JP2007061784A - 液状体の吐出装置および液状体の吐出方法、電気光学装置の製造装置および電気光学装置の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 液状体のミストの飛散を低減して、高粘度の液状体をワーク表面に付与することができる液状体の吐出装置および液状体の吐出方法、電気光学装置の製造装置および電気光学装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】 液晶吐出装置１は、液状体としての液晶が充填された液滴吐出ヘッド２０と、液滴吐出ヘッド２０を加熱する加熱手段としてのヒータプレート１１と、液滴吐出ヘッド２０に取り付けられ周囲の空気を排気する排気部１２とを備えた。液晶を基板Ｗに吐出する吐出工程では、ヒータプレート１１により液滴吐出ヘッド２０を加熱して充填された高粘度の液晶を低粘度化して吐出する。また、ヒータプレート１１によって加熱された液滴吐出ヘッド２０の周囲の空気と共に液滴吐出ヘッド２０から排出される液晶のミストを排気部１２から排出する。これによりミストが飛散することを低減した。
【選択図】 図１

Description

本発明は、高粘度の液状体を吐出する吐出装置およびその吐出方法、電気光学装置に電気光学材料を充填する電気光学装置の製造装置およびこの製造装置を用いた電気光学装置の製造方法に関する。

高粘度の液状体を吐出する吐出装置として、インクジェットプリンタやインクジェットプロッタなどの記録ヘッド（吐出ヘッド）を用いて潤滑油や樹脂等の高粘度の機能性液体を吐出するインクジェット式記録装置が知られている（特許文献１）。このインクジェット式記録装置は、機能性液体が貯蔵されるタンク、タンクから記録ヘッドに機能性液体を供給する液供給路、および記録ヘッドをそれぞれ加熱する加熱手段を有している。その吐出方法は、高粘度の機能性液体を加熱手段により加熱することにより、低粘度の状態として記録ヘッドから吐出対象物に安定的に吐出しようとするものである。

また、電気光学装置としての液晶表示装置において、一対の基板を有する液晶パネルに高粘度液状体としての液晶を一方の基板に吐出する製造装置としては、吐出ヘッドに充填された液晶を該液晶の転移点以上の温度となるように加熱する第１のヒータを備えた液晶吐出装置が知られている（特許文献２）。

さらには、一対の基板を有する電気光学装置において、電気光学材料を加熱された一方の基板に供給した後に、他方の基板と封止材を用いて貼り合せる電気光学装置の製造装置および製造方法が知られている（特許文献３）。

この電気光学装置の製造装置および製造方法は、電気光学材料をあらかじめ所定温度に加熱された一方の基板に供給することで、環状に形成された封止材の内側に電気光学材料を容易に拡散させて、気泡が残留することを低減しようとするものである。また、一対の基板をほぼ同等な温度に加熱して貼り合せることにより、貼り合せの位置精度を高めようとするものである。さらに、加熱装置を有する液滴吐出ヘッドを備え、加熱されて低粘度となった電気光学材料を液滴吐出ヘッドから一方の基板に吐出して拡散させるものである。

特開２００３−１９７９０号公報 特開２００５−３１４１９号公報 特開２００５−１２８４１５号公報

上記従来の電気光学装置の製造方法では、液滴吐出ヘッドと基板とを所定の距離を置いて対向させ相対移動させて、加熱装置によって加熱され低粘度化した電気光学材料を吐出する。このような電気光学材料の吐出工程では、液滴吐出ヘッドと基板との相対移動を連続的に行わせると、加熱装置からの熱が液滴吐出ヘッドを介して基板側に放熱される。これにより、液滴吐出ヘッドの温度が十分に上昇せず、充填された電気光学材料の粘度が変化して、電気光学材料の吐出量が減少したり、不安定となることがあった。このような不具合を改善するため、液滴吐出ヘッドと基板との間隔を広げる方法が考えられる。一方、加熱装置によって加熱され低粘度化した電気光学材料を液滴吐出ヘッドから吐出すると、電気光学材料のミストが発生する。したがって、液滴吐出ヘッドと基板との間隔を広げるとミスト化した電気光学材料が基板に着弾せずに浮遊してしまう。さらに、加熱装置により液滴吐出ヘッドの周囲の空気も同時に加熱され、加熱された空気による対流が浮遊するミスト化した電気光学材料を巻き上げて製造装置に付着させ、故障の原因となる惧れがあった。

本発明は、上記課題を考慮してなされたものであり、液状体のミストの飛散を低減して、高粘度の液状体をワーク表面に付与することができる液状体の吐出装置および液状体の吐出方法、電気光学装置の製造装置および電気光学装置の製造方法を提供することを目的とする。

本発明の液状体の吐出装置は、充填された液状体をノズルから液滴として吐出する少なくとも１つの液滴吐出ヘッドと、液滴吐出ヘッドに充填された液状体を加熱する加熱手段と、液滴吐出ヘッドの周囲の空気を排気する排気部と、を備えたことを特徴とする。

液滴吐出ヘッドから液状体を液滴として吐出すると、ノズル内の液状体の液面から液滴として液状体が分離する際に、微小な液状体のミストが発生する。液滴吐出ヘッドのノズルが形成されたノズル面と液状体が吐出されるワークとの距離が離れていればいるほど、発生した液状体のミストはワークに着弾せずに液滴吐出ヘッドとワークとの間に浮遊することとなる。また、高粘度の液状体を液滴吐出ヘッドから吐出するために液滴吐出ヘッドを加熱する加熱手段を用いると加熱手段からの放熱により液滴吐出ヘッドの周囲の空気が加熱されて対流が発生し、浮遊している液状体のミストを巻き上げてしまう。この構成によれば、液滴吐出ヘッドの周囲の空気を排気する排気部を備えているので、浮遊している液状体のミストを加熱手段によって加熱された液滴吐出ヘッドの周囲の空気と一緒に排気することができる。すなわち、加熱手段により加熱された空気の対流による液状体のミストの飛散を低減して、高粘度の液状体をワーク表面に付与することができる液状体の吐出装置を提供することができる。また、飛散したミストにより吐出装置の故障が発生することを低減することができる。

また、上記排気部は、液状体が吐出されるワークと液滴吐出ヘッドとの間に設けられていることを特徴とする。これによれば、排気部は、液状体が吐出されるワークと液滴吐出ヘッドとの間に設けられているので、液滴吐出ヘッドから排出された液状体のミストが加熱手段によって加熱された空気の対流で周辺に飛散する前に効率的に排気部から排出することができる。

