CN100354756C - 正型感光性树脂组合物 - Google Patents

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Abstract

本发明提供可制得高分辨率、高残膜率的图形而且感光度提高的正型感光性树脂组合物。即本发明提供含100重量份聚酰胺树脂和1～50重量份用如下述式所表示的感光物质(Q-1)的正型感光性树脂组合物。

Description

正型感光性树脂组合物
技术领域
本发明涉及可获得高分辨率、高残膜率图形且感光度高的正型感光性树脂组合物。
背景技术
过去，半导体元件的表面保护膜、层间绝缘膜常采用耐热性好、具有卓越电性能和机械性能等的聚酰亚胺树脂，但是，近年来，随着半导体元件向着高集成化、大型化、封装的薄型化、小型化、回流焊接的表面组装的方向发展，要求耐热周期、耐热冲击性有明显地提高，需要更高性能的树脂。
首先看一下赋于聚酰亚胺树脂本身感光性的技术，列举如下式(12)中所示的感光性聚酰亚胺树脂。
Figure C0210324400111
如果使用它的话，虽然可以简化图形制作工序中的部分工作，具有缩短工序及提高成品率的效果，但是，由于显影时需要N-甲基-2-吡咯烷酮等溶剂，所以存在安全性、操作性问题。
因此最近开发了用碱水溶液可显影的正型感光性树脂组合物。
如：在特公平1-46862号公报中公布了由基体树脂聚苯并唑前体和感光物质叠氮醌组成的正型感光性树脂组合物。它不仅具有高耐热性、优良的电性能、微细加工性，可用作薄层涂布，也可用作层间的绝缘树脂。这种正型感光性树脂组合物的显影机理是未曝光部分的叠氮醌化合物不溶于碱水溶液中，经过曝光，叠氮醌化合物发生了化学变化，变成可溶于碱水溶液。利用曝光部分和未曝光部分的溶解性差，溶去曝光的部分，可制成只有未曝光部分涂膜的图形。
实际使用这些感光性树脂组合物的时候，特别重要的是感光性树脂组合物的感光度。如果感光度低的话，曝光时间就长，工作效率则下降。为此，为了提高感光性树脂组合物的感光度，如：如果使基体树脂分子量变小的话，显影时，由于未曝光部分的膜减薄厉害，所以得不到所需的膜厚，会发生图形形状破损的问题。因此，强烈盼望开发出既满足上述特性又具有高感光度的感光性树脂组合物。
发明内容
本发明以提供可获得高分辨率、高残膜率的图形且具有高感光度的正型感光性树脂组合物为目的。
本发明提供的正型感光性树脂组合物的特征是由通式(1)所示的100重量份聚酰胺树脂(A)和1～50重量份的以通式(2)所示的结构为骨架的酚化合物的1，2-萘醌-2-重氮-5-磺酸酯化合物或1，2-萘醌-2-重氮-4-磺酸酯化合物的感光物质(B1)所组成。
Figure C0210324400121
                                            (1)
式中：X：表示4价环式化合物的基
      Y：表示2价环式化合物的基
Figure C0210324400122
(R1、R2：2价的有机基，R3、R4：1价的有机基)
E：表示至少含有一个链烯基或炔基的脂肪族基或环式化合物基
a、b表示摩尔分数，a+b＝100摩尔％
a＝60～100摩尔％
b＝0～40摩尔％
n是平均值，为2～300的正数
Figure C0210324400131
(式中，R5表示从氢原子、烷基、烷氧基、芳基、取代的芳基中选择的一种，R6为从氢原子、羟基、烷基、烷氧基、芳基、环烷基中选择的、至少有1个是羟基的基团。各自既可相同也可不同。R7为从氢原子、羟基、烷基、烷氧基、芳基、环烷基中选择的、至少有一个是羟基的基团。各自既可相同也可不同。
l＝0～3的整数，m＝1～3的整数，n＝1～3的整数。)
通式(1)的聚酰胺树脂是具有X结构的双(氨基酚)，根据需要，也可以是将掺有Z结构的聚硅氧烷二胺和具有Y结构的二羧酸或二羧酸二酰氯、再与氨基反应，与生成E结构的酸酐反应制得的产物。还有，为了提高反应收率等，也可用二羧酸和1-羟基-1，2，3-苯并三唑等预先反应的活泼酯型的二羧酸衍生物。将这种聚酰胺树脂在约300～400℃下加热，脱水环化，则变成聚苯并唑的耐热性树脂。
