JP2014041861A - インプリント装置およびインプリント方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】高精度のパターン構造体の形成が可能なインプリント装置とインプリント方法を提供する。
【解決手段】インプリント装置１を、モールドを保持するためのモールド保持部２と、基材を保持するための基材保持部４と、樹脂の液滴を吐出するインクジェットヘッド７を有する液滴供給部６と、インクジェットヘッド７から予備吐出された樹脂の液滴を受容するインク受容部材８と、を少なくとも備えたものとし、基材保持部４を、モールド保持部２と離接可能である転写位置とインクジェットヘッド７から樹脂の液滴の供給を受ける液滴供給位置との間で移動可能とし、基材保持部４に保持される基材に樹脂の液滴を供給する状態のインクジェットヘッド７とモールド保持部２との間の空間、および、インク受容部材８の近傍の空間の少なくとも一方に排気口が存在する排気部１０を備えるものとする。
【選択図】 図１
【解決手段】インプリント装置１を、モールドを保持するためのモールド保持部２と、基材を保持するための基材保持部４と、樹脂の液滴を吐出するインクジェットヘッド７を有する液滴供給部６と、インクジェットヘッド７から予備吐出された樹脂の液滴を受容するインク受容部材８と、を少なくとも備えたものとし、基材保持部４を、モールド保持部２と離接可能である転写位置とインクジェットヘッド７から樹脂の液滴の供給を受ける液滴供給位置との間で移動可能とし、基材保持部４に保持される基材に樹脂の液滴を供給する状態のインクジェットヘッド７とモールド保持部２との間の空間、および、インク受容部材８の近傍の空間の少なくとも一方に排気口が存在する排気部１０を備えるものとする。
【選択図】 図１
Description
本発明は、インプリント装置、特にインクジェット方式で樹脂を供給するインプリント装置と、所望のパターン（線、模様等の凹凸構造からなる図形）および／またはパターンを有しない平滑な薄膜を有する構造体を製造するインプリント方法に関する。
近年、フォトリソグラフィ技術に替わる微細なパターン形成技術として、インプリント方法を用いたパターン形成技術が注目されている。インプリント方法は、微細な凹凸構造を備えた型部材（モールド）を用い、凹凸構造を被成型物に転写することで微細構造を等倍転写するパターン形成技術である。例えば、光硬化性樹脂を用いたインプリント方法では、被加工体表面に被成型物として光硬化性樹脂の液滴を供給し、所望の凹凸構造を有するモールドと被加工体とを所定の距離まで近接させて凹凸構造内に光硬化性樹脂を充填し、この状態でモールド側から光を照射して光硬化性樹脂を硬化させ、その後、モールドを樹脂層から引き離すことにより、モールドが備える凹凸が反転した凹凸構造（凹凸パターン）を有するパターン構造体を形成する。
インプリント方法における光硬化性樹脂は、例えば、インクジェット方式により液量が数ｐＬ〜数十ｐＬの液滴として供給される。しかし、このような微量液滴は揮発性が高く、光硬化性樹脂の揮発成分や、モールドと被加工体が位置する転写部に供給される気体等がインプリント装置外に漏洩することによる環境汚染が問題であった。また、インプリント装置外の環境からインプリント装置に微細粒子等の汚染物質が侵入することによるパターン欠陥の発生も問題であった。このため、インプリント装置を覆う筐体を設け、筐体内に更に隔壁で囲んだ空間を設け、この隔壁内の空間に転写部（モールド、被加工体、インクジェット装置等）を配置し、筐体と隔壁との間に位置する空間の圧力を、筐体外部の圧力、隔壁内部の圧力よりも高圧あるいは低圧として、隔壁内部と筐体外部間での気体や汚染物質の漏洩、侵入を防止することが行われている（特許文献１）。
インクジェット方式による樹脂液滴の供給では、インクジェットヘッドの目詰まりを防止して吐出性能を維持するために、樹脂供給を目的とした液滴の吐出の間に、樹脂供給を目的としない液滴の予備吐出（捨て打ち、フラッシングとも呼ばれる）を定期的に行う必要がある。しかし、ｐＬ単位の微量液滴は容易に揮発しやすく、また、液滴自体も空気中にミストとして漂いやすい。このように元は樹脂液滴中に含まれていた一部あるいは全ての成分が揮発したもの（以下、揮発成分と記す）やミストが、モールドと被加工体が位置する転写部へ拡散すると、意図しない箇所へ揮発成分やミストが付着することになり、例えば、揮発成分が局所的に付着した部位の樹脂の濡れ広がり方が他の部位の樹脂と異なること、あるいは、ミストが付着することにより適切に管理された樹脂量からずれてしまうことが原因で、膜厚分布が生じたり、モールドの意図した凹部パターンへの樹脂充填が阻害されたり、あるいは、モールドと樹脂層との引き離しに影響が及んでパターン欠陥が生じたりするという問題があった。更に、インプリント装置内部へ無用の樹脂による汚染が生じるという問題があった。このような問題は、特許文献１に記載のインプリント装置においても、転写部（モールド、被加工体、インクジェット装置等）が配置された隔壁の内部で同様に生じる問題であった。
本発明は、上述のような実情に鑑みてなされたものであり、高精度のパターン構造体の形成が可能なインプリント装置とインプリント方法を提供することを目的とする。
本発明は、上述のような実情に鑑みてなされたものであり、高精度のパターン構造体の形成が可能なインプリント装置とインプリント方法を提供することを目的とする。
このような目的を達成するために、インプリント装置の第１発明は、モールドを保持するためのモールド保持部と、基材を保持するための基材保持部と、樹脂の液滴を吐出するインクジェットヘッドを有する液滴供給部と、該インクジェットヘッドから予備吐出された樹脂の液滴を受容するインク受容部材と、を少なくとも備え、前記基材保持部と前記モールド保持部と前記インクジェットヘッドは相対的な位置を変更可能であり、前記基材保持部に保持される基材に樹脂の液滴を供給する状態の前記インクジェットヘッドと前記モールド保持部との間の空間、および、前記インク受容部材の近傍の空間の少なくとも一方に排気口が存在する排気部を備えるような構成とした。
また、インプリント装置の第２発明は、第１発明の前記基材保持部が、前記モールド保持部に対向し転写を行う転写位置と、保持する基材に前記インクジェットヘッドから樹脂の液滴の供給を受ける液滴供給位置との間を移動可能であるような構成とした。
また、インプリント装置の第３発明は、第１発明の前記モールド保持部が、前記基材保持部に対向し転写を行う転写位置と、該転写位置から離れて待機するモールド待機位置との間を移動可能であるような構成とした。
また、インプリント装置の第３発明は、第１発明の前記モールド保持部が、前記基材保持部に対向し転写を行う転写位置と、該転写位置から離れて待機するモールド待機位置との間を移動可能であるような構成とした。
また、インプリント装置の第４発明は、モールドを保持するためのモールド保持部と、基材を保持するための基材保持部と、樹脂の液滴を吐出するインクジェットヘッドを有する液滴供給部と、該インクジェットヘッドから予備吐出された樹脂の液滴を受容するインク受容部材と、を少なくとも備え、前記モールド保持部と前記基材保持部と前記インクジェットヘッドは相対的な位置を変更可能であり、前記モールド保持部に保持されるモールドに樹脂の液滴を供給する状態の前記インクジェットヘッドと前記基材保持部との間の空間、および、前記インク受容部材の近傍の空間の少なくとも一方に排気口が存在する排気部を備えるような構成とした。
また、インプリント装置の第５発明は、第４発明の前記モールド保持部が、前記基材保持部に対向し転写を行う転写位置と、保持するモールドに前記インクジェットヘッドから樹脂の液滴の供給を受ける液滴供給位置との間を移動可能であるような構成とした。
また、インプリント装置の第６発明は、第４発明の前記基材保持部が、前記モールド保持部に対向し転写を行う転写位置と、該転写位置から離れて待機する基材待機位置との間を移動可能であるような構成とした。
また、インプリント装置の第７発明は、第１発明〜第６発明の前記排気部の排気口が、前記インク受容部材に連結される位置にも存在するような構成とした。
また、インプリント装置の第８発明は、第１発明〜第７発明の前記インクジェットヘッドが、前記インク受容部材の上方のヘッド待機位置と前記液滴供給位置との間を移動可能であるような構成とした。
また、インプリント装置の第９発明は、第２発明の前記インク受容部材が、前記基材保持部と共に移動可能であり、前記基材保持部が前記転写位置にあるときに、前記インクジェットヘッドの下方に位置するような構成とした。
また、インプリント装置の第１０発明は、第１発明〜第９発明の前記インクジェットヘッドと前記排気口との距離が常に一定となるように、前記排気管が移動可能、あるいは、前記排気管が前記インクジェットヘッドと連動可能であるような構成とした。
また、インプリント装置の第６発明は、第４発明の前記基材保持部が、前記モールド保持部に対向し転写を行う転写位置と、該転写位置から離れて待機する基材待機位置との間を移動可能であるような構成とした。
また、インプリント装置の第７発明は、第１発明〜第６発明の前記排気部の排気口が、前記インク受容部材に連結される位置にも存在するような構成とした。
また、インプリント装置の第８発明は、第１発明〜第７発明の前記インクジェットヘッドが、前記インク受容部材の上方のヘッド待機位置と前記液滴供給位置との間を移動可能であるような構成とした。
また、インプリント装置の第９発明は、第２発明の前記インク受容部材が、前記基材保持部と共に移動可能であり、前記基材保持部が前記転写位置にあるときに、前記インクジェットヘッドの下方に位置するような構成とした。
また、インプリント装置の第１０発明は、第１発明〜第９発明の前記インクジェットヘッドと前記排気口との距離が常に一定となるように、前記排気管が移動可能、あるいは、前記排気管が前記インクジェットヘッドと連動可能であるような構成とした。
インプリント方法の第１発明は、基材上の所望の領域にインクジェットヘッドから光硬化性樹脂の液滴を吐出して供給する液滴供給工程と、モールドと前記基材を近接させて、前記モールドと前記基材との間に前記液滴を展開して光硬化性樹脂層を形成する接触工程と、光照射を行い前記光硬化性樹脂層の所望領域を硬化させて前記凹凸構造が転写された転写樹脂層とする硬化工程と、前記転写樹脂層と前記モールドを引き離して、前記転写樹脂層であるパターン構造体を前記基材上に位置させた状態とする離型工程と、を有し、前記液滴供給工程における前記モールドと前記インクジェットヘッドとの間の空間で行われる第１排気操作、および、前記インクジェットヘッドからインク受けに光硬化性樹脂の液滴が予備吐出されたときに該インク受けの近傍の空間で行われる第２排気操作、の少なくとも一方の排気操作を行うような構成とした。
