CN1121755C - 能量限制型厚度延伸振动模式压电谐振器 - Google Patents

Abstract

一种能量限制型厚度延伸振动模式压电谐振器，它利用厚度延伸振动模式的谐波并可以做成较小的尺寸，可有效地抑制不想要的寄生振动。此谐振器1包括矩形压电条2，在压电条2的两个表面上形成的第一和第二激励电极3、4以及位于压电条内部的内部电极。第一和第二激励电极3和4位于压电条2的两侧。内部电极的位置与第一和第二激励电极3、4相对。第一和第二激励电极在长度l上相互重叠，从而l/d不大于6，其中d＝t/n。

Description

能量限制型厚度延伸振动模式压电谐振器

技术领域

本发明涉及在各种谐振器、振荡器和类似装置中所使用的能量限制型压电谐振器，尤其涉及利用厚度延伸振动模式谐波的能量限制型厚度延伸振动模式压电谐振器。

背景技术

在诸如压电振荡器、压电滤波器等各种压电谐振器组件中通常使用压电谐振器。这种类型的公知压电谐振器根据所使用的频率而利用各种压电振动模式。

在117409/1989号未审查公开专利中揭示了一种利用厚度延伸振动模式的二次波的能量限制型(trap)压电谐振器。现在参考图17和18来描述此压电谐振器。

如图17的分解透视图所示，通过依次堆叠压电材料制成的陶瓷生片(greensheet)51、52并把它们烧结起来而构成图17和18所示的压电谐振器。环形激励电极53位于陶瓷生片51的中央。激励电极53通过引出电极54引出到陶瓷生片51的一端。在陶瓷生片52上表面的中央形成环形激励电极55。激励电极55通过引出电极56引出到陶瓷生片52的一端。如下部投影图所示，在陶瓷生片52的下表面上形成激励电极57。激励电极57通过引出电极58引出到陶瓷生片52的一端。

把陶瓷生片51和52彼此堆叠，并沿厚度方向加压。然后，对它们进行烧结，于是产生一烧结体。然后，此烧结体被极化。于是，获得如图18所示的压电谐振器60。

在压电谐振器60中，压电层61和62沿箭头方向即厚度方向是均匀极化的。

在驱动该器件时，把激励电极53和57连接在一起，在激励电极53、57和激励电极55之加上AC电压。这样，可使压电谐振器60谐振。在此情况下，振动能量被限制在激励电极53、55、57相互重叠的区域，即谐振部分A。

把利用厚度延伸振动模式谐波的已有技术的压电谐振器60设计成如上所述的能量限制型压电谐振器。因此，需要有包围谐振部分A用于衰减振动的振动衰减部分。即需要大到可与谐振部分的面积相比的振动衰减部分。结果，难于减小压电谐振器60的尺寸。

在235422/1990号未审查公开专利中也揭示了一种能量限制型压电谐振器，它使用压电陶瓷条，而且几乎不需要包围谐振部分的额外压电基板部分。

如图19所示，在细长的压电基板71的顶面和底面分别形成激励电极72a和激励电极72b。激励电极72a和72b沿压电基板71的整个主尺寸延伸，在压电基板71的纵向中心相互远离相对，以形成谐振部分。这两个激励电极72a和72b分别延伸到压电基板71的纵向端71a和71b。

当压电谐振器70被激励成厚度延伸振动模式时，由于压电基板71的宽度W与厚度T之间尺寸关系而产生不想要的振动。相应地，235422/1990号未审查公开专利中揭示了在使用基波时，如果谐振频率为16MHz，则应使用W/T＝5.33，在使用三次波时，把W/T大致设定为2.87(这里，谐振频率为大约16MHz)，可减少谐振和反谐振频率之间不想要的寄生波。

如上所述，117409/1989号日本未审查公开专利中所揭示的利用厚度延伸振动模式二次波的能量限制型压电谐振器需要包围谐振部分的大的振动衰减部分。因此，难于减小谐振器的尺寸。

