CN103363969A - Mems器件正交偏移消除 - Google Patents

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Abstract

本发明是MEMS器件正交偏移消除。除其他以外，本申请讨论了来自微机电系统(MEMS)器件(例如，MEMS陀螺仪)的传感信息的正交消除设备和方法。在某些示例中，正交修正设备可包括：驱动电荷至电压(C2V)转换器，其被配置为提供MEMS陀螺仪的检测质量的驱动信息；传感C2V转换器，其被配置为提供所述检测质量的传感信息；相移模块，其被配置为提供所述驱动信息的相移信息；驱动解调器，其被配置为接收所述驱动信息和所述相移信息，并且提供经解调的驱动信息；以及传感解调器，其被配置为接收所述传感信息和所述相移信息，并且提供经解调的传感信息，其中所述正交修正设备被配置为使用经解调的驱动信息和经解调的传感信息提供经修正的传感信息。

Description

MEMS器件正交偏移消除
技术领域
本申请讨论微机电系统(MEMS)，更具体地，本申请讨论用于MEMS器件的正交消除设备和方法。
发明内容
除其他以外，本申请讨论了来自微机电系统(MEMS)器件(例如，MEMS陀螺仪)的传感信息的正交消除设备和方法。在某些示例中，正交修正设备可包括：驱动电荷至电压(C2V)转换器，其被配置为提供MEMS陀螺仪的检测质量的驱动信息；传感C2V转换器，其被配置为提供所述检测质量的传感信息；相移模块，其被配置为提供所述驱动信息的相移信息；驱动解调器，其被配置为接收所述驱动信息和所述相移信息，并且提供经解调的驱动信息；以及传感解调器，其被配置为接收所述传感信息和所述相移信息，并且提供经解调的传感信息，其中所述正交修正设备被配置为使用经解调的驱动信息和经解调的传感信息提供经修正的传感信息。
本申请还公开了一种方法，包括：使用驱动电荷至电压(C2V)转换器来提供MEMS陀螺仪的检测质量的驱动信息；使用传感C2V转换器来提供所述检测质量的传感信息；使用所述驱动信息和相移模块来提供所述驱动信息的相移信息；使用驱动解调器和所述相移信息来解调所述驱动信息，以提供经解调的驱动信息；使用传感解调器和所述相移信息解调所述传感信息，以提供经解调的传感信息；以及使用经解调的驱动信息和经解调的传感信息来消除所述传感信息的正交误差，以提供经修正的传感信号。
本申请进一步公开了一种系统，包括：MEMS器件，包括检测质量；控制电路，其被配置为提供所述检测质量的传感信息，所述控制电路包括：驱动电荷至电压(C2V)转换器，其被配置为耦合至所述检测质量，并且提供所述检测质量的驱动信息；传感C2V转换器，其被配置为接收来自所述检测质量的传感信号，并且提供所述检测质量的传感信息；相移模块，其被配置为使用所述驱动信息来提供相移信息；驱动解调器，其被配置为接收所述相移信息和所述驱动信息，以提供经解调的驱动信号；传感解调器，其被配置为接收所述相移信息和所述传感信息，以提供经解调的传感信号；以及求和节点，其被配置为消除所述传感信息的正交误差，并且使用经解调的驱动信号和经解调的传感信号之和来提供经修正的传感信号。
本节意在提供本专利申请的主题的概述。其并非意在提供本申请的排他性或穷尽性的解释。本文包括了详细的描述，以提供关于本专利申请的进一步信息。
附图说明
在附图中(这些附图不一定是按照比例绘制的)，相似的数字可以描述不同的视图中的类似组件。具有不同字母后缀的相似数字可以表示类似组件的不同实例。附图通过举例说明而非限制的方式概括地示出了本文中讨论的各个实施例。
图1示出用于消除MEMS器件的正交偏移的现有电路100。
图2概括地示出用于消除在MEMS陀螺仪传感器信号上出现的正交误差的示例性传感器电路。
