WO2020001982A1

WO2020001982A1 - Verfahren zur herstellung einer vielzahl von widerstandsbaueinheiten über ein keramiksubstrat

Info

Publication number: WO2020001982A1
Application number: PCT/EP2019/065399
Authority: WO
Inventors: Bertram Schott; Ondrej SOBORA; Kerstin TILLMANN
Original assignee: Vishay Electronic Gmbh
Priority date: 2018-06-25
Filing date: 2019-06-12
Publication date: 2020-01-02
Also published as: US20210272724A1; JP2021529434A; HUE057294T2; KR20210024096A; CN112384998A; EP3797432A1; ES2896949T3; CN112384998B; CA3104943A1; DE102018115205A1; EP3797432B1; TW202001940A; US11302462B2

Abstract

Ein Verfahren zur Herstellung einer Vielzahl von Widerstandsbaueinheiten (44), die jeweils einen Träger (46) mit einer Gruppe von Widerstandselementen (50) umfassen, an deren Enden ein jeweiliger erster und zweiter elektrischer Anschluss (52, 54) vorgesehen ist, umfasst die Schritte: a) Bereitstellen einer Trägerplatte (10); b) Ausbilden einer Vielzahl von Streifen (16) eines Widerstandsmaterials an der Unterseite (14) der Trägerplatte (10) in einem regelmäßigen Muster dergestalt, dass entlang einer Längsrichtung (L) eine jeweilige Reihe (18) von Streifen (16) des Widerstandsmaterials gebildet ist; c) Ausbilden einer Vielzahl von Zonen (24) eines elektrisch leitenden Materials an der Unterseite (14) der Trägerplatte (10) in einem regelmäßigen Muster dergestalt, dass entlang der Längsrichtung (L) eine jeweilige Reihe (26) von Zonen (24) des elektrisch leitenden Materials gebildet ist; und d) Durchtrennen der Trägerplatte (10) durch regelmäßige Querrichtungsschnitte (36), erste Längsrichtungsschnitte (38) und zweite Längsrichtungsschnitte (28), so dass entlang einer Querrichtung (Q) abwechselnd eine jeweilige Widerstandsbaueinheit (44) und ein jeweiliger Restabschnitt (46) der Trägerplatte gebildet ist.

Description

VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER VIELZAHL VON WIDERSTANDSBAUEINHEITEN ÜBER EIN

KERAMIKSUBSTRAT

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer Vielzahl von Widerstandsbaueinheiten, die jeweils einen Träger mit einer Gruppe von Wider- standselementen umfassen, an deren Enden ein jeweiliger erster und zweiter elektrischer Anschluss vorgesehen ist. Derartige Verfahren dienen der Herstellung von Widerstandsbaueinheiten, die in elektrischen Bauteilen und/oder elektrischen Geräten eingesetzt und mittels der elektrischen Anschlüsse mit den Schaltkreisen der Bauteile oder Geräte leitend verbunden werden können. Die Widerstandsbaueinheiten können zumindest zwei Widerstandselemente aufweisen, die auf einer Seite eines Trägers in parallel zu- einander angeordneten Streifen ausgebildet sind. Beispielsweise können die Strei- fen der Widerstandselemente doppelt so breit wie lang sein, wodurch sich für die Widerstandsbaueinheiten zumeist eine ansatzweise quadratische Form ergibt. Für den Einsatz in immer kleineren Bauteilen oder Geräten kann es erforderlich sein, auch die Größe der Widerstandbaueinheiten entsprechend zu verkleinern. Mit den bekannten Verfahren gelingt es bisher jedoch nicht, Widerstandsbaueinheiten her- zustellen, deren Abmessungen, ausgedrückt in Länge mal Breite, 0,8 mm x 0,6 mm unterschreiten.

Es ist daher Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren zu schaffen, mittels dessen sich kostengünstig, zuverlässig und effizient eine Vielzahl von verkleinerten Wider- standsbaueinheiten hersteilen lässt. Die Aufgabe wird durch ein Verfahren gemäß Anspruch 1 gelöst, insbesondere umfassend die Schritte:

a) Bereitstellen einer Trägerplatte, die eine Oberseite und eine Unter- seite aufweist;