235422/1990号未审查公开专利中所揭示的能量限制型压电谐振器不需要谐振器部分两侧的振动衰减部分，这样可获得小型化。然而，在利用厚度延伸振动模式的谐波时，除了谐振和反谐振频率之间的寄生波以外，还出现各种不想要的寄生波。结果，不能获得有效的谐振特性。

发明内容

本发明的一个方面是提供利用厚度延伸振动模式的谐波并可以做成较小的尺寸于是可有效地抑制不想要的寄生振动(因而具有良好的谐振特性)的能量限制型厚度延伸振动模式压电谐振器。

依据本发明的一个方面，提供了一种能量限制型厚度延伸振动模式压电谐振器，所述谐振器利用厚度延伸振动模式的第n次谐波，包括：压电板，具有彼此相对的第一和第二表面；第一激励电极，设在所述压电板的所述第一表面上；第二激励电极，设在所述压电板的所述第二表面上并与所述第一激励电极彼此相对，所述压电板置于所述第一和第二激励电极之间；至少一个内部电极，置于所述压电板中并至少与所述第一和第二激励电极局部相对；所述第一和第二激励电极、所述内部电极和所述压电板四者的重叠部分限定一谐振部分，从而所述第一激励电极、所述第二激励电极和所述至少一个内部电极基本上跨所述压电板的整个宽度延伸；振动衰减部分，沿所述压电板的纵向仅位于所述谐振部分的两侧；所述第一和第二激励电极沿基本上垂直于所述纵向的方向基本上延伸至所述压电板的两侧，所述振动衰减部分沿所述纵向延伸；以及所述第一和第二激励电极与所述内部电极仅在所述压电板的中央部分重叠，重叠长度为l，从而l/d≤6，其中d＝t/n，t是所述压电板的厚度，n是大于1的整数。

依据本发明的另一个方面，提供了一种能量限制型压电谐振器，包括：压电板，具有彼此相对的第一和第二表面；第一激励电极，设在所述压电板的所述第一表面上；第二激励电极，设在所述压电板的所述第二表面上并与所述第一激励电极彼此相对，所述压电板置于所述第一和第二激励电极之间；至少一个内部电极，置于所述压电板中并至少与所述第一和第二激励电极局部相对；所述第一和第二激励电极、所述内部电极和所述压电板四者的重叠部分限定一谐振部分，从而所述第一激励电极、所述第二激励电极和所述至少一个内部电极基本上跨所述压电板的整个宽度延伸；所述第一和第二激励电极与所述内部电极仅在所述压电板的中央部分重叠，重叠长度为l，从而l/d≤6，其中d＝t/n，t是所述压电板的厚度，n是大于1的整数；以及振动衰减部分，沿所述压电板的纵向仅位于所述谐振部分的两侧。

由上述结构，可有效地抑制非谐泛音(inharmonic overtones)以及所使用谐波以外的谐波引起的不想要的寄生分量。结果，可提供具有良好谐振特性的能量限制型厚度延伸振动模式压电谐振器。

在以上的能量限制型厚度延伸振动模式压电谐振器中，l/d的比值最好在3到6的范围内。

由以上结构，不仅可以抑制由非谐泛音所引起的寄生分量，也可实现相对带宽较宽且谐振特性更佳的能量限制型厚度延伸振动模式压电谐振器。l/d的比值最好在4.5到5.5的范围内。这可进一步增大相对带宽。