本发明通式(1)的聚酰胺树脂中的X虽然可以是如：
Figure C0210324400141
(式中A：-CH2-，-C(CH3)2-，-O-，-S-，-SO2-，-CO-，-NHCO-，-C(CF3)2-)等，但决不限于这些。
它们中特别理想的结构是从
Figure C0210324400142
中选择的结构。
另外，通式(1)的聚酰胺树脂中的Y虽然可以是如：
Figure C0210324400151
(式中A：-CH2-，-C(CH3)2-，-O-，-S-，-SO2-，-CO-，-NHCO-，-C(CF3)2-)等，但决不限于这些。
它们中特别理想的是从
Figure C0210324400152
中选择的结构。
还有，通式(1)的聚酰胺树脂中的E虽然可列举如：
Figure C0210324400161
等，但决不限于这些。
它们中特别理想的是从
中选择的结构。
本发明中，将具有Y结构的二羧酸或二羧酸二酰氯或二羧酸衍生物与具有X结构的双(氨基酚)反应，合成聚酰胺树脂后，再用至少具有1个通式(1)的E中所示的链烯基或炔基的酸酐将末端氨基封端。
再有，根据需要，使用的通式(1)的聚酰胺树脂中的Z虽然可以是如
Figure C0210324400181
等，但决不限于这些。
相对于如硅板那样的基板而言，需要特别优异的安全性时，虽然要用通式(1)中的Z，但是其使用比例b最大为40摩尔％。如果超过40摩尔％的话，树脂的溶解性就会急剧下降，产生显影不透的现象，因为不能进行图形加工，所以不理想。使用这些X、Y、E、Z时，既可以分别使用1种，也可以使用2种以上的混合物。
通式(1)中的n为平均值，是2～300的正数，如果超过300的话，由于担心会产生显影不透的现象，所以不理想。
本发明中所用的感光物质(B1)的骨架酚化合物的例子可列举如下物质，但决不限于这些。
Figure C0210324400211
本发明中所用的感光物质(B1)，用通式(2)所示的酚化合物中的羟基被1，2-萘醌-2-重氮-5-磺酸酯化合物或1，2-萘醌-2-重氮-4-磺酸酯化合物取代的比例以20～80％为佳。如果不足20％的话，则用通式(1)所示的聚酰胺树脂的阻溶能力会下降，显影后，不能得到所需的膜厚，相反，如果超过80％的话，则显影后，在图形的底部会担心出现显影不透的现象，也不理想。还有，取代的比例是相对于通式(2)中所示的酚化合物中的羟基数目而言的。本发明中所用的感光物质(B1)，往通式(1)中所示的聚酰胺树脂(A)中混合的量，相对100重量份聚酰胺树脂而言，为1～50重量份。如果不足1重量份的话，则聚酰胺树脂形成图形的性能就不好，如果超过50重量份的话，由于感光物质本身的吸收大，光线不能充分地达到膜的底部，于是感光度大幅度下降，所以也不理想。
本发明的正型感光性树脂组合物，为了进一步提高感光度时，掺合用通式(4)或通式(5)所示结构作为骨架的酚化合物的1，2-萘醌-2-重氮-5-磺酸酯化合物或1，2-萘醌-2-重氮-4-磺酸酯化合物的感光物质(B2)很重要。
Figure C0210324400221
(式中：R14表示氢原子或烷基，R15、R16、R17、R18、R19、R20各自表示从氢原子、卤素原子、羟基、烷基、烷氧基、环烷基中选择的1个基团。)
(式中，R21、R22、R23、R24、R25、R26、R27、R28、R29各自表示从氢原子、卤素原子、羟基、烷基、烷氧基、环烷基中选择的1个基团。)
作为本发明中所用的感光物质(B2)的骨架酚化合物的例子可列举如下物质，但决不限于这些。
Figure C0210324400241
Figure C0210324400251
