CN102227387A - 将材料施加至衬底上的方法及系统 - Google Patents

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Abstract

本发明的实施例涉及一种印刷线路的方法。一方法可包括依据一预定的间隔参数来定位多个印刷单元。一方法可包括依据一预定的间隔参数而以多个印刷单元沉积材料于一衬底上来形成对应多个并行线路。一印刷单元可相对于一预定扫描方向呈一角度来定位，从而实现印刷线路的预定宽度。一衬底可在扫描之间旋转，而使沿对应多个方向的多条线路能沿一扫描方向印刷。

Description

将材料施加至衬底上的方法及系统
背景技术
介绍无接触沉积技术，诸如在制造太阳能电池、平板显示器、薄膜晶体管(TFT)或印刷电路时的喷墨印刷或气溶胶分布时，能够在一衬底上沉积传导线路等。需要的传导线路的导电性可能必须与各种不同的其它要求或限制平衡。例如，虽较宽的传导线路可较佳地传导太阳能电池所造成的电能，但它们亦可能阻挡该进程中所需求的太阳或其它的光。然而，缩减传导线路的宽度可能造成不佳的减低的导电性。而且，一种例如太阳能电池的制造，可能需要在一对应数目的方向和/或一对应数目的宽度来沉积许多的传导线路。此外，传导线路典型必须被沉积在一衬底上的一特定位置，并依据一特定的分布可能在传导线路之间有一预定的距离，或另一种适当关系。
目前适用于量产太阳能电池的系统和方法利用输送带处理在一沿单一轴线典型称为“扫描轴线”或“扫描方向”的线性扫描中平移一衬底。此输送带处理典型会与多个喷嘴结合，它们被排列在一实质上正交于该扫描轴线或方向，通常称为“横向扫描”轴线的印刷头中。但是，在一现有技术的系统和方法中，当一材料的沉积要依据特定的图案或参数时，喷嘴可能必须被特制地排列、安装或控制。例如，在一衬底上印刷许多并行线路可能必须移除、消止、间插、或者保持某些喷嘴。要使系统和方法能够依据一预定的参数组，诸如宽度、方向和分布等，而在一衬底上达到一简单、快速且具成本效益的传导线路的沉积，乃是一种技术上的挑战。
附图说明
具体地指出有关本发明的主题并在本说明书的结论部分明确地提出请求。然而，本发明的组织和操作方法，以及其目的、特征和优点等，可配合附图参阅以下的详细说明而被最佳地理解，其中：
图1示出依据本发明实施例的示例性金属化图案；
图2示出一依据本发明实施例的印刷单元的一示例性排列及一相关印刷图案的示图；
图3示出一依据本发明实施例的印刷单元的一示例性排列及一相关印刷图案的示图；
图4示出一依据本发明实施例的印刷单元的一示例性排列及一相关印刷图案的示图；
图5示出一依据本发明实施例的印刷单元的一示例性排列及一定位单元的示图；
图6示出一依据本发明实施例的印刷单元的一示例性排列及一定位单元的示图；
图7示出一依据本发明实施例的印刷单元的一示例性排列及一平移单元的示图；
图8示出一依据本发明之实施例的印刷单元的一示例性排列，一平移单元及一衬底的示例性旋转的示图；及
图9示出一依据本发明实施例的示例性图案。
应该理解为了示图的简明和清楚起见，附图中示出的组件并不一定被依比例绘制。例如，为了清楚，某些组件的尺寸可能会相对于其它组件被夸大。而且，若考虑适宜，标号可能会在附图中被重复以用来标示对应或类似的组件。
具体实施方式
在以下详细说明中，许多特定的细节被陈述以便提供对本发明的彻底理解。但是，本领域的普通技术人员应该理解无需特定细节本发明也可被实施。在其它实例中，公知的方法、程序、构件、模块、单元及/或电路等未被详细描述，以避免模糊了本发明。
