WO2006126512A1 - 液滴吐出装置、電気光学パネル及び電子機器 - Google Patents

Abstract

　液滴吐出装置は、液晶を貯留する収容タンクと、マザー基板が載置される基板ステージと、基板ステージに対向配置される吐出ヘッドとを備える。吐出ヘッドおよび基板ステージは、互いに相対移動可能である。吐出ヘッドは、ノズルが形成されたノズルプレートを有する。吐出ヘッドは、収容タンクから供給される液晶を加圧して、該液晶をノズルからマザー基板に向けて吐出する。吐出ヘッドの周囲には、液晶の温度を制御するための吐出ヘッド用ヒータが設けられる。吐出ヘッド用ヒータは、ノズルプレートよりも基板ステージ側に延出する延出部を有しており、その延出部はノズルプレートを取り囲んでいる。そのため、ノズルの近傍において液晶の粘度を十分に低下させた状態で維持できる。

Description

明 細 書

液滴吐出装置、電気光学パネル及び電子機器

技術分野

[0001] 本発明は、液滴吐出装置、電気光学パネル及び電子機器に関する。

背景技術

[0002] 液晶表示装置の製造方法として、ガラス基板上に四角枠状のシール材を形成した 後に、そのシール材によって区画された領域内に、必要量の液晶を吐出して液晶層 を形成する液滴吐出法が知られて 、る。

[0003] この種の液滴吐出法として、インクジェット法と呼ばれるものがある。このインクジエツ ト法では、複数のノズルを備えた吐出ヘッドを所定の走査方向に移動させると共にガ ラス基板を副走査方向に移動させながら、収容タンクに収容された液晶を、複数のノ ズルカ ガラス基板に対して吐出する。このインクジェット法によれば、吐出される液 晶の一滴が極めて微小であるため、ガラス基板上に緻密に液晶を付着させることが できて、前記シール材によって区画された所定の領域内に均一な膜厚の液晶層を形 成することが可能となる。

[0004] ところで、液晶は、一般に、粘性が高ぐ例えば室温で 50〜： LOOcps程度の粘度を 有するため、室温環境下では液滴化することができない。そこで、収容タンクを加熱 することによって液晶の粘性を低下させた状態で、吐出ヘッド内にて液晶に圧力をカロ えて、液晶をノズルから吐出するようにしている。このようにすることで、液晶を液滴化 することが可能となる (たとえば、特許文献 1参照)。

[0005] インクジェット法では、一般に、ガラス基板に対する液滴の着弾位置の精度を確保 するために、ノズルが開口する吐出ヘッドのノズルプレートを、ガラス基板の表面に極 力近づけている。そのため、ノズルの開口近傍の液晶とガラス基板との間で熱交換が 行われる。例えば、吐出ヘッドがガラス基板上のある領域に対向配置されると、前記 熱交換作用によって先ずノズルの開口近傍の液晶の温度が下がる。暫くすると、ノズ ルの開口近傍の液晶とガラス基板との温度差がなくなり、再び、ノズルの開口近傍の 液晶が高い温度に保持される。しかし、吐出ヘッドがガラス基板上の新たな領域に対 向配置されると、その新たな領域とノズルの開口近傍の液晶との間の熱交換作用に よって、再びノズルの開口近傍の液晶の温度が低下し、その後に上昇する。このよう に、吐出ヘッドとガラス基板との間の位置関係が変化して吐出ヘッドがガラス基板上 の新たな領域に対向配置される毎に、前記熱交換作用に起因して、ノズルの開口近 傍の液晶の温度が変動してしまう。そのため、液晶の粘度が変動し、 1回の吐出動作 で吐出される液晶の量がばらついてしまう。これは、均一な膜厚の液晶層を形成する ことを困難にさせる。

特許文献 1：特開 2004— 347695号公報

発明の開示

[0006] 本発明の目的は、高粘度の液状体の吐出量を精度良く制御することが可能な液滴 吐出装置、及びその液滴吐出装置を用いて製造される電気光学パネル、及びその 電気光学パネルを備える電子機器を提供することにある。