本発明の電気光学装置の製造装置は、一対の基板を有する電気光学装置の一方の基板に電気光学材料を吐出する電気光学装置の製造装置であって、充填された電気光学材料をノズルから液滴として吐出する少なくとも１つの液滴吐出ヘッドと、液滴吐出ヘッドに充填された電気光学材料を加熱する加熱手段と、一方の基板を載置する載置台と、液滴吐出ヘッドに対して載置台を対向させて主走査方向および副走査方向に相対的に移動させる移動手段と、液滴吐出ヘッドの周囲の空気を排気する排気部と、を備えたことを特徴とする。

この構成によれば、液滴吐出ヘッドに充填された電気光学材料を加熱する加熱手段を備えているので、電気光学材料が高粘度であっても、加熱手段により低粘度化して安定的に吐出することができる。また、液滴吐出ヘッドの周囲の空気を排気する排気部を備えているので、電気光学材料を液滴吐出ヘッドから吐出する際に発生する電気光学材料のミストを加熱手段によって加熱された液滴吐出ヘッドの周囲の空気と一緒に排気することができる。すなわち、加熱手段により加熱された空気の対流による電気光学材料のミストの飛散を低減して、高粘度の電気光学材料を一方の基板表面に付与することができる電気光学装置の製造装置を提供することができる。また、飛散したミストにより該製造装置の故障が発生することを低減することができる。

また、上記排気部は、載置台と液滴吐出ヘッドとの間に設けられていることを特徴とする。これによれば、排気部は、電気光学材料が吐出される一方の基板が載置される載置台と液滴吐出ヘッドとの間に設けられているので、液滴吐出ヘッドから排出された電気光学材料のミストが加熱手段によって加熱された空気の対流で周辺に飛散する前に効率的に排気部から排出することができる。

また、上記液滴吐出ヘッドは、略等間隔で設けられた複数のノズルを有し、ノズルの列が主走査方向と略直交するように配置され、排気部は、載置台に対向するように液滴吐出ヘッドに対して取り付けられると共に液滴吐出ヘッドを挟んでノズルの列と直交する方向の前後に液滴吐出ヘッドの周囲の空気を排気する排気口を有していることを特徴とする。

この構成によれば、載置台に対向するように液滴吐出ヘッドに取り付けられた排気部は、液滴吐出ヘッドを挟んでノズルの列と直交する方向すなわち主走査方向の前後に液滴吐出ヘッドの周囲の空気を排気する排気口を有している。したがって、移動手段による液滴吐出ヘッドと載置台との相対移動に追従して、液滴吐出ヘッドから排出される電気光学材料のミストを周囲の空気と一緒に排気口から排出することができる。

また、上記排気部には、ノズルの列に近づくほど密となるように複数の排気口が設けられていることが好ましい。液滴吐出ヘッドから排出される電気光学材料のミストは、液滴吐出ヘッドのノズルに近いほど数多く分布する。これによれば、複数の排気口は、ノズルの列に近づくほど密となるように排気部に設けられているので、より効率よく電気光学材料のミストを排出することができる。

また、上記排気部には、液滴吐出ヘッドを挟んでノズルの列と直交する方向の前後に乾燥空気を載置台に向けて吹き出す吹き出し口をさらに有していることが好ましい。これによれば、吹き出し口から乾燥空気を載置台に向けて吹き出すことにより、液滴吐出ヘッドと載置台との間に吐出方向の気流を発生させることができる。したがって、浮遊する電気光学材料のミストを該気流に沿って基板に着弾させることができる。すなわち、浮遊する電気光学材料のミストをより少なくすることができる。浮遊する電気光学材料のミストが少なくなった状態で排気口から液滴吐出ヘッドの周囲の空気と一緒に排出すれば、加熱手段により加熱された空気の対流による電気光学材料のミストの飛散をより低減することができる。

また、上記排気部は、移動手段による主走査方向への液滴吐出ヘッドに対する載置台の相対移動速度が速いほど、複数の排気口が設けられた部分の面積が大きくなるように形成されていることが好ましい。液滴吐出ヘッドに対する載置台の相対移動速度が速いほど、液滴吐出ヘッドと載置台との間の空気の流れが速くなる。これによれば、排気部は、載置台の相対移動速度が速いほど、複数の排気口が設けられた部分の面積が大きくなるように形成されている。したがって、該空気の流れによって電気光学材料のミストが浮遊する範囲が拡大しても、該相対移動速度に応じて設けられた複数の排気口から容易に排出することができる。

また、上記排気部は、断熱性を有する部材により構成されていることが好ましい。これによれば、液滴吐出ヘッドに取り付けられた排気部は、断熱性を有する材料で構成されているため、加熱手段からの放熱あるいは加熱手段により加熱された液滴吐出ヘッドからの放熱が載置台側に伝播することを抑制することができる。すなわち、これらの放熱により液滴吐出ヘッドと載置台に載置される基板との間の空気が加熱され対流が発生することを抑制することができる。また、これらの放熱が載置台側に伝播して液滴吐出ヘッドの加熱が不十分となり、充填された電気光学材料の粘度が所望の粘度に到達せず不安定な吐出状態となることを低減することができる。

本発明の液状体の吐出方法は、上記発明の液状体の吐出装置を用いた液状体の吐出方法であって、加熱手段により液滴吐出ヘッドに充填された液状体を加熱してワークに吐出する吐出工程を備え、吐出工程では、排気部より液滴吐出ヘッドから排出された液状体のミストを含む空気を排気しながら液状体を吐出することを特徴とする。

この方法によれば、吐出工程では、液状体が高粘度であっても加熱手段により液滴吐出ヘッドに充填された液状体を加熱して低粘度の状態として安定的に吐出することができる。また、排気部より液滴吐出ヘッドから排出された液状体のミストを含む空気を排気しながら液状体を吐出するので、加熱手段により加熱された空気による対流で液状体のミストが飛散することを低減することができる。すなわち、液状体のミストの飛散を低減して、高粘度の液状体をワークの表面に吐出することができる液状体の吐出方法を提供することができる。

本発明の電気光学装置の製造方法は、上記発明の電気光学装置の製造装置を用いた一対の基板を有する電気光学装置の製造方法であって、一対の基板の一方の基板表面に加熱手段により液滴吐出ヘッドに充填された電気光学材料を加熱してノズルから液滴として吐出する吐出工程を備え、吐出工程では、排気部より液滴吐出ヘッドから排出された電気光学材料のミストを含む空気を排気しながら電気光学材料を吐出することを特徴とする。

