CN103376102B - 消除mems设备信号的正交误差的方法、装置和系统 - Google Patents

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Abstract

在某些示例中，一种正交消除装置可包括：驱动电荷放大器，其被配置成耦合到MEMS设备的检测质量块，并且提供振荡运动信息；第一传感电荷放大器，其被配置成耦合到所述检测质量块，并且提供所述MEMS设备的第一移动的第一传感信息；第一可编程放大器，其被配置成接收所述振荡运动信息，并且提供经放大的振荡运动信息；第一加法器，其被配置成使用所述第一传感信息和所述经放大的振荡运动信息来消除所述第一传感信息的正交误差，以提供经正交校正的第一传感信息；移相器，其被配置成接收所述振荡运动信息，并且提供载波信息；以及第一乘法器，其被配置成使用所述经正交校正的第一传感信息和所述载波信息提供经解调的第一传感信息。

Description

消除MEMS设备信号的正交误差的方法、装置和系统
技术领域
本申请讨论了微机电系统(MEMS，micro-electromechanicalsystem)，更具体地，讨论了用于MEMS设备的正交消除(quadraturecancellation)。
背景技术
微机电系统(MEMS)包括执行电气功能和机械功能的小型机械设备，这些小型机械设备是使用与用于制造集成电路的技术相似的光刻技术进行制造的。一些MEMS设备是可以检测运动的传感器(例如，加速计)或检测角速率的传感器(例如，陀螺仪)。电容性MEMS陀螺仪响应于角速率的改变而经历电容的改变。
发明内容
除了其他方面以外，本申请还讨论了用于对来自微机电系统(MEMS)设备(例如，MEMS陀螺仪)的传感信息进行正交消除的装置和方法。在某些示例中，一种正交消除装置可包括：驱动电荷放大器，其被配置成耦合到MEMS设备的检测质量块(proofmass)，并且提供振荡运动信息；第一传感电荷放大器，其被配置成耦合到所述检测质量块，并且提供所述MEMS设备的第一移动的第一传感信息；第一可编程放大器，其被配置成接收所述振荡运动信息，并且提供经放大的振荡运动信息；第一加法器，其被配置成使用所述第一传感信息和所述经放大的振荡运动信息来消除所述第一传感信息的正交误差，以提供经正交校正的第一传感信息；移相器，其被配置成接收所述振荡运动信息，并且提供载波信息；以及第一乘法器，其被配置成使用所述经正交校正的第一传感信息和所述载波信息来提供经解调的第一传感信息。
一种用于消除微机电系统MEMS设备信号的正交误差的方法，所述方法包括：
使用耦合到MEMS设备的检测质量块的驱动电荷放大器来提供振荡运动信息；
使用耦合到所述检测质量块的第一传感电荷放大器来提供第一传感信息，所述第一传感信息对应于所述MEMS设备的第一移动；
使用第一可编程放大器和所述振荡运动信息来提供经放大的振荡运动信息；
使用第一加法器和所述经放大的振荡运动信息来消除所述第一传感信息的第一正交误差，以提供经正交校正的第一传感信息；
使用移相器来将所述振荡运动信息的相位进行偏移，以提供载波信息；以及
使用第一乘法器、所述经正交校正的第一传感信息和所述载波信息来对所述经正交校正的第一传感信息进行解调，以提供经解调的第一传感信息。
一种MEMS系统，包括：
MEMS陀螺仪，其具有检测质量块；
正交消除电路，其被配置成提供所述MEMS陀螺仪的移动信息，所述正交消除包括：
驱动电荷放大器，其被配置成耦合到所述检测质量块，并且提供振荡运动信息；
第一传感电荷放大器，其被配置成耦合到所述检测质量块，并且提供所述MEMS设备的第一移动的第一传感信息；