また、インプリント方法の第２発明は、モールド上の所望の領域にインクジェットヘッドから光硬化性樹脂の液滴を吐出して供給する液滴供給工程と、前記モールドと基材を近接させて、前記モールドと前記基材との間に前記液滴を展開して光硬化性樹脂層を形成する接触工程と、光照射を行い前記光硬化性樹脂層の所望領域を硬化させて前記凹凸構造が転写された転写樹脂層とする硬化工程と、前記転写樹脂層と前記モールドを引き離して、前記転写樹脂層であるパターン構造体を前記基材上に位置させた状態とする離型工程と、を有し、前記液滴供給工程における前記基材と前記インクジェットヘッドとの間の空間で行われる第１排気操作、および、前記インクジェットヘッドからインク受けに光硬化性樹脂の液滴が予備吐出されたときに該インク受けの近傍の空間で行われる第２排気操作、の少なくとも一方の排気操作を行うような構成とした。
本発明のインプリント装置は、インクジェットヘッドから吐出される液滴からの揮発成分、ミストを排気部により除去することができ、モールドや基材、インプリント装置の構成部材への無用な付着を防止することができ、パターン構造体を高い精度で製造可能である。
また、本発明のインプリント方法では、基材上に供給された液滴、および／または、インク受けに吐出された液滴からの揮発成分やミストが、モールドや基材に付着することが防止され、高精度のパターン構造体を安定して製造することができる。
また、本発明のインプリント方法では、基材上に供給された液滴、および／または、インク受けに吐出された液滴からの揮発成分やミストが、モールドや基材に付着することが防止され、高精度のパターン構造体を安定して製造することができる。
以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。
尚、図面は模式的または概念的なものであり、各部材の寸法、部材間の大きさの比等は、必ずしも現実のものと同一とは限らず、また、同じ部材等を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比が異なって表される場合もある。
尚、図面は模式的または概念的なものであり、各部材の寸法、部材間の大きさの比等は、必ずしも現実のものと同一とは限らず、また、同じ部材等を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比が異なって表される場合もある。
［インプリント装置］
図１は本発明のインプリント装置の一実施形態を示す側面図であり、図２は図１に示されるインプリント装置の平面図である。図１、図２において、本発明のインプリント装置１は、モールド１０１を保持するためのモールド保持部２と、基材１１１を保持するための基材保持部４と、基材１１１上に光硬化性樹脂の液滴を吐出するインクジェットヘッド７を備えた液滴供給部６と、インクジェットヘッド７から予備吐出された樹脂の液滴を受容するためのインク受容部材８と、排気部１０とを備えている。
本発明のインプリント装置では、モールド保持部２と基材保持部４とインクジェットヘッド７は相対的な位置を変更可能とされており、図示例のインプリント装置１では、基材保持部４が、モールド保持部２に対向し転写を行う転写位置と、保持する基材１１１にインクジェットヘッド７から樹脂の液滴の供給を受ける液滴供給位置との間を移動可能とされている。
図１は本発明のインプリント装置の一実施形態を示す側面図であり、図２は図１に示されるインプリント装置の平面図である。図１、図２において、本発明のインプリント装置１は、モールド１０１を保持するためのモールド保持部２と、基材１１１を保持するための基材保持部４と、基材１１１上に光硬化性樹脂の液滴を吐出するインクジェットヘッド７を備えた液滴供給部６と、インクジェットヘッド７から予備吐出された樹脂の液滴を受容するためのインク受容部材８と、排気部１０とを備えている。
本発明のインプリント装置では、モールド保持部２と基材保持部４とインクジェットヘッド７は相対的な位置を変更可能とされており、図示例のインプリント装置１では、基材保持部４が、モールド保持部２に対向し転写を行う転写位置と、保持する基材１１１にインクジェットヘッド７から樹脂の液滴の供給を受ける液滴供給位置との間を移動可能とされている。
（モールド保持部２）
インプリント装置１を構成するモールド保持部２は、凹凸構造領域１０２を有する面を基材保持部４方向に向けてモールド１０１を保持するものである。このモールド保持部２は、例えば、吸引による保持機構、機械挟持による保持機構、静電気による保持機構等によりモールド１０１を保持するものであり、保持機構には特に制限はない。
インプリント装置１を構成するモールド保持部２は、凹凸構造領域１０２を有する面を基材保持部４方向に向けてモールド１０１を保持するものである。このモールド保持部２は、例えば、吸引による保持機構、機械挟持による保持機構、静電気による保持機構等によりモールド１０１を保持するものであり、保持機構には特に制限はない。
（基材保持部４）
インプリント装置１を構成する基材保持部４は、インプリント用の基材１１１を保持するものであり、例えば、吸引による保持機構、機械挟持による保持機構、静電気による保持機構等により基材１１１を保持可能とされている。図示例では、基材保持部４は、液滴供給部６のインクジェットヘッド７から樹脂の液滴の供給を受ける液滴供給位置にある。この基材保持部４は、この液滴供給位置と、モールド保持部２に対向し転写を行う転写位置（図１において二点鎖線で示される位置（モールド保持部２下方の位置））との間を、図示されるｘ方向で往復移動可能とされている。このようなモールド保持部２と基材保持部４の図示されるｚ方向での離接、ｘ方向での基材保持部４の往復移動は、図示しない駆動機構部によって行われる。モールド保持部２と基材保持部４の離接は、モールド保持部２または基材保持部４の一方の駆動、あるいは、双方の駆動のいずれにより行うものであってもよい。また、駆動機構部は、液滴供給位置にて液滴供給部６のインクジェットヘッド７からの液滴の供給を受ける際に、所望の位置に液滴の供給を受けることを目的として、インクジェットヘッド７と連動し、図示のｘ方向にて基材保持部４の位置を制御するものであってもよい。
インプリント装置１を構成する基材保持部４は、インプリント用の基材１１１を保持するものであり、例えば、吸引による保持機構、機械挟持による保持機構、静電気による保持機構等により基材１１１を保持可能とされている。図示例では、基材保持部４は、液滴供給部６のインクジェットヘッド７から樹脂の液滴の供給を受ける液滴供給位置にある。この基材保持部４は、この液滴供給位置と、モールド保持部２に対向し転写を行う転写位置（図１において二点鎖線で示される位置（モールド保持部２下方の位置））との間を、図示されるｘ方向で往復移動可能とされている。このようなモールド保持部２と基材保持部４の図示されるｚ方向での離接、ｘ方向での基材保持部４の往復移動は、図示しない駆動機構部によって行われる。モールド保持部２と基材保持部４の離接は、モールド保持部２または基材保持部４の一方の駆動、あるいは、双方の駆動のいずれにより行うものであってもよい。また、駆動機構部は、液滴供給位置にて液滴供給部６のインクジェットヘッド７からの液滴の供給を受ける際に、所望の位置に液滴の供給を受けることを目的として、インクジェットヘッド７と連動し、図示のｘ方向にて基材保持部４の位置を制御するものであってもよい。
（液滴供給部６）
また、インプリント装置１を構成する液滴供給部６は、基材保持部４に保持された基材１１１上に樹脂の液滴（図示せず）を供給するものであり、インクジェット装置（図示例ではインクジェットヘッド７のみを示している）を備えている。図示例では、液滴供給部６のインクジェットヘッド７は、基材保持部４に保持された基材１１１上に樹脂の液滴を供給する液滴供給位置にある。液滴供給部６が備えるインクジェット装置は、この液滴供給位置にて基材１１１上に樹脂の液滴を供給するためのインクジェットヘッド７の所望の動作、例えば、図２に示されるｙ方向での往復動作、あるいは、このｙ方向の往復動作とｘ方向の往復動作を組み合わせた動作等を可能とする駆動部、インクジェットヘッド７へのインク供給部、および、インクジェットヘッド７と駆動部やインク供給部を制御する制御部等を具備している。また、液滴供給部６は、このような液滴供給位置とヘッド待機位置（図１において二点鎖線で示される位置）との間を、図１に示されるｘ方向でインクジェットヘッド７の往復移動を可能としている。
また、インプリント装置１を構成する液滴供給部６は、基材保持部４に保持された基材１１１上に樹脂の液滴（図示せず）を供給するものであり、インクジェット装置（図示例ではインクジェットヘッド７のみを示している）を備えている。図示例では、液滴供給部６のインクジェットヘッド７は、基材保持部４に保持された基材１１１上に樹脂の液滴を供給する液滴供給位置にある。液滴供給部６が備えるインクジェット装置は、この液滴供給位置にて基材１１１上に樹脂の液滴を供給するためのインクジェットヘッド７の所望の動作、例えば、図２に示されるｙ方向での往復動作、あるいは、このｙ方向の往復動作とｘ方向の往復動作を組み合わせた動作等を可能とする駆動部、インクジェットヘッド７へのインク供給部、および、インクジェットヘッド７と駆動部やインク供給部を制御する制御部等を具備している。また、液滴供給部６は、このような液滴供給位置とヘッド待機位置（図１において二点鎖線で示される位置）との間を、図１に示されるｘ方向でインクジェットヘッド７の往復移動を可能としている。
（インク受容部材８）
インプリント装置１を構成するインク受容部材８は、インクジェットヘッド７のヘッド待機位置の下方に位置しており、インクジェットヘッド７の吐出性能維持を目的としてヘッド待機位置で定期的に予備吐出（捨て打ち、フラッシングとも呼ばれる）される液滴を受容するものであり、例えば、所望の形状の開口部を有する有底容器を備えている。また、このような有底容器の底部に多孔質体を備えるものであってもよく、これにより液滴の受容性が向上する。多孔質体としては、無機あるいは有機の公知の多孔質体、布等、液滴の成分により溶解、劣化しない材料からなるものであれば、特に制限はない。
（排気部１０）
さらに、インプリント装置１を構成する排気部１０は、インクジェットヘッド７から吐出された樹脂の液滴からの揮発成分、ミストを除去して、モールド１０１や基材１１１、インプリント装置１の構成部材への無用な付着を防止するものである。尚、本発明においてミストとは、インクジェットヘッドを発生源とした液滴で、意図せずに装置内に漂うものを意味する。このようなミストを構成する液滴とは、インクジェットヘッドから意図して吐出したものの、基材上、モールド上、インク受容部材などの意図した所定位置に着弾しなかった液滴や、主滴の後に形成される微小な液滴（一般にサテライトと呼ばれる）や、インクジェットヘッドのノズル面に溜まった液がインクジェットヘッドの動作により振り落とされたりして生じた液滴など、意図せずに生じた液滴を含む。
