JP3753209B2 - 角速度センサ - Google Patents
角速度センサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP3753209B2 JP3753209B2 JP23086097A JP23086097A JP3753209B2 JP 3753209 B2 JP3753209 B2 JP 3753209B2 JP 23086097 A JP23086097 A JP 23086097A JP 23086097 A JP23086097 A JP 23086097A JP 3753209 B2 JP3753209 B2 JP 3753209B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- angular velocity
- diaphragm
- axis
- continuous
- vibration
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)
- Gyroscopes (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、x,y,z各軸廻りの角速度のそれぞれを検出する3軸の角速度センサに関し、特に、これに限定する意図ではないが、半導体薄膜を用いたマイクロマシン振動型角速度センサであって、振動板を基板に対して平行な面内で振動させ、角速度が該振動に加わることにより発生するコリオリの力により誘起される、振動板の振動と直交する方向の振動を検出することにより角速度を検出する、3軸の角速度センサに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、半導体薄膜を用いたマイクロマシン角速度センサで、振動板(質量体)を基板に平行な方向(x方向)に振動させ、駆動方向に対して垂直方向を軸とする角速度の検出を、コリオリ力により誘起される、角速度の検出軸に垂直でかつ前記振動の方向に対して直交な方向の振動を検出する型の角速度センサは、検出軸が単軸が主であり、複数軸の検出軸を持つために単軸の角速度センサを複数個併設することが行なわれている。
【0003】
図7に、従来の2軸の角速度センサの一例を示す。シリコン基板1上に、x軸廻りの角速度を検出するためのセンサエレメント群ACSと、これを90度回転させた形の、y軸廻りの角速度を検出するためのセンサエメント群BDSが配列されている。この例では、センサエレメント群ACSとBDSは、実質上同一のエレメント構成および形状である。
【0004】
y軸廻りの角速度を検出するためのセンサエメント群BDSに関して説明すると、基板1のx,y平面よりz方向に微小距離離れた振動板2Bには、y方向に延びる4本の分岐梁8が連続しており、それらの分岐梁8は、x方向に延びる連結梁7に連続している。連結梁7にはy方向に延びる支持梁9が連続しており、この支持梁9が、基板1に固定したアンカー10に連続している。すなわち、振動板2Bは、4本の分岐梁8,2本の連結梁7および2本の支持梁9を介して2個のアンカー10で、基板に固着されている。分岐梁8および支持梁9は、y方向に延びるので、x方向およびz方向には撓み易く、y方向には変位しにくい。これにより、振動板2Bは、xおよびz方向には振動可であるが、y方向には実質上振動不可である。
【0005】
振動板2Bには、x方向に突出しy方向に所定ピッチで分布する各複数個の可動櫛歯3A,3Bが、相対向する一対のy平行辺にある。一方の可動櫛歯3A(y方向に一列で分布する複数の櫛歯)の歯間に突出しy方向に前記ピッチで分布する複数個の固定櫛歯4Aが固定電極5Aより突出している。同様に、他方の可動櫛歯3Bの歯間に突出しy方向に前記ピッチで分布する複数個の固定櫛歯4Bが固定電極5Bより突出している。
【0006】
基板1の、振動板2Bに対向する面上に、振動板2Bとの間に静電容量を形成する電極18がある。
【0007】
振動板2B,分岐梁8,連結梁7,支持梁9およびアンカー10は、p型又はn型にドーピングされた半導体薄膜(この例ではポリシリコン)よりなり、導電性を持つ。固定電極5Aは電極パッド11Aに、固定電極5Bは電極パッド11Cに、電極18は電極パッド11Bに接続されている。
【0008】
アンカー10(振動板2B)を共通電位(機器ア−ス:GND)に接続し、電極パッド11A(固定電極5A,4A)と11C(固定電極5B,4B)に交互に高電圧パルスを印加すると、振動板2Bがx方向に振動する。振動板2Bが振動しているときにy軸廻りの角速度が振動板2Bに加わると、コリオリ力により振動板2Bはz方向にも振動する。すなわち振動板2Bのx方向の往復振動が、x,z面上で楕円を描く楕円振動となり、そのz方向振動成分により、振動板2B/電極18間の静電容量が振動する。
【0009】
図示しない測定用電気回路が、この静電容量の振動の、振幅と位相を検出して、y軸廻りの角速度の大きさと方向を表わす信号を発生する。
【0010】
図7に示す従来例では、この角速度検出の精度を高くするために、第2の振動板2Dを中心とするもう1組の角速度検出エレメントがあり、この振動板2Dが、振動板2Bの振動と180度の位相ずれをもってx方向に励振される。これにより、上述のy軸廻りの角速度による振動板2Bのz方向の振動に対して180度の位相ずれをもって振動板2Dが振動する。振動板2Bと電極18との間の静電容量検出信号と、振動板2Dとその直下の電極との間の静電容量検出信号の差が増幅され、両信号が共に振動するが位相差が180度であるので、差信号(差動増幅で得られる信号)のレベルは、2つの静電容量検出信号(のレベルの絶対値)の和となり、各検出信号中のノイズが相殺されるので、S/Nが高い。