图3概括地示出用于MEMS器件的示例正交消除电路。
具体实施方式
诸如MEMS陀螺仪之类的MEMS器件可以包括悬挂的检测质量(proofmass)，检测质量受驱动激发，以共振频率进行振荡。振荡的检测质量可以包括悬挂的检测质量部分，在受到转动运动时，这部分偏转。科里奥利效应(Corioliseffects)可以用来解释检测质量部分的偏转。与悬挂的检测质量部分相关的电容式传感器可以提供传感器信号，该传感器信号指示转动运动和所导致的科里奥利力，科里奥利力能影响悬挂的检测质量部分。在某些示例中，检测质量常常可以是半导体材料的层或层系列。在某些示例中，可以使用集成电路技术来制造检测质量，并且可使用各种层创建和刻蚀技术来制造各种机械特征。大体而言，检测质量可以包括不规则性，尽管较小，但却在用于制造MEMS器件的制造方法的正常变动内。
图1示出用于消除MEMS器件的正交偏移或正交误差的现有电路100。所述电路可包括：第一输入端，其用于耦合到MEMS器件(例如，MEMS陀螺仪101)的驱动传感电极(gdp、gdn)；第二输入端，其用于耦合到MEMS陀螺仪101的传感器电极(gcxp、gcxn)；驱动电荷至电压(C2V)转换器102；传感C2V转换器103；模拟修正放大器104；90度相移模块105；解调器106；以及模拟至数字转换器(ADC)107。
驱动C2V转换器102可以将与电容性驱动电极或电容性驱动电极组(gdp、gdn)相关的电荷转换为电压。在某些示例中，电容性驱动电极(gdp、gdn)可以用于对驱动信息进行传感，驱动信息包括由MEMS陀螺仪101的驱动引起的检测质量的振荡运动。在某些示例中，自电容性驱动电极(gdp、gdn)接收的驱动信息可以用于控制MEMS陀螺仪101检测质量的振荡，使得检测质量以稳定振幅在稳定频率处振荡。
传感C2V转换器103可以将与MEMS陀螺仪101的电容性传感电极(gcxp、gcxn)相关的电荷转换为电压，以提供与MEMS陀螺仪相关的传感信息。在某些示例中，传感信息可以包括与MEMS陀螺仪101的检测质量的科里奥利效应运动相关的信息。在某些示例中，传感电极(gcxp、gcxn)可以提供电荷信号，电荷信号指示悬挂的检测质量部分的偏转。悬挂的检测质量部分的偏转可以指示MEMS陀螺仪101在特定方向上的运动。在某些示例中，MEMS陀螺仪101可以包括若干个传感电极或传感电极组(gcxp、gcxn)，以感应一个或多个方向上的陀螺仪的运动。由于与MEMS陀螺仪101的制造相关的不规则性，例如与检测质量相关的不规则性，检测质量部分可能会因为检测质量的振动而在传感感兴趣的方向上偏转，因此自传感电极(gcxp、gcxn)接收的传感信号可以包括检测质量振荡信息以及与MEMS陀螺仪101的运动相关的信息。传感信号中接收的检测质量振荡信息即所谓正交偏移或正交误差。
模拟修正放大器104可以自驱动C2V转换器102接收驱动传感信号，并且可以将驱动传感信号的放大版本相加到传感信号上，以大体上消除传感信号中的正交误差，并提供经修正的传感信号或经修正的传感信息。
传感C2V转换器103可以从传感电极(gcxp、gcxn)接收正交误差大体上从其消除的电容性传感信号，并可以将信号转换为指示MEMS陀螺仪101的运动速率(例如，MEMS陀螺仪101的转动速率)的电压。相移模块105可以与解调器106一起用于解调传感C2V转换器103的电压信号，以提供速率输出信号。在示例电路中，ADC107可将速率输出信号转换为速率输出信号的数字表示，以待进一步的处理。