在上述能量限制型厚度延伸振动模式压电谐振器中，压电板最好是细长的压电条形状。

由以上结构，可促进厚度延伸振动模式压电谐振器的小型化。

上述能量限制型厚度延伸振动模式压电谐振器还可包括位于所述压电板的所述第一和第二表面上的电容器，其间有一间隔，该间隔不阻碍压电谐振器的振动。

由以上结构，可提供具有内置电容器的压电谐振器，该谐振器使用具有较少因非谐泛音所引起的不想要的寄生振动并具有良好谐振特性的压电谐振器。

附图概述

图1是示出依据本发明第一实施例的厚度延伸振动模式压电谐振器的透视图；

图2是示出依据第一实施例的厚度延伸振动模式压电谐振器的剖面图；

图3是对应于其位移分布如图4和5所示的部分的一部分压电谐振器的剖面图；

图4是示出以厚度延伸振动的二次波(TE2)振动的压电体中位移分布的图，用有限元法来分析该分布；

图5是示出以非谐泛音(S1)振动的压电体中位移分布的图，用有限元法来分析该分布；

图6是示出用有限元法分析的阻抗-频率特性图，其中比值l/d为5.0；

图7是示出图1所示厚度延伸振动模式压电谐振器阻抗-频率特性的图，用有限元法分析该特性，其中比值l/d为3.0；

图8是示出比值l/d、厚度延伸振动模式的二次波TE2以及非谐泛音S1的频率常数之间关系的图；

图9是示出比值l/d和相对带宽之间关系的图；

图10是示出依据本发明第二实施例的厚度延伸振动模式压电谐振器的透视图；

图11是示出依据本发明的厚度延伸振动模式压电谐振器的第一变化例子的剖面图；

图12是示出依据本发明的厚度延伸振动模式压电谐振器的第二变化例子的剖面图；

图13是示出依据本发明的厚度延伸振动模式压电谐振器的第三变化例子的剖面图；

图14是示出依据本发明的厚度延伸振动模式压电谐振器的第四变化例子的剖面图；

图15是示出具有内置电容器的压电谐振器的透视图，依据本发明的第三实施例来制造该谐振器；

图16是示出图15所示压电谐振器电路结构的图；

图17是示出已有技术厚度延伸振动模式压电谐振器一个例子的分解透视图；

图18是示出图17所示厚度延伸振动模式压电谐振器的剖面图；

图19是示出已有技术厚度延伸振动模式压电谐振器另一个例子的透视图；以及

图20是示出已有技术厚度延伸振动模式压电谐振器的阻抗-频率特性的图；

本发明的其它特性和优点从下面参照附图对于本发明的描述中显而易见。

本发明的较佳实施方式

(第一实施例)

图1是示出根据本发明的第一实施例的厚度延伸振动模式压电谐振器的透视图。图2是谐振器的剖面图。

厚度延伸压电谐振器1由包括压电陶瓷(诸如，锆酸钛酸铅基陶瓷)的细长压电条2形成。

沿着如图中箭头所示的厚度方向使压电条2均匀极化。在压电条2的顶面上形成第一激励电极3。在底面上形成第二激励电极4。在压电条2的顶面和底面处，激励电极3和4从压电条2的一端面2a延伸到另一端面2b。

通过在压电条2的端面2a上形成连接电极5，把激励电极3和4连接起来。

在压电条2的中间，形成内部电极6。把内部电极6引出到压电条2的端面2b，并与在端面2b上形成的端接电极7电气连接。

在操作期间，在第一和第二激励电极3、4与内部电极6之间施加交流电压，从而强烈感应出厚度延伸振动模式的二次波。于是，可以把谐振器用作利用二次波的压电谐振器。

通过在压电条2的纵向中心的压电层，把第一和第二激励电极3和4堆积在内部电极6上。因此，在内部电极6重叠第一和第二激励电极3、4的部分中，形成能量限制谐振部分。当谐振部分谐振时，由从谐振部分延伸到端面2a和2b的压电部分衰减能量。

如果把上述谐振部分作为中心，那么只沿着压电条2的纵向在纵向相对的两侧形成振动衰减部分。第一和第二激励电极沿着与纵向(例如，纵向端)垂直的方向延伸到压电条的端部。

在这种情况下，只要求第一和第二激励电极3、4和内部电极6只在谐振部分6中沿着压电条2整个宽度方向延伸。在谐振部分之外，通常不要求保持这个宽度。把激励电极3作为一个例子。激励电极3只需在谐振部分中沿着压电条2的整个宽度方向延伸。由于简单地将激励电极与连接电极5电气连接，所以在端面2a一侧上的激励电极部分可以更薄。