b) Ausbilden einer Vielzahl von Streifen eines Widerstandsmaterials an der Unterseite der Trägerplatte, die entlang einer Querrichtung ein erstes Ende und ein zweites Ende aufweisen, in einem regelmäßigen Muster dergestalt, dass entlang einer Längsrichtung, die senkrecht zu der Querrichtung verläuft, eine jeweilige Reihe von Streifen des Widerstandsmaterials gebildet ist und dass mehrere derartiger Rei- hen in Querrichtung nebeneinander angeordnet sind; c) Ausbilden einer Vielzahl von Zonen eines elektrisch leitenden Mate- rials an der Unterseite der Trägerplatte, die entlang der Querrichtung ein erstes Ende, einen Zwischenbereich und ein zweites Ende auf- weisen, in einem regelmäßigen Muster dergestalt, dass entlang der Längsrichtung eine jeweilige Reihe von Zonen des elektrisch leiten den Materials gebildet ist und dass mehrere derartiger Reihen in Querrichtung nebeneinander angeordnet sind, wobei die Reihen von Streifen des Widerstandsmaterials und die Reihen von Zonen des elektrisch leitenden Materials in Querrichtung abwechselnd angeord- net sind, und wobei, mit Ausnahme von Randbereichen der Träger- platte, die Streifen des Widerstandsmaterials an ihren ersten Enden mit dem ersten Ende einer jeweiligen Zone des elektrisch leitenden Materials überlappen und an ihren zweiten Enden mit dem zweiten Ende einer jeweiligen Zone des elektrisch leitenden Materials über- lappen;

d) Durchtrennen der Trägerplatte durch regelmäßige Querrichtungs- schnitte entlang der Querrichtung, erste Längsrichtungsschnitte ent- lang der Längsrichtung und zweite Längsrichtungsschnitte entlang der Längsrichtung dergestalt, dass die Querrichtungsschnitte zwi- sehen Gruppen von einander zugeordneten, in Längsrichtung zuei- nander benachbarten Streifen des Widerstandsmaterials verlaufen, dass ferner die ersten Längsrichtungsschnitte die ersten Enden von den Zwischenbereichen einer jeweiligen Reihe von Zonen des elektrisch leitenden Materials abtrennen, und dass die zweiten Längsrichtungsschnitte die zweiten Enden von den Zwischenberei- chen einer jeweiligen Reihe von Zonen des elektrisch leitenden Ma- terials (insbesondere der vorgenannten Reihe oder einer anderen Reihe) abtrennen, so dass entlang der Querrichtung abwechselnd eine jeweilige Widerstandsbaueinheit und ein jeweiliger Restab- schnitt der Trägerplatte gebildet ist, der abgetrennte Zwischenberei- che einer Reihe von Zonen des elektrisch leitenden Materials auf- weist.

Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren werden somit das Widerstandsmaterial und das elektrisch leitende Material in jeweils regelmäßiger Weise in Streifen bzw. Zonen auf die Trägerplatte aufgebracht, wobei das aufgebrachte Widerstandsma- terial und das aufgebrachte elektrisch leitende Material sich an bestimmten Berei- chen überlappen. Diese Überlappungsbereiche dienen als elektrischer Anschlüsse der Widerstandsbaueinheiten, mittels derer die Widerstandsbaueinheiten leitend mit dem elektrischen Bauteil oder Gerät verbunden werden können.

Das Vereinzeln, d.h. die Ausbildung einzelner Widerstandsbaueinheiten erfolgt am Ende des Verfahrens, wobei geeignete Schnitte die Trägerplatte in Längsrichtung und in Querrichtung durchtrennen, und zwar derart, dass sogleich eine Vielzahl von Widerstandsbaueinheiten hergestellt wird. Dabei definieren die Querrichtung und die Längsrichtung zwei senkrecht zueinander verlaufende Bezugsrichtungen, und bezeichnen nicht unbedingt eine Längsform der Trägerplatte, der Streifen des Widerstandsmaterials, oder der Widerstandsbaueinheit. Durch das Abtrennen der Zwischenbereiche der Zonen des elektrisch leitenden Materials werden Restabschnitte der Trägerplatte gebildet, die bei dem Herstel- lungsverfahren zwar als Ausschuss anfallen. Allerdings kann durch geeignete Wahl der ersten und zweiten Längsrichtungsschnitte die Größe der elektrischen Anschlüsse der gebildeten Widerstandselemente auf einfache Weise festgelegt und insbesondere unabhängig von der (nicht beliebig verkleinerbaren) Größe der Zonen des elektrisch leitenden Materials minimiert werden. Ferner ermöglichen die Zwischenbereiche der Zonen des elektrisch leitenden Materials vor dem Ab- trennen gemäß einer nachstehend noch erläuterten vorteilhaften Ausführungsform eine Prüfung des elektrischen Widerstands.