【0011】
x軸廻りの角速度を検出するためのセンサエメント群ACSは、上述の、y軸廻りの角速度を検出するためのセンサエメント群BDSを、x,y平面上で該平面に沿って90度回転させた形のものであり、上述と同様な原理によって、x軸廻りの角速度を検知する。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】
x,yの各軸廻りの角速度を検出するセンサは、上述のように2組のセンサ(BDS,ACS)を用意する必要があった。x,y,zの各軸廻りの角速度を検出するセンサは、例えば、図7に示す2軸のセンサに、センサBDSを図7に示す状態から垂直に90度起して分岐梁8をz軸に平行にした形のもう1組のセンサを併設したものとなる。
【0013】
このため3軸以上の検出軸を持つ角速度センサは小型化が困難であり、また、センサの共振周波数が各センサで別であるため、励振回路が各センサに必要であり、コストアップにつながっていた。
【0014】
特開平9−127148号公報には、1個の振動板を、x方向に延びそしてy方向に延びるジグザグ形状の4本の梁で、x,y,z3軸方向に平位可に支持し、この振動板をx方向に励振して、x軸廻りに加わる角速度による振動板のz振動と、z軸廻りに加わる角速度による振動板のy振動を検出する2軸の角速度センサが開示されている。しかし、上述の差動増幅はできないので検出精度を低いと推察する。検出精度を高くするために上述の差動増幅を行なうためには、同等な構造のもう1組のセンサが必要と思われる。加えて、もう1つのy軸廻りの角速度をも検出するためには、別途のもう1組のセンサの併設を要する。したがって、3軸以上の検出軸を持つ角速度センサは小型化が困難であり、また、センサの共振周波数が各センサで別となるため、励振回路が各センサに必要であり、コストアップにつながる。
【0015】
本発明は、小型の、直交3軸の検出軸を持つ角速度センサを提供することを第1の目的とし、加えて検出精度が高い角速度センサを提供することを第2の目的とし、更に加えて励振回路数が少くて済む角速度センサを提供することを第3の目的とする。
【0016】
【課題を解決するための手段】
(1)本発明の角速度センサは、x,y平面を有する基板(1);
該基板の該平面に平行な面上の多角形の各辺位置に分布する、複数の振動体(2A〜2D)、および、それらを該平面と平行にかつ各辺と直交する方向に振動駆動するための手段(3A,3B,4A,4B);
前記振動体(2A〜2D)のそれぞれに連続し前記多角形の辺の延びる方向に延びた複数の分岐梁(8)、および、前記多角形の頂点部に位置し前記分岐梁が連続する複数の連結梁(7);
これらの連結梁(7)を、前記多角形内の点を中心に回転変位可能に支持する手段(16,9,10);
振動方向が異なる少くとも2つの振動体(2A〜2D)の、前記基板(1)に対するz方向の振動を検出するための手段(18);
前記振動体(2A〜2D),分岐梁(8)および連結梁(7)でなる組体の、前記基板(1)に対する、z軸廻りの回転を検出するための手段(13A,13B,14);
を備える。なお、理解を容易にするためにカッコ内には、図面に示し後述する実施例の対応要素の符号を、参考までに付記した。
【0017】
これによれば、振動体(2A〜2D),分岐梁(8)および連結梁(7)が連続で一体であるので、それらでなる組体の共振周波数にて、各振動体(2A〜2D)を励振するのが、励振効率が高く、1つの励振回路にて該共振周波数の励振信号を生成し、これを増幅して各振動体(2A〜2D)の励振に使用することができる。
【0018】
複数個の振動体(2A〜2D)がx,y面上の多角形の各辺の位置に分布するので、それらを、x,y面に平行であって各辺と直交する方向に、共に多角形の中心に向いそして中心から離れるように前記励振信号に基づいて励振しているとき、x軸廻りの角速度が加わると、コリオリの力により、z軸方向に励振周波数と一致した周波数で、y方向に位置差がある振動体(2A,2C)に相対的に逆相の、z方向の振動が誘起される。これらの振動を、各振動体(2A,2C)の振動検出手段(18)で検出して電気信号(静電容量検出信号)とし、それらの電気信号を差動増幅して角速度信号に変換することにより、x軸廻りの角速度を高精度に検出することができる。
【0019】
y軸廻りの角速度の検出は、x方向に位置差がある振動体(2B,2D)のz振動を各振動体(2B,2D)の振動検出手段(18)で検出して電気信号(静電容量検出信号)とし、それらの電気信号を差動増幅して角速度信号に変換することにより、高精度のy軸廻りの角速度検出が可能である。
【0020】
一方、z軸を回転軸とする角速度が加わったとき、コリオリの力により、y方向に位置差がある振動体(2A,2C)にはx方向の前記励振振動の逆相の振動が誘起され、x方向に位置差がある振動体(2B,2D)にはy方向の前記励振振動の逆相の振動が誘起され、前記振動体(2A〜2D),分岐梁(8)および連結梁(7)でなる組体に、前記多角形内の点を中心とするz軸廻りの回転振動が誘起される。この回転振動をz軸廻りの回転検出手段(13A,13B,14)が電気信号(静電容量検出信号)に変換する。この電気信号を角速度信号に変換することにより、z軸廻りの角速度を検出することができる。