インプリント装置１を構成するインク受容部材８は、インクジェットヘッド７のヘッド待機位置の下方に位置しており、インクジェットヘッド７の吐出性能維持を目的としてヘッド待機位置で定期的に予備吐出（捨て打ち、フラッシングとも呼ばれる）される液滴を受容するものであり、例えば、所望の形状の開口部を有する有底容器を備えている。また、このような有底容器の底部に多孔質体を備えるものであってもよく、これにより液滴の受容性が向上する。多孔質体としては、無機あるいは有機の公知の多孔質体、布等、液滴の成分により溶解、劣化しない材料からなるものであれば、特に制限はない。
（排気部１０）
さらに、インプリント装置１を構成する排気部１０は、インクジェットヘッド７から吐出された樹脂の液滴からの揮発成分、ミストを除去して、モールド１０１や基材１１１、インプリント装置１の構成部材への無用な付着を防止するものである。尚、本発明においてミストとは、インクジェットヘッドを発生源とした液滴で、意図せずに装置内に漂うものを意味する。このようなミストを構成する液滴とは、インクジェットヘッドから意図して吐出したものの、基材上、モールド上、インク受容部材などの意図した所定位置に着弾しなかった液滴や、主滴の後に形成される微小な液滴（一般にサテライトと呼ばれる）や、インクジェットヘッドのノズル面に溜まった液がインクジェットヘッドの動作により振り落とされたりして生じた液滴など、意図せずに生じた液滴を含む。
図示例では、排気部１０は、液滴供給位置にあるインクジェットヘッド７とモールド保持部２との間の空間に排気口１１ａが存在する排気管１１Ａ、インク受容部材８に隣接する位置に排気口１１ｂが存在する排気管１１Ｂ、および、インク受容部材８の底部に連結される位置に排気口１１ｃが存在する排気管１１Ｃと、これらの排気管１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃと接続された排気ポンプ（図示せず）を備えている。そして、排気ポンプの作動により、排気管１１Ａから図１の鎖線矢印方向への上方排気が行われ、排気管１１Ｂ，１１Ｃから図１の鎖線矢印方向への下方排気が行われる。
これにより、モールド保持部２が配設されている転写位置から排気管１１Ａの排気口１１ａ方向への気流が発生し、液滴供給位置にあるインクジェットヘッド７から基材１１１上に吐出された樹脂の液滴からの揮発成分やミストが、モールド保持部２の方向へ拡散してモールド１０１等に付着することが防止される。排気管１１Ａの配設位置は、図示例に限定されものではなく、したがって、図示例よりも下方、例えば、基材保持部４の往復移動経路よりも下方側に位置してもよいが、好ましくは基材保持部４の往復移動経路に対してモールド保持部２が配置された側と同じ側に配設されるとよい。これにより、モールド１０１等への樹脂の液滴からの揮発成分やミストの付着防止効果を向上させることができるからである。
これにより、モールド保持部２が配設されている転写位置から排気管１１Ａの排気口１１ａ方向への気流が発生し、液滴供給位置にあるインクジェットヘッド７から基材１１１上に吐出された樹脂の液滴からの揮発成分やミストが、モールド保持部２の方向へ拡散してモールド１０１等に付着することが防止される。排気管１１Ａの配設位置は、図示例に限定されものではなく、したがって、図示例よりも下方、例えば、基材保持部４の往復移動経路よりも下方側に位置してもよいが、好ましくは基材保持部４の往復移動経路に対してモールド保持部２が配置された側と同じ側に配設されるとよい。これにより、モールド１０１等への樹脂の液滴からの揮発成分やミストの付着防止効果を向上させることができるからである。
また、液滴供給位置から排気管１１Ｂの排気口１１ｂ方向への気流が発生し、ヘッド待機位置にあるインクジェットヘッド７からインク受容部材８に予備吐出された樹脂の液滴からの揮発成分やミストが、液滴供給位置や転写位置方向へ拡散して基材１１１やモールド１０１等に付着することが防止される。
さらに、排気管１１Ｃは、インク受容部材８に予備吐出された樹脂の液滴からの揮発成分やミストがインク受容部材８の外部に拡散するのを抑制する。特に、上記のようにインク受容部材８の底部に多孔質体を備える場合、液滴の表面積が増大し、インク受容部材８の周囲から排気口１１ｃへの気流により揮発しやすくなり、排気管１１Ｃへ送り込みやすくなる。
このような排気部１０は、各排気管１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃからの排気能力を個々に調整可能であってもよい。例えば、各排気管１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃと排気ポンプとの間にそれぞれ流量調整弁を設け、これらの流量調整弁を制御して、例えば、排気管１１Ａ，１１Ｂからの排気流量を大きく、排気管１１Ｃからの排気流量を小さくしてもよく、また、流量調整弁を閉じて所望の排気管からの排気を随時停止してもよい。さらに、排気部１０は、排気管１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃにより排気した樹脂の揮発成分やミストを回収するトラップ装置を具備するものであってよい。また、インプリント装置１をチャンバー内に配置し、排気した樹脂の揮発成分やミストをチャンバーの外部に排出するものであってもよく、さらに、チャンバーの外部に排気した樹脂の揮発成分やミストを回収するトラップ装置を具備するものであってよい。
さらに、排気管１１Ｃは、インク受容部材８に予備吐出された樹脂の液滴からの揮発成分やミストがインク受容部材８の外部に拡散するのを抑制する。特に、上記のようにインク受容部材８の底部に多孔質体を備える場合、液滴の表面積が増大し、インク受容部材８の周囲から排気口１１ｃへの気流により揮発しやすくなり、排気管１１Ｃへ送り込みやすくなる。
このような排気部１０は、各排気管１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃからの排気能力を個々に調整可能であってもよい。例えば、各排気管１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃと排気ポンプとの間にそれぞれ流量調整弁を設け、これらの流量調整弁を制御して、例えば、排気管１１Ａ，１１Ｂからの排気流量を大きく、排気管１１Ｃからの排気流量を小さくしてもよく、また、流量調整弁を閉じて所望の排気管からの排気を随時停止してもよい。さらに、排気部１０は、排気管１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃにより排気した樹脂の揮発成分やミストを回収するトラップ装置を具備するものであってよい。また、インプリント装置１をチャンバー内に配置し、排気した樹脂の揮発成分やミストをチャンバーの外部に排出するものであってもよく、さらに、チャンバーの外部に排気した樹脂の揮発成分やミストを回収するトラップ装置を具備するものであってよい。
排気口１１ａ，１１ｂ，１１ｃの配設位置、開口形状、開口面積等は、樹脂の液滴からの揮発成分やミストを有効に吸引排気できるものであれば特に制限はない。例えば、排気管１１Ａの排気口１１ａは、図２に示される例では、基材保持部４の幅（図２のｙ方向の長さ）とほぼ同じ長さのスリット形状であるが、更に長いスリット形状であってもよく、また、排気口１１ａの両端側が、モールド保持部２の一部を囲むようなコ字形状、あるいは、液滴供給位置にある基材保持部４の一部を囲むようなコ字形状等であってもよい。さらに、複数の円形排気口が直線形状、コ字形状等の所望の形状に配列されて排気口１１ａを構成するもの等であってもよい。但し、排気管１１Ａの排気口１１ａが、液滴供給位置にある基材１１１に樹脂液滴を供給するインクジェットヘッド７に近すぎると、樹脂液滴の供給に支障を与えることがある。このため、排気口１１ａの位置は、モールド保持部２とインクジェットヘッド７との中間位置よりもモールド保持部２寄りに設定することが好ましく、中間位置よりもインクジェットヘッド７寄りに設定する場合には、樹脂液滴の供給に支障を与えないように考慮して排気口１１ａの位置、開口形状を設定することが好ましい。さらに、排気口１１ａとインクジェットヘッド７との距離を、インクジェットヘッド７からの樹脂液滴の供給に支障を与えないような所定の距離に設定し、当該距離を保つように排気管１１Ａを移動可能としてもよく、また、排気管１１Ａがインクジェットヘッド７の動きに連動するようにしてもよい。これにより、排気口１１ａが揮発成分やミストの発生源であるインクジェットヘッド７に追従する形となるため、より効率的に揮発成分やミストを吸引排気することが可能となる。
このような排気口１１ａからの排気は常時行ってもよいが、基材保持部４が転写位置に移動した後のインプリント動作時に所望の気体を転写位置に供給する場合には、液滴供給位置にある基材１１１への樹脂液滴の供給が完了した後、排気口１１ａからの排気を停止することが好ましい。
尚、排気口１１ａの垂直方向の位置は、図１に示される例では、モールド保持部２に保持されているモールド１０１とインクジェットヘッド７とを結ぶ線と略一致しているが、これに限定されるものではなく、上述の転写位置から排気管１１Ａの排気口１１ａ方向への気流が発生し、樹脂の液滴からの揮発成分やミストが、モールド保持部２の方向へ拡散してモールド１０１等に付着することが防止される機能が発現される範囲内で、垂直方向での位置設定が許容される。したがって、排気口１１ａが存在するインクジェットヘッド７とモールド保持部２との間の空間とは、平面的な空間ではなく、水平方向と垂直方向に拡がる立体的な空間である。そして、この空間内であれば、例えば、水平方向位置および垂直方向位置が異なるように排気口１１ａを複数箇所に設定することができる。また、複数箇所に配置した排気口１１ａの排気能力を排気口ごとに変えてもよい。例えば、モールド保持部２に近接した排気口の排気能力を、樹脂液滴を供給するインクジェットヘッド７に近接した排気口の排気能力よりも高くすることで、樹脂液滴の供給に支障を与えないようにしつつ、モールド１０１等への液滴からの揮発成分やミストの付着を防止することができる。
尚、排気口１１ａの垂直方向の位置は、図１に示される例では、モールド保持部２に保持されているモールド１０１とインクジェットヘッド７とを結ぶ線と略一致しているが、これに限定されるものではなく、上述の転写位置から排気管１１Ａの排気口１１ａ方向への気流が発生し、樹脂の液滴からの揮発成分やミストが、モールド保持部２の方向へ拡散してモールド１０１等に付着することが防止される機能が発現される範囲内で、垂直方向での位置設定が許容される。したがって、排気口１１ａが存在するインクジェットヘッド７とモールド保持部２との間の空間とは、平面的な空間ではなく、水平方向と垂直方向に拡がる立体的な空間である。そして、この空間内であれば、例えば、水平方向位置および垂直方向位置が異なるように排気口１１ａを複数箇所に設定することができる。また、複数箇所に配置した排気口１１ａの排気能力を排気口ごとに変えてもよい。例えば、モールド保持部２に近接した排気口の排気能力を、樹脂液滴を供給するインクジェットヘッド７に近接した排気口の排気能力よりも高くすることで、樹脂液滴の供給に支障を与えないようにしつつ、モールド１０１等への液滴からの揮発成分やミストの付着を防止することができる。
