CN1200511C

CN1200511C - 电子组件

Info

Publication number: CN1200511C
Application number: CNB011378808A
Authority: CN
Inventors: 盛永俊吾; 吉田竜平; 黑田英明
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2000-11-07
Filing date: 2001-11-07
Publication date: 2005-05-04
Anticipated expiration: 2021-11-07
Also published as: DE10154168A1; DE10154168B4; US6806626B2; CN1353502A; JP3506113B2; JP2002152005A; US20020084724A1

Abstract

本发明揭示一种压电谐振器，在该压电谐振器中，第1和第2谐振电极设置在一压电元件上表面和下表面；设置把第1和第2谐振电极导向上下表面的内电极层，该内电极层延伸至压电元件上下表面；设置在压电元件上下表面的连接电极经内电极层电连接至相应谐振电极。

Description

电子组件

发明领域

本发明涉及压电谐振器等电子组件，具体而言，涉及一种电子组件，其中，在诸如压电元件等电子组件的元件中备有内电极，用于与该电子组件一对表面上的电极相连。

背景技术

通常，采用厚薄切变振动模式的压电谐振器常用于制造振荡器和其它类似器件中。在利用厚薄切变振动模式的陷能型压电谐振器中，谐振电极设置在细长矩形压电板两主表面上。在这种压电谐振器中，设置在其一个主表面上的谐振电极电连接至在压电板一端面上延伸至底面的连接电极，从而易于经一个主表面进行表面安装。在某些情况下，处理压电谐振器时，会切削连接电极的角部。公布号为No.8-237066的日本未审专利申请揭示了一种改进前后表面上连接电极可靠性的压电谐振器，其立体图示于图15。

在压电谐振器101中，谐振电极103和104设置成在位于其间的细长压电板102的中央相对。

且，端面电极105和106分别设置在压电板102的端面102a和102b上。端面电极105和106分别电连接至谐振电极103和104。设置保护膜107和108，用于分别覆盖和保护端面电极105和106。谐振电极103和104分别设置在压电板102的主表面上，在保护膜107和108上延伸。

连接电极109和110设置在压电板102的上下表面上并分别与端电极106和105电连接。如图15所示，连接电极109和110设置在压电板102的上下表面上且也分别是在保护膜107和108的上下表面上。

在压电谐振器101中，保护膜107和108分别覆盖端面电极105和106，从而改善了谐振电极103与连接电极110及谐振电极104与连接电极109间的电连接可靠性。

在制造压电谐振器101时，如图16所示，在压电块111主表面的整个区域设置电极(称为完全覆盖电极)以限定端面电极，并且该压电块111在厚度方向极化。极化后，在完全覆盖电极(未图示)上分别设置保护膜112和113。如上所述制作的第1母压电块111沿图16虚线A切割，从而获得图17所示的第2母压电块114。此后，在压电块114上设置母谐振电极115和母连接电极116。接着，沿虚线B切割压电块114得到压电谐振器101。

在利用厚薄切变振动模式的陷能型压电谐振器中，依据压电板102纵向尺寸，会产生不希望的寄生响应。压电谐振器尺寸减小时，这些不希望的寄生响应增大。必须调节压电板102的长度从而抑制源于压电板102长度的寄生响应。从上述生产压电谐振器101的方法可见，该压电谐振器101的纵向尺寸主要由压电块111厚度决定。从而，为抑制寄生响应而改变压电板102的纵向尺寸时，必须改变压电块111的厚度。这样，压电板102的长度调节是非常难于完成的。

发明内容

为克服上述问题，本发明的较佳实施例提供一种电子组件，其中诸如压电元件等电子组件的元件的上表面设置的电极与该元件下表面设置的电极间的电连接可靠性得到很大改进。而且易于调节电子组件中元件的尺寸，从而消除上述常规技术遇到的问题。

本发明的较佳实施例提供一种陷能型压电谐振器，其中，易于至少从谐振器的一个主表面安装至母板，设置在主表面上电极间的电连接可靠性很高，压电元件的纵向尺寸易于调节，从而易于在谐振器尺寸减小时，消除不希望的寄生响应。

