KR20060015905A - 웨이퍼 이탈방지 장치 및 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체 생산라인에서 웨이퍼의 운반시 웨이퍼를 보관하는 데 사용되고, 이탈방지장치를 부착하여 추락 등으로 웨이퍼가 파손되는 것을 미연에 방지하기 위한 웨이퍼 이탈방지 장치 및 방법에 관한 것이다.

본 발명의 상기 목적은 내부 양측면에 다수개의 일정한 형상의 웨이퍼 삽입홈이 다수 형성된 본체, 상기 본체의 상부에 형성된 손잡이, 상기 웨이퍼 삽입홈과 대칭되는 형상으로 이탈방지돌출부가 형성되어 상기 웨이퍼 삽입홈 내의 웨이퍼가 이탈되지 않도록 하는 이탈방지장치, 상기 이탈방지장치를 작동시키는 동작핸들, 상기 이탈방지장치와 동작핸들을 연결하는 연결구 및 상기 이탈방지장치를 복귀시켜 상기 웨이퍼 삽입홈이 개방된 상태로 유지하도록 하는 복귀스프링을 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 웨이퍼 이탈방지 장치 및 방법에 의해 달성된다.

따라서 본 발명의 웨이퍼 이탈방지 장치 및 방법은 캐리어 박스에 이탈방지돌출부가 형성된 이탈방지장치를 장착하므로 운반시 발생할 수 있는 추락 등의 사고를 미연에 방지하고, 상기 이탈방지장치를 복귀스프링으로 평상시에는 개방되어 있고, 운반시에는 손잡이에 부착된 동작핸들을 손잡이를 잡는 것만으로 자연스럽게 작동시킬 수 있어 사용이 편리하며, 구성을 간단히 하여 제작비용을 최소화할 뿐만 아니라 기존의 장비에도 적용이 가능한 효과 및 장점이 있다.

캐리어 박스, 웨이퍼, 이탈방지, 복귀스프링.

Description

웨이퍼 이탈방지 장치 및 방법{Apparatus and method for preventing wafer separation in a carrier box}

도 1은 종래 기술에 따른 웨이퍼 이탈방지장치의 분해사시도.

도 2는 본 발명에 따른 캐리어 박스의 사시도.

도 3은 본 발명에 따른 캐리어 박스의 평상시 상태를 나타내는 작동상태도.

도 4는 본 발명에 따른 캐리어 박스의 운반시 상태를 나타내는 작동상태도.

본 발명은 반도체 생산라인에서 웨이퍼의 운반시 사용되는 캐리어 박스에 관한 것으로, 보다 자세하게는 상기 캐리어 박스에 간편하고 저렴한 안전장치를 부가하여 충돌 또는 부주의 등으로 내부에 보관되어 있는 웨이퍼가 외부로 이탈되어 손상되는 것을 미연에 방지하고, 이로 인해 발생되는 손실을 최소화하는 웨이퍼 이탈방지 장치 및 방법에 대한 것이다.

일반적으로 캐리어 박스는 본체 내부에 웨이퍼를 보관할 수 있는 홈이 형성 되고, 상기 홈에 웨이퍼를 수용한 후에 이동하기 위한 손잡이가 형성되었다. 그러나 아무런 안전장치가 마련되어 있지 않아 작업자 사이의 충돌 등으로 인해 이동 중에 내부의 웨이퍼가 이탈하여 외부로 추락하는 등의 사고 위험성이 내재되어 있었다.

상기와 같은 문제를 해결하기 위한 방안으로 도 1에 나타낸 대한민국 등록실용신안 제121642호의 웨이퍼 캐리어의 웨이퍼 프레임 이탈방지장치가 고안되었다. 상기 장치는 측면판(8)의 삽입측 상하부에 형성된 삽입공(9), 상기 삽입공에 회전 가능하게 설치되어 측면판의 안쪽과 바깥쪽에 선택적으로 위치되는 이탈방지고리(10), 상기 삽입공(9)과 통하여지도록 형성되어 이탈방지고리의 하단부가 끼워지는 해제홈(11) 및 제어홈(12), 상기 측면판에 형성된 삽입공 중 상부 삽입공에 설치되어 이탈방지고리를 상방으로 밀어올리는 스프링으로 구성되어 있다.

