KR20140047158A - 기판 이송 시스템 및 기판 이송 방법 - Google Patents

기판 이송 시스템 및 기판 이송 방법 Download PDF

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Abstract

수직 방향으로 연신하고, 또한 복수의 직사각형의 기판 탑재 영역(211)이 수평 방향으로 배열하여 정의된 탑재면(210)을 가지고, 기판 탑재 영역(211) 각각의 외주의 좌변, 우변 및 하변에 좌변 고정 핀, 우변 고정 핀 및 하변 고정 핀이 각각 배치된 기판 플레이트(21)와, 각각의 주면이 동일 평면 레벨로 배치된 상태에서 복수의 직사각형의 기판(100)을 보호지지하는 기판 보호지지 기구(15), 수평 방향으로부터 보아 기판 탑재 영역(211)에 대하여 비스듬한 자세에서, 보호지지된 복수의 기판(100)의 주면을 탑재면(210)과 근접하여 대향시키는 기판 이동 기구(11), 및 1 개의 회전축을 중심으로 하여 탑재면(210)에 따라 복수의 기판(100)을 동시에 회전시키는 기판 회전 기구(13)를 가지는 기판 탑재 장치(10)를 구비한다.

Description

기판 이송 시스템 및 기판 이송 방법{SUBSTRATE TRANSFER SYSTEM AND SUBSTRATE TRANSFER METHOD}
본 발명은 처리 대상인 기판을 샘플 홀더에 이송하는 기판 이송 시스템 및 기판 이송 방법에 관한 것이다.
반도체 장치의 제조 공정에서, 고정밀도의 프로세스 제어가 용이하다는 이점으로부터, 성막, 에칭, 애싱 등의 처리에 플라즈마 처리 장치가 이용되고 있다. 예를 들어, 성막 장치로서, 평행 평판을 구성하는 캐소드 전극과 애노드 전극 사이에 플라즈마를 형성하여 성막 처리를 행하는 플라즈마 화학 기상 성장(CVD) 성막 장치가 알려져 있다.
플라즈마 처리 장치의 기판 처리 방법은, 기판을 1 매씩 처리하는 매엽(枚葉)식과 복수의 기판을 동시에 처리하는 배치(batch)식으로 대별된다. 태양 전지는 기판 사이즈가 125 mm ~ 156 mm 정도로 작고, 또한, 1 매의 기판당 걸리는 코스트가 작기 때문에 단위 시간 당의 처리 기판 매수를 많게 할 필요가 있다. 이 때문에, 태양 전지용의 성막 장치에서는 배치식이 이용되는 일이 많다.
배치식에서는, 복수의 기판을 동시에 성막 처리실에 반송하기 위하여, 기판을 기판 탑재 장치에 이송한다. 기판 탑재 장치에는, 수평인 판에 기판을 수평으로 늘어놓는 카트 타입이나, 기판을 수직으로 복수 늘어놓는 보트 타입 등이 있지만, 처리 효율을 향상시키기 위하여, 보트 타입의 샘플 홀더를 이용하여 동시에 처리할 수 있는 기판의 수를 늘리는 것이 유효하다.
이 때문에, 예를 들어, 복수의 기판을 주면의 법선 방향으로 늘어놓은 상태에서 보트 타입의 샘플 홀더에 탑재하는 기판 이송 방법이 제안되어 있다(예를 들어, 특허 문헌 1 참조).
특허 문헌 1 : 일본 특개평11-121587호 공보
보트 타입의 샘플 홀더는 탑재면이 정의된 기판 플레이트를 탑재면의 법선 방향으로 배열한 구성을 가진다. 이 때문에, 복수의 기판을 주면의 법선 방향으로 늘어놓은 상태에서 샘플 홀더에 이송하는 경우에는, 기판 플레이트 사이의 피치와 탑재면의 기판 사이의 피치 중의 어느 하나에 대해서도 조정할 필요가 있다. 이때, 예를 들어, 기판 탑재 시에 기판을 기판 플레이트에 부딪히거나, 기판 플레이트에 탑재 실패하여 기판을 낙하시키거나 하지 않기 위하여, 기판 플레이트의 뒤틀림 등을 고려하여 기판 플레이트 사이의 피치에 대해서 마진을 갖게 할 필요가 있다. 이 때문에, 기판 플레이트 사이의 피치나 기판 사이의 피치를 고정밀도로 맞추어 넣어, 기판을 샘플 홀더에 정밀도 좋게 이송하는 것이 곤란하다.
본 발명은 보트 타입의 샘플 홀더에 복수의 기판을 동시에, 또한 고정밀도로 이송할 수 있는 기판 이송 시스템 및 기판 이송 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 일 양태에 의하면, (가) 수직 방향으로 연신(延伸)하고, 또한 복수의 직사각형의 기판 탑재 영역이 수평 방향으로 배열하여 정의된 탑재면을 가지고, 기판 탑재 영역 각각의 외주의 좌변, 우변 및 하변에 좌변 고정 핀, 우변 고정 핀 및 하변 고정 핀이 각각 배치된 기판 플레이트와, (나) 각각의 주면이 동일 평면 레벨로 배치된 상태에서 복수의 직사각형의 기판을 보호지지하는 기판 보호지지 기구, 수평 방향으로부터 보아 기판 탑재 영역에 대하여 비스듬한 자세에서, 보호지지된 복수의 기판의 주면을 탑재면과 근접하여 대향시키는 기판 이동 기구, 및 1 개의 회전축을 중심으로 하여 탑재면에 따라 복수의 기판을 동시에 회전시키는 기판 회전 기구를 가지고, 기판의 좌변, 우변 및 하변이 좌변 고정 핀, 우변 고정 핀 및 하변 고정 핀에 각각 지지되도록 복수의 기판을 복수의 기판 탑재 영역에 동시에 탑재하는 기판 탑재 장치를 구비하는 기판 이송 시스템이 제공된다.
본 발명의 다른 양태에 의하면, (가) 수직 방향으로 연신하고, 또한 복수의 직사각형의 기판 탑재 영역이 수평 방향으로 배열하여 정의된 탑재면을 가지고, 기판 탑재 영역 각각의 외주의 좌변, 우변 및 하변에 좌변 고정 핀, 우변 고정 핀 및 하변 고정 핀이 각각 배치된 기판 플레이트를 준비하는 단계와, (나) 각각의 주면이 동일 평면 레벨로 배치된 상태에서 복수의 직사각형의 기판을 보호지지하는 단계와, (다) 수평 방향으로부터 보아 기판 탑재 영역에 대하여 비스듬한 자세에서, 보호지지된 복수의 기판의 주면을 탑재면과 근접하여 대향시키는 단계와, (라) 1 개의 회전축을 중심으로 하여 탑재면에 따라 복수의 기판을 동시에 회전시켜서, 기판의 좌변, 우변 및 하변이 좌변 고정 핀, 우변 고정 핀 및 하변 고정 핀에 각각 지지되도록 복수의 기판을 복수의 기판 탑재 영역에 동시에 탑재하는 단계를 포함하는 기판 이송 방법이 제공된다.