本发明的实施例可被应用于多种的印刷系统和方法。为了清楚和简明起见，无接触材料沉积系统的示例性实施例和参考说明将会被主要应用于使用一喷墨系统的微电子、平板显示器和太阳能电池等传导金属线路的制造。但是，本发明的范围并不被该示例性实施例所限制，而可被应用于其它的沉积系统，诸如一气溶胶喷射沉积系统或一分配器和其它的应用，诸如制图，压印，大量媒体，封装、电子和其它使用任何适当墨汁或分配材料。
本发明的实施例系指向印刷线路的方法，例如以无接触沉积来印刷导电线路的方法。例如，该方法可包括由多个喷墨喷嘴将材料比如银沉积在一衬底譬如一半导体晶片上来印刷导电性接触线路等。该线路可被设计成具有一所需尺寸，例如宽度，其会满足导电性要求。本发明的实施例亦指向依据预定参数譬如一衬底上之一或更多线路的方向、宽度或位置，及/或一有关间隔值或线路的其它关系之参数来沉积传导线路等。该等实施例在例如于光生伏打电池的正面沉积金属化图案时将会是有利的。
如此处所述的，依据现有技术，印刷头或其它的印刷单元沿一垂直或正交于一扫描方向或轴线的方向或直线来设置。依据某些实施例，多个印刷头或其它印刷单元可被沿一扫描轴线或方向来设置。如此设置的印刷头还可被依据一所需和/或预定的间隔参数或数值来安装、相隔或定置。例如，三个印刷头可被沿一扫描方向来安装，且近一步可被分开或间隔而使由该三个印刷头所印成的三条对应线路互相隔开或间隔一预定距离。这种安排可与输送带处理结合，如此处所述且在现有技术中已知的。例如，许多的平行线路可被以一对应数目的沿一扫描轴线排列的印刷头，及以一输送带沿该扫描轴线平移该衬底而来印刷或沉积在一衬底上的许多个位置。如此处所述的，本发明的实施例可以达平并行线路以各种不同的间隔值、参数或距离及依据其它参数而印刷。依据本发明的实施例，除了如此处所述的排列来制造平行线路之外，印刷头也可相对于该扫描轴呈一角度来被安装或设置，或它们可被斜倾、旋转或设置成使一印刷线路的宽度依据一预定的参数。例如，在一单次扫描中，一较窄的第二线路可被以一2厘米(cm)的距离平行于一较宽的第一线路来印成，及又一较宽的第三线路可被以一离该第二线路1.5cm的距离而平行于该第一和第二线路来印成。如此处所述的，印刷头或其它相关的印刷单元可被排列成能容许任何适当的图案。
虽然本发明的实施例可应用于多种印刷系统、方法和目的，但为了清楚简明起见，太阳能电池的正面金属化将会被主要地描述于此。然而，应请了解本发明的实施例并不限制于此处所述的示例，因此可被应用于任何适当的系统、方法或目的。
太阳能电池的正面金属化典型包含等间隔的细导电线路，通常称为“手指”或“指线”等。指线路用于将光子产生的电流传导至电端子，而可使一太阳能电池能提供电力。线路之间的间隔为一需要减少由该光生伏打组件的材料的电阻所生的损耗的要求，及要最小化阴影损耗的要求之间的折衷妥协。各指线之间的典型间隔为2mm，而该线宽可视制造技术而定，且可小于100μm。针对包含大面积的光生伏打组件，或当数个太阳能电池被互接在一起来形成一太阳能模块时，指线应具有充分的导电性以便有效地将该光子产生的电流传导至电端子。为克服此问题的通常方法是使用若干例如二条或三条正交于该指线的较宽线路，称为“汇流条”或“条带”者，以由等指线收集该光子产生的电流，及连接至其它太阳能电池或端子。汇流条的宽度典型为1.5至3毫米(mm)。
现请参阅图1，其示出依据本发明实施例的示例性金属化图案。如图1所示，许多平行的细指线103可被以一特定间隔如104所示来沉积。另一组平行线路101则可较宽，例如所述的汇流线，可依据一第二间隔参数如102所示来印成。因此且如图1所示，本发明的实施例可构成能依据至少一对应多个间隔参数和对应多个宽度参数来沉积多个平行线路。
