JP2002152005A - 電子部品 - Google Patents
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- H03H9/15—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/17—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator
- H03H9/178—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator of a laminated structure of multiple piezoelectric layers with inner electrodes
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Abstract
の信頼性に優れており、長さ方向寸法を容易に調整する
ことができる電子部品を提供する。 【解決手段】 電子部品素体としての圧電体2の上面2
a及び下面2bに第1,第2の共振電極が形成されてお
り、第1,第2の共振電極3,4を下面または上面に導
くための内部電極膜7,8が圧電体2の上面2aと下面
2bとに至るように形成されており、下面2bに接続電
極5が上面2aに接続電極6が形成されており、接続電
極5,6が、共振電極3,4に内部電極膜7,8により
電気的に接続されている、電子部品としての圧電共振子
1。
Description
品などの電子部品に関し、より詳細には、圧電体などの
電子部品素体内に対向し合う一対の面に形成されている
電極を接続する内部電極が形成されている電子部品に関
する。
りモードを利用した圧電共振子が広く用いられている。
厚み滑りモードを利用したエネルギー閉じ込め型の圧電
共振子では、細長い矩形板状の圧電板の両主面に共振電
極が形成されている。この種の圧電共振子では、いずれ
かの主面側から表面実装を容易に行うことを可能とする
ために、一方主面に形成された共振電極が、圧電板の端
面を経て下面に至る接続電極に電気的に接続されてい
る。ところが、圧電共振子の取扱いに際し、接続電極が
コーナー部分で削り取られたりすることがあった。そこ
で、表裏の電極の接続の信頼性を高めるために、特開平
8−237066号公報には、図15に斜視図で示す圧
電共振子が開示されている。
板102の中央で圧電板102を介して対向するように
共振電極103,104が形成されている。また、圧電
板102の端面102a,102bには、端面電極10
5,106がそれぞれ形成されており、端面電極10
5,106は、共振電極103,104にそれぞれ電気
的に接続されている。また、端面電極105,106を
覆うように保護膜107,108が形成されている。保
護膜107,108は、端面電極105,106を保護
するために設けられている。また、共振電極103,1
04は、圧電板102の主面だけでなく保護膜107,
108上に至るように形成されている。
09が、下面には接続電極110が形成されている。接
続電極109,110は、それぞれ、端面電極106,
105に電気的に接続されるように構成されている。図
15から明らかなように、接続電極109,110は、
圧電板102の上面及び下面だけでなく、保護膜10
8,107の上面または下面に至るように形成されてい
る。
7,108により端面電極105,106が被覆されて
いるので、共振電極103,104と接続電極110,
109との電気的接続の信頼性が高められる。
図16に示すブロック状圧電体111の両主面に最終的
に端面電極となる全面電極を形成し、厚み方向に分極処
理する。しかる後、全面電極(図示せず)上に保護膜1
12,113を形成し、図16の一点鎖線Aに沿って切
断する。このようにして、図17に示す圧電体114を
得る。しかる後、図18に示すように、圧電体114に
マザーの共振電極115及びマザーの接続電極116等
を形成し、次に一点鎖線B,Bに沿って切断することに
より、圧電共振子101が得られる。
利用したエネルギー閉じ込め型の圧電共振子では、圧電
板102の長さ方向寸法により所望でないスプリアスが
発生する。特に、小型化を図ろうとした場合、圧電板1