본 발명에 의하면, 보트 타입의 샘플 홀더에 복수의 기판을 동시에, 또한 고정밀도로 이송할 수 있는 기판 이송 시스템 및 기판 이송 방법을 제공할 수 있다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시 형태에 관련된 기판 이송 시스템의 구성을 나타내는 모식도이다.
도 2는 본 발명의 제 1 실시 형태에 관련된 기판 이송 시스템의 동작을 나타내는 모식도이다(그 1).
도 3은 본 발명의 제 1 실시 형태에 관련된 기판 이송 시스템의 동작을 나타내는 모식도이다(그 2).
도 4는 본 발명의 제 1 실시 형태에 관련된 기판 이송 시스템에 의한 기판의 회전을 나타내는 모식도이다(그 1).
도 5는 본 발명의 제 1 실시 형태에 관련된 기판 이송 시스템에 의한 기판의 회전을 나타내는 모식도이다(그 2).
도 6은 본 발명의 제 1 실시 형태에 관련된 기판 이송 시스템의 기판 플레이트에 배치되는 고정 핀의 구조를 나타내는 모식도이다.
도 7은 본 발명의 제 1 실시 형태에 관련된 기판 이송 시스템에 의한 기판 이송 방법의 예를 설명하기 위한 모식도이다(그 1).
도 8은 본 발명의 제 1 실시 형태에 관련된 기판 이송 시스템에 의한 기판 이송 방법의 예를 설명하기 위한 모식도이다(그 2).
도 9는 본 발명의 제 1 실시 형태에 관련된 기판 이송 시스템에 의한 기판 이송 방법의 예를 설명하기 위한 모식도이다(그 3).
도 10은 본 발명의 제 1 실시 형태에 관련된 기판 이송 시스템에 의한 기판 이송 방법의 예를 설명하기 위한 모식도이다(그 4).
도 11은 본 발명의 제 1 실시 형태에 관련된 기판 이송 시스템에 의한 기판 이송 방법의 예를 설명하기 위한 모식도이다(그 5).
도 12는 본 발명의 제 1 실시 형태에 관련된 기판 이송 시스템의 회전축의 위치를 설명하기 위한 모식도이다(그 1).
도 13은 본 발명의 제 1 실시 형태에 관련된 기판 이송 시스템의 회전축의 위치를 설명하기 위한 모식도이다(그 2).
도 14는 본 발명의 제 1 실시 형태에 관련된 기판 이송 시스템의 회전축의 위치를 설명하기 위한 모식도이다(그 3).
도 15는 본 발명의 제 1 실시 형태에 관련된 기판 이송 시스템의 회전축의 위치를 설명하기 위한 모식도이다(그 4).
도 16은 본 발명의 제 1 실시 형태에 관련된 기판 이송 시스템의 회전축의 위치를 설명하기 위한 모식도이다(그 5).
도 17은 본 발명의 제 1 실시 형태에 관련된 기판 이송 시스템의 회전축의 위치를 설명하기 위한 모식도이다(그 6).
도 18은 본 발명의 제 1 실시 형태에 관련된 기판 이송 시스템에 의한 회전 각도의 최대치를 설명하기 위한 모식도이다.
도 19는 본 발명의 제 1 실시 형태에 관련된 기판 이송 시스템의 회전축의 위치를 설정하는 방법을 설명하기 위한 모식도이다(그 1).
도 20은 본 발명의 제 1 실시 형태에 관련된 기판 이송 시스템의 회전축의 위치를 설정하는 방법을 설명하기 위한 모식도이다(그 2).
도 21은 본 발명의 제 1 실시 형태에 관련된 기판 이송 시스템에 의해 복수의 기판 플레이트에 기판을 이송하는 예를 나타내는 모식도이다.
도 22는 비교예의 기판 이송 시스템에 의해 복수의 기판 플레이트에 기판을 이송하는 예를 나타내는 모식도이다.
도 23은 본 발명의 제 1 실시 형태에 관련된 기판 이송 시스템을 적용 가능한 인라인식 제조 장치의 구성을 나타내는 모식도이다.
도 24는 본 발명의 제 2 실시 형태에 관련된 기판 이송 시스템의 구성을 나타내는 모식도이다.
도 25는 본 발명의 제 2 실시 형태에 관련된 기판 이송 시스템에 의해 복수의 기판 플레이트에 기판을 이송하는 예를 나타내는 모식도이다.
도면을 참조하여, 본 발명의 실시 형태를 설명한다. 이하의 도면의 기재에서, 동일 또는 유사한 부분에는 동일 또는 유사한 부호를 붙이고 있다. 다만, 도면은 모식적인 것임에 유의해야 한다. 또한, 이하에 나타내는 실시 형태는, 이 발명의 기술적 사상을 구체화하기 위한 장치나 방법을 예시하는 것으로서, 이 발명의 실시 형태는, 구성 부품의 구조, 배치 등을 아래와 같은 것에 특정하는 것은 아니다. 이 발명의 실시 형태는 청구의 범위에서, 여러 가지의 변경을 더할 수가 있다.
(제 1 실시 형태)
본 발명의 제 1 실시 형태에 관련된 기판 이송 시스템은, 도 1에 나타내는 바와 같이, 탑재면(210)을 가지는 기판 플레이트(21)와, 복수의 직사각형의 기판(100)을 탑재면(210)에 동시에 탑재하는 기판 탑재 장치(10)를 구비한다.
기판 플레이트(21)의 탑재면(210)은 수직 방향으로 연신하고, 도 2에 나타내는 바와 같이, 복수의 직사각형의 기판 탑재 영역(211)이 수평 방향으로 배열하여 정의되어 있다. 1 개의 기판 탑재 영역(211)에 1 매의 기판(100)이 탑재된다. 또한, 기판 탑재 영역(211) 각각의 외주의 좌변, 우변 및 하변에 좌변 고정 핀(P1), 우변 고정 핀(P2) 및 하변 고정 핀(P3)이 각각 배치되어 있다. 이하에서, 좌변 고정 핀(P1), 우변 고정 핀(P2) 및 하변 고정 핀(P3)을 총칭하여 「고정 핀」이라고 한다.
