CN1100384C - 压电共振器以及使用它的电子元件 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种压电共振器(10),它包括:叠层主体(12);一组内部电极(14,14’)和交替层叠在叠层主体(12)一部分内的压电层(13);至少一个提供于叠层主体侧面上的第一外部电极(20a,22a);提供在不同于提供第一外部电极(20a,22a)的叠层主体(12)侧面上的第二外部电极(20b,22b),第一和第二外部电极(20a,22a)(20b,22b)通过内部电极(14,14’)互相连接。这种压电共振器(10),在安装时没有方向性的限制。
Description
技术领域
本发明涉及压电共振器和使用它的电子元件。压电共振器利用了压电部件的机械振动。电子元件例如被用作采用该中压电共振器的梯状滤波器、振荡器和、鉴频器。
背景技术
图19是在还未公告的日本专利申请N0.8-110475中由本发明申请人提出的叠层压电共振器1的透视图。图20为表示外部电极在压电共振器上放置方式的示意图。叠层的压电共振器1包括呈矩形块状并通过将多层压电层3和插入压电层3之间的内部电极4集成在一起形成的叠层主体2。每层压电层3由压电陶瓷构成。内部电极互相隔开预定的距离放置并且它们的主表面垂直于叠层主体2的纵向。
压电层3沿着叠层主体2的纵向极化从而使位于每个内部电极4对面的压电层3的相邻对如图19中箭头所示那样沿相反方向极化,由此形成振动区域5。
在叠层主体2两个相对侧面上分别形成绝缘薄膜6和绝缘薄膜7的条纹。在暴露于叠层主体2其中一个相对侧面的内部电极4的边缘交替覆盖和不覆盖绝缘薄膜6。在暴露于层叠主体另一侧面的内部电极边缘,没有覆盖绝缘薄膜6的部分被覆盖上绝缘薄膜7。
而且在形成有绝缘薄膜6和7的叠层主体2的侧面上还形成有作为输入/输出电极提供的外部电极8和9。外部电极8与未覆盖绝缘薄膜6的内部电极4相连而外部电极9与未覆盖绝缘薄膜7的内部电极4相连。即每对相邻的内部电极4分别与外部电极8和9相连。
当电压方向随时间变化的交流信号输入叠层压电共振器1时,叠层主体2沿纵向振动。即,当电场沿极化方向施加在每层压电层3上时,压电层3沿着层叠主体2的纵向扩展并且整个叠层主体2也沿着纵向延伸。当电场沿与极化方向相反的方向施加在每层压电层3上时,压电层3沿着层叠主体2的纵向收缩并且整个叠层主体2也沿着纵向收缩。这些运动不断交替进行。
在上述构造的压电共振器1中,由施加的电场引起的压电层3的扩展或收缩的方向都是相同的。因此在压电共振器1中,输入信号可以有效地被转换为机械振动并且可以提高电机耦合系数,从而增加了共振频率F与反共振频率Fa之间的频差ΔF。因此具有这种性质的压电共振器例如适于宽带滤波器。图21示出了通过将多个叠层压电共振器1组合构成的梯状滤波器实例。
图21所示的梯状滤波器100包括由氧化铝构成的基片102。在基片102的表面形成有厚膜电极104。厚膜电极104由基片102上的图案构成以建立起如图21虚线所示的连接。具有上述结构的压电共振器1通过插入其间的导电胶106安装在基片102上。叠层压电共振器1其中一个外部电极9通过导电胶106与基片102上的图案电极104相连而其它的外部电极8与另一个叠层压电共振器1的外部电极8或者基片102上的其中一个厚膜电极104相连。利用粘合剂110将保护叠层压电共振器1的金属盖子粘结在基片102上。
在上述叠层压电共振器1中,一对外部电极8和9形成于相对两个侧面上或者一个侧面上并与外部电路或者不同类型的电子电路相连。
但是在上述叠层压电共振器1中,如图20所示,由于外部电极只形成于长方形的叠层主体2的4个侧面的其中一个侧面,所以其它3个侧面不可能与外部电极8相连。对于外部电极9也是如此。因此当安装在基片等上时上述叠层压电共振器1具有方向性,因而制造电子元件的过程中必须有一个把叠层压电共振器淀向的工艺步骤。以致每个压电共振器都面向预先确定的取向。