排気管１１Ｂの排気口１１ｂは、図２に示される例では、インク受容部材８に隣接する位置に設定されているが、これに限定されるものではない。排気管１１Ｂの排気口１１ｂの位置が、液滴供給位置にある基材保持部４に近すぎると、樹脂液滴の供給に支障を与えることがある。この点とインク受容部材８に予備吐出された樹脂の液滴からの揮発成分やミストの拡散防止を考慮すると、排気口１１ｂの位置は、基材保持部４とインク受容部材８との中間位置よりもインク受容部材８寄りに配置することが好ましく、インク受容部材８の近傍の空間であれば特に制限はなく、図示例のように、インク受容部材８に隣接する位置が更に好ましい。尚、排気口１１ｂの垂直方向の位置は、図１に示される例では、インク受容部材８の上端部と同じであるが、これに限定されるものではなく、上述の、液滴供給位置から排気管１１Ｂの排気口１１ｂ方向への気流が発生し、樹脂の液滴からの揮発成分やミストが、液滴供給位置や転写位置方向へ拡散して基材１１１やモールド１０１等に付着することが防止される機能が発現される範囲内で、垂直方向での位置設定が許容される。
また、排気口１１ｂの開口形状は、図示のような直線スリット形状に限定されず、例えば、スリット形状の両端部がインク受容部材８を一部囲むようなコ字形状等であってもよい。また、複数の円形排気口が直線形状、コ字形状等に配列されて排気口１１ｂを構成するものであってもよい。尚、排気口１１ｂからの排気は、インプリント装置が稼働している間、常時行うことが好ましいが、ヘッド待機位置にあるインクジェットヘッド７からの予備吐出が行われる間のみの排気としてもよい。
排気管１１Ｃの排気口１１ｃは、図示例では、インク受容部材８の底部の中央に形成したスリット形状であるが、これに限定されず、例えば、インク受容部材８の底部の全域に形成した複数の円形排気口等であってもよい。尚、排気口１１ｃからの排気は、インプリント装置が稼働している間、常時行うことが好ましいが、ヘッド待機位置にあるインクジェットヘッド７からの予備吐出が行われる間のみの排気としてもよい。
排気管１１Ｃの排気口１１ｃは、図示例では、インク受容部材８の底部の中央に形成したスリット形状であるが、これに限定されず、例えば、インク受容部材８の底部の全域に形成した複数の円形排気口等であってもよい。尚、排気口１１ｃからの排気は、インプリント装置が稼働している間、常時行うことが好ましいが、ヘッド待機位置にあるインクジェットヘッド７からの予備吐出が行われる間のみの排気としてもよい。
図３は本発明のインプリント装置の他の実施形態を示す図１相当の側面図である。図３において、本発明のインプリント装置１′は、モールド１０１を保持するためのモールド保持部２と、基材１１１を保持するための基材保持部４と、基材１１１上に光硬化性樹脂の液滴を吐出するインクジェットヘッド７を備えた液滴供給部６′と、インクジェットヘッド７から予備吐出された樹脂の液滴を受容するためのインク受容部材８′と、排気部１０とを備えている。そして、インプリント装置１′は、液滴供給部６′が備えるインクジェットヘッド７のヘッド待機位置が異なる点、インク受容部材８′が基材保持部４と共に移動可能である点を除いて、上記のインプリント装置１と同じ構成であり、同じ部材については上記のインプリント装置１と同様の部材番号を記し、説明は省略する。
図３（Ａ）は、インプリント装置１′において基材保持部４が液滴供給部６′のインクジェットヘッド７から樹脂の液滴の供給を受ける液滴供給位置にある状態を示している。また、図３（Ｂ）は、インプリント装置１′において基材保持部４がモールド保持部２と離接可能である転写位置（モールド保持部２下方の位置）にある状態を示している。このように、インプリント装置１′においても、基材保持部４は、液滴供給位置と転写位置との間を、図示しない駆動機構部によって往復移動可能とされている。
そして、インプリント装置１′では、上記のように、インク受容部材８′が基材保持部４と共に移動可能とされている。したがって、基材保持部４が液滴供給位置にあるとき（図３（Ａ））は、インク受容部材８′は液滴供給位置の外側に位置している。また、基材保持部４が転写位置にあるとき（図３（Ｂ））は、インク受容部材８′はインクジェットヘッド７の下方に位置するように設定されている。そして、インクジェットヘッド７のヘッド待機位置は、このインク受容部材８′の上方となり、インク受容部材８′はインクジェットヘッド７から予備吐出される樹脂の液滴を受容可能な状態にある。
このインプリント装置１′では、インクジェットヘッド７を液滴供給位置の外側（図面の右方向）に移動させる機構はないが、インクジェットヘッド７の点検、整備等のために、上述のインプリント装置１のようにインクジェットヘッド７を液滴供給位置の外側に移動させる機構を具備していてもよい。
そして、インプリント装置１′では、上記のように、インク受容部材８′が基材保持部４と共に移動可能とされている。したがって、基材保持部４が液滴供給位置にあるとき（図３（Ａ））は、インク受容部材８′は液滴供給位置の外側に位置している。また、基材保持部４が転写位置にあるとき（図３（Ｂ））は、インク受容部材８′はインクジェットヘッド７の下方に位置するように設定されている。そして、インクジェットヘッド７のヘッド待機位置は、このインク受容部材８′の上方となり、インク受容部材８′はインクジェットヘッド７から予備吐出される樹脂の液滴を受容可能な状態にある。
このインプリント装置１′では、インクジェットヘッド７を液滴供給位置の外側（図面の右方向）に移動させる機構はないが、インクジェットヘッド７の点検、整備等のために、上述のインプリント装置１のようにインクジェットヘッド７を液滴供給位置の外側に移動させる機構を具備していてもよい。
上述のインプリント装置１，１′では、排気部１０の排気口が、モールド保持部２とインクジェットヘッド７との間に存在する排気口１１ａ、インク受容部材８，８′に隣接する排気口１１ｂ、インク受容部材８の底部に連結される排気口１１ｃの３種となっているが、本発明では、排気部１０が排気口１１ａおよび排気口１１ｂの少なくとも一方を具備していればよい。したがって、本発明のインプリント装置は、排気口１１ａのみを具備する態様、排気口１１ｂのみを具備する態様、排気口１１ａと排気口１１ｃを具備する態様、排気口１１ｂと排気口１１ｃを具備する態様のいずれであってもよい。
このような本発明のインプリント装置１，１′は、インクジェットヘッド７から吐出される液滴からの揮発成分、ミストを排気部１０により除去することができ、モールド１０１や基材１１１、インプリント装置１，１′の構成部材への無用な付着を防止することができ、パターン構造体を高い精度で製造可能である。
このような本発明のインプリント装置１，１′は、インクジェットヘッド７から吐出される液滴からの揮発成分、ミストを排気部１０により除去することができ、モールド１０１や基材１１１、インプリント装置１，１′の構成部材への無用な付着を防止することができ、パターン構造体を高い精度で製造可能である。
上述のインプリント装置の実施形態は例示であり、本発明はこれらの実施形態に限定されるものではない。例えば、図４に示されるように、インプリント装置１のインク受容部材８を基材保持部４の往復移動方向（図示のｘ方向）の軸線上ではなく、液滴供給位置と並列となるように配設してもよい。この場合、インクジェットヘッド７は、インク受容部材８の上方のヘッド待機位置まで図示のｙ方向に移動可能とされる。図示例では、排気管１１Ｂの排気口１１ｂの開口形状が、インク受容部材８の一部を囲むようなＬ字形状とされており、インク受容部材８から転写位置、液滴供給位置への揮発成分、ミストの拡散をより効率的に遮断するように構成されている。
また、上述のインプリント装置１，１′では、液滴供給位置にあるインクジェットヘッド７とモールド保持部２との間の空間に存在する排気部１０の排気管１１Ａが、上方への排気を行うように配設されているが、例えば、ミストが沈降し易い場合では、図５（Ａ）に示されるように、下方への排気を行うように排気管１１Ａを配設してもよい。この場合、排気部１０の排気管１１Ａは、液滴供給位置における基材保持部４の動作に支障を来さないように、配設位置、形状を設定する。排気部１０の排気管１１Ａが基材保持部４の移動の妨げとなる場合、基材保持部４が液滴供給位置から転写位置に移動する際に、図５（Ｂ）に示されるように、基材保持部４の移動の妨げとならない位置まで降下可能とすることが好ましい。
また、上述のインプリント装置１，１′では、液滴供給位置にあるインクジェットヘッド７とモールド保持部２との間の空間に存在する排気部１０の排気管１１Ａが、上方への排気を行うように配設されているが、例えば、ミストが沈降し易い場合では、図５（Ａ）に示されるように、下方への排気を行うように排気管１１Ａを配設してもよい。この場合、排気部１０の排気管１１Ａは、液滴供給位置における基材保持部４の動作に支障を来さないように、配設位置、形状を設定する。排気部１０の排気管１１Ａが基材保持部４の移動の妨げとなる場合、基材保持部４が液滴供給位置から転写位置に移動する際に、図５（Ｂ）に示されるように、基材保持部４の移動の妨げとならない位置まで降下可能とすることが好ましい。
さらに、上述のインプリント装置１，１′では、基材保持部４に保持された基材１１１に対して液滴供給位置にてインクジェットヘッド７から樹脂を供給した後、転写位置にてモールド保持部２に保持されたモールド１０１と接触させるものであるが、本発明では、モールド保持部２と基材保持部４との位置関係を逆としてもよい。すなわち、モールド保持部２は、基材保持部４に対向し転写を行う転写位置と、保持するモールド１０１にインクジェットヘッド７から樹脂の液滴の供給を受ける液滴供給位置との間を移動可能とされ、モールド保持部２に保持されたモールド１０１に対して液滴供給位置にてインクジェットヘッド７から樹脂を供給した後、転写位置にて基材保持部４に保持された基材１１１と接触させるような構成とすることができる。
図６は本発明のインプリント装置の他の実施形態を示す側面図である。図６において、本発明のインプリント装置２１は、モールド１０１を保持するためのモールド保持部２２と、基材１１１を保持するための基材保持部２４と、基材１１１上に光硬化性樹脂の液滴を吐出するインクジェットヘッド２７を備えた液滴供給部２６と、インクジェットヘッド２７から予備吐出された樹脂の液滴を受容するためのインク受容部材２８と、排気部３０とを備えている。