02の長さ方向寸法によるスプリアスを抑制するため
に、圧電板102の長さを調整する必要があった。
造方法から明らかなように、圧電板102の長さ方向寸
法は、ブロック状圧電体111の厚み寸法により一義的
に決定される。従って、スプリアスを抑制するために、
圧電板102の長さ方向寸法を変更しようとした場合、
ブロック状の圧電体111の厚みを変更しなければなら
ず、圧電板102の長さを容易に調整することができな
かった。
を解消し、圧電体のような電子部品素体の上面に形成さ
れた電極と下面に形成された電極との電気的接続の信頼
性に優れているだけでなく、電子部品素体の寸法を容易
に調整し得る電子部品を提供することにある。
側からマザー基板等に容易に表面実装することができ、
電気的に接続されるべき両主面の電極間の電気的接続の
信頼性に優れているだけでなく、圧電体の長さ方向寸法
を容易に調整でき、従って小型化を図った場合における
所望でないスプリアスを容易に抑制し得る、エネルギー
閉じ込め型の圧電共振子を提供することにある。
ば、対向し合う上面、下面、対向し合う一対の側面及び
対向し合う一対の端面を備え、一対の側面が延びる方向
が長さ方向、一対の側面を結ぶ方向が幅方向とされてい
る電子部品素体と、前記電子部品素体の上面に形成され
た第1の電極と、前記第1の電極に電気的に接続される
ように前記幅方向においてある長さにわたり電子部品素
体の上面に露出されており、かつ上面から下面に向かっ
て延ばされており、下面において前記幅方向のある長さ
にわたって露出されている平板状の内部電極膜と、前記
電子部品素体の下面に形成されておりかつ前記内部電極
膜と電気的に接続されている接続電極とを備える、電子
部品が提供される。
前記内部電極膜と電子部品素体層を介して対向されるよ
うに配置された第2の内部電極膜がさらに備えられる。
本発明に係る電子部品の他の特定の局面では、前記内部
電極膜が、電子部品素体の上面に直交する方向に延ばさ
れている。
局面によれば、前記内部電極膜及び第2の内部電極膜の
うち少なくとも1つの内部電極膜が、前記上面と90度
未満の角度をなして交差するように配置されている。
面、対向し合う一対の側面及び対向し合う一対の第1,
第2の端面を有し、一対の側面が延びる方向が長さ方向
であり、前記一対の側面を結ぶ方向が幅方向である圧電
体と、前記圧電体の上面及び下面にそれぞれ形成されて
いる第1,第2の共振電極とを備え、第1の共振電極が
第1の端面と上面とのなす端縁から第2の端面側に向か
って延ばされており、第2の共振電極が第2の端面と下
面とのなす端縁から第1の端面側に向かって延ばされて
おり、第1,第2の共振電極が圧電体の長さ方向中央に
おいて圧電体を介して重なり合うように配置されている
エネルギー閉じ込め型の圧電共振子であって、前記上面
において圧電体の幅方向のある長さにわたり露出されて
おり、かつ上面から下面側に向かって延ばされており、
下面において、前記圧電体の幅方向のある長さにわたっ
て露出されており、第1または第2の共振電極に電気的
に接続された平板状の内部電極膜と、前記圧電体の下面
または上面に形成されておりかつ内部電極膜に電気的に
接続されている接続電極をさらに備える、圧電共振子が
提供される。
は、前記内部電極膜が、第1の共振電極に接続された第
1の内部電極膜と、第2の共振電極に電気的に接続され
た第2の内部電極膜とが備えられる。
では、前記内部電極膜が、圧電体の上面及び下面におい
て、全幅に至るように形成されている。本発明に係る圧
電共振子のさらに他の特定の局面では、前記内部電極膜
が、圧電体の下面において、幅方向の全幅に至らないよ
うに形成されている。
前記内部電極膜が、前記上面及び下面に直交する方向に
延ばされている。本発明に係る圧電共振子の他の特定の
局面によれば、前記内部電極膜が、圧電体の上面に対し
て90度未満の角度をなして交差するように配置されて
いる。
の局面では、前記内部電極膜と圧電体層を介して対向す
るように、コンデンサを構成するための容量取出し用内
部電極膜が形成されている。
の具体的な実施例を説明することにより本発明を明らか
にする。
実施例に係るエネルギー閉じ込め型の圧電共振子を説明
するための縦断面図及び斜視図である。圧電共振子1
は、細長い矩形板状の圧電体2を有する。圧電体2の上