由于安装上有方向要求,所以对于通过将多个叠层压电共振器1组合起来构成梯状滤波器的设计和制造工艺有相当大的限制,从而难以减小滤波器的尺寸并降低制造成本。例如对于图21所示的梯状滤波器,安装叠层压电共振器1的方向限制使得叠层压电共振器1必须平行于基片102表面放置,从而使基片102的安装面积过大。而且还有一个使连接外部电极8和9的引线104复杂化的难题。
发明内容
针对这些情况,本发明的主要目标是提供一种可以不受方向限制地安装的压电共振器。
为了达到这个目标,按照本发明的一个方面提供了压电共振器,它包括叠层主体、一组内部电极和交替层叠在所述层叠主体一部分内的压电层、至少一个提供于所述层叠主体侧面上的第一外部电极、提供在不同于提供所述第一外部电极的层叠主体侧面上的第二外部电极,所述第一和第二外部电极通过所述内部电极互相连接。
在本发明的压电共振器中,形成于不同侧面上的第一和第二外部电极与一组内部电极共同连接,从而消除了将压电共振器安装在基片上时的方向限制。
在上述压电共振器中,层叠主体可以具有纵向并以纵向模式振动。
在上述压电共振器中,层叠主体可以包括将多个所述内部电极和所述压电层交替叠在一起的振动区域,所述内部电极可以排列为使得其主表面垂直于所述叠层主体的纵向,所述压电层可以沿所述层叠主体的纵向极化,所述至少一个第一外部电极可以与位于每个所述压电层对面的所述内部电极相对的一对相连,而所述第二外部电极可以通过所述其中一对内部电极与所述第一外部电极相连。
而且在本发明的压电共振器中,形成于不同侧面上的第一和第二外部电极与一组内部电极共同连接,从而消除了将压电共振器安装在基片上时的方向限制。
按照本发明的另一个方面,提供了包含上述压电共振器的电子元件,其特征在于具有位于不同侧面上的外部电极对的第一和第二电气共振器互相叠加起来,所述第一压电共振器的第二外部电极和所述第二压电共振器的所述外部电极互相连接。
本发明的这种电子元件可以通过将上述压电共振器和同一/不同类型的压电共振器在基片上叠加起来形成,从而减小了基片面积并提高了包装容量密度。
还提供了包含上述电气共振器的电子元件,其特征在于所述多个压电共振器叠加在另一个上面并安装在基片上,所述压电共振器的第一外部电极连接至提供在所述基片上的图案电极,而所述压电共振器的第二外部电极与所述被叠加的压电共振器的一个外部电极互相连接。
本发明的这种电子元件可以通过将多个本发明的压电共振器在基片上叠加起来形成,从而减小了基片面积并提高了包装容量密度。
在本发明的压电共振器中,由于形成于叠层主体不同侧面的第一和第二外部电极与一组内部电极共同连接,所以外部图案电极可以通过不同的侧面与同一内部电极连接,从而与通常的安排相比减少了安装时的方向限制。因此通过采用本发明的压电共振器可以提高电子元件的设计自由度。而且如果采用本发明的压电共振器可以提高电子元件的包装容量密度。因此按照本发明电子元件可以设计得更小。而且由于除去制造时每个压电共振器面向预定方向来安置它们的工艺步骤,并且简化了元件之间的连接,所以也降低了成本。
通过以下接合附图对本发明的描述可以进一步理解本发明的其它目标和优点
附图说明
图1为按照本发明的压电共振器例子的透视图。
图2A为沿图1中直线IIA-IIA剖取的剖面图。
图2B为沿图1中直线IIB-IIB剖取的剖面图。
图3为图1所示压电共振器层叠主体内外部电极之间连接示意图。
图4为采用图1所示压电共振器的电子元件的前视图。
图5为采用图1所示压电共振器的电子元件的侧视图,表示了共振器内的接线。
图6为按照本发明另一个压电共振器例子的透视图。
图7A为沿图6中直线VIIA-VIIA剖取的剖面图。
图7B为沿图6中直线VIIB-VIIB剖取的剖面图。
图8为图6所示压电共振器层叠主体内外部电极之间连接示意图。
图9为按照本发明另一个压电共振器例子的透视图。
图10A为沿图9中直线XA-XA剖取的剖面图。
图10B为沿图9中直线XB-XB剖取的剖面图。
图11为图9所示压电共振器层叠主体内外部电极之间连接示意图。
