CN102039254A - 启动加注处理方法和启动加注处理装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种能保证启动加注处理的可靠性且能进一步减少清洗液的使用量的启动加注处理方法和启动加注处理装置。使狭缝式喷嘴(72)的喷出口与启动加注辊(14)的顶部平行地相对，使狭缝式喷嘴(72)喷出一定量的抗蚀液(R)，保持该状态地放置该抗蚀液(R)规定时间。然后，使启动加注辊(14)开始旋转而将抗蚀液(R)绕涂在其外周面上。然后，瞬间提高启动加注辊(14)的旋转速度，以将该液膜分成狭缝式喷嘴(72)侧和启动加注辊(14)侧的液膜的方式断开抗蚀液(R)的液膜启动加注，在抗蚀液(R)的液膜断开后仍然使启动加注辊(14)继续旋转，使启动加注辊(14)上的抗蚀液(RM1)到达规定的待机用旋转角度位置。

Description

启动加注处理方法和启动加注处理装置
技术领域
本发明涉及一种启动加注(priming)处理方法和启动加注处理装置，用于在非旋涂法(spinless)的涂敷处理所用的狭缝式喷嘴的喷出口附近形成处理液的液膜，以作为涂敷处理的预先准备。
背景技术
在LCD等平板显示器(FPD)的制造工艺中的光蚀刻工序中，多使用非旋涂法，该非旋涂法是使具有狭缝状喷出口的长条形的狭缝式喷嘴进行扫描，从而在被处理基板(例如玻璃基板)上涂敷抗蚀液。
在这样的非旋涂法中，希望在防止抗蚀剂涂敷膜的膜厚的不均匀性和涂敷不均的基础上，使在涂敷扫描过程中喷出到基板上的抗蚀液在扫描方向上绕到狭缝式喷嘴的背面侧而形成的弯液面(meniscus)在喷嘴长度方向上对齐成水平一条直线，因此，在涂敷扫描即将开始之前，在狭缝式喷嘴的喷出口和基板之间涂敷间隙中塞满适量的抗蚀液而使该喷出口和基板之间不存在间隙是必要条件。为了满足该必要条件，作为涂敷扫描的预先准备，进行从狭缝式喷嘴的喷出口到背面下端部形成抗蚀液的液膜的启动加注处理。
有代表性的启动加注处理方法如下所述：在涂敷处理部附近水平地设置具有与狭缝式喷嘴相同或相同长度以上的长度的圆筒状的启动加注辊，使狭缝式喷嘴隔着微小的间隙接近到与启动加注辊的顶部相对的位置而喷出抗蚀液，之后立即使启动加注辊沿规定方向旋转。于是，喷出到启动加注辊的顶部附近的抗蚀液绕到狭缝式喷嘴的背面下部而卷绕在启动加注辊的外周面上，抗蚀液的液膜以分成狭缝式喷嘴侧和启动加注辊侧的形式被分离。在狭缝式喷嘴上从喷嘴喷出口到背面下端部残留有抗蚀液的液膜。
以往的通常的启动加注处理装置不仅具有用于驱动启动加注辊旋转的旋转机构，还具有用于清洁启动加注辊的刮削器(scraper)、清洗喷嘴和干燥喷嘴等，当1次启动加注处理结束时，作为该启动加注处理的后处理，利用旋转机构使启动加注辊连续旋转而利用刮削器自启动加注辊的外周面刮掉抗蚀液，然后利用清洗喷嘴和干燥喷嘴分别对启动加注辊的外周面喷射清洗液和干燥气体。
但是，在1次的启动加注处理中，启动加注辊上的用于接受从狭缝式喷嘴喷出的抗蚀液而绕涂该抗蚀液的区域由于狭缝式喷嘴、启动加注辊的尺寸的不同而不同，该区域无需是启动加注辊的整周(360°)，通常是半周(180°)以下，也可以是1/4周(90°)以下或1/5周(72°)以下。而且，以往的通常的启动加注处理装置在每次进行启动加注处理时，作为后处理均如上所述那样使启动加注辊连续旋转而对启动加注辊的整个外周面(整周)喷射清洗液，因此存在需要大量的清洗液(通常为稀释剂(thinner))的问题。
为了解决该问题，本申请人在专利文献1中公开了如下启动加注处理方法，即，为了进行1次启动加注处理，隔开规定的间隙地相对配置狭缝式喷嘴的喷出口和启动加注辊的上端，从狭缝式喷嘴喷出一定量的处理液或涂敷液(例如抗蚀液)，并且使启动加注辊旋转规定的旋转角度，在该启动加注处理中使用启动加注辊的半周以下的局部表面区域，在连续的规定次数的启动加注处理结束之后，统一清洗启动加注辊的整个外周面。
在该启动加注处理方法中，将启动加注辊的外周面沿该启动加注辊的周向分成多个区域，在连续的规定次数的启动加注处理中依次分配地使用上述的分开区域(局部表面区域)，之后统一清洗启动加注辊的整个外周面。在该统一清洗处理中，一边利用旋转机构使启动加注辊连续旋转一边使清洗机构和干燥部进行动作，从而统一清洗启动加注辊的整个外周面，在进行各启动加注处理时，不用设置用于将绕涂在启动加注辊的表面上的涂敷液的液膜刮掉的刮削器，且能够节省在启动加注处理后的清洗处理中所消耗的清洗液，并且还能防止在进行清洗处理时产生微粒。
专利文献1：日本特开2007-237046
发明内容
本发明是本申请人在上述专利文献1中公开的启动加注处理方法的改进版发明，并且是本申请人从个人观点出发、考虑到启动加注处理的成品率以及可靠性且能够更大程度地减少在启动加注处理中使用的清洗液的发明。
即，本发明提供一种能够保证启动加注处理的可靠性并且能够更大程度地减少清洗液的使用量的启动加注处理方法和启动加注处理装置。
本发明的第1技术方案提供一种启动加注处理方法，该方法用于在非旋涂法的涂敷处理用的狭缝式喷嘴的喷出口附近形成涂敷液的液膜，以作为涂敷处理的预先准备，其中，该方法包括下述工序：第1工序，为了进行1次量的第1启动加注处理，使上述狭缝式喷嘴的喷出口相对于水平配置的圆筒状或圆柱状的启动加注辊的顶部隔开规定间隙而与该启动加注辊的顶部平行地相对，然后使上述狭缝式喷嘴喷出一定量的涂敷液；第2工序，在上述那样喷出了涂敷液后，立即在使上述启动加注辊静止的状态下保持不变地放置该涂敷液规定时间；第3工序，使上述启动加注辊旋转，将被喷出的上述涂敷液的一部分作为第1涂敷液膜绕涂在上述启动加注辊的外周面上；第4工序，使绕涂在上述启动加注辊的外周面上的上述第1涂敷液膜到达第1待机用旋转角度位置，然后使上述启动加注辊停止旋转，上述第1涂敷液膜在该第1待机用旋转角度位置待机至下一次启动加注处理开始时；第5工序，使上述启动加注辊上的上述第1涂敷液膜在上述第1待机用旋转角度位置自然干燥；第6工序，利用清洗而去除上述启动加注辊上的上述第1涂敷液膜。
另外，本发明的第1技术方案还提供一种启动加注处理装置，该装置用于在非旋涂法的涂敷处理所用的狭缝式喷嘴的喷出口附近形成处理液的液膜，以作为涂敷处理的预先准备，其中，该装置包括：启动加注辊，其为圆筒状或圆柱状且水平地配置在规定位置；旋转机构，其用于使上述启动加注辊绕该启动加注辊的中心轴线进行旋转；清洗机构，其用于喷射清洗液，以清洗上述启动加注辊的外周面；排气机构，其用于对上述启动加注辊的周围进行强制性的排气；控制部，其用于控制上述旋转机构、上述清洗部和上述排气部的各动作，该装置为了进行1次量的第1启动加注处理，使上述狭缝式喷嘴的喷出口相对于水平配置的圆筒状或圆柱状的启动加注辊的顶部隔开规定间隙而与该启动加注辊的顶部平行地相对，使上述狭缝式喷嘴喷出一定量的涂敷液，在上述那样喷出了涂敷液后，立即保持使上述启动加注辊静止的状态不变地放置该涂敷液规定时间，然后利用上述旋转机构使上述启动加注辊旋转，将被喷出的上述涂敷液的一部分作为第1涂敷液膜绕涂在上述启动加注辊的外周面上，然后使绕涂在上述启动加注辊的外周面上的上述第1涂敷液膜到达第1待机用旋转角度位置，之后使上述启动加注辊停止旋转，上述第1涂敷液膜在该第1待机用旋转角度位置待机至下一次启动加注处理开始时，使上述启动加注辊上的上述第1涂敷液膜在上述第1待机用旋转角度位置自然干燥，之后使上述清洗机构和上述排气机构进行动作，利用清洗而去除上述启动加注辊上的上述第1涂敷液膜。
在上述第1技术方案的启动加注处理方法或启动加注处理装置中，将启动加注辊的外周面沿该启动加注辊的周向分开成多个区域，在连续的规定次数的启动加注处理中分别分配地使用上述分开区域。并且，在除了最后一次启动加注处理之外的各启动加注中，在绕涂了各抗蚀液膜后立即使该抗蚀液膜向规定的各待机用旋转角度位置移动，在该待机用旋转角度位置待机至下一次启动加注处理开始时，从而能够防止各涂敷液膜(特别是液膜的一端的积液部)发生液体下垂现象，由此能够形成自然干燥的未干透状态。
