TW201029850A - Method and system for applying materials on a substrate - Google Patents

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TW201029850A
TW201029850A TW98140928A TW98140928A TW201029850A TW 201029850 A TW201029850 A TW 201029850A TW 98140928 A TW98140928 A TW 98140928A TW 98140928 A TW98140928 A TW 98140928A TW 201029850 A TW201029850 A TW 201029850A
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TW
Taiwan
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substrate
printing
printing unit
lines
scanning direction
Prior art date
Application number
TW98140928A
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English (en)
Inventor
Michael Dovrat
Ran Asher Peleg
Amir Hadar
Hanan Gothait
Original Assignee
Xjet Ltd
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Publication date
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    • Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
    • Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy

Description

201029850 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 發明領域 本發明係有關於將材料施加至基材上的方法及系統。 發明背景 彳紹無接觸沈積技術，譬如在製造太陽能電池、平板 藝 顯示器、薄膜電晶體(TFT)或印刷電路時的喷墨印刷或氣懸 體配佈時，可能會在-基材上沈積傳導線路等。該等傳導 線路的所需導電性可能必須與各種不同的其它要求或限制 ' +衡。例如，雖妓的傳轉路可較佳地傳導太陽能電池 所造成的電能，但它們亦可能阻擋該製程中所須之太陽或 其它的光。然而，縮減該等傳導線路的寬度可能造成不佳 之減低的導電性。又，一種例如太陽能電池的製造可能 需要在一對應數目的方向及/或以一對應數目的寬度來沈 驗積許多的傳導線路。此外，傳導線路典型必須被沈積在一 基材上之一特定位置，並依據一特定的分佈其可能在該等 傳導絲路之間有一預定的距離，或另一種適當關係。 目前適用於量產太陽能電池的系統和方法等會利用輸 送帶處理來在一沿單一轴線典型稱為“掃描轴線，’或“掃描 方向”的直線路掃描中平移一基材。此輸送帶處理典型會與 多數個喷嘴結合，它們係被排列在一實質上正交於該掃描 輛線或方向，通常稱為“橫過掃描，，軸線的印刷頭中。但是， 在一習知技術的系統和方法中，當一材料的沈積係要依據 3 201029850 特定的圖案或參考數時，喷嘴可能必須被特制地排列、安 裝或控制°例如’在—基材上印刷許多平行線路可能必須 移除、消止、間插、或者保持某些該Μ嘴。要使系統和 方法能夠依據-财的參數組，譬如寬度、方向和配佈等， 而在-基材上達到-簡單、快速且具成本效益的傳導線路 之沈積，乃是一種技術上的挑戰。