この方法によれば、吐出工程では、電気光学材料が高粘度であっても加熱手段により液滴吐出ヘッドに充填された電気光学材料を加熱して低粘度の状態として安定的に吐出することができる。また、排気部より液滴吐出ヘッドから排出された電気光学材料のミストを含む空気を排気しながら電気光学材料を吐出するので、加熱手段により加熱された空気による対流で電気光学材料のミストが飛散することを低減することができる。すなわち、電気光学材料のミストの飛散を低減して、電気光学装置を構成する基板の表面に高粘度の電気光学材料を吐出することができる電気光学装置の製造方法を提供することができる。

本発明の実施形態は、一対の基板を有する電気光学装置として液晶表示装置の製造工程において、一方の基板表面に電気光学材料としての液晶を吐出する製造装置（吐出装置）としての液晶吐出装置とその製造方法（吐出方法）を例として説明する。液晶は、高粘度の液状体であって、一対の基板が対向した隙間に無駄なく液晶を充填するために、本実施形態では、液状体を液滴として必要量だけ吐出可能な液滴吐出ヘッドを備えた液晶吐出装置を用いている。

（液晶吐出装置）
図１は、液晶吐出装置の構造を示す概略斜視図である。図１に示すように、本実施形態の液晶吐出装置１は、ワークとしての基板Ｗが載置される載置台としてのステージ７と、載置された基板Ｗに必要量の液晶を液滴として吐出する液滴吐出ヘッド２０（図２参照）とを備えている。また、液晶が貯留されたタンク１４から配管１３を通じて液滴吐出ヘッド２０に液晶を供給する電気光学材料供給手段を備えている。

液晶吐出装置１は、液滴吐出ヘッド２０が取り付けられたヘッドホルダ１０を副走査方向（Ｘ方向）に駆動するためのＸ方向ガイド軸３と、Ｘ方向ガイド軸３を回転させるＸ軸駆動モータ２とを備えている。また、ステージ７を主走査方向（Ｙ方向）に駆動するためのＹ方向ガイド軸４と、Ｙ方向ガイド軸４を回転させるＹ軸駆動モータ５とを備えている。そしてＸ方向ガイド軸３とＹ方向ガイド軸４とが上部に配設された基台９を備え、その基台９の下部には、制御部１５を備えている。Ｘ方向ガイド軸３およびＸ軸駆動モータ２、Ｙ方向ガイド軸４およびＹ軸駆動モータ５は、液滴吐出ヘッド２０に対してステージ７を対向させて主走査方向（Ｙ方向）および副走査方向（Ｘ方向）に相対的に移動させる移動手段である。

さらに、液晶吐出装置１は、液滴吐出ヘッド２０をクリーニング（回復処理）するためのクリーニング機構８を備えている。またクリーニング機構８にもＹ軸駆動モータ６が備えられている。

ヘッドホルダ１０には、液滴吐出ヘッド２０と、加熱手段としてのヒータプレート１１と、液滴吐出ヘッド２０の周囲の空気を排気する排気部１２とが取り付けられている。液滴吐出ヘッド２０は、ヒータプレート１１によって加熱され、充填された液晶を低粘度化してノズル２１（図２参照）から吐出するものである。また、制御部１５から供給される吐出電圧に応じて吐出される液晶の量を可変できるようになっている。

Ｘ軸駆動モータ２は、これに限定されるものではないが例えばステッピングモータ等であり、制御部１５からＸ軸方向の駆動パルス信号が供給されると、Ｘ方向ガイド軸３を回転させ、Ｘ方向ガイド軸３に係合した液滴吐出ヘッド２０をＸ方向に移動させる。

同様にＹ軸駆動モータ５，６は、これに限定されるものではないが例えばステッピングモータ等であり、制御部１５からＹ軸方向の駆動パルス信号が供給されると、Ｙ方向ガイド軸４を回転させ、ステージ７およびクリーニング機構８をＹ軸方向に移動させる。

クリーニング機構８は、液滴吐出ヘッド２０を臨む位置に移動し、液滴吐出ヘッド２０のノズル面２８ａ（図２参照）に密着して不要な液晶を吸引するキャッピング、液晶等が付着したノズル面２８ａを拭き取るワイピング、液滴吐出ヘッド２０の全ノズル２１から液晶の吐出を行う予備吐出あるいは不要となった液晶を受けて排出させる回復処理を行う。クリーニング機構８の詳細は省略する。

液晶吐出装置１は、装置全体をクリーンブース１６で覆うと共に、クリーンブース１６の天井部分に設けられたヘッパユニット１７から清浄化した空気をクリーンブース１６内に送り込んでいる。これにより、液晶を基板Ｗの表面に吐出する際に、異物等が基板Ｗの表面に付着しないようにクリーン度を確保している。

図２は、液滴吐出ヘッドを示す概略斜視図である。図２に示すように、液滴吐出ヘッド２０は、所謂２連のものであり、２連の接続針２４を有する液晶の導入部２３と、導入部２３に積層されたヘッド基板２５と、ヘッド基板２５上に配置され内部に液晶のヘッド内流路が形成されたヘッド本体２６とを備えている。接続針２４は、前述したタンク１４に配管１３を経由して接続され、液晶をヘッド内流路に供給する。ヘッド基板２５には、フレキシブルフラットケーブル（図示省略）を介してヘッド駆動部３４（図５参照）に接続される２連のコネクタ２９が設けられている。

ヘッド本体２６は、ピエゾ素子等で構成されたキャビティを有する加圧部２７と、ノズル面２８ａに２つのノズル列２２，２２が相互に平行に形成されたノズルプレート２８とを有している。

２つのノズル列２２，２２は、それぞれ複数（１８０個）のノズル２１が略等間隔に並べられており、互いにずれた状態でノズルプレート２８に配設されている。この場合、ノズルピッチは、およそ１４０μｍである。よって、ノズル列２２に直交する方向から見ると３６０個のノズル２１がおよそ７０μｍのノズルピッチで配列した状態となっている。

液滴吐出ヘッド２０は、ヘッド駆動部３４（図５参照）から電気信号としての駆動波形がピエゾ素子等に印加されると加圧部２７のキャビティの体積変動が起こり、これによるポンプ作用でキャビティに充填された液晶が加圧され、キャビティに連通するノズル２１から液晶を液滴として吐出することができる。

図３は、液晶吐出装置の要部構造を示す概略図である。図３に示すように、液滴吐出ヘッド２０は、基板Ｗが載置されるステージ７が移動する主走査方向（Ｙ方向）に対して、ノズル２１の列（ノズル列２２）が直交するようにＬ字型のヘッドホルダ１０に取り付けられている。ヘッドホルダ１０は、Ｘ方向ガイド軸３と係合しており、Ｘ方向ガイド軸３が回転することにより液滴吐出ヘッド２０を副走査方向（Ｘ方向）に移動させる。