[0007] 上記の目的を達成するため、本発明の一態様では、液状体をターゲットに向けて 吐出する液滴吐出装置が提供される。その液滴吐出装置は、液状体を貯留する貯 留室と、前記ターゲットが載置されるステージと、前記ステージに対向配置される吐 出ヘッドとを備える。前記吐出ヘッドおよび前記ステージのうちの少なくとも一方が他 方に対して移動可能である。吐出ヘッドは、ノズルが形成されたノズルプレートを有す る。吐出ヘッドは、前記貯留室から供給される液状体を加圧して、該液状体をノズル 力も前記ターゲットに向けて吐出する。液滴吐出装置はさらに、前記液状体の温度を 制御すベぐ前記吐出ヘッドの周囲に設けられた温度制御部材を備える。該温度制 御部材は、前記ノズルプレートよりも前記ステージ側に延出する延出部を有する。

[0008] 本発明の別の態様では、上記液滴吐出装置を使用して製造される電気光学パネ ルが提供される。

本発明のさらに別の態様では、上記電気光学パネルを具備した電子機器が提供さ れる。

図面の簡単な説明

[0009] [図 1]本発明の一実施形態に係る液晶表示装置の概略斜視図。

[図 2]図 1の 2— 2線に沿った液晶表示装置の概略断面図。 [図 3]—実施形態に係る液滴吐出装置の概略斜視図。

[図 4]図 3の液滴吐出装置の概略断面図。

[図 5]図 3の液滴吐出装置に備えられる液滴吐出ヘッドの概略斜視図。

[図 6]図 5の 6— 6線に沿った液滴吐出ヘッドの概略断面図。

[図 7]図 1の液晶表示装置を備えた液晶テレビの斜視図。

発明を実施するための最良の形態

[0010] 以下、本発明を具体ィ匕した一実施形態を図 1〜図 6に従って説明する。

まず、図 3に示す液滴吐出装置 20を使用して製造される液晶表示装置 1について 説明する。図 1に示すように、液晶表示装置 1は、電気光学パネルとしての液晶パネ ル 2と、該液晶パネル 2に対して光（平面光) Lを照射する照射装置 3とを備えている。 照射装置 3は、液晶パネル 2の面と直交する方向（図 1における Z方向）に沿って、該 液晶パネル 2に対して光 Lを照射する。液晶パネル 2は、互いに重ね合わされた対向 基板 4と素子基板 5とを有し、対向基板 4が照射装置 3と対向している。

[0011] 対向基板 4は、四角板状の無アルカリガラス基板であって、図 2に示すように、素子 基板 5と対向する面、すなわち対向電極形成面 4aを有している。その対向電極形成 面 4a上には、対向電極 6が積層されている。対向電極 6は、例えば、錫—インジウム 酸化物 (ITO) t ヽつた光透過性導電物質で形成されて!ヽる。対向電極 6は図示しな い電源回路に電気的に接続され、該電源回路カゝら所定の共通電圧が対向電極 6〖こ 供給されるようになっている。対向電極 6上には、ラビング処理等の配向処理を施さ れた配向膜 7aが積層されている。

[0012] 図 1に示すように、素子基板 5は、対向基板 4と略同じ大きさの四角板状の無アル力 リガラス基板であって、対向基板 4と対向する面、すなわち素子形成面 5aを有してい る。その素子形成面 5a上には、図 1における X方向に沿って延びる複数の走査線 8 力 互いに所定のピッチを置いて形成されている。各走査線 8は、図示しない走査線 駆動回路に電気的に接続されている。各走査線 8には、所定のタイミングで、対応す る走査信号が供給されるようになって 、る。

[0013] また、素子形成面 5a上には、前記走査線 8と直交する方向（図 1における Y方向）に 沿って延びる複数のデータ線 9が、互いに所定のピッチを置いて形成されている。各 データ線 9は、図示しないデータ線駆動回路に電気的に接続されている。各データ 線 9には、各走査線 8に走査信号が供給されるタイミングに合わせて、表示データに 基づくデータ信号が供給されるようになって!/ヽる。