더구나, 기판 탑재 영역(211) 각각에 대한 좌변 고정 핀(P1), 우변 고정 핀(P2) 및 하변 고정 핀(P3)의 상대 위치는 복수의 기판 탑재 영역(211)에서 공통이다. 이 때문에, 기판 플레이트(21)에 탑재된 기판(100)에 프로세스 처리를 실시한 경우에, 고정 핀에 의한 각 기판(100)으로의 영향을 동일하게 할 수 있다. 예를 들어, 성막 처리가 행해진 경우에는, 고정 핀의 그림자로 되어 성막되지 않은 영역을 모든 기판(100)에서 공통으로 할 수 있다.
도 1에 나타낸 바와 같이, 기판 탑재 장치(10)는 기판 이동 기구(11), 기판 회전 기구(13), 및 기판 보호지지 기구(15)를 가진다. 자세한 것은 후술하지만, 기판 탑재 장치(10)에 의해, 기판(100)의 좌변, 우변 및 하변이 좌변 고정 핀(P1), 우변 고정 핀(P2) 및 하변 고정 핀(P3)에 각각 지지되도록, 복수의 기판(100)이 동시에 기판 탑재 영역(211)에 탑재된다.
기판 보호지지 기구(15)는 흡착부(151)와 아암부(152)를 가지고, 1 매의 기판(100)에 기판 보호지지 기구(15)가 1 개씩 준비되어 있다. 기판(100)의 주면에 접촉시킨 흡착부(151)에 의해 기판(100)이 흡착되고, 기판 보호지지 기구(15)는 각각의 주면이 동일 평면 레벨로 배치된 상태에서 복수의 기판(100)을 보호지지한다. 흡착부(151)는 예를 들어, 진공 흡착에 의해 기판(100)을 보호지지한다.
기판 이동 기구(11)는 보호지지된 복수의 기판(100)의 주면을 탑재면(210)과 근접하여 대향시킨다. 도 1에 나타낸 기판 이동 기구(11)는 지주부(111)와, 지주부(111)의 연신하는 수직 방향을 회전축으로 하여 지주부(111)를 회전시키는 지주 회전부(112)와, 그 회전의 반경 방향으로 지주부(111)로부터 연신하는 들보(梁)부(113)를 가진다. 들보부(113)의 연신하는 방향에 따라, 복수의 기판 보호지지 기구(15)가 들보부(113)에 장착되어 있다. 구체적으로는, 기판 보호지지 기구(15)의 아암부(152)가 들보부(113)에 장착되어 있으며, 들보부(113)에서의 아암부(152)의 배치 피치는 탑재면(210) 상의 기판 탑재 영역(211)의 배치 피치와 동등하다. 기판 이동 기구(11)는 기판 보호지지 기구(15)에 의해 보호지지된 복수의 기판(100)을, 기판(100)의 주면이 탑재면(210)과 대향하도록 탑재면(210) 상으로 이동한다. 이때, 도 2에 나타낸 바와 같이, 기판 탑재 영역(211)의 비스듬한 상방으로, 주면이 탑재면(210)과 평행하며, 또한 수평 방향으로부터 보아 기판 탑재 영역(211)에 대하여 비스듬한 자세에서 기판(100)이 배치된다. 그 후, 기판 이동 기구(11)는 도 3에 나타내는 바와 같이, 소정의 위치까지 기판(100)을 수직 방향으로 탑재면(210)에 따라 하방으로 이동시킨다. 이때, 기판(100)은 기판 탑재 영역(211)에 대하여 비스듬한 자세 그대로이다. 구체적으로는, 도 4에 나타내는 바와 같이, 비스듬한 자세의 기판(100)의 하변과 평행한 직선과, 기판 탑재 영역(211)의 하변과 평행한 직선이 회전 중심점(C)에서 각도 θ를 이루어 교차하도록 기판(100)이 보호지지된다.
기판 회전 기구(13)는 1 개의 회전축을 중심으로 하여 탑재면(210)에 따라 복수의 기판(100)을 동시에 회전시킨다. 구체적으로는, 도 4에 나타낸 바와 같이 기판 탑재 영역(211)에 대하여 비스듬하게 보호지지되고 있던 복수의 기판(100)을, 탑재면(210)의 면 법선 방향과 평행이며, 또한 회전 중심점(C)을 통과하는 직선을 회전축으로서 각도 θ만큼 동시에 회전시킨다. 그 결과, 도 5에 도시하는 바와 같이, 복수의 기판(100)이 기판 탑재 영역(211)에 동시에 탑재된다. 이때, 기판(100)의 좌변, 우변 및 하변이 좌변 고정 핀(P1), 우변 고정 핀(P2) 및 하변 고정 핀(P3)에 각각 지지된다.
고정 핀에는, 예를 들어, 도 6에 나타내는 바와 같은 평형 타입의 핀(30)을 채용 가능하다. 핀(30)의 축 부분(32)의 선단의 일부가 탑재면(210)에 매립된다. 이것에 의해 생기는 핀(30)의 머리 부분(31)과 탑재면(210)과의 간극에 노출하는 축 부분(32)에 의해, 기판(100)이 탑재면(210)에서 지지된다. 탑재면(210) 상에 노출하는 축 부분(32)의 길이 t는 기판(100)의 두께와 동등하게 설정되고, 예를 들어, 200 ㎛ 정도이다.
기판 탑재 영역(211) 사이의 간격은 핀(30)의 머리 부분(31)의 직경이 최소치이다. 즉, 핀(30)의 머리 부분(31)의 직경이 작을수록 기판 탑재 영역(211) 사이의 간격을 작게 할 수 있지만, 기판(100)을 안정적으로 보호지지하기 위하여, 핀(30)의 머리 부분(31)의 직경은 2 ~ 5 mm 정도, 예를 들어 3.6 mm 정도인 것이 바람직하다. 기판 탑재 영역(211) 사이의 간격은 좁을수록 바람직하고, 최대치는 예를 들어, 10 mm 정도이다.
이하에, 주면을 수평으로 하여 기판 트레이에 배열된 기판(100)을 기판 플레이트(21)에 이송하는 경우에 대하여, 기판 탑재 장치(10)의 동작을 설명한다.
우선, 기판 탑재 장치(10)가 처리 대상인 기판(100)을 흡착한다. 기판(100)은 예를 들어, 도 7에 나타내는 바와 같이, 기판 트레이(40)의 탑재면(400)에 주면을 상하 방향을 향해 배열된 상태에서 평평하게 놓여져 있다. 이 경우, 도 7, 도 8에 나타내는 바와 같이, 기판 탑재 장치(10)는 기판 보호지지 기구(15)의 흡착부(151)를 기판(100)의 주면에 접촉시킨다. 도 7은 수평 방향으로부터 본 측면도이며, 도 8은 수직 방향으로부터 본 평면도이다. 이때, 도 9에 나타내는 바와 같이 기판 보호지지 기구(15)의 아암부(152)는 수평 방향으로 연신한다. 도 9는 들보부(113)의 선단으로부터 본 측면도이다.
