JP2012101219A - プライミング処理方法及びプライミング処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】スリットノズル72の吐出口をプライミングローラ14の頂部に対して平行に対向させ、スリットノズル72に一定量のレジスト液Rを吐出させ、その直後にプライミングローラ14に所定の回転角で往復の回転運動を行わせてから、プライミングローラ14の外周面上にレジスト液Rを巻き取る。次いで、プライミングローラ14の回転速度を一気に上げて、スリットノズル72側とプライミングローラ14側とに分かれるようにレジスト液Rの液膜を切り離し、切り離した後もプライミングローラ14の回転をそのまま継続させて、プライミングローラ14上のレジスト液膜RM1を所定の待機用回転角位置へ着かせる。
【選択図】 図12
Description
[プライミング処理装置の構成]
[プライミング処理方法の第1の方式]
[プライミング処理方法の第1の実施例]
[プライミング処理方法の第2の実施例]
[他の実施例]
14 プライミングローラ
16 洗浄機構
45 排気機構
60 モータ
62 回転制御部
65 回転機構
70 主制御部
72 スリットノズル
76 レジスト供給部
Claims (18)
- スピンレス法の塗布処理に用いるスリットノズルの吐出口付近に塗布処理の下準備として塗布液の液膜を形成するためのプライミング処理方法であって、
1回分の第1のプライミング処理のために、水平に配置された円筒状または円柱状のプライミングローラの頂部に対して所定のギャップを隔てて前記スリットノズルの吐出口を平行に対向させ、前記スリットノズルに一定量の塗布液を吐出させる第1の工程と、
前記塗布液の吐出直後に前記プライミングローラに所定の回転角で往復の回転運動を行わせる第2の工程と、
前記プライミングローラを正方向に回転させて、前記プライミングローラの外周面上に吐出された前記塗布液の一部を第1の塗布液膜として巻き取る第3の工程と、
前記プライミングローラの外周面上に巻き取られた前記第1の塗布液膜を次回のプライミング処理が行われる時まで待機させておくための第1の待機用回転角位置に着かせて、前記プライミングローラの回転を停止させる第4の工程と、
前記第1の待機用回転角位置で前記プライミングローラ上の前記第1の塗布液膜を自然乾燥させる第5の工程と、
前記プライミングローラ上の前記第1の塗布液膜を洗浄によって除去する第6の工程と
を有するプライミング処理方法。 - 前記第3の工程と前記第4の工程との間で、前記第1の塗布液膜の自然乾燥を促すために、前記第3の工程で開始した前記プライミングローラの回転をそのまま所定時間継続させる第7の工程を有する、請求項1に記載のプライミング処理方法。
- 前記第1の待機用回転角位置は、前記プライミングローラの正回転の周回方向において、前記第1の塗布液膜の後端がローラ最下部に着く回転角位置と、前記第1の塗布液膜の前端がローラ最下部に着く回転角位置との範囲内にある、請求項1または請求項2に記載のプライミング処理方法。
- 前記第1の待機用回転角位置は、前記プライミングローラの正回転の周回方向において、前記第1の塗布液膜の中心がローラ最下部に着く回転角位置と、前記第1の塗布液膜の前端がローラ最下部に着く回転角位置との範囲内にある、請求項1または請求項2に記載のプライミング処理方法。
- 前記第1の待機用回転角位置は、前記プライミングローラの正回転の周回方向において、前記第1の塗布液膜の前端がローラ最上部に着く位置である、請求項1または請求項2に記載のプライミング処理方法。
- 別の1回分の第2のプライミング処理のために、前記第1の塗布液膜を外して前記プライミングローラの頂部に対して所定のギャップを隔てて前記スリットノズルの吐出口を平行に対向させ、前記スリットノズルに一定量の塗布液を吐出させる第8の工程と、
前記塗布液の吐出直後に前記プライミングローラに所定の回転角で往復の回転運動を行わせる第9の工程と、
前記プライミングローラを正方向に回転させて、前記プライミングローラの外周面上に吐出された前記塗布液の一部を第2の塗布液膜として巻き取る第10の工程と、
前記プライミングローラの外周面上に巻き取られた前記第2の塗布液膜を次回のプライミング処理が行われる時まで待機させておくための第2の待機用回転角位置に着かせて、前記プライミングローラの回転を停止させる第11の工程と、
前記第2の待機用回転角位置で前記プライミングローラ上の前記第2の塗布液膜を自然乾燥させる第12の工程と
を有し、
前記第6の工程において、前記プライミングローラ上の前記第1および第2の塗布液膜を洗浄によって一括除去する、
請求項1〜5のいずれか一項に記載のプライミング処理方法。 - 前記第10の工程と前記第11の工程との間で、前記第2の塗布液膜の自然乾燥を促すために、前記第10の工程で開始した前記プライミングローラの回転をそのまま所定時間継続させる第13の工程を有する、請求項6に記載のプライミング処理方法。
- 前記第2の待機用回転角位置は、前記プライミングローラの正回転の周回方向において、前記第2の塗布液膜の後端がローラ最下部に着く回転角位置と、前記第2の塗布液膜の前端がローラ最下部に着く回転角位置との範囲内にある、請求項6または請求項7に記載のプライミング処理方法。