面2a上には、第1の共振電極3が形成されており、下
面2b上には、第2の共振電極4が形成されている。共
振電極3は、圧電体2の端面2cと上面2aとのなす端
縁から圧電体2の中央側に向かって延ばされている。他
方、共振電極4は、端面2dと下面2bとのなす端縁か
ら圧電体2の中央側に向かって延ばされている。共振電
極3,4は圧電体2の中央領域において、圧電体2を介
して表裏対向するように配置されている。
う方向に分極処理されている。従って、共振電極3,4
が圧電体2を介して対向している部分によりエネルギー
閉じ込め型の厚み滑り振動モードを利用した共振部が構
成される。
に寄せて接続電極5が形成されている。同様に、圧電体
2の上面2aにおいては、端面2d側に寄せられて接続
電極6が形成されている。なお、本実施例では、接続電
極5,6は、それぞれ、端面2c,2dと下面2bまた
は上面2aとのなす端縁に沿うように形成されている
が、端面2c,2dから隔てられて形成されていてもよ
い。
極5とを電気的に接続するための内部電極膜7、並びに
上記共振電極4と接続電極6とを電気的に接続する内部
電極膜8が形成されている。従って、上面2a及び下面
2bのいずれの側からも、圧電共振子1はマザー基板な
どに容易に表面実装され得る。
2d側の面が露出していないので、図15に示した圧電
共振子101の場合と同様に、上下の電極の電気的接続
の信頼性、より詳細には、共振電極3と接続電極5との
電気的接続の信頼性及び共振電極4と接続電極6との電
気的接続の信頼性が高められる。
の製造方法から明らかなように、圧電体2の長さ方向寸
法、すなわち端面2c,2dを結ぶ方向の寸法を容易に
調整することができる。従って、長さに起因する所望で
ないスプリアスを抑制するために、圧電体2の長さを容
易に調整し得るので、スプリアスの少ない、特性の良好
な小型の圧電共振子を容易に提供することができる。
1の製造方法を説明する。まず、図2に斜視図で示すブ
ロック状のマザーの圧電体11を用意する。圧電体11
は、図示の矢印P方向に分極処理されている。圧電体1
1を構成する圧電材料としては、チタン酸鉛やチタン酸
ジルコン酸鉛系セラミックスのような適宜の圧電セラミ
ックスを用いることができる。
のマザーの内部電極膜12が圧電体層を介して重なり合
うように配置されている。内部電極膜12は、圧電体1
1とともに、周知のセラミックス−金属一体焼成技術を
用いて得ることができる。すなわち、圧電体セラミック
グリーンシートと、複数の内部電極膜12とを積層し、
一体焼成することにより圧電体11を得ることができ
る。
に、複数の内部電極膜12の数は、以下の図3及び図4
に比べて少なくされている。次に、ブロック状圧電体1
1を一点鎖線C,Cに沿って切断する。このようにし
て、図3に示す第2のマザーの圧電体15が得られる。
マザーの圧電体15においては、上記切断により複数の
内部電極膜12A〜12Fが切断面である側面15a,
15bに露出している。
の側面15a上に、マザーの矩形ストリップ状の電極1
6〜18,19を形成する。電極16〜18は、それぞ
れ、所定の内部電極膜に電気的に接続されるように形成
されている。電極17を例にとると、電極17は、側縁
17aが内部電極膜12B,12Cの外側に位置するよ
うに形成されており、他方の側縁17bが内部電極膜1
2Dには至らないように形成されている。
15の側面15bにおいても、同様に複数のマザーの電
極19〜21が形成されている。次に、圧電体15を、
図4の一点鎖線Dに沿って切断し、さらに、図5の一点
鎖線Eに沿って切断することにより、図1に示した圧電
共振子1が得られる。
振子1の製造に際しては、圧電体2の長さを調整したい
場合、図5の一点鎖線Eで示す切断位置を変更するだけ
で長さを容易に調整することができる。従って、長さに
起因する所望でないスプリアスの位置を移動させて容易
に回避することができる。
形板状の圧電体2が用いられたが、本発明における電子
部品素体及び圧電体の形状についてはこれに限定される
ものではない。例えば、図6(a)に示すように、ベベ
ル加工されて、上面側に傾斜面2f,2gが両端に形成
されている圧電体2Aを用いてもよい。この場合、上面
2aに形成された共振電極3が、第1の実施例と同様
