CN101292309A - 电极构造体、电容器和电极构造体的制造方法 - Google Patents

电极构造体、电容器和电极构造体的制造方法 Download PDF

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Abstract

本发明提供一种电极构造体、其制造方法和具有该电极构造体的电容器，在该电极构造体中，作为基材的铝材和电介质层的密着性优异，可保持预期的耐电压，并且获得高的静电容量。电极构造体具有：铝材；电介质层，在该铝材的表面上形成，含有阀金属；和中介层，形成于铝材和电介质层之间，含有铝和碳。电极构造体的制造方法具有：在铝材的表面上形成含有阀金属的电介质前驱物质的工序；将其上形成了电介质前驱物质的铝材配置在含有含烃物质的空间的工序；和在将其上形成了电介质前驱物质的铝材配置在含有含烃物质的空间的状态下进行加热的工序。

Description

电极构造体、电容器和电极构造体的制造方法
技术领域
本发明一般涉及电极构造体、电容器和电极构造体的制造方法，特别涉及作为电容器等的电极材料来使用的电极构造体、具有该电极构造体的电容器和电极构造体的制造方法。
背景技术
例如特开昭62-222512号公报(专利文献1)所记载的，具有高介电常数的电介质材料在电容器、半导体元件和发光元件等的电子材料中得到广泛利用。
电容器具有两个电极，即阳极和阴极。作为电解电容器的阳极材料，使用可在表面生成绝缘氧化膜的铝、钽等阀金属(也称Valve金属)。在此，所谓阀金属，是指经阳极氧化而被氧化膜覆盖的金属，可列举：铝、钽、铌、钛、铪、锆、锌、钨、铋和锑等。作为阴极材料，使用电解液、无机半导体、有机导电性物质或金属薄膜中的任意一种。当阴极材料为电解液时，作为阴极端子，多使用扩大了表面积的铝箔。
为了增加电容器的静电容量，以前提出了几种方法。
例如，在特开2004-259932号公报(专利文献2)中，作为扩大阳极和阴极端子的表面积的方法，记载了以下的方法：在铝箔的表面形成含Pb的结晶性氧化物，使之均匀地分布，抑制蚀刻时的表面溶解，从而在蚀刻后获得扩大了的表面积。
另外，例如在特开2003-55796号公报(专利文献3)中，作为形成高密着性的厚的皮膜的方法，记载了使钛-磷类复合氧化物皮膜附着在铝基材的表面的方法。
而且，例如在特开平10-182221号公报(专利文献4)中，作为可用于构成容量性元件的东西，记载了介电常数的温度系数更小的物品。
还有，例如在特开平11-317331号公报(专利文献5)中，作为增大电解电容器的箔片电极的表面积的方法，记载了一种方法，该方法包括：将基材配置在具有约10-3Torr～约10-2Torr的压力的惰性氛围气内的步骤；和为了在基材上形成表面构造体，在惰性氛围气下使阀金属蒸镀在基材上的步骤。但是，在借助蒸镀而形成含有阀金属的电介质层的方法中，不仅需要保持高真空，而且难以工业性地形成均匀厚度的电介质层。
而如果使用溶胶凝胶法，和蒸镀法相比，容易形成含有阀金属的电介质层，并能够工业性地形成均匀厚度的电介质层。但是，用溶胶凝胶法得到的电介质层，因为在对电介质前驱物质进行加热而形成电介质层的工序中容易产生裂纹等缺陷，所以存在与作为基材的铝的密着性变差、不能得到预期的耐电压等问题。
作为解决上述问题的方法，例如在国际公开第02/062569号小册子(专利文献6)中，记载了在基体上具有氧化物层的构造体的制造方法。该方法具有：涂敷液调制工序，调制氧化物层用涂敷液；基体表面预处理工序，和涂敷液调制工序分开而对基体表面进行预处理，得到预处理完的基体；涂敷工序，在预处理完的基体上涂敷氧化物层用涂敷液，得到涂敷基体；和烧制工序，对涂敷基体进行烧制，在基体上形成氧化物层，基体表面预处理工序包含第一处理，该第一处理使基体的表面成为具有一维或二维的规则构造的面。
但是，即使是借助该方法，还是难以在保持预期的耐电压的基础上，得到密着性优异、可获得高静电容量的电极构造体。
专利文献1：特开昭62-222512号公报
专利文献2：特开2004-259932号公报