【0021】
本発明の後述の実施例では、回転検出手段(13A,13B,14)は、前記振動体(2A〜2D),分岐梁(8)および連結梁(7)でなる組体と一体の電極14と、この電極14を間に置いて、z軸廻りの回転方向で相対向する対の検出電極13A,13Bを含み、該組体(電極14)がz軸廻りに回転振動すると、検出電極13A,13Bの一方と電極14との静電容量は増大し他方と電極14との静電容量は減少する。これらの静電容量を電気信号に変換して差動増幅して角速度信号に変換することにより、高精度のz軸廻りの角速度検出が可能である。
【0022】
本発明の角速度センサは、上述のように、1つの励振回路が発生する信号に基づいて全振動体(2A〜2D)を同期励振して、x,y,z3軸の各軸廻りの角速度を検出することができる。振動体(2A〜2D),分岐梁(8)および連結梁(7)を一体連続の組体として多角形を構成しているので、小型の角速度センサを得ることができる。また、差動増幅により検出精度が高い角速度信号を得ることができる。
【0023】
【発明の実施の形態】
(2)各振動体の質量とそれに連続する分岐梁のバネ定数との比,前記複数の振動体(2A〜2D)の質量,前記複数の振動体(2A〜2D)とそれぞれに連続した分岐梁(8)の形状および材質,前記複数の連結梁(7)の形状、ならびに、前記多角形の重心に対する前記振動体(2A〜2D),分岐梁(8)および連結梁(7)でなる組体の回転中心、のいずれか、が実質上同一である。
【0024】
各振動体の質量とそれに連続する分岐梁のバネ定数との比が実質上同一であることにより、各振動体の励振による振動および角速度が加わることによる振動の強度および方向が均一化して安定となり、不要な振動モ−ドもしくは成分が少く、角速度検出精度が高い。
【0025】
前記複数の振動体(2A〜2D)の質量が実質上同一であることにより、各振動体の励振による振動および角速度が加わることによる振動の強度および方向が均一化して安定となり、不要な振動モ−ドもしくは成分が少く、角速度検出精度が高い。
【0026】
前記複数の振動体(2A〜2D)とそれぞれに連続した分岐梁(8)の形状および材質が実質上同一であることにより、分岐梁(8)の2軸方向(x,z/y,z)のたわみ特性が実質上同一となるので、各振動体の励振による振動および角速度が加わることによる振動の強度および方向が均一化して安定となり、不要な振動モ−ドもしくは成分が少く、角速度検出精度が高い。
【0027】
前記複数の連結梁(7)の形状が実質上同一であることにより、各振動体に連続した分岐梁とそれに連続した連結梁の2者の組合せが、前記多角形の各辺に関して実質上同一となるので、各振動体の励振のバランスをとり易く、各振動体による振動および角速度が加わることによる振動の強度および方向の均一化および安定化が可能となる。
【0028】
前記振動体(2A〜2D),分岐梁(8)および連結梁(7)でなる組体の回転中心が、前記多角形の重心と実質上同一であることにより、z軸廻りの角速度が加わったときの前記組体のz軸廻りの振動において前記組体の重心の変動がなく、不要な振動モ−ドもしくは成分が少く、z軸廻りの角速度検出精度が高い。
【0029】
(3)連結梁(7)を回転変位可能に支持する手段(16,9,10)は、前記複数の連結梁(7)が連続した1個のリング状の梁(16),該リング状の梁(16)に連続し前記リングの径方向に延びる梁(9)、および、該径方向の梁(9)の端部が連続した、前記基板(1)に固定されたアンカー(10)、を含む。
【0030】
(4)前記連結梁(7)は前記リング状の梁(16)からその外方に放射状に延び、前記径方向に延びる梁(9)は前記リング状の梁(16)からその内方に放射状に延び、前記アンカー(10)は、前記リング状の梁(16)の円中心にある。
【0031】
本発明の他の目的および特徴は、図面を参照した以下の実施例の説明より明らかになろう。
【0032】
【実施例】
−第1実施例−
図1に本発明の第1実施例を示す。図1において、それぞれに同一形状の4個の分岐梁8が連続した同一形状の4個の振動板2A〜2Dが、x平行辺およびy平行辺を有する正方形の各辺の位置にあり、隣り合う辺にある振動板に連続した分岐梁8が4個の同一形状の連結梁7のそれぞれに連続している。4個の連結梁7は、前記正方向の各頂点部に位置し、Y型であり、その脚部が、前記正方形の中心をねらう方向に向いている。
【0033】
連結梁7の脚部端は、リング状の梁16に連続している。この梁16には、4本の支持梁9およびz軸廻りの回転検出用の12本の検出電極が連続して梁16の円中心に向けて放射状に延びている。4本の支持梁9は、梁16の円中心にあってシリコン基板1に固定されたアンカー10に連続している。すなわち、全振動板2A〜2D,それらに連続の分岐梁8,連結梁7,リング状の梁16および支持梁9は、基板1のx,y平面に対して空隙を置いて、アンカー10で支持されている。
【0034】
基板1上のセンサエレメントは、x軸廻りの角速度を検出するための1対のセンサエレメント群ASおよびCSと、これらを90度回転させた形の、y軸廻りの角速度を検出するための1対のセンサエメント群BSおよびDS、ならびに、z軸廻りの角速度を検出するための、リング状の梁16内の検出電極群に区分することができる。この例では、センサエレメント群AS,BS,CSおよびDSは、実質上同一のエレメント構成および形状である。
【0035】