また、ヘッドホルダ１０には、断熱プレート１９を介してヒータプレート１１と排気部１２が取り付けられている。ヒータプレート１１は、液滴吐出ヘッド２０のヘッド本体２６を加熱可能な位置に取り付けられている。ヒータプレート１１は、熱伝導部材からなり２つの棒状ヒータ１１ａが埋め込まれヘッド本体２６を両側から加熱可能となっている。尚、熱源としてのヒータは、棒状ヒータ１１ａに限らず面状ヒータでもよい。

排気部１２は、ポリカーボネート、ガラスエポキシなどの耐熱性樹脂板あるいはセラミックス板などの断熱性を有する材料からなり、同様な材料からなる断熱プレート１９との間にヒータプレート１１を挟むようにして、ステージ７と液滴吐出ヘッド２０との間に取り付けられている。これにより、ヒータプレート１１からの放熱やヒータプレート１１によって加熱された液滴吐出ヘッド２０からの放熱が周囲の空気に伝わることを抑制している。

排気部１２には、２つの配管接続部１２ｂが設けられている。２つの配管接続部１２ｂには、排気手段３８（図５参照）に繋がる配管（図示省略）が接続されている。これにより、ステージ７側に開口した複数の排気口１２ａから液滴吐出ヘッド２０の周囲の空気が排気される。また、液滴吐出ヘッド２０のヘッド本体２６に沿ってステージ７側に開口した２つの吹き出し口１８ａ（図４参照）と２つの吹き出し口１８ａに繋がる２つの配管接続部１８ｂが設けられている。２つの配管接続部１８ｂには、乾燥空気供給源４０（図５参照）に繋がる配管（図示省略）が接続されている。これにより、吹き出し口１８ａから乾燥空気をステージ７側に送風することが可能となっている。

図４は、排気部の構造を示す概略斜視図である。詳しくは、ステージ７に対向する側の排気部１２を示すものである。図４に示すように、排気部１２は、筐体構造となっており、ほぼ中央部分にノズル列２２が主走査方向（Ｙ方向）と直交するように液滴吐出ヘッド２０に取り付けるための開口部１２ｃを有している。複数の排気口１２ａは、液滴吐出ヘッド２０を挟んでノズル列２２と直交する方向（Ｙ方向）の前後に３列ずつ並列して設けられている。また、ノズル列２２に近づくほど排気口１２ａの数が多くなるように（密となるように）配列されている。さらには、液晶１０５を吐出する主走査における液滴吐出ヘッド２０に対するステージ７の相対移動速度に対応して、排出されるミスト１０５ａを排気できるように、複数の排気口１２ａが設けられた部分の面積を確保している。具体的には、この場合、相対移動速度がおよそ９０ｍｍ／秒に設定されており、液滴吐出ヘッド２０を挟んでＹ方向の前後におよそ４５ｍｍの幅で複数の排気口１２ａが配列する部分の面積を確保した。相対移動速度をさらに上昇させる場合は、当該面積を拡大することが望ましい。尚、本実施形態の排気口１２ａは、丸孔に限定されず、スリットやハニカム等でもよい。

２つの吹き出し口１８ａは、ノズル列２２と並列するようにヘッド本体２６に沿ってスリット状に開口している。吹き出し口１８ａは、スリット状に限定されず、孔、ハニカム、あるいは空気を通過させる多孔質板を当該部分に用いてもよい。

通常、機能液などの液状体を液滴吐出ヘッド２０から液滴として基板Ｗに吐出する場合、所望の位置に液滴を着弾させるため、液滴の飛行曲がりを考慮して液滴吐出ヘッド２０のノズル面２８ａと基板Ｗとの間隔は、およそ２ｍｍ以下としている。しかしながら、高粘度の液状体を液滴として安定的に吐出するために液滴吐出ヘッド２０を加熱手段によって加熱して、液滴吐出ヘッド２０と基板Ｗとの相対移動（主走査）を連続して行ったときに、加熱手段からの放熱が基板Ｗ側に伝播して液滴吐出ヘッド２０の加熱が不十分となることがあった。液滴吐出ヘッド２０の加熱が不十分になると、充填された液状体が吐出に適した粘度まで低下せず、吐出量が不安定となったり、吐出されない現象が発生した。本実施形態の液晶吐出装置１では、このような現象を防ぐために、液滴吐出ヘッド２０のノズル面２８ａと基板Ｗとの間隔をおよそ５ｍｍに広げると共に排気部１２を断熱性を有する部材で構成してヒータプレート１１からの放熱が基板Ｗ側に伝播することを抑制している。

また、図３に示すように、液滴吐出ヘッド２０のノズル面２８ａと基板Ｗとの間隔を広げることによって、吐出時に発生する液晶１０５のミスト１０５ａが基板Ｗに着弾せずに浮遊する確率が高まる。また、ヒータプレート１１により液滴吐出ヘッド２０の周囲の空気が加熱され対流を起こして浮遊したミスト１０５ａを巻き上げて液晶吐出装置１の各部に付着し故障の原因となる可能性があった。本実施形態では、液晶１０５が吐出される基板Ｗを載置するステージ７と液滴吐出ヘッド２０との間に排気部１２を設けることにより、液滴吐出ヘッド２０と基板Ｗとの間に浮遊する液晶１０５のミスト１０５ａを周囲の加熱された空気と共に排気口１２ａから排出することが可能となっている。さらに、液滴吐出ヘッド２０のヘッド本体２６に沿った吹き出し口１８ａから乾燥空気を基板Ｗに向けて送風することにより、液滴吐出ヘッド２０の周辺に浮遊する比較的大きなミスト１０５ａを基板Ｗに着弾させることが可能となっている。これにより、ミスト１０５ａとなった液晶１０５が無駄に排出されることを低減可能である。

図５は、液晶吐出装置の電気的および機械的な構成を示すブロック図である。図５に示すように、液晶吐出装置１の制御部１５は、液晶吐出装置１の全体を制御するメインコンピュータ（図示省略）から入力される液晶吐出のプログラム等を一時的に記憶する入力バッファメモリ３１と、ＲＡＭからなる記憶部３２と、これらに接続した処理部３０とを有している。また、走査駆動部３３、ヘッド駆動部３４、温度制御部３５、メンテナンス駆動部３６を有している。

処理部３０は、Ｘ軸駆動モータ２およびＹ軸駆動モータ５を駆動してステージ７を液滴吐出ヘッド２０に対して相対移動させる走査駆動部３３と、液滴吐出ヘッド２０に駆動電圧を与えて液晶１０５を液滴として吐出させるヘッド駆動部３４とに接続しこれらを制御する。また、棒状ヒータ１１ａに電力を供給する温度制御部３５に接続して、液滴吐出ヘッド２０を所望の温度に加熱する。また、クリーニング機構８を駆動するメンテナンス駆動部３６に接続して液滴吐出ヘッド２０の回復動作を行う。