在图1中所示的图案可为一典型的图案的示例，其可使用例如量产的太阳能电池。为了清楚，该图案将会被进一步引述于此，然而，应请理解此示例图案被引用于此作为一示例，且各种不同的其它图案、宽度、间隔或其它参数等也可配合本发明的实施例来使用。如前此处所述的，诸如一指线路103和汇流线或汇流条101的图案可由一个或更多个喷嘴分布金属化材料来敷设，喷嘴可被安装在一印刷单元中，而该衬底会在底下沿一扫描方向来被扫描。因此，一沿一扫描轴定向的喷嘴阵列可适用于形成如图1所示图案的光生伏打太阳能电池的传导线路。
依据本发明的实施例且如此处所述，多条线路例如金属化线路等可由一对应多个印刷单元来印成或沉积。依据本发明的实施例，各金属化线路可由单一沿该扫描轴定向的喷嘴数组来沉积。该喷嘴数组可被套装或并设于单一印刷单元上，例如一如现有技术中的印刷头。一印刷单元可包含任何适当数目的喷嘴，例如数百个喷嘴。一依据本发明实施例所敷设的图案，如前所述可只需要一较少量的金属化材料，且能例如被以一具有大量减少喷墨阵列数目的喷墨印刷机来敷设。在某些实施例中，一线路可被以一排列成一实质上沿一衬底的扫描轴来定向的线性阵列的沉积阵列数组来印成。
现请参阅图2，其示出依据本发明实施例的印刷单元示例排列及一相关的印刷图案的示例。如图2中所示，一印刷系统200可包含印刷单元201、202、203、204和205。其各含有分布喷嘴，诸如喷嘴210、211、212和213等套装在印刷单元201上，及喷嘴215、216和217等安装在印刷单元205上。如所示，印刷单元可被沿着扫描方向(如坐标系统270所示)排列，而使单一印刷单元的一部分的喷嘴能在一衬底260上印出一对应的线路。
如箭头220所示，印刷单元可依据一预定的间隔参数来移位、平移或者定位或复位等。例如，为能制成5条相隔一特定距离的平行线路，印刷单元201～205可被依据该预定的间隔参数来定位，如图2所示。例如，线路230可被印刷单元201印成；线路231可被印刷单元202印成依此类推。又由此处所述，其它的印刷排列方式亦同样可用而不超出本发明的范围。如图2所示，在某些实施例中，线路诸如指线及/或汇流线等可被以一固定间隔及/或宽度来沉积或印成。但是，本发明的实施例并不限于该方面。
依据现有技术，一印刷头典型被制成具有一预定的喷嘴间隔，以便能例如由沿一横向扫描轴定位该印刷头而完成平行线路的印刷。但是，当需要一不同的参数，例如一不同的平行线路的间隔时，该印刷头可能不能再被使用，且因此，可能会以另一印刷头更换。如前所述，依据本发明的实施例，不必更换印刷头或单元，它们可仅被简单地复位而容许适配许多的图案。
现请参阅图3，其示出一依据本发明实施例的印刷单元一示例性排列及一相关印刷图案的图例。如图3所示，印刷单元或印刷头可被移动、移位或者定位而形成任何印刷线路的间隔。在某些情况下，一些印刷头或单元可被禁用，以便例如达到较大的印刷线路的间隔或距离。如图3中所示，印刷单元201、202、203、204、205可被重排列，而达成一不同于图2所示的图案。例如，印刷单元202可被移除，印刷单元203可被朝左移向印刷单元204，且印刷单元204可被朝右移向印刷单元203。因此，形成于衬底360上的各线路311、312、313、314之间的间隔或距离乃可不同于图2中所示的线路230～234。