y軸廻りの角速度を検出するための1対のセンサエメント群BSおよびDSの一方BSに関して説明すると、基板1のx,y平面よりz方向に微小距離離れた振動板2Bには、y方向に延びる4本の分岐梁8が連続しており、それらの分岐梁8は、Y型の連結梁7のx方向に延びる分岐に連続している。連結梁7のY型の脚はリング状の梁16に連続している。この梁16が、それに連続した支持梁9を介してアンカー10で、基板1に対して空隙を置いて支持されている。すなわち、振動板2Bは、4本の分岐梁8,2本の連結梁7,リング状の梁16および支持梁9を介して、リング状の梁16の円中心にあるアンカー10で、基板1に固着されている。分岐梁8は、y方向に延びるので、x方向およびz方向には撓み易く、y方向には変位しにくい。これにより、振動板2Bは、xおよびz方向には振動可であるが、y方向には実質上振動不可である。
【0036】
振動板2Bには、x方向に突出しy方向に所定ピッチで分布する各複数個の可動櫛歯3A,3Bが、相対向する一対のy平行辺にある。一方の可動櫛歯3A(y方向に一列で分布する複数の櫛歯)の歯間に突出しy方向に前記ピッチで分布する複数個の固定櫛歯4Aが固定電極5Aより突出している。同様に、他方の可動櫛歯3Bの歯間に突出しy方向に前記ピッチで分布する複数個の固定櫛歯4Bが固定電極5Bより突出している。
【0037】
基板1の、振動板2Bに対向する面上に、振動板2Bとの間に静電容量を形成する電極18がある。振動板2Bおよび電極18の横断面(図1上のA−A線断面)を拡大して図2に示す。
【0038】
振動板2B,分岐梁8,連結梁7,リング状の梁16,支持梁9およびアンカー10は、p型又はn型にドーピングされた半導体薄膜(この例ではポリシリコン)よりなり、導電性を持つ。固定電極5Aは電極パッド11Aに、固定電極5Bは電極パッド11Cに、電極18は電極パッド11Bに接続されている。アンカー10は電極パッド11に、配線12で接続されている。
【0039】
電極パッド11(アンカー10,振動板2B)を共通電位(機器ア−ス:GND)に接続し、電極パッド11A(固定電極5A,4A)と11C(固定電極5B,4B)に180°位相がずれた矩形波や正弦波等を印加すると、振動板2Bがx方向に振動する。振動板2Bが振動しているときにy軸廻りの角速度が振動板2Bに加わると、コリオリ力により振動板2Bはz方向にも振動する。すなわち振動板2Bのx方向の往復振動が、x,z面上で楕円を描く楕円振動となり、そのz方向振動成分により、振動板2B/電極18間の静電容量が振動する。
【0040】
センサエレメント群DSは、上述のセンサエレメント群BSを、アンカー10を中心に180度回転させたものに相当し、その振動板2Dは上述の振動板2Bと同期して駆動される。ただし、センサエレメント群DSは、アンカー10の中心を通るy軸線に関してセンサエレメント群BSと対称に位置するので、振動板2Dのx方向の振動は、振動板2Bのx方向の振動と逆相となり、これにより、y軸廻りの角速度が加わったとき、センサエレメント群BSの振動板2Bのz方向の振動(振動板2B/電極18間の静電容量の振動)に対して、センサエレメント群DSの振動板2Dのz方向の振動(振動板2D/その直下の電極間の静電容量の振動)は逆相となる。それら静電容量の振動を表わす電気信号を差動増幅し、角速度信号に変換することにより、S/Nが高いy軸廻りの角速度検出信号が得られる。
【0041】
センサエレメント群ASはセンサエレメント群BSを、センサエレメント群CSはセンサエレメント群DSを、アンカー10を中心にそれぞれ90度回転させたものに相当し、上述の1対BS,DSによるy軸廻りの角速度検出原理と同様な原理と信号処理により、S/Nが高いx軸廻りの角速度検出信号が得られる。リング状の梁16からアンカー10に向けて放射状に延びる12個の電極14は、アンカー10とは分離している。すなわち片持ちでリング状の梁16で支持されている。各電極14は振動板2A〜2Dと同電位(GND)である。各電極14を間に置いて、z軸廻りの回転変位検出用の1対の電極13A,13Bがあり、基板1に固定されている。これらの電極14,13Aおよび13Bの横断面(図1上のB−B線断面)を拡大して図3に示す。
【0042】
12個の電極13Aは配線15eで共通に、電極パッド11Eに接続され、12個の電極13Bは配線15で共通に、電極パッド11Fに接続されている。z軸廻りの角速度が加わったとき、振動板2A〜2Dに、z軸廻りの回転振動が発生し、支持梁9がz軸廻りの回転に対して撓み易いので、リング状の梁16がz軸廻りに回転振動し、この回転振動により、電極14/13A間の距離が振動して両電極間の静電容量が振動する。同様に電極14/13B間の距離が振動して両電極間の静電容量が振動するが、後者の振動は前者の振動と逆相となる。それら静電容量の振動を表わす電気信号を差動増幅し、角速度信号に変換することにより、S/Nが高いz軸廻りの角速度検出信号が得られる。
【0043】
なお、振動板2A〜2D,分岐梁8,連結梁7,リング状の梁16,支持梁9,電極14,アンカー10,固定電極13A,13Bおよび固定電極5A,5Bは、p型又はn型にドーピングされた半導体薄膜よりなり導電性を持つ。
【0044】
