CN1050947C - 压电谐振元件 - Google Patents

Abstract

一种以下述方式构成的压电谐振元件：在一个压电谐振器(11)的两个侧面上配置隔离板(21，22)，靠间隙来允许一个振动部件振动；将外壳基板(28，29)粘接在压电谐振器(11)与隔离板(21，22)的两个主表面上，靠隔离框构件定义的间隙来允许压电谐振器(11)的振动部件振动；及在压电谐振器(11)的振动部件与一块压电基板的两端之间形成动态减震器(16，18)。

Description

压电谐振元件

本发明涉及一种能量捕集器型压电谐振元件，更具体地，涉及一种利用宽度剪切振动或厚度剪切振动的剪切振动模式的片型压电谐振元件，它能安装在一块印刷电路板之类的表面上。

图2为一种传统的利用宽度剪切振动模式的能量捕集器型压电谐振元件的一个示范性压电谐振器部件的透视图。压电谐振器1包括一块细长的矩形压电基板2及设置在其两个侧面上的激振电极3与4。压电基板2是沿箭头P极化的。激振电极3与4通过压电基板2彼此相对，从而用激振电极3与4的相对部分来激发振动。再者，将激振电极3和4伸到压电基板2的不同端点上，从而压电谐振器1在压电基板2的两端与外部电连接及机械地固定住。

为了将上述压电谐振器1用于构成一个表面安装的片型压电谐振元件，将一对隔离板配置在压电谐振器1的两个侧面上靠间隙来容许压电基板2振动，而其上下部分则是由一对外壳基板通过框式零件等固定的，该框式零件起允许振动的隔板的作用，借此制备了一块片型层压板。

在上述能量捕集器型压电谐振器1中，激发的振动被捕集在激振电极3与4的相对部分之间的一个部件中，即在一个振动部件中，并且这一振动在压电基板2的两端附近受到充分地减振。因此，即使压电基板2是机械地在其两端固定的，谐振特征也几乎不会降低。

通常通过在一块母压电基板上形成母激振电极随后切割该母基板而大规模生产多个这种压电谐振器1。因此，为了提高能够从一块单一母压电基板制造的压电谐振器的数量，从而提高其产生量，希望能够缩短各压电基板2的长度L。此外，与其它电子元件一样，压电谐振器也需要小型化，在这一点上也希望缩短各压电基板2的长度L。

然面，当压电基板2的长度L缩短时，振动便不能在压电基板2的两端附近充分地减振。因此，当压电基板2是机械地固定在其两端上时，其谐振特征便被不利地降低了。尤其是在图2中所示的压电谐振器1中，谐振特征是由压电基板2的宽度决定的，当增加压电基板2的宽度来实现一种低频带时，便不可能充分地减小振动，除非同时相应地增加其长度L。因此，通常在缩短压电基板2的长度L时，极难达到充分的谐振特征。

为了解决先有技术中的上述问题，本发明的一个目的为提供一种利用剪切振动模式的可安装在表面上的能量捕集器型压电谐振元件，它能更有效地将剪切振动模式的能量捕集在一个振动部件中，并进一步缩短压电基板的长度。

根据本发明的压电谐振元件，包括一个压电谐振器；一对配置成靠间隙来允许压电谐振器的一个振动部件的振动的隔离板；以及一对粘接在由压电谐振器与隔离板构成的一块谐振板上的外壳基板。用在本发明的上述压电谐振器至少有一个利用剪切模式的压电振动部件、一个耦合到该压电振动部件上的第一耦合部件、一个耦合到第一耦合部件上的动态减震器、一个耦合到该动态减震器上的第二耦合部件、以及一个耦合到第二耦合部件上的支承部件。即，根据本发明的压电谐振元件是由一个利用动态减震器现象的能量捕集型压电谐振器构成的。