如此处所述，一印刷线路之间的距离可由适当地定位印刷单元或印刷头等来决定和/或达成，例如图2和/或图3所示。在某些实施例中，一印刷线路的所需宽度可由相对于一扫描方向呈一角度斜倾、斜向地定位、旋转或定位一印刷单元而达成。
现请参阅图4，其示出依据本发明之实施例的印刷单元示例性排列及一相关印刷图案的图例。如图4中所示，印刷单元410和411可相对于一扫描方向如箭头440所示以一角度来旋转、斜倾、转动或者定位，例如角度θ450所示。因此且如所示，可形成印刷线路412和413的一对应宽度。依据本发明的实施例，如图4所示地将印刷单元定位于一角度可依据许多的考虑因素、限制及/或参数。例如，一印刷头的斜倾或角度系可依据该印刷线路的一所需宽度。另一考虑则可为所沉积材料的重叠程度。例如，当印刷头411与该扫描方向之间的θ角度是90°时，则可能造成一完全重叠。即，示于印刷头411上的喷嘴420和430可完全地重叠。因此，喷嘴430能将材料沉积在实质上由喷嘴420所沉积的材料相同的位置上。然而如所示，将该角度θ减少至小于90°的任何值可造成一材料沉积的重叠，即，只有一些被一第一喷嘴所沉积的材料能被沉积在配装于同一印刷头或单元上的另一喷嘴所沉积的材料顶上。因此，本发明的实施例可由调整、构设、或控制一印刷单元的定向而控制一重叠标度。
例如，当前述的指线典型为窄线时，汇流条则典型较宽。因此，许多的印刷单元可以一角度定位如此处所述，而沉积一对应数目的汇流线，或许多的印刷单元可被以一角度定位如此处所述，而沉积一单一的汇流条或其它可能的较宽线路。一线路的一特定宽度可由一印刷单元的一特定斜倾来达成。例如，若喷嘴420和430之间的距离为D，为了使印刷单元411能沉积一宽度W的线路，则一斜倾角度θ可被选择为W＝D(cos(θ))。当计算一印刷头相对于一扫描方向的角度(例如θ)时，任何适当的参数皆可被纳入考虑。例如，该印刷单元的长度，配装在印刷单元上的喷嘴的数目，一印刷单元上的喷嘴之间的间隔或距离，沉积的重叠标度，及一印刷线路的所需宽度等，皆可在如图4所示及如前所述的斜倾一印刷单元时被考虑。该等喷嘴的数目，及其相对间隔，一线路的所需宽度，和所需的重叠标度等皆可由适当的计算而达成。如一示例中，针对直径50μm的小点尺寸及50％的重叠，则可能需要40个喷墨组件用以涵盖1mm的横向扫描区段。此等计算可被执行而决定一旋转或斜倾的角度(例如图4中的θ)，可能也会将各种不同的如前所述的相关参数纳入考虑。
沿一扫描轴平行于一扫描轴或方向如前所述地来定位印刷单元或印刷头在许多方法中是有利的。例如，在阵列中的喷嘴平行于指线路的定向会具有可由属于相同阵列或印刷单元的多个喷嘴来沉积材料的优点。因此，一在该现有技术中的问题，即当沉积是由属于不同的印刷头来进行时，因机械性失准所造成的登记失误可被克服或避免。对应地，该方法会提供一种该印刷机能避免不同的印刷头间须精确调准的充分简化的校准程序的优点。例如，将印刷头如图2、3和4所示地固定于一位置，可保证线路的精准印刷，分别如图2、3、4中所示。
本发明的实施例，例如参照图2、3、4所述，可以以不同的方式来利用。例如，一材料沉积系统可达成图案的高精度印刷或沉积。
如现有技术中已知，输送带式的系统的精确度或分辨率相对于该扫描方向是不对称的。在该扫描方向中，其分辨率主要是由该扫描速度和分辨率或精确度，及其喷射频率来决定。而在横向扫描方向的分辨率主要是由投射于该横向扫描方向的每单位长度的喷嘴数目来决定。因此，在该扫描方向的分辨率、精准度或精确度会固有地比在该横向扫描方向者更高。本发明的实施例能够由沿该扫描方向沉积任何走向或方向的线路而得放松或减少某些限制，譬如针对该横向扫描方向的精确度或分辨率。依据本发明的实施例，一衬底可被旋转或定位成使得当以该扫描方向扫描该衬底时，沿任何方向或以任何走向的任何线路皆能印成。因此，在一依据本发明实施例的系统中，高分辨率可只在一轴向被要求，而在其它的例如正交轴向则能放松。通过使一衬底旋转，任何含有沿任何方向或在任何定向线路的图案，可达到高分辨率或精确的印刷。