に、内部電極膜7により接続電極5に電気的に接続され
ている。この圧電共振子31では、上面2aがベベル加
工されているため、下面2b側から表面実装される。従
って、上面2a側には接続電極が設けられておらず、か
つ共振電極上に電気的に接続される内部電極膜は設けら
れていない。
工された圧電体2Aを用いた圧電共振子32において、
電気的接続の信頼性をより一層高めるために、複数の内
部電極膜7a,7bを形成してもよい。ここでは、複数
の内部電極膜7a,7bにより接続電極5と共振電極3
との電気的接続が図られている。
下面2bのいずれの側からも表面実装を容易とし得るた
めに、共振電極3,4に電気的に接続される内部電極膜
7,8が配置されていたが、図6(c)に示すように、
一方の内部電極膜7のみを形成してもよい。この場合に
は、圧電体2の下面2b側において、接続電極5が形成
されており、下面2b側から圧電共振子33が表面実装
される。
うに、互いに平行に配置された複数のマザーの内部電極
膜12がマザーの圧電体11内に形成されていたが、図
7に分解斜視図で示すように、複数の内部電極膜34〜
36がブロック状のマザーの圧電体37内において傾斜
されていてもよい。このように傾斜された複数の内部電
極膜34〜36を有するマザーの圧電体37を側面37
aと平行にかつ垂直方向に切断することにより、図8に
示す第2のマザーの圧電体38が得られる。
示した第2のマザーの圧電体15の代わりに用いること
により、第1の実施例と同様の製造工程を経て、図9
(a)に示すエネルギー閉じ込め型の圧電共振子39を
得ることができる。すなわち、マザーの圧電体37にお
いて、複数の内部電極膜35〜37が傾斜されていたの
で、最終的に得られる圧電共振子39において、内部電
極膜40,41が、圧電体2の上面2a及び下面2bに
対して傾斜されている構造を得ることができる。
に、本発明における内部電極膜は第1の主面としての上
面2aから第2の主面としての下面2b側に向かって延
びる限り、必ずしも上面2a及び下面2bに直交する必
要はない。
た内部電極膜として、複数の内部電極膜40a,40b
を設け、それによって上面側の共振電極3と下面に形成
された接続電極5との電気的接続の信頼性をより一層高
めてもよい。
0,41は、下面2bから上面2a側に向かうにつれて
両者が近づくように傾斜されていたが、図10(a)に
示す内部電極膜40,41aのように、内部電極膜4
0,41aが傾斜面であって、かつ互いに平行とされて
いてもよい。
の内部電極膜40,40a,41,41aを配置するこ
とにより、共振電極と反対側の主面に形成された接続電
極との電気的接続の信頼性をより一層高めてもよい。
電共振子を説明するための略図的斜視図である。なお、
図11では、第2の実施例に用いられる圧電体52のみ
が示されているが、接続電極及び共振電極については第
1の実施例と同様に構成される。
は、内部電極膜53,54が上面52aと下面52bと
を結ぶように配置されている。もっとも、内部電極膜5
3,54は、圧電体52の幅方向中央において隔てられ
て対向されている。言い換えれば、内部電極膜53,5
4は、第1の実施例で形成されていた内部電極膜7を圧
電体の幅方向中央で分割した構造に相当する。このよう
に、内部電極膜を圧電体52の横断面の全域に至らない
ように分割することにより、内部電極膜53,54の両
側の圧電セラミックス同士の結合度を高めることができ
る。なお、図11では、内部電極膜53,54が圧電体
52の幅方向中央で対向されて、両者の間にスリットが
形成されていたが、本発明において、内部電極膜は、ス
リットや開口などの様々な形状を有するように変形する
ことができる。例えば、図12に圧電体52Aの横断面
を示すように、2つの十字形状が結合された内部電極膜
55を形成してもよい。図12の内部電極膜55を用い
ることにより、内部電極膜55の両側の圧電セラミック
ス部分の結合度をより一層高めることができる。
圧電フィルタを示す斜視図であり、図13(b)は、そ
の等価回路を示す図である。圧電フィルタ61では、2
個の圧電共振ユニット62,63が一体化されて圧電フ
ィルタが構成されている。各圧電共振ユニット62,6
3は、第1の実施例の圧電共振子1と一方の接続電極が
形成されていないことを除いては同様に構成されてい