至少设置一个压电振动部件的压电谐振器可以构成带有一个单一压电振动部件的振动器，或一个带有两个或两个以上的压电振动部件的滤波器。

耦合在上述至少一个压电振动部件上的第一耦合部件、动态减震器、第二耦合部件及支承部件可以只耦合到设有压电振动部件的一个部分的一侧上，或者这一部分的各侧上。第一耦合部件、动态减震器、第二耦合部件及支承部件最好形成在设有压电振动部件的部分的各侧上，从而有可能得到一个很好地与压电振动部件的一个稳定的支承结构对称的一个压电谐振元件。

压电谐振器与这对隔离板构成最终得到的压电谐振元件中的一块谐振板，因此这对隔离板是固定在压电谐振器的两侧上的，将压电谐振器的振动部件封闭在谐振板中。这样，便有可能得到一个具有封闭的振动部件的压电谐振元件。

压电谐振器与隔离板最好是用一个单一的构件整体构成的。当采用这样一个单一的构件时，谐振板是用一个具有一个接纳压电谐振器的振动部件的开口的框型构件构成的。由于压电谐振器的振动部件是这样配置在开口中的，从而其侧边部分是用一个框型支承部件封闭住的，因此便可能得到一种具有良好的环境耐受力的压电谐振元件。

根据本发明的压电谐振器的压电振动部件可用压电陶瓷制成(诸如锆钛酸铅陶瓷)或者用诸如LiTaO₃或LiNbO₃压电单晶体之类的压电材料制成。压电振动部件也可通过在一块金属板或半导体板上设置一层压电薄膜构成。

假定利用剪切模式的压电振动部件广泛地包括利用包含宽度剪切模式在内的众所周知的各种剪切模式的压电振动部件。

并不具体地限制设置在压电振动部件上的、用于激发剪切模式振动的电极的结构，但是为了强烈地激发剪切模式的目标振动，要构成适当的激振电极。

在本发明的一个较佳特定模式中，在至少一个压电振动部件的两侧上设有第一耦合部件、动态减震器、第二耦合部件及支承部件的一个压电谐振器包括下述电极结构：该压电谐振器设置有多个用于激发剪切模式振动的激振电极。另外，在支承部件上设有与该支承部件电连接的引线电极。这些引线电极是用连接导电部件电连接到激振电极上的，这些导电部件被形成以通过第一耦合部件、动态减震器及第二耦合部件的。在压电谐振元件的外表面上设置有用于与外部连接的端电极，并且端电极电连接到引线电极上。从而，便有可能通过设置在其外表面上的端电极将压电谐振元件安装在一块印刷电路板的表面上，这一与其它片型电子元件相似。即，有可能通过如上面所描述的在其表面上形成端电极而将这种创造性压电谐振元件构造成一种片型压电谐振元件。

根据本发明的压电谐振元件的特征在于通过动态减震器现象改进了能量捕集器效率。简言之，动态减震器现象(例如在Osamu Taniguchi所著的“振动工程”，Corona出版有限公司，113-116页中详细描述的)是这样一种现象：当将一个具有适当选择的固有频率的次振子耦合到一个必须防止振动的主振子上时，便能抑制主振子的振动。

根据本发明，将一个利用这种动态减震器现象的动态减震器设置在压电振动部件与支承部件之间。这一动态减震器适用于通过动态减震器现象抑制从第一耦合部件泄漏的振动，该第一耦合部件是设置在压电振动部件与动态器减震器之间的。

如上所述，由于动态减震器是设置在压电振动部件与支承部件之间的，从压电振动部件泄漏的振动便被动态减震器抑制了，从而便有可能有效地防止将振动传递到支承件上。

如上所述，在利用剪切模式的压电谐振器中，动态减震器现象有效地抑制了对支承部件的振动传递，剪切模式是用在本创造性压电谐振元件中的。换言之，本发明中所用的压电谐振器是将振动能量捕集到动态减震器范围内的所谓能量捕集器型压电谐振器。

根据本发明，在动态减震器的范围内有效地捕集了振动能量，从而便有可能提供一种利用剪切模式的小型压电谐振元件而不会降低谐振特征。

根据本发明，动态减震器是设置在压电振动部件与支承部件之间的，并且利用动态减震器的振动抑制效应，可能减小压电振动部件与支承部件之间的距离而不会降低谐振特征。因此，与传统的利用剪切模式的压电谐振器中的一个振动部件与一块压电基板的一端之间的距离相比，便有可能减小压电振动部件与支承部件之间的距离，并且有可能实现优良的谐振特征。