这样，由于能够防止涂敷液膜在启动加注辊上发生液体下垂现象，因此不会弄脏该涂敷液膜旁边的未使用分开区域，因而之后的启动加注处理不会被之前的启动加注处理影响，能够提高启动加注处理的再现性和可靠性。
另外，由于将附着在启动加注辊上的涂敷液膜形成为自然干燥的半干状态的涂敷液膜而清洗该涂敷液膜、或在完全液状的状态下清洗该涂敷液膜，因此该涂敷液膜容易被洗掉，能够减轻清洗机构的负担，且能够减少清洗液的使用量。
此外，在统一清洗时，只对启动加注辊的外周面的附着有涂敷液膜的区域喷射适量的清洗液，从而能够更大程度地减少清洗液的使用量。
本发明的第2技术方案提供一种启动加注处理方法，该方法用于在非旋涂法的涂敷处理所用的狭缝式喷嘴的喷出口附近形成涂敷液的液膜，以作为涂敷处理的预先准备，其中，该方法包括：第1工序，为了进行1次量的第1启动加注处理，使上述狭缝式喷嘴的喷出口相对于水平配置的圆筒状或圆柱状的启动加注辊的顶部隔开规定间隙而与该启动加注辊的顶部平行地相对，然后使上述狭缝式喷嘴喷出一定量的涂敷液；第2工序，在上述那样喷出了涂敷液后立即使上述启动加注辊以规定的旋转角度进行往返的旋转运动；第3工序，使上述启动加注辊正向旋转，将被喷出的上述涂敷液的一部分作为第1涂敷液膜绕涂在上述启动加注辊的外周面上；第4工序，使绕涂在上述启动加注辊的外周面上的上述第1涂敷液膜到达第1待机用旋转角度位置，然后使上述启动加注辊停止旋转，上述第1涂敷液膜在该第1待机用旋转角度位置待机至下一次启动加注处理开始时；第5工序，使上述启动加注辊上的上述第1涂敷液膜在上述第1待机用旋转角度位置自然干燥；第6工序，利用清洗而去除上述启动加注辊上的上述第1涂敷液膜。
另外，本发明的第2技术方案还提供一种启动加注处理装置，该装置用于在非旋涂法的涂敷处理所用的狭缝式喷嘴的喷出口附近形成处理液的液膜，以作为涂敷处理的预先准备，其中，该装置包括：启动加注辊，其为圆筒状或圆柱状且水平地配置在规定位置；旋转机构，其用于使上述启动加注辊绕该启动加注辊的中心轴线进行旋转；清洗机构，其用于喷射清洗液，以清洗上述启动加注辊的外周面；排气机构，其用于对上述启动加注辊的周围进行强制性的排气；控制部，其用于控制上述旋转机构、上述清洗部和上述排气部的各动作，该装置为了进行1次量的第1启动加注处理，使上述狭缝式喷嘴的喷出口相对于水平配置的圆筒状或圆柱状的启动加注辊的顶部隔开规定间隙而与该启动加注辊平行地相对，然后使上述狭缝式喷嘴喷出一定量的涂敷液，在上述那样喷出了涂敷液后立即利用上述旋转机构使上述启动加注辊以规定的旋转角度进行往返的旋转运动，然后利用上述旋转机构使上述启动加注辊旋转，将被喷出的上述涂敷液的一部分作为第1涂敷液膜绕涂在上述启动加注辊的外周面上，然后使绕涂在上述启动加注辊的外周面上的上述第1涂敷液膜到达第1待机用旋转角度位置，之后使上述启动加注辊停止旋转，上述第1涂敷液膜在该第1待机用旋转角度位置待机至下一次启动加注处理开始时，在上述第1待机用旋转角度位置使上述启动加注辊上的上述第1涂敷液膜自然干燥，之后使上述清洗机构和上述排气机构进行动作，利用清洗而去除上述启动加注辊上的上述第1涂敷液膜。
在上述第2技术方案的启动加注处理方法或启动加注处理装置中，在喷出了涂敷液后立即使启动加注辊进行优选为低速的往返旋转运动，从而能够利用狭缝式喷嘴的喷出部(下端面)使刚从狭缝式喷嘴喷出在启动加注辊上的涂敷液沿辊的周向均匀化，从而不易使液膜的端部发生液体积溜现象。由此，自不必说形成在启动加注辊上的涂敷液膜不会在向规定的待机用旋转位置移动的中途发生液膜下垂的现象，而且由于不存在积液部，因此当该涂敷液膜停止在待机用旋转位置时以及在该位置静止的状态下，更加不易发生液膜下垂的现象。由此，不仅能够起到上述第1技术方案的启动加注处理方法或启动加注处理装置的作用和效果，还能获得可以扩大待机用旋转位置的设定范围的效果。
另外，在本发明的启动加注处理方法或启动加注处理装置中，在将涂敷液膜绕涂在启动加注辊上而使该涂敷液膜分开后，优选立即使启动加注辊继续在规定时间内进行旋转动作，然后在最后采用能到达规定的待机用旋转位置的动作。由此，自不必说形成在启动加注辊上的涂敷液膜不会在继续进行旋转动作的期间内发生液膜下垂的现象，而且由于能够在旋转运动的过程中使膜厚在某一程度上达到均匀，因此当该涂敷液膜停止在待机用旋转位置时以及在该位置静止的状态下，更加不易发生液膜下垂的现象。由此，能够获得可以扩大或者更加扩大待机用旋转位置的设定范围的效果。
采用本发明的启动加注处理方法或启动加注处理装置，能够利用上述那样的结构和作用保证启动加注处理的可靠性、并且能够更大程度地减少清洗液的使用量。
附图说明
图1是表示本发明的一实施方式的启动加注处理装置的结构的图。
图2是示意性地表示在第1实施例中进行第1次启动加注处理时的各阶段的图。
图3是以时间轴上的波形表示在第1实施例中进行1次量的启动加注处理动作时的启动加注辊的旋转速度特性的图。
图4是示意性地表示在第1实施例中进行第2次启动加注处理时的各阶段的图。
图5是示意性地表示在第1实施例中在启动加注辊旋转一周的期间内进行最后(第4次)的启动加注处理以及在该处理后立即进行统一清洗处理时的各阶段的图。
图6是以时间轴上的波形表示在进行图5的启动加注处理动作和统一清洗处理时的启动加注辊的旋转速度特性的图。
图7是用于说明清洗工序中的启动加注处理装置的作用的图。
图8是示意性地表示在第1实施例的一变形例中进行第1次启动加注处理时的各阶段的图。
图9是示意性地表示在上述变形例中进行第2次启动加注处理时的各阶段的图。
图10是示意性地表示在第1实施例的另一变形例中进行第1次启动加注处理时的各阶段的图。
图11是示意性地表示在上述变形例中进行第2次启动加注处理时的各阶段的图。
图12是示意性地表示在第2实施例中进行第1次启动加注处理时的各阶段的图。
图13是以时间轴上的波形表示在第2实施例中进行1次量的启动加注处理动作时的启动加注辊的旋转速度特性的图。
图14是示意性地表示在第3实施例中进行第1次启动加注处理时的各阶段的图。
图15是以时间轴上的波形表示在第3实施例中进行1次量的启动加注处理动作时的启动加注辊的旋转速度特性的图。
图16是表示第4实施例中进行第2次启动加注处理时的涂敷位置时的图。
具体实施方式
下面，参照所添加的附图说明本发明的优选实施方式。
启动加注处理装置的结构
图1是表示本发明的一实施方式的启动加注处理装置的结构的图。该启动加注处理装置被组装于抗蚀剂涂敷装置(未图示)中，该抗蚀剂涂敷装置例如在LCD制造工艺用的光蚀刻工序中进行非旋涂法的抗蚀剂涂敷处理，并且该启动加注处理装置配置在为了进行抗蚀剂涂敷处理而载置或悬浮输送被处理基板的涂敷台(未图示)的附近。
在图示的启动加注处理装置中，外壳10由在上表面具有狭缝状的开口部12的长条形的框体构成，且外壳10以所收容的启动加注辊14的顶部经由开口部12暴露于上方的方式利用轴承(未图示)水平且能旋转地支承该启动加注辊14。
启动加注辊14是例如由不锈钢构成的圆筒状或圆柱状的辊，具有恒定的外径(例如100～150mm)以及能够覆盖后述的狭缝式喷嘴72的全长的长度。外壳10也可以由例如不锈钢制成。
在外壳10内，当以启动加注辊14的顶部或最上部作为基准位置P0(0°)时，沿正向旋转的周向(图1中的逆时针方向)优选在旋转角度位置为90°～180°的区间内设有清洗机构16的清洗喷嘴18。该清洗喷嘴18优选由长条形的双流体喷射喷嘴18构成，以覆盖启动加注辊14的全长的长度与该启动加注辊14平行地配置，且借助配管20、22与清洗液供给部24和气体供给部26相连接。在配管20、22的中途分别设有开闭阀28、30。
清洗启动加注辊14时，将开闭阀28、30打开，双流体喷射喷嘴18分别自清洗液供给部24和气体供给部26以期望的流量接受清洗液(例如稀释剂)和气体(例如空气或氮气)，然后使清洗液和气体在喷嘴内混合，将混合物自狭缝或多孔型的喷出口以喷射流的方式喷射到启动加注辊14的外周面上。清洗控制部25控制清洗液供给部24、气体供给部26和开闭阀28、30，特别是，在来自后述的主控制部70的指示下能够单独且任意地控制清洗液和气体的流量。