依据本发明的实施例，一种以直接穿入材料沉积印刷机来为光生伏打太阳能电池敷设金属化线路的方法包含如下步骤：通过沿一平行于第一组线路的轴线扫描一衬底而形成一第一组的金属化线路(例如指线等)，由一排沿该扫描轴线路定向的喷嘴来沉积各线路，以例如90°来旋转该衬底，及然后由沿一平行于第二组线路的轴线扫描该衬底来形成一第二组的金属化线路(例如汇流线或汇流条)。应请了解任何数目的该等线路组皆可由该方法及/或如前所述地被印刷或沉积而不超出本发明的范围。
现请参阅第5图，其示出依本发明实施例的印刷单元的一示例性排列及一定位单元的图例。如图5所示，一系统500可包含一第一组的印刷单元510，其可被如图2所述地排列。系统500可包含一第二组的印刷单元560，其可被如图4所述地排列。系统500可包含一定位单元或总成，其含有一平移台520和一旋转单元530。旋转单元530可设有一传感器，譬如一光学编码器，能以一高精确度追踪其运动并提供反馈至一由该控制单元操作的封闭回路。旋转单元530能够以任何适当角度和高精确度及分辨率来旋转。例如，优于2微弧度(0.4弧秒)的分辨率及优于20微弧度(4弧秒)的可重复性。
如所示，线路550可印刷在衬底540上，衬底540可为一硅晶片或一太阳能电池。依据本发明的实施例，平移台520可沿该扫描轴线(或X轴线)如坐标系统570所示地平移衬底540。因此，每一线路550皆可被印刷单元510的一对应的印刷单元印出。可为如此处所述的指线路的线路550的沉积可包括沿着或依据如坐标系统570所示的扫描方向来定位印刷单元510。印刷单元510更可被依据该等指线550的所需间隔来相隔，例如印刷单元510可被设成互相分开2mm。一特别或特定的指线可被以一单独的印刷单元来印成。因此，印刷多条线路乃可由一对应多个印刷单元或印刷头来达成。在本发明的某些实施例中，当材料被印刷单元510沉积之后，旋转单元530可例如以90°来旋转衬底540。
现请参阅图6，其示出依据本发明实施例的印刷单元的一示例性排列及一定位单元的示图。如此处所述，在印成指线路550之后，衬底540可被旋转例如90°。依据本发明的实施例，在该旋转之后，衬底540可被印刷单元560平移。如图6所示，一组正交于线路550的线路580可被印刷单元560印成。如所示，其结果可为一包括指线和汇流线的图案皆全部在该扫描方向被印成。如所示，线路580可以比线路550更宽。因此，印刷每一线路580可能须要一个以上的喷嘴。如所示，印刷单元可被相对于所示的扫描方向呈一角度来装设、套装、安装、排列或定位。因此，多个喷嘴可被使用，以便能印成任一如前例如参照图4所述的线路580。虽于前所述的实施例包括沿一扫描方向平移一衬底及/或旋转一衬底，及其它的可能性和/或实施例也存在。例如，在某些实施例中，不同于或附加于平移和/或旋转。例如，一第一组的印刷单元可沿一第一方向平移来扫描一衬底以沉积一第一组线路，例如该等指线，且一第二组的印刷单元，可能被不同地定位，可被沿一第二方向平移来扫描一衬底以沉积一第二组线路，例如该等汇流线。
虽然所述之举例的系统和方法包含一旋转衬底的组件，但其它的可能性亦可被本发明的实施例达成。依据本发明的实施例，一印刷系统可包含一平移系统其能沿二正交或不同的轴线路来扫描一衬底。