专利文献3：特开2003-55796号公报
专利文献4：特开平10-182221号公报
专利文献5：特开平11-317331号公报
专利文献6：国际公开第02/062569号小册子
发明内容
发明要解决的课题
因此，本发明的目的在于解决上述的问题，提供一种电极构造体、其制造方法和具有该电极构造体的电容器，在该电极构造体中，作为基材的铝材和电介质层的密着性优异，可保持预期的耐电压，并且获得高的静电容量。
本发明者们为了解决现有技术的问题点而经过反复锐意研究，结果，发现将具有含有阀金属的电介质前驱物质的铝材在特定条件下进行加热，即可获得可实现上述目的的电极构造体。本发明正是基于发明者的这种见解而进行的。
基于本发明的电极构造体具有：铝材；电介质层，在铝材的表面上形成，含有阀金属；和中介层，形成于铝材和电介质层之间，含有铝和碳。
在基于本发明的电极构造体中，阀金属优选的是选自由钛、钽、铪、锆和铌构成的组中的任意一种以上。
在基于本发明的电极构造体中，电介质层也可以含有硅氧化物(二氧化硅)。
另外，在基于本发明的电极构造体中，中介层优选的是含有结晶化了的铝的碳化物。
而且，在基于本发明的电极构造体中，中介层优选的是含有铝氧化物。
基于本发明的电极构造体的制造方法，具有：在铝材的表面上形成含有阀金属的电介质前驱物质的工序；将其上形成了电介质前驱物质的铝材配置在含有含烃物质的空间的工序；和在将其上形成了电介质前驱物质的铝材配置在含有含烃物质的空间的状态下进行加热的工序。
在基于本发明的电极构造体的制造方法中，在将其上形成了电介质前驱物质的铝材配置在含有含烃物质的空间的状态下进行加热的工序，优选的是在450℃以上、不到660℃的温度范围进行。
另外，基于本发明的电极构造体的制造方法，优选的是，在将其上形成了电介质前驱物质的铝材配置在含有含烃物质的空间的状态下进行加热的工序之后，还具有对铝材进行阳极氧化的工序。
基于本发明的电容器，具有上述特征中的至少任意一个特征。
发明的效果
根据本发明，在用于电容器等的电极构造体中，作为基材的铝材和电介质层的密着性优异，可在保持预期的耐电压的基础上，获得高的静电容量。
附图说明
图1表示在实施例5中得到的电极构造体试料的扫描型电子显微镜照片。
具体实施方式
(铝材)
在本发明的一种实施方式中，作为其上形成含有阀金属的电介质层的基材的铝材，没有特别限定，可使用纯铝或铝合金的箔。该铝材优选的是，铝纯度为依据“JISH 2111”中记载的方法而测定的值在98质量％以上。本发明中使用的铝材，作为其组成，包含：在必要范围内添加了铅(Pb)、硅(Si)、铁(Fe)、铜(Cu)、锰(Mn)、镁(Mg)、铬(Cr)、锌(Zn)、钛(Ti)、钒(V)、镓(Ga)、镍(Ni)和硼(B)中的至少一种合金元素的铝合金；或限定了上述不可避免的杂质元素含量的铝。铝材的厚度没有特别限定，但是一般优选的是设定为5μm以上、200μm以下的范围内。
所述铝材可使用借助公知的方法所制造的铝材。例如，调制具有上述预定组成的铝或铝合金的溶液，对将其进行铸造而得到的铸块适当地进行均质化处理。之后，对该铸块施行热轧和冷轧，即可得到成为基材的铝材。另外，在上述冷轧工序的过程中，还可以在150℃以上、400℃以下的温度范围内施行中间退火处理。
另外，在形成电介质前驱物质的工序之前，还可以对铝施行适当的预处理。
(电介质层)
作为阀金属，没有特别限定，可列举镁、钍、镉、钨、锡、铁、银、硅、钽、钛、铪、铝、锆和铌等，特别是钛、钽、铪、锆或铌适于使用。
在作为基材的铝材的表面上形成含有阀金属的电介质层的方法没有特别限定，但是适合采用溶胶凝胶法。例如，利用含有阀金属的烷氧化物的有机化合物或金属盐的加水分解及聚缩合，调制由含有氧化物前驱体粒子的溶液(溶胶)凝胶化而成的涂敷液，将其涂敷在铝的表面上即可。或者，调制使阀金属氧化物在溶液中乳胶化而成的涂敷液，将其涂敷在铝的表面上即可。涂敷的方法没有特别限定，可适当地采用旋涂法、棒涂法、淋涂法或浸涂法。经涂敷而形成的电介质前驱物质的膜厚可通过涂敷次数、涂敷液的组成和浓度进行控制。