Gemäß dem erfindungsgemäßen Verfahren sind die Reihen von Streifen des Wi- derstandsmaterials und die Reihen von Zonen des elektrisch leitenden Materials in Querrichtung abwechselnd nebeneinander, aber nicht unbedingt in gleicher An- zahl angeordnet. Beispielsweise kann, mit Ausnahme von Randbereichen der Trägerplatte, zwischen zwei Reihen von Streifen des Widerstandsmaterials eine jeweilige Reihe von Zonen des elektrisch leitenden Materials angeordnet sein, wobei die Anzahl der Reihen von Streifen des Widerstandsmaterials insbesondere der Anzahl der Reihen von Zonen des elektrisch leitenden Materials entsprechen kann. Alternativ ist es jedoch auch möglich, dass, mit Ausnahme von Randberei- chen der Trägerplatte, zwischen zwei Reihen von Streifen des Widerstandsmate- rials zwei jeweilige Reihen von Zonen des elektrisch leitenden Materials angeord- net sind, wobei die Anzahl der Reihen von Zonen des elektrisch leitenden Materi- als insbesondere doppelt so groß wie die Anzahl der Reihen von Streifen des Wi- derstandsmaterials sein kann. In dem letztgenannten Fall überlappt letztlich nur eines der beiden Enden einer jeweiligen Zone des elektrisch leitenden Materials mit einem Streifen des Widerstandsmaterials, während das andere Ende der je- weiligen Zone in dem Schritt d) abgetrennt wird und somit nicht zur Kontaktierung eines Streifens des Widerstandsmaterials dient. Durch eine geeignete Wahl der Länge und Breite und der gegenseitigen Abstände von benachbarten Streifen des Widerstandsmaterials und der gegenseitigen Ab- stände von benachbarten Zonen des elektrisch leitenden Materials lassen sich Widerstandsbaueinheiten verschiedenster Größen hersteilen.

Aus dem Verfahren ergeben sich keine Einschränkungen bezüglich der Abmes- sungen der Widerstandsbaueinheiten. Insbesondere sind mittels des Verfahrens Widerstandsbaueinheiten herstellbar, die sich durch kleine Abmessungen aus- zeichnen und auch in Bauteilen oder Geräten einsetzbar sind, die eine besonders kompakte Ausbildung der Widerstandsbaueinheiten erfordern, wie beispielsweise Mobiltelefone, Smartphones, Smartwatches, Hörgeräte oder ähnliche Geräte.

Bevorzugte Ausführungsformen sind den abhängigen Ansprüchen sowie der Be- schreibung zu entnehmen.

Gemäß einer Ausführungsform umfasst die durch das Durchtrennen der Träger- platte gebildete jeweilige Widerstandsbaueinheit einen Abschnitt der Trägerplatte, der den Träger der Widerstandsbaueinheit bildet, eine Gruppe von Streifen des Widerstandsmaterials, die die Gruppe von Widerstandselementen der Wider- Standsbaueinheit bilden, eine Anzahl von ersten Enden von Zonen des elektrisch leitenden Materials, die die ersten elektrischen Anschlüsse der Widerstands- elemente bilden, und eine Anzahl von zweiten Enden von Zonen des elektrisch leitenden Materials, die die zweiten elektrischen Anschlüsse der Widerstands- elemente bilden. Somit ist jedes Widerstandselement in der Querrichtung durch Überlappung seiner beiden Enden mit einem jeweiligen Ende einer Zone des elektrisch leitenden Materials elektrisch leitend verbunden, welche als jeweiliger elektrischer Anschluss zur Verbindung mit dem elektrischen Bauteil oder Gerät dienen. Bevorzugt sind die gegenseitigen Abstände der Querrichtungsschnitte und die ge- genseitigen Abstände der ersten und zweiten Längsrichtungsschnitte derart ge- wählt, dass die gebildete Widerstandsbaueinheit, insbesondere eine Widerstands- baueinheit mit zwei Widerstandselementen, eine Breite kleiner als 0,6 mm und eine Länge kleiner als 0,8 mm aufweist, wobei die Breite insbesondere in einem Bereich von 0,3 mm bis 0,34 mm liegt und die Länge insbesondere in einem Be- reich von 0,54 mm bis 0,62 mm liegt und wobei die Breite bevorzugt ca. 0,32 mm und die Länge bevorzugt 0,58 mm beträgt. Diese geringen Abmessungen liegen außerhalb des Bereichs der durch bisherige Verfahren herstellbaren Widerstands- baueinheiten. Mit anderen Worten sind ausschließlich durch das erfindungsgemä- ße Verfahren Widerstandsbaueinheiten in diesen Dimensionen herstellbar.