根据本发明的较佳实施例，一种电子组件，包括：具有相对上下表面、一对相对侧面和一对相对端面的元件，所述一对侧面在所述元件长度方向延伸并在元件宽度方向相对；第1电极，设置在所述电子组件中元件的上表面并从元件的一端面和上表面限定的边缘向元件的中央延伸；第2电极，设置在所述电子组件中元件的下表面并从所述元件的另一端面和下表面限定的边缘向元件的中央延伸；所述第1和第2电极经所述元件在其中央区域相对；平板状第1内电极层，暴露在所述电子组件的元件的上表面宽度方向期望区域，从而与所述第1电极电连接，所述第1内电极层经由所述元件内部从上表面向下表面延伸并暴露于所述下表面宽度方向期望区域；设置在所述电子组件的元件的下表面并与所述第1内电极层电连接的连接电极。

最好，该电子组件还包括设置成经所述电子组件的元件的主体与所述第1内电极层相对的第2内电极层。

最好，所述第1内电极膜在大致垂直于所述电子组件中元件的上表面的方向延伸。

所述第1内电极层和第2内电极层中的至少一个内电极层最好设置成以小于约90°的角度与上表面相交。

根据本发明的另一较佳实施例，一种陷能型压电谐振器，包括：具有上表面、下表面、一对相对侧面、一对相对第1和第2端面的压电元件，所述一对侧面在压电元件纵向延伸且在压电元件宽度方向相对；分别设置在所述压电元件上下表面上的第1和第2谐振电极，所述第1谐振电极从第1端面和上表面限定的边缘向第2端面延伸，所述第2谐振电极从第2端面和下表面限定的边缘向第1端面延伸，所述第1和第2谐振电极设置成在所述压电元件大致中央位置在纵向重叠；平板状内电极层，暴露于上表面所述压电元件宽度方向的期望区域，该内电极层经压电元件内部从上表面向下表面延伸，所述内电极层暴露于下表面所述压电元件宽度方向期望区域，该内电极层电连接于所述第1或第2谐振电极；连接电极，设置在所述压电元件的上表面或下表面并与所述内电极层电连接。

