JPS63260310A - 縦水晶振動子 - Google Patents
縦水晶振動子Info
- Publication number
- JPS63260310A JPS63260310A JP9451987A JP9451987A JPS63260310A JP S63260310 A JPS63260310 A JP S63260310A JP 9451987 A JP9451987 A JP 9451987A JP 9451987 A JP9451987 A JP 9451987A JP S63260310 A JPS63260310 A JP S63260310A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibration
- supporting part
- width
- bending mode
- vibrating
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- Pending
Links
- 239000013078 crystal Substances 0.000 title claims description 22
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 4
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 238000005452 bending Methods 0.000 abstract description 12
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
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Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野〕
本発明は、ＩＭＨｚ前後と中周波数を有する縦水晶振動
子に関する。特に、その振動子形状に関する。
子に関する。特に、その振動子形状に関する。
本発明は、振動モレの非常に少ない縦水晶振動子を提供
することにある。水晶は物理的、化学的に大変に安定し
た物質であり、従って、これから形成される、いわゆる
水晶振動子は損失抵抗の小さい、高いＱ値を持った振動
子を得ることができる。
することにある。水晶は物理的、化学的に大変に安定し
た物質であり、従って、これから形成される、いわゆる
水晶振動子は損失抵抗の小さい、高いＱ値を持った振動
子を得ることができる。
しかしながら、このように優れた特性が得られるのは、
振動モレの小さい振動子形状の設計がなられて初めて得
られるのである６本発明は振動部と支持部がエツチング
法によって一体に形成された縦水晶振動子の支持部の形
状を工夫することにより、振動部のエネルギーを振動部
内部に閉じ込めることができる。即ち、振動モレの小さ
い縦水晶振動子を得ることにある。
振動モレの小さい振動子形状の設計がなられて初めて得
られるのである６本発明は振動部と支持部がエツチング
法によって一体に形成された縦水晶振動子の支持部の形
状を工夫することにより、振動部のエネルギーを振動部
内部に閉じ込めることができる。即ち、振動モレの小さ
い縦水晶振動子を得ることにある。
振動部と支持部をエツチング法によって一体に形成され
た従来の縦水晶振動子は支持部のフレームの幅が一様、
且つ、同一方向に形成され、その端部でマウントされる
ため、振動部のエネルギーがマウント部まで伝わり、振
動モレの原因となっていた。そのために、損失抵抗Ｒ１
の小さい縦水晶振動子を得ることができなかった。
た従来の縦水晶振動子は支持部のフレームの幅が一様、
且つ、同一方向に形成され、その端部でマウントされる
ため、振動部のエネルギーがマウント部まで伝わり、振
動モレの原因となっていた。そのために、損失抵抗Ｒ１
の小さい縦水晶振動子を得ることができなかった。
このために、ＩＣの増幅度を高める等して対応して来た
が消費電流が多くなる等の欠点があり、ひどい時には、
機器に配置したときに、振動モレが大きく、発振停止す
るという大きな問題が生じていた。そこで、本発明はこ
の振動モレの非常に小さい縦水晶振動子を提案するもの
である。即ち、振動モレの非常に小さい形状を提供する
ものである。
が消費電流が多くなる等の欠点があり、ひどい時には、
機器に配置したときに、振動モレが大きく、発振停止す
るという大きな問題が生じていた。そこで、本発明はこ
の振動モレの非常に小さい縦水晶振動子を提案するもの
である。即ち、振動モレの非常に小さい形状を提供する
ものである。
第１図は本発明の縦水晶振動子の闇路化した図である。
振動子１は振動部２と支持部３からなり、支持部３は両
端で固定されていると考えることができる。又、振動部
２は長さＬｌ、幅Ｗ１．厚みＴで表わし、支持部３は長
さＬｘ、輻Ｗ２で表わすと、今、振動子１の振動部２は
矢印Ａで示したように、伸びの変位をすると、支持部３
は当然、矢印Ｂで示すごとく内側に曲げのモードを発生
する。逆に、振動部２が縮めば、支持部３は外側に曲げ
のモードを発生する。即ち、本発明では、振動部２の幅
方向の変位を支持部３の屈曲モードに変換することによ
って、その振動の自由度を抑圧しないようにしている。
端で固定されていると考えることができる。又、振動部
２は長さＬｌ、幅Ｗ１．厚みＴで表わし、支持部３は長
さＬｘ、輻Ｗ２で表わすと、今、振動子１の振動部２は
矢印Ａで示したように、伸びの変位をすると、支持部３
は当然、矢印Ｂで示すごとく内側に曲げのモードを発生
する。逆に、振動部２が縮めば、支持部３は外側に曲げ
のモードを発生する。即ち、本発明では、振動部２の幅
方向の変位を支持部３の屈曲モードに変換することによ