本实施例的特征在于，把比值l/d设定为不大于6，这里1是第一和第二激励电极3、4沿第一方向，即连接谐振部分两侧振动衰减部分的压电板2的纵向的重叠长度，t是压电板2的厚度，d＝t/n。尤其是，在能量限制型厚度延伸振动模式压电谐振器1中，把比值l/d设定为不大于6。因此，与已有技术的条型厚度延伸振动模式压电谐振器不同，本谐振器可有效地抑制不想要的寄生分量。将参考图20和3-9对此进行描述。

在图20中示出图19所示已有技术条型压电谐振器70的阻抗-频率。如图20所示，可观察到响应于厚度延伸振动模式的二次波，在箭头B所示的反谐振点附近发生波形分离，于是劣化了谐振和反谐振频率之间频带中的谐振特性。

相应地，本申请的发明人就箭头B所示波形分离的原因进行了各种讨论，并发现波形分离是因非谐泛音的寄生振动所引起的。此外，我们首次发现通过调节上述比值l/d可抑制该非谐泛音的效应并产生了本发明。

图4和5是示出在激励厚度延伸振动的二次波(TE2)和非谐泛音(S1模式)时用有限元法所分析的位移分布图。图4和5示意地示出在图3所示条型厚度延伸振动模式压电谐振器1上一半竖直截面，即沿纵向和厚度方向的厚度延伸振动模式压电谐振器上一半截面上的位移。

从图5可看出，非谐泛音使厚度延伸振动模式压电谐振器谐振部分中的压电板产生较大位移。可观察到，如果所产生的非谐泛音具有较大的幅度，则对图4所示厚度延伸振动模式的二次波振动有很大影响。

相应地，本申请的发明人进行了各种实验，尝试抑制由上述非谐泛音S1所引起的寄生分量，已发现通过把比值l/d设定为不大于6可减少对非谐泛音的响应(其中l是第一和第二激励电极沿压电板1纵向的重叠长度，t是压电板2的厚度，d＝t/n)，并只可强烈地激励厚度延伸振动模式的二次波TE2。

图6和7示出压电谐振器1的阻抗-频率特性，其中比值l/d被分别设定为5.0和3.0。

从图6可看出，如果比值l/d为5.0，则谐振点Fr和反谐振点Fa之间的通频带附近不产生大的寄生振动。因此，可有效地抑制由非谐泛音所引起的寄生分量。

从图7可看出，如果比值l/d为3.0，则在图20所示的反谐振点Fa附近不产生波形分离。结果，可抑制由非谐泛音所引起的寄生分量。

通过把图6的特性与图7的特性相比较示出，与比值l/d＝3.0的情况相比，在比值l/d＝5.0的情况下可更有效地抑制对寄生分量的响应。

把钛酸铅构成的长度l＝3.0mm、宽度W＝0.5mm和厚度t＝0.3mm的压电陶瓷用作压电板1。把第一和第二激励电极沿纵向的重叠长度l变为各种值。检查谐振特性随比值l/d的变化。其结果如图8和9所示。

图8是示出在比值l/d变化时频率常数F·d变化的图。频率常数F·d以谐振点Fr或反谐振点Fa的频率与上述d的积表示。

在图8中，▲表示厚度延伸振动模式二次波(TE2)的谐振点Fr，●表示厚度延伸振动模式二次波(TE2)的反谐振点Fa，△表示非谐泛音(S1)的谐振点Fr，○表示非谐泛音(S1)的反谐振点Fa的位置。

从图8可看出，如果l/d超过6，则在厚度延伸振动二次波TE2的反谐振点Fa附近出现非谐泛音S1的谐振点Fr和反谐振点Fa。如果比值l/d不小于8，则在厚度延伸振动二次波TE2的谐振点Fr和反谐振点Fa之间的频带内产生非谐泛音S1的上述两点。另一方面，如果l/d不大于6，则不出现非谐泛音。