る。
板状の圧電体65が用いられており、該圧電体65は長
さ方向に分極処理されている。そして、圧電体65の一
方側において、第1の実施例と同様に、共振電極3,
4、接続電極5、内部電極膜7,8が形成されている。
圧電体65の他方側においても、圧電共振ユニット63
が圧電共振ユニット62と同様に構成されている。従っ
て、圧電共振ユニット62,63により、図13(b)
に示す共振子がそれぞれ構成されている。また、圧電共
振ユニット62の内部電極膜8と、圧電共振ユニット6
3の内部電極膜8とが対向されて、コンデンサが構成さ
れている。よって、接続電極5,5間に、図13(b)
に示すフィルタ回路が構成される。ここでは、上記内部
電極膜8,8間の距離を調整することにより、様々な静
電容量のコンデンサを容易に構成することができる。
膜を対向配置することにより一対の内部電極膜間にコン
デンサを構成することも可能である。図14(a)及び
(b)は、本発明の第3の実施例に係る圧電フィルタを
示す斜視図であり、(b)がその等価回路を示す図であ
る。圧電フィルタ71では、圧電体72の長さ方向中央
において、共振電極73,74が形成されている。共振
電極73,74は、圧電体72を介して表裏対向されて
おり、第1の実施例の圧電共振子1と同様にエネルギー
閉じ込め型の滑りモードを利用した圧電共振部を構成し
ている。
形成されている。内部電極膜76は、圧電体72の上面
において共振電極73に電気的に接続されている。内部
電極膜77は、共振電極74に電気的に接続されてい
る。他方、内部電極膜76の外側には、圧電体層を介し
て内部電極膜75が形成されており、内部電極膜77の
外側には圧電体層を介して内部電極膜78が形成されて
いる。従って、内部電極膜75,76間及び77,78
間で、それぞれ、コンデンサが構成されている。
9,80が形成されており、それぞれ、内部電極膜7
5,78に電気的に接続されている。従って、接続電極
79,80間に図14(b)で示す回路が構成され、圧
電フィルタ71は、圧電体72の下面72b側からプリ
ント回路基板などに容易に表面実装され得る。
2の下面において、側面72c側に寄せられた領域にお
いて露出している。他方、内部電極膜76,77は、圧
電体72の下面72bにおいて他方側面72d側に寄せ
た部分で露出しており、内部電極膜78は、該露出部分
において共振電極74に電気的に接続されている。
b上において側面72c側に寄せて形成されている。こ
のように、内部電極膜を外部と電気的に接続するための
接続電極に接続する場合、他の内部電極膜や他の電極と
の短絡を防止するために、内部電極膜75,78のよう
に、圧電体72の下面72b上において片側に寄せられ
た部分において露出していてもよい。
体の上面に形成された第1の電極に接続されるように、
該電子部品素体の幅方向においてある長さにわたり電子
部品素体上面に露出されており、かつ上面から下面に向
かって延ばされており、下面において幅方向のある長さ
にわたって露出されている平板状の内部電極膜が形成さ
れており、該内部電極膜と電子部品素体の下面に形成さ
れている接続電極とが電子部品素体の下面において電気
的に接続されているので、電子部品素体の下面側から該
電子部品素体を基板に容易に表面実装することができ
る。しかも、上面の第1の電極と下面の接続電極とが内
部電極膜により電気的に接続されているので、電気的接
続の信頼性が高く、電子部品を取り扱う際に上記電気的
接続が損なわれたりし難い。
素体の長さ方向寸法を容易に調整することができ、所望
の寸法及び特性の電子部品を容易に提供することができ
る。内部電極膜と電子部品素体層を介して対向されるよ
うに第2の内部電極膜が配置されている場合には、内部
電極膜と第2の内部電極膜とによりコンデンサを構成す
ることができる。
交する方向に延ばされていてもよく、上面と90度未満
の角度をなして交差するように配置されていてもよい。
本発明に係る圧電共振子では、厚み滑りモードを利用し
たエネルギー閉じ込め型の圧電共振子の構造において、
第1または第2の共振電極に電気的に接続されており、
圧電体の上面において幅方向のある長さにわたり露出さ
れており、上面から下面側に向かって延ばされており、
下面において幅方向のある長さに渡って露出されている