그 후, 기판 이동 기구(11)가 기판(100)을 기판 플레이트(21)의 탑재면(210)상으로 이동한다. 즉, 수직 방향으로부터 본 도 10에 나타내는 바와 같이, 지주 회전부(112)에 의해 지주부(111)를 회전축으로 하여 들보부(113)가 회전하여, 기판(100)이 기판 트레이(40)로부터 기판 플레이트(21)로 이동된다. 이때, 들보부(113)의 연신하는 방향을 회전축으로 하여 들보부(113)가 회전하고, 도 11에 나타내는 바와 같이 기판(100)의 주면이 수직 방향과 평행하게 된다. 도 11은 들보부(113)의 선단으로부터 본 측면도이다. 즉, 기판 탑재 장치(10)는 기판(100)을 이동시키면서, 기판(100)의 주면이 기판 플레이트(21)의 탑재면(210)과 평행으로 되도록 기판(100)의 주면을 수직으로 한다.
그리고, 기판 이동 기구(11)는 도 3에 나타낸 바와 같이, 기판 플레이트(21)의 탑재면(210) 상에 기판(100)을 배치한다. 이때, 이미 기술한 바와 같이, 기판(100)은 소정의 각도 θ를 이루도록 기판 탑재 영역(211)에 대하여 비스듬하게 보호지지된다. 그리고, 도 4 내지 도 5를 참조하여 설명한 바와 같이, 기판 회전 기구(13)가 1 개의 회전축을 중심으로 하여 탑재면(210)에 따라 복수의 기판(100)을 동시에 회전시킨다. 이것에 의해, 기판(100)의 각 변과 기판 탑재 영역(211)의 각 변이 각각 평행에 조정되어, 기판(100)이 기판 탑재 영역(211)에 배치된다.
이상에 의해, 기판(100)의 좌변, 우변 및 하변이 고정 핀에 각각 지지되어, 복수의 기판(100)이 동시에 복수의 기판 탑재 영역(211)에 탑재된다.
이하에, 기판 회전 기구(13)가 복수의 기판(100)을 동시에 회전시키는 경우의 회전축의 위치, 즉, 도 4 및 도 5에 나타낸 회전 중심점(C)에 대하여 설명한다. 우선, 1 매의 기판(100)에 대하여 회전 중심점(C)의 최적 위치에 대해 검토한다.
도 2, 도 3을 참조하여 설명한 바와 같이, 기판 탑재 장치(10)는 수평 방향으로부터 보아 기판 탑재 영역(211)에 대하여 비스듬한 자세의 기판(100)을, 수직 방향으로 탑재면(210)에 따라 하방으로 이동시킨다. 이 때문에, 좌변 고정 핀(P1)과, 우변 고정 핀(P2)의 기판 탑재 영역(211)의 하변으로부터의 수직 방향 거리는 서로 상이하도록 설정된다. 탑재면(210)의 상방으로부터 보아 시계 반대방향으로 기판(100)을 회전시키는 경우에는, 도 4, 도 5 등에 나타낸 바와 같이, 기판 탑재 영역(211)의 하변으로부터 좌변 고정 핀(P1)까지의 수직 방향 거리보다도, 기판 탑재 영역(211)의 하변으로부터 우변 고정 핀(P2)까지의 수직 방향 거리가 짧게 설정된다. 이하에서는, 좌변 고정 핀(P1)보다도 우변 고정 핀(P2)의 쪽이 기판 탑재 영역(211)의 하변으로부터의 수직 방향 거리가 짧은 경우에 대하여 설명한다.
도 12에 나타낸 예에서는, 회전 중심점(C)의 위치가, 하변 고정 핀(P3)의 위치를 통과하는 수직 방향의 직선(L3)보다도 우변 고정 핀(P2)에 가까운 위치에서, 또한, 좌변 고정 핀(P1)과 우변 고정 핀(P2)의 위치를 각각 통과하여 수평 방향으로 연신하는 2개의 직선(L1, L2) 사이에 설정되어 있다. 도 12에 나타낸 위치를 회전 중심점(C)으로 한 경우에는, 고정 핀의 어느 것에도 접촉하는 일 없이 기판(100)을 기판 탑재 영역(211)에 따라 회전시킬 수가 있다.
도 13에 나타낸 예에서는, 회전 중심점(C)의 위치가, 하변 고정 핀(P3)의 위치를 통과하는 직선(L3)보다도 좌변 고정 핀(P1)에 가까운 위치에서, 또한, 좌변 고정 핀(P1)과 우변 고정 핀(P2)의 위치를 각각 통과하는 직선(L1)과 직선(L2) 사이에 설정되어 있다. 도 13에 나타낸 위치를 회전 중심점(C)으로 한 경우에는, 기판(100)을 기판 탑재 영역(211)에 따라 회전시키면, 기판(100)이 하변 고정 핀(P3)에 접촉한다. 이 때문에, 기판(100)을 기판 탑재 영역(211)에 배치할 수가 없다.
도 14에 나타낸 예에서는, 회전 중심점(C)의 위치가, 하변 고정 핀(P3)의 위치를 통과하는 직선(L3)보다도 우변 고정 핀(P2)에 가까운 위치에서, 또한, 좌변 고정 핀(P1)의 위치를 통과하는 직선(L1)보다도 상방으로 설정되어 있다. 도 14에 나타낸 위치를 회전 중심점(C)으로 한 경우에는, 기판(100)을 기판 탑재 영역(211)에 따라 회전시키면, 기판(100)이 좌변 고정 핀(P1)에 접촉한다. 이 때문에, 기판(100)을 기판 탑재 영역(211)에 배치할 수가 없다.
도 15에 나타낸 예에서는, 회전 중심점(C)의 위치가, 하변 고정 핀(P3)의 위치를 통과하는 직선(L3)보다도 우변 고정 핀(P2)에 가까운 위치에서, 또한, 우변 고정 핀(P2)의 위치를 통과하는 직선(L2)보다도 하방으로 설정되어 있다. 도 15에 나타낸 위치를 회전 중심점(C)으로 한 경우에는, 기판(100)을 기판 탑재 영역(211)에 따라 회전시키면, 기판(100)이 우변 고정 핀(P2)에 접촉한다. 이 때문에, 기판(100)을 기판 탑재 영역(211)에 배치할 수가 없다.
도 16에 나타낸 예에서는, 회전 중심점(C)의 위치가, 우변 고정 핀(P2)보다도 우측의 기판 탑재 영역(211)의 외측에서, 또한, 좌변 고정 핀(P1)과 우변 고정 핀(P2)의 위치를 각각 통과하는 2개의 직선(L1, L2) 사이에 설정되어 있다. 도 16에 나타낸 위치를 회전 중심점(C)으로 한 경우에는, 고정 핀의 어느 것에도 접촉하는 일 없이 기판(100)을 기판 탑재 영역(211)에 따라 회전시킬 수가 있다.