本发明人认识到，正交消除电路(例如，图1中示出的电路)可以有效降低MEMS陀螺仪传感信号中的正交误差，但也会向传感信号引入噪声和漂移，噪声和漂移可以使可自MEMS陀螺仪101获得的运动信息的准确度和性能恶化。例如，本发明人认识到，数字传感和正交消除电路可以降低自正交消除电路的模拟组件引入的噪声和相位漂移，例如，由图1的模拟修正放大器104引入的噪声和漂移。
图2概括地示出示例性的正交消除电路200，包括：驱动传感C2V转换器202；传感C2V转换器203；相移模块205；驱动解调器210和传感解调器211；以及修正放大器204。驱动传感C2V转换器202可以对MEMS陀螺仪201的检测质量的驱动传感电极(gdp、gdn)上的电荷进行转换，以提供指示检测质量的平面内振荡动作的电压信号。传感C2V转换器203可以将检测质量的悬挂的检测质量部分的传感电极(gcxp、gcxn)上的电荷转换为指示MEMS陀螺仪201的运动速率的电压信号。相移模块205和驱动解调器210可以对驱动传感信号进行解调，并且可以提供表示检测质量振荡的经解调的信号。相移模块205和传感解调器211可以对传感信号进行解调，以提供指示MEMS陀螺仪201的运动速率的经解调的传感信号。然而，经解调的传感信号可以包括与检测质量的振荡相关的分量，因为MEMS陀螺仪201的制造中的不规则性(例如，半导体检测质量的制造中的不规则性)可以导致平面外振荡移动(例如，正交误差)，平面外振荡移动(例如，正交误差)可以由MEMS陀螺仪201的传感电极(gcxp、gcxn)传感。修正放大器204可以调节经解调的驱动信号的电平，以提供放大的经解调的驱动信息，或修正信号，以消除经解调的传感信号中的正交误差。求和节点212可以将修正信号和经解调的传感信号进行组合，以消除经解调的传感信号的正交误差。在某些示例中，经调制以及无正交误差的传感信号可以被转换为数字表示，以待使用ADC207进一步处理。在某些示例中，正交消除电路200可以通过使用几乎全同的组成部分(其在某些示例中可被制造在同一集成电路内)解调驱动传感信号和传感信号，而降低漂移被引入到电路中的机会。因此，在一个电路路径中被引入的任何漂移极有可能被在另一电路路径中由相同机制引入的漂移补偿。
图3概括地示出示例性的正交消除电路300，包括：驱动传感C2V转换器302；传感C2V转换器303；相移电路305；驱动解调器310和传感解调器311；驱动ADC320和传感ADC321；以及数字修正放大器314。驱动传感C2V转换器302可以对MEMS陀螺仪301的检测质量的驱动传感电极(gdp、gdn)上的电荷进行转换，以提供指示检测质量的平面内振荡运动的电压信号。传感C2V转换器303可以将检测质量的悬挂的检测质量部分的传感电极(gcxp、gcxn)上的电荷转换为指示MEMS陀螺仪301的运动速率的电压信号。相移模块305和驱动解调器310可以对驱动传感信号进行解调，并且可以提供表示检测质量振荡的经解调的信号。相移模块305和传感解调器311可以对传感信号进行解调，以提供指示MEMS陀螺仪301的运动速率的经解调的传感信号。可以分别使用驱动ADC320和传感ADC321来对经解调的驱动传感信号和经解调的传感信号进行数字化。将经解调的信号转换为经解调的信号的数字表示可以降低噪声被引入到信号中的机会(例如，对于模拟信号处理组成部分，普遍有1/f噪声)。