C ^^明内J 發明概要 依據本發明之一實施例，係特地提出—種印刷的方 法，該方法包含：依據多數的間隔值並依據—預定的掃描 方向來定位多數的印刷單元；及當依據所述的預定掃描方 向來引致一基材與該等印刷單元間之一相對平移時，藉哼 多數的印刷單元沈積材料於該基材上以形成多數的平行線 路於該基材上，而使該多數的平行線路依據該多數的間隔 值互相隔開。 圖式簡單說明 有關本發明的主題内容會被特別地指出並分開地請求 於本說明書的總結部份。但，本發明的組構和操作方法， 以及其目的、特徵和優點等，係可配合所附圖式參閱以下 的詳細說明而被最佳地瞭解，其中： 第1圖示出依據本發明之實施例的舉例金屬化圖案； 第2圖示出一依據本發明之實施例的印刷單元之_舉 例排列及一相關印刷圖案的圖例； 第3圖示出一依據本發明之實施例的印刷單元之—舉 例排列及一相關印刷圖案的圖例； 201029850 第4圖示出-依據本發明之實施例的印刷單元之一舉 例排列及一相關印刷圖案的圖例； 第5圖示出一依據本發明之實施例的印刷單元之一舉 例排列及一定位單元的圖例； 第6圖示出一依據本發明之實施例的印刷單元之一舉 例排列及一定位單元的圖例； 第圖示出依據本發明之實施例的印刷單元之一舉 例排列及一平移單元的圖例； 第8圖示出一依據本發明之實施例的印刷單元之一舉 例排列’一平移單元及一基材之舉例旋轉的圖例；及 第9圖示出―依據本發明之實施例的舉例圖案。 應請瞭解為了圖式的簡明和清楚起見，示於該等圖中 的元件並不-定被依比騎製。例如，某些元件的尺寸為 了清楚可能會相對於其它元件被誇大。又，若考量適宜， 標號可齡在鱗时被重複使絲標讀應或類似^元 件。 t實施方式；j 較佳實施例之詳細說明 在以下詳細說明中，許多特定的細節會被陳述俾能提 供對本發_徹底瞭解。但是，—般熟習該技術者將可瞭 解不用該等特定細節本發明亦可被實施。在其它實例中， 公知的方法、程序、構件、模組、單元及/或電路等並未被 詳細描述，俾免模糊了本發明。 本發明的實施例可被應用於多種的印刷系統和方法。 5 201029850 為了清楚簡明起見，無接觸材料沈積系統的實施例和參註 說明將會被主要應用於使用一噴墨系統的微電子、平板顯 示器和太陽能電池等之傳導金屬線路的製造。但是’本發 明的範圍並不被該等實施例所限制，而可被應用於其它的 沈積系統’譬如氣懸體喷射沈積系統或一配佈器和其它的 用途，譬如製圖，壓印，大量媒體，封裝、電子和其它使 用任何適當墨汁或配佈材料者。 本發明的實施例係指向印刷線路的方法 觸沈積來印刷導電線路的方法。例如，該方法可包括由多 數的喷墨噴嘴將材料比如銀沈積在一基材譬如一半導體晶 圓上來印刷導電性接觸線路等。該線路可被設計成具有一 所需尺寸，例如寬度，其會滿足導電性要求。本發明的實 施例亦指向依據預定參數譬如一基材上之一或更多線路的 方向、寬度或位置，及/或一冑關間隔值或線路的其它關係 之參數來沈積傳導線路等。該等實施例在例如於光生伏打 電池的正面沈積金屬化圖案時將會是有利的。 如則所不’依據習知技術，印刷頭或其它的印刷單元 係…垂直或正父於—掃描方向或軸線的方向或直線來被 置設。《某些實施例’多數個印刷頭或其它印刷單元可 被沿-掃描軸線或方向來設置。該等被如此設置的 更可被依據-所需及/或就_隔參數或數值來安裝 隔或定置。例如，三個印刷頭可被沿-掃描方向來安裝 且更可被分開或間隔而使由該三個印刷頭所印成的三條 應線路會互相㈣或職一默距離1等安排可與輪送 201029850 帶處理結合，如前所述且在該技術巾已習知。