また、図示を省略したが、振動板2Bのx方向に平行な1対の辺の1つには、可動櫛歯電極が連続しており、該可動櫛歯電極の歯間ギャップに突出する第1組および第2組の固定櫛歯電極がある。第1組と第2組の固定櫛歯電極の各歯は、可動櫛歯電極の1つの歯を間に置いて対向し、振動板2Bがx方向で往(左から右)移動すると、可動櫛歯電極の歯と第1組の固定櫛歯電極の歯との距離が短くなり、可動櫛歯電極の歯と第2組の固定櫛歯電極の歯との距離が長くなる。復(右から左)移動のときにはその逆になる。可動櫛歯電極と両組の固定櫛歯電極との間の静電容量を表わす電気信号が差動増幅されて、振動板2Bの、x方向の振動のフィ−ドバック信号として利用される。振動板2Bのもう1つのx平行辺にも同様な可動櫛歯電極があり、その近辺に同様な第1組および第2組の固定櫛歯電極がある。
【0045】
同様な可動櫛歯電極が振動板2Dのx平行辺にもあり、そのx方向の変位を検出するための同様な固定櫛歯電極が、振動板2Dのx平行辺の近くにある。また、同様な可動櫛歯電極が振動板2Aおよび2Cのy平行辺にもあり、それらの近辺に同様な固定櫛歯電極がある。各振動板の可動櫛歯電極(総計8組)は振動板の電位(GND)と同一であり、第1組の固定櫛歯電極(総計8組)は共通接続され、また第2組の固定櫛歯電極(総計8組)も共通接続されている。また、フィ−ドバック信号の検出には、電極3Aと4A,電極3Bと4Bからなる2組の櫛歯対の一方を検出用電極対としてもよい。
【0046】
図4に、図1に示す角速度センサに接続した角速度測定回路の構成を示す。図4上に、駆動振動検出用電極20として示したブロックが、上述の可動櫛歯電極(総計8組),第1組の固定櫛歯電極(総計8組)および第2組の固定櫛歯電極(総計8組)の全体を表わす。検出回路40は、上述の第1組の固定櫛歯電極(総計8組)の共通接続の、共通電位(GND)に対する静電容量を表わす第1電気信号と、第2組の固定櫛歯電極(総計8組)の、共通電位(GND)に対する静電容量を表わす第2電気信号と、を発生して、第1および第2電気信号を差動増幅して励振フィ−ドバック信号とし、これを駆動回路30に与える。駆動回路30は、励振フィ−ドバック信号に同期して0VとVDの2値をもつ第1矩形波を電極パッド11A(4個)に出力すると共に、第1矩形波と逆相(180度の位相ずれ)の第2矩形波を電極パッド11C(4個)に出力する。周波数(励振周波数)は、アンカー10で支持された振動板組体(2A〜2D,8,7,16,9)の、アンカー10を中心とする半径方向の拡出/収縮振動の共振周波数である。また、VDは励振フィ−ドバック信号を基に、振幅が一定になるように調整する。
【0047】
上述の第1および第2矩形波の印加により、振動板組体がアンカー10を中心とする半径方向に拡出/収縮振動する。なお、振動板2A〜2Dを個別に見ると、振動板2Aと2Cはy方向に、相対的に逆相で振動する。振動板2Bと2Dはx方向に、相対的に逆相で振動する。
【0048】
検出回路50は、振動板2Bと電極18とのz方向距離に対応する両者間の静電容量を表わす第1電気信号と、振動板2Dとその直下の電極との間の静電容量を表わす第2電気信号とを差動増幅してこれを第1変位信号として、信号処理回路60に与える。y軸廻りの角速度が振動板組体に加わると、第1変位信号が励振周波数で振動し、この第1変位信号の、励振信号(第1矩形波)に対する位相差は、y軸廻りの角速度の方向に対応し、第1変位信号のレベルは角速度の値(スカラ量)に対応する。信号処理回路60は、第1変位信号のレベルを角速度レベル信号に変換し、前記位相差を角速度方向信号に変換して、該角速度レベル信号と角速度方向信号を、y軸廻りの角速度のものとして出力する。
【0049】
また検出回路50は、振動板2Aとその直下の電極とのz方向距離に対応する両者間の静電容量を表わす第3電気信号と、振動板2Cとその直下の電極との間の静電容量を表わす第4電気信号とを差動増幅してこれを第2変位信号として、信号処理回路60に与える。x軸廻りの角速度が振動板組体に加わると、第2変位信号が励振周波数で振動し、この第2変位信号の、励振信号(第1矩形波)に対する位相差は、x軸廻りの角速度の方向に対応し、第2変位信号のレベルは角速度の値(スカラ量)に対応する。信号処理回路60は、第2変位信号のレベルを角速度レベル信号に変換し、前記位相差を角速度方向信号に変換して、該角速度レベル信号と角速度方向信号を、x軸廻りの角速度のものとして出力する。
【0050】
更に検出回路50は、電極14と固定電極13Aとの距離に対応する両者間の静電容量を表わす第5電気信号と、電極14と固定電極13Bとの間の静電容量を表わす第6電気信号とを差動増幅してこれを第3変位信号として、信号処理回路60に与える。z軸廻りの角速度が振動板組体に加わると、第3変位信号が励振周波数で振動し、この第3変位信号の、励振信号(第1矩形波)に対する位相差は、z軸廻りの角速度の方向に対応し、第3変位信号のレベルは角速度の値(スカラ量)に対応する。信号処理回路60は、第3変位信号のレベルを角速度レベル信号に変換し、前記位相差を角速度方向信号に変換して、該角速度レベル信号と角速度方向信号を、z軸廻りの角速度のものとして出力する。
【0051】
図5に、励振電圧と振動板の振動との関係と、加速度が加わったときの振動板の変位を示す。なお図5の横軸は時間軸であり、縦軸はレベルを表わす。図5上の振動板の変位と回転を表わす実線と破線は、角速度が正方向のときと逆方向のときを示す。
【0052】
再度図1を参照する。基板1上のセンサエレメント群AS,DSおよびCSは、それぞれセンサエレメント群BSを、反時計方向に90°,180°および270°回転させたものと実質上同一である。
【0053】