如果比值l/d不大于6，则可抑制非谐泛音的产生。然而，在比值l/d减小时，厚度延伸振动模式二次波TE2的通频带，即谐振点Fr和反谐振点Fa之间的带宽变窄。

我们通过有限元法来检查比值l/d变化时的相对带宽。得到图9所示的结果。

相对带宽由

(Fa-Fr)×100/Fa(％)

给出，这里Fr是谐振频率，Fa是反谐振频率。

从图9可看出，当比值l/d变化时，相对带宽也变化。如果l/d在3到6的范围内，则相对带宽大到6％或更大。尤其是，在4.5到5.5的范围内，相对带宽大到大约7％。

因此，通过把比值l/d设定为3-6(最好是4.5-5.5)可抑制非谐泛音所引起的寄生分量。此外，可给能量限制型厚度延伸振动模式压电谐振器1提供大的相对带宽和良好的谐振特性。

在依据本实施例的厚度延伸振动模式压电谐振器1中，如上所述l/d被设定为不大于6。因此，如果利用厚度延伸振动模式二次波TE2来构成能量限制型压电谐振器，可有效地抑制因非谐泛音而引起的不想要的寄生分量。

(第二实施例)

在根据第一实施例的厚度延伸振动模式压电谐振器1中，沿着厚度方向均匀地极化压电条2。以平行结构连接压电谐振器，从而外加电场与每个连续层相反。还可以把本发明应用于其中沿着厚度方向交替相反地极化多个压电层的串联型压电谐振器。图10示出这种串联型厚度延伸振动模式压电谐振器。

如图10所示的厚度延伸振动模式压电谐振器11由细长矩形压电条12构成。在压电条12的顶面上形成第一激励电极13。在底面上形成第二激励电极14。分别把第一和第二激励电极13和14设置在压电条12的两侧上。在压电条12的纵向中心处，第一和第二激励电极13和14互相相对。第一和第二激励电极13、14互相相对的部分形成能量限制型谐振器部分。

此外，在本实施例中，分别把第一和第二激励电极13、14引出到压电条12的端面12a和12b。除了谐振器部分之外的部分不需要沿着压电条12的整个长度延伸。

从不同的角度看，激励电极13和14沿着压电条12的纵向，形成具有振动衰减部分的能量限制型谐振器部分。为此，第一和第二激励电极13和14沿着与纵向垂直的方向延伸到压电条12的纵端。

在压电条12的一半高度处形成内部电极16，并用于极化压电条12。即，在极化期间，通过分别把高压和低压施于内部电极16和激励电极13、14，沿着箭头所指厚度方向以相反方向极化压电层12c和12d。

在操作期间，分别在第一和第二激励电极13和14之间施加交流电压。即，内部电极16不用于该操作。可以激励厚度延伸振动模式的二次波TE₂。

此外，在依据第二实施例的厚度延伸振动模式压电谐振器11中，把比值l/d设定为不大于6，从而本谐振器可以用与依据第一实施例的厚度延伸振动模式压电谐振器1相同的方式，有效地抑制因非谐泛音而引起的不想要的寄生分量。此外，可获得良好的谐振特性。

(更新例子)

第一和第二实施例提供利用厚度延伸振动模式二次波的压电谐振器1和11。根据本发明的压电谐振器可以利用除了厚度延伸振动模式二次波之外的谐波。图11-14是示出利用这些其他谐波的压电谐振器的剖面图，而且与用于描述第一实施例的图2相对应。

图11是并联型厚度延伸振动模式压电谐振器21，它利用厚度延伸振动模式的三次波。特别是，把两个内部电极22和23设置在压电体2内。沿着箭头所示的厚度方向均匀地极化压电体2。于是，可以建立利用厚度延伸振动模式三次波的压电谐振器21。