って、その振動の自由度を抑圧しないようにしている。
そして、実際には、振動を抑圧しない寸法がある。この
形状寸法は振動部２の歪みエネルギーによって決まる。
形状寸法は振動部２の歪みエネルギーによって決まる。
即ち、振動部２の歪みエネルギーをＵｌ＋屈曲部の歪み
エネルギーをＵｓとすると、Ｕｌ、Ｕｔは次式で表わさ
れる。
エネルギーをＵｓとすると、Ｕｌ、Ｕｔは次式で表わさ
れる。
但し、Ｔ２応力、Ｓ、歪み、Ｅヤング率、Ｉ断面２次モ
ーメント、ｗ変位、■体積、Ｘ座標を示す。又、縦水晶
振動子の振動を抑圧しない関係は式＋１）、 Ｔ２＋よ
り次の関係が成り立つ。
ーメント、ｗ変位、■体積、Ｘ座標を示す。又、縦水晶
振動子の振動を抑圧しない関係は式＋１）、 Ｔ２＋よ
り次の関係が成り立つ。
Ｕｌ ＞Ｕｔ −・−・−−−−（３１これより
、屈曲部の寸法Ｌ□、Ｗ２が決定される。
、屈曲部の寸法Ｌ□、Ｗ２が決定される。
例えば、本発明の周波数ＩＭＨｚのときの寸法、即ち、
振動部の寸法は、Ｌｌ ＝２．６龍、Ｗ＋−８０μｍ。
振動部の寸法は、Ｌｌ ＝２．６龍、Ｗ＋−８０μｍ。
Ｔ＝１６０．ｃ＋ｍのとき、支持部の寸法比はＬｘ＝ｏ
、ａｍ、ｗ、＝８０＃曽＋Ｔ−１６０．ｕｎであればよ
い。即ち、屈曲部寸法比Ｗ、／Ｌ□＝０．１６以下であ
れば良い、このように寸法を決めることにより、損失抵
抗の小さい、且つ、高いＱ値を持つ縦水晶振動子を得る
ことができる０次に、振動モレについて述べる。第１図
の簡略化した図から分かるように、振動部２の振動エネ
ルギーは支持部３う伝達する。
、ａｍ、ｗ、＝８０＃曽＋Ｔ−１６０．ｕｎであればよ
い。即ち、屈曲部寸法比Ｗ、／Ｌ□＝０．１６以下であ
れば良い、このように寸法を決めることにより、損失抵
抗の小さい、且つ、高いＱ値を持つ縦水晶振動子を得る
ことができる０次に、振動モレについて述べる。第１図
の簡略化した図から分かるように、振動部２の振動エネ
ルギーは支持部３う伝達する。
従って、支持部３でのエネルギー損失を小さくすれば良
い訳で、支持部３のモードは屈曲モードに変換されるか
ら、両端部のマウントされる部分、即ち、固定部の質量
が無限大であれば、支持部３のエネルギーは′モレない
ことになる。即ち、本発明は、振動部２から伝わる支持
部３の屈曲モードに変換する形状、Ｗ！／Ｌ！を選択す
ることにより、振動部の振動を自由にし、且つ、屈曲モ
ードする部分と接続する部分の質量を大きくすることに
よって、本発明の目的を達成するものである。
い訳で、支持部３のモードは屈曲モードに変換されるか
ら、両端部のマウントされる部分、即ち、固定部の質量
が無限大であれば、支持部３のエネルギーは′モレない
ことになる。即ち、本発明は、振動部２から伝わる支持
部３の屈曲モードに変換する形状、Ｗ！／Ｌ！を選択す
ることにより、振動部の振動を自由にし、且つ、屈曲モ
ードする部分と接続する部分の質量を大きくすることに
よって、本発明の目的を達成するものである。
このように、本発明は、振動部と支持部から構成される
、エツチング法によって形成される縦水晶振動子の支持
部の形状を改善することにより、損失抵抗の小さい、且
つ、高いＱ値を有する縦水晶振動子を得ることができる
。同時に、支持部の振動モードを解析することにより、
振動モレの小さい縦水晶振動子が得られる。
、エツチング法によって形成される縦水晶振動子の支持
部の形状を改善することにより、損失抵抗の小さい、且
つ、高いＱ値を有する縦水晶振動子を得ることができる
。同時に、支持部の振動モードを解析することにより、
振動モレの小さい縦水晶振動子が得られる。
次に、本発明にて得られた結果を具体的に述べる。第２
図は本発明の縦水晶振動子の一実施例で、振動子１は振
動部２と支持部３から構成されていて、エツチング法に
よって一体に形成されている。
図は本発明の縦水晶振動子の一実施例で、振動子１は振
動部２と支持部３から構成されていて、エツチング法に
よって一体に形成されている。
振動部２は外部からの電界駆動にて、マウント部６方向
に伸縮運動をするが、それと同時に、その垂直方向、即
ち、ブリッジ部５の方向にも同様の振動をする。この時
に、先ず、振動部２の長手方向の振動を自由に励振する
には、ブリッジ部５方向の振動を十分に自由にすること
が大切で、そのためには、本発明では支持部３のフレー
ムの幅を他より細くし、これによって、振動の抑圧を防
止している。即ち、支持部３の幅Ｗは減衰部４の幅Ｗよ
り大きくして（Ｗ ＞ ｗ ）減衰部４の振動を自由に
している。同時に、減衰部４の長さｌも密接な関係を有
し、本発明では振動を抑圧しない寸法比ｗ／ｌは０．１
６以下であれば良い。次に、振動モしは支持部３の幅を
減東部より大きくすることによって、更に、質量効果を
持たせエネルギーの閉じ込めを図るものである。従って
、支持部３の端部にマウント部６を設け、ここでマウン
トすることにより損失抵抗の小さい、振動モレのない縦
水晶振動子が得られる。
に伸縮運動をするが、それと同時に、その垂直方向、即
ち、ブリッジ部５の方向にも同様の振動をする。この時
に、先ず、振動部２の長手方向の振動を自由に励振する
には、ブリッジ部５方向の振動を十分に自由にすること
が大切で、そのためには、本発明では支持部３のフレー
ムの幅を他より細くし、これによって、振動の抑圧を防
止している。即ち、支持部３の幅Ｗは減衰部４の幅Ｗよ
り大きくして（Ｗ ＞ ｗ ）減衰部４の振動を自由に
している。同時に、減衰部４の長さｌも密接な関係を有
し、本発明では振動を抑圧しない寸法比ｗ／ｌは０．１
６以下であれば良い。次に、振動モしは支持部３の幅を
減東部より大きくすることによって、更に、質量効果を
持たせエネルギーの閉じ込めを図るものである。従って
、支持部３の端部にマウント部６を設け、ここでマウン