本发明中所用的感光物质(B2)，用通式(4)或通式(5)所示的酚化合物中的羟基被1，2-苯醌-2-重氮-5-磺酸酯化合物或1，2-萘醌-2-重氮-4-磺酸酯化合物取代的比例以80～100％为好。如果不足80％的话，则对高感光度化就不会有贡献，故不理想。取代的比例是相对于通式(4)或通式(5)所示的酚化合物中羟基的数目而言的。另外，本发明中所用的感光物质(B1)和感光物质(B2)的混合，以重量比计，以0.1≤(B2)/(B1)≤0.5为佳。如果不足0.1的话，则对高感光度化没有贡献，如果超过0.5的话，则在显影后，图形的底部产生显影不透的现象，也不理想。
根据需要，为了提高感光特性，可以在本发明的正型感光性树脂组合物中加入二氢吡啶衍生物。作为二氢吡啶的衍生物可列举如：2，6-二甲基-3，5-二乙酰基-4-(2′-硝基苯基)-1，4-二氢吡啶、4-(2′-硝基苯基)-2，6-二甲基-3，5-二乙酯基-1，4-二氢吡啶、4-(2′，4′-二硝基苯基)-2，6-二甲基-3，5-二甲酯基-1，4-二氢吡啶等。
根据需要，在本发明的正型感光性树脂组合物中再含有用通式(3)所示的酚化合物(C)很重要。
Figure C0210324400271
(式中，R8、R9表示氢原子或烷基，R10、R11、R12、R13各自表示从氢原子、卤素原子、羟基、烷基、烷氧基、环烷基中选择的1个基团。)
作为在正型抗蚀剂组合物中添加酚化合物的技术示于如特开平3-200251号公报、特开平3-200252号公报、特开平3-200253号公报、特开平3-200254号公报、特开平4-1650号公报、特开平4-11260号公报、特开平4-12356号公报、特开平4-12357号公报中。但是，它们中所示的酚化合物即使用在以本发明的聚酰胺树脂作基体树脂的正型感光性树脂组合物中，提高感光度的效果也小，但是，使用本发明中的通式(3)所示的酚化合物(C)时，曝光部分的溶解速度增加，感光度提高。另外，使分子量变小，提高感光度时，可看到未曝光部分的膜减薄也非常小。
作为通式(3)所示的酚化合物(C)可列举如下的物质，但决不限于这些。
Figure C0210324400281
Figure C0210324400291
Figure C0210324400301
Figure C0210324400311
它们中，式(9)的化合物较佳，在感光度及残膜率方面特别理想的是式(10)或式(11)所示的化合物，式(10)及/或式(11)所示的化合物在全体酚化合物(C)中含有50重量％以上为更好。
Figure C0210324400312
相对于100重量份通式(1)所示的聚酰胺树脂而言，酚化合物(C)的添加量以1～30重量份为佳。如果不足1重量份的话，则显影时感光度会下降，如果超过30重量份的话，则显影时，会产生显著的残膜率下降现象，冷冻保存中会析出，缺乏实用性，故不理想。
根据需要，在本发明的正型感光性树脂组合物中还可掺合涂平剂、有机硅烷偶合剂等添加剂。
本发明中，将这些成分溶解于溶剂中，制成清漆状来使用。作为溶剂可列举如：N-甲基-2-吡咯烷酮、γ-丁内酯、N，N-二甲基乙酰胺、二甲基亚砜、二乙二醇二甲醚、二乙二醇二乙醚、二乙二醇二丁醚、丙二醇单甲醚、二丙二醇单甲醚、丙二醇单甲醚乙酸酯、乳酸甲酯、乳酸乙酯、乳酸丁酯、甲基-1，3-丁二醇乙酸酯、1，3-丁二醇-3-单甲醚、丙酮酸甲酯、丙酮酸乙酯、甲基-3-甲氧基丙酸酯等，它们既可单独使用，也可混合使用。
本发明的正型感光性树脂组合物的使用方法，首先将该组合物涂布到适当的支持体，如硅片、陶瓷基板、铝基板等上面。涂布量，在做半导体装置时，使固化后的最终膜厚为0.1～20μm。如果膜厚不足0.1μm的话，要充分发挥作为半导体元件保护膜的功能是困难的，如果超过20μm的话，要得到微细加工的图形是困难的。作为涂布方法，有用旋转涂布机进行的旋转涂布、用喷涂机进行的喷雾涂布、还有浸渍、印刷、辊涂等。
接着，在60～130℃下进行预烘，涂膜干燥后，用化学射线照射，使形成所要求的图形形状。作为化学射线，虽然可以使用X射线、电子束、紫外线、可见光线等，但是，以用200～500nm波长的射线为佳。