また、排気手段３８と排気部１２を繋ぐ配管の途中に設けられた電磁バルブからなる排気バルブ３７に接続し、排気バルブ３７の開閉を制御する。排気手段３８としては、小型のファンやポンプなどを用いることができる。

また、乾燥空気供給源４０と吹き出し口１８ａとを繋ぐ配管の途中に設けられた電磁バルブからなるエアバルブ３９に接続し、エアバルブ３９の開閉を制御する。乾燥空気供給源４０としては、コンプレッサなどによって圧縮された空気を冷凍式あるいは高分子膜式などのエアドライヤを通過させて乾燥させるドライエア供給装置を用いることができる。

液晶吐出装置１は、上記の構成以外にもタンク１４から配管１３を経て液滴吐出ヘッド２０に液晶１０５を供給する電気光学材料供給手段の制御なども行うことができる構成を有している。また、高粘度の液晶１０５を液滴吐出ヘッド２０に安定的に供給するために、液晶１０５が貯留されるタンク１４にも加熱手段を設けて加熱し、加熱された液晶１０５の温度が低下しないように配管１３を断熱部材で覆うようにすることが望ましい。

液晶吐出装置１の吐出動作は、走査駆動部３３から所定の駆動パルス信号をＸ軸駆動モータ２およびＹ軸駆動モータ５とに送り、液滴吐出ヘッド２０を副走査方向（Ｘ方向）に、ステージ７を主走査方向（Ｙ方向）に相対移動させる。そして、この相対移動の間にヘッド駆動部３４から吐出電圧を供給し、液滴吐出ヘッド２０から基板Ｗの所定の領域に液晶１０５を液滴として吐出する。また、温度制御部３５により棒状ヒータ１１ａを作動させて液滴吐出ヘッド２０に充填された液晶１０５を加熱して、吐出可能な低粘度状態を維持する。そして、少なくとも液晶１０５の吐出動作中において、排気バルブ３７を開いて、浮遊するミスト１０５ａを液滴吐出ヘッド２０の周囲の加熱された空気と共に排気する。また、エアバルブ３９を開いて浮遊するミスト１０５ａの少なくとも一部を基板Ｗに着弾させる。尚、クリーニング機構８による液滴吐出ヘッド２０の回復動作中は、排気バルブ３７、エアバルブ３９を閉じている。

尚、本実施形態の液晶吐出装置１は、１つの液滴吐出ヘッド２０を備えた構成であるが、これに限定されず、主走査方向に直交する方向（Ｘ方向）にノズル２１の列が配列するように複数の液滴吐出ヘッド２０を備えたものでもよい。このようにすれば、Ｘ方向において広い範囲で液晶１０５を吐出可能となるので、液晶１０５を吐出する主走査の回数を減ずることが可能である。

次に本実施形態の液晶吐出装置１を用いて製造される液晶表示装置について図６、図７を基に説明する。図６は、液晶表示装置の構造を示す概略図である。同図（ａ）は正面図、同図（ｂ）は同図（ａ）のＡ−Ａ線で切った断面図である。

図６（ａ）および（ｂ）に示すように、液晶表示装置１００は、ＴＦＴ（Thin Film Transistor）素子１０３を有する素子基板１０１と、対向電極１０６を有する対向基板１０２と、シール材１０４によって接着された一対の基板１０１，１０２の隙間に充填された液晶１０５とを有する液晶表示パネル１１０を備えている。素子基板１０１は対向基板１０２より一回り大きく額縁状に張り出した状態となっている。シール材１０４としては、熱あるいは紫外線などの光により硬化するエポキシ系接着剤を用いることが望ましい。

素子基板１０１は、厚みおよそ１．２ｍｍの石英ガラス基板を用いており、その表面には画素を構成する画素電極（図示省略）と、３端子のうちの一つが画素電極に接続されたＴＦＴ素子１０３が形成されている。ＴＦＴ素子１０３の残りの２端子は、画素電極を囲んで互いに絶縁状態で格子状に配置されたデータ線（図示省略）と走査線（図示省略）とに接続されている。データ線は、Ｙ軸方向に引き出されて端子部１０１ａにおいてデータ線駆動回路部１０９に接続されている。走査線は、Ｘ軸方向に引き出され、左右の額縁領域に形成された２つの走査線駆動回路部１１３，１１３に個々に接続されている。各データ線駆動回路部１０９および走査線駆動回路部１１３の入力側配線は、端子部１０１ａに沿って配列した実装端子１１１にそれぞれ接続されている。端子部１０１ａとは反対側の額縁領域には、２つの走査線駆動回路部１１３，１１３を繋ぐ配線１１２が設けられている。

対向基板１０２は、厚みおよそ１．０ｍｍの透明なガラス基板を用いており、共通電極としての対向電極１０６が設けられている。対向電極１０６は、対向基板１０２の四隅に設けられた上下導通部１１４を介して素子基板１０１側に設けられた配線と導通しており、当該配線も端子部１０１ａに設けられた実装端子１１１に接続されている。

液晶１０５に面する素子基板１０１の表面および対向基板１０２の表面には、それぞれポリイミド等からなる配向膜１０７，１０８が形成されている。

液晶表示装置１００は、外部駆動回路と電気的に繋がる中継基板が実装端子１１１に接続される。そして、外部駆動回路からの入力信号が各データ線駆動回路部１０９および走査線駆動回路部１１３に入力されることにより、ＴＦＴ素子１０３が画素電極ごとにスイッチングされ、画素電極と対向電極１０６との間に駆動電圧が印加されて表示が行われる。

尚、図６には図示省略したが、液晶表示装置１００の光の入射側と出射側には、それぞれ入出射する光を偏向する偏光板が設けられる。

図７は、液晶表示パネルが区画形成されたマザー基板を示す概略図である。同図（ａ）は概略平面図、同図（ｂ）は、同図（ａ）のＢ−Ｂ線で切った概略断面図である。

図７（ａ）に示すように、１つの液晶表示パネル１１０に相当する素子基板１０１がマザー基板としてのウェハ状の基板Ｗ１に複数区画形成され、また同様に１つの液晶表示パネル１１０に相当する対向基板１０２がマザー基板としてのウェハ状の基板Ｗ２に複数区画形成されている。そして、図７（ｂ）に示すように、基板Ｗ１と基板Ｗ２とがシール材１０４によって所定の位置で接着されると共にシール材１０４で区画された領域内に液晶１０５が挟持されている。１つの液晶表示パネル１１０は、シール材１０４で区画された領域に沿った切断予定位置を切断して取り出される。切断方法としては、ダイシング法、レーザー照射法、超硬チップを用いたスジ入れスクライブ法、あるいはこれらの方法の組み合わせなどが挙げられる。この場合、基板Ｗ１，２の大きさは、直径１２インチ（３０４．８ｍｍ）であり、２００個分の液晶表示パネル１１０が区画形成されている。