图12为按照本发明进一步的压电共振器例子的透视图。
图13A为沿图12中直线XIIA-XIIA剖取的剖面图。
图13B为沿图12中直线XIIB-XIIB剖取的剖面图。
图14为图12所示压电共振器层叠主体内外部电极之间连接示意图。
图15为采用图12所示压电共振器的电子元件部分已切去的纵向剖面示意图。
图16为图15所示电子元件的横向剖面示意图,表示了电子元件中的电气连接。
图17为用于图15和16所示电子元件中的衬底的透视图。
图18为图15和16所示电子元件的电路图。
图19为本发明的申请人在未公开的日本专利申请No.8-110475中提出的叠层压电共振器的透视图。
图20为外部电极在图19所示压电共振器上放置的示意图;以及
图21为将图19所示多个压电共振器组合起来构成的梯状滤波器示意图。
图1表示本发明实施例的压电共振器。
具体实施方式
如图1所示,压电共振器10包括例如呈矩形块的叠层主体12。叠层主体12包括一个通过将多个压电层13和多个插在压电层13之间的多个内部电极14,14’层叠在一起形成的振动区域24。每层压电层13由压电陶瓷构成。内部电极14、14’相互隔开一定距离形成并且其主表面垂直于叠层主体12的纵向。在本说明书中,为便于解释起见,在插入构成叠层主体12的压电层13之间的其中一个相邻内部电极称为14而另一个称为14’即内部电极14和14’沿着叠层主体12的纵向交替排列。
振动区域24提供用来以纵向模式激发叠层主体12的振动。在振动区域24中,将内部电极14或14’插入的每相邻对压电层13沿着叠层主体12的纵向以相反方向极化,如图19中箭头所指方向。
绝缘薄膜16的条纹互相垂直地形成于叠层主体4个侧面的其中两个侧面上。这些绝缘薄膜16的条纹覆盖内部电极14的暴露部分。
在互相垂直的其它两个侧面上形成有绝缘薄膜18的条纹。这些绝缘薄膜18的条纹覆盖在先前二个侧面上绝缘薄膜16未覆盖的内部电极14’的暴露边缘。
即绝缘薄膜16和18形成于叠层主体不同的侧面上并沿叠层主体12的纵向相互交替放置。
在形成有绝缘薄膜16的两个侧面之一上,形成有沿纵向从叠层主体的一端到另一端的第一外部电极20a。在形成有绝缘薄膜16的其它两个侧面的另一个上,形成有沿纵向从叠层主体的一端到另一端的第二外部电极20b。第一和第二外部电极20a和20b与未被绝缘薄膜16覆盖的内部电极14’连接。
另一方面,在形成有绝缘薄膜18的两个侧面的其中一个上,形成有沿纵向从叠层主体的一端到另一端的另一个第一外部电极22a。在形成有绝缘薄膜18的另一个侧面上,形成有沿纵向从叠层主体的一端到另一端的另一个第二外部电极22b。第一和第二外部电极22a和2b与未被绝缘薄膜18覆盖的内部电极14连接。
图3示出了叠层主体12内第一外部电极20a和22a以及第二外部电极20b和22b之间的连接。即第一和第二外部电极20a和20b通过叠层主体12内的内部电极14’相互连接而第一和第二外部电极22a和22b通过叠层主体12内的内部电极14相互连接。
因此施加在内部电极14和14’之间压电层13的电场的交流信号可以通过作为输入/输出电极的第一外部电极20a和22a和/或第二外部电极20b和22b输入,从而压电激活叠层主体12的振动区域24。由此以纵向振动模式激发振动,其节点对应叠层主体12的中心部分。
图4为采用图1所示压电共振器的电子元件50的实例的前视图,而图5为电子元件50的侧视图,表示电子元件50的引线情况。
图4和5所示的电子元件50被用作鉴频器。鉴频器50包括绝缘基片52。在绝缘基片52上形成图案电极54和55。压电共振器10通过作为导电材料提供的导电粘合剂56与图案电极54粘合在一起。在本实例中,导电粘合剂56固定在压电共振器10第一外部电极22a纵向的中心。导电粘合剂56导电连接第一外部电极22a和图案电极54并起着固定压电共振器10的支持部件的作用。因此在本实例中导电粘合剂56的形状为矩形块。