图12所示的厚度延伸振动模式压电谐振器24是示出利用厚度延伸振动模式四次波的并联型压电谐振器24的剖面图。在厚度延伸振动模式压电谐振器24中，沿着厚度方向均匀地极化压电条2。沿着谐振器内的厚度方向，把三个内部电极25-27互相有规则地隔开。于是，有效地激励厚度延伸振动模式的四次波。

图13是示出利用厚度延伸振动模式三次波的串联型厚度延伸振动模式压电谐振器28的剖面图。在这种厚度延伸振动模式压电谐振器28中，把两个内部电极29和30设置在压电体12中。把压电体12的内部分成三层压电层12e-12g。运用这些内部电极29和30进行极化，从而以相反方向极化沿着厚度方向互相邻近的压电层。于是，通过在第一和第二激励电极13和14上施加交流电压，可以激励厚度延伸振动模式的三次波。

同样地，图14是示出利用厚度延伸振动模式四次波的串联型压电谐振器31的剖面图。这里，把三个内部电极32-34置于压电体12内。使用这三个内部电极32-34进行极化，从而使沿厚度方向相邻的压电层以相反的方向极化。

因此，通过加上分别来自第一和第二激励电极13和14的AC电压，可实现利用厚度延伸振动四次波的压电谐振器。

在图11-14所示的每个厚度延伸振动模式压电谐振器中，把比值l/d都设定为不大于6。结果，这些谐振器以与依据第一和第二实施例的厚度延伸振动模式压电谐振器相同的方式，利用厚度延伸振动的谐波可有效地抑制因非谐泛音而引起的寄生分量。

(第三实施例)

图15是示出依据本发明第三实施例的厚度延伸振动模式压电谐振器的透视图。图16是示出其等效电路的图。图15示出一压电谐振器41，它是依据第一实施例的厚度延伸振动模式压电谐振器1与电容器42的组合。电容器42通过导电粘合剂43、44粘接到厚度延伸振动模式压电谐振器1的底面。

在电容器42中，通过介电衬底42a项面上给定的空隙来形成电容电极42b和42c。在介电衬底42a的底面上形成公共电极42d。公共电极42d和电容电极42b、42c位于介电衬底42a的两侧。

导电粘合剂43把电容电极42b粘接到端接电极7。导电粘合剂44把电容电极42c粘接到端接电极5。

因此，如图16所示，可把压电谐振器41用作装有两个电容单元的压电谐振器。

于是，厚度延伸振动模式压电谐振器1是利用厚度延伸振动二次波的压电谐振器。可有效地抑制因非谐泛音而引起的寄生振动。因此，可提供具有良好频率特性的压电谐振器。

虽然参考本发明的较佳实施例特别描述了本发明，但本领域熟练的技术人员应理解可对本发明的形式和细节进行上述的和其他的变化而不背离本发明的精神。

Claims (18)

1.一种能量限制型厚度延伸振动模式压电谐振器，所述谐振器利用厚度延伸振动模式的第n次谐波，其特征在于包括：

压电板，具有彼此相对的第一和第二表面；

第一激励电极，设在所述压电板的所述第一表面上；

第二激励电极，设在所述压电板的所述第二表面上并与所述第一激励电极彼此相对，所述压电板置于所述第一和第二激励电极之间；

至少一个内部电极，置于所述压电板中并至少与所述第一和第二激励电极局部相对；

所述第一和第二激励电极、所述内部电极和所述压电板四者的重叠部分限定一谐振部分，从而所述第一激励电极、所述第二激励电极和所述至少一个内部电极基本上跨所述压电板的整个宽度延伸；