- 前記第2の待機用回転角位置は、前記プライミングローラの正回転の周回方向において、前記第2の塗布液膜の中心がローラ最下部に着く回転角位置と、前記第2の塗布液膜の前端がローラ最下部に着く回転角位置との範囲内にある、請求項6または請求項7に記載のプライミング処理方法。
- 前記第2の待機用回転角位置は、前記プライミングローラの正回転の周回方向において、前記第2の塗布液膜の前端がローラ最上部に着く位置である、請求項6または請求項7に記載のプライミング処理方法。
- 前記第2のプライミング処理が前記第1のプライミング処理の次に行われるプライミング処理であるときは、前記プライミングローラの正回転の周回方向において前記第2の塗布液膜が前記第1の塗布液膜の下流側隣に形成されるように、前記第2のプライミング処理のために前記プライミングローラの外周面上の所定の領域が充てられる、請求項6〜10のいずれか一項に記載のプライミング処理方法。
- 前記第6の工程において、前記プライミングローラを回転させながら、前記プライミングローラの外周面のうち塗布液膜が付着している領域のみに洗浄液を噴き付ける、請求項6〜11のいずれか一項に記載のプライミング処理方法。
- 前記第6の工程に先立って、前記プライミングローラの外周面上に付着している塗布液膜の範囲および膜厚を測定し、その測定結果に基づいて前記第6の工程における洗浄液の使用量を決定する、請求項6〜12のいずれか一項に記載のプライミング処理方法。
- スピンレス法の塗布処理に用いるスリットノズルの吐出口付近に塗布処理の下準備として処理液の液膜を形成するためのプライミング処理装置であって、
所定位置に水平に配置された円筒状または円柱状のプライミングローラと、
前記プライミングローラをその中心軸の回りに回転させる回転機構と、
前記プライミングローラの外周面を洗浄するために洗浄液を噴き付ける洗浄機構と、
前記プライミングローラの周囲を強制的に排気するための排気機構と、
前記回転機構、前記洗浄部および前記排気部の各動作を制御する制御部と
を有し、
1回分の第1のプライミング処理のために、水平に配置された円筒状または円柱状のプライミングローラの頂部に対して所定のギャップを隔てて前記スリットノズルの吐出口を平行に対向させ、前記スリットノズルに一定量の塗布液を吐出させ、
前記塗布液の吐出直後に前記回転機構により前記プライミングローラに所定の回転角で往復の回転運動を行わせ、
前記回転機構により前記プライミングローラを回転させて、前記プライミングローラの外周面上に吐出された前記塗布液の一部を第1の塗布液膜として巻き取り、
前記プライミングローラの外周面上に巻き取られた前記第1の塗布液膜を次回のプライミング処理が行われる時まで待機させておくための第1の待機用回転角位置に着かせて、前記プライミングローラの回転を停止させ、
前記第1の待機用回転角位置で前記プライミングローラ上の前記第1の塗布液膜を自然乾燥させ、
前記洗浄機構と前記排気機構とを作動させて前記プライミングローラ上の前記第1の塗布液膜を洗浄によって除去する、
プライミング処理装置。 - 前記プライミングローラの外周面上に前記第1塗布液膜を巻き取ってから前記プライミングローラの回転を停止させるまでの間、前記第1の塗布液膜の自然乾燥を促すために、前記回転機構による前記プライミングローラの回転をそのまま所定時間継続させる、請求項14に記載のプライミング処理装置。
- 別の1回分の第2のプライミング処理のために、前記第1の塗布膜を外して前記プライミングローラの頂部に対して所定のギャップを隔てて前記スリットノズルの吐出口を平行に対向させ、前記スリットノズルに一定量の塗布液を吐出させ、
前記塗布液の吐出直後に前記回転機構により前記プライミングローラに所定の回転角で往復の回転運動を行わせ、
前記回転機構により前記プライミングローラを回転させて、前記プライミングローラの外周面上に吐出された前記塗布液の一部を第2の塗布液膜として巻き取り、
前記プライミングローラの外周面上に巻き取られた前記第2の塗布液膜を次回のプライミング処理が行われる時まで待機させておくための第2の待機用回転角位置に着かせて、前記プライミングローラの回転を停止させ、
前記第2の待機用回転角位置で前記プライミングローラ上の前記第2の塗布液膜を自然乾燥させ、
前記洗浄機構と前記排気機構とにより前記プライミングローラ上の前記第1および第2の塗布液膜を洗浄によって一括除去する、
請求項14または請求項15に記載のプライミング処理装置。 - 前記プライミングローラの外周面上に付着している塗布液膜の範囲および膜厚を測定するための液膜測定部と、
前記一括洗浄の前に、前記液膜測定部で得られる測定結果に基づいて前記塗布液膜の一括除去で使用する洗浄液の量を決定する洗浄液使用量決定部と
を有する請求項14〜16のいずれか一項に記載のプライミング処理装置。 - 前記洗浄機構は、前記プライミングローラの外周面のうち塗布液膜が付着している領域のみに洗浄液を噴き付ける、請求項14〜17のいずれか一項に記載のプライミング処理装置。
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