따라서, 고정 핀의 어느 것에도 접촉하는 일 없이 기판(100)을 기판 탑재 영역(211)에 따라 회전시킬 수가 있는 회전 중심점(C)의 위치는, 하변 고정 핀(P3)의 위치를 통과하는 직선(L3)보다도 우측이며, 또한, 좌변 고정 핀(P1)과 우변 고정 핀(P2)의 위치를 각각 통과하는 2개의 직선(L1, L2) 사이이다. 이 영역을 도 17에 영역 A로서 나타내었다.
더구나, 도 18에 나타낸 바와 같이, 기판 탑재 영역(211)을 사이에 두어 회전 중심점(C)의 반대 측에 위치하는 좌변 고정 핀(P1)의 위치와 회전 중심점(C)을 잇는 직선과, 회전 중심점(C)의 위치를 통과하여 수평 방향으로 연신하는 직선이 이루는 각도 θMAX가 고정 핀에 접촉하는 일 없이 기판(100)을 회전시키는 각도의 최대치이다. 각도 θMAX보다도 큰 각도로 기판(100)을 회전시키기 위해서는, 좌변 고정 핀(P1)과 기판 탑재 영역(211) 상의 기판(100)과의 거리가 너무 넓어져서 안정적으로 기판(100)을 고정할 수가 없다. 따라서, 기판(100)을 회전시키는 각도는 각도 θMAX 이하일 필요가 있다.
1 매의 기판(100)을 회전시키는 경우의 상기의 논의로부터, 복수의 기판(100)을 동시에 회전시키는 경우의 회전축의 위치, 즉, 회전 중심점(C)의 위치는 이하와 같이 설정된다. 즉, 도 19에 나타낸 바와 같이, 기판 탑재 영역(211)의 하변으로부터의 수직 방향 거리가 좌변 고정 핀(P1)보다도 짧은 우변 고정 핀(P2) 측의 가장 외측 테두리, 즉 가장 우측에 배치된 기판 탑재 영역(211)의 외측(우측)에서, 또한, 좌변 고정 핀(P1)과 우변 고정 핀(P2)의 위치를 각각 통과하는 직선(L1)과 직선(L2) 사이에 회전 중심점(C)이 위치한다.
더구나, 회전시에 있어서는, 회전축으로부터 가장 떨어진 고정 핀, 즉, 가장 좌측에 배치된 기판(100)과 좌변 고정 핀(P1)과의 거리가 기판(100)과 고정 핀과의 최단 거리이다. 가장 우측에 배치된 기판 탑재 영역(211)의 우변 고정 핀(P2)의 위치에 회전 중심점(C)이 있는 경우에, 회전시에 있어서 기판(100)이 기판 탑재 영역(211)의 좌변 고정 핀(P1)으로부터 멀어지는 거리가 최대이다. 도 19에 나타낸 곡선 r은 회전 시의 기판(100)의 최외점의 궤적이다. 그러나, 고정 핀의 크기를 무한소로 할 수 없기 때문에, 회전 중심의 우변 고정 핀(P2)이 기판(100)과 접촉한다. 이 때문에, 도 19에 화살표로 나타낸 바와 같이, 가장 우측에 배치된 기판 탑재 영역(211)의 우변 고정 핀(P2)의 위치보다도 외측(우측)으로 회전 중심점(C)을 비켜 놓을 필요가 있다.
더구나, 회전 시에 있어서의 기판(100)과 탑재면(210)과의 밀림량(slide)을 적게 하기 위해서는, 도 20에 화살표로 나타낸 바와 같이, 회전 중심점(C)을 상방으로 비켜 놓는 것이 바람직하다. 그러나, 회전 중심점(C)을 상방으로 비켜 놓음으로써 회전량을 줄일 수가 있는 한편으로, 도 20에 기판(100)의 최외점의 궤적을 곡선 r로 나타낸 바와 같이, 회전 시에 기판(100)이 좌변 고정 핀(P1)으로부터 멀어지는 거리가 작아진다. 이와 같이, 기판(100)과 탑재면(210)과의 밀림량과, 기판(100)과 고정 핀 사이의 거리는 트레이드 오프의 관계에 있기 때문에, 회전 중심점(C)의 수직 방향의 위치는 직선(L1)과 직선(L2)의 사이에서 임의로 설정된다.
상기에서는 기판(100)이 탑재면(210) 상에서 시계 반대방향으로 회전하는 예를 나타내었다. 기판(100)이 시계 방향으로 회전하는 경우에도, 마찬가지의 논의가 가능하다. 즉, 기판 탑재 영역(211)의 하변으로부터 우변 고정 핀(P2)까지의 수직 방향 거리보다도, 기판 탑재 영역(211)의 하변으로부터 좌변 고정 핀(P1)까지의 수직 방향 거리가 짧게 설정된다. 그리고, 좌변 고정 핀(P1) 측의 가장 외측 테두리, 즉, 가장 좌측에 배치된 기판 탑재 영역(211)의 외측(좌측)에서, 또한, 좌변 고정 핀(P1)과 우변 고정 핀(P2)의 위치를 각각 통과하는 직선(L1)과 직선(L2) 사이에, 회전 중심점(C)을 설정한다.
따라서, 고정 핀의 어느 것에도 접촉하는 일 없이 복수의 기판(100)을 기판 탑재 영역(211)에 따라 회전시킬 수가 있는 회전축의 위치는, 좌변 고정 핀(P1)과 우변 고정 핀(P2) 중의 수직 방향 거리가 짧은 쪽의 가장 외측 테두리의 기판 탑재 영역(211)의 외측에서, 또한, 좌변 고정 핀(P1)과 우변 고정 핀(P2)의 위치를 각각 통과하여 수평 방향으로 연신하는 2개의 직선(L1, L2) 사이의 영역 내이다.
그리고, 복수의 기판(100)을 회전시키는 각도의 최대치인 각도 θMAX는, 좌변 고정 핀(P1) 및 우변 고정 핀(P2)의 위치 중에서 기판 탑재 영역(211)을 사이에 두어 회전축의 위치로부터 가장 먼 위치와 회전축의 위치를 잇는 직선과, 회전축의 위치를 통과하여 수평 방향으로 연신하는 직선이 이루는 각도이다.
