JP5361657B2 - プライミング処理方法及びプライミング処理装置 - Google Patents
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Description
さらに、一括洗浄では、プライミングローラの外周面のうち塗布液膜が付着している領域のみに適量の洗浄液を噴き付けることによって、洗浄液の使用量を一層削減することができる。
なお、図示の例では、プライミングローラ14の外周面を周回方向で4等分に分割し、1回のプライミング処理における周回方向のレジスト液巻き取りサイズを75°〜85°とした。しかし、任意の分割数および巻き取りサイズが可能であり、たとえば1回当たりの周回方向巻き取りサイズを72°以下で済まし、プライミングローラ14の外周面を5分割して5回連続使用することも可能である。
Claims (5)
- 長尺形のスリットノズルを用いて被処理基板上に塗布液を塗布する塗布処理において前記スリットノズルの吐出口付近に塗布処理の下準備として塗布液の液膜を形成するためのプライミング処理方法であって、
水平に配置された円筒状または円柱状のプライミングローラの外周面をその周回方向に3つ以上の複数に分割してそれら複数の分割領域を連続する複数回のプライミング処理にそれぞれ割り当てて使用し、
1回分の第1のプライミング処理のために、前記プライミングローラの頂部に対して所定のギャップを隔てて前記スリットノズルの吐出口を平行に対向させ、前記スリットノズルに一定量の塗布液を吐出させる第1の工程と、
前記塗布液の吐出直後に前記プライミングローラを静止させた状態で所定時間そのまま放置する第2の工程と、
前記プライミングローラを回転させて、前記プライミングローラの外周面上に吐出された前記塗布液の一部を第1の塗布液膜として巻き取る第3の工程と、
前記第1の塗布液膜を巻き取った後も前記プライミングローラをそのまま回転させて、前記プライミングローラの外周面上に巻き取られた前記第1の塗布液膜を次回のプライミング処理が行われる時まで待機させておくための第1の待機用回転角位置に着かせ、そこで前記プライミングローラの回転を停止させる第4の工程と、
前記第1の待機用回転角位置で前記プライミングローラ上の前記第1の塗布液膜を自然乾燥させる第5の工程と、
前記プライミングローラ上の前記第1の塗布液膜を洗浄によって除去する第6の工程と
を有し、
前記第1の待機用回転角位置を、前記プライミングローラの正回転の周回方向において、前記第1の塗布液膜の後端がローラ最下部に着く回転角位置と前記第1の塗布液膜の前端がローラ最下部に着く回転角位置との範囲内に設定し、または前記プライミングローラの正回転の周回方向において、前記第1の塗布液膜の中心がローラ最下部に着く回転角位置と前記第1の塗布液膜の前端がローラ最下部に来る回転角位置との範囲内に設定し、または前記第1の塗布液膜の前端がローラ最上部に着く位置に設定する
プライミング処理方法。 - 別の1回分の第2のプライミング処理のために、前記プライミングローラを所定角度だけ回転させることによって、前記第1の塗布液膜を外して前記プライミングローラの頂部に対して所定のギャップを隔てて前記スリットノズルの吐出口を平行に対向させ、前記スリットノズルに一定量の塗布液を吐出させる第7の工程と、
前記塗布液の吐出直後に前記プライミングローラを静止させた状態で所定時間そのまま放置する第8の工程と、
前記プライミングローラを回転させて、前記プライミングローラの外周面上に吐出された前記塗布液の一部を第2の塗布液膜として巻き取る第9の工程と、
前記第2の塗布液膜を巻き取った後も前記プライミングローラをそのまま回転させて、前記プライミングローラの外周面上に巻き取られた前記第2の塗布液膜を次回のプライミング処理が行われる時まで待機させておくための第2の待機用回転角位置に着かせ、そこで前記プライミングローラの回転を停止させる第10の工程と、
前記第2の待機用回転角位置で前記プライミングローラ上の前記第2の塗布液膜を自然乾燥させる第11の工程と
を有し、
前記第6の工程において、前記プライミングローラ上の前記第1および第2の塗布液膜を洗浄によって一括除去し、
前記第2の待機用回転角位置を、前記プライミングローラの正回転の周回方向において、前記第2の塗布液膜の後端がローラ最下部に着く回転角位置と前記第2の塗布液膜の前端がローラ最下部に着く回転角位置との範囲内に設定し、または前記プライミングローラの正回転の周回方向において、前記第2の塗布液膜の中心がローラ最下部に着く回転角位置と前記第2の塗布液膜の前端がローラ最下部に来る回転角位置との範囲内に設定し、または前記第2の塗布液膜の前端がローラ最上部に着く位置に設定する、