最好，所述内电极层包括与第1谐振电极连接的第1内电极层和与第2谐振电极电连接的第2内电极层。

最好，所述内电极层暴露于所述上表面和下表面中每个表面的整个宽度范围。

所述内电极层最好暴露于所述压电元件下表面的部分宽度范围。

最好，所述内电极层在大致垂直于所述压电元件上下表面的方向延伸。

所述内电极层最好设置成以小于约90°的角度与所述压电元件的上表面相交。

最好，根据本发明另一较佳实施例的压电谐振器包括电荷输出内电极层，构成一电容器并设置成从该电容器输出或取出电荷，且间隔压电元件的一层与内电极层相对。

从下文参照附图所作的详细叙述中，本发明的其它特点、要素、特征和优点将更为清楚。

附图说明

图1A是本发明第1较佳实施例的电子组件的纵向剖视图，图1B是表示该电子组件外观的立体图。

图2是生产本发明第1较佳实施例的电子组件所准备的第1压电母块的立体图。

图3是通过切割图2所示第1压电母块获得的第2压电母块的立体图。

图4是显示在第2压电母块上设置母谐振电极状态的部分剖切前视图。

图5是沿图4虚线D的部分剖面图，显示部分第2压电母块。

图6A至6C是表示本发明第1较佳实施例的压电组件变换例的纵向剖视图。

图7是用于获得本发明第1较佳实施例的压电谐振器变换例的压电块的分解立体图。

图8是表示通过切割示于图7的压电块获得的压电母块的立体图。

图9A是表示本发明第1较佳实施例的压电谐振器变换例的立体图。

图9B是本发明第1较佳实施例的压电谐振器另一种变换例的立体图。

图10A是本发明第1较佳实施例的压电谐振器再一种变换例的立体图。

图10B是本发明第1较佳实施例的压电谐振器另一种变换例的立体图。

图11是表示本发明第2较佳实施例压电谐振器的压电元件的立体图。

图12是表示内电极层变换例的压电元件的横向剖视图。

图13A是本发明第3较佳实施例的压电滤波器的立体图。

图13B是图13A的压电滤波器的等效电路图。

图14A是本发明第4较佳实施例的压电滤波器的立体图。

图14B是图14A的压电滤波器的等效电路图。

图15是常规压电谐振器的例示立体图。

图16是用于获得常规压电谐振器的压电母块的立体图。

图17是通过切割图16所示压电块获得的第2压电母块的立体图。

图18是表示状态的立体图，其中在示于图17的第2压电母块上形成母谐振电极。

具体实施方式

从下文参照附图对本发明的较佳实施例所作的叙述中，本发明将变得更为清楚。

图1A是本发明第1较佳实施例的陷能型压电谐振器的纵向剖视图。

图1B是陷能型压电谐振器的立体图。

压电谐振器1包含细长、大致矩形板状的压电元件2。在压电元件2的上表面2a上设置第1谐振电极3，在下表面2b上设置第2谐振电极4。谐振电极3从压电元件2的端面2c和上表面2a限定的边缘向压电元件2的中央延伸。另一方面，谐振电极4从端面2d和下表面2b限定的边缘向压电元件2的中央延伸。谐振电极3和4设置在压电元件2的前后侧面并经压电元件2在其大致中央区域相对。

压电元件2在从端面2c向端面2d延伸的方向上极化。这样，谐振电极3和4经其间的压电元件2相对的部分限定了利用陷能型厚薄切变振动模式的谐振部分。

连接电极5设置成从压电元件2的下表面2b的端面2c起开始延伸。类似地，连接电极6设置成从压电元件2的上表面2a的端面2d起开始延伸。在该较佳实施例中，连接电极5和6设置成分别沿端面2c和下表面2b限定的边缘及端面2d和上表面2a限定的边缘延伸。连接电极5和6也可设置成与端面2c和2d隔开。

在压电元件2的内侧设置用于把谐振电极3电连接至连接电极5的内电极层7和用于把谐振电极4电连接至连接电极6的内电极层8。从而，压电谐振器1可经上表面2a和下表面2b之一表面安装至母板。

而且不暴露端面2c和2d附近的内电极层7和8的表面。这样，类似于示于图15的压电谐振器101，极大改进了上下电极电连接的可靠性，即谐振电极3与连接电极5及谐振电极4与连接电极6间的电连接可靠性。

在本实施例的压电谐振器1中，易于调节压电元件2的纵向尺寸，即易于调节端面2c和2d间方向的尺寸。从而，易于进行压电元件2的长度调节以把因压电元件2长度引起的不希望的寄生响应减至最小。这样，易于提供有极好特性的紧凑的压电谐振器。

下文参照图2至图5说明压电谐振器1的制造方法。

首先，制备图2立体图所示的压电母块11。该压电块11在图2箭头P所示方向极化。最好用诸如钛酸铅型陶瓷、钛酸锆酸铅型陶瓷或其它合适压电陶瓷等压电陶瓷作为压电材料构成压电块11。

虚线所述的多个母内电极12设置成间隔压电层相互重叠。通过公知的陶瓷-金属复合烧制技术可与压电块11一起获得内电极层12。即，压电陶瓷生片和多个内电极层12层叠且集成烧制获得压电块11。

图2中，为简化起见，与图3和图4相比，内电极层12层数减少。

接着，沿虚线C切割压电块11。以该方式，获得图3所示压电块15作为第2母块。在如上所述通过切割形成的侧面15a和15b暴露第2压电母块15的多个内电极层12A至12F。

然后，如图4所示，在压电元件15的侧面15a设置大致矩形带状的母电极16至19。电极16至18设置成相应于预定内电极层电连接。例如，设置电极17使其一侧缘17a位于内电极层12B和12C的外侧，且其另一侧缘17b不到达内电极层12D。

类似地，如剖面图图5所示，在压电块15的侧面15b上设置多个母电极19至21。

接着，沿图4所示虚线D切割压电块15。进而沿图5所示虚线E切割压电块15，得到图1所示压电谐振器1。

从上述生产压电谐振器1的方法可见，如果希望在压电谐振器1生产过程中调节压电元件2的长度，通过变化图5虚线E所示的切割位置，不难实现这种长度调节。从而，通过移动寄生响应产生的频率，可防止产生源于压电谐振器长度的不希望的寄生响应。

对示于图1的压电谐振器1，最好使用细长矩形板状压电元件2。但是，根据本发明各较佳实施例的电子组件的元件和压电元件不限于上述细长矩形板状。例如，也可使用如图6A所示的切削成在上表面两端部有倾斜表面2f和2g的压电元件2A。在这种情况下，类似于第1较佳实施例，设置在上表面2a的谐振电极3经内电极层7与连接电极5电连接。由于上表面2a斜切，压电谐振器31可经下表面2b进行表面安装。这样，在上表面2a上不设置连接电极，进而不设置电连接至谐振电极的内电极。