本発明のインプリント装置では、モールド保持部２２と基材保持部２４とインクジェットヘッド２７は相対的な位置を変更可能とされており、図示例のインプリント装置２１では、モールド保持部２２は、基材保持部２４に対向し転写を行う転写位置と、当該転写位置から離れて待機するモールド待機位置との間を移動可能とされている。
本発明のインプリント装置では、モールド保持部２２と基材保持部２４とインクジェットヘッド２７は相対的な位置を変更可能とされており、図示例のインプリント装置２１では、モールド保持部２２は、基材保持部２４に対向し転写を行う転写位置と、当該転写位置から離れて待機するモールド待機位置との間を移動可能とされている。
（モールド保持部２２）
インプリント装置２１を構成するモールド保持部２２は、上述のインプリント装置１を構成するモールド保持部２と同様のモールド保持機構を備えるものであってよく、図示例では、モールド待機位置にある。そして、モールド保持部２２は、このモールド待機位置と、基材保持部２４に対向し転写を行う転写位置（図６において二点鎖線で示される位置）との間を、図示されるｘ方向で往復移動可能とされている。尚、モールド保持部２２は、例えば、上記のｘ方向と直交するｙ方向において転写位置とモールド待機位置との間を往復移動可能であってもよい。
インプリント装置２１を構成するモールド保持部２２は、上述のインプリント装置１を構成するモールド保持部２と同様のモールド保持機構を備えるものであってよく、図示例では、モールド待機位置にある。そして、モールド保持部２２は、このモールド待機位置と、基材保持部２４に対向し転写を行う転写位置（図６において二点鎖線で示される位置）との間を、図示されるｘ方向で往復移動可能とされている。尚、モールド保持部２２は、例えば、上記のｘ方向と直交するｙ方向において転写位置とモールド待機位置との間を往復移動可能であってもよい。
（基材保持部２４）
インプリント装置２１を構成する基材保持部２４は、上述のインプリント装置１を構成する基材保持部４と同様の基材保持機構を備えるものであってよい。この基材保持部２４は、液滴供給部２６のインクジェットヘッド２７から樹脂の液滴の供給を受ける液滴供給位置に配設されており、この液滴供給位置は上記の転写位置でもある。このような基材保持部２４と上記のモールド保持部２２の図示されるｚ方向での離接、ｘ方向でのモールド保持部２２の往復移動は、図示しない駆動機構部によって行われる。モールド保持部２２と基材保持部２４の離接は、モールド保持部２２または基材保持部２４の一方の駆動、あるいは、双方の駆動のいずれにより行うものであってもよい。また、駆動機構部は、液滴供給位置にて液滴供給部２６のインクジェットヘッド２７からの液滴の供給を受ける際に、所望の位置に液滴の供給を受けることを目的として、インクジェットヘッド２７と連動し、図示のｘ方向にて基材保持部２４の位置を制御するものであってもよい。
インプリント装置２１を構成する基材保持部２４は、上述のインプリント装置１を構成する基材保持部４と同様の基材保持機構を備えるものであってよい。この基材保持部２４は、液滴供給部２６のインクジェットヘッド２７から樹脂の液滴の供給を受ける液滴供給位置に配設されており、この液滴供給位置は上記の転写位置でもある。このような基材保持部２４と上記のモールド保持部２２の図示されるｚ方向での離接、ｘ方向でのモールド保持部２２の往復移動は、図示しない駆動機構部によって行われる。モールド保持部２２と基材保持部２４の離接は、モールド保持部２２または基材保持部２４の一方の駆動、あるいは、双方の駆動のいずれにより行うものであってもよい。また、駆動機構部は、液滴供給位置にて液滴供給部２６のインクジェットヘッド２７からの液滴の供給を受ける際に、所望の位置に液滴の供給を受けることを目的として、インクジェットヘッド２７と連動し、図示のｘ方向にて基材保持部２４の位置を制御するものであってもよい。
（液滴供給部２６）
インプリント装置２１を構成する液滴供給部２６は、上述のインプリント装置１を構成する液滴供給部６と同様の構成であってよい。図示例では、液滴供給部２６のインクジェットヘッド２７は、液滴供給位置にあり、この液滴供給位置とヘッド待機位置（図６において鎖線で示される位置）との間を、図６に示されるｘ方向およびｙ方向で往復移動可能とされている。尚、ヘッド待機位置の設定箇所は、図示例に限定されるものではなく、例えば、液滴供給位置に対して図示のｘ方向と直交するｙ方向においてヘッド待機位置を設定してもよい。
インプリント装置２１を構成する液滴供給部２６は、上述のインプリント装置１を構成する液滴供給部６と同様の構成であってよい。図示例では、液滴供給部２６のインクジェットヘッド２７は、液滴供給位置にあり、この液滴供給位置とヘッド待機位置（図６において鎖線で示される位置）との間を、図６に示されるｘ方向およびｙ方向で往復移動可能とされている。尚、ヘッド待機位置の設定箇所は、図示例に限定されるものではなく、例えば、液滴供給位置に対して図示のｘ方向と直交するｙ方向においてヘッド待機位置を設定してもよい。
（インク受容部材２８）
インプリント装置２１を構成するインク受容部材２８は、上述のインプリント装置１を構成するインク受容部材８と同様の構成であってよく、インクジェットヘッド２７のヘッド待機位置の下方に位置している。
インプリント装置２１を構成するインク受容部材２８は、上述のインプリント装置１を構成するインク受容部材８と同様の構成であってよく、インクジェットヘッド２７のヘッド待機位置の下方に位置している。
（排気部３０）
さらに、インプリント装置２１を構成する排気部３０は、液滴供給位置にあるインクジェットヘッド２７とモールド待機位置にあるモールド保持部２２との間の空間に排気口３１ａが存在する排気管３１Ａ、インク受容部材２８に隣接する位置に排気口３１ｂが存在する排気管３１Ｂ、および、インク受容部材２８の底部に連結される位置に排気口３１ｃが存在する排気管３１Ｃと、これらの排気管３１Ａ，３１Ｂ，３１Ｃと接続された排気ポンプ（図示せず）を備えている。そして、排気ポンプの作動により、排気管３１Ａから図６の鎖線矢印方向への上方排気が行われ、排気管３１Ｂ，３１Ｃから図６の鎖線矢印方向への下方排気が行われる。
さらに、インプリント装置２１を構成する排気部３０は、液滴供給位置にあるインクジェットヘッド２７とモールド待機位置にあるモールド保持部２２との間の空間に排気口３１ａが存在する排気管３１Ａ、インク受容部材２８に隣接する位置に排気口３１ｂが存在する排気管３１Ｂ、および、インク受容部材２８の底部に連結される位置に排気口３１ｃが存在する排気管３１Ｃと、これらの排気管３１Ａ，３１Ｂ，３１Ｃと接続された排気ポンプ（図示せず）を備えている。そして、排気ポンプの作動により、排気管３１Ａから図６の鎖線矢印方向への上方排気が行われ、排気管３１Ｂ，３１Ｃから図６の鎖線矢印方向への下方排気が行われる。
これにより、モールド待機位置にあるモールド保持部２２から排気管３１Ａの排気口３１ａ方向への気流が発生し、液滴供給位置にあるインクジェットヘッド２７から基材１１１上に吐出された樹脂の液滴からの揮発成分やミストが、モールド待機位置にあるモールド保持部２２の方向へ拡散してモールド１０１等に付着することが防止される。排気管３１Ａの配設位置は、図示例に限定されものではなく、したがって、図示例よりも下方、例えば、モールド保持部２２の往復移動経路よりも下方側に位置してもよいが、好ましくはモールド保持部２２の往復移動経路に対して上方に配設されるとよい。これにより、モールド１０１等への樹脂の液滴からの揮発成分やミストの付着防止効果を向上させることができるからである。
また、液滴供給位置から排気管３１Ｂの排気口３１ｂ方向への気流が発生し、ヘッド待機位置にあるインクジェットヘッド２７からインク受容部材２８に予備吐出された樹脂の液滴からの揮発成分やミストが、液滴供給位置やモールド待機位置方向へ拡散して基材１１１やモールド１０１等に付着することが防止される。
さらに、排気管３１Ｃは、インク受容部材２８に予備吐出された樹脂の液滴からの揮発成分やミストがインク受容部材２８の外部に拡散するのを抑制する。特に、インク受容部材２８の底部に多孔質体を備える場合、液滴の表面積が増大し、インク受容部材２８の周囲から排気口３１ｃへの気流により揮発しやすくなり、排気管３１Ｃへ送り込みやすくなる。
また、液滴供給位置から排気管３１Ｂの排気口３１ｂ方向への気流が発生し、ヘッド待機位置にあるインクジェットヘッド２７からインク受容部材２８に予備吐出された樹脂の液滴からの揮発成分やミストが、液滴供給位置やモールド待機位置方向へ拡散して基材１１１やモールド１０１等に付着することが防止される。
さらに、排気管３１Ｃは、インク受容部材２８に予備吐出された樹脂の液滴からの揮発成分やミストがインク受容部材２８の外部に拡散するのを抑制する。特に、インク受容部材２８の底部に多孔質体を備える場合、液滴の表面積が増大し、インク受容部材２８の周囲から排気口３１ｃへの気流により揮発しやすくなり、排気管３１Ｃへ送り込みやすくなる。
このような排気部３０を構成する各排気管３１Ａ，３１Ｂ，３１Ｃは、上述のインプリント装置１を構成する排気部１０の対応する排気管１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃと同様の構成であってよく、ここでの説明は省略する。
排気管３１Ａの排気口３１ａからの排気は常時行ってもよいが、モールド保持部２２がモールド待機位置から転写位置に移動した後のインプリント動作時に所望の気体を転写位置に供給する場合には、基材１１１への樹脂液滴の供給が完了した後、排気口３１ａからの排気を停止することが好ましい。また、排気管３１Ｂの排気口３１ｂからの排気は、インプリント装置が稼働している間、常時行うことが好ましいが、ヘッド待機位置にあるインクジェットヘッド２７からの予備吐出が行われる間のみの排気としてもよい。さらに、排気管３１Ｃの排気口３１ｃからの排気は、インプリント装置が稼働している間、常時行うことが好ましいが、ヘッド待機位置にあるインクジェットヘッド２７からの予備吐出が行われる間のみの排気としてもよい。
排気管３１Ａの排気口３１ａからの排気は常時行ってもよいが、モールド保持部２２がモールド待機位置から転写位置に移動した後のインプリント動作時に所望の気体を転写位置に供給する場合には、基材１１１への樹脂液滴の供給が完了した後、排気口３１ａからの排気を停止することが好ましい。また、排気管３１Ｂの排気口３１ｂからの排気は、インプリント装置が稼働している間、常時行うことが好ましいが、ヘッド待機位置にあるインクジェットヘッド２７からの予備吐出が行われる間のみの排気としてもよい。さらに、排気管３１Ｃの排気口３１ｃからの排気は、インプリント装置が稼働している間、常時行うことが好ましいが、ヘッド待機位置にあるインクジェットヘッド２７からの予備吐出が行われる間のみの排気としてもよい。