第一可编程放大器，其被配置成接收所述振荡运动信息，并且提供经放大的振荡运动信息；
第一加法器，其被配置成使用所述第一传感信息和所述经放大的振荡运动信息来消除所述第一传感信息的正交误差，以提供经正交校正的第一传感信息；
移相器，其被配置成接收所述振荡运动信息，并且提供载波信息；以及
第一乘法器，其被配置成使用所述经正交校正的第一传感信息和所述载波信息来提供经解调的第一传感信息。
这部分旨在提供对本专利申请的主题的概述。这部分并非旨在提供本发明的排他性的或详尽的说明。本文包括了详细的描述，以提供关于本专利申请的进一步信息。
附图说明
在附图中(这些附图不一定是按照比例绘制的)，相同的数字能够描述不同视图中的类似部件。具有不同字母后缀的相同数字能够表示类似部件的不同示例。附图通过示例而非限制的方式概括地示例了本申请中讨论的各个实施例。
图1概括地示出了一示例的MEMS设备100，该MEMS设备100被配置成提供无源的正交误差消除和载波解调；
图2概括地示出了一示例的MEMS设备200，该MEMS设备200被配置成提供差分且无源的正交误差消除和载波解调。
具体实施方式
除了其他方面以外，本发明人还已经认识到了用于消除在所检测到的微机电系统(MEMS)陀螺仪轴旋转信号(例如，x轴旋转信号，等等)中的正交误差、根据所检测到的MEMS振荡信号产生解调载波、并且对该MEMS陀螺仪轴旋转信号进行解调的装置和方法。本文中所公开的这些装置和方法可提高MEMS陀螺仪的性能，降低功率消耗，并且在某些示例中，相对于现有的MEMS设备，这些装置和方法可减小硅面积。
在一示例中，延迟匹配的电荷放大器(delay-matchedchargeamplifier)可被用于MEMS振荡信号和相应的轴旋转信号，并且经放大的MEMS振荡信号然后可被用来消除在相应的所述轴旋转信号中的正交误差。由于电荷放大器通常在工艺、电压或温度(PVT，process,voltage,ortemperature)的变化上相互跟踪，因此在该实例中，所述延迟匹配的电荷放大器可提高MEMS陀螺仪在操作条件范围内的性能。
在一示例中，用于正交误差消除的可编程无源放大器和加法器可被集成来提供无源的正交误差消除和载波解调。在某些示例中，为了更高的性能，可以对放大器的增益(α1)和加法器进行PVT补偿。此外，放大器、加法器或其他器件中的无源部件可以使得与PVT改变有关的信号失真和增益/相位变化最小化。在某些示例中，放大器和加法器可以被合并到简单的开关矩阵中，从而减小设备中的总体硅面积。
在一示例中，无源乘法器可以在设备中的后置放大器部分(例如，包括基带缓冲器)之前执行解调。在进入设备中的后置放大器部分之前消除正交误差可以降低动态范围要求，并且继而降低基带放大器或者一个或多个其他后置放大器部件的功率消耗。进一步地，在进入设备中的后置放大器部分之前消除正交误差可以降低设备中的移相器的精度要求。
进一步地，在某些示例中，本文中所公开的装置和方法可包括可选择的0/90度移相器，该可选择的0/90度移相器可以极大地简化设备的生产测试。在一示例中，可以在测试过程中将移相器设置为0度，并且可以调节放大器的增益(α1)直到基带放大器的均方根(RMS，rootmeansquared)值被最小化为止，从而在移相器被设到90度时确保准确的正交消除。
除了其他方面以外，本文中所公开的装置和方法还可以提高MEMS陀螺仪在零速率驱动下的性能，提高MEMS陀螺仪灵敏度的线性度(例如，使用无源的正交误差消除和速率信号解调)，降低对基带放大器的线性度和功率消耗的要求(例如，通过在解调/基带放大之前消除正交误差)，并且降低对0/90度移相器的相移精度要求，从而简化设备的生产。