그러나 상기 장치는 웨이퍼가 이탈되는 것을 예방하는 효과가 있기는 하지만 구조가 복잡하여 제조비용이 많이 소요될 뿐만 아니라 사용하는 데에도 별도의 과정을 거쳐야 하는 등 개선의 여지가 있었다.

따라서 본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 복귀스프링으로 평상시에는 개방되어 있는 캐리어 박스에 이탈방지돌출부가 형성된 이탈방지장치를 장착하고, 그 동작을 손잡이에 부착된 동작핸들로 이동시 손잡이를 잡는 것만으로 자연스럽게 할 수 있도록 하며, 구성을 간단히 하여 제작비용을 최소화하고, 기존의 장비에도 적용 가능한 웨이퍼 이탈방지 장치 및 방법을 제공함에 본 발명의 목적이 있다.

본 발명의 상기 목적은 웨이퍼 파손을 방지하기 위한 캐리어 박스에 있어서, 내부 양측면에 다수개의 일정한 형상의 웨이퍼 삽입홈이 형성된 본체, 상기 본체의 상부에 형성된 손잡이, 상기 웨이퍼 삽입홈과 대칭되는 형상으로 이탈방지돌출부가 형성되어 상기 웨이퍼 삽입홈 내의 웨이퍼가 이탈되지 않도록 하는 이탈방지장치, 상기 이탈방지장치를 작동시키는 동작핸들, 상기 이탈방지장치와 동작핸들을 연결하는 연결구 및 상기 이탈방지장치를 복귀시켜 상기 웨이퍼 삽입홈이 개방된 상태로 유지하도록 하는 복귀스프링을 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 웨이퍼 이탈방지 장치에 의해 달성된다.

본 발명의 또 다른 목적은 캐리어 박스의 상부 손잡이 아래 부분에 설치된 동작핸들을 작동시키면, 연결구와 연결된 이탈방지장치는 상기 캐리어 박스의 하단부에 설치된 스프링이 상승하게 되어 상기 이탈방지장치의 이탈방지돌출부가 상기 웨이퍼 삽입홈의 산과 엇갈려 위치하도록 하여 상기 웨이퍼 삽입홈을 차단하는 웨이퍼 이탈방지 방법에 의해 달성된다.

본 발명의 상기 목적과 기술적 구성 및 그에 따른 작용효과에 관한 자세한 사항은 본 발명의 바람직한 실시예를 도시하고 있는 도면을 참조한 이하 상세한 설 명에 의해 보다 명확하게 이해될 것이다.

도 2는 본 발명에 따른 캐리어 박스의 사시도를 나타낸 것이다. 도면을 참조하여 그 구성을 살펴보면, 내부 양측면에 다수개의 일정한 형상의 웨이퍼 삽입홈이 형성된 본체(100), 상기 본체(100)의 상부에 형성된 손잡이(110), 상기 웨이퍼 삽입홈과 대칭되는 형상으로 이탈방지돌출부가 형성된 이탈방지장치(120), 상기 이탈방지장치(120)를 작동시키는 동작핸들(130), 상기 이탈방지장치(120)와 동작핸들(130)을 연결하는 연결구 및 상기 이탈방지장치(120)를 복귀시켜 상기 웨이퍼 삽입홈이 개방된 상태로 유지하도록 하는 복귀스프링(150)을 포함하여 이루어진다.

도 3은 본 발명에 따른 캐리어 박스의 평상시 상태를 나타내는 작동상태도이고, 도 4는 본 발명에 따른 캐리어 박스의 운반시 상태를 나타내는 작동상태도이다.

도 3은 평상시 상기 이탈방지장치(120)가 상기 복귀스프링(150)에 의해 하강된 상태이다. 확대한 부분을 살펴보면, 상기 이탈방지장치(120)의 이탈방지돌출부(121)와 웨이퍼 삽입홈의 산(101)이 겹쳐져 일치하게 되어 기존의 캐리어 박스와 마찬가지로 상기 웨이퍼 삽입홈이 개방된 상태로 유지된다. 이때, 웨이퍼의 삽입 또는 반출이 가능하게 된다.