（液晶表示装置の製造方法）
次に本実施形態の液晶吐出装置１を用いた電気光学装置としての液晶表示装置の製造方法（液状体としての液晶の吐出方法）について図８、図９を基に説明する。図８は、液晶表示装置の製造方法を示すフローチャートである。図９（ａ）〜（ｄ）は、液晶表示装置の製造方法を示す概略図である。

図８に示すように、液晶表示装置１００の製造方法は、液晶吐出装置１のステージ７に基板Ｗ１を載置して位置決めする工程（ステップＳ１）を備えている。そして、位置決めされた基板Ｗ１のシール材１０４で区画された領域（基板表面）に加熱手段（ヒータプレート１１）により液滴吐出ヘッド２０に充填された液晶１０５を加熱してノズル２１から液滴として吐出する吐出工程（ステップＳ２）と、液晶１０５が吐出された基板Ｗ１と基板Ｗ２とを貼り合せる工程（ステップＳ３）とを備えている。また、吐出工程では、液滴吐出ヘッド２０の周囲の空気を排気しながら液晶１０５を吐出する。すなわち、加熱された液滴吐出ヘッド２０から排出される液晶１０５のミスト１０５ａとヒータプレート１１によって加熱された周囲の空気とを排気して液晶１０５を液滴として吐出するものである。

図８のステップＳ１は、基板Ｗ１の位置決め工程である。基板Ｗ１には、複数の素子基板１０１が区画形成されている。また、これに対応してシール材１０４が印刷法あるいは定量吐出法などを用いて、個々の素子基板１０１の所定の位置に塗布されている。ステップＳ１では、液晶吐出装置１のステージ７にシール材１０４が塗布された基板Ｗ１を載置して、液滴吐出ヘッド２０に対して位置決めをする。この場合、基板Ｗ１は、図７に示したＢ−Ｂ線の方向が主走査方向（Ｙ方向）となるようにステージ７に載置され、基板Ｗ１に形成されたアライメントマークを例えばＣＣＤなどの撮像素子により画像認識させて正確に位置決めする。そして、ステップＳ２へ進む。

図８のステップＳ２は、液晶１０５の吐出工程である。ステップＳ２では、図９（ａ）に示すように、制御部１５は、Ｘ軸駆動モータ２およびＹ軸駆動モータ５を駆動して、液滴吐出ヘッド２０に対して基板Ｗ１のシール材１０４で区画された領域が対向するようにステージ７を移動させる。そして、液滴吐出ヘッド２０に充填された液晶１０５をヒータプレート１１により加熱して低粘度化しノズル２１から液滴として吐出する。この場合、高粘度の液晶１０５が吐出に適したおよそ１０ｃｐｓ（０．０１Ｐａ・ｓ）程度の粘度となるように、棒状ヒータ１１ａの設定温度を９０℃とし、充填された液晶１０５の温度をおよそ７０℃としている。これにより、液晶１０５の吐出量の精度を±０．５％以内とすることが可能となった。

液晶１０５が吐出される基板Ｗ１の表面は、配向膜１０８で覆われており、液晶１０５に対して撥液性を有している。したがって、吐出された液晶１０５は、着弾後に表面張力で盛り上がる。図６（ｂ）に示したように、素子基板１０１と対向基板１０２とは所定の間隔で対向配置され、その隙間に液晶１０５を挟持するので、素子基板１０１のシール材１０４で区画された領域内にどの程度の量の液晶１０５を吐出すればよいか、あらかじめ演算することが可能である。制御部１５には、この演算結果がデータとして入力されており、ヘッド駆動部３４は、この演算結果に基づいて液滴を吐出する所定の吐出電圧で所定回数の駆動波形を液滴吐出ヘッド２０に与えることにより、必要量の液晶１０５を吐出させる。これにより、図９（ｂ）に示すように、シール材１０４の際にわずかに隙間を残した状態でシール材１０４の高さよりも高い状態に盛り上がった液晶１０５を素子基板１０１に付与することができる。

また図７（ａ）に示すように、基板Ｗ１には２００個分の液晶表示パネル１１０に相当する素子基板１０１が区画形成されている。よって、制御部１５は、Ｘ軸駆動モータ２とＹ軸駆動モータ５とを走査駆動部３３により駆動して、Ｙ方向に複数回（１８回）の主走査と区画された素子基板１０１の配列に対応して主走査する列を変える副走査（Ｘ方向への液滴吐出ヘッド２０の移動）とを行う。このようにして基板Ｗ１に複数区画形成された素子基板１０１のそれぞれに必要量の液晶１０５を吐出する。また少なくともこの主走査の間に、制御部１５は、排気バルブ３７を開いて、液滴吐出ヘッド２０から排出される液晶１０５のミスト１０５ａを周囲の空気と共に排気口１２ａから排気する。また、ヒータプレート１１の放熱によって加熱された周囲の空気を排気することができるので、加熱された空気の対流によって浮遊するミスト１０５ａが飛散することも抑制される。さらに制御部１５は、エアバルブ３９を開いて吹き出し口１８ａから乾燥空気を基板Ｗ１に向かって送風する。これにより、浮遊するミスト１０５ａの少なくとも一部を基板Ｗ１に着弾させる。

この場合の主走査におけるステージ７の移動速度は、およそ９０ｍｍ／秒であり、基板Ｗ１のすべての素子基板１０１に液晶１０５を吐出する所要時間は、およそ１分である。また、液滴吐出ヘッド２０と基板Ｗ１との間隔は、およそ５ｍｍに設定されている。

尚、吐出工程では、液滴吐出ヘッド２０の３６０個のノズル２１に対応する加圧部２７を選択的に駆動して液晶１０５を吐出することができるので、シール材１０４で区画された領域のみに液晶１０５を付与することができる。すなわち、無駄な液晶１０５の吐出を防ぐことが可能である。そして、ステップＳ３へ進む。

