Hauptkörpers auf und ab beweglich bereitgestellt ist, wobei ihre relative Stellung zu den Einsetzlöchern verändert wird, um die Einsetzlöcher zu schließen und zu öffnen, und ein Mittel zum Verändern der relativen Stellung der Bindeeinheit, wobei das Mittel mit der Bindeeinheit verbunden ist, um die relative Stellung der Bindeeinheit zu den Einsetzlöchern zu verändern.

Vorzugsweise umfaßt das Mittel zum Verändern der relativen Stellung der Bindeeinheit einen Knopf und einen Mechanismus, der die Stellung der Bindeeinheit abhängig von der Bewegung des Knopfs verändert.

Vorzugsweise umfaßt die Wafertragvorrichtung ferner einen Griff, der an der Oberseite des Hauptkörpers ausgebildet ist, wobei der Knopf auf dem Griff angeordnet ist.

Vorzugsweise umfaßt der Mechanismus ein Verbindungsstück, um den Knopf mit der Bindeeinheit zu verbinden, und eine Feder, die eine elastische Kraft aufweist, um die relative Stellung der Bindeeinheit beizubehalten, um die Wafereinsetzrillen zu öffnen.

Vorzugsweise wird die Bindeeinheit durch die Feder so beibehalten, daß gestattet wird, daß die Wafereinsetzrillen geöffnet werden, außer wenn ihre Stellung durch das Verbindungsstück verändert wird, um die Wafereinsetzrillen zu schließen, während der Knopf gedrückt wird.

Vorzugsweise weist die Bindeeinheit im Wesentlichen die gleiche Form wie jene von Seitenabschnitten der mit den Einsetzrillen versehenen Innenseiten des Hauptkörpers auf.

Vorzugsweise weist die Bindeeinheit mehrere trapezförmige Vorsprünge auf.

Es versteht sich, daß sowohl die vorhergehende allgemeine Beschreibung als auch die folgende ausführliche Beschreibung der vorliegenden Erfindung beispielhaft und erklärend sind und eine weitere Erklärung der wie beanspruchten Erfindung bereitstellen sollen.

KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
Die beiliegenden Zeichnungen, die enthalten sind, um ein weiteres Verständnis der Erfindung bereitzustellen, und in diese Anmeldung aufgenommen sind und einen Teil dieser Anmeldung bilden, veranschaulichen (eine) Ausführungsformen) der Erfindung und dienen zusammen mit der Beschreibung dazu, das Prinzip der Erfindung zu erklären. In den Zeichnungen
ist 1 eine auseinandergezogene Schnittansicht, die eine Wafertragvorrichtung der verwandten Technik veranschaulicht;
ist 2 eine perspektivische Ansicht, die eine Wafertragvorrichtung nach der vorliegenden Erfindung veranschaulicht;
veranschaulicht 3 den Betriebszustand, in dem eine Wafertragvorrichtung nach der vorliegenden Erfindung nicht arbeitet; und
veranschaulicht 4 den Betriebszustand, in dem eine Wafertragvorrichtung nach der vorliegenden Erfindung arbeitet.
AUSFÜHRLICHE BESCHREIBUNG DER ERFINDUNG
Nun wird ausführlich auf die bevorzugten Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung Bezug genommen werden, wofür in den beiliegenden Zeichnungen Beispiele veranschaulicht sind. Wo immer dies möglich ist, werden über die Zeichnungen hinweg die gleichen Bezugszeichen verwendet werden, um auf die gleichen oder ähnliche Teile zu verweisen.
2 ist eine perspektivische Ansicht, die eine Wafertragvorrichtung nach der vorliegenden Erfindung veranschaulicht. Unter Bezugnahme auf 2 umfaßt die Vorrichtung einen Hauptkörper 100, eine Bindeeinheit 120, und ein Mittel zum Verändern der relativen Stellung der Bindeeinheit 120. Der Hauptkörper 100 ist mit mehreren Wafereinsetzrillen, die an einer Innenseite ausgebildet sind, und einer Öffnung, die an einer Vorderfläche ausgebildet ist, um Wafer hineinzugeben und herauszunehmen, versehen. Die Bindeeinheit 120 ist an der Vorderfläche des Hauptkörpers 100 beweglich bereitgestellt, und ihre relative Stellung zu den Einsetzrillen wird verändert, um die Einsetzrillen zu schließen und zu öffnen. Das Mittel zum Verändern der relativen Stellung der Bindeeinheit 120 ist mit der Bindeeinheit 120 verbunden, um die relative Stellung der Bindeeinheit 120 zu den Einsetzrillen zu verändern.
Die Wafertragvorrichtung nach der bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung umfaßt einen Knopf 130, ein Verbindungsstück 140 (in 3 und 4 gezeigt), und eine Feder 150 als das Mittel zum Verändern der Stellung. Das Verbindungsstück 140 verbindet die Bindeeinheit 120 mit dem Knopf 130, um die Stellung der Bindeeinheit abhängig von der Bewegung des Knopfs 130 zu verändern. Die Feder 150 behält die Stellung der Bindeeinheit 120 bei, um die Wafereinsetzrillen in einen geöffneten Zustand zu stellen.
In der bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist die Feder 150 an der Unterseite des Hauptkörpers 100 angeordnet, um mit der Bindeeinheit 120 verbunden zu werden. Die Feder 150 kann jedoch an der Oberseite des Hauptkörpers 100 angeordnet sein. Außerdem ist an einem oberen Abschnitt des Hauptkörpers 100 ein Griff 110 ausgebildet, und der Knopf 130 ist unter dem Griff 110 bereitgestellt. Der Knopf 130 kann nach dem Gutdünken des Benutzers an jedem beliebigen Abschnitt des Griffs 110 bereitgestellt sein.
Indessen weist die Bindeeinheit 120 nach der bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung im Wesentlichen die gleiche Form wie jene der Seitenabschnitte des Hauptkörpers 100, die mit den Einsetzrillen versehen sind, auf. Mit anderen Worten umfaßt die Bindeeinheit 120 mehrere trapezförmige Vorsprünge 121 (in 3 und 4 gezeigt).
3 veranschaulicht den Betriebszustand, in dem die Wafertragvorrichtung nach der vorliegenden Erfindung nicht arbeitet, und 4 veranschaulicht den Betriebszustand, in dem die Wafertragvorrichtung der vorliegenden Erfindung arbeitet.
Unter Bezugnahme auf 3 ist die Bindeeinheit 120 durch die Feder 150 abgesenkt. Unter Bezugnahme auf einen vergrößerten Abschnitt von 3 sind die Wafereinsetzrillen in einem geöffneten Zustand beibehalten, da die Vorsprünge 121 der Bindeeinheit 120 mit Spitzen 101 der Wafereinsetzrillen überlappt sind. Zu dieser Zeit können Wafer 102 in die Wafereinsetzlöcher eingesetzt oder daraus gelöst werden.
Unter Bezugnahme auf 4 wird die Wafertragvorrichtung der vorliegenden Erfindung durch einen Benutzer getragen, der den Griff 110 hält. Der unter dem Griff 110 angeordnete Knopf 130 wird gedrückt, wenn der Benutzer den Griff 110 hält, um die Wafertragvorrichtung zu tragen. Während der Knopf 130 gedrückt ist, wird die Bindeeinheit 120 durch das Verbindungsstück 140 angehoben. Zu diesem Zweck wird ein Mechanismus verwendet. Unter Bezugnahme auf einen vergrößerten Abschnitt von 4 sind die Vorsprünge 121 der Bindeeinheit 120 so angeordnet, daß sie das Windung 101 kreuzen, so daß die Einsetzrillen geschlossen sind. Daher werden die in die Wafereinsetzrillen eingesetzten Wafer nicht von der Wafertragvorrichtung losgelöst.
Wenn der Benutzer den Griff 110 freigibt, wenn die Wafertragvorrichtung ihre Beförderung beendet, wird die Bindeeinheit 120 durch die elastische Kraft der mit der Bindeeinheit 120 verbundenen Feder 150 abgesenkt. Aus diesem Grund werden die Wafereinsetzrillen geöffnet, um zu gestatten, daß die Wafer 102 hineingegeben und herausgenommen werden.
Wie oben beschrieben weist die Wafertragvorrichtung nach der vorliegenden Erfindung die folgenden Vorteile auf.
Die Wafer können durch einfache Manipulation, wenn die Wafer getragen werden, daran gehindert werden, von der Wafertragvorrichtung losgelöst zu werden. Zum Beispiel werden die Wafereinsetzrillen durch Halten des Griffs, der am oberen Abschnitt der Wafertragvorrichtung angeordnet ist, um die Wafertragvorrichtung zu bewegen, geschlossen, wodurch verhindert wird, daß die Wafer von der Wafertragvorrichtung losgelöst werden.
Da die Wafertragvorrichtung einen einfachen Aufbau aufweist, können zusätzlich die Herstellungskosten minimiert werden, und kann ihr Aufbau für die Wafertragvorrichtungen der verwandten Technik verwendet werden.
Es wird Fachleuten offensichtlich sein, daß an der vorliegenden Erfindung verschiedenste Abwandlungen und Veränderungen vorgenommen werden können, ohne vom Geist oder vom Umfang der Erfindung abzuweichen. Es ist daher beabsichtigt, daß die vorliegende Erfindung die Abwandlungen und Veränderungen dieser Erfindung abdeckt, sofern diese in den Umfang der beiliegenden Ansprüche und ihrer Entsprechungen fallen.