另外，如果使溶液(溶胶)或涂敷液中含有碳纤维、碳粒子或碳前驱体等碳成分，则可进一步提高为基材的铝材与电介质层的密着性。
如果使溶液(溶胶)或涂敷液中含有硅氧化物(二氧化硅)粒子，则可提高电介质层的耐电压，从而不施行阳极氧化工序即可对电介质层赋予耐电压。
根据需要，对如此所得到的在表面形成了电介质前驱物质的铝材进行干燥，然后，在含有含烃物质的氛围气中施行热处理。
(含有铝和碳的中介层)
本发明的电极构造体还具有中介层，该中介层在作为基材的铝材和电介质层之间形成，含有铝和碳。
含有铝和碳的中介层是对在表面形成了电介质前驱物质的铝材在含有含烃物质的氛围气中施行热处理而得到。
含有铝和碳的中介层可提高作为基材的铝材和电介质层的密着性，并且抑制在作为基材的铝材和电介质层之间形成的、含有铝和氧的中介层的生成，降低基材和电介质层之间的电阻值，因此能够提供具有高静电容量的电极构造体。
而且，含有铝和碳的中介层优选的是含有结晶化了铝的碳化物。结晶化了铝的碳化物具有进一步提高密着性的效果。
另外，含有铝和碳的中介层还可以含有铝氧化物。铝氧化物具有填补在电介质层产生的裂纹等缺陷部、防止漏电流增加的效果。但是，因为过度的氧化物的形成会增加基材和电介质层之间的电阻值，所以有可能降低容量。
(电极构造体的制造方法)
本发明的电极构造体的制造方法具有：在铝材的表面上形成含有阀金属的电介质前驱物质的工序；然后，将铝材配置在含有含烃物质的空间的工序；进而，在将铝材配置在含有含烃物质的空间的状态下进行加热的工序。
另外，如果在形成了使电介质前驱物质上或电介质前驱物质间含有了碳纤维、碳粒子或碳前驱体等碳成分的组合物层后，将铝材配置在含有含烃物质的空间进行加热，就能够进一步提高作为基材的铝材和电介质层的密着性、及电极的静电容量。
如果在形成了使电介质前驱物质上或电介质前驱物质间含有了硅氧化物(二氧化硅)粒子的组合物层后，将铝材配置在含有含烃物质的空间进行加热，就能够进一步提高电极构造体的耐电压。
在本发明的电极构造体的制造方法的一种实施方式中，在表面形成了电介质前驱物质的铝材的热处理中使用的含烃物质的种类没有特别限定。作为含烃物质的种类，可列举：例如甲烷、乙烷、丙烷、正丁烷、异丁烷及戊烷等烷烃类烃；乙烯、丙烯、丁烯及丁二烯等烯烃类烃；乙炔等乙炔类烃等，或这些烃的衍生物。在这些烃中，优选的是甲烷、乙烷、丙烷等烷烃类烃，因为它们在对表面上形成了电介质前驱物质的铝材进行加热的工序中会成为气体状。更优选的是甲烷、乙烷和丙烷之中的任意一种烃。最优选的烃是甲烷。
另外，含烃物质在本发明的制造方法中在液体、气体等状态下均可使用。只要含烃物质存在于带电介质被膜预备层的铝存在的空间即可，以任何方法导入到在表面形成了电介质前驱物质的铝材配置的空间均可。例如，当含烃物质为气体状时(甲烷、乙烷、丙烷等)，将含烃物质单独、或与惰性气体一起、或者与氢气等还原性气体一起填充到在表面形成了电介质前驱物质的铝材进行加热处理的密闭空间中即可。另外，当含烃物质为液体时，也可以将含烃物质单独、或与惰性气体一起、或者与氢气等还原性气体一起进行填充在该密闭空间中使之气化。
在对表面上形成了电介质前驱物质的铝材进行加热的工序中，加热氛围气的压力没有特别限定，可以是在常压、减压或加压下。另外，压力的调整在保持在某一定的加热温度的期间、升温到某一定的加热温度的过程中、或者从某一定的加热温度降温的过程中的任何时点均可进行。
导入到在表面形成了电介质前驱物质的铝材配置的空间的含烃物质的重量比例没有特别限定，但是通常优选的是设定为：相对于铝箔100重量份，按碳换算值为0.1重量份以上、50重量份以下的范围内，特别优选的是在0.5重量份以上、30重量份以下的范围内。
在对表面上形成了电介质前驱物质的铝材进行加热的工序中，加热温度与作为加热对象物的铝箔的组成等相应地进行适当的设定即可，通常优选的是450℃以上、不到660℃的范围内，更优选的是在530℃以上、620℃以下的范围内进行。使加热温度在450℃以上，从而可以在含有铝和碳的中介层中含有结晶化了的铝的碳化物。但是，在本发明的制造方法中，也不排除在不到450℃的温度下对表面上形成了电介质前驱物质的铝材进行加热的情况，至少在超过300℃的温度下对表面上形成了电介质前驱物质的铝材进行加热即可。