トすることにより損失抵抗の小さい、振動モレのない縦
水晶振動子が得られる。
以上述べたように、本発明は振動部と支持部をエツチン
グ法によって一体に形成する縦水晶振動子において、新
形状の縦水晶振動子を提案することにより、次の著しい
効果を有する。
グ法によって一体に形成する縦水晶振動子において、新
形状の縦水晶振動子を提案することにより、次の著しい
効果を有する。
■ 支持部と減衰部の形状を改善することにより、振動
を自由にさせることができるので、損失抵抗が小さくな
る。
を自由にさせることができるので、損失抵抗が小さくな
る。
■ 支持部３の幅Ｗを減衰４の輻Ｗより大きくすること
により、質量効果が在るので、振動モレが小さくなる。
により、質量効果が在るので、振動モレが小さくなる。
■ 両端部で支持するので、製造が容易、且つ耐衝撃性
に優れる。
に優れる。
第１図は本発明の縦水晶振動子の原理を説明するための
概略図、第２図は本発明の縦水晶振動子形状の一実施例
を示す平面図である。 １・・・振動子 ２・・・振動部 ３・・・支持部 ４・・・減衰部 ５・・・ブリッジ部 ６・・・マウント部 以上
概略図、第２図は本発明の縦水晶振動子形状の一実施例
を示す平面図である。 １・・・振動子 ２・・・振動部 ３・・・支持部 ４・・・減衰部 ５・・・ブリッジ部 ６・・・マウント部 以上
Claims (1)
- 振動部と支持部をエッチング法によって、一体に形成
した縦水晶振動子において、支持部のフレームの幅が一
様でないことを特徴とする縦水晶振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9451987A JPS63260310A (ja) | 1987-04-17 | 1987-04-17 | 縦水晶振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9451987A JPS63260310A (ja) | 1987-04-17 | 1987-04-17 | 縦水晶振動子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63260310A true JPS63260310A (ja) | 1988-10-27 |
Family
ID=14112576
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9451987A Pending JPS63260310A (ja) | 1987-04-17 | 1987-04-17 | 縦水晶振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63260310A (ja) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5331242A (en) * | 1992-11-18 | 1994-07-19 | Alliedsignal Inc. | Vibrating tine resonators and methods for torsional and normal dynamic vibrating mode |
| US5541467A (en) * | 1992-07-03 | 1996-07-30 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Vibrating unit |
| US5548179A (en) * | 1994-10-17 | 1996-08-20 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Chip-type piezoelectric resonance component |
| US5621263A (en) * | 1993-08-09 | 1997-04-15 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric resonance component |
| US5627425A (en) * | 1992-07-03 | 1997-05-06 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Vibrating unit |
| US5635882A (en) * | 1993-08-17 | 1997-06-03 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Laterally coupled piezo-resonator ladder-type filter with at least one bending mode piezo-resonator |
| US5644274A (en) * | 1993-08-17 | 1997-07-01 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Stacked piezoelectric resonator ladder-type filter with at least one bending mode resonator |
| US5701048A (en) * | 1993-05-31 | 1997-12-23 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Chip-type piezoelectric resonance component |
| JP2012151651A (ja) * | 2011-01-19 | 2012-08-09 | River Eletec Kk | 圧電振動子 |