例如，許多 -線路可被以一對應數目之沿一掃描轴排列的印刷 頭’及藉以—輸送m掃鄉平移該基材而來印刷或沈 土材上的許多個位置。如前所述，本發明的實施例 可以達成平行線路以各料同的間隔值參數或距離及依 據其它參數之印刷。依據本發明的實施例，除了被如前所 述地排列來製造平行線路之外，印刷頭亦可相對於該掃描 軸呈一角度來被安裝或置設，或它們可被斜傾、旋轉或置 設成使一印刷線路的寬度會依據一預定的參數。例如，在 一單次掃描中，一較窄的第二線路可被以一2cm的距離平行 於一較寬的第一線路來印成，及又一較寬的第三線路可被 以一離該第二線路1.5cm的距離而平行於該第一和第二線 路來即成。如前所述，印刷頭或其它相關的印刷單元可被 排列成能容許任何適當的圖案。 雖本發明的實施例可應用於多種印刷系統、方法和目 的等，但為了清楚簡明起見，太陽能電池的正面金屬化將 會被主要地描述於此。然而，應請瞭解本發明的實施例並 不限制於所述之例，因此可被應用於任何適當的系統、方 法或目的。 太陽能電池的正面金屬化典型包含等間隔的細導電線 路，通常稱為“手指”或“指線”等。指線路係用來將光產生 的電流傳導至電端子，其可使一太陽能電池能提供電力。 該等線路之間的間隔乃可為一需要減少由該光生伏打元件 之材料的電阻所生的損耗之要求，及要最小化陰影損耗的 7 201029850 要求之間的折衷妥協。各指線之間的典型間隔係為2〇1瓜， 而該線寬可視製造技術而定，且可小於1〇〇μιη。針對包含 大面積的光生伏打元件’或當數個太陽能電池被互接在一 起來形成一太陽能模組時，該等指線應具有充分的導電性 俾有致率地將該光產生的電流傳導至電端子。為克服此問 通的通常方法係使用若干例如二或三條正交於該等指線的 較寬線路，稱為“匯流條，，或“條帶，’者，來由該等指線收集 該光產生的電流，及連接至其它太陽能電池或端子。該等 匯流條的寬度典型為1.5至3mm。 @ 現請參閱第1圖，乃示出依據本發明之實施例的舉例金 屬化圖案。如第1所示，許多平行的細指線1〇3等可被以一 特定間隔如104所示來沈積。另一組平行線路ίο!則可較 、 寬’例如所述的匯流線者，係可依據一第二間隔參數如102 〜 所示來被印成。因此且如第1圖所示，本發明的實施例可被 構設成能依據至少一對應多數的間隔參數和對應多數的寬 度參數來沈積多數的平行線路。 在第1圖中所示的圖案可為一典型的圖案之例，其係可 ® 使用於例如太陽能電池的量產。為了清楚之故，該圖案將 會被進一步引述於此’然而’應請瞭解此舉例圖案係被引 用於此作為一例子，且各種不同的其它圖案、寬度、間隔 或其它參數等亦可配合本發明的實施例來被使用。如前所 述，譬如一指線路103和匯流線或匯流條101的圖案係可藉 由一或更多個喷嘴配佈金屬化材料來敷設’該等喷嘴可被 安裝在一印刷單元中’而該基材會在底下沿一掃描方向來 8 201029850 被掃描。因此，一沿一掃描軸定向的噴嘴陣列乃可適用於 形成如第1圖所示圖案之光生伏打太陽能電池的傳導線路 等。 依攄本發明的實施例且如前所述，多數條線路例如金 屬化線路等可藉一對應多數的印刷單元來被印成或沈積。 依據本發明的實施例，各金屬化線路可被由單一沿該掃描 軸定向的喷嘴陣列來沈積。該喷嘴陣列可被套裝或併設於 單一印刷單元上，例如一如該技術中習知的印刷頭。一印 刷單元可包含任何適當數目的噴嘴，例如數百個喷嘴。_ 依據本發明之實施例所敷設的圖案，如前所述可只需要— 較少量的金屬化材料，且能例如被以一具有大量減少喷墨 元件數目的噴墨印刷機來敷設。在某些實施例中，一線路 可被以一排列成一實質上沿一基材之掃描軸來定向的直線 陣列之沈積元件陣列來印成。 