더구나, 기판(100)을 회전시키는 각도 θ가 클수록, 기판(100)과 탑재면(210)과의 밀림량이 증대된다. 이 때문에, 기판(100)을 회전시키는 각도 θ는 작은 것이 바람직하다. 예를 들어, 기판(100)을 회전시키는 각도를 3도 이내로 설정한다. 그러나, 각도 θ가 작을수록, 회전시에 있어서의 기판(100)과 고정 핀 사이의 거리가 작아진다. 이 때문에, 기판(100)이 고정 핀에 접촉하지 않도록, 각도 θ가 설정된다. 예를 들어, 회전시에 있어서의 기판(100)과 고정 핀 사이의 거리의 최소치가 1 mm 정도 이상으로 되도록 각도 θ를 설정하는 것이 바람직하다.
보트 타입의 샘플 홀더에서는, 도 21에 나타내는 바와 같이 복수의 기판 플레이트(21)가 탑재면(210)의 면 법선 방향에 따라, 서로 떨어지고 또한 평행하게 배치되어 있다. 도 1에 나타낸 기판 탑재 시스템에 의하면, 기판 플레이트(21)마다 복수의 기판(100)이 동시에 탑재된다.
이것에 대하여, 도 22에 나타내는 비교예에 의한 기판 탑재 방법은, 기판 플레이트(21)마다 1 매씩의 기판(100)을 동시에 복수의 기판 플레이트(21)에 탑재한다. 도 22에 나타낸 기판 탑재 방법에서는, 기판 플레이트(21) 상에서 기판(100)을 위치결정하는 정밀도의 향상이 곤란하다. 이것은 각 기판 플레이트(21) 상에서의 탑재면(210)에 따른 방향의 위치 결정에 더하여, 기판 플레이트(21) 사이의 배치 피치를 고려한 탑재면(210)의 법선 방향에 따른 방향의 위치 결정이 필요하기 때문이다. 기판 플레이트(21)에 휨이 발생하고 있을 가능성 등도 고려하여 위치 결정 정밀도를 결정하기 때문에 일정한 마진이 필요하다. 따라서, 도 22에 나타낸 비교예의 기판 탑재 방법에서는, 기판(100)의 정지 위치의 허용 폭을 넓게 하지 않을 수 없다. 이 때문에, 고정 핀의 사이즈도 크게 할 필요가 있다. 그 결과, 탑재면(210) 상에서의 기판(100) 사이의 간격이 넓어지거나, 고정 핀에 의한 비성막 영역의 면적이 확대하거나 하는 등의 문제가 생긴다.
한편, 도 21에 나타낸 도 1의 기판 탑재 시스템에 의하면, 기판 플레이트(21)마다 기판(100)을 탑재하기 때문에, 기판(100)의 위치 맞춤 정밀도를 향상시킬 수가 있다. 이 때문에, 기판(100)의 정지 위치의 허용 폭을 작게 할 수가 있고, 고정 핀의 사이즈를 작게 할 수가 있다.
도 1에 나타낸 기판 이송 시스템은 예를 들어, 도 23에 나타내는 인라인식 제조 장치(300)에 사용 가능하다. 도 23은 기판 장입실(301), 처리실(302), 기판 취출실(303)로 이루어진 인라인식 제조 장치이다. 처리실(302)에서, 예를 들어, 성막 처리, 에칭 처리, 스퍼터 처리 등이 행해진다.
도 23에 나타낸 샘플 홀더(20)는 복수의 기판 플레이트(21)가 각각의 저부를 고정판(22)에 의해 고정되고, 탑재면(210)의 면 법선 방향에 따라 병렬로 늘어놓인 보트 타입이다. 도 23에서는 기판 플레이트(21)가 5 매인 예를 나타내었지만, 기판 플레이트(21)의 매수는 5 매에 한정되지 않는다. 보트 타입의 샘플 홀더(20)에 의해, 1 회의 성막 처리 공정으로 처리할 수 있는 기판(100)의 매수를 늘릴 수가 있고, 그 결과, 전체의 처리 시간을 단축할 수가 있다.
인라인식 제조 장치(300)에서는, 도 1에 나타낸 기판 이송 시스템에 의해 기판(100)이 탑재된 샘플 홀더(20)가 기판 장입실(301)에 장입된다. 그리고, 샘플 홀더(20)가 기판장입실(301)로부터 처리실(302)에 반송되고, 처리실(302)에서 소정의 처리가 행해진다. 예를 들어, 처리실(302)에서 기판(100)에 박막이 형성된 후, 샘플 홀더(20)는 처리실(302)로부터 기판 취출실(303)에 반송된다. 그 후, 기판 취출실(303)로부터 샘플 홀더(20)가 취출된다.
샘플 홀더(20)는 도시를 생략한 반송 장치에 의해 인라인식 제조 장치(300)의 각 실 사이를 반송된다. 예를 들어, 기판 장입실(301)과 처리실(302) 사이, 및 처리실(302)과 기판 취출실(303) 사이에 개폐식의 게이트(도시 생략)가 배치되고, 이들의 게이트를 통해 샘플 홀더(20)가 이동한다. 더구나, 인라인식 제조 장치가, 기판 취출실(303)을 구비하지 않는, 기판 장입실(301)과 처리실(302)로 이루어진 구조이어도 좋다.
예를 들어, 도 23에 나타내는 인라인식 제조 장치(300)가 플라즈마 화학 기상 성장(CVD) 성막 장치인 경우에는, 샘플 홀더(20)는 애노드 전극으로서 사용된다. 처리실(302) 내에 원료 가스를 도입한 후, 샘플 홀더(20)와 캐소드 전극 사이에 교류 전력을 공급하여 원료 가스를 플라즈마 상태로 한다. 형성된 플라즈마에 기판(100)을 쪼임으로써, 원료 가스에 포함되는 원료를 주성분으로 하는 소망하는 박막이 기판(100)의 노출한 표면에 형성된다. 원료 가스를 적절하게 선택하는 것에 의해, 실리콘 반도체 박막, 실리콘 질화 박막, 실리콘 산화 박막, 실리콘 산질화 박막, 카본 박막 등의 소망하는 박막을 기판(100) 상에 형성할 수가 있다. 예를 들어, 기판(100)이 태양 전지인 경우에, 암모니아(NH3) 가스와 실란(SiH4) 가스의 혼합 가스를 이용하여, 기판(100) 상에 반사 방지막이나 절연막으로서 질화 실리콘(SiN) 막을 형성할 수 있다.
태양 전지 반사 방지막의 성막 처리 등에서는, 처리 대상인 기판(100)의 온도를 미리 결정된 설정 온도로 한 상태에서, 기판(100)에 막을 형성한다. 이 때문에, 인라인식 제조 장치(300)로 성막 처리하는 경우에는, 처리실(302)에 반입되기 전에, 기판 장입실(301)에서 기판(100)은 예비 가열된다. 즉, 기판 장입실(301)은 예비 가열실을 겸한다. 그리고, 설정 온도에 이른 기판(100)이 처리실(302)에 반입되어, 성막 처리가 행해진다.