平板状の内部電極膜が形成されており、圧電体の上面ま
たは上面に形成されており上記内部電極膜に電気的に接
続されている接続電極が形成されているので、接続電極
が形成されている面側から圧電共振子を容易に表面実装
することができる。また、接続電極と共振電極との電気
的接続が上記内部電極膜により行われているので、共振
電極と接続電極との電気的接続の信頼性を高めることが
できる。
さ方向寸法を容易に調整することができるので、長さに
起因するスプリアスを容易に回避することができ、圧電
共振子の小型化に容易に対応することができる。
た第2の内部電極膜と、第2の共振電極に電気的に接続
された第2の内部電極膜とを有する場合には、圧電体の
上面及び下面のいずれの側にも接続電極を形成して、圧
電体の上面及び下面のいずれの面側からも圧電共振子を
容易に表面実装することができる。
いて全幅に至るように形成されていてもよく、全幅に至
らないように形成されておらずともよい。内部電極膜
は、上面及び下面に直交する方向に延ばされていてもよ
く、圧電体の上面に対して90度未満の角度をなして交
差するように配置されていてもよく、圧電体の寸法及び
接続電極の位置に応じて内部電極膜の形状及び上記上面
に対する交差方向を適宜選択すればよい。
うにコンデンサを構成するための容量取出し用内部電極
が形成されている場合には、圧電共振子に容易にコンデ
ンサを内蔵させることができる。
トまたは開口を有する場合には、スリットまたは開口を
介して内部電極膜の両側の圧電体層が強固に結合され、
機械的強度を高めることができる。
係る電子部品としての圧電共振子を示す縦断面図及び外
観斜視図。
圧電体を示す斜視図。
により得られた第2のマザーの圧電体を示す斜視図。
成した状態を示す部分切欠正面図。
欠断面図。
電共振子の各変形例を説明するための縦断面図。
共振子を得るのに用いられるブロック状圧電体の分解斜
視図。
るマザーの圧電体を説明するための斜視図。
子の変形例を説明するための各斜視図。
振子のさらに他の変形例を説明するための各斜視図。
るための斜視図。
の横断面図。
電フィルタの斜視図及びその等価回路を示す図。
電フィルタの斜視図及びその透過回路を示す図。
のブロック状圧電体を説明するための斜視図。
得られた第2のマザーの圧電体を示す斜視図。
ーの共振電極を形成した状態を示す斜視図。
Claims (11)
- 【請求項1】 対向し合う上面、下面、対向し合う一対
の側面及び対向し合う一対の端面を備え、一対の側面が
延びる方向が長さ方向、一対の側面を結ぶ方向が幅方向
とされている電子部品素体と、 前記電子部品素体の上面に形成された第1の電極と、 前記第1の電極に電気的に接続されるように前記幅方向
においてある長さにわたり電子部品素体の上面に露出さ
れており、かつ上面から下面に向かって延ばされてお
り、下面において前記幅方向のある長さにわたって露出
されている平板状の内部電極膜と、 前記電子部品素体の下面に形成されておりかつ前記内部
電極膜と電気的に接続されている接続電極とを備える、
電子部品。 - 【請求項2】 前記内部電極膜と電子部品素体層を介し
て対向されるように配置された第2の内部電極膜をさら
に備える、請求項1に記載の電子部品。 - 【請求項3】 前記内部電極膜が、電子部品素体の上面
に直交する方向に延ばされている、請求項1または2に
記載の電子部品。 - 【請求項4】 前記内部電極膜及び第2の内部電極膜の
うち少なくとも1つの内部電極膜が、前記上面と90度
未満の角度をなして交差するように配置されている、請
求項1または2に記載の電子部品。 - 【請求項5】 上面、下面、対向し合う一対の側面及び
対向し合う一対の第1,第2の端面を有し、一対の側面
が延びる方向が長さ方向であり、前記一対の側面を結ぶ
方向が幅方向である圧電体と、 前記圧電体の上面及び下面にそれぞれ形成されている第
1,第2の共振電極とを備え、 第1の共振電極が第1の端面と上面とのなす端縁から第
2の端面側に向かって延ばされており、第2の共振電極
が第2の端面と下面とのなす端縁から第1の端面側に向
かって延ばされており、第1,第2の共振電極が圧電体
の長さ方向中央において圧電体を介して重なり合うよう
に配置されているエネルギー閉じ込め型の圧電共振子で