现请参阅图7，其示出依据本发明实施例的印刷单元的一示例性排列及一平移单元的示图。如图7所示，一系统700可包含印刷单元阵列710和740，及一平移单元或系统其可包含平移台或单元760和770。如所示，衬底740可被由平移台760和770由一第一位置平移至一第二位置。平移台或单元760和770可被组合或操作性地连接，而使一衬底720能被以第一和第二方向平移。例如且如所示，平移单元760可沿坐标系统780所示的Y方向来平移衬底720，而平移单元770可沿坐标系统780所示的X方向来平移衬底720。如前所述，例如参照图5，一第一组线路730，例如指线，可被以印刷单元数组710印刷或沉积，而衬底720会在阵列710底下或附近被平移。衬底720可被平移单元760带到一位置，在该处其可被拾取或移转至平均单元770，平移单元770可在阵列740底下或附近平移该衬底720，在该处有一可能正交于第一组线路720的第二组线路750(例如汇流线)将可被沉积。应该理解任何数目的平移单元诸如单元760和770可被组合而以任何适当、可用或所需的方向平移一衬底，且因此，在任何方向的线路皆可沿一扫描方向来印成。
虽如前所述示例主要为有关正交的扫描方向或旋转，但其它的可能性也可由本发明的实施例来达成。例如，20°或120°的旋转也是可能的。除了阴影损耗之外，一金属化图案也可依据各种不同的参数来最佳化，诸如该半导体的阻抗损耗，电荷载体平均自由路，金属化线路的总长度等等。因此一般较佳的图案可具有任何由不同于上述的正交线路的金属化线路所构成的图形。
现请参阅图8，其示出一依据本发明实施例的印刷单元一示例性排列，一平移单元及一衬底的一示例性旋转的示图。如图8中所示，一系统800可包含多个印刷单元510、平移台520及一旋转单元530，如此处参照图5所述。线路550等可沉积在衬底540上，如此处参照图5所述。如标号810所示，衬底540可以以一不同于90°的角度旋转。例如且如所示，衬底540可以120°的角度旋转。请还参阅图9，其示出一图案其可由在一第一扫描之后以120°旋转一衬底，并在一第二扫描之后再度旋转120°而达成。依据本发明的实施例，在一衬底已如所示地旋转之后，其可被平移至一第二组的印刷单元，在该处一第二组的线路可被沉积。可以替代地或附加地，一衬底可被前后平移，例如沿一第一方向而再沿反方向。例如，在衬底540已被如810所示地旋转之后，衬底540可再朝向印刷单元510被移回，在该处一第二组的线路可被印成。因此，一衬底可在相同数组的印刷单元、印刷头或喷嘴底下被扫描多次，且在该各多次扫描时更可被相对于该扫描轴以一不同的角度来定向置设。
本发明的实施例可包含一对象，譬如一计算机或处理器可读的媒体，或一计算机或处理器储存媒体，譬如一内存，一硬盘驱动器，或一USB闪存，编码，包含或储存指令，例如计算机可执行的指令等，其在被一处理器或控制器执行时，将会实现所公开的方法。
除非明确地表明，所述的方法实施例并不限制于一特定的次序或顺序。此外，某些所述的方法实施例或其元素等能在相同的时点或重叠的时点来发生或被进行。如现有技术中已知的，一可执行码片段诸如一功能、任务、次任务或程序的执行，可被视为该功能、程序或其它成分的执行。
虽本发明的实施例并不受限于此，论述所用的词语例如“处理”、“运算”、“计算”、“决定”、“建立”、“分析”、“检查”等，乃可视为一计算机、一运算平台、一运算系统、或其它子运算装置的操作和/或处理，其会操控和/或转换代表在该计算机寄存器内的物理(例如电子)量之数据，和/或记入同样代表在该计算机之寄存器和/或内存或其它可储存指令来进行操作和/或处理的信息储存媒体内之物理量的其它数据。