图1概括地示出了一示例的MEMS设备100，该MEMS设备100被配置成提供无源的正交误差消除和载波解调。为了简化，仅针对所接收到的x轴旋转信号对操作进行描述。然而，针对一个或多个其他MEMS陀螺仪轴而言，可以使用相似的部件和方法。
在一示例中，MEMS设备100可包括第一电荷放大器(AMP1)，该第一电荷放大器(AMP1)被配置成将所接收到的MEMS振荡信号(正交误差信号)进行放大。第二电荷放大器(AMPX)可被配置成将所接收到的MEMSx轴旋转信号进行放大，该MEMSx轴旋转信号也可以包括潜在的正交误差信号。
在一示例中，可编程的增益路径(α1)和加法器可被用来消除x轴旋转信号中的正交误差。在一示例中，相似的部件和方法可被用来消除一个或多个其他轴中的正交误差。
在一示例中，0/90度移相器和比较器可被用来产生针对x轴旋转信号的解调信号，并且乘法器可被用来对该x轴旋转信号进行解调。
图2概括地示出了一示例的MEMS设备200，该MEMS设备200被配置成提供差分且无源的正交误差消除和载波解调。为了简化，仅针对所接收到的x轴旋转信号对操作进行描述。然而，针对一个或多个其他MEMS陀螺仪轴而言，可以使用相似的部件和方法。
在一示例中，电阻器(Rq、Rin、Rfb)可以通过基带放大器(AMP)来限定增益路径(α1)和增益。在某些示例中，求和/正交消除可以在去往基带放大器的输入节点(虚拟接地)处实现，并且乘法运算可以使用简单的开关来实现。
在其他示例中，一个或多个其他部件可被用来实施增益路径(α1)、求和/正交消除、或乘法运算，例如电容器电荷求和与转换，等等。
额外的说明和示例
在示例1中，一种正交消除装置可包括：驱动电荷放大器，其被配置成耦合到MEMS设备的检测质量块(proofmass)，并且提供振荡运动信息；第一传感电荷放大器，其被配置成耦合到所述检测质量块，并且提供所述MEMS设备的第一移动的第一传感信息；第一可编程放大器，其被配置成接收所述振荡运动信息，并且提供经放大的振荡运动信息；第一加法器，其被配置成使用所述第一传感信息和所述经放大的振荡运动信息来消除所述第一传感信息的正交误差，以提供经正交校正的第一传感信息；移相器，其被配置成接收所述振荡运动信息，并且提供载波信息；以及第一乘法器，其被配置成使用所述经正交校正的第一传感信息和所述载波信息来提供经解调的第一传感信息。
在示例2中，示例1的装置可选择地包括第一基带缓冲器，所述第一基带缓冲器被配置成接收所述经解调的第一传感信息，并且提供经缓冲的第一传感信息。
在示例3中，示例1-2中的任何一个或多个示例的第一开关矩阵可选择地包括所述第一加法器和所述第一乘法器。
在示例4中，示例1-3中的任何一个或多个示例的驱动电荷放大器和第一传感电荷放大器可选择地包括延迟匹配的放大器。
在示例5中，示例1-4中的任何一个或多个示例的移相器可选择地可编程为在第一状态下提供约90度的相移，并且在第二校准状态下提供约零度的相移。
在示例6中，示例1-5中的任何一个或多个示例的装置可选择地包括：第二传感电荷放大器，其被配置成耦合到所述检测质量块，并且提供所述MEMS设备的第二移动的第二传感信息；第二可编程放大器，其被配置成接收所述振荡运动信息，并且提供经放大的振荡运动信息；第二加法器，其被配置成使用所述第二传感信息和所述经放大的振荡运动信息来消除所述第二传感信息的正交误差，以提供经正交校正的第二传感信息；以及第二乘法器，其被配置成使用所述经正交校正的第二传感信息和所述载波信息来提供经解调的第二传感信息。