在开口部12与清洗机构16之间的区间内，外壳10的内壁以留有不会与启动加注辊14的外周面接触那样程度的微小间隙的方式与该外周面邻近，该间隙形成为喷雾遮挡部32。在清洗启动加注辊14时，产生在双流体喷射喷嘴18周围的喷雾不会通过喷雾遮挡部32的间隙而流向开口部12侧，而是被该喷雾遮挡部32遮挡。
在外壳10内，在以启动加注辊14为中心而在与喷雾遮挡部32和清洗机构16相反的一侧设置有喷雾引入部34、吸引口36和强制干燥部38。
在以启动加注辊14的顶部作为基准位置P0(0°)时，优选将喷雾引入部34设置在沿正向旋转的周向的旋转角度位置为180°～270°的区间内。图示的结构例的喷雾引入部34在该区间内具有形成在外壳10的内壁与启动加注辊14的外周面之间的用于引入喷雾的间隙40。
优选将强制干燥部38设置在比喷雾引入部34靠下游侧的旋转角度位置为270°～360°的区间内。图示的结构例的强制干燥部38在该区间内具有形成在外壳10的内壁与启动加注辊14的外周面之间的用于除去液体的间隙42。
吸引口36借助真空通路44和真空管46与具有例如真空泵或吸气扇(未图示)和捕雾器(mist trap)或过滤器等的真空(vacuum)装置48相连通。在真空通路44的末端附近设置有由排气阀控制部50控制开闭的排气阀52。在开启真空装置48而使排气阀52处于开放状态时，喷雾引入部34和强制干燥部38进行动作，使喷雾引入用的气流和液体除去用的气流分别从外部朝向吸引口36地流入喷雾引入用的间隙40和液体除去用的间隙42中。在关闭排气阀52时，即使真空装置48处于开启状态，吸引口36也不会到达真空，喷雾引入部34和强制干燥部38处于非动作(off)状态。
在该启动加注处理装置中，用于对启动加注辊14的周围进行强制性排气的排气机构45如上所述那样包括喷雾引入部34、吸引口36、强制干燥部38、真空装置48、排气阀控制部50和排气阀52。
在外壳10的底部，在启动加注辊14的正下方位置形成有排液口54。该排液口54借助排液管56与排液箱58相连通。
在该启动加注处理装置中，用于使启动加注辊14旋转的旋转机构65包括电动机60、旋转控制部62和编码器64。电动机60优选由伺服电动机构成，电动机60的旋转驱动轴例如借助带轮、传动带等传动机构(未图示)与启动加注辊14的旋转轴相连接。旋转控制部62不仅能够控制电动机60的基本动作(旋转、停止、速度控制等)，还能够利用编码器64任意地控制电动机60的旋转量和旋转角度位置。
在该启动加注处理装置中设置有用于测量启动加注辊14上的抗蚀剂膜的膜厚的膜厚测量部67。膜厚测量部67具有膜厚传感器66和膜厚运算部68。
将膜厚传感器66以不与狭缝式喷嘴72发生干涉的方式设置或配置在开口部12的附近，自该位置以非接触的方式即光学方式测量附着在正对着的启动加注辊14的外周面上的抗蚀剂液膜的膜厚。作为另一结构例，例如也可以利用支承臂等可动地支承膜厚传感器66，在狭缝式喷嘴72远离外壳10的开口部12时，使膜厚传感器66对位在开口部12之上。
膜厚运算部68输入膜厚传感器66的输出信号，运算启动加注辊14上的抗蚀液膜的膜厚测量值。优选沿启动加注辊14的轴线方向以恒定间隔呈一列地配置有多个膜厚传感器66，从而不仅能够测量启动加注辊14的周向上的抗蚀液膜的膜厚分布特性，而且还能测量启动加注辊14的轴向的抗蚀液膜的膜厚分布特性。利用膜厚测量部67测得的膜厚测量值以及膜厚分布特性测量值被输送到主控制部70。
主控制部70包括按照规定的软件的指示进行动作的微型计算机，统一控制该启动加注处理装置内的清洗机构16、排气机构45、旋转机构65和膜厚测量部67的动作。在图示的结构例中，主控制部70直接控制真空装置48、膜厚传感器66和膜厚运算部68的各动作，并且利用清洗控制部25、排气阀控制部50和旋转控制部62控制双流体喷射喷嘴18、排气阀52和电动机60的各动作。此外，主控制部70能够利用旋转机构65的旋转控制部62把握并控制启动加注辊14的旋转量和旋转角度位置。
另外，主控制部70统一控制该启动加注处理装置内的整体顺序(sequence)，并且至少在进行启动加注处理时控制该抗蚀剂涂敷装置所具有的抗蚀剂涂敷处理用的狭缝式喷嘴72的所有动作。
即，在该抗蚀剂涂敷装置中，利用喷嘴移动机构74支承狭缝式喷嘴72，且能够将该狭缝式喷嘴72在预先设定的空间内搬送到任一位置上且定位在任意的位置上。另外，将抗蚀液自抗蚀剂供给部76经由抗蚀剂供给管78供给到狭缝式喷嘴72中。这里，在抗蚀剂供给管78上设有开闭阀80。在进行启动加注处理时，主控制部70利用喷嘴移动机构74、抗蚀剂供给部76、开闭阀80来控制狭缝式喷嘴72的移动、定位及抗蚀液喷出动作。
启动加注处理方法的第1实施例
接下来，参照图2～图11说明能够利用该启动加注处理装置实施的启动加注处理方法的第1实施例。
在组装有该启动加注处理装置的该抗蚀剂涂敷装置中，在涂敷台上，每当1张基板的量的涂敷处理结束时，作为下一涂敷处理的预先准备，使用该启动加注处理装置进行1次量的启动加注处理。
图2表示在将启动加注辊14的整个外周面恢复成清洁状态后进行最初(第1次)的启动加注处理时的各个阶段。图3以时间轴上的波形表示第1次启动加注处理动作中的启动加注辊14的旋转速度特性。
在该第1次启动加注处理中，首先如图1所示，利用喷嘴移动机构74定位狭缝式喷嘴72，以使狭缝式喷嘴72的喷出口相对于启动加注辊14的顶部隔开规定的间隙(例如几十～几百μm)而与该启动加注辊14的顶部平行地相对。在该情况下，自不必说清洗机构16保持不动，排气机构45也保持不动。
然后如图2的I(喷出及放置)所示，使启动加注辊14保持静止状态，经由抗蚀剂供给部76使狭缝式喷嘴72在规定时间内(t0～t1：例如1秒钟)喷出一定量的抗蚀液R，喷出后立即放置该抗蚀液R规定时间(t1～t2：例如3秒钟)。自狭缝式喷嘴72喷出的抗蚀液R在被放置的期间(t1～t2)内在狭缝式喷嘴72的喷出口附近以及启动加注辊14的顶部附近沿喷嘴的长度方向和辊的周向向周围扩散。
然后，利用旋转机构65在规定的时刻(图3的时刻t2)使启动加注辊14开始进行正向旋转，如图2的II(绕涂)所示，使抗蚀液R蔓延到狭缝式喷嘴72的背面下端部72a地将抗蚀液R绕涂在设定于启动加注辊14的外周面上的第1分开区域14(1)。这里，优选绕涂抗蚀液R时的辊旋转速度Va为不会太快断开抗蚀液R的液膜那样的比较慢的速度，例如将周向速度选择为几十mm/秒。
然后，在规定的时刻(图3的时刻t3)瞬间提高启动加注辊14的旋转速度。由此，如图2的III(断开)所示，抗蚀液R的液膜被断开而分成狭缝式喷嘴72侧的液膜和启动加注辊14侧的液膜。此时，在使狭缝式喷嘴72上升时，能够在规定的部位更加顺畅且可靠地断开抗蚀液膜。这样，在狭缝式喷嘴72的从喷嘴喷出口到背面下端部72a的范围内残留有抗蚀液的液膜RF。
另一方面，在启动加注辊14的外周面上作为第1抗蚀液膜(涂敷液膜)残留有如上所述那样被绕涂的抗蚀液的液膜RM1。这里，在启动加注辊14的正向旋转的周向上，呈现出在第1抗蚀液膜RM1的前端部产生截面为球状的积液部m1的趋势。
例如，在沿启动加注辊14的周向将启动加注辊14的外周面4等分而对各分开区域14(n)(n＝1～4)进行1次量的启动加注处理的情况下，以旋转角度范围表示，可以将形成在各分开区域14(n)中的各抗蚀液膜RMn的周向绕涂尺寸设定为例如75°～85°的尺寸。
这样，在将第1抗蚀液膜RM1自狭缝式喷嘴72断开后，使启动加注辊14继续旋转，从而使第1抗蚀液膜RM1旋转移动至图2的IV(停止、待机)所示的第1待机用旋转角度位置<P1>，当第1抗蚀液膜RM1旋转移动至该位置时使启动加注辊14停止旋转。
在该情况下，可以任意地设定从断开抗蚀液膜RM1到停止的期间(t4～t5)内的的启动加注辊14的旋转速度特性，但优选如图3所示那样将该特性定型为在将旋转速度提高到比断开速度Vb快很多的速度Vc后以恒定的速率(负的加速度)减速的特性。
这样，在正在旋转的启动加注辊14上不会发生抗蚀液在重力的作用下自第1抗蚀液膜RM1(特别是积液部m1)下垂的现象，即不会弄脏启动加注辊14的外周面上的其他分开区域(未使用区域)，从而能够使第1抗蚀液膜RM1稳定地移动至第1待机用旋转角度位置<P1>。