Gemäß einer Ausführungsform umfasst die Gruppe von Streifen des Wider- standsmaterials zwei Streifen des Widerstandsmaterials. Die Widerstandsbauein- heit umfasst dementsprechend zwei Widerstandselemente. Aber auch Ausfüh- rungsformen mit mehr als zwei, beispielsweise drei oder vier, Streifen des Wider- standsmaterials sind möglich. Dabei ist jedes der Widerstandselemente mittels der ersten bzw. zweiten Enden von zwei Zonen des elektrisch leitendenden Materials bzw. der hierdurch gebildeten elektrischen Anschlüsse separat mit einem elektri- schen Bauteil oder Gerät oder mit einer elektrischen Schaltung verbindbar.

Durch die regelmäßige Anordnung der Streifen des Widerstandsmaterials und der Zonen des elektrisch leitenden Materials, insbesondere durch die reihenförmig aneinander anschließende Anordnung der Widerstandselemente, lassen sich ver- schiedene Geometrien der Widerstandsbaueinheiten mit zwei oder mehreren Wi- derstandselementen in einfacher Weise erreichen. Hierzu genügt es, bei dem Herstellungsverfahren die Einteilung der Gruppen einander zugeordneter benach- barter Streifen und, damit einhergehend, die gegenseitigen Abstände der Quer- richtungsschnitte zu verändern. Gemäß einer Ausführungsform sind die Streifen des Widerstandsmaterials der gebildeten jeweiligen Widerstandsbaueinheit gleich groß. Mit anderen Worten wei- sen die Streifen des Widerstandsmaterials gleiche Breiten, gleichen Längen sowie gleiche Dicken auf. Somit wird eine Widerstandsbaueinheit gebildet, deren Wider- stands-’elemente gleiche Widerstandswerte aufweisen.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform sind die Streifen des Widerstandsmateri- als der gebildeten Widerstandsbaueinheit unterschiedlich groß, insbesondere mit unterschiedlicher Breite quer zu der Erstreckungsrichtung der Streifen des Wider- standsmaterials zwischen dem ersten Ende und dem zweiten Ende. Dementspre- chend können die Widerstandswerte der Widerstandselemente der gebildeten je- weiligen Widerstandsbaueinheit unterschiedlich groß sein.

Durch die streifenförmig aneinander anschließende Anordnung der Widerstands- elemente lassen sich verschiedene Geometrien der Widerstandselemente mit ent- sprechenden verschiedenen Widerstandswerten in einfacher Weise erzielen. Hier- zu genügt es, im Verfahren die Länge der Streifen des Widerstandmaterials zu ändern und, darauf abgestimmt, auch die Anordnung und die Abstände benach- barter Zonen des elektrisch leitenden Materials zu ändern.

Bevorzugt umfasst die Trägerplatte ein keramisches Substrat, welche insbesonde- re durch seine elektrisch isolierende Eigenschaft verhindert, dass außerhalb der Zonen des elektrisch leitenden Materials ein elektrischer Kontakt zwischen dem Widerstandmaterial und dem elektrisch leitenden Material besteht. Derartige Trä- gerplatten sind einfach in der Herstellung und lassen sich kostengünstig und in großen Stückzahlen hersteilen. Im Übrigen ermöglicht das keramische Substrat ein einfaches und problemloses Durchtrennen der Trägerplatte in Schritt d).

Gemäß einer Ausführungsform werden das Widerstandsmaterial und das elektrisch leitende Material lediglich an der Unterseite der Trägerplatte aufge- bracht. Das bedeutet, dass die Oberseite des Trägers der gebildeten Wider- standsbaueinheit frei von Widerstandselementen und/oder elektrischen Anschlüs- sen ist. Die Widerstandsbaueinheit ist somit für eine Montage und Kontaktierung in einer Flip-Chip Bauweise ausgebildet. Der Vorteil dieser Bauweise liegt darin, dass die Widerstandsbaueinheit direkt mit den elektrischen Anschlüssen nach un- ten mit dem elektrischen Schaltkreis des Geräts oder Bauteils verbindbar und/oder in diesen einsetzbar ist, wobei auf die Anbringung weiterer Anschlussdrähte an der Widerstandsbaueinheit oder an dem Schaltkreis verzichtet werden kann.