为进一步改善使用切削压电元件2A的压电谐振器32中电连接的可靠性，如图6B所示，设置多个内电极层7a和7b。在这种情况下，由多个内电极层7a和7b获得连接电极5与谐振电极3的电连接。

在第1较佳实施例中，设置内电极层7和8以连接谐振电极3和4，从而，可从上表面2a侧或下表面2b容易地完成表面安装。可如图6c所示仅设置内电极膜7。在这种情况下，在压电元件2的下表面2b上设置连接电极5。压电谐振器33可经下表面2b进行表面安装。

在第1较佳实施例中，最好多个内电极膜设置成如图2所示，在压电母块11内侧它们实质上相互平行。或者，多个内电极层34至36可如分解立体图图7所示，设置成在块状的压电母块37内倾斜。包含多个如上所述倾斜的内电极层34的压电母块37，在垂直方向大致平行于侧面37a切割，由此获得图8所示第2压电母块38。

通过利用第2压电母块38而非示于图3的第2压电母块15，并使压电块38经受与上述第1较佳实施例相似的处理，获得如图9A所示的陷能型压电谐振器39。即，因多个内电极层35至37在压电母块37中倾斜，在最后的压电谐振器39中产生内电极层40和41相对于上表面2a和下表面2b倾斜的结构。

这样，根据本发明，如果类似于内电极层40和41，内电极层从作为第1主表面的上表面2a延伸至作为第2主表面的下表面2b，则内电极层实质上不垂直于上表面2a和下表面2b。

而且如图9B所示，多个内电极层40a和40b设置成倾斜的内电极层，从而可进一步改进上表面的谐振电极3与下表面连接电极5间的电连接可靠性。

在图9A中，内电极层40和41倾斜，使内电极层40和41间的距离随着从下表面2b接近上表面2a而减小。可设置图10A所示倾斜且实质上相互平行延伸的内电极层40和41a代替图9A所示的内电极层40和41。

进而，如图10B所示设置多个内电极层40、40a、41和41a，从而可进一步改进与谐振电极相对设置在主表面上的谐振电极和连接电极间电连接的可靠性。

图11是表示本发明第2较佳实施例的压电谐振器的示意立体图。图11仅显示第2较佳实施例中所包含的压电块52，不包括连接电极和谐振电极。连接电极和谐振电极以与第1较佳实施例相同方式设置。

在第2较佳实施例包含的压电块52中设置内电极层53和54，使上下表面52a和52b互连。在压电元件52宽度方向大致中央位置，内电极层53和54相互隔开并相对。换言之，内电极层53和54相应于第1较佳实施例中设置的内电极层7的结构并在压电元件宽度方向大致中央位置分开。内电极层7分开，即如上所述，在压电元件52宽度方向，内电极7不跨越整个截面延伸，从而改进了内电极层53和54两侧压电陶瓷的结合强度。在图11中，内电极层53和54在压电元件52宽度方向大致中心位置相对，从而在其间形成缝隙。根据本发明，内电极层可有不同形状如槽、孔或其它适当形状。例如，如图12的压电元件剖面图所示，可提供包含彼此组合的两组截面形状的内电极层55。应用图12的内电极层55可进一步改进内电极层55两侧压电陶瓷部分的粘结强度。

图13A是本发明第3较佳实施例压电滤波器的立体图。图13B是该压电滤波器的等效电路。

压电滤波器61包括两个结合在一起的压电谐振单元62和63。除不在压电谐振器1的一侧设置连接电极外，各压电谐振单元62和63最好以与第1较佳实施例的压电谐振器1相同的方式设置。

具体而言，压电滤波器61包括纵向极化的细长矩形板状压电元件65。

类似于第1较佳实施例，在压电主体65的一侧设置谐振电极3和4、连接电极5、内电极膜7和8。进而，在压电元件65的另一侧设置类似于压电谐振单元62的压电谐振单元63。这样，压电谐振单元62和63限定图13所示的谐振器。压电谐振单元62的内电极层8与压电谐振单元63的内电极层8相对，限定一电容器。在连接电极5之间提供图13B所示的滤波电路。在这种情况下，通过调节内电极层8之间的距离可生成不同静电电容的电容器。

如上所述，根据本发明的各较佳实施例，通过把内电极层对配置成彼此相对可限定电容器。

图14A是本发明第4较佳实施例的压电滤波器的立体图。图14B是该压电滤波器的等效电路图。在压电滤波器71中，在压电元件72纵向近似中央位置设置谐振电极73和74。在压电元件72的前后表面谐振电极73和74设置成相对，从而限定类似于第1较佳实施例的压电谐振器1的、利用陷能型切变模式的压电谐振单元。