因此，根据本发明，压电谐振元件是由一个小型的几乎不导致谐振特征降低的利用剪切模式的压电谐振器构成的。这一压电谐振元件是通过将外壳基板叠在一块谐振板的上下部分上构成的，该谐振板是由压电谐振器与一对隔离板限定的，而振动部件则是形成在压电谐振元件中的，从而便有可能提供一种谐振特征优良的利用剪切模式的压电谐振元件。

从下面结合附图作出的本发明的详细说明中，本发明的上述及其它目的、特征、面貌及优点将是一目了然的。

图1为根据本发明的一个第一实施例的压电谐振元件的透视图；

图2为传统的能量捕集器型压电谐振器的透视图；

图3为用在本发明的第一实施例中的能量捕集器型压电谐振器的透视图；

图4为互相粘接与层叠的压电谐振器、隔离板及外壳基板的透视图；

图5为展示制造根据本发明的第一实施例的压电谐振元件的一个步骤的透视图；

图6为用在根据本发明的一个第二实施例的压电谐振元件中的一个压电谐振器的透视图；

图7为通过组合图6中所示的压电谐振器与隔离板而构成的一块谐振板的透视图；

图8为用在根据本发明的一个第三实施例的压电谐振元件中的一个压电谐振器的透视图；

图9为用在根据本发明的一个第四实施例的压电谐振元件中的一个压电谐振器的透视图；

图10为用在根据本发明的一个第五实施例的压电谐振元件中的一个压电谐振器的透视图；

图11为用在根据本发明的一个第六实施例的压电谐振元件中的一个压电谐振器的平面图；

图12为用在本发明中的压电谐振器的一种改型的平面图；

图13为用在本发明中的压电谐振器的另一种改型的透视图；

图14为图示用在本发明中的基板的一种改型的透视图；

图15为用在本发明中的基板的另一种改型的透视图；以及

图16为图示根据图1中所示的实施例的一种改型的压电谐振元件的分解透视图。

现在描述本发明的实施例来阐明本发明。

图3为根据本发明的一个第一实施例的利用宽度剪切振动的一个能量捕集器型压电谐振器11的透视图。

压电谐振器11是由一块细长的矩形平板形状的压电基板12构成的。这一压电基板12是用诸如压电陶瓷之类的一种压电材料制成的，并沿箭头P极化的，即沿其长度方向。

一个激振电极13形成在该压电基板12的一个第一侧面上。在第一侧面上形成了激振电极13之后，形成从第一侧面向第二侧面横向延伸的槽15a与15b，从而在它们之间限定一个动态减震器16。在压电基板12的第二侧面上形成另一个激振电极14，并在形成这一激振电极14之后形成槽17a与17b以在它们之间限定另一个动态减震器18。

激振电极13与14配置成在压电基板12的纵向中心区中彼此相对。跨越激振电极13与14作用一个交流电压，借此在激振电极13与14互相相对的压电基板部分中激发宽度剪切振动。从而，激振电极13与14互相相对的部分限定了一个压电振动部件。激振电极13与14是如下面描述的那样分别与位于其端部13a与14a上的端电极电连接的。从而，激振电极13伸出在槽15a与15b外面的部分并不起电极的作用，并且激振电极14伸出在槽17a与17b外面的部分也不起电极的作用。

在根据本实施例的压电谐振器11中，设置了槽15a、15b、17a与17b来分别限定在它们之间的动态减震器16与18。此外，位于槽15a与17a侧面的压电基板部分定义第一耦合部件，而位于槽15b与17b侧面的压电基板部分则定义第二耦合部件，而位于槽15b与17b外侧的部分则定义支承部件。动态减震器16与18接受从振动部件泄漏的振动而振动，用动态减震器现象来抑制振动。因此，动态减震器16与18的形状最好是这样确定的，使得其固有频率等于从振动部件传播的振动的频率。