Gemäß einer Ausführungsform umfasst der Schritt b) des Ausbildens der Vielzahl von Streifen des Widerstandsmaterials das Aufbringen einer Metallschicht an der Unterseite der Trägerplatte durch Kathodenzerstäubung und ein lokales Abtragen der Metallschicht durch Abdampfen. Durch die Kathodenzerstäubung, das soge- nannte "Sputtern", lassen sich Schichten des Widerstandsmaterials in geringer Dicke auf die Trägerplatte aufbringen, die sich durch eine große Gleichmäßigkeit und eine gute Reproduzierbarkeit auszeichnen. Dies ermöglicht die Herstellung einer Vielzahl von Widerstandselementen, deren Widerstandswerte alle in einem vorgegebenen, engen Bereich liegen.

Um das Widerstandsmaterial in Form einer Vielzahl von Streifen auf der Träger- platte aufzubringen, kann das Widerstandsmaterial außerhalb der vorgegebenen Bereiche der Streifen, beispielweise durch einen Laser, abgetragen bzw. abge- dampft werden. Mittels dieser Methode lässt sich das Widerstandsmaterial präzise und mit großer Positionsgenauigkeit auf die Bereiche der Streifen begrenzen.

Alternativ kann eine Maske an die Unterseite der Trägerplatte angelegt werden, welche eine Vielzahl von, den Streifen entsprechenden Freistellungen aufweist. Nach Anlegen der Maske kann das Widerstandsmaterial auf die Unterseite der Trägerplatte aufgedampft werden. Durch die Maske kommt das Widerstandsmate- rial nur an den Stellen der Freistellungen mit der Trägerplatte in Kontakt, wodurch sich nach dem Entfernen der Maske auf der Trägerplatte eine Vielzahl von Strei- fen des Widerstandsmaterials ausbildet. Neben dem großflächigen Aufbringen und lokalen Abtragen des Widerstandmaterials oder dem Anbringen einer Maske sind jedoch auch andere Methoden denkbar, um die Streifen des Widerstandmaterials auszubilden.

Gemäß einer Ausführungsform umfasst der Schritt c) des Ausbildens der Vielzahl von Zonen des elektrisch leitenden Materials das Bedrucken der Unterseite der Trägerplatte mit einer elektrisch leitenden Paste, insbesondere mit einer Silber- Palladium Legierung. Hierzu kann beispielsweise eine Druckplatte verwendet wer- den, auf der in einem regelmäßigen Muster die elektrisch leitende Paste aufge- bracht wird, wobei das Muster der Anordnung der Zonen entspricht. Insbesondere ist das Muster der auf die Druckplatte aufgebrachten elektrisch leitenden Paste auf die Anordnung der Streifen des Widerstandmaterials abgestimmt.

Nach dem Ausbilden der Vielzahl von Zonen des elektrisch leitenden Materials kann noch eine Galvanisierung, insbesondere eine Nickel-Zinn-Galvanisierung, der Zonen erfolgen. Es versteht sich, dass der Schritt b) des Ausbildens der Vielzahl von Streifen des Widerstandsmaterials und der Schritt c) des Ausbildens der Vielzahl von Zonen des elektrisch leitenden Materials auch in umgekehrter Reihenfolge oder teilweise gleichzeitig ausgeführt werden können. Das Überlappen der Streifen des Wider- standsmaterials mit den Zonen des elektrisch leitenden Materials kann dabei der- gestalt erfolgen, dass der jeweilige Streifen des Widerstandsmaterials die jeweil i- gen Zonen des elektrisch leitenden Materials teilweise überdeckt, oder dergestalt, dass die jeweiligen Zonen des elektrisch leitenden Materials den jeweiligen Strei- fen des Widerstandsmaterials teilweise überdecken. Gemäß einer Ausführungsform erfolgt das Durchtrennen der Trägerplatte in dem Schritt d) mittels eines Laser-Strahls. Dies erlaubt hierbei eine präzise und effizi ente Methode zu einer Strukturierung der Trägerplatte, wobei es bei dieser Tech- nik auch möglich ist, mehrere Durchtrennungsschnitte in kurzer Folge in einem Arbeitsschritt durchzuführen. Generell können für das Durchtrennen der Träger- platte in dem Schritt d) die Querrichtungsschnitte, die ersten Längsrichtungsschnit- te und die zweiten Längsrichtungsschnitte in einer beliebigen Reihenfolge ausge- führt werden. Dabei folgt bzw. entspricht die regelmäßige Anordnung der Quer- richtungsschnitte, der ersten Längsrichtungsschnitte und der zweiten Längsrich- tungsschnitte dem regelmäßigen Muster der Streifen des Widerstandsmaterials und dem regelmäßigen Muster der Zonen des elektrisch leitenden Materials.