在示例7中，示例1-6中的任何一个或多个示例的装置可选择地包括第二基带缓冲器，所述第二基带缓冲器被配置成接收所述经解调的第二传感信息，并且提供经缓冲的第二传感信息。
在示例8中，示例1-7中的任何一个或多个示例的第二矩阵开关可选择地包括所述第二加法器和所述第二乘法器。
在示例9中，示例1-8中的任何一个或多个示例的驱动电荷放大器和第二传感电荷放大器可选择地包括延迟匹配的放大器。
在示例10中，一种用于消除MEMS设备信号的正交误差的方法可包括：使用耦合到MEMS设备的检测质量块的驱动电荷放大器来提供振荡运动信息；使用耦合到所述检测质量块的第一传感电荷放大器来提供第一传感信息，所述第一传感信息对应于所述MEMS设备的第一移动；使用第一可编程放大器和所述振荡运动信息来提供经放大的振荡运动信息；使用第一加法器和所述经放大的振荡运动信息来消除所述第一传感信息的第一正交误差，以提供经正交校正的第一传感信息；使用移相器来将所述振荡运动信息的相位进行偏移，以提供载波信息；以及使用第一乘法器、所述经正交校正的第一传感信息和所述载波信息来对所述经正交校正的第一传感信息进行解调，以提供经解调的第一传感信息。
在示例11中，示例1-10中的任何一个或多个示例的方法可选择地包括使用第一基带缓冲器来对所述经解调的第一传感信息进行缓冲，以提供经缓冲的第一传感信息。
在示例12中，示例1-11中的任何一个或多个示例的使用第一加法器来消除所述第一传感信息的第一正交误差和使用第一乘法器来对所述经正交校正的第一传感信息进行解调可选择地包括使用第一开关矩阵，所述第一开关矩阵包括有所述第一加法器和所述第一乘法器。
在示例13中，示例1-12中的任何一个或多个示例的使用耦合到MEMS设备的检测质量块的驱动电荷放大器来提供振荡运动信息和使用耦合到所述检测质量块的第一传感电荷放大器来提供第一传感信息可选择地包括使用驱动电荷放大器和第一传感电荷放大器，所述驱动电荷放大器与所述第一传感电荷放大器是彼此延迟匹配的。
在示例14中，示例1-13中的任何一个或多个示例的使用移相器来将所述振荡运动信息的相位进行偏移以提供载波信息可选择地包括：使用所述移相器的第一状态来将所述振荡运动信息的相位偏移90度以提供所述载波信息。
在示例15中，示例1-14中的任何一个或多个示例的方法可选择地包括使用所述移相器的第二状态来将所述振荡运动信息的相位偏移零度，以对所述第一可编程放大器的增益进行校准。
在示例16中，一种微机电系统(MEMS)可包括：MEMS陀螺仪，其具有检测质量块；以及正交消除电路，其被配置成提供所述MEMS陀螺仪的移动信息。所述正交消除可包括：驱动电荷放大器，其被配置成耦合到所述检测质量块，并且提供振荡运动信息；第一传感电荷放大器，其被配置成耦合到所述检测质量块，并且提供所述MEMS设备的第一移动的第一传感信息；第一可编程放大器，其被配置成接收所述振荡运动信息，并且提供经放大的振荡运动信息；第一加法器，其被配置成使用所述第一传感信息和所述经放大的振荡运动信息来消除所述第一传感信息的正交误差，以提供经正交校正的第一传感信息；移相器，其被配置成接收所述振荡运动信息，并且提供载波信息；以及第一乘法器，其被配置成使用所述经正交校正的第一传感信息和所述载波信息来提供经解调的第一传感信息。
在示例17中，示例1-16中的任何一个或多个示例的系统可选择地包括第一基带缓冲器，所述第一基带缓冲器被配置成接收所述经解调的第一传感信息，并且提供经缓冲的第一传感信息，其中，所述移动信息包括所述经缓冲的第一传感信息。