经解调的传感信号的数字表示可以包括与检测质量的振荡相关的分量，因为MEMS陀螺仪301的制造中的不规则性(例如，MEMS陀螺仪301的半导体检测质量的制造中的不规则性)会引起平面外振荡移动(例如，正交误差)，平面外振荡移动(例如，正交误差)会被MEMS陀螺仪301的传感电极(gcxp、gcxn)传感。在某些示例中，数字修正放大器314可以对经解调的驱动信号的数字表示的电平进行调节，以提供数字修正信号，以消除数字化的、经解调的传感信号中的正交误差。数字求和节点317可以将数字修正信号与经解调的传感信号的数字表示数字地组合起来，以消除经解调的传感信号的数字表示的正交误差。在某些示例中，正交消除电路300可以通过使用几乎全同的组成部分(其在某些示例中可被制造在同一集成电路内)来解调驱动传感信号和传感信号，而降低漂移被引入到电路中的机会。因此，在一个电路路径中被引入的任何漂移极有可能被(例如，在另一电路路径中)由相同机制引入的漂移补偿。
附加说明
在示例1中，一种正交修正设备可包括：驱动电荷至电压(C2V)转换器，其被配置为提供MEMS陀螺仪的检测质量的驱动信息；传感C2V转换器，其被配置为提供所述检测质量的传感信息；相移模块，其被配置为提供所述驱动信息的相移信息；驱动解调器，其被配置为接收所述驱动信息和所述相移信息，并且提供经解调的驱动信息；以及传感解调器，其被配置为接收所述传感信息和所述相移信息，并且提供经解调的传感信息，其中，所述正交修正设备被配置为使用经解调的驱动信息和经解调的传感信息来提供经修正的传感信息。
在示例2中，根据示例1所述的设备可选地包括：求和节点，其被配置为使用经解调的驱动信息和经解调的传感信息来提供经修正的传感信息。
在示例3中，根据示例1至2中任一项所述的设备可选地包括：修正放大器，其被配置为接收经解调的驱动信息，并且提供放大的经解调的驱动信息，其中，所述正交修正设备被配置为使用所述放大的经解调的驱动信息和经解调的传感信息来提供经修正的传感信息。
在示例4中，根据示例1至3中任一项所述的设备可选地包括：求和节点，其被配置为使用所述放大的经解调的驱动信息和经解调的传感信息来提供经修正的传感信息。
在示例5中，根据示例1至3中任一项所述的设备可选地包括：模拟至数字转换器，其被配置为接收经修正的传感信号，并且提供经修正的传感信号的数字表示。
在示例6中，根据示例1至5中任一项所述的驱动解调器可选地包括：第一模拟至数字转换器，其被配置为接收经解调的驱动信号，并且提供经解调的驱动信号的数字表示。
在示例7中，根据示例1至6中任一项所述的驱动解调器可选地包括：修正放大器，其被配置为对经解调的驱动信号的数字表示的电平进行调节，以提供修正信号来消除经传感的信息的正交误差。
在示例8中，根据示例1至7中任一项所述的传感解调器可选地包括：第二模拟至数字转换器，其被配置为接收经解调的传感信号，并且提供经解调的传感信号的数字表示。
在示例9中，根据示例1至8中任一项所述的求和节点可选地包括：数字求和节点，其被配置为对经解调的驱动信号的数字表示和经解调的传感信号的数字表示进行组合，以消除经解调的传感信号的正交误差，并且提供数字的、经修正的传感信号。
在示例10中，一种方法可包括：使用驱动电荷至电压(C2V)转换器来提供MEMS陀螺仪的检测质量的驱动信息；使用传感C2V转换器来提供所述检测质量的传感信息；使用所述驱动信息和相移模块来提供所述驱动信息的相移信息；使用驱动解调器和所述相移信息来解调所述驱动信息，以提供经解调的驱动信息；使用传感解调器和所述相移信息解调所述传感信息，以提供经解调的传感信息；以及使用经解调的驱动信息和经解调的传感信息来消除所述传感信息的正交误差，以提供经修正的传感信号。
在示例11中，根据示例1至10中任一项所述的方法可选地包括：使用修正放大器来调节经解调的驱动信息的电平。
在示例12中，根据示例1至11中任一项所述的方法可选地包括：使用模拟至数字转换器来转换经修正的传感信号，以提供经修正的传感信号的数字表示。
在示例13中，根据示例1至12中任一项所述的方法可选地包括：使用经解调的驱动信息和第一模拟至数字转换器来提供经解调的驱动信号的数字表示。