[0014] 互いに交差する走査線 8とデータ線 9とによって囲まれた素子形成面 5a上の領域 は、画素領域 10を形成している。すなわち、素子基板 5上には、 nX m個の画素領域 10がマトリックス状に配置されている。各画素領域 10内には、画素電極 11 (図 2参照 )が形成されると共に薄膜トランジスタ (TFT)等からなる図示しな ヽ制御素子が形成 されている。画素電極 11は、例えば、錫—インジウム酸ィ匕物（ITO)といった光透過 性導電物質で形成されている。画素電極 11及び制御素子は、対応する走査線 8及 びデータ線 9に接続されて!、る。

[0015] 図 2に示すように、データ線 9、走査線 8及び画素電極 11を含む層上には、ラビン グ処理等の配向処理を施された配向膜 7bが積層されている。素子基板 5と対向基板 4との間には、スぺーサ 12aを有するシール材 12が配設されている。このシール材 1 2は、四角枠状をなすように、対向基板 4及び素子基板 5の外縁に沿って延びている 。シール材 12は、素子基板 5と対向基板 4とを、言い換えれば素子形成面 5aと対向 電極形成面 4aとを、断面円形状のスぺーサ 12aの外径に相当する一定の間隔で離 間させている。

[0016] シール材 12は、素子基板 5と対向基板 4との間に、言い換えれば配向膜 7bと配向 膜 7aとの間に、封止された空間を形成する。その封止空間には、該封止空間を満た す液状体としての液晶 15よりなる液晶層 15Lが形成される。

[0017] 走査線 8が前記走査線駆動回路による線順次走査に基づいて 1本ずつ順次選択さ れると、画素領域 10内の前記制御素子が順次、選択期間中だけオン状態となる。そ して、制御素子がオン状態となるタイミングで、前記データ線駆動回路力も出力され たデータ信号が、対応するデータ線 9及び制御素子を介して、対応する前記画素電 極 11に入力される。すると、画素電極 11と対向電極 6との間の電位差に応じて液晶 1 5の配向状態が制御される。この結果、照射装置 3から液晶パネル 2に入射される平 面光 Lが液晶 15の配向状態に応じて変調され、その変調された光 Lの偏光板（図示 せず）に対する通過が許容又は遮断されることによって、液晶パネル 2の素子基板 5 側に所望の画像が表示される。

[0018] 次に、前記のように構成された液晶パネル 2を製造するために用いられる液滴吐出 装置 20について、図 3〜図 6に従って説明する。

図 3及び図 4に示す液滴吐出装置 20は、複数枚 (本実施形態では 25枚)の対向基 板 4の母材となる 1枚のマザ一基板 4M上に、液晶 15を吐出して複数の液晶層 15L を形成する装置である。被吐出体 (ターゲット）としてのマザ一基板 4Mは、大型の四 角板状の無アルカリガラス基板である。尚、図 3に示すように、そのマザ一基板 4M上 において、複数の対向基板 4がそれぞれ形成される複数の領域の各々には、公知の 方法によって、対向電極 6及び配向膜 7a (図 2参照）並びにシール材 12が予め形成 されている。例えば、シール材 12は、デイスペンサゃスクリーン印刷技術を用いて、ス ぺーサ 12aが分散されてなる紫外線硬化性榭脂等を、対向基板 4の形成領域の外 縁に沿って四角枠状に配置することによって形成される。シール材 12によって区画さ れた略四角形状の各領域が、液晶層 15Lが形成される形成領域 Sとなる（図 3参照）

[0019] 図 3に示すように、液滴吐出装置 20は、略直方体形状の基台 21を備えている。そ の基台 21の上面には、図 3における Y方向に延びる一対の案内凹溝 22が、その Y 方向における基台 21の全長にわたり形成されている。また、基台 21上には、ステー ジとしての基板ステージ 23が取付けられている。この基板ステージ 23は、図示しない Y軸モータに駆動連結されて 、る。