上述のインプリント装置２１では、排気部３０の排気口が、モールド待機位置にあるモールド保持部２２と液滴供給位置にあるインクジェットヘッド２７との間に存在する排気口３１ａ、インク受容部材２８に隣接する排気口３１ｂ、インク受容部材２８の底部に連結される排気口３１ｃの３種となっているが、本発明では、排気部３０が排気口３１ａおよび排気口３１ｂの少なくとも一方を具備していればよい。したがって、本発明のインプリント装置は、排気口３１ａのみを具備する態様、排気口３１ｂのみを具備する態様、排気口３１ａと排気口３１ｃを具備する態様、排気口３１ｂと排気口３１ｃを具備する態様のいずれであってもよい。
このような本発明のインプリント装置２１は、インクジェットヘッド２７から吐出される液滴からの揮発成分、ミストを排気部３０により除去することができ、モールド１０１や基材１１１、インプリント装置２１の構成部材への無用な付着を防止することができ、パターン構造体を高い精度で製造可能である。
上述のインプリント装置の実施形態は例示であり、本発明はこれらの実施形態に限定されるものではない。例えば、ミストが沈降し易い場合には、下方への排気を行うように排気管３１Ａを配設してもよい。
このような本発明のインプリント装置２１は、インクジェットヘッド２７から吐出される液滴からの揮発成分、ミストを排気部３０により除去することができ、モールド１０１や基材１１１、インプリント装置２１の構成部材への無用な付着を防止することができ、パターン構造体を高い精度で製造可能である。
上述のインプリント装置の実施形態は例示であり、本発明はこれらの実施形態に限定されるものではない。例えば、ミストが沈降し易い場合には、下方への排気を行うように排気管３１Ａを配設してもよい。
さらに、上述のインプリント装置２１では、モールド保持部２２がモールド待機位置にあるときに、液滴供給位置にて基材保持部２４に保持された基材１１１に対してインクジェットヘッド２７から樹脂を供給し、その後、モールド保持部２２を転写位置に移動させ、モールド保持部２２に保持されたモールド１０１と樹脂を接触させるものであるが、本発明では、モールド保持部２２と基材保持部２４との位置関係を逆としてもよい。すなわち、基材保持部２４は、モールド保持部２２に対向し転写を行う転写位置と、この転写位置から離れて待機する基材待機位置との間を移動可能とされ、基材保持部２４が基材待機位置にあるときに、液滴供給位置にてモールド保持部２２に保持されたモールド１０１に対してインクジェットヘッド２７から樹脂を供給し、その後、基材保持部２４を転写位置に移動させ、基材保持部２４に保持された基材１１１と樹脂を接触させる構成とすることができる。
［インプリント方法］
本発明のインプリント方法は、液滴供給工程、接触工程、硬化工程、離型工程を有している。そして、液滴供給工程におけるモールドとインクジェットヘッドとの間の空間で行われる第１排気操作、および、インクジェットヘッドからインク受けに光硬化性樹脂の液滴が予備吐出されたときに当該インク受けの近傍の空間で行われる第２排気操作、の少なくとも一方の排気操作を行うものである。
このような本発明のインプリント方法を、上述の本発明のインプリント装置１を使用した場合を例として図７を参照しながら説明する。尚、図７では、基材とモールドのみを示し、インプリント装置１は図示していない。
＜液滴供給工程＞
本発明では、まず、液滴供給工程で、液滴供給位置にある基材保持部材４に保持されているインプリント用の基材１１１上の所望の領域に、液滴供給部６のインクジェットヘッド７から光硬化性樹脂の液滴５１を吐出して供給する（図７（Ａ））。
基材１１１は適宜選択することができ、例えば、石英やソーダライムガラス、ホウ珪酸ガラス等のガラス、シリコンやガリウム砒素、窒化ガリウム等の半導体、ポリカーボネート、ポリプロピレン、ポリエチレン等の樹脂基板、金属基板、あるいは、これらの材料の任意の組み合わせからなる複合材料基板であってよい。また、例えば、半導体やディスプレイ等に用いられる微細配線や、フォトニック結晶構造、光導波路、ホログラフィのような光学的構造等の所望のパターン構造物が形成されたものであってもよい。
本発明のインプリント方法は、液滴供給工程、接触工程、硬化工程、離型工程を有している。そして、液滴供給工程におけるモールドとインクジェットヘッドとの間の空間で行われる第１排気操作、および、インクジェットヘッドからインク受けに光硬化性樹脂の液滴が予備吐出されたときに当該インク受けの近傍の空間で行われる第２排気操作、の少なくとも一方の排気操作を行うものである。
このような本発明のインプリント方法を、上述の本発明のインプリント装置１を使用した場合を例として図７を参照しながら説明する。尚、図７では、基材とモールドのみを示し、インプリント装置１は図示していない。
＜液滴供給工程＞
本発明では、まず、液滴供給工程で、液滴供給位置にある基材保持部材４に保持されているインプリント用の基材１１１上の所望の領域に、液滴供給部６のインクジェットヘッド７から光硬化性樹脂の液滴５１を吐出して供給する（図７（Ａ））。
基材１１１は適宜選択することができ、例えば、石英やソーダライムガラス、ホウ珪酸ガラス等のガラス、シリコンやガリウム砒素、窒化ガリウム等の半導体、ポリカーボネート、ポリプロピレン、ポリエチレン等の樹脂基板、金属基板、あるいは、これらの材料の任意の組み合わせからなる複合材料基板であってよい。また、例えば、半導体やディスプレイ等に用いられる微細配線や、フォトニック結晶構造、光導波路、ホログラフィのような光学的構造等の所望のパターン構造物が形成されたものであってもよい。
光硬化性樹脂は、一般に主剤、開始剤、架橋剤により構成され、また、必要に応じて、モールドとの付着を抑制するための離型剤や、基材との密着性を向上させるための密着剤を含有している。本発明で使用する光硬化性樹脂には特に制限はなく、公知の光硬化性樹脂から、インプリントで製造するパターン構造体の用途、要求される特性、物性等に応じて適宜選択することができる。例えば、パターン構造体の用途がリソグラフィ用途であれば、エッチング耐性や粘度が低く残膜厚みが少ないことが要求され、パターン構造体の用途が光学部材であれば、特定の屈折率、光透過性が要求され、これらの要求に応じて光硬化性樹脂を適宜選択することができる。但し、いずれの用途であっても、使用するインクジェットヘッドへの適合性を満たす特性（粘度、表面張力等）を具備していることが要求される。尚、インクジェットヘッドは、その構造および材質等に応じて、適合する液体の粘度、表面張力等が異なる。このため、光硬化性樹脂の粘度や表面張力等を適宜に調整すること、あるいは、使用する光硬化性樹脂に適合するインクジェットヘッドを適宜に選択することが可能である。
液滴供給部６のインクジェットヘッド７から基材１１１上に供給する光硬化性樹脂の液滴５１の個数、隣接する液滴の距離は、個々の液滴の滴下量、必要とされる光硬化性樹脂の総量、基材に対する光硬化性樹脂の濡れ性、後工程である接触工程におけるモールド１０１と基材１１１との間隙等から適宜設定することができる。
本発明のインプリント装置１を使用した本発明のインプリント方法では、排気部１０の排気ポンプを作動させ、排気管１１Ａから図１の鎖線矢印方向への上方排気を行うことにより、モールド１０１とインクジェットヘッド７との間の空間において第１排気操作を行うことができる。これにより、液滴供給位置にあるインクジェットヘッド７から基材１１１上に吐出された樹脂の液滴からの揮発成分やミストが、転写位置方向へ拡散してモールド１０１等に付着することが防止できる。
本発明のインプリント装置１を使用した本発明のインプリント方法では、排気部１０の排気ポンプを作動させ、排気管１１Ａから図１の鎖線矢印方向への上方排気を行うことにより、モールド１０１とインクジェットヘッド７との間の空間において第１排気操作を行うことができる。これにより、液滴供給位置にあるインクジェットヘッド７から基材１１１上に吐出された樹脂の液滴からの揮発成分やミストが、転写位置方向へ拡散してモールド１０１等に付着することが防止できる。
＜接触工程＞
次に、接触工程にて、基材保持部４を液滴供給位置から転写位置に移動させ、モールド保持部２と基材保持部４とを近接させ凹凸構造を備えたモールド１０１と基材１１１を近接させて、このモールド１０１と基材１１１との間に樹脂の液滴５１を展開して光硬化性樹脂層５２を形成する（図７（Ｂ））。
図示例では、モールド１０１は凸構造部位を有するメサ構造であり、凹凸構造領域１０２は凸構造部位に位置している。このようなモールド１０１の材質は適宜選択することができるが、光硬化性樹脂層を硬化させるための照射光が透過可能な透明基材を用いて形成することができ、例えば、石英ガラス、珪酸系ガラス、フッ化カルシウム、フッ化マグネシウム、アクリルガラス等、あるいは、これらの任意の積層材を用いることができる。モールド１０１の厚みは凹凸構造の形状、材料強度、取り扱い適性等を考慮して設定することができ、例えば、３００μｍ〜１０ｍｍ程度の範囲で適宜設定することができる。尚、モールド１０１はメサ構造を具備しないものであってもよい。
次に、接触工程にて、基材保持部４を液滴供給位置から転写位置に移動させ、モールド保持部２と基材保持部４とを近接させ凹凸構造を備えたモールド１０１と基材１１１を近接させて、このモールド１０１と基材１１１との間に樹脂の液滴５１を展開して光硬化性樹脂層５２を形成する（図７（Ｂ））。
図示例では、モールド１０１は凸構造部位を有するメサ構造であり、凹凸構造領域１０２は凸構造部位に位置している。このようなモールド１０１の材質は適宜選択することができるが、光硬化性樹脂層を硬化させるための照射光が透過可能な透明基材を用いて形成することができ、例えば、石英ガラス、珪酸系ガラス、フッ化カルシウム、フッ化マグネシウム、アクリルガラス等、あるいは、これらの任意の積層材を用いることができる。モールド１０１の厚みは凹凸構造の形状、材料強度、取り扱い適性等を考慮して設定することができ、例えば、３００μｍ〜１０ｍｍ程度の範囲で適宜設定することができる。尚、モールド１０１はメサ構造を具備しないものであってもよい。
本発明のインプリント装置１を使用した本発明のインプリント方法では、この接触工程において、液滴供給部６のインクジェットヘッド７は、液滴供給位置からヘッド待機位置（図１において二点鎖線で示される位置）へ移動してインク受容部材８の上方で待機状態をとる。そして、インクジェットヘッド７の吐出性能維持を目的として、このヘッド待機位置で定期的に予備吐出を行い、インクジェットヘッド７から吐出された液滴はインク受けであるインク受容部材８に受容される。この接触工程では、排気部１０の排気ポンプを作動させ、排気管１１Ｂ，１１Ｃから図１の鎖線矢印方向への下方排気を行うことにより、インク受容部材８の近傍の空間において第２排気操作を行うことができる。これにより、ヘッド待機位置にあるインクジェットヘッド７からインク受容部材８に予備吐出された樹脂の液滴からの揮発成分やミストが、液滴供給位置や転写位置へ拡散して基材１１１やモールド１０１等に付着することを防止することができる。