虽然本发明的实施例并不受限于此，所使用的“多个”和“多条”等词语可包括例如“复数的”或“二或更多的”。该“多个”或“多条”等词语可遍用于本说明书中来描述二个或更多个构件、装置、组件、单元、参数等等。
虽本发明的某些特征已被图标并描述于上，但许多修正、替代、变化和等同物也可发生于现有该技术。因此，应请了解所附申请专利范围系欲予涵盖所有落诸于本发明之实质精神内的该等修正和变化。

Claims (16)

1.一种印刷方法，所述方法包含：
依据多个间隔值并依据一预定的扫描方向来定位多个印刷单元；及
当依据所述的预定扫描方向来引入一衬底与所述印刷单元间的一相对平移时，由所述多个印刷单元沉积材料于所述衬底上以形成多条平行线路于所述衬底上，而使所述多条平行线路依据所述多个间隔值互相隔开。
2.如权利要求1所述的方法，其中所述多个印刷单元包含对应的多个沿一第一方向排列的喷嘴的阵列，且其中定位所述多个印刷单元使得所述第一方向沿着所述扫描方向。
3.如权利要求2所述的方法，其中每一所述的阵列形成所述多条平行线路之一。
4.如权利要求1所述的方法，其中在至少一条所述的线路中，所述材料的细滴部分地重叠。
5.如权利要求1所述的方法，其中所述材料是导电的，且所述衬底为一半导体晶片。
6.一种印刷方法，所述方法包含：
相对于一扫描方向以一预定角度来定位至少一个印刷单元，其中所述印刷单元包含沿第一方向排列的喷嘴的阵列，且其中所述角度依据至少一个线路宽度参数来决定；及
当沿所述扫描方向引入一衬底与所述印刷单元间的一相对平移时，由所述印刷单元沉积材料于所述衬底上，以依据所述宽度在所述衬底上形成一线路。
7.如权利要求6所述的方法，其中在至少一条线路中，所述材料的细滴部分地重叠。
8.如权利要求6所述的方法，其中所述材料是导电的，且所述衬底为一半导体晶片。
9.一种用于印刷的系统，包含：
用于依据多个间隔值并依据一预定的扫描方向来定位多个印刷单元的装置；及
用于依据所述预定扫描方向在一衬底与所述印刷单元之间引入一相对平移并用于沉积的装置，当引入所述相对平移时，由所述多个印刷单元于所述衬底上沉积材料以在所述衬底上形成多条平行线路，而使所述多条平行线路依据所述的多个间隔值来互相隔开。
10.如权利要求9所述的系统，其中所述多个印刷单元包含对应的多个沿一第一方向排列的喷嘴的阵列，且其中定位所述多个印刷单元使得所述第一方向沿着所述扫描方向。
11.如权利要求10所述的系统，其中每一所述的阵列形成所述多条平行线路之一。
12.如权利要求9所述的系统，其中在至少一条所述的线路中，所述材料的细滴部分地重叠。
13.如权利要求9所述的系统，其中所述材料是导电的，且所述衬底为一半导体晶片。
14.一种用于印刷的系统，包含：
用于相对于一扫描方向以一预定角度来定位至少一个印刷单元的装置，其中所述印刷单元包含一沿第一方向排列的喷嘴的阵列，且其中所述角度是依据至少一个线路宽度参数来决定；及
用于依据所述扫描方向在一衬底与所述印刷单元之间引入一相对平移并用以沉积的装置，当引入所述相对平移时，由所述印刷单元于所述衬底上沉积材料以依据所述宽度在所述衬底上形成一线路。
15.如权利要求14所述的系统，其中在至少一条线路中，所述材料的细滴部分地重叠。
16.如权利要求14所述的系统，其中所述材料是导电的，且所述衬底为一半导体晶片。
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