したがって、振動板2A〜2Dの質量は実質上同一、かつ、各振動板に連続した分岐梁8のバネ定数も実質上同一であって、各振動板の質量とそれに連続した分岐梁のバネ定数との比が実質上同一であるので、励振駆動によって不要な振動モ−ドが発生しにくく、また、角速度が加わったときに不要な振動モ−ドが発生しにくく、角速度検出信号のS/Nが高く、高精度の角速度検出が可能である。振動板2A〜2Dの質量が実質上同一であるので、上述の不要な振動モ−ドが発生しにくくS/Nが高い。各振動板とそれに連続した分岐梁を合せた長さ(形状)が実質上同一であるので、上述の不要な振動モ−ドが発生しにくくS/Nが高い。振動板,それに連続する分岐梁8,それに連続した連結梁7よりなる、多角形の各辺の長さが実質上同一であるので、振動板間の振動バランスがとりやすく、上述の不要な振動モ−ドが発生しにくくS/Nが高い。振動板,それに連続する分岐梁8,それに連続した連結梁7よりなる多角形が正多角形(図1では正方形)であるので、振動板間の振動バランスがとりやすく、上述の不要な振動モ−ドが発生しにくくS/Nが高い。連結梁7の形状が実質上同一であるので、振動板間の振動バランスがとりやすく、上述の不要な振動モ−ドが発生しにくくS/Nが高い。多角形の回転中心が多角形の重心と合致しているので、z軸廻りの角速度が加わっても、重心は移動せず、z軸廻りの角速度に対する感度が高く、振動板間の回転モ−メントがバランスし、上述の不要な振動モ−ドが発生しにくくS/Nが高い。
【0054】
−第2実施例−
図6に、3組のセンサエレメント群AS,BSおよびCSを、アンカー10を中心に120°ピッチで配列した三角形配列の一実施例を示す。センサエレメント群ASおよびCSは、それぞれセンサエレメント群BSを、時計方向廻りで120°および240°回転させたものに相当する。なお、図6では検出用電極13A,13B,14,18,配線6B,12,15e,15f,17及び電極パッド11A〜11Fの図示は省略した。振動板2A〜2Cは、図1の実施例と同様に、アンカー10に近づいたり離れたりするように同期して励振される。y軸廻りの角速度を表わす角速度信号は、振動板2A,2Cに対向する基板上の検出電極より得られる信号を差動増幅し、信号処理することにより得られる。x軸廻りの角速度を表わす角速度信号は、可動部2A,2Cに対向する基板上の検出電極より得られる信号の和と、可動部2Bに対向する基板上の検出電極より得られる信号に適当な係数をかけたものを差動増幅し、信号処理することにより得られる。z軸廻りの角速度を表わす角速度信号は、図1の実施例と同様にして得られる。
【0055】
振動板を5個以上とする場合も、5角形以上の多角形の各辺に振動板を配置することにより、同様に3軸の各軸廻りの角速度検出が可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の第1実施例の平面図である。
【図2】 図1のA−A線拡大断面図である。
【図3】 図1のB−B線拡大断面図である。
【図4】 図1に示す角速度センサを励振し角速度信号を生成する電気回路の構成を示すブロック図である。
【図5】 図4に示す駆動回路30が角速度センサに印加する励振電圧と角速度センサの振動板の変位を示すタイムチャ−トである。
【図6】 本発明の第2実施例の概要を示す平面図である。
【図7】 従来の角速度センサの1つを示す平面図である。
【符号の説明】
1:基板 2A〜2D:振動板
3A,3B:可動櫛歯電極 4a,4B:固定櫛歯電極
5A,5B:固定電極 6B:配線
7:連結梁 8:分岐梁
9:支持梁 10:アンカー
11A〜11F:電極パッド 12:配線
13A,13B:固定電極 14:電極
15e,15f:配線 16:リング状の梁
17:配線 18:電極
Claims (4)
- x,y平面を有する基板;
該基板の該平面に平行な面上の多角形の各辺位置に分布する、複数の振動体、および、それらを該平面と平行にかつ各辺と直交する方向に振動駆動するための手段;
前記振動体のそれぞれに連続し前記多角形の辺の延びる方向に延びた複数の分岐梁、および、前記多角形の頂点部に位置し前記分岐梁が連続する複数の連結梁;
これらの連結梁を、前記多角形内の点を中心に回転変位可能に支持する手段;
振動方向が異なる少くとも2つの振動体の、前記基板に対するz方向の振動を検出するための手段;
前記振動体,分岐梁および連結梁でなる組体の、前記基板に対する、z軸廻りの回転を検出するための手段;
を備える角速度センサ。 - 各振動体の質量とそれに連続する分岐梁のバネ定数との比,前記複数の振動体の質量,前記複数の振動体とそれぞれに連続した分岐梁の形状および材質,前記複数の連結梁の形状、ならびに、前記多角形の重心に対する前記振動体,分岐梁および連結梁でなる組体の回転中心、のいずれか、が実質上同一である、請求項1記載の角速度センサ。
- 連結梁を回転変位可能に支持する手段は、前記複数の連結梁が連続した1個のリング状の梁,該リング状の梁に連続し前記リングの径方向に延びる梁、および、該径方向の梁の端部が連続した、前記基板に固定されたアンカー、を含む、請求項1又は請求項2記載の角速度センサ。
- 前記連結梁は前記リング状の梁からその外方に放射状に延び、前記径方向に延びる梁は前記リング状の梁からその内方に放射状に延び、前記アンカーは、前記リング状の梁の円中心にある、請求項3記載の角速度センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23086097A JP3753209B2 (ja) | 1997-08-27 | 1997-08-27 | 角速度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23086097A JP3753209B2 (ja) | 1997-08-27 | 1997-08-27 | 角速度センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1164002A JPH1164002A (ja) | 1999-03-05 |