在示例18中，示例1-17中的任何一个或多个示例的正交消除电路可选择地包括第二传感电荷放大器，其被配置成耦合到所述检测质量块，并且提供所述MEMS设备的第二移动的第二传感信息；第二可编程放大器，其被配置成接收所述振荡运动信息，并且提供经放大的振荡运动信息；第二加法器，其被配置成使用所述第二传感信息和所述经放大的振荡运动信息来消除所述第二传感信息的正交误差，以提供经正交校正的第二传感信息；第二乘法器，其被配置成使用所述经正交校正的第二传感信息和所述载波信息来提供经解调的第二传感信息；以及第二基带缓冲器，其被配置成接收所述经解调的第二传感信息，并且提供经缓冲的第二传感信息，其中，所述移动信息包括所述经缓冲的第二传感信息，并且其中，所述第一移动和所述第二移动彼此不平行。
在示例19中，示例1-18中的任何一个或多个示例的第一开关矩阵可选择地包括所述第一加法器和所述第一乘法器。
在示例20中，示例1-19中的任何一个或多个示例的驱动电荷放大器和第一传感电荷放大器可选择地包括延迟匹配的放大器。
示例21可包括示例1至21中的任何一个或多个示例的任何部分或任何部分的组合，或者可以可选地与示例1至21中的任何一个或多个示例的任何部分或任何部分的组合相结合，以包括以下主题，该主题可包括：用于执行示例1-21的功能中的任何一个或多个功能的装置；或者包括机器可读介质，该机器可读介质包括有当被机器执行时，使得该机器执行示例1-21的功能中的任何一个或多个功能的指令。
上述详细说明书参照了附图，附图也是所述详细说明书的一部分。附图以举例说明的方式显示了可应用本发明的具体实施例。这些实施例在本发明中被称作“示例”。这些示例可包括除了所示或所描述的元件以外的元件。然而，本发明人还设想到了其中仅提供所示或所描述的那些元件的示例。此外，本发明人还设想到了针对本文所示的或所描述的具体示例(或其一个或多个方面)，或针对本文所示的或所描述的其他示例(或其一个或多个方面)，使用所示或所描述的那些元件的任意组合或排列的示例(或其一个或多个方面)。
本文所涉及的所有出版物、专利及专利文件全部作为本文的参考内容，尽管它们是分别加以参考的。如果本文与参考文件之间存在用途差异，则将参考文件的用途视作本文的用途的补充；若两者之间存在不可调和的差异，则以本文的用途为准。
在本文中，与专利文件中通常使用的一样，术语“一”或“某一”表示包括一个或多个，这与使用“至少一个”或“一个或多个”的其他例子没有关系。在本文中，除非另外指明，否则使用术语“或”指无排他性的或者，使得“A或B”包括：“A但不是B”、“B但不是A”以及“A和B”。在所附权利要求中，术语“包含”和“在其中”等同于各个术语“包括”和“其中”的通俗英语。同样，在所附权利要求中，术语“包含”和“包括”是开放性的，即，系统、设备、物品或步骤包括除了权利要求中这种术语之后所列出的那些部件以外的部件的，依然视为落在该条权利要求的范围之内。而且，在所附的权利要求中，术语“第一”、“第二”和“第三”等仅仅用作标签，并非对对象有数量要求。
本文所述的方法示例至少部分可以是机器或计算机执行的。一些示例可包括计算机可读介质或机器可读介质，计算机可读介质或机器可读介质被编码有可操作为将电子装置配置成执行如上述示例中所述方法的指令。这些方法的实现可包括代码，例如微代码，汇编语言代码，高级语言代码等。这种代码可包括用于执行各种方法的计算机可读指令。所述代码可构成计算机程序产品的一部分。此外，所述代码可例如在执行期间或其他时间被有形地存储在一个或多个易失或非易失性有形计算机可读介质上。这些有形计算机可读介质的示例包括但不限于硬盘、移动磁盘、移动光盘(例如，压缩光盘和数字视频光盘)、磁带、存储卡或棒、随机存取存储器(RAM)、只读存储器(ROM)等。