[0020] 所定の駆動信号が前記 Y軸モータに入力されると、 Y軸モータが正転又は逆転し て、基板ステージ 23が、図 3における Y方向に沿って、所定の速度で往動又は復動 する。本実施形態では、図 3及び図 4において基台 21の最も右側に対応する基板ス テージ 23の位置が往動位置（実線参照）として定義され、図 3及び図 4において基台 21の最も左側に対応する基板ステージ 23の位置が復動位置（2点鎖線参照）として 定義される。

[0021] 基板ステージ 23の上面は、マザ一基板 4Mが載置される載置面 24を形成しており 、マザ一基板 4Mは、その被吐出面 4Maを上側にした状態で載置面 24上に載置さ れて、基板ステージ 23に対して位置決めされる。 [0022] 基台 21の X方向における両側には、一対の支持部材 26a, 26bが立設され、その 一対の支持部材 26a, 26bには、 X方向に沿って延びる案内部材 27が架設されてい る。その案内部材 27の上側には、貯留室としての収容タンク 28が配設されている。

[0023] 図 4に示すように、収容タンク 28は、中空構造を有する箱体 28Aと、該箱体 28Aを 形成する壁の内部に埋設された貯留部用ヒータとしての収容タンク用ヒータ 28Bとを 備えている。箱体 28Aは、前記液晶 15を収容するためのものである。液晶 15の粘度 は、室温環境下では高いが、温度が高くなるに従い低下する。従って、液晶 15は温 度が高!ヽほど高 ヽ流動性を有するようになる。本実施形態で用いられる液晶 15は、 室温環境下では例えば 50〜： LOOcpsの粘度を有する力 60°Cの温度環境下では微 小な液滴を形成し得るのに十分な低 、粘度を有するようになる。

[0024] 収容タンク用ヒータ 28Bは、本実施形態においては、公知の棒状の発熱体であつ て、例えば、シリコンカーバイト（SiC)で構成されている。また、収容タンク用ヒータ 28 Bは、図示しない電源供給回路に電気的に接続され、その電源供給回路力 供給さ れる電力によって加熱されるようになっている。本実施形態においては、収容タンク 用ヒータ 28Bは、箱体 28A内にある液晶 15が 60°Cに加熱されるように、その温度が 制御されるようになっている。この結果、箱体 28A内にある液晶 15は、その粘度が十 分に低下して流動化される。

[0025] また、収容タンク 28には、流路を形成するチューブ Pが接続されている。このチュー ブ Pは可撓性を有しており、後記する吐出ヘッド 30に連通している。チューブ Pは、収 容タンク 28に貯留された液晶 15を吐出ヘッド 30に供給する。

[0026] 図 4において円 40で囲まれた拡大図は、チューブ Pの断面を示す。この拡大図に 示すように、チューブ Pの周囲全域に渡って、流路用ヒータとしてのテープ状のチュ ーブ用ヒータ PAが卷回されている。チューブ用ヒータ PAは、例えば、ニクロム線とい つた可撓性を有する発熱体である。チューブ用ヒータ PAは、前記電源供給回路に電 気的に接続され、その電源供給回路力 供給される電力によって発熱し、チューブ P を介して液晶 15を加熱する。本実施形態においては、チューブ用ヒータ PAは、チュ ーブ P内を流れる液晶 15が 60°Cに加熱されるように、その温度が制御されるようにな つている。この結果、チューブ P内を流れる液晶 15は、その粘度が十分に低下した状 態で維持される。

[0027] 図 3に示すように、案内部材 27の下部には、 X方向に沿って延びる一対の案内レ ール R力 案内部材 27の長手方向全体にわたって形成されている。案内レール尺に は、 X軸モータ（図示略）に駆動連結されて X方向及び X方向の逆方向に直線移動 するキャリッジ 29が取付けられている。キャリッジ 29の X方向における幅は、マザ一基 板 4M (被吐出面 4Ma)の X方向における幅と略同じである。所定の駆動信号を前記 X軸モータに入力すると、 X軸モータが正転又は逆転して、キャリッジ 29が X方向に 沿って往動又は復動するようになつている。本実施形態では、図 3において案内部材 27の最も左側に対応するキャリッジ 29の位置が往動位置（実線参照）として定義され 、図 3において案内部材 27の最も右側に対応するキャリッジ 29の位置が復動位置（2 点鎖線参照）として定義される。