在该鉴频器50中,第一外部电极20a和图案电极55通过引线58相连。压电共振器10、引线58和基片上其它元件都覆盖上例如金属盖子(未画出),从而完成鉴频器50的制造。
由于鉴频器50包括共同与内部电极14’连接的第一外部电极20a和第二外部电极20b并且包括与内部电极14连接的第一外部电极22a和第二外部电极22b,所以压电共振器10可以绕图5所示纵轴旋转90度以将第二外部电极20b连接至图案电极54并将其它的第二外部电极22b连接至图案电极55。压电共振器10可以进一步旋转90度以将第一外部电极20a连接至图案电极54并将另一个第一外部电极22a连接至图案电极5 5。即该压电共振器10在安装时没有方向限制。因此在制造鉴频器50时可以省略对压电共振器10预先定位的步骤,从而简化了制造工艺并降低了成本。
利用如图4和5所示的同样结构可以制造陶瓷振荡器。
图6为按照本发明另一个压电共振器的透视图。图7A为沿图6中直线VIIA-VIIA剖取的剖面图,图7B为沿图6中直线VIIB-VIIB剖取的剖面图。图8为图6所示压电共振器层叠主体内外部电极连接示意图。
图6所示压电共振器10与图1所示压电共振器10的不同之处在于绝缘薄膜16和18的排列。
即在图6所示的压电共振器10中,绝缘薄膜16的条纹形成于叠层主体12沿厚度方向相对的两个侧面上。这些绝缘薄膜16条纹覆盖了内部电极14的暴露部分。
另一方面,绝缘薄膜18的条纹形成于叠层主体12沿厚度方向相对的另外两个侧面上。这些条纹覆盖了内部电极14’为被绝缘薄膜16覆盖的暴露边缘。
在形成有绝缘薄膜16的两个侧面之一上,形成有沿纵向从叠层主体的一端到另一端的第一外部电极20a。在其它两个侧面上,形成有沿纵向从叠层主体的一端到另一端的第二外部电极20b。第一和第二外部电极20a和20b与未被绝缘薄膜16覆盖的内部电极14’连接。
另一方面,在形成有绝缘薄膜18的两个侧面的其中一个上,形成有沿纵向从叠层主体的一端到另一端的另一个第一外部电极22a。在另一个侧面上,形成有沿纵向从叠层主体的一端到另一端的另一个第二外部电极22b。第一和第二外部电极22a和2b与未被绝缘薄膜18覆盖的内部电极14连接。
图8示出了叠层主体12内第一外部电极20a和22a以及第二外部电极20b和22b之间的连接。即第一和第二外部电极20a和20b通过叠层主体12内的内部电极14’连接而第一和第二外部电极22a和22b通过叠层主体12内的内部电极14连接。
图6所示的压电共振器10的操作与图1的相同并且具有同样的优点。
图9为按照本发明还有一个压电共振器的透视图。图10A为沿图9中直线XA-XA剖取的剖面图,图10B为沿图9中直线XB-XB剖取的剖面图。图11为图9所示压电共振器10层叠主体12内外部电极之间连接示意图。
图9所示压电共振器10与图1所示压电共振器10的不同之处在于在与形成第二外部电极20b的侧面相对的侧面上没有形成另一个第二外部电极22b,并且在该侧面上没有形成绝缘薄膜18。压电共振器在其它方面基本上与图1所示压电共振器相同。但是在该压电共振器中,绝缘薄膜条16和18的长度基本上等于叠层主体12的宽度。
图9所示的压电共振器10的操作与图1的相同并且具有同样的优点。
图12为按照本发明进一步的压电共振器的透视图。图13A为沿图12中直线XIIIA-XIIIA剖取的剖面图,图13B为沿图12中直线XIIIB-XIIIB剖取的剖面图。图14为图12所示压电共振器10层叠主体12内外部电极之间连接示意图。
图12所示压电共振器10与图1所示压电共振器10的不同之处在于绝缘薄膜16和18的排列和外电极的构成。
即在图12所示压电共振器10中,覆盖内部电极14的绝缘薄膜16片靠近叠层主体12侧面中的较长侧面形成而覆盖内部电极14’的绝缘薄膜18片靠近叠层主体12侧面中另一较长侧面形成,在绝缘薄膜16片上,形成有沿纵向从叠层主体的一端到另一端的第一外部电极20a。在绝缘薄膜18片上,形成有沿纵向从叠层主体的一端到另一端的另一个第二外部电极22。在与叠层主体12的这一个侧面沿厚度方向相对的侧面上,还形成了覆盖内部电极14的绝缘薄膜片。在绝缘薄膜16片上形成有沿纵向从叠层主体的一端到另一端的另一个第二外部电极20b。