即，若在断开了抗蚀液膜RMn后立即使启动加注辊14停止旋转，则在抗蚀液膜RMn上仍持续作用有在重力的作用下朝向周向下方的力，从而使抗蚀液膜RMn在启动加注辊14的外周面上垂向下方或者垂向前方。在使用狭缝式喷嘴进行的非旋涂涂敷法中，由于通常使用20cp以下的低粘度抗蚀液，因此容易在启动加注辊上发生上述那样的抗蚀液膜下垂的现象。然而，在本实施例中，通过不使启动加注辊14停止旋转、而是使启动加注辊14继续旋转，能够实质性地将作用在抗蚀液膜RMn上的重力作用力(引发液体下垂的力)消除掉，从而不会使绕涂在启动加注辊14上的抗蚀液膜RMn因发生液体下垂现象而扩开，能够利用表面张力使该抗蚀液膜RMn停止在规定区域(分开区域)内。
如图2的IV(停止、待机)所示，优选将第1抗蚀液膜RM1的中心到达辊的最下部(180°)时的位置选定为第1待机用旋转角度位置<P1>。在该情况下，在启动加注辊14的正向旋转的周向上，第1抗蚀液膜RM1的前端被收容在比225°的旋转角度位置靠上游侧的位置，第1抗蚀液膜RM1的后端被收容在比135°的旋转角度位置靠下游侧的位置。
通过使第1抗蚀液膜RM1静止在该第1待机用旋转角度位置<P1>，即使在第1抗蚀液膜RM1中存在液体的移动、特别是抗蚀液自积液部m1向低处的部位移动，抗蚀液也只是向使第1抗蚀液膜RM1的膜厚变均匀的方向移动，不会溢出到相邻的分开区域(未使用区域)中。
这样，第1抗蚀液膜RM1能够以静止在启动加注辊14上的第1待机用旋转角度位置<P1>的状态在规定时间内(t4～t5：例如40～50秒钟)暴露于周围的空气或接受自然干燥至下一次(第2次)启动加注处理开始。
在该期间内，利用喷嘴移动机构74将狭缝式喷嘴72送往涂敷台，在该涂敷台上进行1张基板的量的抗蚀剂涂敷处理。然后，在抗蚀剂涂敷处理结束时，将狭缝式喷嘴72再次送回到该启动加注处理装置，且如图1所示，以使该狭缝式喷嘴72的喷出口相对于启动加注辊14的顶部隔开规定的间隙而与该启动加注辊14平行地相对的方式定位该狭缝式喷嘴72。
图4表示进行第2次启动加注处理时的各个阶段。优选在启动加注辊14的外周面上使用第1抗蚀液膜RM1的下游侧相邻的分开区域14(2)进行第2次启动加注处理。为此，在即将开始进行第2次启动加注处理之前，使启动加注辊14沿正向旋转的周向旋转规定的旋转角度。
如图4的I(喷出、放置)所示，在该第2次启动加注处理中，使启动加注辊14的外周面上的分开区域14(2)(更准确而言为该分开区域的前端部)位于启动加注辊14的顶部，利用与进行第1次启动加注处理时的动作相同的动作以及在相同的时刻使狭缝式喷嘴72喷出一定量的抗蚀液R，然后立即放置该抗蚀液R规定时间。
然后如图4所示，还是利用与进行第1次启动加注处理时的动作相同的动作以及在相同的时刻依次进行抗蚀液R的绕涂(II)、断开(III)、停止、待机(IV)的各个工序。
在该情况下，亦与第1次启动加注处理时相同，利用绕涂(II)工序和断开(III)工序，以规定的周向尺寸(以旋转角度范围表示为75°～85°)将抗蚀液R绕涂在启动加注辊14的外周面上，形成第2抗蚀液膜RM2。然后，使启动加注辊14继续旋转，从而使第2抗蚀液膜RM2自断开(III)的位置移动至第2待机用旋转角度位置<P2>。
这样，在正在旋转的启动加注辊14上抗蚀液R不会因重力作用而自第2抗蚀液膜RM2(特别是积液部m2)下垂，能够使第2抗蚀液膜RM2稳定地移动至第2待机用旋转角度位置<P2>。
如图4的IV(停止、待机)所示，同样优选将第2抗蚀液膜RM2的中心到达辊的最下部(180°)时的位置选定为第2待机用旋转角度位置<P2>。在该情况下，在启动加注辊14的正向旋转的周向上，第2抗蚀液膜RM2的前端被收容在比225°的旋转角度位置靠下游侧的位置，第2抗蚀液膜RM2的后端被收容在比135°的旋转角度位置靠上游侧的位置。通过使第2抗蚀液膜RM2静止在该第2待机用旋转角度位置<P2>，即使在第2抗蚀液膜RM2中存在液体的移动，也不会使抗蚀液溢出到相邻的分开区域(未使用区域)中。
另外，在启动加注辊14的正向旋转的周向上，第1抗蚀液膜RM1在第2抗蚀液膜RM2的上游侧附近、即旋转角度位置为45°～135°的范围内进行待机。这里，从第1次启动加注处理结束后到第2次启动加注处理开始时的期间内，由于第1抗蚀液膜RM1在第1待机用旋转角度位置<P1>接受自然干燥，因此该第1抗蚀液膜RM1的液膜表面在一定程度上干燥，从而即使该第1抗蚀液膜RM1静止在偏离第1待机用旋转角度位置<P1>的位置(45°～135°的范围内)，也不易发生液体下垂现象。另外，假设即使在启动加注辊14上抗蚀液自第1抗蚀液膜RM1的前端部(积液部m1)向低处的位置(第2抗蚀液膜RM2的后端部侧)移动(液体下垂)，由于该低处的位置位于使用过的分开区域14(1)～14(2)内，因此不会产生任何影响(不会弄脏未使用区域)。
附图中省略了第3次启动加注处理的图示，同样利用与上述第1次和第2次启动加注处理完全相同的步骤以及动作进行该第3次启动加注处理。第3次启动加注处理的结果是，在启动加注辊14上的与第1抗蚀液膜RM1、第2抗蚀液膜RM2的所在区域均不相同的区域内、通常是正向旋转的周向上的第2抗蚀液膜RM2的下游侧附近的分开区域14(3)内，以规定的周向尺寸(75°～85°)形成第3抗蚀液膜RM3，将该第3抗蚀液膜RM3视作第3次启动加注处理所附带产生的残留物。当将该第3抗蚀液膜RM3绕涂在启动加注辊14上之后，立即向设定在辊的最下部(180°)附近的第3待机用旋转角度位置<P3>移动该第3抗蚀液膜RM3，使第3抗蚀液膜RM3在该第3待机用旋转角度位置<P3>接受自然干燥。
附图中省略表示下述状态，即，在启动加注辊14上，当第3抗蚀液膜RM3在辊的最下部(180°)的第3待机用旋转角度位置<P3>进行待机的期间内，第2抗蚀液膜RM2在第3抗蚀液膜RM3的上游侧附近、即旋转角度位置为45°～135°的区域内进行待机，第1抗蚀液膜RM1在第2抗蚀液膜RM2的上游侧附近、即旋转角度位置为-45°～45°的区域内进行待机。
在该情况下，第2抗蚀液膜RM2与上述第2次启动加注处理后的第1抗蚀液膜RM1相同，不存在液体下垂的问题。另外，第1抗蚀液膜RM1的中心部位于辊的最上部，第1抗蚀液膜RM1的后端部位于比相邻的未使用区域、即第4分开区域14(4)高的位置。但是，由于第1抗蚀液膜RM1持续接受了相当长时间(通常为100秒以上)的自然干燥，因此抗蚀液不会自第1抗蚀液膜RM1的后端部向相邻的未使用区域(第4分开区域14(4))下垂。
在该第1实施例中，自将启动加注辊14的整个外周面恢复成清洁状态起连续进行了规定次数例如4次的启动加注处理之后，对启动加注辊14进行统一清洗(清洁整个外周面)。
图5表示在启动加注辊14旋转一周的期间内进行最后(第4次)的启动加注处理以及在该启动加注处理后立即进行统一清洗处理时的各个阶段。图6以时间轴上的波形表示在进行图5的启动加注处理和统一清洗处理时的启动加注辊14的旋转速度特性。
如图5所示，在最后(第4次)的启动加注处理中，也是采用第1次～第3次启动加注处理时的相同方法进行抗蚀液R的喷出、放置(I)、抗蚀液膜RM4的绕涂(II)以及抗蚀液膜RM4的断开(III)的各个工序，从而在启动加注辊14的外周面上将抗蚀液膜RM4绕涂在第3抗蚀液膜RM3的下游侧相邻的第4分开区域14(4)内。
但是，在该最后(第4次)的启动加注处理中，在进行了断开(III)工序后，跳过停止、待机(IV)工序，保持启动加注辊14的旋转状态不变地过渡到清洗(V)工序。在该清洗(V)工序中，使清洗机构16和排气机构45进行动作。
另外，在开始进行清洗(V)工序之前，主控制部70利用旋转机构65和膜厚测量部67对附着在启动加注辊14上的抗蚀液膜RM1、RM2、RM3、RM4的范围(面积)和膜厚进行测量，根据该测量结果通过运算来决定清洗(V)工序中的清洗液的使用量。例如，可以将附着在启动加注辊14上的所有抗蚀液膜的总抗蚀剂量(范围×膜厚)视作基准值，将清洗液的使用量设定为与该基准值(总抗蚀剂量)相等的值。