図８のステップＳ３は、基板Ｗ１と基板Ｗ２とを貼り合せる工程である。ステップＳ３では、図９（ｃ）に示すように、必要量の液晶１０５が付与された基板Ｗ１に基板Ｗ２をシール材１０４を介して減圧下で貼り合せる。具体的には、まず、貼り合せた基板Ｗ２のシール材１０４の付近に圧力をかけて基板Ｗ１と基板Ｗ２とを接着する。そして、図９（ｄ）に示すように、所定の時間が経過してシール材１０４がある程度乾燥した後に、基板Ｗ２の全面に圧力をかけて、液晶１０５を基板Ｗ１（１０１）と基板Ｗ２（１０２）で挟まれると共にシール材１０４で区画された領域内に行き渡らせる。この場合、液晶１０５がシール材１０４と接触する際には、すでにシール材１０４の硬化が進んでいるので、液晶１０５との接触に伴うシール材１０４の接着性能低下や液晶１０５の劣化は少ない。

そして、熱や光をシール材１０４に付与して完全に硬化させることにより、基板Ｗ１（１０１）と基板Ｗ２（１０２）の間に液晶１０５が封止される。したがって、液晶１０５の無駄な消費を抑えて液晶表示装置１００を低コストで製造することができる。また、液滴吐出ヘッド２０から排出される液晶１０５のミスト１０５ａを排気部１２からヒータプレート１１によって加熱された周囲の空気と共に排気する。したがって、加熱された空気の対流によりミスト１０５ａが飛散して液晶吐出装置１の各部に付着することが低減されるので、ミスト１０５ａの付着による液晶吐出装置１の故障が低減され、長期に渡っての安定稼動を実現することが可能である。

尚、本実施形態の液晶表示装置１００の製造方法では、シール材１０４が塗布された基板Ｗ１に液晶１０５を吐出したが、基板Ｗ２にシール材１０４を塗布して液晶１０５を吐出した後に、減圧下で基板Ｗ１と貼り合せてもよい。

上記実施形態の効果は、以下の通りである。
（１）上記実施形態の液晶吐出装置１は、液滴吐出ヘッド２０を加熱するヒータプレート１１を有しているので、液滴吐出ヘッド２０に充填された高粘度の液晶１０５をヒータプレート１１により加熱して低粘度の状態として安定的に吐出することができる。また、ステージ７と液滴吐出ヘッド２０との間に浮遊するミスト１０５ａを排気するための排気部１２を有している。したがって、ヒータプレート１１によって加熱された周囲の空気と共に浮遊するミスト１０５ａを排気部１２から排気して、加熱された空気の対流によるミスト１０５ａの飛散を低減することができる。ゆえに飛散したミスト１０５ａの付着による故障を低減し、長期に渡っての安定稼動を実現することができる液晶吐出装置１を提供することができる。

（２）上記実施形態の液晶吐出装置１において、排気部１２は、ステージ７に対向するように液滴吐出ヘッド２０に取り付けられ、液滴吐出ヘッド２０を挟んでノズル２１の列と直交する方向（主走査方向）の前後に液滴吐出ヘッド２０の周囲の空気を排気する排気口１２ａを有している。したがって、液滴吐出ヘッド２０とステージ７との相対移動に追従して、液滴吐出ヘッド２０から排出される液晶１０５のミスト１０５ａを飛散する前に周囲の空気と一緒に排気口１２ａから排出することができる。

（３）上記実施形態の液晶吐出装置１において、液滴吐出ヘッド２０から排出される液晶１０５のミスト１０５ａは、液滴吐出ヘッド２０のノズル２１に近いほど数多く分布する。複数の排気口１２ａは、ノズル２１の列に近づくほど密となるように排気部１２に設けられているので、より効率よくミスト１０５ａを排出することができる。

（４）上記実施形態の液晶吐出装置１において、排気部１２には、液滴吐出ヘッド２０を挟んでノズル２１の列と直交する方向の前後に乾燥空気をステージ７に向けて吹き出すスリット状の吹き出し口１８ａを有している。吹き出し口１８ａから乾燥空気をステージ７に向けて吹き出すことにより、液滴吐出ヘッド２０とステージ７との間に吐出方向の気流を発生させることができる。したがって、浮遊する液晶１０５のミスト１０５ａを該気流に沿って基板Ｗに着弾させることができる。すなわち、浮遊するミスト１０５ａをより少なくすることができる。浮遊するミスト１０５ａが少なくなった状態で排気口１２ａから液滴吐出ヘッド２０の周囲の空気と一緒に排出すれば、ヒータプレート１１により加熱された空気の対流によるミスト１０５ａの飛散をより低減することができる。

（５）上記実施形態の液晶吐出装置１において、排気部１２は、ポリカーボネート、ガラスエポキシなどの耐熱性樹脂板あるいはセラミックス板などの断熱性を有する材料からなり、ヒータプレート１１を介してヘッドホルダ１０に取り付けられている。これにより、ヒータプレート１１からの放熱やヒータプレート１１によって加熱された液滴吐出ヘッド２０からの放熱が周囲の空気に伝わることを抑制することができる。すなわち、加熱手段としてのヒータプレート１１により液滴吐出ヘッド２０に充填された液晶１０５を充分加熱して吐出に適した粘度まで低粘度化し、より安定的に液晶１０５を吐出することができる。

（６）上記実施形態の液晶吐出装置１を用いた液晶表示装置１００の製造方法において、素子基板１０１が複数区画形成されシール材１０４が塗布された基板Ｗ１に液晶１０５を吐出する吐出工程では、高粘度の液晶１０５が充填された液滴吐出ヘッド２０をヒータプレート１１により加熱して液晶１０５を低粘度化して吐出する。よって、高い精度で必要量の液晶１０５を吐出することができる。また、液滴吐出ヘッド２０と基板Ｗ１との間に浮遊する液晶１０５のミスト１０５ａを排気部１２の排気口１２ａから排気して、ヒータプレート１１によって加熱された空気の対流によるミスト１０５ａの飛散を低減することができる。すなわち、液晶１０５の無駄な吐出を抑えると共にミスト１０５ａの飛散を低減して、高粘度の液晶１０５を基板Ｗ１の表面に吐出することができる液晶表示装置１００の製造方法を提供することができる。

上記実施形態以外の変形例は、以下の通りである。
（変形例１）上記実施形態の液晶吐出装置１において、排気部１２の構造は、これに限定されない。例えば、少なくとも浮遊するミスト１０５ａの一部を基板Ｗに着弾させるように乾燥空気を吹き出す吹き出し口１８ａは、必ずしも設けなくてもよい。排気部１２を断熱性を有する部材で構成することにより、ヒータプレート１１から基板Ｗへの放熱を抑えて液滴吐出ヘッド２０を充分に加熱することができる。したがって、液滴吐出ヘッド２０から基板Ｗへの放熱を問題とすることなく、液滴吐出ヘッド２０のノズル面２８ａをミスト１０５ａの少なくとも一部が基板Ｗに着弾するようにステージ７に近づけることが可能である。