在示例14中，根据示例1至13中任一项所述的方法可选地包括：使用修正放大器来调节经解调的驱动信息的数字表示的电平。
在示例15中，根据示例1至14中任一项所述的方法可选地包括：使用经解调的传感信息和第二模拟至数字转换器来提供经解调的传感信号的数字表示。
在示例16中，根据示例1至3中任一项所述的消除正交误差可选地包括：对经解调的驱动信号的数字表示和经解调的传感信号的数字表示进行数字地求和，以提供数字的、经修正的传感信号。
在示例17中，一种系统可包括：MEMS器件，包括检测质量；以及控制电路，其被配置为提供所述检测质量的传感信息。所述控制电路可包括：驱动电荷至电压(C2V)转换器，其被配置为耦合至所述检测质量，并且提供所述检测质量的驱动信息；传感C2V转换器，其被配置为接收来自所述检测质量的传感信号，并且提供所述检测质量的传感信息；相移模块，其被配置为使用所述驱动信息来提供相移信息；驱动解调器，其被配置为接收所述相移信息和所述驱动信息，以提供经解调的驱动信号；传感解调器，其被配置为接收所述相移信息和所述传感信息，以提供经解调的传感信号；以及求和节点，配置为消除所述传感信息的正交误差，并且使用经解调的驱动信号和经解调的传感信号之和来提供经修正的传感信号。
在示例18中，根据示例1至17中任一项所述的驱动解调器可选地包括：修正放大器，其被配置为调节经解调的驱动信号的电平，以提供修正信号来消除所述传感信息的正交误差；以及模拟至数字转换器，其被配置为接收经修正的传感信号，并且提供经修正的传感信号的数字表示。
在示例19中，根据示例1至18中任一项所述的驱动解调器可选地包括：第一模拟至数字转换器，其被配置为接收经解调的驱动信号，并且提供所述经解调的驱动信号的数字表示；并且其中，所述驱动解调器包括数字修正放大器，数字修正放大器被配置为调节经解调的驱动信号的数字表示的电平，以提供消除经传感的信息的正交误差的数字修正信号。
在示例20中，根据示例1至19中任一项所述的传感解调器可选地包括：第二模拟至数字转换器，其被配置为接收经解调的传感信号，并且提供经解调的传感信号的数字表示。
在示例21中，根据示例1至20中任一项所述的求和节点可选地包括：数字求和节点，其被配置为对经解调的驱动信号的数字表示和经解调的传感信号的数字表示进行组合，以消除经解调的传感信号的正交误差，并且提供数字的、经修正的传感信号。
示例22可以包括示例1-21中的任意一个或多个的任意部分或任意部分的组合或者可以可选择地与其组合以包括用于执行示例1-21的功能中的任意一个或多个的模块或包含当由机器执行时使得机器执行示例1-21的功能中的任意一个或多个的指令的机器可读介质。
上文的详细描述包括对附图的参考，附图形成了详细描述的一部分。附图通过示例的方式示出了其中可以实践本申请的具体实施例。这些实施例也可以被称为“示例”。这些示例可以包括除了那些示出或描述之外的元素。然而，本发明人还考虑了其中仅提供了所示出并且描述的那些元素。此外，关于特定的示例(或其一个或多个方面)或者关于其他示例(或其一个或多个方面)，本发明人还考虑了使用所示出或描述的那些元素(其一个或多个方面)的任意组合或排列的示例。
本文所涉及的所有出版物、专利及专利文件全部作为本文的参考内容，尽管它们是分别加以参考的。如果本文与参考文件之间存在用途差异，则将参考文件的用途视作本文的用途的补充；若两者之间存在不可调和的差异，则以本文的用途为准。