Claims

Wafertragvorrichtung, umfassend: einen Hauptkörper, versehen mit mehreren wafereinsetzrillen, die an Innenseiten ausgebildet sind, und einer Öffnung, die an einer Vorderfläche ausgebildet ist, um Wafer hineinzugeben und herauszunehmen; eine Bindeeinheit, die an der Vorderfläche des Hauptkörpers auf und ab beweglich bereitgestellt ist, wobei ihre relative Stellung zu den Einsetzrillen verändert wird, um die Einsetzrillen zu schließen und zu öffnen; und ein Mittel zum Verändern der relativen Stellung der Bindeeinheit, wobei das Mittel mit der Bindeeinheit verbunden ist, um die relative Stellung der Bindeeinheit zu den Einsetzrillen zu verändern.
Wafertragvorrichtung nach Anspruch 1, wobei das Mittel zum Verändern der relativen Stellung der Bindeeinheit einen Knopf und einen Mechanismus, der die Stellung der Bindeeinheit abhängig von der Bewegung des Knopfs verändert, umfaßt.
Wafertragvorrichtung nach Anspruch 2, ferner umfassend einen Griff, der an der Oberseite des Hauptkörpers ausgebildet ist, wobei der Knopf am Griff angeordnet ist.
Wafertragvorrichtung nach Anspruch 2, wobei der Mechanismus ein Verbindungsstück, das den Knopf mit der Bindeeinheit verbindet, und eine Feder, die eine elastische Kraft aufweist, um die relative Stellung der Bindeeinheit beizubehalten, um die Wafereinsetzrillen zu öffnen, umfaßt.
Wafertragvorrichtung nach Anspruch 4, wobei die Bindeeinheit durch die Feder so beibehalten wird, daß gestattet wird, daß die Wafereinsetzrillen geöffnet werden, außer wenn ihre Stellung durch das Verbindungsstück verändert wird, um die Wafereinsetzrillen zu schließen, während der Knopf gedrückt wird.
Wafertragvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, wobei die Bindeeinheit im Wesentlichen die gleiche Form wie jene von Seitenabschnitten der mit den Einsetzrillen versehenen Innenseiten des Hauptkörpers aufweist.
Wafertragvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, wobei die Bindeeinheit mehrere trapezförmige Vorsprünge aufweist.