加热时间虽然也取决于加热温度等，但是一般在1小时以上、100小时以下的范围内。
当加热温度为400℃以上时，优选的是使加热氛围气中的氧浓度在1.0体积％以下。如果加热温度在400℃以上、加热氛围气中的氧浓度超过1.0体积％，则铝材表面的热氧化膜有可能肥大，铝材表面的界面电阻增加，从而使电极构造体的内部电阻值增大。
另外，本发明的电极构造体也可以是在将铝材配置在含有含烃物质的空间的状态下进行加热的工序之后，进行阳极氧化的工序。借助该工序，可以在含有铝和碳的中介层中含有铝氧化物。阳极氧化工序没有特别限定，例如可在己二酸铵或硼酸铵等溶液中，以2V以上、1000V以下的电压进行。
另外，本发明的电极构造体，不仅可适用于阳极材料，也可以适用于阴极材料。
实施例
按照以下的实施例1～22和比较例1～7，制作了电极构造体。
(实施例1～5、比较例1～2)
将厚度为30μm的铝硬质箔(JIS A1070-H18)浸渍在钛烷氧化合物溶液中，在两面形成了厚度为0.15μm的电介质前驱物质。
然后，将在表面形成了电介质前驱物质的铝材以表1所示的氛围气和温度的条件，加热12小时，得到了电极构造体。
钛烷氧化合物溶液的组成为，Ti(n-OC4H9)4：0.15摩尔；CH3COCH2COCH3：0.45摩尔；C2H5OH：18摩尔；H2O：0.3摩尔。在湿度为40％以下的环境下，将上述铝材在上述钛烷氧化合物溶液中浸渍3秒钟后，在空气中以100℃的温度加热10分钟，使之干燥。重复上述的浸渍处理和加热处理三次，形成了电介质前驱物质。
在实施例5中得到的电极构造体中，用溴-甲醇混合溶液将铝材溶解而取得试料，并用扫描型电子显微镜(SEM)从背面对试料进行了观察。如图1所示，在铝材和电介质层之间，确认到了板状的结晶化物。另外，借助X射线电子微探分析仪(EPMA)和X射线衍射，确认了上述板状结晶化物为碳化铝。
(实施例6～8、比较例3～4)
将厚度为50μm的铝硬质箔(JIS A1030-H18)浸渍在氧化钛分散水溶液中，在两面形成了表2所示厚度的电介质前驱物质。
然后，将在表面形成了电介质前驱物质的铝材，在实施例6～8中是在甲烷气体氛围气中，在比较例3中是在空气中，在比较例4中是在氩气氛围气中，分别以550℃的温度加热12小时，得到了电极构造体。
氧化钛分散水溶液是将对硫酸钛加水分解所得到的氢氧化钛在氧氛围气中进行加热，得到硫化钛，并在其中加入少量的硝酸进行调制而成的。并且，该氧化钛经X射线衍射确认，其具有锐钛矿型结晶构造。在湿度为40％以下的环境下，将上述铝材于上述氧化钛分散水溶液中浸渍3秒钟后，在空气中以100℃的温度加热10分钟，使之干燥。重复上述的浸渍处理和加热处理1～3次，形成了电介质前驱物质。
(实施例9～13)
将厚度为80μm的铝硬质箔浸渍在含有钛、钽、铪、锆或铌的烷氧化合物溶液或溶胶溶液中，在两面形成了厚度为0.4μm的电介质前驱物质。
然后，将在表面形成了电介质前驱物质的铝材在乙炔气体氛围气中，以550℃的温度加热12小时，得到了电极构造体。
铝箔的标称纯度为99.9质量％，组成的质量分析值为：硅75ppm、铁72ppm。
实施例9中使用的钽烷氧化合物溶液的组成为，Ta(OC2H5)5：0.15摩尔；CH3COCH2COCH3：0.45摩尔；C2H5OH：18摩尔；H2O：0.3摩尔。
实施例10中使用的钛烷氧化合物溶液的组成和实施例1～5中使用的溶液相同，为Ti(n-OC4H9)4：0.15摩尔；CH3COCH2COCH3：0.45摩尔；C2H5OH：18摩尔；H2O：0.3摩尔。
实施例11中使用的铌烷氧化合物溶液的组成为，Nb(OC2H5)5：0.15摩尔；CH3COCH2COCH3：0.45摩尔；C2H5OH：18摩尔；H2O：0.3摩尔。
实施例12中使用的锆烷氧化合物溶液的组成为，Zr(C4H9O)4：0.15摩尔；CH3COCH2COCH3：0.45摩尔；C2H5OH：18摩尔；H2O：0.3摩尔。