在根据本实施例的压电谐振器11中，未曾在压电振动部件捕集的振动，即从振动部件向压电基板12两端泄漏的振动，充分地被动态减震器16与18抑制。从而振动能量被可靠地捕集在设置有动态减震器16与18的区域之间。因此，即使减小了压电基板12的长度，振动也几乎不能传递到动态减震器16与18外面的压电基板部分中，从而便有可能机械地支承接近其纵向端点的压电基板12部分。

图1为一个片型压电谐振元件的一种组合状态的透视图，其中集成了图3中所示的压电谐振器11。如图1所示，将一对隔离板21与22配置在压电谐振器11的两侧。这两块隔离板21与22上分别提供有凹入处21a与22a，用来容许压电谐振器11的振动部件的振动。这两块隔离板21与22是这样组合的，使其端部与压电谐振器11的两个侧面接触，以确定一块谐振板25。端电极23与24形成在谐振板25的上表面的两个端部上。由于如上所述在压电谐振器11中设置了槽15a、15b、17a和17b，端电极23只与激振电极14电连接，而端电极24则只与激振电极13电连接。

外壳基板28与29分别通过隔离板框构件26与27粘接/层叠在谐振板25的上下部分上，将其夹持在它们中间。插入隔离框构件26与27来限定间隙，以便外壳基板28与29不与压电谐振器11的振动部件接触，而不阻碍振动部件的振动。这种隔离框构件26与27可用以足够的厚度形成的起隔离板作用的粘合层来代替。另外，也可在外壳基板28与29的内侧部分上形成凹入部分以确定间隙来允许压电谐振器11的振动部件的振动。

外部连接电极30与31形成在外壳基板28的上表面的两端上。

图4为一个层叠的透视图，它是在图1中所示的组合状态中将外壳基板28与29通过隔离框构件26与27粘接与层叠在谐振板25的上下部分上面得到的。如图4中所示，端电极32与33形成在该层叠的两个端面上并分别与设置在外壳基板28上的外部连接电极31与30电连接。端电极32与33还分别与图1中所示的端电极24与23电连接。

图5为大规模制造图1中所示的谐振板25的一个示范性制造步骤的透视图。制备了在其上表面上设置的多列凹槽41a的一块母隔离板41、在其上下两个表面上都设置有多列凹槽42a的母隔离板42以及在其下表面上设置的多列凹槽43a的一块母隔离板43，首先配置母隔离板41，随后将一个母压电谐振器44沿凹槽41a列配置在其上方。然后将母隔离板42中的第一块放置在它们的上方，而使其它母压电谐振器44与剩下的母隔离板42交替地放置，最后将母隔离板43放置在最上面的母压电谐振器44上，从而形成了一个母层叠。沿出现在母隔离板43的上表面上的虚线将这一母层叠切开，从而得到沿纵向与横向各提供有多块谐振板的母谐振板。将母隔离框构件与母外壳基板层叠在每一块母谐振板上而得到图1中所示的配置，借此得到用于压电谐振元件的一个母层叠。通过焙烧该母层叠，然后将其切割成构成压电谐振元件的各单元，并形成端电极等，便能构成各压电谐振元件。

图6为利用厚度剪切模式的一个压电谐振器51的透视图，它是设置在限据本发明的一个第二实施例的压电谐振元件中的。压电谐振器51由一块细长矩形平板形状的压电基板52构成。这一压电基板52用诸如压电陶瓷之类压电材料制成，并沿箭头P，即其纵向，极化。

在压电基板52的上表面上从一个第一端面52a向中央区延伸形成一个激振电极53。另一方面，在压电基板52的下表面上从一个第二端面52b向一个中央区延伸形成另一个激振电极54。激振电极53与54通过压电基板52在其纵向中央区中彼此相对。当跨越激振电极53与54作用一个交流电压时，使在激振电极53与54彼此相对的压电基板部分中激发厚度剪切振动。从而，激振电极53与54彼此相对的压电基板部分定义了一个压电振动部件。

在压电基板52的上表面上的振动部件与端面52b之间形成横向延伸的槽57a与57b。类似地，在压电基板52的下表面上的振动部件与端面52a之间也形成横向延伸的槽55a与55b。