接着，用显影液溶解除去照射的部分，制得浮雕图形。作为显影液，可以使用氢氧化钠、氢氧化钾、碳酸钠、硅酸钠、偏硅酸钠、氨水等无机碱类，乙胺、n-丙胺等伯胺类，二乙胺、二-n-丙胺等仲胺类，三乙胺、甲基二乙胺等叔胺类，二甲基乙醇胺、三乙醇胺等醇胺类，四甲基羟铵、四乙基羟铵等季铵盐的碱类水溶液及在其中适量加入如甲醇、乙醇的醇类等水溶性有机溶剂、表面活性剂的水溶液。
作为显影方法，可用喷雾显影、罐显、浸显、超声波显影等方法。
接着，对显影形成的浮雕图形进行漂洗。作为漂洗液用蒸馏水。接着，进行热处理，形成唑环，制得富有耐热性的最终图形。
本发明的正型感光性树脂组合物不仅可用于半导体，而且在多层电路的层间绝缘、柔性敷铜板的保护层、阻焊抗蚀剂膜和液晶取向膜等方面也有用。
具体实施方式
下面，通过实施例具体地说明本发明。
实施例1
聚酰胺树脂的合成
将0.9mol的对苯二甲酸、0.1mol的间苯二甲酸和2mol的1-羟基-1，2，3-苯并三唑反应，制得360.4g(0.9mol)二羧酸衍生物(活性酯)，再将其和366.3g(1mol)的六氟-2，2-双(3-氨基-4-羟基苯基)丙烷加入备有温度计、搅拌器、加料口、干燥氮气导入管的4口可拆式烧瓶中，再加入3000g N-甲基-2-吡咯烷酮使其溶解。其后，用油浴在75℃下使反应12小时。
接着，再加入32.8g(0.2mol)在500g N-甲基-2-吡咯烷酮中溶解的5-降冰片烯-2，3-二羧酸酐，再搅拌12小时结束反应。将反应混合物过滤后，将其倒入水/甲醇＝3/1的溶液中，过滤收集沉淀物，用水充分洗净后，真空下干燥，可制得通式(1)所示的、X为下述式X-1、Y为下述式Y-1及Y-2的混合物、a＝100、b＝0、n＝46.2所组成的目标产物聚酰胺树脂(A-1)。
Figure C0210324400331
正型感光性树脂组合物的制备
将100g合成制得的聚酰胺树脂(A-1)、24g具有下述式(Q-1)结构的感光物质溶解于200g γ-丁内酯中，然后用0.2μm的特氟隆过滤器过滤，制得正型感光性树脂组合物。
下面表1中各组分的掺混比例表示相对于100g聚酰胺树脂掺混的量(g)。
Figure C0210324400341
特性评价
将该正型感光性树脂组合物用旋转涂布机涂布在硅板上后，放在热板上，于120℃下干燥4分钟，制得约13μm厚的涂膜。通过凸版印刷公司制的掩膜片(测试图No.1：绘有幅宽为0.88～50μm的残留及去掉的图形)，用g线曝光器(ニコン制·G-3A)，改变曝光量，对该涂膜进行照射。
接着，在2.38％的四甲基羟铵水溶液中浸泡110秒，溶解除去曝光的部分后，用纯水漂洗30秒钟。其结果，由曝光量为550mJ/cm2照射的部分形成了图形。(感光度为550mJ/cm2)。这时的残膜率(显影后的膜厚/显影前的膜厚)×100为89.4％，分辨率为4μm，非常好，图形底部无显影不透的部分。
另外，将正型感光性树脂组合物涂布在同样的硅板上，预烘后，在氮气氛围下，于烘箱中，按30分钟/150℃、30分钟/350℃的顺序加热，形成聚苯并唑的固化膜。在该固化膜上形成2×2×2mm(长×宽×高)大小的半导体封装用的环氧树脂组合物(住友ベ-クライト(株)制EME-6300H)。用单纱强力试验机测定在固化膜上形成的封装用的环氧树脂组合物的剪切强度，其结果为3.2kg/mm2。
实施例2
除了将实施例1中的1，2-萘醌-2-重氮-5-磺酸酯化合物(Q-1)的添加量按表1中改变外，其余与实施例1一样操作及评价。
实施例3
除了用(Q-2)代替实施例1中的1，2-萘醌-2-重氮-5-磺酸酯化合物(Q-1)，再将添加量按表1中改变以外，其余与实施例1一样操作及评价。
Figure C0210324400351
实施例4