第一和第二外部电极20a和20b与未被绝缘薄膜16覆盖的内部电极14’连接而其它的第一外部电极22与未被绝缘薄膜18覆盖的内部电极14连接。
图12所示压电共振器10的操作与图1所示的相同并且具有与图1所示的同样的优点。由于在一个侧面上形成了与内部电极14’相连的第一外部电极20a和与内部电极14相连的第一外部电极22,所以该压电共振器便于以表面安装方式安装。而且对于这种类型的压电共振器10,由于在与形成外部电极20a的侧面的厚度方向的相对侧面上形成有通过内部电极14’连接至第一外部电极20a的第二外部电极20b,所以通过叠加可以连接另一个压电共振器10。
在图1-12所示的上述压电共振器10中,绝缘薄膜16或18用于将每个内部电极20a,20b,22,22a,22b与内部电极14或14’2绝缘。但是按照本发明也可以采用其它的绝缘手段。例如每个压电共振器10可以按照本发明的申请人在日本专利申请8-110475中描述的方式构造,即内部电极14,14’可以与叠层主体12侧面上的内部电极20a,20b,22,22a或者22b绝缘从而通过减小它们的相对于叠层主体12这部分面积的主表面的面积使得内部电极14和14’交替具有暴露与不暴躁的边缘,每个内部电极14和14’在未暴露边缘与外部电极20a,20b,22,22a,22b绝缘。
图15为采用图12所示压电共振器的电子元件纵向剖面示意图。图16为电子元件的横向剖面示意图,表示了电子元件中的电学连接。图17为用于图15和16所示电子元件中的衬底62的透视图。
图15和16所示的电子元件60构造为梯形滤波器。梯形滤波器60包括与图12所示压电共振器构造相似的压电共振器10a和10b以及构造与图19和20所示叠层压电共振器1相似的叠层压电共振器1a和1b。
梯形滤波器60还包括例如呈矩形平板状的绝缘基片62。绝缘基片62上的图案电极62将借助图17来描述。图17中虚线表示放置在绝缘基片62上两个压电共振器10a和10b的位置。
第一图案电极64形成于绝缘基片62的主表面上并在绝缘基片62的长度方面的一端从而沿基片62宽度方向从一端延伸至另一端。第一图案电极64的两端与绝缘基片62两个侧面上的输入/输出电极66相连。每个输入/输出电极66形成一个角度从而从侧面延伸至绝缘基片62的反面。第一图案电极64包括一个从绝缘基片62较长侧面附近延伸至绝缘基片纵向中心位置的延伸部分。第一图案电极64在延伸部分的端部与压电共振器10a的第一外部电极20a相连。如图15和16所示利用导电粘合剂68作为导电材料实现连接。
第二图案电极70形成于绝缘基片62的中心从而沿着绝缘基片62宽度方向延伸。第二图案电极70通过其两个端部连接压电共振器10a的另一第一外部电极22和压电共振器10b的第一外部电极20a。如图16所示,利用导电粘合剂72和74实现这些连接。
如图17所示,第三图案电极65沿长度方向形成于绝缘基片62的另一端从而沿着绝缘基片62宽度方向延伸。第三图案电极65两端与绝缘基片62两个侧面上的输入/输出电极67相连。每个输入/输出电极67形成一个角度从而从侧面延伸至绝缘基片62的反面。第二图案电极65包括一个从绝缘基片62较长侧面附近延伸至绝缘基片纵向中心位置的延伸部分。第三图案电极65在延伸部分的端部与压电共振器10b的另一部电极22相连。如图16所示利用导电粘合剂76作为导电材料实现连接。
绝缘体78形成于绝缘基片周边。绝缘体78提供了下述金属盖子88与每个第一和第二图案电极64和65之间的绝缘。
绝缘体78在沿绝缘基片62宽度方向上的中心对面互相隔开放置。在绝缘体78之间隔开区域中,形成与金属盖子88相连的接地电极80。每个接地电极80经绝缘基片62侧面延伸至绝缘衬底62反面的位置上。
上述导电粘合剂68、72、74和76电学连接电极并用作支持位于纵向中心的压电共振器10a和10b的部件。因此每个导电粘合剂68、72、74和76都形成矩形块形状。