在根据本实施例的压电谐振器51中，槽57a与57b定义了一个动态减震器58，而槽55a与55b则定义了另一个动态减震器56。此外，在槽55a与57a以上或以下的压电基板部分构成第一耦合部件，而在槽55b与57b以上或以下的部分则构成第二耦合部分，而伸出到槽55b与57b外面的部分则构成支承部件。在根据本实施例的压电谐振器51中，从振动部件向压电基板52的端面52a与52b泄漏的振动充分地被动态减震器56与58抑制。因此，便有可能在接近纵向端点部分中机械地支承压电基板52而不降低其谐振特征。

图7为一块谐振板的透视图，它是通过在图6中所示的压电谐振器51的两侧分别配置隔离板61与62而构成的。隔离板61与62上开有凹入部分61a与62a，用于定义容许压电谐振器51振动的间隙，在隔离板61与62的上表面上接近压电谐振器51的第一端面52a的部分中形成端电极63，并且这两个端电极63是与压电谐振器51的激振电极53电连接的。同样，在隔离板61与62的下表面(未示出)上接近压电谐振器53的第二端面52b的部分中形成端电极，来与形成在压电谐振器51的下表面上的激振电极54(见图6)电连接。

与图1中所示的实施例一样，这便有可能通过将外壳基板粘接在图7中所示的谐振板的上与下部分面构成一个片型压电谐振元件。

图8为设置在根据本发明的一个第三实施例的压电谐振元件中的一个压电谐振器的透视图，它是应用于利用厚度剪切振动模式的一个双模式压电滤波器71中的。这一能量捕集器型双模式压电滤波器71由一块细长的矩形压电基板72构成，压电基板72是用诸如压电陶瓷之类的压电材料制成的，并沿箭头P极化。在压电基板72的上表面上形成激振电极73a与73b，它们通过一条规定宽度的缝隙彼此相对。类似在，在压电基板72的上表面上与激振电极73a与73b分离的部分中形成通过一条规定宽度的缝隙彼此相对的激振电极74a与74b。

如图8中以投影方式所示，还在压电基板72的下表面上设置分别与激振电极73a、73b、74a与74b相对的激振电极75与76。

在压电基板72的上表面上，一个设置在一个端部的端电极77a用连接导电部件与激振电极73a电连接，而激振电极74b则用另一个连接导电部件与另一个端电极77b电连接。此外，激振电极73b与74a则用一个连接导电部件互相电连接。而激振电极75与76则同样地用一个在压电基板72的下表面上的连接导电部件互相电连接。

根据本实施例，在设置有激振电极73a、73b与75的一个部分中定义了一个第一谐振部件，而在设置的激振电极74a、74b与76的一个部分中则定义了一个第二谐振部件。此外，跨越端电极77a与77b定义了一个输入/输出端，并且激振电极75与76是连接到基准电位上的，从而构成一个三端双模式压电滤波器。

根据本实施例，在压电基板72的下表面上形成横向延伸的槽78a、78b、80a和80b。借此在第一及第二谐振部件与压电基板72的两端之间分别定义了动态减震器79与81。再者在槽78b与80b以上的压电基板部分中定义了第一耦合部件并在槽78a与80a以上的部分中定义了第二耦合部件，而伸出在槽78a与80a外面的部分则定义了支承部件。

动态减震器79与81的大小是这样确定的，使它们能够充分地抑制从谐振部件传播的振动。因此，在本实施例中，由于动态减震器79与81的作用，有可能基本上可靠地防止振动泄漏到压电基板72的端部。在图8中所示的压电谐振器中，还有可能通过在两侧上设置隔离板来定义一块谐振板并在其上下部分上粘接外壳基板而构成一个片型压电谐振元件。