도 4는 사용자가 상기 손잡이(110)에 손을 넣어 캐리어 박스를 운반하는 상태이다. 상기 손잡이(110)의 하부에는 상기 동작핸들(130)이 위치하게 되어 운반시 상기 손잡이(110)에 손을 넣어 힘이 가해지면 상기 동작핸들(130)을 누르게 되고, 그 힘은 상기 연결구(140)를 통해 상기 이탈방지장치(120)를 도면과 같이 상승하게 한다. 확대한 부분을 살펴보면, 상기 이탈방지장치(120)의 이탈방지돌출부(121)가 상기 웨이퍼 삽입홈의 산(101)과 엇갈려 위치하여 상기 웨이퍼 삽입홈을 차단하게 된다. 따라서, 내부에 안착된 웨이퍼(102)는 상기 캐리어 박스의 외부로 이탈되지 않게 된다. 운반이 완료되어 상기 캐리어 박스를 내려 놓으면, 다시 도 3과 같은 상태로 복원되므로 상기 웨이퍼를 삽입 또는 반출할 수 있다.

또한, 상기 이탈방지돌출부(121)의 형상은 상기 웨이퍼 삽입홈을 차단할 수 있는 형상이면 가능하지만, 그 형상을 사다리꼴로 하는 것이 바람직하다.

한편, 상기 동작핸들(130)의 위치를 상기 손잡이(110)의 하부뿐만 아니라 상기 본체(100)의 편리한 부분에 형성하는 것도 가능하다. 그리고, 상기 이탈방지장치(120)를 포함한 캐리어 박스를 제작할 수 있으나, 기존의 캐리어 박스에 적용할 수도 있다.

상세히 설명된 본 발명에 의하여 본 발명의 특징부를 포함하는 변화들 및 변형들이 당해 기술 분야에서 숙련된 보통의 사람들에게 명백히 쉬워질 것임이 자명하다. 본 발명의 그러한 변형들의 범위는 본 발명의 특징부를 포함하는 당해 기술 분야에 숙련된 통상의 지식을 가진 자들의 범위 내에 있으며, 그러한 변형들은 본 발명의 청구항의 범위 내에 있는 것으로 간주된다.

따라서 본 발명의 웨이퍼 이탈방지 장치 및 방법은 캐리어 박스에 이탈방지 돌출부가 형성된 이탈방지장치를 장착하므로 운반시 발생할 수 있는 추락 등의 사고를 미연에 방지하고, 상기 이탈방지장치를 복귀스프링으로 평상시에는 개방되어 있고, 운반시에는 손잡이에 부착된 동작핸들을 손잡이를 잡는 것만으로 자연스럽게 작동시킬 수 있어 사용이 편리하며, 구성을 간단히 하여 제작비용을 최소화할 뿐만 아니라 기존의 장비에도 적용이 가능한 효과 및 장점이 있다.

Claims (4)

1. 웨이퍼 파손을 방지하기 위한 캐리어 박스에 있어서,

   내부 양측면에 다수개의 일정한 형상의 웨이퍼 삽입홈이 형성된 본체;

   상기 본체의 상부에 형성된 손잡이;

   상기 웨이퍼 삽입홈과 대칭되는 형상으로 이탈방지돌출부가 형성되어 상기 웨이퍼 삽입홈 내의 웨이퍼가 이탈되지 않도록 하는 이탈방지장치;

   상기 이탈방지장치를 작동시키는 동작핸들;

   상기 이탈방지장치와 동작핸들을 연결하는 연결구; 및

   상기 이탈방지장치를 복귀시켜 상기 웨이퍼 삽입홈이 개방된 상태로 유지하도록 하는 복귀스프링

   을 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 웨이퍼 이탈방지 장치.
2. 제1항에 있어서,

   상기 이탈방지돌출부의 형상은 사다리꼴임을 특징으로 하는 웨이퍼 이탈방지 장치.
3. 제1항에 있어서,

   상기 동작핸들은 손잡이에 구성됨을 특징으로 하는 웨이퍼 이탈방지 장치.
4. 캐리어 박스의 상부 손잡이 아래 부분에 설치된 동작핸들을 작동시키면, 연결구와 연결된 이탈방지장치는 상기 캐리어 박스의 하단부에 설치된 스프링이 상승하게 되어 상기 이탈방지장치의 이탈방지돌출부가 웨이퍼 삽입홈의 산과 엇갈려 위치하도록 하여 상기 웨이퍼 삽입홈을 차단하는 웨이퍼 이탈방지 방법.

Images