以下描述提供在绝缘基片62上的叠层压电共振器1a和1b以及金属盖子88的放置和连接。
叠层压电共振器1a叠加在压电共振器10a上。叠层压电共振器1a的外部电极8和压电共振器10a的第二外部电极20b通过作为导电材料提供的导电粘合剂82互相连接。
叠层压电共振器1b叠加在压电共振器10b上。叠层压电共振器1b的外部电极8和压电共振器10a的第二外部电极20b通过作为导电材料提供的导电粘合剂84互相连接。
这些导电粘合剂82和84电学连接电极并用作支持位于纵向中心的压电共振器10a和10b的部件。因此每个导电粘合剂82和84都形成矩形块形状。
由平板弹簧部件构成的弹簧终端86提供于叠层压电共振器1a和1b上以将叠层压电共振器1a和1b的叠层部分的中心压向绝缘基片62并电学连接外部电极9和金属盖子88。
导电的金属盖子88整个覆盖在弹簧终端86之上。弹簧终端86由金属盖子88的内表面支撑。金属盖子88的边缘部分通过导电粘合剂90粘结在绝缘基片62的绝缘体78上。金属盖子88由此与第一和第二图案电极64和65绝缘。另一方面,绝缘体78在绝缘基片62上互相隔开一定距离,金属盖子88通过导电粘结剂90直接粘结和电连接至接地电极80。由此在梯形滤波器60内完成电学连接以形成如图18所示的电路。
在该梯形滤波器60内,压电共振器10a和10b构造成上述形状以使多个叠层压电共振器1a和1b叠加在压电共振器10a和10b上。因此可以减少绝缘基片62的面积并提高封装容量。因此可以减小整个电学元件的尺寸。在该梯形滤波器60内,由于压电共振器10a和10b构造成上述形状,所以没有必要用引线连接,元件之间的连接可以简化并且可以降低总的制造成本。
在上述梯形滤波器60内,叠层压电共振器1叠加在本发明的压电共振器10上。但是也可以采用图1-12所示的任何压电共振器10代替叠层压电共振器1叠加来构成电子部件。
作为采用本发明压电元件的电子元件实例,这里描述了鉴频器和梯形滤波器。但是本发明也可以用于构成其它电子元件。
Claims (4)
1.一种压电共振器(10),其特征在于包括:
叠层主体(12);
一组内部电极(14,14’)和交替层叠在所述层叠主体(12)一部分内的压电层(13);
至少一个提供于所述层叠主体侧面上的第一外部电极(20a,22a);
提供在不同于提供所述第一外部电极(20a,22a)的层叠主体(12)侧面上的第二外部电极(20b,22b),
所述第一和第二外部电极(20a,22a)(20b,22b)通过所述内部电极(14,14’)互相连接。
2.如权利要求1所述的压电共振器(10),其特征在于所述层叠主体(12)具有纵向并以纵向模式振动。
3.如权利要求2所述的压电共振器(10),其特征在于所述层叠主体(12)包括将多个所述内部电极(14,14’)和所述压电层(13)交叠在一起的振动区域(24),
所述内部电极(14,14’)排列为使得其主表面垂直于所述叠层主体(12)的纵向,
所述压电层(13)沿所述叠层主体(12)的纵向极化,
所述至少一个第一外部电极(20a,22a)可以与位于每个所述压电层(13)相对两侧面上的所述内部电极(14,14’)相对的一对相连,以及
所述第二外部电极(20b,22b)可以通过所述其中一对内部电极(14,14’)与所述第一外部电极(20a,22a)相连。
4.一种包含至少一个如权利要求1-3所述的压电共振器(10a,10b)的电子元件(60),其特征在于所述至少一个压电共振器是多个压电共振器(1a,1b)(10a,10b)的一种,它有包括在所述电子元件(60)内一对外部电极(8,9)(20a,2,20b),所述多个压电共振器互相叠加起来,所述压电共振器(10a,10b)的第二外部电极(20b)和所述另一个压电共振器(1a,1b)的所述外部电极(8)互相连接。
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