实施例13中使用的铪溶胶溶液如下进行制作：将2.0g的HfC14在99.5％乙醇溶液15ml中溶解后，在该溶液中添加0.51g的H2O和3.32g的60％HNO3，以50℃的温度进行加热。
在湿度为40％以下的环境下，将上述铝材于上述各烷氧化合物溶液中浸渍3秒钟后，在空气中以100℃的温度加热10分钟，使之干燥。重复上述浸渍处理和加热处理6次，形成了电介质前驱物质。
(实施例14～19)
将在实施例9～11中得到的电极构造体分别以5V和10V进行阳极氧化，得到了新的电极构造体(实施例14～16和实施例17～19)。对得到的电极构造体的表面用EPMA进行分析，在电介质层的裂纹部确认到了铝氧化物。
阳极氧化条件是：在85℃的15质量％己二酸铵溶液中，通入50mA/cm2的直流电流，在电压达到10V后保持10分钟。另外，把保持10分钟后的电流值作为漏电流。
(实施例20～22)
将厚度为80μm的铝硬质箔浸渍在如下制作的二氧化硅溶胶溶液中，在两面形成了厚度为0.4μm的电介质前驱物质。
然后，将表面上形成了电介质前驱物质的铝材在乙炔气体氛围气中，以550℃的温度加热12小时，得到了电极构造体。
铝箔的标称纯度为99.9质量％，组成的质量分析值为：硅75ppm、铁72ppm。
二氧化硅溶胶溶液如下进行制作：在用硅烷氧化合物[Si(OC2H5)4]加水分解而得到的二氧化硅(SiO2)溶胶中，添加预先调整为金红石型的钛氧化物(TiO2)粒子。此时，在实施例20～22中，使TiO2粒子和SiO2溶胶的配合比例(重量比)按表5所示的方式改变。
(比较例5～7)
对厚度为80μm的铝硬质箔进行交流蚀刻而得到了电极构造体(比较例5)。另外，和实施例14～19同样地以5V和10V进行阳极氧化，得到了新的电极构造体(比较例6和比较例7)。
铝箔的标称纯度为99.9质量％，组成的质量分析值为：硅75ppm、铁72ppm。
交流蚀刻的方法是顺次进行了下列条件的一次电解蚀刻、化学蚀刻和二次电解蚀刻。
<一次电解蚀刻>
电解液组成：12wt％盐酸+1wt％硫酸+100g氯化铝/升
温度：50℃
电流波形：正弦波交流
频率：60Hz
电流密度：200mA/cm2
时间：60秒
<化学蚀刻>
电解液组成：20wt％盐酸+3wt％硫酸+100g氯化铝/升
温度：60℃
时间：120秒
<二次电解蚀刻>
电解液组成：12wt％盐酸+1wt％硫酸+100g氯化铝/升
温度：30℃
电流波形：正弦波交流
频率：60Hz
电流密度：160mA/cm2
时间：300秒
对实施例1～22和比较例1～6中得到的电极构造体评价了静电容量；对实施例1～13和比较例1～5中得到的电极构造体评价了含有铝和碳的中介层形成量；另外，对实施例14～19和比较例6～7中得到的电极构造体评价了漏电流；并对实施例20～22和比较例6～7中得到的电极构造体评价了耐电压。评价条件如下所示。评价结果在表1～5中表示。
[静电容量]
各试料的静电容量，在己二酸铵水溶液中以测定频率为120Hz进行了测定。
[含有铝和碳的中介层的形成量]
中介层的形成量通过铝碳化物的定量分析进行了评价。收集通过使电极构造体的试料在20％氢氧化钠水溶液中全部溶解而产生的气体，用带火焰离子化检出器的高灵敏度气相色谱仪对收集气体进行定量分析，并将其换算成铝碳化物(Al4C3)含有量。将铝碳化物含有量相对于溶解了的铝质量的质量比作为中介层形成量的目标值进行了评价。从而确认了在电极构造体中是否形成了含有铝和碳的中介层。
[耐电压]
以在15重量％己二酸铵水溶液中通入1mA/cm2的定电流5分钟后的电压作为耐电压进行了评价。而且，在该电压的测定中，电极构造体的配极使用了铝箔。
[表1]
加热氛围气   加热温度(℃)   静电容量(μF/cm2)   中介层和铝箔的重量比(％)
  实施例1   甲烷   400   132   0.01
  实施例2   甲烷   450   528   0.07
  实施例3   甲烷   500   655   0.14