＜硬化工程＞
次いで、硬化工程で、モールド１０１側から光照射を行い、光硬化性樹脂層５２を硬化させて、モールド１０１の凹凸構造が転写された転写樹脂層５５とする（図７（Ｃ））。この硬化工程では、基材１１１が光を透過する材料であれば、基材１１１側から光照射を行ってもよく、また、基材１１１とモールド１０１の両側から光照射を行ってもよい。
この硬化工程においても、上記の第２排気操作を行い、これにより、インク受容部材８に予備吐出された樹脂の液滴からの揮発成分やミストが、液滴供給位置や転写位置へ拡散して基材１１１やモールド１０１等に付着することを防止することができる。
次いで、硬化工程で、モールド１０１側から光照射を行い、光硬化性樹脂層５２を硬化させて、モールド１０１の凹凸構造が転写された転写樹脂層５５とする（図７（Ｃ））。この硬化工程では、基材１１１が光を透過する材料であれば、基材１１１側から光照射を行ってもよく、また、基材１１１とモールド１０１の両側から光照射を行ってもよい。
この硬化工程においても、上記の第２排気操作を行い、これにより、インク受容部材８に予備吐出された樹脂の液滴からの揮発成分やミストが、液滴供給位置や転写位置へ拡散して基材１１１やモールド１０１等に付着することを防止することができる。
＜離型工程＞
次に、離型工程にて、転写樹脂層５５とモールド１０１を引き離して、転写樹脂層５５であるパターン構造体６１を基材１１１上に位置させた状態とする（図７（Ｄ））。
この剥離工程においても、上記の第２排気操作を行い、これにより、インク受容部材８に予備吐出された樹脂の液滴からの揮発成分やミストが、液滴供給位置や転写位置へ拡散して基材１１１やモールド１０１等に付着することを防止することができる。
上述の本発明のインプリント方法では、液滴供給工程におけるモールドとインクジェットヘッドとの間の空間で行われる第１排気操作、および、インクジェットヘッドからインク受けに光硬化性樹脂の液滴が予備吐出されたときにインク受けの近傍の空間で行われる第２排気操作、の少なくとも一方の排気操作を行うので、基材上に供給された液滴、および／または、インク受けに吐出された液滴からの揮発成分やミストが、モールドや基材に付着することが防止され、高精度のパターン構造体を安定して製造することができる。
次に、離型工程にて、転写樹脂層５５とモールド１０１を引き離して、転写樹脂層５５であるパターン構造体６１を基材１１１上に位置させた状態とする（図７（Ｄ））。
この剥離工程においても、上記の第２排気操作を行い、これにより、インク受容部材８に予備吐出された樹脂の液滴からの揮発成分やミストが、液滴供給位置や転写位置へ拡散して基材１１１やモールド１０１等に付着することを防止することができる。
上述の本発明のインプリント方法では、液滴供給工程におけるモールドとインクジェットヘッドとの間の空間で行われる第１排気操作、および、インクジェットヘッドからインク受けに光硬化性樹脂の液滴が予備吐出されたときにインク受けの近傍の空間で行われる第２排気操作、の少なくとも一方の排気操作を行うので、基材上に供給された液滴、および／または、インク受けに吐出された液滴からの揮発成分やミストが、モールドや基材に付着することが防止され、高精度のパターン構造体を安定して製造することができる。
尚、インプリント装置が運転動作を実施していない待機時に、第１排気操作および第２排気操作のいずれか一方、あるいは、双方を実施してもよい。これは、インプリント装置の待機時には、次のインプリントを実施するために基材の載置等が行われ、この間のインクジェットヘッドの性能を持続し安定化させるために、インク受容部材に対して樹脂の予備吐出が行われる場合が考えられるからである。このような待機時の予備吐出動作により発生した揮発成分やミストがインプリント装置内部に漂っている可能性は十分にあり、これを防ぐために第１排気操作および第２排気操作の少なくとも一方を実施することが好ましい。
また、液滴供給工程の前に、予備吐出を行うことでインクジェットヘッドの吐出状態を確認するとともに安定化させておきたい場合にも、第２排気操作を実施しながら予備吐出を行うことが好ましい。
上述のインプリント方法の実施形態は例示であり、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、上述の第１排気操作と第２排気操作の一方のみを行うものであってもよい。また、液滴供給工程において、第１排気操作とともに第２排気操作も行い、液滴供給工程から離型工程までの全工程において第２排気操作を行うものであってもよい。
また、液滴供給工程の前に、予備吐出を行うことでインクジェットヘッドの吐出状態を確認するとともに安定化させておきたい場合にも、第２排気操作を実施しながら予備吐出を行うことが好ましい。
上述のインプリント方法の実施形態は例示であり、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、上述の第１排気操作と第２排気操作の一方のみを行うものであってもよい。また、液滴供給工程において、第１排気操作とともに第２排気操作も行い、液滴供給工程から離型工程までの全工程において第２排気操作を行うものであってもよい。
また、上述のインプリント方法の実施形態は、上述の本発明のインプリント装置１を使用した例であるが、上述の本発明のインプリント装置１′，２１を使用しても同様に本発明のインプリント方法の実施が可能である。また、モールドに光硬化性樹脂の液滴を供給する場合であっても実施可能であり、このときは、第１排気操作は基材とインクジェットヘッドとの間の空間で行われる。また、本発明のインプリント方法は、本発明のインプリント装置を使用しない場合であっても、液滴供給工程における基材あるいはモールドとインクジェットヘッドとの間の空間で行われる第１排気操作、および、インクジェットヘッドからインク受けに光硬化性樹脂の液滴が予備吐出されたときにインク受けの近傍の空間で行われる第２排気操作、の少なくとも一方の排気操作を行うことにより、実施可能である。
次に、実施例を挙げて本発明を更に詳細に説明する。
［実施例１］
本発明の実施例では、図４に示すような構成の本発明のインプリント装置を使用した。このインプリント装置では、液滴供給位置にある基材保持部とモールド保持部との間隔は約２５０ｍｍであり、液滴供給位置にて基材に液滴を供給する状態のインクジェットヘッドとモールド保持部との間隔は約３００ｍｍであり、基材保持部とインク受容部材との間隔は３００ｍｍであった。そして、モールド保持部から１５０ｍｍの距離に図４の排気管１１Ａに相当する排気管を配設し、この排気管は、基材保持部の幅と同じ長さのスリット形状の排気口を備えるものとした。また、インク受容部材に隣接させて図４の排気管１１Ｂに相当する排気管を配設し、この排気管は、インク受容部材の一部を囲むようなＬ字形状の排気口を備えるものとした。また、インク受容部材の底部に図４のスリット形状の排気口１１ｃに相当する排気口を設け、この排気口に排気管を接続し、さらに、排気口を覆うようにインク受容部材の底部に多孔質体としての布材を配設した。
このインプリント装置のモールド保持部にモールド（外形１５０ｍｍ×１５０ｍｍ）を装着し、また、基材保持部に基材としてシリコン基板（直径１５０ｍｍ）を装着した。
［実施例１］
本発明の実施例では、図４に示すような構成の本発明のインプリント装置を使用した。このインプリント装置では、液滴供給位置にある基材保持部とモールド保持部との間隔は約２５０ｍｍであり、液滴供給位置にて基材に液滴を供給する状態のインクジェットヘッドとモールド保持部との間隔は約３００ｍｍであり、基材保持部とインク受容部材との間隔は３００ｍｍであった。そして、モールド保持部から１５０ｍｍの距離に図４の排気管１１Ａに相当する排気管を配設し、この排気管は、基材保持部の幅と同じ長さのスリット形状の排気口を備えるものとした。また、インク受容部材に隣接させて図４の排気管１１Ｂに相当する排気管を配設し、この排気管は、インク受容部材の一部を囲むようなＬ字形状の排気口を備えるものとした。また、インク受容部材の底部に図４のスリット形状の排気口１１ｃに相当する排気口を設け、この排気口に排気管を接続し、さらに、排気口を覆うようにインク受容部材の底部に多孔質体としての布材を配設した。
このインプリント装置のモールド保持部にモールド（外形１５０ｍｍ×１５０ｍｍ）を装着し、また、基材保持部に基材としてシリコン基板（直径１５０ｍｍ）を装着した。
次に、図４の排気管１１Ａに相当する排気管を用いた排気（第１排気操作）、図４の排気管１１Ｂに相当する排気管を用いた排気（第２排気操作）、および、図４の排気口１１ｃに相当する排気口に接続した排気管を用いた排気（インク受容部材の排気口からの排気）を実施した状態で、樹脂供給位置（図１参照）にある基材保持部に保持されているシリコン基板上の中心付近に、液滴供給部のインクジェットヘッドから樹脂の液滴（６ｐＬ）を８５μｍピッチ（約３００ｄｐｉ相当）で吐出し、３０ｍｍ×４０ｍｍ角の領域へ供給した。このとき供給した樹脂は、一般に光硬化性樹脂に用いられているジシクロペンテニルアクリレートを用いた。
尚、第１排気操作の排気流量は１．０ｍ3／分、第２排気操作の排気流量は１．０ｍ3／分、インク受容部材の排気口からの排気流量は０．３ｍ3／分とした。
尚、第１排気操作の排気流量は１．０ｍ3／分、第２排気操作の排気流量は１．０ｍ3／分、インク受容部材の排気口からの排気流量は０．３ｍ3／分とした。
次いで、上記の第１排気操作を停止し、基材保持部をモールド保持部の下方の転写位置（図１参照）に移動した。同時に、インクジェットヘッドはインク受容部材の上方に移動した。この状態でインクジェットヘッドから予備吐出を０．５秒間隔で１０回行った。尚、予備吐出の液滴吐出条件は、上記の基材への樹脂供給における液滴吐出条件と同様とした。
本実施例では、モールドを用いたインプリントを行わず、上記の予備吐出が完了するまで転写位置にモールドとシリコン基板を放置してミスト等の付着が生じ得る状態を維持した。
以上の操作を完了したシリコン基板とモールドを直ちに基材保持部から取り出し、表面に存在する異物を、異物検出器を用いて検出し、粒径別に結果（３枚のシリコン基板、３個のモールドでの検出結果の平均値）を下記の表１、表２に示した。
本実施例では、モールドを用いたインプリントを行わず、上記の予備吐出が完了するまで転写位置にモールドとシリコン基板を放置してミスト等の付着が生じ得る状態を維持した。
以上の操作を完了したシリコン基板とモールドを直ちに基材保持部から取り出し、表面に存在する異物を、異物検出器を用いて検出し、粒径別に結果（３枚のシリコン基板、３個のモールドでの検出結果の平均値）を下記の表１、表２に示した。
［実施例２］