이상으로 설명한 바와 같이, 본 발명의 제 1 실시 형태에 관련된 기판 이송 시스템에 의하면, 기판 플레이트(21)의 탑재면(210) 상에서 복수의 기판(100)을 공통의 1 개의 회전축에 의해 회전시킴으로써, 기판(100)을 동시에 기판 플레이트(21)에 탑재할 수가 있다. 이 때문에, 보트 타입의 샘플 홀더에 복수의 기판(100)을 동시에, 또한 고정밀도로 이송할 수 있는 기판 이송 시스템 및 기판 이송 방법을 제공할 수 있다.
(제 2 실시 형태)
도 24 및 도 25에, 본 발명의 제 2 실시 형태에 관련된 기판 이송 시스템의 구성을 나타낸다. 도 24는 상방으로부터 본 평면도이다. 제 2 실시 형태에 관련된 기판 이송 시스템에서는, 기판 탑재 장치(10)의 기판 보호지지 기구(15)가 기판(100)의 주면과 평행한 방향뿐만 아니라, 기판(100)의 주면의 법선 방향에도 배치되어 있는 것이 제 1 실시 형태와 상이한 점이다. 즉, 제 1 실시 형태에서 설명한 기판 보호지지 기구(15)가 보호지지된 기판(100)의 주면의 법선 방향에 따라 복수 배열되어 있다. 따라서, 복수의 기판(100)이 상방으로부터 보아 매트릭스 모양으로 기판 보호지지 기구(15)에 의해 각각 보호지지된다. 그 외의 구성에 대해서는, 제 1 실시 형태와 마찬가지이다.
더구나, 배열되는 기판 보호지지 기구(15)는 3 열에 한정되지 않는 것은 물론이다. 도 24에 나타낸 기판 이송 시스템에서는, 기판 보호지지 기구(15)가 기판(100)의 주면과 평행한 방향에만 배치되고 있는 경우와 비교하여, 동시에 보호지지되는 기판(100)의 매수가 많다.
기판(100)의 주면의 법선 방향에 따른 아암부(152) 사이의 거리는, 기판 플레이트(21) 사이의 거리에 대응시켜서 고정이어도 좋고, 혹은 가변이어도 좋다. 예를 들어, 기판 트레이(40)로부터 기판(100)을 취득할 때에 있어서 간격을 가변으로 하기 때문에, 액추에이터로 아암부(152) 사이의 거리를 가변으로 한다.
제 2 실시 형태에 관련된 기판 이송 시스템에서는, 도 25에 나타내는 바와 같이, 탑재면(210)의 면 법선 방향으로 복수의 기판 플레이트(21)가 배열되어 있다. 더구나, 도 25에서는 3 매의 기판 플레이트(21)가 배열되어 있는 예를 나타내었지만, 배열되는 기판 플레이트(21)의 매수는 3 매에 한정되지 않는다. 기판 보호지지 기구(15)는 연결 아암(15A)에 의해 접속되어 있다.
기판 탑재 장치(10)는 각각의 주면이 동일 평면 레벨로 배치된 복수의 기판(100)으로 이루어진 기판열을, 기판(100)의 주면의 면 법선 방향에 따라 복수 배열한 상태에서 보호지지한다. 그리고, 탑재면(210)의 면 법선 방향에 따라 배열된 복수의 기판 플레이트(21)에, 제 1 실시 형태에서 설명한 방법과 마찬가지로 하여, 복수의 기판(100)을 동시에 탑재한다. 그 결과, 상방으로부터 보아 복수의 기판(100)이 매트릭스 모양으로 배치된다.
제 2 실시 형태에 관련된 기판 이송 시스템을 이용함으로써, 복수의 기판(100)을 복수의 기판 플레이트(21)에 동시에 탑재할 수가 있다. 따라서, 보트 타입의 샘플 홀더에 동시에 이송하는 기판(100)의 매수를 증가시킬 수가 있다. 이것에 의해, 샘플 홀더에 기판(100)을 탑재하는 시간을 단축할 수 있다. 마찬가지로, 복수의 기판 플레이트(21)로부터 복수의 기판(100)을 동시에 떼어낼 수가 있다. 다른 것은 제 1 실시 형태와 실질적으로 마찬가지이며, 중복된 기재를 생략한다.
더구나, 도 24에 나타낸 바와 같이 복수의 기판 플레이트(21)의 각각에 기판(100)을 동시에 탑재하기 위해서는, 탑재면(210)이 소정의 장소에 안정적으로 위치하고 있는 것이 중요하다. 이 때문에, 기판 플레이트(21) 사이의 거리나 샘플 홀더(20)의 위치를 소정의 위치에 고정밀도로 고정하는 교정 장치 등을 사용하는 것이 바람직하다.
(그 외의 실시 형태)
상기와 같이, 본 발명은 실시 형태에 의해 기재하였지만, 이 개시 내용의 일부를 이루는 논술 및 도면은 이 발명을 한정하는 것이라고 이해하지 않아야 한다. 이 개시 내용으로부터 당업자에게는 여러 가지 대체 실시 형태, 실시예 및 운용 기술이 분명하게 될 것이다.
예를 들어, 기판 플레이트(21)의 탑재면(210)에 4 개의 기판 탑재 영역(211)이 정의되어 있는 예를 나타내었지만, 1 개의 탑재면(210)에 정의되는 기판 탑재 영역(211)의 수는 4 개에 한정되지 않는다. 또한, 복수의 기판(100)을 탑재면(210) 상에서 시계 반대방향으로 회전시키는 예를 나타내었지만, 시계 방향으로 회전시켜도 좋다.
이와 같이, 본 발명은 여기에서는 기재하고 있지 않은 여러 가지 실시 형태 등을 포함하는 것은 물론이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 상기한 설명으로부터 타당한 청구의 범위에 관련된 발명 특정 사항에 의해서만 정해지는 것이다.
산업상의 이용 가능성
본 발명의 기판 이송 시스템은 복수의 기판을 동시에 샘플 홀더에 탑재하는 용도에 이용 가능하다.