| JP2013141324A (ja) * | 2003-08-19 | 2013-07-18 | Seiko Epson Corp | 振動片、振動子、及び発振器 |
| CN107834991A (zh) * | 2017-10-31 | 2018-03-23 | 中电科技集团重庆声光电有限公司 | 一种石英谐振敏感芯片 |
-
1987
- 1987-04-17 JP JP9451987A patent/JPS63260310A/ja active Pending
Cited By (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5541467A (en) * | 1992-07-03 | 1996-07-30 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Vibrating unit |
| US5627425A (en) * | 1992-07-03 | 1997-05-06 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Vibrating unit |
| US5331242A (en) * | 1992-11-18 | 1994-07-19 | Alliedsignal Inc. | Vibrating tine resonators and methods for torsional and normal dynamic vibrating mode |
| US5701048A (en) * | 1993-05-31 | 1997-12-23 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Chip-type piezoelectric resonance component |
| US5621263A (en) * | 1993-08-09 | 1997-04-15 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric resonance component |
| US5644274A (en) * | 1993-08-17 | 1997-07-01 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Stacked piezoelectric resonator ladder-type filter with at least one bending mode resonator |
| US5635882A (en) * | 1993-08-17 | 1997-06-03 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Laterally coupled piezo-resonator ladder-type filter with at least one bending mode piezo-resonator |
| US5648746A (en) * | 1993-08-17 | 1997-07-15 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Stacked diezoelectric resonator ladder-type filter with at least one width expansion mode resonator |
| US5684436A (en) * | 1993-08-17 | 1997-11-04 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Ladder-type filter with laterally coupled piezoelectric resonators |
| US5689220A (en) * | 1993-08-17 | 1997-11-18 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Laterally coupled piezoelectric resonator ladder-type filter with at least one width expansion mode resonator |
| US5696472A (en) * | 1993-08-17 | 1997-12-09 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Stacked ladder-type filter utilizing at least one shear mode piezoelectric resonator |
| US5548179A (en) * | 1994-10-17 | 1996-08-20 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Chip-type piezoelectric resonance component |
| JP2013141324A (ja) * | 2003-08-19 | 2013-07-18 | Seiko Epson Corp | 振動片、振動子、及び発振器 |
| JP2012151651A (ja) * | 2011-01-19 | 2012-08-09 | River Eletec Kk | 圧電振動子 |
| CN107834991A (zh) * | 2017-10-31 | 2018-03-23 | 中电科技集团重庆声光电有限公司 | 一种石英谐振敏感芯片 |
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