Gemäß einer Ausführungsform wird vor dem Durchtrennen der Trägerplatte durch die ersten und zweiten Längsrichtungsschnitte, insbesondere vor dem Schritt d), der elektrische Widerstand eines jeweiligen Streifens des Widerstandsmaterials gemessen, wobei Kontaktsonden an derjenigen Zone des elektrisch leitenden Ma- terials, die mit dem ersten Ende des jeweiligen Streifens des Widerstandsmateri- als überlappt, und an derjenigen Zone des elektrisch leitenden Materials, die mit dem zweiten Ende des jeweiligen Streifens des Widerstandsmaterials überlappt, angelegt werden. Die Messwerte können im Rahmen einer Qualitätskontrolle da- hingehend überprüft werden, ob die Widerstandswerte in einem vorgegebenen nominellen Bereich liegen oder ob Abweichungen davon festzustellen sind. Insbe- sondere kann es sich bei den Kontaktsonden um Kelvin-Sonden handeln, welche mittels der Kelvin-Methode den elektrischen Widerstand der jeweiligen Zone des Widerstandsmaterials messen. Die Messung des elektrischen Widerstands vor dem Durchtrennen der Trägerplatte birgt den Vorteil, dass die gesamte Fläche einer jeweiligen Zone des elektrisch leitenden Materials für die Anbringung einer Kontaktsonde zu Verfügung steht, was wegen der geringen Größe der Wider- standbaueinheit und des geringen Größenverhältnisses zwischen der Kontaktson- de und der jeweiligen Zone des elektrisch leitenden Materials eine Positionierung der Kontaktsonde erheblich erleichtert bzw. erst ermöglicht.

Ein zweiter Aspekt der Erfindung betrifft eine Widerstandsbaueinheit, die gemäß einem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellt worden ist, mit einem Träger, einer an der Unterseite des Trägers angeordneten Gruppe von Widerstandsele- menten, ersten elektrischen Anschlüssen, die mit einem jeweiligen ersten Ende der Widerstandselemente verbunden sind, und zweiten elektrischen Anschlüssen, die mit einem jeweiligen zweiten Ende der Widerstandselemente verbunden sind, wobei die Widerstandsbaueinheit eine Breite kleiner als 0,6 mm und eine Länge kleiner als 0,8 mm aufweist, wobei die Breite insbesondere in einem Bereich von 0,3 mm bis 0,34 mm liegt und die Länge insbesondere in einem Bereich von 0,54 mm bis 0,62 mm liegt. Die Widerstandsbaueinheit ist für eine Montage und Kontaktierung in einer Flip-Chip Bauweise ausgebildet und ist durch ihre geringe Größe in elektrischen Bauteilen oder Geräten einsetzbar, die eine besonders kompakte Ausbildung der Widerstandsbaueinheiten erfordern, wie beispielsweise Mobiltelefone, Smartphones, Smartwatches, Hörgeräte oder ähnliche Geräte.

Nachfolgend wird die Erfindung bespielhaft anhand einer vorteilhaften Ausfüh- rungsform unter Bezugnahme auf die beigefügte Zeichnung beschrieben. Es zei- gen, jeweils schematisch,

Fig. 1 Schritt a) einer Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Verfahrens zur Herstellung einer Vielzahl von Widerstandsbaueinheiten;

Fig. 2 Schritt b) der Ausführungsform von Fig. 1 ;

Fig. 3 Schritt c) der Ausführungsform von Fig. 1 ;

Fig. 4 Funktionsüberprüfung der Ausführungsform von Fig. 1 ; Fig. 5 Schritt d) der Ausführungsform von Fig. 1 ; und

Fig. 6 die Unteransicht einer Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Wider- standsbaueinheit.

Fig. 1 zeigt einen Ausschnitt einer Trägerplatte 10 gemäß Schritt a) einer Ausfüh- rungsform eines erfindungsgemäßen Verfahrens zur Herstellung einer Vielzahl von Widerstandsbaueinheiten. Die Trägerplatte 10 kann aus einem keramischen Substrat ausgebildet sein, welches eine elektrisch isolierende Trägereinrichtung zur Aufnahme eines Widerstandmaterials und eines elektrisch leitenden Materials bildet. In Fig. 1 bezeichnen Pfeile und die Buchstaben "Q", "L" eine Querrichtung Q und eine dazu orthogonale Längsrichtung L. Hierbei definieren die Querrichtung Q und die Längsrichtung L zwei senkrecht zueinander verlaufende Bezugsrichtun- gen, und bezeichnen nicht unbedingt eine Längsform der Trägerplatte 10 oder der gebildeten Widerstandsbaueinheiten. Die Trägerplatte 10 umfasst eine Oberseite 12 und eine Unterseite 14, welche in Fig. 1 in Draufsicht gezeigt ist.