另外，关于抗蚀液膜的测量，由于通常在启动加注辊14上反复进行相同的启动加注处理，所以可以将附着在各分开区域14(n)上的各抗蚀液膜RMn的范围和膜厚视为相同值，仅测量抗蚀液膜RMn中的一个、例如第1抗蚀液膜RM1的范围(面积)和膜厚即可。
作为清洗(V)工序的一优选方式，主控制部70与旋转机构65和清洗机构16联动(配合)地进行控制，以使双流体喷射喷嘴18仅对启动加注辊14的外周面中的附着有抗蚀液膜RM1～RM4的区域或部位喷射清洗液和空气的双流体喷射流。这里，通过上述那样测量抗蚀液膜而决定清洗液的流量以及使用量。
这样，在自双流体喷射喷嘴18喷射的双流体喷射流的强冲击力的作用下，自不必说刚刚附着在启动加注辊14的外周面上的第4抗蚀液膜RM4能够被洗掉，而且连在自然干燥后处于未干透状态或半干状态的其他抗蚀液膜RM1、RM2、RM3也能全被容易地洗掉，该抗蚀液膜中的大部分与清洗液混合而向正下方的排液口54落下，其余的抗蚀液膜变成喷雾ma而飞散到附近。在上述那样的统一清洗过程中产生在双流体喷射喷嘴18周围的喷雾ma中的、飞扬到上方的喷雾被喷雾遮挡部32遮挡，几乎不会跑出到外壳10的开口部12侧。
另一方面，在排气机构45中，排气阀52开放，从而抽真空作用自真空装置48经过真空管46、真空通路44和吸引口36作用于喷雾引入部34和强制干燥部38。
如图7所示，喷雾引入部34将在双流体喷射喷嘴18的周围产生的喷雾ma自间隙40的下端吸入到该间隙40中，在间隙40中使喷雾ma沿启动加注辊14的外周面在旋转方向上流动，从而将自间隙40的上端流出到吸引口36的喷雾ma送往真空装置48。强制干燥部38将空气自上方的大气空间经由开口部12吸入到间隙42中，在间隙42中使空气沿启动加注辊14的外周向在与旋转方向相反的方向上流动，从而利用空气的压力将残留在启动加注辊14的外周面上的液体剥落而使该液体变成液滴，将自间隙42的下端流出到吸引口36的喷雾mb送往真空装置48。这样，利用抽真空作用使沿与旋转方向相反的方向流动的空气流碰撞启动加注辊14的外周面而将液体碰碎，并且利用抽真空作用将在碰碎液体时产生的喷雾mb直接回收，因此能够获得较高的干燥效率，并且能够防止喷雾飞散。
在自开始上述那样的清洗(V)工序起经过了规定时间后(图6的时刻tG)，关闭清洗机构16，停止进行双流体喷射清洗。之后，在使启动加注辊14保持连续旋转的状态下仅使排气机构45(喷雾引入部34和强制干燥部38)继续进行动作，从而切换到利用抽真空的力使启动加注辊14的整个外周面干燥的强制干燥(VI)工序。然后，在经过了规定时间后，关闭排气阀52且使排气机构45停止动作，从而使干燥处理停止，到此，结束了统一清洗处理的所有工序。
另外，从使生产节拍一致的观点出发，优选在统一清洗处理中，将清洗(V)工序和强制干燥(VI)工序合并后得到的总处理时间(图6的t4～tH)设定为与移动、待机(IV)工序的所需时间(图3的t4～t6)相同的长度(例如60秒)。在该情况下，可以将清洗(V)工序的处理时间(图6的t4～tG)设定为例如20秒，将强制干燥(VI)工序的处理时间(图6的tG～tH)设定为例如40秒。
如上所述，采用该第1实施例，将启动加注辊14的外周面沿该启动加注辊14的周向分成多个(例如4个)区域，在连续的规定次数(4次)的启动加注处理中分别分配地使用上述分开区域14(1)～14(4)。并且，在除了最后(第4次)的启动加注处理之外的各启动加注处理中，在将各抗蚀液膜RMn绕涂在启动加注辊14上之后立即使该抗蚀液膜RMn移动到特殊的待机用旋转角度位置<Pn>，且使抗蚀液膜RMn在该待机用旋转角度位置<Pn>待机至下一次启动加注处理开始，从而能够防止自各抗蚀液膜RMn(特别是积液部mn)发生液体下垂现象，能够使该抗蚀液膜RMn处于自然烘干后的未干透状态或半干状态。
这样，在启动加注辊14上，由于能够防止发生抗蚀液膜RMn的液体下垂现象，因此不会弄脏相邻的未使用分开区域，因而后续的启动加注处理不会被之前的启动加注处理影响，从而能够提高启动加注处理的再现性和可靠性。
另外，由于能够在附着于启动加注辊14上的抗蚀液膜RMn变成自然干燥后的半干状态的抗蚀液膜、或处于完全液体状态时对该抗蚀液膜RMn进行清洗，因此该抗蚀液膜RMn容易被洗掉，从而能够减轻清洗机构16的负担，减少清洗液的使用量。
此外，在统一清洗中，由于仅对启动加注辊14的外周面中的附着有抗蚀液膜RM1、RM2、RM3、RM4的区域喷射适量的清洗液，因此能够更大程度地减少清洗液的使用量。
另外，在图示的例子中，沿启动加注辊14的周向将启动加注辊14的外周面4等分，且将1次的启动加注处理中的周向的抗蚀液绕涂尺寸设定为75°～85°。但是，可以任意设定分开数量和绕涂尺寸，例如，也可以将每次的周向绕涂尺寸设定为72°以下，从而将启动加注辊14的外周面分成5份而连续使用5次。
另外，作为待机用旋转角度位置<Pn>的另一优选例，例如如图8(第1次启动加注处理)和图9(第2次启动加注处理)所示，也可以设定如下的旋转角度位置，即，被绕涂在启动加注辊14的外周面上而被切掉后不久的抗蚀液膜RMn的前端到达辊的最下部那样的旋转角度位置。通过使抗蚀液膜RMn在图示所示的待机用旋转角度位置<Pn>进行待机(静止)，即使在该抗蚀液膜RMn中存在液体的移动，也不会使液体集中(停留)在最下方的积液部mn，不会溢出到相邻的分开区域(未使用区域)中。
综上所述，基本上优选将待机用旋转角度位置<Pn>设定在能使抗蚀液膜RMn的中心到达辊的最下部的旋转角度位置(图2、图4)和能使抗蚀液膜RMn的前端到达辊的最下部的旋转角度位置(图8、图9)的范围内。
作为待机用旋转角度位置<Pn>的另一优选例，例如如图10(第1次启动加注处理)和图11(第2次启动加注处理)所示，也可以设定如下的旋转角度位置，即，被绕涂在启动加注辊14的外周面上而被切掉后不久的抗蚀液膜RMn的前端到达辊的最上部那样的旋转角度位置。通过使抗蚀液膜RMn在图示所示的待机用旋转角度位置<Pn>进行待机(静止)，由于最容易引发液体下垂的积液部mn被载置在大致水平的辊的顶面上，因此抗蚀液不会自该处的积液部mn溢出到下游侧附近的分开区域(未使用区域)。
启动加注处理方法的第2实施例
接下来，参照图12和图13说明能够利用该启动加注处理装置实施的启动加注处理方法的第2实施例。
图12表示在第2实施例中在启动加注辊14上进行第1次启动加注处理时的各个阶段。图13以时间轴上的波形表示进行1次量的启动加注处理动作时的启动加注辊14的旋转速度特性。
该第2实施例的特征是：不会使被绕涂在启动加注辊14的外周面上的抗蚀液膜RMn的前端部产生积液部mn。作为实现该特征的方法，在抗蚀剂喷出工序(I)后立即进行的并不是暂时放置该抗蚀液的操作，而是如图12的IIA所示，首先使启动加注辊14以比绕涂速度Va慢的速度(例如周向速度为10mm/秒以下)Ve沿正向旋转的周向旋转规定的旋转角度(例如30°～50°)或旋转规定时间(图13的t1～tN：例如大约1.5秒)。然后，即在使启动加注辊14停止以较慢的速度沿正向旋转的周向旋转后，如图12的IIB所示，本次使启动加注辊14以与上述速度Va相等或相同程度的低速Vf沿相反方向旋转与上述正方向旋转大致相同的旋转角度或规定时间(图13的tN～t2：例如大约1.5秒)。
通过使启动加注辊14上述那样进行优选为低速的往返旋转运动，能够利用抗蚀剂喷嘴72的喷出部(下端面)使刚刚自抗蚀剂喷嘴72喷出在启动加注辊14上的抗蚀液R在辊的周向上均匀化，从而不易使液膜的端部产生积液部(mn)。另外，作为附带效果，能够提高形成在抗蚀剂喷嘴72的喷出口附近的抗蚀液珠(bead)的均匀性。
这样，当使抗蚀液R在抗蚀剂喷嘴72的喷出口周围沿辊的周向(甚至在喷嘴的长度方向上也)完全均匀后，利用与上述第1实施例相同的动作以及在相同的时刻进行绕涂(III)、断开(IV)和向待机用旋转角度位置<Pn>移动及停止在待机用旋转角度位置<Pn>的移动、停止(V)的各个工序。结果，能够在启动加注辊14上绕涂没有积液部(mn)的平坦的抗蚀液膜RMn，然后使该平坦的抗蚀液膜RMn在待机用旋转角度位置<Pn>接受自然干燥。