JP3753209B2 true JP3753209B2 (ja) | 2006-03-08 |
Family
ID=16914449
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP23086097A Expired - Fee Related JP3753209B2 (ja) | 1997-08-27 | 1997-08-27 | 角速度センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3753209B2 (ja) |
Families Citing this family (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE69938658D1 (de) * | 1999-09-10 | 2008-06-19 | St Microelectronics Srl | Gegen mechanische Spannungen unempfindliche mikroelektromechanische Struktur |
US7617728B2 (en) * | 2006-05-17 | 2009-11-17 | Donato Cardarelli | Tuning fork gyroscope |
JP2007071677A (ja) | 2005-09-07 | 2007-03-22 | Hitachi Ltd | コンバインドセンサとその製造方法 |
FI122397B (fi) * | 2008-04-16 | 2011-12-30 | Vti Technologies Oy | Värähtelevä mikromekaaninen kulmanopeusanturi |
DE102008002748A1 (de) * | 2008-06-27 | 2009-12-31 | Sensordynamics Ag | Mikro-Gyroskop |
ATE496279T1 (de) * | 2008-11-11 | 2011-02-15 | Fraunhofer Ges Forschung | Mikromechanischer coriolis-drehratensensor |
DE102009001248B4 (de) | 2009-02-27 | 2020-12-17 | Hanking Electronics, Ltd. | MEMS-Gyroskop zur Ermittlung von Rotationsbewegungen um eine x-, y- oder z-Achse |
DE102009001244A1 (de) * | 2009-02-27 | 2010-09-02 | Sensordynamics Ag | Mikro-Gyroskop zur Ermittlung von Rotationsbewegungen um eine x-, y- oder z-Achse |
EP2392897B1 (en) * | 2010-01-12 | 2014-06-11 | Sony Corporation | Angular velocity sensor, electronic device, and method for detecting angular velocity |
US9021880B2 (en) * | 2010-04-30 | 2015-05-05 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Micromachined piezoelectric three-axis gyroscope and stacked lateral overlap transducer (slot) based three-axis accelerometer |
US9156673B2 (en) | 2010-09-18 | 2015-10-13 | Fairchild Semiconductor Corporation | Packaging to reduce stress on microelectromechanical systems |
KR101352827B1 (ko) | 2010-09-18 | 2014-01-17 | 페어차일드 세미컨덕터 코포레이션 | 단일 프루프 매스를 가진 미세기계화 3축 가속도계 |
KR101332701B1 (ko) | 2010-09-20 | 2013-11-25 | 페어차일드 세미컨덕터 코포레이션 | 기준 커패시터를 포함하는 미소 전자기계 압력 센서 |
KR101306877B1 (ko) * | 2011-01-26 | 2013-09-10 | 주식회사 유비트로닉스 | 내부감지전극을 갖는 튜닝포크형 자이로스코프 |
EP2647955B8 (en) | 2012-04-05 | 2018-12-19 | Fairchild Semiconductor Corporation | MEMS device quadrature phase shift cancellation |