图9为用在根据本发明的一个第四实施例的压电谐振元件中的一压电谐振器91的透视图。压电谐振器91为一个利用宽度剪切振动模式的的能量捕集器型压电谐振器。将一块细长的矩形压电基板92沿箭头P极化。在压电基板92的上表面上设置分别从端面92a与92b沿压电基板92的侧边延伸的激振电极93与94。激振电极93与94在压电基板92的上表面的一个中央区上彼此相对，在到达端面92a与92b的激振电极93与94的部分上形成具有相对较宽的区域的端电极95与96。

从压电基板92的侧面向内形成槽97a、97b、99a与99b，如图9中所示，借此定义动态减震器98与100。动态减震器98与100适用于用动态减震器现象抑制从振动部件向压电基板92的端部传播的振动，并且它们是形成为具有适当的尺寸来抑制振动的。

在图9中所示的压电谐振器91中，还有可能通过在两侧设置隔离板来定义一块谐振板，并将外壳基板粘接在其上下部分上，而构成一个片型压电谐振元件，与图1所示的实施例相似。在这种压电谐振元件中，由于动态减震器98与100的作用，也能防止振动传播到压电基板92的端部，从而能够减小压电基板92的长度而不降低谐振特征，使片型压电谐振元件小型化。

图10为用在根据本发明的一个第五实施例的压电谐振元件中的一个压电谐振器101的透视图。这一压电谐振器101为一个利用剪切模式的能量捕集器型压电谐振器。将一块细长的矩形压电基板102沿箭头P，即在一个垂直于其纵向的横向方向中极化。在压电基板102的侧面上分别形成槽103、104、105与106。在夹在槽104与105之间的一个压电基板部分中定义了利用剪切模式的一个压电振动部件。激振电极107与108形成在压电基板102的上表面上槽104与105之间的压电基板部分中。激振电极107与108是如图10中所示横向延伸形成的。当跨越激振电极107与108作用一个交流电压时，压电振动部件便以剪切模式振动。

另一方面，动态减震器109与110分别形成在槽104与105的外侧部分中。此外，支承部件111与112分别形成在槽103与106的外侧部分中。

根据本实施例，槽103至106是形成在具有矩形平板形状的压电基板92中的，借此定义了在压电振动部件两侧的动态减震器109与110及支承部件111与112。根据本发明的第一耦合部件为带有槽104与105、具有窄小宽度的压电基板部分，而第二耦合部件则为带有槽103与106、具有窄小宽度的压电基板部分。

引线电极113与114形成在支承部件111与112上，用于分别与激振电极107与108电连接。

在本实施例中，动态减震器109与110也适用于利用动态减震器现象抑制从压电振动部件泄漏到压电基板102的端部的振动。

通过用第五实施例的压电谐振器101来代替根据第一实施例的压电谐振器，有可能得到一种根据第五实施例的压电谐振元件。在根据第五实施例得到的压电谐振元件中，由于动态减震器作用而将振动能量捕集在动态减震器109与110的范围中，从而可以减小压电基板102的长度而不降低其谐振特征。因此，有可能小型化片型压电谐振元件。

如从第五实施例的上述描述清楚地了解的有可能用各种具有利用剪切模式的动态减震器的压电谐振器来代替根据本发明的第一实施例的压电谐振器。下面参照图11至13描述这种具有动态减震器的能量捕集器型压电谐振器的其它实例。

图11中所示的压电谐振器121由一块细长的矩形压电基板122构成。在压电基板122中，分别在两个侧面上形成槽123至126及127至130，借此定义动态减震器131至134。此外，位于槽124与125之间的压电基板部分定义一个根据本发明的压电振动部件135。此外，支承部件136与137分别形成在槽123与126的外侧部分中。根据本发明的第一耦合部件分别为夹在槽124与128之间以及槽125与129之间的压电基板部分，而第二耦合部件则是位于槽123与127之间的压电基板部分及位子槽126与130之间的薄压电基板部分。

在压电振动部件135中，压电基板122是沿图11中的箭头P，即沿其纵向极化的。另一方面，激振电极138与139是平行于极化方向P形成在压电基板122的上表面上的。即，激振电极138与139是形成在压电基板122的上表面上的压电振动部件135中的。