上述说明的作用在于解说而非限制。例如，上述示例(或示例的一个或多个方面)可相互结合使用。本领域普通技术人员可以在理解上面的描述的基础上使用其他实施例。提供来摘要，以允许读者快速确定本技术公开的性质。提交本摘要时要理解的是该摘要不用于解释或限制权利要求的范围或意义。同样，在上面的具体实施方式中，各种特征可以组合在一起以将本公开合理化。这不应理解成未要求的公开特征对任何权利要求来说是必不可少的。相反，创造性的的主题所在的特征可少于特定公开的实施例的所有特征。因此，所附的权利要求据此并入具体实施方式中，每个权利要求均作为一个单独的实施例，并且可设想到这些实施例可以在各种组合或排列中彼此结合。应参看所附的权利要求，以及这些权利要求所享有的等同物的所有范围，来确定本发明的范围。

Claims (20)

1.一种正交消除装置，包括：
驱动电荷放大器，其被配置成耦合到微机电系统MEMS设备的检测质量块，并且提供振荡运动信息；
第一传感电荷放大器，其被配置成耦合到所述检测质量块，并且提供所述MEMS设备的第一移动的第一传感信息；
第一可编程放大器，其被配置成接收所述振荡运动信息，并且提供经放大的振荡运动信息；
第一加法器，其被配置成使用所述第一传感信息和所述经放大的振荡运动信息来消除所述第一传感信息的正交误差，以提供经正交校正的第一传感信息；
移相器，其被配置成接收所述振荡运动信息，并且提供载波信息；以及
第一乘法器，其被配置成使用所述经正交校正的第一传感信息和所述载波信息来提供经解调的第一传感信息。
2.根据权利要求1所述的装置，包括第一基带缓冲器，所述第一基带缓冲器被配置成接收所述经解调的第一传感信息，并且提供经缓冲的第一传感信息。
3.根据权利要求1所述的装置，其中，所述第一加法器和所述第一乘法器包含在第一开关矩阵中。
4.根据权利要求1所述的装置，其中，所述驱动电荷放大器和所述第一传感电荷放大器包括延迟匹配的放大器。
5.根据权利要求1所述的装置，其中，所述移相器可编程为在第一状态下提供90度的相移，并且在第二校准状态下提供零度的相移。
6.根据权利要求1所述的装置，包括：
第二传感电荷放大器，其被配置成耦合到所述检测质量块，并且提供所述MEMS设备的第二移动的第二传感信息；
第二可编程放大器，其被配置成接收所述振荡运动信息，并且提供经放大的振荡运动信息；
第二加法器，其被配置成使用所述第二传感信息和所述经放大的振荡运动信息来消除所述第二传感信息的正交误差，以提供经正交校正的第二传感信息；以及
第二乘法器，其被配置成使用所述经正交校正的第二传感信息和所述载波信息来提供经解调的第二传感信息。
7.根据权利要求6所述的装置，包括第二基带缓冲器，所述第二基带缓冲器被配置成接收所述经解调的第二传感信息，并且提供经缓冲的第二传感信息。
8.根据权利要求6所述的装置，其中，所述第二加法器和所述第二乘法器包含在第二开关矩阵中。
9.根据权利要求6所述的装置，其中，所述驱动电荷放大器和所述第二传感电荷放大器包括延迟匹配的放大器。
10.一种用于消除微机电系统MEMS设备信号的正交误差的方法，所述方法包括：
使用耦合到MEMS设备的检测质量块的驱动电荷放大器来提供振荡运动信息；
使用耦合到所述检测质量块的第一传感电荷放大器来提供第一传感信息，所述第一传感信息对应于所述MEMS设备的第一移动；
使用第一可编程放大器和所述振荡运动信息来提供经放大的振荡运动信息；
使用第一加法器和所述经放大的振荡运动信息来消除所述第一传感信息的第一正交误差，以提供经正交校正的第一传感信息；