現請參閱第2圖，其示出依據本發明之實施例的印刷單 元之舉例排列及一相關的印刷圖案之圖例。如第2圖中所 示，一印刷系統200可包含數印刷單元201、202、203、204 和205等。其各含有配佈喷嘴，譬如噴嘴210、211、212和 213等套裝在印刷單元201上，及喷嘴215、216和217等安裝 在印刷單元205上。如所示，該等印刷單元可被沿著掃描方 向（如座標系統270所示)排列，而使單一印刷單元之一部份 的噴嘴能在一基材260上印出一對應的線路。 如箭號220所示，印刷單元等可依據一預定的間隔參數 來被移位、平移或者定位或重定位。例如，為能製成5條相 9 201029850 隔一特定距離的平行線路，印刷單元201〜205可被依據該 預疋的間隔參數來定位，如第2圖所示。例如，線路230可 被印刷單元201印成；線路231可被印刷單元202印成依此類 推。如另又於前所述，其它的印刷排列方式亦同樣可用而 不超出本發明的範圍。如第2圖所示，在某些實施例中，線 路譬如指線及/或匯流線等係可被以一固定間隔及/或寬度 來沈積或印成。但是，本發明的實施例並不限於此態樣。 依據習知技術，一印刷頭典型係被製成具有一預定的 喷嘴間隔，俾能例如藉沿一橫過掃描轴定位該印刷頭而來 Θ 完成平行線路的印刷。但是，當需要一不同的參數，例如 —不同的平行線路之間隔時’該印刷頭可能不能再被使 用，且因此，可能會以另一印刷頭更換。如前所述，依據 * 本發明的實施例，乃不必更換印刷頭或單元，它們可僅被 簡單元地重定位而來容許適配許多的圖案。 現請參閱第3圖，其示出一依據本發明之實施例的印刷 單元之一舉例排列及一相關印刷圖案的圖例。如第3圖所 示’印刷單元或印刷頭等可被移動、移位或者定位而來促 ® 成任何印刷線路的間隔。在某些情況下，一些印刷頭或單 元可被消止，俾可例如達到較大的印刷線路之間隔或距 離。如第3圖中所示，印刷單元201、202、203、204、205 等可被重排列’而來達成一不同於第2圖所示的圖案。例 如，印刷單元202可被移除，印刷單元2〇3可被朝左移向印 刷單元204,且印刷單元204可被朝右移向印刷單元203。因 此’形成於基材360上之各線路311、312、313、314之間的 10 201029850 距離75可不同於第2圖中所示之線路230〜234者。 如則所述’―印刷線路之間的距離係可藉適當地定位 I7刷單凡或印刷頭等來被決定及/或達成，例如第2圖及/或 第3圖戶斤- ^ 不。在某些實施例中，一印刷線路的所需寬度係可 藉相對於—掃描方向呈—角度斜傾、斜向地定位、旋轉或 定位一印刷單元而來達成。 現请參閱第4圖’其示出依據本發明之實施例的印刷單 元之舉例排列及一相關印刷圖案的圖例。如第4圖中所示， 印刷單tl41〇和411係可相對於一掃描方向如箭號44〇所示 以一角度來被旋轉、斜傾、轉動或者定位，例如角度0 45〇 所示。因此且如所示，印刷線路412和413之一對應寬度乃 可被造成。依據本發明的實施例，如第4圖所示地將印刷單 元疋位於一角度係可依據許多的考量因素、限制及/或參 數。例如，一印刷頭的斜傾或角度係可依據該印刷線路之 一所需寬度。另一考量則可為所沈積材料的重疊程度。例 如’當印刷頭411與該掃描方向之間的<9角度是90。時，則 可能造成一完全重疊。即是，被示於印刷頭411上的喷嘴420 和430可完全地重疊。因此，喷嘴430能將材料沈積在實質 上由喷嘴420所沈積之材料相同的位置上。然而如所示，將 該角度<9減少至小於90°的任何值可造成一材料沈積的重 疊’即是，只有一些被一第一喷嘴所沈積的材料能被沈積 在配裝於同一印刷頭或單元上之另一喷嘴所沈積的材料頂 上。因此，本發明的實施例可藉調整、構設、或控制一印 刷單元的定向而來控制一重疊標度。 11 201029850 例如，當前述的指線典型係為窄線時，匯流條則典塑 較寬。因此，許多的印刷單元可被以一角度定位如前所述， 而來沈積一對應數目的匯流線，或許多的印刷單元可被以 一角度定位如前所述，而來沈積一單一的匯流條或其它可 能的較寬線路。一線路之一特定寬度係可藉一印刷單元之 一特定斜傾來達成。例如，若喷嘴420和430之間的距離為 D，為了使印刷單元411能沈積一寬度w的線路，則一斜傾