在压电元件72中设置内电极层75至78。内电极层76与压电元件72上表面的谐振电极73电连接。内电极层77电连接至谐振电极74。内电极层75经压电层设置在内电极层76的外侧。内电极层78经压电层设置在内电极层77的外侧。从而，在内电极层75和76与内电极层77和78之间限定电容器。

进而，连接电极79和80设置在压电元件72的下表面并分别电连接至内电极层75和78。这样，在连接电极79和80之间提供图14B所示的电路。从而，压电滤波器71可经压电元件72的下表面72b容易地表面安装至印刷电路板。

内电极层75和78均暴露于压电元件72的下表面72b的靠近侧面72c的区域。另一方面，在下表面72b靠近侧面72d的区域，内电极层76和77暴露于压电元件72的下表面72b。内电极层78经其暴露部分电连接至谐振电极74。

从而，在下表面72b靠近侧面72c的区域提供连接电极79和80。如上所述可见，内电极层电连接至连接电极时，内电极层暴露于压电元件72的下表面72b靠近其一侧的区域，从而类似于内电极层75和78，可防止内电极层与另一内电极层或其它电极短路。

根据本发明各较佳实施例的电子组件包含平板状内电极层，该内电极层暴露于电子组件中元件的上表面宽度方向预定区域，与电子组件中元件的上表面设置的第1电极电连接，从该电子组件中元件的上表面向其下表面延伸并暴露于下表面宽度方向期望区域。这样，内电极层与电子组件中元件的下表面上设置的连接电极电连接。从而电子组件的元件易于经其下表面平面安装至电路板。而且，上表面上的第1电极与下表面上的连接电极相互经内电极层电连接，因而可极大改善电连接的可靠性，可防止电子组件处理过程中损伤电连接。

此外，易于调节内电极膜设置的位置和电子组件的元件的纵向尺寸，从而易于提供具有要求尺寸和极好期望特性的电子组件。

在第2内电极层设置成间隔电子组件的一层与内电极层相对时，内电极层和第2内电极层构成电容器。

内电极层可在大致垂直于电子组件的元件的上表面方向延伸，或可设置成与上表面以小于约90°相交。

本发明各较佳实施例的具有陷能型压电谐振器结构的压电谐振器包含平板状内电极层，该内电极层从上表面向下表面延伸，暴露于压电元件上表面宽度方向预定区域，该内电极层暴露于压电元件下表面宽宽方向期望区域并电连接至第1或第2谐振电极；在压电元件上表面或下表面设置与内电极层电连接的连接电极。从而，压电谐振器可容易地经其上设置连接电极的表面进行表面安装。而且，通过内电极层获得连接电极与谐振电极的可靠电连接。从而极大改善了谐振电极与连接电极间电连接的可靠性。

进而，易于调节内电极层的位置和压电元件纵向尺寸。从而易于避免或把源于压电元件长度的寄生响应减至最小，产生尺寸大为减小的压电谐振器。

在内电极层包含连至第1谐振电极的第1内电极层和电连接至第2谐振电极的第2内电极层的情况下，在压电元件上下表面均设置连接电极。从而压电谐振器可经压电元件上表面或下表面进行表面安装。

内电极膜可暴露于压电元件上下表面中各表面的全部宽度，或仅暴露于宽度的一部分。

内电极膜可在大致垂直于上表面和下表面的方向延伸，或设置成以小于约90°的角度与压电元件的上表面相交。

可根据压电元件的尺寸和连接电极的位置适当选择内电极层的形状和尺寸及内电极层与上表面相交的方向。

在设置经压电层与内电极层相对构成电容器并从该电容器取出电荷的电荷取出内电极层的情况下，易于在压电谐振器中提供电容器。

在内电极层包含至少一个缝隙或孔的情况下，在内电极层的两侧，压电层可经该缝隙或孔牢固地相互粘合，从而可极大地改进机械强度。

虽然已叙述了本发明的较佳实施例，应理解，不脱离本发明的范围和精神的各种变换和修改，对本领域技术人员是显而易见的。因而，本发明的范围仅由下述权项确定。

Claims

1.一种电子组件，其特征在于包括：

具有相对上下表面、一对相对侧面和一对相对端面的元件，所述一对侧面在所述元件长度方向延伸并在元件宽度方向相对；

第1电极，设置在所述电子组件中元件的上表面并从元件的一端面和上表面限定的边缘向元件的中央延伸；

第2电极，设置在所述电子组件中元件的下表面并从所述元件的另一端面和下表面限定的边缘向元件的中央延伸；

所述第1和第2电极经所述元件在其中央区域相对；

平板状第1内电极层，暴露在所述电子组件的元件的上表面宽度方向期望区域，从而与所述第1电极电连接，所述第1内电极层经由所述元件内部从上表面向下表面延伸并暴露于所述下表面宽度方向期望区域；