在该实施例中，形成在启动加注辊14上的抗蚀液膜RMn自不必说不会在向待机用旋转角度位置<Pn>移动的中途发生液体下垂现象，而且由于该抗蚀液膜RMn不存在积液部(mn)，因此在停止以及静止在待机用旋转角度位置<Pn>的状态下该抗蚀液膜RMn更加不易发生液体下垂现象。即，能够获得可以扩大待机用旋转角度位置<Pn>的设定范围的效果。例如如图12所示，自不必说在抗蚀液膜RMn的前端到达辊的最下部时的位置<APn>处不会发生液体下垂现象，而且即使在抗蚀液膜RMn的前端到达作为边界位置的270°的旋转角度位置时的位置<BPn>处也不易发生液体下垂现象。
作为该第2实施例的变形例、特别是启动加注辊14的往返旋转动作(IIA、IIB)的变形例，可以将往返旋转动作的次数设定为2次以上、先进行反方向旋转、分别单独地设定正方向旋转动作和反方向旋转动作的条件(速度、时间、移动距离等)等等。
启动加注处理方法的第3实施例
接下来，参照图14和图15说明能够利用该启动加注处理装置实施的启动加注处理方法的第3实施例。
图14表示在第3实施例中在启动加注辊14上进行第1次启动加注处理时的各个阶段。图15以时间轴上的波形表示进行1次量的启动加注处理动作时的启动加注辊14的旋转速度特性。
在该第3变形例中，在将抗蚀液膜RMn绕涂在启动加注辊14上而断开该抗蚀液膜RMn后，立即使启动加注辊14进行继续以一定速度(例如与断开速度Va相同的速度)在规定时间(图15的t4～tJ：优选为10秒以上)内旋转动作的继续旋转动作(Q)，然后进行最后(图15的tJ～tK)到达规定的待机用旋转角度位置<Pn>的动作(IV)。
在进行继续旋转动作(Q)的期间内，使排气机构45停止动作。即，若开启排气机构45而使启动加注辊14旋转，则启动加注辊14上的抗蚀液膜RM1在强制干燥部38的间隙42中受到由逆风产生的较大压力，从而容易使膜厚均匀性下降。特别是，若在强制干燥部38的间隙42内作用于抗蚀液膜RMn的逆风的压力在轴线方向上不均匀，则在抗蚀液膜RMn的表面上容易产生沿周向延伸的筋状的凹凸。在使排气机构45停止动作时，在启动加注辊14的旋转过程中，该启动加注辊14的外周面上的抗蚀液膜RMn即使在通过间隙42时也不会受到逆风的压力，从而能够更加高效地接受与以静止状态被放置在大气中的情况相同程度的自然干燥。
在该第3实施例中，形成在启动加注辊14上的抗蚀液膜RMn自不必说不会在进行继续旋转动作(Q)的期间内发生液体下垂现象，而且由于在进行旋转动作的过程中前端的积液部(mn)在一定程度上达到均匀，因此当该抗蚀液膜RMn停止在待机用旋转角度位置<Pn>时以及在该待机用旋转角度位置<Pn>静止的状态下，更加不易发生液膜下垂的现象。即，与第2实施例相同，能够获得可以扩大待机用旋转角度位置<Pn>的设定范围的效果。例如如图14所示，自不必说在抗蚀液膜RMn的前端到达辊的最下部时的位置<APn>处不会发生液体下垂现象，而且即使在抗蚀液膜RMn的前端到达作为边界位置的270°的旋转角度位置时的位置<BPn>处也不易发生液体下垂现象。
其他实施例
也可以在上述第2实施例的基础上组合进行该第3实施例，在该情况下，能够利用复合作用更大程度地提高液体下垂防止效果。
在统一清洗处理中，也可以对启动加注辊14的整个外周面喷射清洗液，但此时会增加清洗液的使用量。
启动加注处理装置内的各部分的结构或功能也不限定于上述实施方式。例如，在清洗机构16中，也可以使用或者与双流体喷射喷嘴并用除了双流体喷射喷嘴以外的清洗工具例如刮削器，排气机构45的各部分、特别是强制干燥部38的结构可以进行各种变形。
接下来，说明第4实施例。在第1实施例中，在图4所示的位置进行了第2次启动加注处理，但如图16所示，也可以在启动加注辊14上的、与在第1次启动加注处理中涂敷了抗蚀液膜的位置相对的位置进行第2次启动加注处理。通过在该位置进行第2次启动加注处理，能够在从图2的工序IV的位置到第2次启动加注处理开始时的期间内减小启动加注辊的旋转的角度。
接下来，说明第5实施例。第5实施例中的到VI为止的动作与第1实施例中的图5的到VI为止的动作相同。在图5的VI的动作结束时，进行新的第1次启动加注处理，届时在启动加注辊14上的图4的I的位置进行该启动加注处理。也就是说，在前次第2次启动加注处理的位置进行新的第1次启动加注处理。基本上应该在图5的VI的状态下对启动加注辊14的整个圆周进行清洗，但为了进一步减少清洗液、缩短清洗时间，也可以在启动加注辊14的局部留有微量的抗蚀剂。关于抗蚀剂能被留下微量的可能性，在第1次启动加注处理中涂敷的抗蚀剂被留下的可能性最大，在第4次启动加注处理中涂敷的抗蚀剂被留下的可能性最小。这是因为，决定上述可能性的主要原因在于，自将抗蚀剂涂敷在启动加注辊14上后到开始清洗启动加注辊14的时间。但是，在启动加注辊14上，通过在与前次的第1次启动加注处理的位置不同的位置进行新的第1次启动加注处理，能够扩大在对启动加注辊14进行了第2次清洗后留下的微量抗蚀剂的范围，不会使残留的抗蚀剂的膜厚堆积而变厚，从而能够降低在启动加注处理中发生不良情况的可能性。与此相对，若在与前次的第1次启动加注处理的位置相同的位置进行新的第1次启动加注处理，则在对启动加注辊14进行了第2次清洗后，留下的微量抗蚀剂的膜厚因堆积而逐渐变厚，从而在进行下一次启动加注处理时诱发不良情况、或者不是必须增加清洗液的使用量、就是必须加长清洗时间。然后，在进行了第4次启动加注处理、结束了对启动加注辊14的清洗而进行新的第1次启动加注处理时，在图5中的第3次启动加注处理的位置进行该启动加注处理。然后在进行了第4次启动加注处理、结束了对启动加注辊14的清洗而进行新的第1次启动加注处理时，在图5中的第4次启动加注处理的位置进行该启动加注处理。在上述那样进行动作而对启动加注辊14进行了4次冲洗后，当进行新的第1次启动加注处理时，返回到图2的第1次启动加注处理的位置进行该启动加注处理。另外，在对启动加注辊14进行第4次的清洗动作时，在第1次～第3次的清洗动作中漏清洗的微量抗蚀剂可能分布在启动加注辊14的整个圆周上，因此例如可以仅在进行第4次的清洗动作时，使用比其他次的清洗动作多的清洗液、或者以比其他次的清洗动作长的时间进行清洗。通过上述那样操作，能够将附着在启动加注辊14上的微量抗蚀剂全部去除，并且能够在整体上减少清洗液的使用量。
另外，为了防止涂敷在启动加注辊上的抗蚀剂被过度干燥，将外壳10内的启动加注辊14附近的气氛保持成有机溶剂的气氛较好。这样，在对启动加注辊14进行清洗动作时，能够降低抗蚀剂残留的可能性，而且针对在第1次启动加注处理中涂敷的抗蚀液膜，亦能够不留下微量地将该抗蚀液膜去除。
另外，也可以不设置膜厚测量部67，而是通过实验等预先收集存储抗蚀液膜的范围、膜厚的数据，根据该数据对启动加注辊14进行清洗。通过采用上述结构，不再需要始终设置膜厚测量部，因此能够简化装置的结构，进一步提高装置的可靠性。
在此总结说明下第1～第5实施例的要点。即，第1～第5实施例的特征在于，在启动加注辊14上进行第1次启动加注处理(涂敷抗蚀液膜)，然后使启动加注辊14旋转至不会使所涂敷的抗蚀液膜下垂扩展的位置而停止在该位置，在该位置使抗蚀液膜在一定程度上干燥，之后在比第1次启动加注处理的位置靠启动加注辊14的旋转方向侧的位置进行第2次启动加注处理。并且，第1～第5实施例在重复进行多次该动作而对启动加注辊14的整个圆周进行了启动加注处理后，对启动加注辊14进行统一清洗。通过上述那样操作，能够防止在启动加注处理中涂敷的抗蚀液膜下垂扩展到供下一次启动加注处理进行的区域，从而能够高精度地进行启动加注处理。另外，由于在进行了多次启动加注处理后对启动加注辊14进行统一清洗，因此与以往的方法相比能够减少清洗次数，从而能够减少清洗液的使用量、缩短清洗时间等等。