In Schritt b) des erfindungsgemäßen Verfahrens, der in Fig. 2 dargestellt ist, wird an der Unterseite 14 der Trägerplatte 10 in einem regelmäßigen Muster eine Viel zahl von Streifen 16 eines Widerstandmaterials aufgebracht. Die Streifen 16 sind in Reihen 18 angeordnet, die sich in Längsrichtung L erstrecken und bezüglich der Querrichtung Q nebeneinander angeordnet sind. Fig. 2 zeigt hierbei einen Aus- schnitt der Trägerplatte 10, in dem beispielhaft sechzehn Streifen 16 in vier paral- lelen Reihen 18 angeordnet sind. Die Anordnung der Streifen 16 kann entspre- chend dem dargestellten Muster in beide der zueinander orthogonalen Richtungen Q und L fortgeführt werden. Die Streifen 16 weisen entlang der Querrichtung Q ein erstes Ende 20 und ein zweites Ende 22 auf. Das Aufträgen des Widerstandmate- rials kann beispielsweise durch Kathodenzerstäubung, ein sogenanntes "Sput- tern", erfolgen. Diese Technik bietet den Vorteil, dass sich das Widerstandmaterial in einer Schicht von gleichmäßiger Dicke auf die Unterseite 14 der Trägerplatte 10 aufbringen lässt und auch Schichten geringer Dicke erzeugt werden können.

Denkbar sind jedoch auch andere Methoden, um das Widerstandsmaterial auf die Trägerplatte 10 aufzubringen.

Um das Widerstandsmaterial ausschließlich an den Stellen der Streifen 16 auf die Trägerplatte 10 aufzubringen, kann das Widerstandsmaterial beispielsweise in durchgehenden, sich parallel entlang der Längsrichtung L erstreckenden, Berei- chen auf die Trägerplatte aufgebracht werden. Zur Ausbildung der einzelnen Strei- fen 16 (Segmentierung) kann ein Laser eingesetzt werden, der in vorgegebenen Abständen entlang der Längsrichtung L Widerstandsmaterial abträgt bzw. ab- dampft. Mittels dieser Methode lässt sich eine präzise und positionsgenaue An- ordnung der Streifen 16 erzielen. Alternativ kann die Unterseite 14 der Trägerplat- te 10 vor der Auftragung des Widerstandsmaterials beispielsweise durch eine nicht gezeigte Maske abgedeckt werden, welche an der Stelle der Streifen 16 Freistellungen aufweist und beispielsweise aus Kunststoff gefertigt sein kann.

Nach der Aufbringung des Widerstandsmaterials und der nachfolgenden Entfer- nung der Maske ergibt sich somit auf der Trägerplatte 10 ein regelmäßiges Muster einer Vielzahl von Streifen 16 des Widerstandsmaterials. Denkbar sind jedoch auch andere Methoden, die alleine oder in Kombination mit einer Maske ange- wandt werden können, um auf der Trägerplatte 10 die Streifen 16 des Wider- standsmaterials präzise und dabei einfach und effizient auszubilden.

In der gezeigten Ausführungsform sind die Streifen 16 des Widerstandsmaterials gleich groß zueinander, d.h. die Streifen 16 des Widerstandsmaterials haben glei- che Breiten und Längen sowie gleiche Dicken. Dementsprechend weisen die Streifen 16 des Widerstandsmaterials gleiche elektrische Widerstandswerte auf. In anderen Ausführungsformen können die Streifen unterschiedliche Größen aufwei- sen, um damit Streifen 16 des Widerstandsmaterials mit unterschiedlichen elektri- sehen Widerstandswerten zu erzeugen. In einfacher Weise lässt sich dies durch eine Variation der Länge der Streifen entlang der Längsrichtung L erreichen.

Fig. 3 zeigt Schritt c) des erfindungsgemäßen Verfahrens, in dem eine Vielzahl von Zonen 24 eines elektrisch leitenden Materials an der Unterseite 14 der Trä- gerplatte 10 ausgebildet wird. Die Zonen 24 des elektrisch leitenden Materials werden in einem regelmäßigen Muster auf der Trägerplatte 10 aufgebracht, wobei die Zonen 24 des elektrisch leitenden Materials in einer Vielzahl von Reihen 26 angeordnet sind, die sich in Längsrichtung L erstrecken und bezüglich der Quer- richtung Q nebeneinander angeordnet sind. Hierbei verlaufen die Reihen 26 der Zonen 24 des elektrisch leitenden Materials parallel zu den Reihen 18 der Streifen 16 des Widerstandsmaterials und wechseln sich in der Querrichtung Q mit diesen ab, so dass die Anzahl der Reihen 26 der Zonen 24 des elektrisch leitenden Mate- rials im Wesentlichen der Anzahl der Reihen 18 der Streifen 16 des Widerstands- materials entspricht.