  实施例4   甲烷   550   688   0.28
  实施例5   甲烷   600   681   0.60
  比较例1   空气   500   25   ＜0.01
  比较例2   氩气   500   48   ＜0.01
[表2]
浸渍次数(次)   电介质被膜预备层厚度(μm) 静电容量(μF/cm2) 中介层和铝箔的重量比(％)
  实施例6   1   0.19   779   0.32
  实施例7   2   0.45   805   0.38
  实施例8   3   0.64   856   0.35
  比较例3   1   0.20   21   ＜0.01
  比较例4   1   0.21   37   ＜0.01
[表3]
阀金属   静电容量(μF/cm2)   中介层和铝箔的重量比(％)
  实施例9   钽   1068   0.43
  实施例10   钛   1648   0.31
  实施例11   铌   1404   0.39
  实施例12   锆   821   0.35
  实施例13   铪   979   0.34
  比较例5   -   590   ＜0.01
[表4]
阀金属   5V阳极氧化静电容量(μF/cm2)   10V阳极氧化静电容量(μF/cm2) 漏电流(mA/cm2)
  实施例14   钽   688   -   1.50
  实施例15   钛   1252   -   1.61
  实施例16   铌   832   -   1.85
  比较例6   -   186   -   1.90
  实施例17   钽   -   488   2.02
  实施例18   钛   -   613   2.01
  实施例19   铌   -   502   2.19
  比较例7   -   -   132   2.23
[表5]
Figure A20068003878600191
由此可知，根据本发明的实施例1～22中所得到的电极构造体，与比较例1～7中所得到的电极构造体相比，呈现高的静电容量。
可以认为，以上公开的实施方式和实施例在所有的方面都是例示，并非限制性的。本发明的范围不是以上实施方式和实施例，而是由权利要求的范围来表示，旨在包含在与权利要求的范围等同的含义和范围内的所有的修改和变形。
工业实用性
在电容器等中使用基于本发明的电极构造体，可使得作为基材的铝材和电介质曾的密着性优异，在保持预期的耐电压的基础上，获得高的静电容量。

Claims (9)

1.一种电极构造体，具有：
铝材；
电介质层，在所述铝材的表面上形成，含有阀金属；和
中介层，形成于所述铝材和所述电介质层之间，含有铝和碳。
2.根据权利要求1所述的电极构造体，其中，所述阀金属是选自由钛、钽、铪、锆和铌构成的组中的任意一种以上。
3.根据权利要求1所述的电极构造体，其中，所述电介质层含有硅氧化物。
4.根据权利1所述的电极构造体，其中，所述中介层含有结晶化了的铝的碳化物。
5.根据权利1所述的电极构造体，其中，所述中介层含有铝氧化物。
6.一种电极构造体的制造方法，其中具有：
在铝材的表面上形成含有阀金属的电介质前驱物质的工序；
将其上形成了所述电介质前驱物质的所述铝材配置在含有含烃物质的空间的工序；和
在将其上形成了所述电介质前驱物质的所述铝材配置在含有含烃物质的空间的状态下进行加热的工序。
7.根据权利要求6所述的电极构造体的制造方法，其中，所述在将其上形成了所述电介质前驱物质的所述铝材配置在含有含烃物质的空间的状态下进行加热的工序是在450℃以上、不到660℃的温度范围进行。
8.根据权利要求6所述的电极构造体的制造方法，其中，在所述在将其上形成了所述电介质前驱物质的所述铝材配置在含有含烃物质的空间的状态下进行加热的工序之后，还具有对所述铝材进行阳极氧化的工序。
9.一种电容器，其中具有权利要求1所述的电极构造体。
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