振动衰减部分，沿所述压电板的纵向仅位于所述谐振部分的两侧；

所述第一和第二激励电极沿基本上垂直于所述纵向的方向基本上延伸至所述压电板的两侧，所述振动衰减部分沿所述纵向延伸；以及

所述第一和第二激励电极与所述内部电极仅在所述压电板的中央部分重叠，重叠长度为l，从而l/d≤6，其中d＝t/n，t是所述压电板的厚度，n是大于1的整数。

2.如权利要求1所述的能量限制型厚度延伸振动模式压电谐振器，其特征在于所述比值l/d在3到6的范围内。

3.如权利要求1所述的能量限制型厚度延伸振动模式压电谐振器，其特征在于所述压电板具有基本上为矩形的形状。

4.如权利要求1所述的能量限制型厚度延伸振动模式压电谐振器，其特征在于还包括电容器，所述电容器位于所述压电板的所述第一和第二表面上且其间有一间隔，所述间隔允许压电谐振器自由地无阻碍地振动。

5.如权利要求1所述的能量限制型厚度延伸振动模式压电谐振器，其特征在于所述谐振器中所利用的所述厚度延伸振动模式的所述第n次谐波为所述厚度延伸振动模式的二次波。

6.如权利要求1所述的能量限制型厚度延伸振动模式压电谐振器，其特征在于所述谐振器中所利用的所述厚度延伸振动模式的所述第n次谐波为所述厚度延伸振动模式的三次波。

7.如权利要求1所述的能量限制型厚度延伸振动模式压电谐振器，其特征在于所述谐振器中所利用的所述厚度延伸振动模式的所述第n次谐波为所述厚度延伸振动模式的四次波。

8.如权利要求1所述的能量限制型厚度延伸振动模式压电谐振器，其特征在于所述压电板沿其厚度方向均匀极化。

9.如权利要求1所述的能量限制型厚度延伸振动模式压电谐振器，其特征在于所述压电板包括多个压电层，每一压电层的电场与相邻的一个压电层的电场相反。

10.如权利要求1所述的能量限制型厚度延伸振动模式压电谐振器，其特征在于所述压电板包括沿其厚度方向交替地相反极化的部分。

11.一种能量限制型压电谐振器，包括：

压电板，具有彼此相对的第一和第二表面；

第一激励电极，设在所述压电板的所述第一表面上；

第二激励电极，设在所述压电板的所述第二表面上并与所述第一激励电极彼此相对，所述压电板置于所述第一和第二激励电极之间；

至少一个内部电极，置于所述压电板中并至少与所述第一和第二激励电极局部相对；

所述第一和第二激励电极、所述内部电极和所述压电板四者的重叠部分限定一谐振部分，从而所述第一激励电极、所述第二激励电极和所述至少一个内部电极基本上跨所述压电板的整个宽度延伸；

所述第一和第二激励电极与所述内部电极仅在所述压电板的中央部分重叠，重叠长度为l，从而l/d≤6，其中d＝t/n，t是所述压电板的厚度，n是大于1的整数；以及

振动衰减部分，沿所述压电板的纵向仅位于所述谐振部分的两侧。

12.如权利要求11所述的能量限制型压电谐振器，其特征在于所述第一和第二激励电极沿基本上垂直于所述纵向的方向基本上延伸至所述压电板的两侧，所述振动衰减部分沿所述纵向延伸。

13.如权利要求11所述的能量限制型压电谐振器，其特征在于所述比值l/d在3到6的范围内。

14.如权利要求11所述的能量限制型压电谐振器，其特征在于所述压电板具有细长的压电条形状。

15.如权利要求11所述的能量限制型压电谐振器，其特征在于所述压电板具有基本上为矩形的形状。

16.如权利要求11所述的能量限制型压电谐振器，其特征在于还包括电容器，所述电容器位于所述压电板的所述第一和第二表面上且其间有一间隔，所述间隔允许压电谐振器自由地无阻碍地振动。

17.如权利要求11所述的能量限制型压电谐振器，其特征在于所述压电板沿其厚度方向均匀极化。

18.如权利要求11所述的能量限制型压电谐振器，其特征在于所述压电板包括多个压电层，每一压电层的电场与相邻的一个压电层的电场相反。

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