（変形例２）上記実施形態の液晶吐出装置１において、液滴吐出ヘッド２０を固定するヘッドホルダ１０とヒータプレート１１との間に取り付けられた断熱プレート１９は、必ずしも必要としない。例えば、ヘッドホルダ１０を断熱性を有する材料で構成すれば、断熱プレート１９を削除することが可能である。すなわち、部品点数を減らして液晶吐出装置１を構成することができる。

（変形例３）上記実施形態の液晶吐出装置１において、吹き出し口１８ａから送風する気体は、乾燥空気に限定されない。例えば、窒素等の不活性ガスを用いてもよい。

（変形例４）液滴吐出ヘッド２０から吐出する電気光学材料は、液晶１０５に限定されない。吐出部としての液滴吐出ヘッド２０と、液滴吐出ヘッド２０を加熱するヒータプレート１１と、排気部１２とを備えた吐出装置を用いれば、高粘度の液状体である有機ＥＬ発光材料をバンクによってマトリクス状に区画された電極を有する基板上に必要量吐出して有機ＥＬ発光層を形成することが可能である。すなわち、このようにして有機ＥＬ発光層が形成された有機ＥＬ表示装置を製造することができる吐出装置および吐出方法を提供することができる。

（変形例５）液滴吐出ヘッド２０から吐出する液状体は、電気光学材料に限定されない。例えば、配向膜形成材料と溶媒とを含む液状体を液滴吐出ヘッド２０から吐出すれば、液晶表示装置１００の一対の基板１０１，１０２のそれぞれに配向膜１０７，１０８を形成することも可能である。この他にも上記実施形態の吐出装置および吐出方法を適用可能な高粘度の液状体としては、屈折率分散型の光学レンズを形成するためのＵＶインクや潤滑油などが挙げられる。

液晶吐出装置の構造を示す概略斜視図。 液滴吐出ヘッドを示す概略斜視図。 液晶吐出装置の要部構造を示す概略図。 排気部の構造を示す概略斜視図。 液晶吐出装置の電気的および機械的な構成を示すブロック図。 液晶表示装置の構造を示す概略図。 液晶表示パネルが区画形成されたマザー基板を示す概略図。 液晶表示装置の製造方法を示すフローチャート。 （ａ）〜（ｄ）は、液晶表示装置の製造方法を示す概略図。

符号の説明

１…吐出装置および電気光学装置の製造装置としての液晶吐出装置、２…移動手段としてのＸ軸駆動モータ、３…移動手段としてのＸ方向ガイド軸、４…移動手段としてのＹ方向ガイド軸、５…移動手段としてのＹ軸駆動モータ、７…載置台としてのステージ、１１…加熱手段としてのヒータプレート、１２…排気部、１２ａ…排気口、１８ａ…吹き出し口、２０…液滴吐出ヘッド、２１…ノズル、１００…電気光学装置としての液晶表示装置、１０１…基板としての素子基板、１０２…基板としての対向基板、１０５…液状体および電気光学材料としての液晶、Ｗ，Ｗ１…ワークとしての基板。

Claims (11)

1. 充填された液状体をノズルから液滴として吐出する少なくとも１つの液滴吐出ヘッドと、
   前記液滴吐出ヘッドに充填された前記液状体を加熱する加熱手段と、
   前記液滴吐出ヘッドの周囲の空気を排気する排気部と、を備えたことを特徴とする液状体の吐出装置。
2. 前記排気部は、前記液状体が吐出されるワークと前記液滴吐出ヘッドとの間に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の液状体の吐出装置。
3. 一対の基板を有する電気光学装置の一方の基板に電気光学材料を吐出する電気光学装置の製造装置であって、
   充填された前記電気光学材料をノズルから液滴として吐出する少なくとも１つの液滴吐出ヘッドと、
   前記液滴吐出ヘッドに充填された電気光学材料を加熱する加熱手段と、
   前記一方の基板を載置する載置台と、
   前記液滴吐出ヘッドに対して前記載置台を対向させて主走査方向および副走査方向に相対的に移動させる移動手段と、
   前記液滴吐出ヘッドの周囲の空気を排気する排気部と、を備えたことを特徴とする電気光学装置の製造装置。
4. 前記排気部は、前記載置台と前記液滴吐出ヘッドとの間に設けられていることを特徴とする請求項３に記載の電気光学装置の製造装置。
5. 前記液滴吐出ヘッドは、略等間隔で設けられた複数のノズルを有し、前記ノズルの列が前記主走査方向と略直交するように配置され、
   前記排気部は、前記載置台に対向するように前記液滴吐出ヘッドに対して取り付けられると共に前記液滴吐出ヘッドを挟んで前記ノズルの列と直交する方向の前後に前記液滴吐出ヘッドの周囲の空気を排気する排気口を有していることを特徴とする請求項４に記載の電気光学装置の製造装置。
6. 前記排気部には、前記ノズルの列に近づくほど密となるように複数の前記排気口が設けられていることを特徴とする請求項５に記載の電気光学装置の製造装置。
7. 前記排気部には、前記液滴吐出ヘッドを挟んで前記ノズルの列と直交する方向の前後に乾燥空気を前記載置台に向けて吹き出す吹き出し口をさらに有していることを特徴とする請求項５または６に記載の電気光学装置の製造装置。
8. 前記排気部は、前記移動手段による前記主走査方向への前記液滴吐出ヘッドに対する前記載置台の相対移動速度が速いほど、複数の前記排気口が設けられた部分の面積が大きくなるように形成されていることを特徴とする請求項５ないし７のいずれか一項に記載の電気光学装置の製造装置。
9. 前記排気部は、断熱性を有する部材により構成されていることを特徴とする請求項５ないし８のいずれか一項に記載の電気光学装置の製造装置。
10. 請求項１または２に記載の液状体の吐出装置を用いた液状体の吐出方法であって、
    前記加熱手段により前記液滴吐出ヘッドに充填された液状体を加熱してワークに吐出する吐出工程を備え、前記吐出工程では、前記排気部より前記液滴吐出ヘッドから排出された前記液状体のミストを含む空気を排気しながら前記液状体を吐出することを特徴とする液状体の吐出方法。
11. 請求項３ないし９のいずれか一項に記載の電気光学装置の製造装置を用いた一対の基板を有する電気光学装置の製造方法であって、
    前記一対の基板の一方の基板表面に前記加熱手段により前記液滴吐出ヘッドに充填された電気光学材料を加熱して前記ノズルから液滴として吐出する吐出工程を備え、前記吐出工程では、前記排気部より前記液滴吐出ヘッドから排出された前記電気光学材料のミストを含む空気を排気しながら前記電気光学材料を吐出することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
    

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