在本文中，与专利文件通常使用的一样，术语“一”或“某一”表示包括一个或多个，但其他情况或在使用“至少一个”或“一个或多个”时应除外。在本文中，除非另外指明，否则使用术语“或”指无排他性的或者，使得“A或B”包括：“A但不是B”、“B但不是A”以及“A和B”。在所附权利要求中，术语“包含”和“在其中”等同于各个术语“包括”和“其中”的通俗英语。同样，在本文中，术语“包含”和“包括”是开放性的，即，系统、设备、物品或步骤包括除了权利要求中这种术语之后所列出的那些部件以外的部件的，依然视为落在该条权利要求的范围之内。而且，在下面的权利要求中，术语“第一”、“第二”和“第三”等仅仅用作标签，并非对对象有数量要求。
本文所述的方法示例至少部分可以是机器或计算机执行的。一些示例可包括计算机可读介质或机器可读介质，其被编码有可操作为将电子装置配置为执行如上述示例中所述的方法的指令。这些方法的实现可包括代码，例如微代码，汇编语言代码，高级语言代码等。该代码可包括用于执行各种方法的计算机可读指令。所述代码可构成计算机程序产品的部分。此外，所述代码可例如在执行期间或其它时间被有形地存储在一个或多个易失或非易失性有形计算机可读介质上。这些有形计算机可读介质的示例包括但不限于，硬盘、移动磁盘、移动光盘(例如，压缩光盘和数字视频光盘)，磁带，存储卡或棒，随机存取存储器(RAM)，只读存储器(ROM)等。
上述说明的作用在于解说而非限制。例如，上述示例(或示例的一个或多个方面)可结合使用。可以在理解上述说明书的基础上，利用现有技术的某种常规技术来执行其他实施例。遵照37C.F.R.§1.72(b)的规定提供摘要，允许读者快速确定本技术公开的性质。提交本摘要时要理解的是该摘要不用于解释或限制权利要求的范围或意义。同样，在上面的具体实施方式中，各种特征可归类成将本公开合理化。这不应理解成未要求的公开特征对任何权利要求必不可少。相反，本发明的主题可在于的特征少于特定公开的实施例的所有特征。因此，下面的权利要求据此并入具体实施方式中，每个权利要求均作为一个单独的实施例，并且可设想到这些实施例可以在各种组合或排列中彼此结合。应参看所附的权利要求，以及这些权利要求所享有的等同物的所有范围，来确定本发明的范围。

Claims (21)

1.一种正交修正设备，包括：
驱动电荷至电压(C2V)转换器，其被配置为提供MEMS陀螺仪的检测质量的驱动信息；
传感C2V转换器，其被配置为提供所述检测质量的传感信息；
相移模块，其被配置为提供所述驱动信息的相移信息；
驱动解调器，其被配置为接收所述驱动信息和所述相移信息，并且提供经解调的驱动信息；
传感解调器，其被配置为接收所述传感信息和所述相移信息，并且提供经解调的传感信息；以及
其中，所述正交修正设备被配置为使用经解调的驱动信息和经解调的传感信息来提供经修正的传感信息。
2.根据权利要求1所述的设备，包括：
求和节点，其被配置为使用经解调的驱动信息和经解调的传感信息来提供经修正的传感信息。
3.根据权利要求1所述的设备，包括：
修正放大器，其被配置为接收经解调的驱动信息，并且提供放大的经解调的驱动信息，
其中，所述正交修正设备被配置为使用所述放大的经解调的驱动信息和经解调的传感信息来提供经修正的传感信息。
4.根据权利要求3所述的设备，包括：
求和节点，其被配置为使用所述放大的经解调的驱动信息和经解调的传感信息来提供经修正的传感信息。
5.根据权利要求1所述的设备，包括：模拟至数字转换器，其被配置为接收经修正的传感信号，并且提供经修正的传感信号的数字表示。
6.根据权利要求1所述的设备，其中，所述驱动解调器包括：第一模拟至数字转换器，其被配置为接收经解调的驱动信号，并且提供经解调的驱动信号的数字表示。
7.根据权利要求6所述的设备，其中，所述驱动解调器包括：修正放大器，其被配置为对经解调的驱动信号的数字表示的电平进行调节，以提供修正信号来消除经传感的信息的正交误差。