用1mol的二苯醚-4，4′-二羧酸代替实施例1中0.9mol的对苯二甲酸和0.1mol的间苯二甲酸合成聚酰胺树脂，与实施例1同样进行反应，就可制得通式(1)所示的、由X为上述式X-1、Y为下述式Y-3、a＝100、b＝0、n＝27.1所形成的聚酰胺树脂(A-2)。再将1，2-萘醌-2-重氮-5-磺酸酯化合物(Q-1)的添加量按表1中改变，其余与实施例1一样操作及评价。
Figure C0210324400361
实施例5
在实施例1的聚酰胺的合成中，将六氟-2，2-双(3-氨基-4-羟基苯基)丙烷减到348.0g(0.95mol)，取而代之的是加入12.4g(0.05mol)1，3-双(3-氨基丙基)-1，1，3，3-四甲基二硅氧烷，制得通式(1)所示的、由X为上述式X-1、Y为上述式Y-1、Y-2、Z为下述式Z-1、a＝95、b＝5、n＝33.0所形成的聚酰胺树脂(A-3)。还有，将1，2-萘醌-2-重氮-5-磺酸酯化合物(Q-1)的添加量按表1中改变，其余与实施例1一样操作及评价。
Figure C0210324400362
实施例6
将100g实施例4中合成的聚酰胺树脂(A-2)、20g具有上述式(Q-1)结构的感光物质、10g具有下述式(P-1)结构的酚化合物溶解于200g的γ-丁内酯中，然后，用0.2μm的特氟隆过滤器过滤，制得正型感光性树脂组合物。其余与实施例1一样进行操作及评价。
Figure C0210324400363
实施例7
将实施例6中的1，2-萘醌-2-重氮-5-磺酸酯化合物(Q-1)的添加量按表1中改变，还有用(P-2)代替酚化合物(P-1)，其余与实施例6一样进行操作及评价。
Figure C0210324400371
实施例8
将100g实施例4中合成的聚酰胺树脂(A-2)、16g具有上述式(Q-1)结构的感光物质、4g具有下述式(Q-3)结构的感光物质、10g具有上述式(P-1)结构的酚化合物溶于200g γ-丁内酯中，然后，用0.2μm的特氟隆过滤器过滤，制得正型感光性树脂组合物。其余与实施例1一样进行操作及评价。
Figure C0210324400372
实施例9
用(Q-2)代替实施例8中的1，2-萘醌-2-重氮-5-磺酸酯化合物(Q-1)；(Q-4)代替(Q-3)，另外，各组分的添加量按表1中改变，其余与实施例8一样进行操作及评价。
Figure C0210324400381
实施例10
用(P-2)代替实施例8中的酚化合物(P-1)，另外，各组分的添加量按表1中改变，其余与实施例8一样进行操作和评价。
比较例1～10
以表1中的掺混比例，与实施例1一样，制备正型感光性树脂组合物，与实施例1一样进行评价。比较例1～10中所用的聚酰胺树脂都是(A-2)。
下面列示了比较例中所用的Q-5～Q-9的结构。
Figure C0210324400391
Figure C0210324400401
Figure C0210324400411
表1
    掺混量     特性
    聚酰胺树脂(A)(100g)     感光物质     酚化合物(C)(g)     感光度(mJ/cm2)     残膜率(％)     分辨率(μm)     显影不透   剪切强度(kg/mm2)
    胺     酸     (B-1)(g)     (B-2)(g)
实施例1     X-1     Y-1，Y-2     Q-1  24     ---     ---     550     89.4     4     无   3.2
实施例2     X-1     Y-1，Y-2     Q-1  19     ---     ---     390     77.5     3     无   3.4
实施例3     X-1     Y-1，Y-2     Q-2  22     ---     ---     470     82.0     4     无   3.0
实施例4     X-1     Y-3     Q-1  20     ---     ---     440     79.2     3     无   3.5
实施例5     X-1，Z-1     Y-1，Y-2     Q-1  20     ---     ---     480     82.6     5     无   4.0
实施例6     X-1     Y-3     Q-1  20     ---     P-1  10     390     80.2     3     无   3.6
实施例7     X-1     Y-3     Q-1  22     ---     P-2  10     420     84.2     4     无   3.3
实施例8     X-1     Y-3     Q-1  16     Q-3 4     P-1  10     360     80.4     3     无   3.5
实施例9     X-1     Y-3     Q-2  14.3     Q-4 4.7     P-1  10     440     82.4     3     无   3.4
实施例10     X-1     Y-3     Q-1  15     Q-3 5     P-2  15     370     81.6     3     无   3.3
比较例1     X-1     Y-3     Q-5  19     ---     ---     540     81.9     ＞50     有   3.3
比较例2     X-1     Y-3     Q-1  55     ---     ---     ＞800     99.7     不开口     判断不了   2.6
比较例3     X-1     Y-3     Q-2  0.5     ---     ---     ---     0     ---     判断不了   3.6
比较例4     X-1     Y-3     Q-5  16     Q-3 4     ---     510     84.8     ＞50     有   3.2
比较例5     X-1     Y-3     Q-6 14.3     Q-3 4.7     P-1  10     390     68.2     ＞50     有   3.4
比较例6     X-1     Y-3     Q-7  17     Q-3 8     P-1  10     520     70.5     10     无   3.5
比较例7     X-1     Y-3     Q-8  15     Q-3 5     P-2  15     570     91.7     ＞50     有   3.2
比较例8     X-1     Y-3     Q-1  16     Q-9 5     P-1  10     460     82.6     5     无   3.5
比较例9     X-1     Y-3     Q-1  15     Q-3 1     P-1  10     360     74.4     4     无   3.4
比较例10     X-1     Y-3     Q-1  13     Q-3 8     P-1  10     440     86.9     ＞50     有   3.3
以上清楚地表明，由本发明可形成高分辨率、高残膜率的图形，而且可制得高感光度的正型感光性树脂组合物。

Claims (21)

1.一种正型感光性树脂组合物，其特征在于，它由100重量份的通式(1)所示的聚酰胺树脂(A)和1～50重量份的感光物质(B1)所组成，感光物质(B1)是以通式(2)所示的结构为骨架的酚化合物的1，2-萘醌-2-重氮-5-磺酸酯化合物或1，2-萘醌-2-重氮-4-磺酸酯化合物，
式中X：4价的环状化合物基
Y：2价的环状化合物基
Figure C021032440002C2
R1、R2：2价的有机基，R3、R4：1价的有机基
E：至少有1个链烯基或炔基的脂肪族基或环状化合物基a、b表示摩尔分数，a+b＝100摩尔％
a＝60～100摩尔％
b＝0～40摩尔％
n是平均值，为2～300的正数
Figure C021032440002C3
式中，R5表示从氢原子、烷基、烷氧基、芳基、取代的芳基中选择的一种基团，R6表示从氢原子、羟基、烷基、烷氧基、芳基、环烷基中选择的、至少一个是羟基的基团，各自既可相同也可不同，R7表示从氢原子、羟基、烷基、烷氧基、芳基、环烷基中选择的、至少一个是羟基的基团，各自既可相同也可不同，1＝0～3的整数，m＝1～3的整数，n＝1～3的整数。
2.权利要求1的正型感光性树脂组合物，其中，以通式(2)所示的结构为骨架的酚化合物的羟基的20～80％被1，2-萘醌-2-重氮-5-磺酸酯化合物或1，2-萘醌-2-重氮-4-磺酸酯化合物所取代。
3.权利要求1的正型感光性树脂组合物，其中，通式(1)表示的聚酰胺树脂中的X是从式(6)的一组中选择的。
Figure C021032440003C1
4.权利要求1的正型感光性树脂组合物，其中，通式(1)表示的聚酰胺树脂中的Y是从式(7)的一组中选择的。
Figure C021032440003C2
5.权利要求1的正型感光性树脂组合物，其中，通式(1)表示的聚酰胺树脂中的E是从式(8)的一组中选择的。
Figure C021032440004C1
6.一种正型感光性树脂组合物，其特征在于，它是由100重量份的通式(1)表示的聚酰胺树脂(A)、1～50重量份的以通式(2)表示的结构为骨架的酚化合物的1，2-萘醌-2-重氮-5-磺酸酯化合物或1，2-萘醌-2-重氮-4-磺酸酯化合物的感光物质(B1)和1～30重量份的通式(3)所示的酚化合物(C)所组成，
Figure C021032440004C2
式中X：4价的环状化合物基
Y：2价的环状化合物基
Figure C021032440004C3
R1、R2：2价的有机基，R3、R4：1价的有机基
E：至少有1个链烯基或炔基的脂肪族基或环状化合物基a、b表示摩尔分数，a+b＝100摩尔％
a＝60～100摩尔％
b＝0～40摩尔％
n是平均值，为2～300的正数
Figure C021032440005C1
式中，R5表示从氢原子、烷基、烷氧基、芳基、取代的芳基中选择的一种基团，R6表示从氢原子、羟基、烷基、烷氧基、芳基、环烷基中选择的、至少一个是羟基的基团，各自既可相同也可不同，R7表示从氢原子、羟基、烷基、烷氧基、芳基、环烷基中选择的、至少一个是羟基的基团，各自既可相同也可不同，1＝0～3的整数，m＝1～3的整数，n＝1～3的整数，
式中，R8、R9表示氢原子或烷基，R10、R11、R12、R13各自表示从氢原子、卤素原子、羟基、烷基、烷氧基、环烷基中选择的一种。
7.权利要求6的正型感光性树脂组合物，其中，以通式(2)所示结构为骨架的酚化合物的羟基中的20～80％被1，2-萘醌-2-重氮-5-磺酸酯化合物或1，2-萘醌-2-重氮-4-磺酸酯化合物所取代。
8.权利要求6的正型感光性树脂组合物，其中，通式(1)所示的聚酰胺树脂中的X是从式(6)一组中选择的。
Figure C021032440006C1
9.权利要求6的正型感光性树脂组合物，其中，用通式(1)所示的聚酰胺树脂中的Y是从式(7)一组中选择的。
Figure C021032440006C2
10.权利要求6的正型感光性树脂组合物，其中，通式(1)表示的聚酰胺树脂中的E是从式(8)一组中选择的。
Figure C021032440006C3
11.权利要求6的正型感光性树脂组合物，其中，酚化合物(C)是用式(9)表示的酚化合物。
Figure C021032440006C4
12.权利要求6的正型感光性树脂组合物，其中，在全部酚化合物中，式(10)及/或式(11)表示的酚化合物的含量为50重量％以上。
Figure C021032440007C1
13.一种正型感光性树脂组合物，其特征在于，它是由100重量份的通式(1)表示的聚酰胺树脂(A)、1～50重量份的感光物质(B1)、0.1～25重量份的感光物质(B2)及1～30重量份的通式(3)表示的酚化合物(C)所组成的，其中，感光物质(B1)是以通式(2)表示的结构为骨架的酚化合物的1，2-萘醌-2-重氮-5-磺酸酯化合物或1，2-萘醌-2-重氮-4-磺酸酯化合物；感光物质(B2)是以通式(4)或通式(5)表示的结构为骨架的酚化合物的1，2-萘醌-2-重氮-5-磺酸酯化合物或1，2-萘醌-2-重氮-4-磺酸酯化合物，
Figure C021032440007C2
式中X：4价的环状化合物基
Y：2价的环状化合物基
Figure C021032440007C3
R1、R2：2价的有机基，R3、R4：1价的有机基
E：至少有1个链烯基或炔基的脂肪族基或环状化合物基a、b表示摩尔分数，a+b＝100摩尔％
a＝60～100摩尔％
b＝0～40摩尔％
n是平均值，为2～300的正数
Figure C021032440008C1
式中，R5表示从氢原子、烷基、烷氧基、芳基、取代的芳基中选择的一种基团，R6表示从氢原子、羟基、烷基、烷氧基、芳基、环烷基中选择的、至少一个是羟基的基团，各自既可相同也可不同，R7表示从氢原子、羟基、烷基、烷氧基、芳基、环烷基中选择的、至少一个是羟基的基团，各自既可相同也可不同，1＝0～3的整数，m＝1～3的整数，n＝1～3的整数，
Figure C021032440008C2
式中，R8、R9表示氢原子或烷基，R10、R11、R12、R13各自表示从氢原子、卤素原子、羟基、烷基、烷氧基、环烷基中选择的一种，
Figure C021032440008C3
式中，R14表示氢原子或烷基，R15、R16、R17、R18、R19、R20各自表示从氢原子、卤素原子、羟基、烷基、烷氧基、环烷基中选择的1种基团，
Figure C021032440009C1
式中，R21、R22、R23、R24、R25、R26、R27、R28、R29各自表示从氢原子、卤素原子、羟基、烷基、烷氧基、环烷基中选择的1种基团。
14.权利要求13的正型感光性树脂组合物，其中，以通式(2)表示的结构为骨架的酚化合物的羟基中的20～80％被1，2-萘醌-2-重氮-5-磺酸酯化合物或1，2-萘醌-2-重氮-4-磺酸酯化合物所取代。
15.权利要求13的正型感光性树脂组合物，其中，以通式(4)或通式(5)表示的结构为骨架的酚羟基中的80～100％被1，2-萘醌-2-重氮-5-磺酸酯化合物或1，2-萘醌-2-重氮-4-磺酸酯化合物所取代。
16.权利要求13的正型感光性树脂组合物，其中，感光物质(B1)和感光物质(B2)的重量比为0.1≤(B2)/(B1)≤0.5。
17.权利要求13的正型感光性树脂组合物，其中，通式(1)表示的聚酰胺树脂中的X是从式(6)的一组中选择的。
Figure C021032440009C2
18.权利要求13的正型感光性树脂组合物，其中，通式(1)表示的聚酰胺树脂中的Y是从式(7)的一组中选择的。
Figure C021032440010C1
19.权利要求13的正型感光性树脂组合物，其中，通式(1)表示的聚酰胺树脂中的E是从式(8)的一组中选择的。
Figure C021032440010C2
20.权利要求13的正型感光性树脂组合物，其中，酚化合物(C)是用式(9)表示的酚化合物。
Figure C021032440010C3
21.权利要求13的正型感光性树脂组合物，其中，在全部酚化合物中，式(10)及/或式(11)所示的酚化合物的含量为50重量％以上。
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