使用移相器来将所述振荡运动信息的相位进行偏移，以提供载波信息；以及
使用第一乘法器、所述经正交校正的第一传感信息和所述载波信息来对所述经正交校正的第一传感信息进行解调，以提供经解调的第一传感信息。
11.根据权利要求10所述的方法，包括使用第一基带缓冲器来对所述经解调的第一传感信息进行缓冲，以提供经缓冲的第一传感信息。
12.根据权利要求10所述的方法，其中，所述使用第一加法器来消除所述第一传感信息的第一正交误差和所述使用第一乘法器来对所述经正交校正的第一传感信息进行解调包括使用第一开关矩阵，所述第一开关矩阵包括有所述第一加法器和所述第一乘法器。
13.根据权利要求10所述的方法，其中，所述使用耦合到MEMS设备的检测质量块的驱动电荷放大器来提供振荡运动信息和所述使用耦合到所述检测质量块的第一传感电荷放大器来提供第一传感信息包括使用驱动电荷放大器和第一传感电荷放大器，所述驱动电荷放大器与所述第一传感电荷放大器是彼此延迟匹配的。
14.根据权利要求10所述的方法，其中，所述使用移相器来将所述振荡运动信息的相位进行偏移以提供载波信息包括：使用所述移相器的第一状态来将所述振荡运动信息的相位偏移90度以提供所述载波信息。
15.根据权利要求10所述的方法，包括使用所述移相器的第二状态来将所述振荡运动信息的相位偏移零度，以对所述第一可编程放大器的增益进行校准。
16.一种MEMS系统，包括：
MEMS陀螺仪，其具有检测质量块；
正交消除电路，其被配置成提供所述MEMS陀螺仪的移动信息，所述正交消除包括：
驱动电荷放大器，其被配置成耦合到所述检测质量块，并且提供振荡运动信息；
第一传感电荷放大器，其被配置成耦合到所述检测质量块，并且提供所述MEMS设备的第一移动的第一传感信息；
第一可编程放大器，其被配置成接收所述振荡运动信息，并且提供经放大的振荡运动信息；
第一加法器，其被配置成使用所述第一传感信息和所述经放大的振荡运动信息来消除所述第一传感信息的正交误差，以提供经正交校正的第一传感信息；
移相器，其被配置成接收所述振荡运动信息，并且提供载波信息；以及
第一乘法器，其被配置成使用所述经正交校正的第一传感信息和所述载波信息来提供经解调的第一传感信息。
17.根据权利要求16所述的系统，包括第一基带缓冲器，所述第一基带缓冲器被配置成接收所述经解调的第一传感信息，并且提供经缓冲的第一传感信息，其中，所述移动信息包括所述经缓冲的第一传感信息。
18.根据权利要求17所述的系统，其中，所述正交消除电路包括：
第二传感电荷放大器，其被配置成耦合到所述检测质量块，并且提供所述MEMS设备的第二移动的第二传感信息；
第二可编程放大器，其被配置成接收所述振荡运动信息，并且提供经放大的振荡运动信息；
第二加法器，其被配置成使用所述第二传感信息和所述经放大的振荡运动信息来消除所述第二传感信息的正交误差，以提供经正交校正的第二传感信息；
第二乘法器，其被配置成使用所述经正交校正的第二传感信息和所述载波信息来提供经解调的第二传感信息；以及
第二基带缓冲器，其被配置成接收所述经解调的第二传感信息，并且提供经缓冲的第二传感信息，其中，所述移动信息包括所述经缓冲的第二传感信息，并且其中，所述第一移动和所述第二移动彼此不平行。
19.根据权利要求16所述的系统，其中，所述第一加法器和所述第一乘法器包含在第一开关矩阵中。
20.根据权利要求16所述的系统，其中，所述驱动电荷放大器和所述第一传感电荷放大器包括延迟匹配的放大器。
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