Claims (15)

  1. 수직 방향으로 연신하고, 또한 복수의 직사각형의 기판 탑재 영역이 수평 방향으로 배열하여 정의된 탑재면을 가지고, 상기 기판 탑재 영역 각각의 외주의 좌변, 우변 및 하변에 좌변 고정 핀, 우변 고정 핀 및 하변 고정 핀이 각각 배치된 기판 플레이트와,
    각각의 주면이 동일 평면 레벨로 배치된 상태에서 복수의 직사각형의 기판을 보호지지하는 기판 보호지지 기구, 상기 수평 방향으로부터 보아 상기 기판 탑재 영역에 대하여 비스듬한 자세에서, 보호지지된 상기 복수의 기판의 상기 주면을 상기 탑재면과 근접하여 대향시키는 기판 이동 기구, 및 1 개의 회전축을 중심으로 하여 상기 탑재면에 따라 상기 복수의 기판을 동시에 회전시키는 기판 회전 기구를 가지고, 상기 기판의 좌변, 우변 및 하변이 상기 좌변 고정 핀, 상기 우변 고정 핀 및 상기 하변 고정 핀에 각각 지지되도록 상기 복수의 기판을 상기 복수의 기판 탑재 영역에 동시에 탑재하는 기판 탑재 장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 시스템.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 좌변 고정 핀과 상기 우변 고정 핀의 상기 기판 탑재 영역의 하변으로부터의 수직 방향 거리가 서로 상이하고, 상기 좌변 고정 핀과 상기 우변 고정 핀 중의 상기 수직 방향 거리가 짧은 측의 가장 외측 테두리의 상기 기판 탑재 영역의 외측에서, 또한, 상기 좌변 고정 핀과 상기 우변 고정 핀의 위치를 각각 통과하여 상기 수평 방향으로 연신하는 2개의 직선 사이에, 상기 회전축이 위치하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 시스템.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 복수의 기판을 회전시키는 각도가 상기 좌변 고정 핀 및 상기 우변 고정 핀의 위치 중에서 상기 복수의 기판 탑재 영역을 사이에 두어 상기 회전축의 위치로부터 가장 먼 위치와 상기 회전축의 위치를 잇는 직선과, 상기 회전축의 위치를 통과하여 상기 수평 방향으로 연신하는 직선이 이루는 각도 이하인 것을 특징으로 하는 기판 이송 시스템.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 복수의 기판을 회전시키는 각도가 3도 이내인 것을 특징으로 하는 기판 이송 시스템.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 기판 탑재 영역에 대한 상기 좌변 고정 핀, 상기 우변 고정 핀 및 상기 하변 고정 핀의 상대 위치가 상기 복수의 기판 탑재 영역에서 공통인 것을 특징으로 하는 기판 이송 시스템.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 좌변 고정 핀, 상기 우변 고정 핀 및 상기 하변 고정 핀이 머리 부분 및 상기 머리 부분보다도 단면적이 작은 축 부분을 가지는 핀 구조이며, 상기 축 부분의 선단 방향의 일부가 상기 탑재면에 매립되고, 상기 머리 부분과 상기 탑재면과의 사이의 상기 축 부분에서 상기 기판이 지지되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 시스템.
  7. 청구항 1에 있어서,
    상기 기판 플레이트를 복수로 가지는 것을 특징으로 하는 기판 이송 시스템.
  8. 청구항 1에 있어서,
    상기 기판 탑재 장치가, 보호지지된 상기 기판의 주면의 법선 방법에 따라 배열된 복수의 상기 기판 보호지지 기구를 가지고,
    상기 기판 탑재 장치가, 상기 탑재면의 면 법선 방향에 따라 배열된 복수의 상기 기판 플레이트에 복수의 상기 기판을 동시에 탑재하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 시스템.
  9. 수직 방향으로 연신하고, 또한 복수의 직사각형의 기판 탑재 영역이 수평 방향으로 배열히야 정의된 탑재면을 가지고, 상기 기판 탑재 영역 각각의 외주의 좌변, 우변 및 하변에 좌변 고정 핀, 우변 고정 핀 및 하변 고정 핀이 각각 배치된 기판 플레이트를 준비하는 단계와,
    각각의 주면이 동일 평면 레벨로 배치된 상태에서 복수의 직사각형의 기판을 보호지지하는 단계와,
    상기 수평 방향으로부터 보아 상기 기판 탑재 영역에 대하여 비스듬한 자세에서, 보호지지된 상기 복수의 기판의 상기 주면을 상기 탑재면과 근접하여 대향시키는 단계와,
    1 개의 회전축을 중심으로 하여 상기 탑재면에 따라 상기 복수의 기판을 동시에 회전시켜서, 상기 기판의 좌변, 우변 및 하변이 상기 좌변 고정 핀, 상기 우변 고정 핀 및 상기 하변 고정 핀에 각각 지지되도록 상기 복수의 기판을 상기 복수의 기판 탑재 영역에 동시에 탑재하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 방법.
  10. 청구항 9에 있어서,
    상기 좌변 고정 핀과 상기 우변 고정 핀의 상기 기판 탑재 영역의 하변으로부터의 수직 방향 거리가 서로 상이하고, 상기 좌변 고정 핀과 상기 우변 고정 핀 중의 상기 수직 방향 거리가 짧은 측의 가장 외측 테두리의 상기 기판 탑재 영역의 외측에서, 또한, 상기 좌변 고정 핀과 상기 우변 고정 핀의 위치를 각각 통과하여 상기 수평 방향으로 연신하는 2개의 직선 사이에, 상기 회전축의 위치가 설정되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 이송 방법.
  11. 청구항 10에 있어서,
    상기 복수의 기판을 회전시키는 각도가, 상기 좌변 고정 핀 및 상기 우변 고정 핀의 위치 중에서 상기 복수의 기판 탑재 영역을 사이에 두어 상기 회전축의 위치로부터 가장 먼 위치와 상기 회전축의 위치를 잇는 직선과, 상기 회전축의 위치를 통과하여 상기 수평 방향으로 연신하는 직선이 이루는 각도 이하인 것을 특징으로 하는 기판 이송 방법.
  12. 청구항 11에 있어서,
    상기 복수의 기판을 회전시키는 각도가 3도 이내인 것을 특징으로 하는 기판 이송 방법.
  13. 청구항 9에 있어서,
    상기 기판 탑재 영역에 대한 상기 좌변 고정 핀, 상기 우변 고정 핀 및 상기 하변 고정 핀의 상대 위치가, 상기 복수의 기판 탑재 영역에서 공통인 것을 특징으로 하는 기판 이송 방법.
  14. 청구항 9에 있어서,
    상기 좌변 고정 핀, 상기 우변 고정 핀 및 상기 하변 고정 핀이 머리 부분 및 상기 머리 부분보다도 단면적이 작은 축 부분을 가지는 핀 구조이며, 상기 축 부분의 선단 방향의 일부가 상기 탑재면에 매립되고, 상기 머리 부분과 상기 탑재면과의 사이의 상기 축 부분에서 상기 기판이 지지되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 방법.
  15. 청구항 9에 있어서,
    각각의 상기 주면이 상기 동일 평면 레벨로 배치된 복수의 상기 기판으로 이루어진 기판열을 상기 주면의 면 법선 방향에 따라 복수 배열한 상태에서 보호지지하고, 상기 탑재면의 면 법선 방향에 따라 배열된 복수의 상기 기판 플레이트에 복수의 상기 기판을 동시에 탑재하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 방법.
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