角度0可被選擇為W=D(cos0 )。當計算一印刷頭相對於一 掃描方向的角度(例如時，任何適當的參數皆可被納入与 量。例如，該印刷單元之長度，配裝在印刷單元上之噴嘴 的數目’-印刷單元上的喷嘴之間的間隔或距離，沈躺 重疊標度，及-印刷線路的所需寬度等，皆可在如第須所 示及如前所述地斜傾—印刷單_被考量。該等喷嘴的數 目’及其相對間隔，一線路的所需寬度，和所需的重疊標 度等皆可藉適當的計算而被達成。如—例中，針對直徑 墨元
涵的橫過掃描“。此等計算可被執行而 來決疋-轉或斜傾的角度(例如第4圖中的Θ)，可能 將各種不同之如前所述的相關參數納入考量。 印刷軸平行於一掃描轴或方向如前所述地來定位 二=或印刷頭等乃可在許多方法…_。例如， 噴嘴平行於該等指線路的定向會具有可由屬於 印刷單元的多數喷嘴來沈積材料的優點。因 ，技射習知的問題，即當沈積是由屬於不同的 12 201029850 印刷頭來進行時’因機械性失準所賴的登人失誤乃可被 消滅或避免。對應地，該方法會提供—種該印刷機能免除 不同的印刷頭間須精確調準之充分簡化的校準程序之優 點例如將印刷頭等如第w和*圖所示地固定於一位置， 乃可保也線路的精準印刷，分別如第2、3、4圖中所示。 本發明的實施例，例如參照第2、3、4圖所述者，係可 被以不同的方式來利用。例如，一材料沈積系統可達成圖 案的高精度印刷或沈積。 Ο 如該技術中所習知，輸送帶式的系統之精破度或解析 度係相對於該掃描方向是不對稱的。在該掃描方向中其 解析度主要是由該掃描速度和解析度或精確度，及射 ==方Γ橫過掃描方向的解析度主要是由投射於 该物把方向之每單位長度的喷嘴數目來決定。因此， 解析度、精準度或精確度會固有地比在該 向沈積如尚。本發明的實施例能夠藉沿該掃描方 譬如針對:=Γ的線路而得放鬆或減少某些限制， —==度或解析度。依據本” 基材可被旋轉或定位成使當以該拇 ::基向的任“ 此在一依據本發明之實施例的系統中，古 度可只在—軸向被要求，而在其它的例如正交輛嘯柝 放鬆。藉著旋轉-基材，_何含有沿任何方向=能被 定向::路的圖案，仍可被達到高解析度或精確的印：何 、本發明的實施例，-種以直接穿入#料沈積印刷 13 201029850 機來為光生伏打太陽能電池數設金屬化線路的方法乃包含 如下步驟.藉著沿一平行於第—組線路的轴線掃描一基材 而來形成-第-組的金屬化線路(例如指線等），由一排沿該 掃描轴線路定向的喷嘴來沈積各線路，以例如9〇。來旋轉該 基材及錢藉沿—平行於第二_路的軸線掃描該基材 來形成一第二組的金屬化線路(例如匯流線或匯流條）。應請 瞭解任何數目的該等線路組皆可藉該方法及/或如前所述 地被印刷或沈積而不超出本發明的範圍。 現請參閱第5圖，其示出依本發明之實施例的印刷單元 _ 之一舉例排列及一定位單元的圖例。如第5圖所示，一系統 500可包含一第一組的印刷單元51〇等其可被如第2圖所述 地排列。系統500可包含一第二組的印刷單元56〇等，其可 被如第4圖所述地排列。系統500可包含一定位單元或總 、 成，其含有一平移枱520和一旋轉單元53〇。旋轉單元53〇可 設有一感測器，譬如一光學編碼器，能以一高精確度追踪 其運動並提供反饋至一由該控制單元操作的封閉迴路。旋 轉單元53G㈣以任何適當角度和高精確度及解析度來旋 _ 轉。