[0028] キャリッジ 29の下部には、液滴吐出ヘッド（以下、単に「吐出ヘッド」という） 30が配 設されている。図 5は、吐出ヘッド 30を下側（基板ステージ 23側）から見た状態を示し ており、図 5において上側を向く吐出ヘッド 30の面がマザ一基板 4Mと対向する。図 5に示すように、吐出ヘッド 30は、その下側に、即ち、マザ一基板 4Mと対向する側に 、ノズルプレート 31を備えている。ノズルプレート 31の下面には、該ノズルプレート 31 を Z方向に沿って貫通するように延びる複数の吐出ノズル（以下、単に「ノズル」 t 、う 。）Nが開口しており、これらノズルは X方向に沿って一列に配列されている。尚、本 実施形態では、 X方向に沿って配列されるノズル Nの列の長さ Lnは、マザ一基板 4 Mの X方向における幅にほぼ等し!/、。

[0029] 図 6に示すように、吐出ヘッド 30は、ノズル Nにそれぞれ対応する複数（1つのみ図 示）のキヤビティ 32を有している。これらのキヤビティ 32は、共通の供給路 33に接続 されている。この供給路 33は前記チューブ P (図 4参照）に接続されており、収容タン ク 28からの液晶 15が供給路 33に供給される。チューブ Pは、前記したように、チュー ブ用ヒータ PAによって加熱されているので、同チューブ Pを介して供給路 33に供給 される液晶 15は、粘性が低下した状態にある。

[0030] 前記キヤビティ 32の上側には、振動板 34が配設されていると共に、キヤビティ 32に それぞれ対応する複数の圧電素子 35が配設されている。各圧電素子 35は、該圧電 素子 35を駆動するための駆動信号を受けて上下方向（Z方向に沿った方向）に伸縮 することによって、振動板 34を上下方向（Z方向に沿った方向）に振動させる。それに よって、各キヤビティ 32内の容積が拡大縮小させられて、キヤビティ 32内の液晶 15 に圧力が加えられる。

[0031] 図 5に示すように、吐出ヘッド 30は、その外周に、ノズルプレート 31を囲む吐出へッ ド用ヒータ 30Hを備えている。図 6に示すように、温度制御部材及びヒータとして機能 する吐出ヘッド用ヒータ 30Hは、発熱部材 HAと、該発熱部材 HAの周囲を取り囲む 保温部材 HBとを備えて 、る。

[0032] 発熱部材 HAは、本実施形態にお!、ては、公知の複数の棒状の発熱体から構成さ れたものであって、例えば、シリコンカーバイト（SiC)で構成されている。発熱部材 H Aは、前記電源供給回路に電気的に接続され、その電源供給回路カゝら供給される電 力によって発熱するようになっている。保温部材 HBは、発熱部材 HAにて発せられ た熱を吐出ヘッド 30内の液晶 15に均一に伝達するとともに、液晶 15の熱が外部に 放出されないように吐出ヘッド 30を保温するように機能する。吐出ヘッド用ヒータ 30 Hは、各キヤビティ 32内の液晶 15を加熱することによって、ノズル Nの近傍において 液晶 15の粘度を十分に低下させる。

[0033] 図 6に示すように、吐出ヘッド用ヒータ 30Hは、ノズルプレート 31よりも下側（基板ス テージ 23側）に張り出した部分（張り出し部）、言い換えればノズルプレート 31よりも 下側（基板ステージ 23側）に延出した部分 (延出部） 30Sを有する。延出部 30Sは、 ノズルプレート 31を包囲すると共に、同ノズルプレート 31よりもマザ一基板 4Mに近 接している。