当跨越激振电极138与139作用一个交流电压时，便以剪切模式激发该压电振动部件135。另一方面，动态减震器131至134是形成为用动态减震器现象来抑制从压电振动部件135通过第一耦合部件泄漏的振动的。因此，在压电谐振器121中，振动能量被捕集在直到设置有动态减震器131至134的部分的部分中。

在支承部件136与137上提供有引线电极140与141。

在图11中所示的压电谐振器121中，在压电基板122的两个侧面向其横向中心形成彼此相对的多个槽123至130，如上所述，从而在接受泄漏的振动的部分的两侧上形成动态减震器131、133、132及134。

图12示出根据图11中所示的压电谐振器121的一种改型的一个压电谐振器151。这一压电谐振器151与压电谐振器121的不同点在于：压电振动部件135是沿图12中的箭头P，即压电基板122的横向极化的；并且激振电极138与139是形成为沿横向延伸的。其它结构基本上与压电谐振器121的相同，所以相同的部分用相同的参照数字表示，以省略冗余的描述。

图13为根据图11中所示的压电谐振器121的另一种改型的一个压电谐振器161的透视图。在这一压电谐振器161中，一个压电振动部件135是沿图13中的箭头P，即纵向平行于一块压电基板122极化的。压电谐振器161在设置电极的位置上不同于压电谐振器121。

在压电谐振器161中，激振电极138与139形成在压电振动部件135中的压电基板122的两侧上。因此，当跨越激振电极138与139作用一个交流电压时，以剪切模式激发该压电振动部件135。

此外，在压电谐振器161中，引线电极140与141分别形成在支承部件136与137中的压电基板122的侧面上。用于电连接引线电极140、141与激振电极138、139的连接导电部件也是沿压电基板122的侧面形成的。

在压电谐振器161中，当跨越激振电极138与139作用一个交流电压时，以剪切模式激发压电振动部件135。如从压电谐振器161中得知的，用于激发剪切模式振动的激振电极138与139可以不设置在上或下表面上，而设置在构成压电振动部件135的一块压电板的侧面上。此外，激振电极139可以形成在例如图11中所示的压电谐振器121中的压电基板122的下表面上，而激振电极138或139也可形成在图13中所示的压电谐振器161中的压电基板122的一个主表面上。

虽然在上述各实施例中，确定压电谐振器的压电振动部件、第一与第二耦合部件、动态减震器与支承部件是通过机加工一块单一的压电基板构成的，但这些部件也可用分立的构件构成。例如，如图14中所示，绝缘板172与173可以粘接到相同厚度的用于构成一个压电振动部件的一块矩形压电板171上，从而定义一块压电基板174，例如，这样一块基板174可用于构成根据第一实施例的压电谐振器11或另一种压电谐振器。虽然绝缘板172与173上是整体地设置有图14中所示的基板174中的动态减震器175与176及支承部件177与178的，但这些部件也可由分立的构件构成。

虽然在根据上述各实施例的压电谐振器中，支承部件在宽度上大于第二耦合部件而具有矩形压电基板的原始宽度，与耦合部件宽度相同的基板部分179与180可以形成在动态减震器175与176的外侧，如图15中所示。在这一情况中基板部分179与180起第二耦合部件与支承部件的作用，从而支承部件是构成为与第二耦合部件具有相同宽度的。

虽然在根据第一实施例的压电谐振元件中，谐振板25是通过将隔离板21与22粘接在压电谐振器11的侧面部分上面构成的，压电谐振器11也可以是与隔离板21与22一体化的，用来定义谐振板25。图16为使用由一个整体构件构成的一块谐振板201的一个压电谐振元件的分解透视图。

在图16中所示的压电谐振元件中，谐振板201具有一个矩形据形式的支承部件202，从而在一个被矩形框型支承部件202包围的开口203中配置了一个压电振动部件与一个动态减震器。即，谐振板201实质上是以图1中所示的谐振板25相似的方式构成的。