例如，優於2微弧度(〇·4弧秒）的解析度及優於2〇微弧度 (4弧秒）的可重複性。 如所示，線路550等可被印刷在基材54〇上，其可為一 石夕晶圓或-太陽能電池。依據本發明的實施例，平利抬52〇 可沿該掃描轴（或X軸）如座標系統57〇所示地平移基材 540。因此，每-線路55〇皆可被印刷單元51〇等之一對應的 印刷單元印出。可為如前所述之指線路的線路55〇之沈積可 14 201029850 包括沿著或依據如座標系統570所示之掃描方向來定位印 刷單元510等。印刷單元51〇等更可被依據該等指線55〇之一 所需間隔來相隔，例如印刷單元51〇等可被設成互相分開 2mm。一特別或特定的指線可被以一單獨的印刷單元來印 成。因此，印刷多數條線路乃可藉一對應多數的印刷單元 或印刷頭來達成。在本發明的某些實施例中，當材料被印 刷單元510等沈積之後，旋轉單元530可例如以90。來旋轉基 材 540。 現請示閱第6圖，其示出依據本發明之實施例的印刷單 元之一舉例排列及一定位單元的圖例。如前所述，在印成 指線路550之後，基材540可被旋轉例如90。。依據本發明的 實施例，在該旋轉之後’基材540可被印刷單元560等平移。 如第6圖所示，一組正交於線路550等之線路580等乃可被印 刷單元560等印成。如所示，其結果可為一包括指線和匯流 線的圖案皆全部在該掃描方向被印成。如所示，線路580可 比線路550更寬。因此，印刷每一線路580可能須要一個以 上的噴嘴。如所示，印刷單元可被相對於所示的掃描方向 呈一角度來裝設、套裝、安裝、排列或定位。因此，多數 個喷嘴乃可被使用，俾能印成任一如前例如參照第4圖所述 的線路580等。雖於前所述的實施例包括沿一掃描方向平移 一基材及/或旋轉一基材’低其它的可能性及/或實施例亦存 在。例如，在某些實施例中’不同於或附加於平移及/或旋 轉。例如，一第一組的印刷單元可被沿一第一方向平移來 掃描一基材以沈積一第一組線路’例如該等指線，且一第 15 201029850 二組的印刷單元，可能被不同地定位’乃可被沿一第二方 向平移來掃描一基材以沈積一第二組線路，例如該等匯流 線。 雖所述之舉例的系統和方法包含一旋轉基材的元件， 但其它的可能性亦可被本發明的實施例達成。依據本發明 的實施例，一印刷系統可包含一平移系統其能沿二正交或 不同的轴線路來掃描一基材。
現睛參閱第7圖，其示出依據本發明之實施例的印刷写 元之一舉例排列及一平移單元的圖例。如第7圖所示，一 g 統700可包含印刷單元陣列710和740,及一平移單元或系句 其可包含平移台或單元760和770。如所示，基材74〇可被袭 平移台760和770由一第一位置平移至一第二位置。平移差 或單元760和770可被組合或操作性地連接，而使一基材72 能被以第一和第二方向平移。例如且如所示，平移單元 可沿座標系統780所示的γ方向來平移基材72〇，而平移單天 77〇可沿座標系統780所示的X方向來平移基材72〇。如前^ 述，例如參照第5圖，-第一組線路73〇，例如指線，可稱 以印刷單元陣列710印刷或沈積，而基材720會在陣列71〇底 下或附近被平移。基材7辦被平移單元彻帶到一位置， =處其可被拾取或移轉至平均單元，平料元7?〇可 交於Hi下或附近平移該基材咖，在該處有一可能正 沈積。應 乃可被組合…任何適當、可用或所需I: 16 201029850 材，且因此，在任何方向的線路皆可沿一掃描方向來被印 成。 雖如前所述之例主要係有關正交的掃描方向或旋轉 等，但其它的可能性亦可由本發明的實施例來達成。例如， -20°或-120。的旋轉也是可能的。除了陰影損耗之外，一金 屬化圖案亦可依據各種不同的參數來被最佳化，譬如該半 • 導體的阻抗損耗，電荷栽體平均自由路，金屬化線路的總 長度等等。