[0034] 次に、液滴吐出装置 20を使用して液晶表示装置 1を製造する方法について説明 する。

まず、図 3に示すように、往動位置（実線参照）に位置する基板ステージ 23上に、被 吐出面 4Maを上側にしてマザ一基板 4Mを配置し且つ固定する。この状態において は、マザ一基板 4M (被吐出面 4Ma)は、案内部材 27と対向する位置から外れてい る。

[0035] また、前記電源回路を駆動して、収容タンク用ヒータ 28B、チューブ用ヒータ PA及 び発熱部材 HAに電力を供給する。この結果、収容タンク 28、チューブ P及び吐出 ヘッド 30内にある液晶 15がそれぞれ加熱されて流動化される。

[0036] 次に、前記 X軸モータを駆動してキャリッジ 29を往動位置（図 3の実線参照）から X 方向の逆方向に移動させて、吐出ヘッド 30を X方向に関してマザ一基板 4Mと対応 する位置に配置する。この状態で、前記 Y軸モータを駆動して、基板ステージ 23 (マ ザ一基板 4M)を Y方向に移動させる。

[0037] 基板ステージ 23の移動に伴い、吐出ヘッド 30のノズル Nが、マザ一基板 4M上に おいて X方向に沿って配列された一列分の形成領域 Sに対向する。このとき、大気を 介して互いに近接した状態で対向する吐出ヘッド 30とマザ一基板 4Mとの間で熱交 換が生じる。しかし、吐出ヘッド用ヒータ 30Hは、ノズルプレート 31よりも基板ステージ 23側に延出する延出部 30Sを有しており、その延出部 30Sがノズルプレート 31を取 り囲んでいるので、ノズルプレート 31近傍の熱が外部に逃げ出すことが抑制される。 この結果、ノズルプレート 31の温度の変動が抑制されて、ノズルプレート 31の温度が 60°C付近に維持される。

[0038] 吐出ヘッド 30のノズル Nがー列分の形成領域 Sに対向したとき、各ノズル Nに対応 する圧電素子 35に駆動信号が供給される。この結果、各圧電素子 35が収縮及び伸 張して、対応するキヤビティ 32が減圧及び加圧される。すると、各ノズル N内の液晶 1 5の界面 (メニスカス M)が Z方向及び Z方向の逆方向に振動する。このとき、液晶 15 は、加熱によってその粘度が十分に低下しているので、流動性がよい。そのため、液 晶 15はノズル Nカゝら微小な液滴 Dとなって形成領域 Sに向カゝつて吐出されて、形成 領域 S内に液滴 Dが付着する。

[0039] 以後、同様に、基板ステージ 23の Y方向への移動とノズル Nからの液滴 Dの吐出と を繰り返し、マザ一基板 4M上の全ての形成領域 Sに、予め定められた量の液晶 15 を吐出する。

[0040] その後、所定量の液晶 15が付着した 25箇所の形成領域 Sを備えるマザ一基板 4M に、 25枚分の素子基板 5の母材となるマザ一基板（図示略)を貼り合わせ、そしてダ イシングを行うことにより 25枚の液晶パネル 2を得る。次に、各液晶パネル 2に照射装 置 3を取付けて液晶表示装置 1を得る。 [0041] 本実施形態は、以下の利点を有する。

(1)本実施形態では、吐出ヘッド 30の外周に、ノズルプレート 31を取り囲む吐出へ ッド用ヒータ 30Hが設けられる。従って、ノズル Nの近傍において液晶 15の粘度を十 分に低下させた状態で維持できる。

[0042] (2)吐出ヘッド用ヒータ 30Hは、ノズルプレート 31よりも基板ステージ 23側に延出 する延出部 30Sを有しており、該延出部 30Sがノズルプレート 31を取り囲んでいる。 従って、ノズルプレート 31近傍の熱が外部に逃げ出すことが抑制される。この結果、 ノズルプレート 31の温度の変動、すなわちノズル N近傍の液晶 15の温度の変動が 抑制されて、該液晶 15の温度が 60°C付近に維持される。よって、ノズル Nの近傍で の液晶 15の粘度が十分に低下した状態で維持され、液晶 15の液滴 Dの吐出量を精 度良く制御することが可能となる。そのため、均一な膜厚を有する液晶層 15Lを形成 することができ、表示品位の優れた液晶表示装置 1を得ることができる