作为本发明的涂敷液，除了可以使用抗蚀液以外，例如也可以使用层间绝缘材料、电介质材料、布线材料等的涂敷液，还可以使用各种药液、显影液、冲洗液等。本发明的被处理基板不限定于LCD基板，也可以是其他的平板显示器用基板、半导体晶圆、CD基板、光掩模、印刷电路板等。

Claims (34)

1.一种启动加注处理方法，该方法用于在非旋涂法的涂敷处理所用的狭缝式喷嘴的喷出口附近形成涂敷液的液膜，以作为涂敷处理的预先准备，其中，
该方法包括下述工序：
第1工序，为了进行1次量的第1启动加注处理，使上述狭缝式喷嘴的喷出口相对于水平配置的圆筒状或圆柱状的启动加注辊的顶部隔开规定间隙而与该启动加注辊的顶部平行地相对，使上述狭缝式喷嘴喷出一定量的涂敷液；
第2工序，在喷出上述涂敷液后，立即保持使上述启动加注辊静止的状态不变地放置该涂敷液规定时间；
第3工序，使上述启动加注辊旋转，将被喷出的上述涂敷液的一部分作为第1涂敷液膜绕涂在上述启动加注辊的外周面上；
第4工序，使绕涂在上述启动加注辊的外周面上的上述第1涂敷液膜到达第1待机用旋转角度位置，然后使上述启动加注辊停止旋转，上述第1涂敷液膜在该第1待机用旋转角度位置待机至下一次启动加注处理开始时；
第5工序，使上述启动加注辊上的上述第1涂敷液膜在上述第1待机用旋转角度位置自然干燥；
第6工序，利用清洗而去除上述启动加注辊上的上述第1涂敷液膜。
2.根据权利要求1所述的启动加注处理方法，其中，
在上述第3工序与上述第4工序之间具有第7工序，该第7工序为了促使上述第1涂敷液膜自然干燥，使在上述第3工序中开始旋转的上述启动加注辊继续保持旋转规定时间。
3.根据权利要求1所述的启动加注处理方法，其中，
上述第1待机用旋转角度位置在上述启动加注辊的正向旋转的周向上位于下述范围内，即，上述第1涂敷液膜的后端到达辊的最下部时的旋转角度位置和上述第1涂敷液膜的前端到达辊的最下部时的旋转角度位置之间的范围。
4.根据权利要求1所述的启动加注处理方法，其中，
上述第1待机用旋转角度位置在上述启动加注辊的正向旋转的周向上位于下述范围内，即，上述第1涂敷液膜的中心到达辊的最下部时的旋转角度位置和上述第1涂敷液膜的前端到达辊的最下部时的旋转角度位置之间的范围。
5.根据权利要求1所述的启动加注处理方法，其中，
上述第1待机用旋转角度位置是在上述启动加注辊的正向旋转的周向上的上述第1涂敷液膜的前端到达辊的最上部时的位置。
6.根据权利要求1～5中任意一项所述的启动加注处理方法，其中，
该方法包括下述工序：
第8工序，为了进行另外1次量的第2启动加注处理，避开上述第1涂敷液膜地使上述狭缝式喷嘴的喷出口相对于上述启动加注辊的顶部隔开规定间隙而与该启动加注辊的顶部平行地相对，使上述狭缝式喷嘴喷出一定量的涂敷液；
第9工序，在喷出上述涂敷液后，立即保持使上述启动加注辊静止的状态不变地放置该涂敷液规定时间；
第10工序，使上述启动加注辊旋转，将被喷出的上述涂敷液的一部分作为第2涂敷液膜绕涂在上述启动加注辊的外周面上；
第11工序，使绕涂在上述启动加注辊的外周面上的上述第2涂敷液膜到达第2待机用旋转角度位置，然后使上述启动加注辊停止旋转，上述第2涂敷液膜在该第2待机用旋转角度位置待机至下一次启动加注处理开始时；
第12工序，使上述启动加注辊上的上述第2涂敷液膜在上述第2待机用旋转角度位置自然干燥；
其中，在上述第6工序中，利用清洗而统一去除上述启动加注辊上的上述第1涂敷液膜和第2涂敷液膜。
7.根据权利要求6所述的启动加注处理方法，其中，
在上述第10工序与上述第11工序之间进行第13工序，该第13工序为了促使上述第2涂敷液膜自然干燥，使在上述第10工序中开始旋转的上述启动加注辊继续保持旋转规定时间。
8.根据权利要求6所述的启动加注处理方法，其中，
上述第2待机用旋转角度位置在上述启动加注辊的正向旋转的周向上位于下述范围内，即，上述第2涂敷液膜的后端到达辊的最下部时的旋转角度位置和上述第2涂敷液膜的前端到达辊的最下部时的旋转角度位置之间的范围。
9.根据权利要求6所述的启动加注处理方法，其中，
上述第2待机用旋转角度位置在上述启动加注辊的正向旋转的周向上位于下述范围内，即，上述第2涂敷液膜的中心到达辊的最下部时的旋转角度位置和上述第2涂敷液膜的前端到达辊的最下部时的旋转角度位置之间的范围。
10.根据权利要求6所述的启动加注处理方法，其中，
上述第2待机用旋转角度位置是在上述启动加注辊的正向旋转的周向上的上述第2涂敷液膜的前端到达辊的最上部时的位置。
11.根据权利要求1～5中任意一项所述的启动加注处理方法，其中，
当上述第2启动加注处理启动加注为在上述第1启动加注处理之后进行启动加注的启动加注处理时，使用上述启动加注辊的外周面上的规定区域来进行上述第2启动加注处理，以使上述第2涂敷液膜在上述启动加注辊的正向旋转的周向上形成在上述第1涂敷液膜的下游侧的与该第1涂敷液膜相邻的位置。
12.根据权利要求1～5中任意一项所述的启动加注处理方法，其中，
在上述第6工序中，一边使上述启动加注辊旋转一边仅对上述启动加注辊的外周面上的附着有涂敷液膜的区域喷射清洗液。
13.根据权利要求1～5中任意一项所述的启动加注处理方法，其中，
在进行上述第6工序之前，对附着在上述启动加注辊的外周面上的涂敷液膜的范围和膜厚进行测量，根据该测量结果决定上述第6工序中的清洗液的使用量。
14.一种启动加注处理方法，该方法用于在非旋涂法的涂敷处理所用的狭缝式喷嘴的喷出口附近形成涂敷液的液膜，以作为涂敷处理的预先准备，其中，
该方法包括：
第1工序，为了进行1次量的第1启动加注处理，使上述狭缝式喷嘴的喷出口相对于水平配置的圆筒状或圆柱状的启动加注辊的顶部隔开规定间隙而与该启动加注辊的顶部平行地相对，然后使上述狭缝式喷嘴喷出一定量的涂敷液；
第2工序，在喷出上述涂敷液后，立即使上述启动加注辊以规定的旋转角度进行往返的旋转运动；
第3工序，使上述启动加注辊正向旋转，将被喷出的上述涂敷液的一部分作为第1涂敷液膜绕涂在上述启动加注辊的外周面上；
第4工序，使绕涂在上述启动加注辊的外周面上的上述第1涂敷液膜到达第1待机用旋转角度位置，然后使上述启动加注辊停止旋转，上述第1涂敷液膜在该第1待机用旋转角度位置待机至下一次启动加注处理开始时；
第5工序，使上述启动加注辊上的上述第1涂敷液膜在上述第1待机用旋转角度位置自然干燥；
第6工序，利用清洗而去除上述启动加注辊上的上述第1涂敷液膜。
15.根据权利要求14所述的启动加注处理方法，其中，
在上述第3工序与上述第4工序之间具有第7工序，该第7工序为了促使上述第1涂敷液膜自然干燥，使在上述第3工序中开始旋转的上述启动加注辊继续保持旋转规定时间。
16.根据权利要求14所述的启动加注处理方法，其中，
上述第1待机用旋转角度位置在上述启动加注辊的正向旋转的周向上位于下述范围内，即，上述第1涂敷液膜的后端到达辊的最下部时的旋转角度位置和上述第1涂敷液膜的前端到达辊的最下部时的旋转角度位置之间的范围。
17.根据权利要求14所述的启动加注处理方法，其中，
上述第1待机用旋转角度位置在上述启动加注辊的正向旋转的周向上位于下述范围内，即，上述第1涂敷液膜的中心到达辊的最下部时的旋转角度位置和上述第1涂敷液膜的前端到达辊的最下部时的旋转角度位置之间的范围。
18.根据权利要求14所述的启动加注处理方法，其中，
上述第1待机用旋转角度位置是在上述启动加注辊的正向旋转的周向上的上述第1涂敷液膜的前端到达辊的最上部时的位置。
19.根据权利要求14所述的启动加注处理方法，其中，
该方法包括下述工序：
第8工序，为了进行另外1次量的第2启动加注处理，避开上述第1涂敷液膜地使上述狭缝式喷嘴的喷出口相对于上述启动加注辊的顶部隔开规定间隙而与该启动加注辊的顶部平行地相对，使上述狭缝式喷嘴喷出一定量的涂敷液；
第9工序，在喷出上述涂敷液后，立即使上述启动加注辊以规定的旋转角度进行往返的旋转运动；
第10工序，使上述启动加注辊正向旋转，将被喷出的上述涂敷液的一部分作为第2涂敷液膜绕涂在上述启动加注辊的外周面上；
第11工序，使绕涂在上述启动加注辊的外周面上的上述第2涂敷液膜到达第2待机用旋转角度位置，然后使上述启动加注辊停止旋转，上述第2涂敷液膜在该第2待机用旋转角度位置待机至下一次启动加注处理开始时；