因此一般較佳的圖案可具有任何由不同於上述 的正交線路等之金屬化線路所構成的圖形。 現請參閱第8圖，其示出一依據本發明之實施例的印刷 單元之一舉例排列，一平移單元及一基材之一舉例旋轉的 圖例。如第8圖中所示，—系統8〇〇可包含多數個印刷單元 510、平移枱520及一旋轉單元53〇，如前參照第5圖所述。 線路550等可被沈積在基材54〇上，如前參照第5圖所述。如 標號810所示，基材540可被以一不同於9〇。的角度旋轉。例 如且如所示’基材540可被以12〇。的角度旋轉。請附加地參 擊 閱第9圖’乃示出一圖案其可藉在一第一掃描之後以12〇。旋 轉一基材’並在一第二掃描之後再度旋轉12〇。而被達成。 依據本發明的實施例’在一基材已被如所示地旋轉之後， 其可被千移至第一組的印刷早’在該處· 一第二組的線 路可被沈積。變換或附加地，一基材可被前後平移，例如 沿一第一方向嗣再沿倒反方向。例如，在基材540已被如810 所示地旋轉之後，基材540可再朝向印刷單元510被移回， 在該處一第二組的線路可被印成。因此，一基材可在相同 17 201029850 陣列的印刷單元、印刷頭或喷嘴底下卿描多次且在节 各多次掃描時更可被相對於該掃描軸以—^同的角 = 向置設。 本發明的實施例可包含一物件，譬如一電腦或處理器 可讀的媒體，或-電腦或處理器儲存媒體，譬如—記憶體， :硬碟驅動器，或-USB快閃記憶體，編碼，包含或儲存 指令’例如電腦可執行的指令等，其在當被—處理器或控 制器執行時，將會實現所揭的方法。 "
-除非明確地陳明，該等所述的方法實施例並不限制於 1定的次序或順序。此外，某些所述的方法實施例或其 元素等能在相同的時點或重疊的時點來發域被進行。如 該技術中所習知…可執行碼片段譬如—功能、任務、次 任務或程式的執行，乃可被視為該功能、程式或其它成分 的執行。
雖本發明的實施例並不受限於此，論述所用的詞語例 如“處理”、“運算，’、“計算”、“決定，，、“建立，，、“分析”、“檢 查等，乃可視為一電腦、一運算平台、一運算系統、或其 匕子運算裝置的操作及/或處理，其會操控及/或轉換代表在 該電腦之寄存器内的物理（例如電子）量之資料及/或記入 同樣代表在該電腦之寄存器及/或記憶體或其它可儲存指 令來進行操作及/或處理的資訊儲存媒體内之物理量的其 它資料。 雖本發明的實施例並不受限於此，所使用的“多個，，和 ‘‘多數”等詞語乃可包括例如“複數的，，或“或，，二或更多的”。 18 201029850 該“多個”或“多數”等詞語乃可被遍用於本說明書中來描述 二或更多個構件、裝置、元件、單元、參數等等。 雖本發明的某些特徵已被圖示並描述於上，但許多修 正、替代、變化和等同物亦可發生於熟習該技術者。因此， 應請瞭解所附申請專利範圍係欲予涵蓋所有落諸於本發明 之實質精神内的該等修正和變化。 r:圖式簡單說明3 第1圖示出依據本發明之實施例的舉例金屬化圖案； 第2圖示出一依據本發明之實施例的印刷單元之一舉 例排列及一相關印刷圖案的圖例； 第3圖示出一依據本發明之實施例的印刷單元之一舉 例排列及一相關印刷圖案的圖例； 第4圖示出一依據本發明之實施例的印刷單元之一舉 例排列及一相關印刷圖案的圖例； 第5圖示出一依據本發明之實施例的印刷單元之一舉 例排列及一定位單元的圖例； 第6圖示出一依據本發明之實施例的印刷單元之一舉 例排列及一定位單元的圖例； 第7圖示出一依據本發明之實施例的印刷單元之一舉 例排列及一平移單元的圖例； 第8圖示出一依據本發明之實施例的印刷單元之一舉 例排列，一平移單元及一基材之舉例旋轉的圖例；及 第9圖示出一依據本發明之實施例的舉例圖案。 【主要元件符號說明】 19 201029850 101…平行線路 102.. .第二間隔參數 103.. .指線 104.. .間隔 200，500，700，800…印刷系統 201 〜205，410，411，510，560···印刷單元 210〜217，420，430".喷嘴 220…移位方向 230〜234，412，413，550，580，730，750…線路 260，540…紐 270，570，780…座標系統 440…掃描方向 450.. .旋轉角度 520.. .平移枱 530.. .旋轉單元 Ή0，740…印刷單元陣列 760，770...平移台 810...基材旋轉狀態