(3)液晶 15を貯留する収容タンク 28の壁内に、収容タンク用ヒータ 28Bが設けられ ている。収容タンク用ヒータ 28Bは、収容タンク 28内の液晶 15を、その粘度が十分に 低下するように加熱する。従って、収容タンク 28に多量の液晶 15を収容しておけば、 粘度が低くて流動性の良好な液晶 15を、常時安定して吐出ヘッド 30に供給すること ができる。

[0043] (4)収容タンク 28と吐出ヘッド 30との間を延びるチューブ Pの周囲全域に渡って、 テープ状のチューブ用ヒータ PAが設けられている。チューブ用ヒータ PAは、チュー ブ P内を流れる液晶 15を、その粘度が十分に低下するように加熱する。従って、液晶 15は収容タンク 28から吐出ヘッド 30にスムーズに流れ、粘度が低くて流動性の良好 な液晶 15を吐出ヘッド 30に供給することができる。

[0044] 次に、上述した液晶表示装置 1の電子機器への適用につ!/ヽて説明する。上記液晶 表示装置 1は、モパイル型のパーソナルコンピュータ、携帯電話、デジタルカメラ等、 種々の電子機器に適用できる。勿論、この液晶表示装置 1は、モパイル型電子機器 等の比較的小型の電子機器に限らず、比較的大型の電子機器にも適用できる。

[0045] 図 7は、上記液晶表示装置 1を適用した液晶テレビ 50の斜視図である。この液晶テ レビ 50は、液晶表示装置 1を搭載した大型テレビ用の表示ユニット 51と、スピーカー 52と、複数の操作ボタン 53とを備えている。上記のようにして製造された液晶表示装 置 1を用いた表示ユニット 51は、均一な膜厚を有する液晶層 15L (図 1参照)を備え て 、るので、輝度ムラのな 、表示品位の優れた画像を表示することができる。

[0046] 尚、上記実施形態は以下のように変更してもよい。

上記実施形態では、液滴吐出装置 20を使用して、液晶表示装置 1の液晶層 15L を形成するようにした力 これに限定されるものではない。たとえば、走査線 8ゃデー タ線 9といった導体層や、あるいは絶縁層を形成する場合に、液滴吐出装置 20を使 用してもよい。要は、室温環境下で高粘度の液状体を液滴として吐出することによつ て形成される部材であれば、上記実施形態の液滴吐出装置 20を用いて形成し得る

[0047] 上記実施形態では、収容タンク 28、チューブ P及び吐出ヘッド 30に、収容タンク用 ヒータ 28B、チューブ用ヒータ PA及び発熱部材 HAをそれぞれ設けた力 例えば、 収容タンク 28にのみにヒータ 28Bを設けるようにしてもよい。このようにすれば、液晶 表示装置 1の構成を簡単にすることができる。

[0048] 上記実施形態では、収容タンク 28、チューブ P及び吐出ヘッド 30に、ヒータ 28B, P A, 30Hをそれぞれ設けたが、液晶 15を加熱及び冷却することが可能な温度制御部 材をそれぞれ設けてもよい。このようにすれば、液晶 15の温度をより精度良く制御す ることがでさる。

[0049] 収容タンク 28、チューブ P及び吐出ヘッド 30内の液晶 15を、それぞれ異なった温 度で加熱するようにしてもよい。例えば、収容タンク 28、チューブ P、吐出ヘッド 30の 順に液晶 15の温度が低くなるように、収容タンク用ヒータ 28B、チューブ用ヒータ PA 及び発熱部材 HAに電力を供給するようにしてもよい。この場合、吐出ヘッド 30内の 液晶 15の流動性が十分に確保できる程度に、発熱部材 HAに電力を供給すればよ い。