因此，对应的部件从对应的参照数字表示的，从而省略了冗余的描述。

有可能通过制备一块具有矩形平板形状的压电板并用激光束之类将这一压电板蚀刻空而得到谐振板201。

由一块单一的压电板构成的谐振板201具有优良的环境耐受能力。在图1所示的谐振板25中，如果压电谐振器11与隔离板21及22没有在部分A(图1)中充分粘接牢，便容易导致湿气等的渗入。反之，在谐振板201中，由于不存在这种粘接部分A，振动部件是可靠地密封的。这样，便有可能得到一个具有优良的抗环境能力的压电谐振元件。

虽然在上述各实施例中，动态减震器是形成在压电基板的振动部件的两侧上的，这一动态减震器也可不形成在各侧面只形成在振动部件的一侧上。在这一情况中，与一个传统的压电谐振器相比，有可能进一步有效地捕集振动能量。

此外，在压电基板的振动部件与端面之间可以形成多个动态减震器。在这一情况中，该多个动态减震器可以只形成在压电基板的一个表面上，也可以形成的两个表面上。

虽然已经详细地描述与图示了本发明，应当清楚地认识这些都只是用作图示与示例的方法而不是用作限制本发明的，本发明的精神与范围只受所附权利要求书的限制。

Claims (13)

1.一种压电谐振元件牛其特征在于，包括：

一个压电谐振器(11)，压电谐振器(11)包括：

至少一个利用剪切模式的压电振动部件；

耦合到所述压电振动部件上的一个第一耦合部件；

耦合到所述第一耦合部件上的一个动态减震器(16，18)；

耦合到所述动态减震器(16，18)上的一个第二耦合部件；以及

耦合到所述第二耦合部件上的一个支承部件；

配置在所述压电谐振器的两侧上的一对隔离板，(21，22)，通过间隙来容许所述压电谐振器的所述振动部件的振动；以及

粘接与层叠在由所述压电谐振器与所述隔离板构成的一块谐振板(25)的两个主表面上的一对外壳基板(28，29)，同时定义容许所述压电谐振器的所述振动部件的振动的间隙。

2.根据权利要求1的一种压电谐振元件，其特征在于：所述压电谐振器由一个板形构件构成，所述一对隔离板固定在所述压电谐振器的两侧上以构成所述谐振板。

3.根据权利要求2的一种压电谐振元件，其特征在于：所述谐振板是由一个具有接纳所述压电振动部件与所述动态减震器的一个开口的矩形框形式的单一构件构成的。

4.根据权利要求1的一种压电谐振元件，其特征在于：所述第一耦合部件、所述动态减震器、所述第二耦合部件及所述支承部件是设置在提供有所述至少一个压电振动部件的一个部分的各侧上的。

5.根据权利要求4的一种压电谐振元件，其特征在于：压电谐振器是由一个板型构件构成的，所述一对隔离板固定在所述压电谐振器的两侧上以构成所述谐振板。

6.根据权利要求5的一种压电谐振元件，其特征在于：所述谐振板是由一个具有接纳所述压电振动部件与所述动态减震器的一个开口的矩形框形式的单一构件构成的。

7.根据权利要求1的一种压电谐振元件，其特征在于：所述压电振动部件具有一块板型压电板、及形成在所述压电板的外表面上的第一与第二激振电极。

8.根据权利要求7的一种压电谐振元件，其特征在于：还包括一个形成在所述支承部件的所述外表面上以到达所述谐振板的一条外边缘的一个引线电极，所述引线电极电连接到所述第一或第二激振电极上。

9.根据权利要求8的一种压电谐振元件，其特征在于：还包括一个形成在压电谐振元件的所述外表面上的外部电极，用于电连接到所述引线电极上。

10.根据权利要求1的一种压电谐振元件，其特征在于：所述利用剪切模式的压电振动部件是一个利用纵向压电效应的压电振动部件。

11.根据权利要求1的一种压电谐振元件，其特征在于：所述利用剪切模式的压电振动部件是一个利用横向压电效应的压电振动部件。

12.根据权利要求1的一种压电谐振元件，其特征在于：所述压电振动部件是用一种压电材料构成的。

13.根据权利要求1的一种压电谐振元件，其特征在于：所述压电振动部件是由一个板型构件及一层设置在所述板型构件上的压电薄膜构成的。

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