EP2647952B1 (en) | 2012-04-05 | 2017-11-15 | Fairchild Semiconductor Corporation | Mems device automatic-gain control loop for mechanical amplitude drive |
US9625272B2 (en) | 2012-04-12 | 2017-04-18 | Fairchild Semiconductor Corporation | MEMS quadrature cancellation and signal demodulation |
DE102013014881B4 (de) | 2012-09-12 | 2023-05-04 | Fairchild Semiconductor Corporation | Verbesserte Silizium-Durchkontaktierung mit einer Füllung aus mehreren Materialien |
WO2015146566A1 (ja) | 2014-03-25 | 2015-10-01 | 株式会社村田製作所 | 振動子駆動回路 |
-
1997
- 1997-08-27 JP JP23086097A patent/JP3753209B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH1164002A (ja) | 1999-03-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3753209B2 (ja) | 角速度センサ | |
JP4075022B2 (ja) | 角速度センサ | |
JP3256346B2 (ja) | 圧電素子を用いた力・加速度・磁気のセンサ | |
US5691471A (en) | Acceleration and angular velocity detector | |
JP5123455B2 (ja) | 微細組立式音叉ジャイロスコープおよび面外回転を検知するための関連する3軸慣性測定システム | |
KR101166866B1 (ko) | 수평으로 배향된 구동 전극을 구비한 mems자이로스코프 | |
JP3882973B2 (ja) | 角速度センサ | |
JP3151927B2 (ja) | 加速度センサ | |
JPH0894661A (ja) | 圧電素子を用いた加速度・角速度センサ | |
JP2006153798A (ja) | 回転振動型角速度センサ | |
JP3882972B2 (ja) | 角速度センサ | |
JP2000046560A (ja) | 角速度センサ | |
EP2037217B1 (en) | Inertia force sensor | |
JPH11230759A (ja) | 運動センサ | |
JPH1144541A (ja) | 角速度センサ | |
JP2000074673A (ja) | 複合運動センサ | |
JP2000009470A (ja) | 角速度センサ | |
JP2001194155A (ja) | 運動センサ | |
JP3218702B2 (ja) | 振動ジャイロ | |
RU2453812C1 (ru) | Интегральный чувствительный элемент вибрационного гироскопа | |
JP3931405B2 (ja) | 角速度センサ | |
JP3336730B2 (ja) | 角速度センサ | |
JP2002267451A (ja) | 角速度センサ | |
JPH10267658A (ja) | 振動型角速度センサ | |
JP2001241952A (ja) | 角速度センサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040712 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20051121 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20051124 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20051124 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20051207 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081222 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091222 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101222 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111222 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121222 Year of fee payment: 7 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |