AR001660A1 - Dispositivo de celdas de almacenamiento estacionarias y procedimiento para su elaboracion - Google Patents

Dispositivo de celdas de almacenamiento estacionarias y procedimiento para su elaboracion

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AR001660A1
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AR33621696A
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Wolfgang Krautschneider
Lothar Risch
Franz Hofmann
Wolfgang Roesner
Original Assignee
Siemens Ag
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    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • H10B20/00—Read-only memory [ROM] devices
    • H10B20/27—ROM only
    • H10B20/40—ROM only having the source region and drain region on different levels, e.g. vertical channel
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
    • H10B20/00—Read-only memory [ROM] devices

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  • Semiconductor Memories (AREA)
  • Element Separation (AREA)
  • Semiconductor Integrated Circuits (AREA)

Abstract

En un dispositivo de celdas de almacenamiento estacionarias con primeras celdas de almacenamiento, que comprenden un transistor MOS perpendicular, y consegundas celdas de almacenamiento, que no comprenden ningún transistor MOS, las celdas de almacenamiento están dispuestas a lo largo de flancos opuestos desurcos aislantes (16) en forma de cinta que corren paralelos. El ancho y la separación de los surcos aislantes (16) son preferentemente iguales, de maneraque el dispositivo de celdas dealmacenamiento es realizable con un requerimiento de espacio por celdas de almacenamiento de 2F, donde F es eltamano estructural mínimo en la tecnología considerada.
AR33621696A 1995-04-21 1996-04-19 Dispositivo de celdas de almacenamiento estacionarias y procedimiento para su elaboracion AR001660A1 (es)

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