第１排気操作と第２排気操作を行い、インク受容部材の排気口からの排気を行わなかった他は、実施例１と同様の操作を行い、シリコン基板表面、モールド表面に存在する異物を実施例と同様に検出して、結果を下記の表１、表２に示した。
第１排気操作と第２排気操作を行い、インク受容部材の排気口からの排気を行わなかった他は、実施例１と同様の操作を行い、シリコン基板表面、モールド表面に存在する異物を実施例と同様に検出して、結果を下記の表１、表２に示した。
［実施例３］
第１排気操作とインク受容部材の排気口からの排気を行い、第２排気操作を行わなかった他は、実施例１と同様の操作を行い、シリコン基板表面、モールド表面に存在する異物を実施例と同様に検出して、結果を下記の表１、表２に示した。
第１排気操作とインク受容部材の排気口からの排気を行い、第２排気操作を行わなかった他は、実施例１と同様の操作を行い、シリコン基板表面、モールド表面に存在する異物を実施例と同様に検出して、結果を下記の表１、表２に示した。
［実施例４］
第２排気操作とインク受容部材の排気口からの排気を行い、第１排気操作を行わなかった他は、実施例１と同様の操作を行い、シリコン基板表面、モールド表面に存在する異物を実施例と同様に検出して、結果を下記の表１、表２に示した。
第２排気操作とインク受容部材の排気口からの排気を行い、第１排気操作を行わなかった他は、実施例１と同様の操作を行い、シリコン基板表面、モールド表面に存在する異物を実施例と同様に検出して、結果を下記の表１、表２に示した。
［実施例５］
第１排気操作のみを行い、第２排気操作とインク受容部材の排気口からの排気を行わなかった他は、実施例１と同様の操作を行い、シリコン基板表面、モールド表面に存在する異物を実施例と同様に検出して、結果を下記の表１、表２に示した。
第１排気操作のみを行い、第２排気操作とインク受容部材の排気口からの排気を行わなかった他は、実施例１と同様の操作を行い、シリコン基板表面、モールド表面に存在する異物を実施例と同様に検出して、結果を下記の表１、表２に示した。
［実施例６］
第２排気操作のみを行い、第１排気操作とインク受容部材の排気口からの排気を行わなかった他は、実施例１と同様の操作を行い、シリコン基板表面、モールド表面に存在する異物を実施例と同様に検出して、結果を下記の表１、表２に示した。
第２排気操作のみを行い、第１排気操作とインク受容部材の排気口からの排気を行わなかった他は、実施例１と同様の操作を行い、シリコン基板表面、モールド表面に存在する異物を実施例と同様に検出して、結果を下記の表１、表２に示した。
［比較例］
第１排気操作および第２排気操作を行わず、インク受容部材の排気口からの排気のみを行った他は、実施例１と同様の操作を行い、シリコン基板の表面に存在する異物を実施例と同様に検出して、結果を下記の表１、表２に示した。
第１排気操作および第２排気操作を行わず、インク受容部材の排気口からの排気のみを行った他は、実施例１と同様の操作を行い、シリコン基板の表面に存在する異物を実施例と同様に検出して、結果を下記の表１、表２に示した。
インプリント方法を用いた種々のパターン構造体の製造、被加工体へ微細加工等に適用可能であり、特に揮発、ミストが生じ易い液滴量、組成での液滴の供給が要求されるようなインプリントであっても好適に適用できる。
１，１′，２１…インプリント装置
２，２２…モールド保持部
４，２４…基材保持部
６，６′，２６…液滴供給部
７，２７…インクジェットヘッド
８，８′，２８…インク受容部材
１０，３０…排気部
１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃ，３１Ａ，３１Ｂ，３１Ｃ…排気管
１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，３１ａ，３１ｂ，３１ｃ…排気口
１０１…モールド
１１１…基材
２，２２…モールド保持部
４，２４…基材保持部
６，６′，２６…液滴供給部
７，２７…インクジェットヘッド
８，８′，２８…インク受容部材
１０，３０…排気部
１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃ，３１Ａ，３１Ｂ，３１Ｃ…排気管
１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，３１ａ，３１ｂ，３１ｃ…排気口
１０１…モールド
１１１…基材
Claims (12)
- モールドを保持するためのモールド保持部と、基材を保持するための基材保持部と、樹脂の液滴を吐出するインクジェットヘッドを有する液滴供給部と、該インクジェットヘッドから予備吐出された樹脂の液滴を受容するインク受容部材と、を少なくとも備え、
前記基材保持部と前記モールド保持部と前記インクジェットヘッドは相対的な位置を変更可能であり、
前記基材保持部に保持される基材に樹脂の液滴を供給する状態の前記インクジェットヘッドと前記モールド保持部との間の空間、および、前記インク受容部材の近傍の空間の少なくとも一方に排気口が存在する排気部を備えることを特徴とするインプリント装置。 - 前記基材保持部は、前記モールド保持部に対向し転写を行う転写位置と、保持する基材に前記インクジェットヘッドから樹脂の液滴の供給を受ける液滴供給位置との間を移動可能であることを特徴とする請求項１に記載のインプリント装置。
- 前記モールド保持部は、前記基材保持部に対向し転写を行う転写位置と、該転写位置から離れて待機するモールド待機位置との間を移動可能であることを特徴とする請求項１に記載のインプリント装置。
- モールドを保持するためのモールド保持部と、基材を保持するための基材保持部と、樹脂の液滴を吐出するインクジェットヘッドを有する液滴供給部と、該インクジェットヘッドから予備吐出された樹脂の液滴を受容するインク受容部材と、を少なくとも備え、
前記モールド保持部と前記基材保持部と前記インクジェットヘッドは相対的な位置を変更可能であり、
前記モールド保持部に保持されるモールドに樹脂の液滴を供給する状態の前記インクジェットヘッドと前記基材保持部との間の空間、および、前記インク受容部材の近傍の空間の少なくとも一方に排気口が存在する排気部を備えることを特徴とするインプリント装置。 - 前記モールド保持部は、前記基材保持部に対向し転写を行う転写位置と、保持するモールドに前記インクジェットヘッドから樹脂の液滴の供給を受ける液滴供給位置との間を移動可能であることを特徴とする請求項４に記載のインプリント装置。
- 前記基材保持部は、前記モールド保持部に対向し転写を行う転写位置と、該転写位置から離れて待機する基材待機位置との間を移動可能であることを特徴とする請求項４に記載のインプリント装置。
- 前記排気部の排気口が、前記インク受容部材に連結される位置にも存在することを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれかに記載のインプリント装置。
- 前記インクジェットヘッドは、前記インク受容部材の上方のヘッド待機位置と前記液滴供給位置との間を移動可能であることを特徴とする請求項１乃至請求項７のいずれかに記載のインプリント装置。
- 前記インク受容部材は、前記基材保持部と共に移動可能であり、前記基材保持部が前記転写位置にあるときに、前記インクジェットヘッドの下方に位置することを特徴とする請求項２に記載のインプリント装置。
- 前記インクジェットヘッドと前記排気口との距離が常に一定となるように、前記排気管が移動可能、あるいは、前記排気管が前記インクジェットヘッドと連動可能であることを特徴とする請求項１乃至請求項９のいずれかに記載のインプリント装置。
- 基材上の所望の領域にインクジェットヘッドから光硬化性樹脂の液滴を吐出して供給する液滴供給工程と、
モールドと前記基材を近接させて、前記モールドと前記基材との間に前記液滴を展開して光硬化性樹脂層を形成する接触工程と、
光照射を行い前記光硬化性樹脂層の所望領域を硬化させて前記凹凸構造が転写された転写樹脂層とする硬化工程と、
前記転写樹脂層と前記モールドを引き離して、前記転写樹脂層であるパターン構造体を前記基材上に位置させた状態とする離型工程と、を有し、
前記液滴供給工程における前記モールドと前記インクジェットヘッドとの間の空間で行われる第１排気操作、および、前記インクジェットヘッドからインク受けに光硬化性樹脂の液滴が予備吐出されたときに該インク受けの近傍の空間で行われる第２排気操作、の少なくとも一方の排気操作を行うことを特徴とするインプリント方法。 - モールド上の所望の領域にインクジェットヘッドから光硬化性樹脂の液滴を吐出して供給する液滴供給工程と、
前記モールドと基材を近接させて、前記モールドと前記基材との間に前記液滴を展開して光硬化性樹脂層を形成する接触工程と、
光照射を行い前記光硬化性樹脂層の所望領域を硬化させて前記凹凸構造が転写された転写樹脂層とする硬化工程と、
前記転写樹脂層と前記モールドを引き離して、前記転写樹脂層であるパターン構造体を前記基材上に位置させた状態とする離型工程と、を有し、
前記液滴供給工程における前記基材と前記インクジェットヘッドとの間の空間で行われる第１排気操作、および、前記インクジェットヘッドからインク受けに光硬化性樹脂の液滴が予備吐出されたときに該インク受けの近傍の空間で行われる第２排気操作、の少なくとも一方の排気操作を行うことを特徴とするインプリント方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2012182105A JP2014041861A (ja) | 2012-08-21 | 2012-08-21 | インプリント装置およびインプリント方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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| JP2017046898A Division JP2017120928A (ja) | 2017-03-13 | 2017-03-13 | インプリント装置およびインプリント方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2014041861A true JP2014041861A (ja) | 2014-03-06 |
Family
ID=50393914
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| JP2012182105A Pending JP2014041861A (ja) | 2012-08-21 | 2012-08-21 | インプリント装置およびインプリント方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2014041861A (ja) |
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