[0050] 上記実施形態では、シール材 12 (形成領域 S)を対向基板 4用のマザ一基板 4Mに 形成して、液晶 15の液滴 Dをマザ一基板 4Mに吐出するようにしている。しかし、これ に限らず、素子基板 5用のマザ一基板にシール材 12 (形成領域 S)を形成して、液晶 15の液滴 Dをその素子基板 5用のマザ一基板に吐出するようにしてもよい。 [0051] 上記実施形態では、液晶 15を吐出させるための吐出部として、圧電素子 35が用い られた。しかし、これに限らず、例えば、抵抗加熱素子を吐出部として用いてもよい。 抵抗加熱素子は、加熱によってキヤビティ 32内に気泡を発生させ、その気泡によつ てキヤビティ 32内を加圧する。あるいは、吐出部を、デイスペンサに供給するエアを 加圧する加圧ポンプで構成して、液晶 15 (液状体)を加圧して吐出させるようにしても よい。

[0052] 上記実施形態では、液滴吐出ヘッド 30の吐出ノズル Nが液晶吐出口を形成して!/ヽ る。これに限らず、例えばエア式デイスペンサの吐出ノズルが液晶吐出口を形成して ちょい。

上記実施形態では、対向基板 4用のマザ一基板 4M上の複数の形成領域 Sに、液 晶 15 (液滴 D)を吐出している。これに限らず、 1つの形成領域 Sを有した基板 (対向 基板 4)に液滴 Dを吐出する構成にしてもよい。

[0053] 上記実施形態の液滴吐出装置 20は、液状体としての液晶を吐出して、液晶表示 装置 1を製造するために使用された。しかし、これに限らず、例えば液状体としての金 属インクを吐出する液滴吐出装置を用いて、液晶表示装置 1あるいはそれ以外の表 示装置の各種金属配線を形成するようにしてもよい。液晶表示装置 1以外の表示装 置としては、例えば、平面状の電子放出素子を有する電界効果型装置 (FEDや SE D等)を備えた表示装置がある。電界効果型装置は、電子放出素子から放出される 電子を蛍光物質に照射して、同蛍光物質を発光させる。

Claims

請求の範囲

[1] 液状体をターゲットに向けて吐出する液滴吐出装置であって、

液状体を貯留する貯留室と、

前記ターゲットが載置されるステージと、

前記ステージに対向配置される吐出ヘッドであって、該吐出ヘッドおよび前記ステ ージのうちの少なくとも一方が他方に対して移動可能であり、吐出ヘッドは、ノズルが 形成されたノズルプレートを有し、吐出ヘッドは、前記貯留室から供給される液状体 を加圧して、該液状体をノズル力 前記ターゲットに向けて吐出することと、 を備える液滴吐出装置において、

前記液状体の温度を制御すべく、前記吐出ヘッドの周囲に設けられた温度制御部 材を備え、該温度制御部材は、前記ノズルプレートよりも前記ステージ側に延出する 延出部を有することを特徴とする液滴吐出装置。

[2] 前記温度制御部材はヒータを含むことを特徴とする請求項 1に記載の液滴吐出装 置。

[3] 前記延出部は前記ノズルプレートを取り囲んでいることを特徴とする請求項 1に記 載の液滴吐出装置。

[4] 前記貯留室は、前記液状体を加熱するヒータを備えて!/ヽることを特徴とする請求項

1に記載の液滴吐出装置。

[5] 前記液状体を前記貯留室から前記吐出ヘッドに導く流路をさらに備え、前記流路 は、該流路内を流れる前記液状体を加熱するヒータを備えて ヽることを特徴とする請 求項 1に記載の液滴吐出装置。

[6] 前記液状体は液晶であることを特徴とする請求項 1に記載の液滴吐出装置。

[7] 請求項 1〜6の何れか一項に記載の液滴吐出装置を使用して製造される電気光学 ノ ネノレ。

[8] 請求項 7に記載の電気光学パネルを具備した電子機器。