Claims (1)

  1. 201029850 七、申請專利範圍： 1. 一種印刷的方法，該方法包含： 依據多數的間隔值並依據一預定的掃描方向來定 位多數的印刷單元；及 當依據所述的預定掃描方向來引致一基材與該等 印刷單元間之一相對平移時，藉該多數的印刷單元沈積 材料於該基材上以形成多數的平行線路於該基材上，而 使該多數的平行線路依據該多數的間隔值互相隔開。 ® 2.如申請專利範圍第1項之方法，其中該多數的印刷單元 包含對應多數之沿一第一方向排列的噴嘴之陣列，且其 中定位該多數的印刷單元係會使該第一方向沿著該掃 描方向。 3. 如申請專利範圍第2項之方法，其中每一所述的陣列會 形成該多數的平行線路之一者。 4. 如申請專利範圍第1項之方法，其中在至少一所述的線 路中，所述材料的細滴會部份地重疊。 5. 如申請專利範圍第1項之方法，其中該材料是導電的， 且該基材為一半導體晶圓。 6. —種印刷的方法，該方法包含： 相對於一掃描方向以一預定角度來定位至少一印 刷單元，其中該印刷單元包含一沿一第一方向排列的喷 嘴之陣列，且其中該角度係依據至少一線路寬度參數來 決定；及 當沿該掃描方向引致一基材與該印刷單元間之一 21 201029850 相對爭移時，藉該印刷單元沈積材料於該基材上’而依 據所述寬度在該基材上形成一線路。 7. 如申請專利範圍第6項之方法，其中在至少一所述的線 路中’所述材料的細滴會部份地重疊。 8. 如申請專利範圍第6項之方法，其中該材料是導電的’ 且該基材為一半導體晶圓。 9. 一種用於印刷的系統，包含： 用以依據多數的間隔值並依據一預定的掃描方向 來定位多數的印刷單元之裝置；及 用以依據該預定掃描方向在一基材與該等印刷單 元之間引致一相對平移並用以沈積的裝置，當引致該相 對平移時，藉該多數的印刷單元於該基材上沈積材料以 在該基材上形成多數的平行線路，而使該多數的平行線 路依據所述之多數的間隔值來互相隔開。 10. 如申請專利範圍第9項之系統，其中該多數的印刷單元 包含對應多數之沿一第一方向排列的喷嘴之陣列，且其 中定位該多數的印刷單元係會使該第一方向沿著該掃 描方向。 11. 如申請專利範圍第10項之系統，其中每一戶斤述的陣列會 形成該多數的平行線路之一者。 12·如申請專利範圍第9項之系統其中在至少/所述的線 路中，所述材料的細滴會部份地重疊。 13.如申請專利範圍第9項之系統其中該材料是導電的， 且該基材為一半導體晶圓。 22 201029850 14. 一種用於印刷的系統，包含： 用以相對於一掃描方向以一預定角度來定位至少 一印刷單元的裝置，其中該印刷單元包含一沿一第一方 向排列的噴嘴之陣列，且其中該角度係依據至少一線路 寬度參數來決定；及 用以依據該掃描方向在一基材與該印刷單元之間 引致一相對平移並用以沈積的裝置，當引致該相對平移 時，藉該印刷單元於該基材上沈積材料而依據所述寬度 在該基材上形成一線路。 15. 如申請專利範圍第14項之系統，其中在至少一線路中， 所述材料的細滴會部份地重疊。 16. 如申請專利範圍第14項之系統，其中該材料是導電的， 且該基材為一半導體晶圓。
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