請求項1に記載のプライミング処理方法。 - 前記第2のプライミング処理が前記第1のプライミング処理の次に行われるプライミング処理であるときは、前記プライミングローラの正回転の周回方向において前記第2の塗布液膜が前記第1の塗布液膜の下流側隣に形成されるように、前記第2のプライミング処理のために前記プライミングローラの外周面上の所定の領域が充てられる、請求項1または請求項2に記載のプライミング処理方法。
- 長尺形のスリットノズルを用いて被処理基板上に塗布液を塗布する塗布処理において前記スリットノズルの吐出口付近に塗布処理の下準備として処理液の液膜を形成するためのプライミング処理装置であって、
所定位置に水平に配置された円筒状または円柱状のプライミングローラと、
前記プライミングローラをその中心軸の回りに回転させる回転機構と、
前記プライミングローラの外周面を洗浄するために洗浄液を噴き付ける洗浄機構と、
前記プライミングローラの周囲を強制的に排気するための排気機構と、
前記回転機構、前記洗浄部および前記排気部の各動作を制御する制御部と
を有し、
水平に配置された円筒状または円柱状のプライミングローラの外周面をその周回方向に3つ以上の複数に分割してそれら複数の分割領域を連続する複数回のプライミング処理にそれぞれ割り当てて使用し、
1回分の第1のプライミング処理のために、前記プライミングローラの頂部に対して所定のギャップを隔てて前記スリットノズルの吐出口を平行に対向させ、前記スリットノズルに一定量の塗布液を吐出させ、
前記塗布液の吐出直後に前記プライミングローラを静止させた状態で所定時間そのまま放置し、
前記回転機構により前記プライミングローラを回転させて、前記プライミングローラの外周面上に吐出された前記塗布液の一部を第1の塗布液膜として巻き取り、
前記回転機構により前記第1の塗布液膜を巻き取った後も前記プライミングローラをそのまま回転させて、前記プライミングローラの外周面上に巻き取られた前記第1の塗布液膜を次回のプライミング処理が行われる時まで待機させておくための第1の待機用回転角位置に着かせ、そこで前記プライミングローラの回転を停止させ、
前記第1の待機用回転角位置で前記プライミングローラ上の第1の塗布液膜を自然乾燥させ、
前記洗浄機構と前記排気機構とを作動させて前記プライミングローラ上の前記第1の塗布液膜を洗浄によって除去し、
前記回転機構を通じて、前記第1の待機用回転角位置を、前記プライミングローラの正回転の周回方向において、前記第1の塗布液膜の後端がローラ最下部に着く回転角位置と前記第1の塗布液膜の前端がローラ最下部に着く回転角位置との範囲内に制御し、または前記プライミングローラの正回転の周回方向において、前記第1の塗布液膜の中心がローラ最下部に着く回転角位置と前記第1の塗布液膜の前端がローラ最下部に来る回転角位置との範囲内に制御し、または前記第1の塗布液膜の前端がローラ最上部に着く位置に制御する、
プライミング処理装置。 - 別の1回分の第2のプライミング処理のために、前記プライミングローラを所定角度だけ回転させることによって、前記第1の塗布液膜を外して 前記プライミングローラの頂部に対して所定のギャップを隔てて前記スリットノズルの吐出口を平行に対向させ、前記スリットノズルに一定量の塗布液を吐出させ、
前記塗布液の吐出直後に前記プライミングローラを静止させた状態で所定時間そのまま放置し、
前記回転機構により前記プライミングローラを回転させて、前記プライミングローラの外周面上に前記吐出された塗布液の一部を第2の塗布液膜として巻き取り、
前記回転機構により前記第2の塗布液膜を巻き取った後も前記プライミングローラをそのまま回転させて、前記プライミングローラの外周面上に巻き取られた前記第2の塗布液膜を次回のプライミング処理が行われる時まで待機させておくための第2の待機用回転角位置に着かせ、そこで前記プライミングローラの回転を停止させ、
前記第2の待機用回転角位置で前記プライミングローラ上の前記第2の塗布液膜を自然乾燥させ、
前記洗浄機構と前記排気機構とにより前記プライミングローラの外周面上の前記第1および第2の塗布液膜を洗浄によって一括除去し、
前記回転機構を通じて、前記第2の待機用回転角位置を、前記プライミングローラの正回転の周回方向において、前記第2の塗布液膜の後端がローラ最下部に着く回転角位置と前記第2の塗布液膜の前端がローラ最下部に着く回転角位置との範囲内に制御し、または前記プライミングローラの正回転の周回方向において、前記第2の塗布液膜の中心がローラ最下部に着く回転角位置と前記第2の塗布液膜の前端がローラ最下部に来る回転角位置との範囲内に制御し、または前記第2の塗布液膜の前端がローラ最上部に着く位置に制御する、
請求項4に記載のプライミング処理装置。
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