8.根据权利要求7所述的设备，其中，所述传感解调器包括：第二模拟至数字转换器，其被配置为接收经解调的传感信号，并且提供经解调的传感信号的数字表示。
9.根据权利要求8所述的设备，其中，求和节点包括：数字求和节点，其被配置为对经解调的驱动信号的数字表示和经解调的传感信号的数字表示进行组合，以消除经解调的传感信号的正交误差，并且提供数字的、经修正的传感信号。
10.一种方法，包括；
使用驱动电荷至电压(C2V)转换器来提供MEMS陀螺仪的检测质量的驱动信息；
使用传感C2V转换器来提供所述检测质量的传感信息；
使用所述驱动信息和相移模块来提供所述驱动信息的相移信息；
使用驱动解调器和所述相移信息来解调所述驱动信息，以提供经解调的驱动信息；
使用传感解调器和所述相移信息解调所述传感信息，以提供经解调的传感信息；以及
使用经解调的驱动信息和经解调的传感信息来消除所述传感信息的正交误差，以提供经修正的传感信号。
11.根据权利要求10所述的方法，包括：使用修正放大器来调节经解调的驱动信息的电平。
12.根据权利要求11所述的方法，包括：使用模拟至数字转换器来转换经修正的传感信号，以提供经修正的传感信号的数字表示。
13.根据权利要求10所述的方法，包括：使用经解调的驱动信息和第一模拟至数字转换器来提供经解调的驱动信号的数字表示。
14.根据权利要求13所述的方法，包括：使用修正放大器来调节经解调的驱动信息的数字表示的电平。
15.根据权利要求14所述的方法，包括：使用经解调的传感信息和第二模拟至数字转换器来提供经解调的传感信号的数字表示。
16.根据权利要求15所述的方法，其中，消除正交误差的步骤包括：对经解调的驱动信号的数字表示和经解调的传感信号的数字表示进行数字地求和，以提供数字的、经修正的传感信号。
17.一种系统，包括：
MEMS器件，包括检测质量；
控制电路，其被配置为提供所述检测质量的传感信息，所述控制电路包括：
驱动电荷至电压(C2V)转换器，其被配置为耦合至所述检测质量，并且提供所述检测质量的驱动信息；
传感C2V转换器，其被配置为接收来自所述检测质量的传感信号，并且提供所述检测质量的传感信息；
相移模块，其被配置为使用所述驱动信息来提供相移信息；
驱动解调器，其被配置为接收所述相移信息和所述驱动信息，以提供经解调的驱动信号；
传感解调器，其被配置为接收所述相移信息和所述传感信息，以提供经解调的传感信号；以及
求和节点，其被配置为消除所述传感信息的正交误差，并且使用经解调的驱动信号和经解调的传感信号之和来提供经修正的传感信号。
18.根据权利要求17所述的系统，其中，所述驱动解调器包括：修正放大器，其被配置为调节经解调的驱动信号的电平，以提供修正信号来消除所述传感信息的正交误差；以及
模拟至数字转换器，其被配置为接收经修正的传感信号，并且提供经修正的传感信号的数字表示。
19.根据权利要求17所述的系统，其中，所述驱动解调器包括：
第一模拟至数字转换器，其被配置为接收经解调的驱动信号，并且提供经解调的驱动信号的数字表示；以及
其中，所述驱动解调器包括：数字修正放大器，其被配置为调节经解调的驱动信号的数字表示的电平，以提供消除经传感的信息的正交误差的数字修正信号。
20.根据权利要求19所述的系统，其中，所述传感解调器包括：第二模拟至数字转换器，其被配置为接收经解调的传感信号，并且提供经解调的传感信号的数字表示。
21.根据权利要求20所述的系统，其中，所述求和节点包括：数字求和节点，其被配置为对经解调的驱动信号的数字表示和经解调的传感信号的数字表示进行组合，以消除经解调的传感信号的正交误差，并且提供数字的、经修正的传感信号。
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