あって、 前記上面において圧電体の幅方向のある長さにわたり露
出されており、かつ上面から下面側に向かって延ばされ
ており、下面において、前記圧電体の幅方向のある長さ
にわたって露出されており、第1または第2の共振電極
に電気的に接続された平板状の内部電極膜と、 前記圧電体の下面または上面に形成されておりかつ内部
電極膜に電気的に接続されている接続電極をさらに備え
る、圧電共振子。 - 【請求項6】 前記内部電極膜が、第1の共振電極に接
続された第1の内部電極膜と、第2の共振電極に電気的
に接続された第2の内部電極膜とを有する、請求項5に
記載の圧電共振子。 - 【請求項7】 前記内部電極膜が、圧電体の上面及び下
面において、全幅に至るように形成されている、請求項
5または6に記載の圧電共振子。 - 【請求項8】 前記内部電極膜が、圧電体の下面におい
て、幅方向の全幅に至らないように形成されている、請
求項5または6に記載の圧電共振子。 - 【請求項9】 前記内部電極膜が、前記上面及び下面に
直交する方向に延ばされている、請求項5〜8のいずれ
かに記載の圧電共振子。 - 【請求項10】 前記内部電極膜が、圧電体の上面に対
して90度未満の角度をなして交差するように配置され
ている、請求項5〜8のいずれかに記載の圧電共振子。 - 【請求項11】 前記内部電極膜と圧電体層を介して対
向するように、コンデンサを構成するための容量取出し
用内部電極膜が形成されている、請求項5〜10のいず
れかに記載の圧電共振子。
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JPS6066882A (ja) | 1983-09-22 | 1985-04-17 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電変位素子およびその分極方法 |
JPS62250681A (ja) * | 1986-04-23 | 1987-10-31 | Murata Mfg Co Ltd | 磁気ヘツドが一端側に、他端側に支持部材が取付けられた積層バイモルフ |
JPH02312310A (ja) * | 1989-05-27 | 1990-12-27 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電部品及びその製造方法 |
JPH03165613A (ja) | 1989-11-24 | 1991-07-17 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電部品 |
JP2965602B2 (ja) * | 1990-02-26 | 1999-10-18 | 日立金属株式会社 | 積層型変位素子 |
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US5481154A (en) * | 1993-09-28 | 1996-01-02 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezo-resonator |
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JPH11341838A (ja) * | 1998-05-20 | 1999-12-10 | Tokin Ceramics Corp | 積層型圧電アクチュエータ |
JP2000269774A (ja) | 1999-03-18 | 2000-09-29 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電振動素子及び圧電共振部品 |
JP3838024B2 (ja) * | 2000-11-27 | 2006-10-25 | 株式会社村田製作所 | 縦結合型マルチモード圧電フィルタ |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013186107A (ja) * | 2012-03-12 | 2013-09-19 | Seiko Epson Corp | 振動片および電子機器 |
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