第12工序，使上述启动加注辊上的上述第2涂敷液膜在上述第2待机用旋转角度位置自然干燥；
其中，在上述第6工序中，利用清洗而统一去除上述启动加注辊上的上述第1涂敷液膜和第2涂敷液膜。
20.根据权利要求19所述的启动加注处理方法，其中，
在上述第10工序与上述第11工序之间具有第13工序，该第13工序为了促使上述第2涂敷液膜自然干燥，使在上述第10工序中开始旋转的上述启动加注辊继续保持旋转规定时间。
21.根据权利要求19所述的启动加注处理方法，其中，
上述第2待机用旋转角度位置在上述启动加注辊的正向旋转的周向上位于下述范围内，即，上述第2涂敷液膜的后端到达辊的最下部时的旋转角度位置和上述第2涂敷液膜的前端到达辊的最下部时的旋转角度位置之间的范围。
22.根据权利要求19所述的启动加注处理方法，其中，
上述第2待机用旋转角度位置在上述启动加注辊的正向旋转的周向上位于下述范围内，即，上述第2涂敷液膜的中心到达辊的最下部时的旋转角度位置和上述第2涂敷液膜的前端到达辊的最下部时的旋转角度位置之间的范围。
23.根据权利要求19所述的启动加注处理方法，其中，
上述第2待机用旋转角度位置是在上述启动加注辊的正向旋转的周向上的上述第2涂敷液膜的前端到达辊的最上端部时的位置。
24.根据权利要求14所述的启动加注处理方法，其中，
当上述第2启动加注处理启动加注为在上述第1启动加注处理之后进行启动加注的启动加注处理时，使用上述启动加注辊的外周面上的规定区域来进行上述第2启动加注处理，以使上述第2涂敷液膜在上述启动加注辊的正向旋转的周向上形成在上述第1涂敷液膜的下游侧的与该第1涂敷液膜相邻的位置。
25.根据权利要求14所述的启动加注处理方法，其中，
在上述第6工序中，一边使上述启动加注辊旋转一边仅对上述启动加注辊的外周面上的附着有涂敷液膜的区域喷射清洗液。
26.根据权利要求14所述的启动加注处理方法，其中，
在进行上述第6工序之前，对附着在上述启动加注辊的外周面上的涂敷液膜的范围和膜厚进行测量，根据该测量结果决定上述第6工序中的清洗液的使用量。
27.一种启动加注处理装置，该装置用于在非旋涂法的涂敷处理所用的狭缝式喷嘴的喷出口附近形成处理液的液膜，以作为涂敷处理的预先准备，其中，
该装置包括：
启动加注辊，其为圆筒状或圆柱状且水平地配置在规定位置；
旋转机构，其用于使上述启动加注辊绕该启动加注辊的中心轴线进行旋转；
清洗机构，其用于喷射清洗液，以清洗上述启动加注辊的外周面；
排气机构，其用于对上述启动加注辊的周围进行强制性的排气；
控制部，其用于控制上述旋转机构、上述清洗部和上述排气部的各动作，
该装置为了进行1次量的第1启动加注处理，使上述狭缝式喷嘴的喷出口相对于水平配置的圆筒状或圆柱状的启动加注辊的顶部隔开规定间隙而与该启动加注辊的顶部平行地相对，使上述狭缝式喷嘴喷出一定量的涂敷液；
在喷出上述涂敷液后，立即保持使上述启动加注辊静止的状态不变地放置该涂敷液规定时间；
利用上述旋转机构使上述启动加注辊旋转，将被喷出的上述涂敷液的一部分作为第1涂敷液膜绕涂在上述启动加注辊的外周面上；
使绕涂在上述启动加注辊的外周面上的上述第1涂敷液膜到达第1待机用旋转角度位置，然后使上述启动加注辊停止旋转，上述第1涂敷液膜在该第1待机用旋转角度位置待机至下一次启动加注处理开始时；
使上述启动加注辊上的上述第1涂敷液膜在上述第1待机用旋转角度位置自然干燥；
使上述清洗机构和上述排气机构进行动作，利用清洗而去除上述启动加注辊上的上述第1涂敷液膜。
28.根据权利要求27所述的启动加注处理装置，其中，
自将上述第1涂敷液膜绕涂在上述启动加注辊的外周面上开始到使上述启动加注辊停止旋转的期间内，为了促使上述第1涂敷液膜自然干燥，利用上述旋转机构继续使上述启动加注辊保持旋转规定时间。
29.根据权利要求28所述的启动加注处理装置，其中，
该装置为了进行另外1次量的第2启动加注处理，避开上述第1涂敷液膜地使上述狭缝式喷嘴的喷出口相对于上述启动加注辊的顶部隔开规定间隙而与该启动加注辊的顶部平行地相对，使上述狭缝式喷嘴喷出一定量的涂敷液，
在喷出上述涂敷液后立即保持使上述启动加注辊静止的状态不变地放置该涂敷液规定时间；
利用上述旋转机构使上述启动加注辊旋转，将被喷出的上述涂敷液的一部分作为第2涂敷液膜绕涂在上述启动加注辊的外周面上；
使绕涂在上述启动加注辊的外周面上的上述第2涂敷液膜到达第2待机用旋转角度位置，然后使上述启动加注辊停止旋转，上述第2涂敷液膜在该第2待机用旋转角度位置待机至下一次启动加注处理开始时；
使上述启动加注辊上的上述第2涂敷液膜在上述第2待机用旋转角度位置自然干燥；
利用上述清洗机构和上述排气机构进行清洗而统一去除上述启动加注辊的外周面上的上述第1涂敷液膜和第2涂敷液膜。
30.一种启动加注处理装置，该装置用于在非旋涂法的涂敷处理所用的狭缝式喷嘴的喷出口附近形成处理液的液膜，以作为涂敷处理的预先准备，其中，
该装置包括：
启动加注辊，其为圆筒状或圆柱状且水平地配置在规定位置；
旋转机构，其用于使上述启动加注辊绕该启动加注辊的中心轴线进行旋转；
清洗机构，其用于喷射清洗液，以清洗上述启动加注辊的外周面；
排气机构，其用于对上述启动加注辊的周围进行强制性的排气；
控制部，其用于控制上述旋转机构、上述清洗部和上述排气部的各动作；
该装置为了进行1次量的第1启动加注处理，使上述狭缝式喷嘴的喷出口相对于水平配置的圆筒状或圆柱状的启动加注辊的顶部隔开规定间隙而与该启动加注辊的顶部平行地相对，使上述狭缝式喷嘴喷出一定量的涂敷液；
在喷出上述涂敷液后，立即利用上述旋转机构使上述启动加注辊以规定的旋转角度进行往返的旋转运动；
利用上述旋转机构使上述启动加注辊旋转，将被喷出的上述涂敷液的一部分作为第1涂敷液膜绕涂在上述启动加注辊的外周面上；
使绕涂在上述启动加注辊的外周面上的上述第1涂敷液膜到达第1待机用旋转角度位置，然后使上述启动加注辊停止旋转，上述第1涂敷液膜在该第1待机用旋转角度位置待机至下一次启动加注处理开始时；
使上述启动加注辊上的上述第1涂敷液膜在上述第1待机用旋转角度位置自然干燥；
使上述清洗机构和上述排气机构进行动作，利用清洗而去除上述启动加注辊上的上述第1涂敷液膜。
31.根据权利要求30所述的启动加注处理装置，其中，
自将上述第1涂敷液膜绕涂在上述启动加注辊的外周面上开始到使上述启动加注辊停止旋转的期间内，为了促使上述第1涂敷液膜自然干燥，利用上述旋转机构继续使上述启动加注辊保持旋转规定时间。
32.根据权利要求31所述的启动加注处理装置，其中，
该装置为了进行另外1次量的第2启动加注处理，避开上述第1涂敷液膜地使上述狭缝式喷嘴的喷出口相对于上述启动加注辊的顶部隔开规定间隙而与该启动加注辊的顶部平行地相对，使上述狭缝式喷嘴喷出一定量的涂敷液；
在喷出上述涂敷液后，立即利用上述旋转机构使上述启动加注辊以规定的旋转角度进行往返的旋转运动；
利用上述旋转机构使上述启动加注辊旋转，将被喷出的上述涂敷液的一部分作为第2涂敷液膜绕涂在上述启动加注辊的外周面上；
使绕涂在上述启动加注辊的外周面上的上述第2涂敷液膜到达第2待机用旋转角度位置，然后使上述启动加注辊停止旋转，上述第2涂敷液膜在该第2待机用旋转角度位置待机至下一次启动加注处理开始时；
使上述启动加注辊上的上述第2涂敷液膜在上述第2待机用旋转角度位置自然干燥；
利用上述清洗机构和上述排气机构进行清洗而统一去除上述启动加注辊上的上述第1涂敷液膜和第2涂敷液膜。
33.根据权利要求27或30所述的启动加注处理装置，其中，
该装置还包括：
液膜测量部，其用于对附着在上述启动加注辊的外周面上的涂敷液膜的范围和膜厚进行测量；
清洗液使用量决定部，在进行上述统一清洗之前，该清洗液使用量决定部根据由上述液膜测量部测得的测量结果决定在统一去除上述涂敷液膜时所用的清洗液的量。
34.根据权利要求27或30所述的启动加注处理装置，其中，
上述清洗机构仅对上述启动加注辊的外周面上的附着有涂敷液膜的区域喷射清洗液。
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