设置在所述电子组件的元件的下表面并与所述第1内电极层电连接的连接电极。

2.如权利要求1所述的电子组件，其特征在于，还包括设置成经所述电子组件的元件的主体与所述第1内电极层相对的第2内电极层。

3.如权利要求1所述的电子组件，其特征在于，所述第1内电极层在大致垂直于所述电子组件中元件的上表面的方向延伸。

4.如权利要求2所述的电子组件，其特征在于，所述第1内电极层和第2内电极层中的至少一个内电极层在大致垂直于所述电子组件中元件的上表面的方向延伸。

5.如权利要求1所述的电子组件，其特征在于，所述第1内电极层设置成以小于约90°的角度与所述元件上表面相交。

6.如权利要求2所述的电子组件，其特征在于，所述第1内电极层和第2内电极层中的至少一个内电极层设置成以小于约90°的角度与所述元件上表面相交。

7.如权利要求1所述的电子组件，其特征在于，所述元件其形状为细长矩形板状。

8.如权利要求1所述的电子组件，其特征在于，所述元件的上表面和下表面的至少一个表面包括斜切部分。

9.如权利要求1所述的电子组件，其特征在于，所述连接电极从一对端面的一个端面向另一个延伸。

10.如权利要求1所述的电子组件，其特征在于，所述元件是在从所述一对端面的一个端面向另一个端面延伸的方向极化的压电元件。

11.一种陷能型压电谐振器，其特征在于包括：

具有上表面、下表面、一对相对侧面、一对相对第1和第2端面的压电元件，所述一对侧面在压电元件纵向延伸且在压电元件宽度方向相对；

分别设置在所述压电元件上下表面上的第1和第2谐振电极，所述第1谐振电极从第1端面和上表面限定的边缘向第2端面延伸，所述第2谐振电极从第2端面和下表面限定的边缘向第1端面延伸，所述第1和第2谐振电极设置成在所述压电元件大致中央位置在纵向重叠；

平板状内电极层，暴露于上表面所述压电元件宽度方向的期望区域，该内电极层经压电元件内部从上表面向下表面延伸，所述内电极层暴露于下表面所述压电元件宽度方向期望区域，该内电极层电连接于所述第1或第2谐振电极；

连接电极，设置在所述压电元件的上表面或下表面并与所述内电极层电连接。

12.如权利要求11所述的压电谐振器，其特征在于，所述内电极层包括与第1谐振电极连接的第1内电极层和与第2谐振电极电连接的第2内电极层。

13.如权利要求11所述的压电谐振器，其特征在于，所述内电极层暴露于所述上表面和下表面中每个表面的整个宽度范围。

14.如权利要求11所述的压电谐振器，其特征在于，所述内电极层暴露于所述压电元件下表面的部分宽度范围。

15.如权利要求11所述的压电谐振器，其特征在于，所述内电极层在大致垂直于所述压电元件上下表面的方向延伸。

16.如权利要求12所述的压电谐振器，其特征在于，所述第1内电极层和第2内电极层中的至少一个内电极层在大致垂直于所述压电元件的上下表面方向延伸。

17.如权利要求11所述的压电谐振器，其特征在于，所述内电极层设置成以小于约90°的角度与所述压电元件的上表面相交。

18.如权利要求12所述的压电谐振器，其特征在于，所述第1内电极层和第2内电极层中的至少一个内电极层设置成以小于约90°的角度与所述压电元件的上表面相交。

19.如权利要求11所述的压电谐振器，其特征在于，设置构成电容器并从该电容器取出电荷的电荷取出内电极，该电荷取出内电极设置成经所述压电元件与所述内电极相对。

20.如权利要求11所述的压电谐振器，其特征在于，所述压电元件在从所述第1和第2端面中的一个向另一个延伸的方向加以极化。