Die Zonen 24 des elektrisch leitenden Materials weisen entlang der Querrichtung Q jeweils ein erstes Ende 28, einen Zwischenbereich 30 und ein zweites Ende 32 auf, wobei, außer an den Randbereichen der Trägerplatte 10, die Streifen 16 des Widerstandsmaterials an ihren ersten Enden 20 mit dem ersten Ende 28 einer je- weiligen Zone 24 des elektrisch leitenden Materials überlappen und an ihren zwei- ten Enden 22 mit dem zweiten Ende 32 einer jeweiligen Zone 24 des elektrisch leitenden Materials überlappen. Das regelmäßige Muster der Zonen 24 ist auf das regelmäßige Muster der Streifen 16 abgestimmt, und zwar dergestalt, dass an je- dem Streifen 16 jeweils ein Überlappungsbereich mit einer jeweiligen Zone 24 an seinem ersten Ende 20 und ein Überlappungsbereich mit einer jeweiligen Zone 24 an seinem zweiten Ende 22 ausgebildet ist.

Die Zonen 24 des elektrisch leitenden Materials können beispielsweise aus einer Silber-Palladium Legierung bestehen. Die Zonen 24 können durch Anbringung in Form einer Paste, insbesondere durch Bedrucken der Unterseite 14 der Träger- platte 10, gebildet werden. Hierzu wird auf eine nicht gezeigte Druckplatte die elektrisch leitende Paste in einem regelmäßigen, einer vorgegebenen Anordnung der Zonen 24 entsprechenden Muster aufgebracht. Mittels dieser Technik lässt sich eine Vielzahl von Zonen 24 des elektrisch leitenden Materials effizient in ei- nem Druckvorgang erzeugen.

Der in Fig. 2 gezeigte Schritt b) des Ausbildens der Vielzahl von Streifen 16 des Widerstandsmaterials und der in Fig. 3 dargestellte Schritt c) des Ausbildens der Vielzahl von Zonen 24 des elektrisch leitenden Materials können auch in umge- kehrter Reihenfolge oder teilweise gleichzeitig ausgeführt werden. So kann das Überlappen der Streifen 16 des Widerstandsmaterials mit den Zonen 24 des elektrisch leitenden Materials entweder dergestalt erfolgen, dass der jeweilige Streifen 16 des Widerstandsmaterials die jeweiligen Zonen 24 des elektrisch lei tenden Materials teilweise überdeckt, oder dergestalt, dass die jeweiligen Zonen 24 des elektrisch leitenden Materials den jeweiligen Streifen 16 des Widerstands- materials teilweise überdecken.

In Fig. 4 ist ein optionaler Schritt zur Überprüfung der Funktionsfähigkeit und/oder zur Charakterisierung der gebildeten Widerstandsbaueinheiten dargestellt. Hierfür werden Kontaktsonden 34, insbesondere Kelvin-Sonden, mit den Zonen 24 des elektrisch leitenden Materials in Berührung gebracht, die einem jeweiligen Streifen 16 des Widerstandsmaterials zugeordnet sind. In Fig. 4 sind lediglich die Berüh- rungsstellen der Kontaktsonden 34 illustriert.

Die Kontaktsonden 34 werden an derjenigen Zone 24 des elektrisch leitenden Ma- terials, der mit dem ersten Ende 20 des jeweiligen Streifens 16 des Widerstands- materials überlappt, und an derjenigen Zone 24 des elektrisch leitenden Materials, die mit dem zweiten Ende 22 des jeweiligen Streifens 16 des Widerstandsmateri- als überlappt, angelegt. Dabei sind die Kontaktsonden 36 dazu ausgebildet, bei- spielsweise mittels der Kelvin-Methode den elektrischen Widerstand eines jeweili- gen Streifens 16 des Widerstandsmaterials und somit den elektrischen Widerstand des zu bildenden jeweiligen Widerstandselements zu messen. Aus den Messwer- ten lässt sich sodann ermitteln, ob die Widerstandswerte in einem vorgegebenen Bereich liegen oder ob Abweichungen vorhanden sind.

Durch die Durchführung der Funktionsprüfung nach Schritt c) des Verfahrens und vor dem Durchtrennen der Trägerplatte 10 gemäß dem Schritt d) wird die Anbrin- gung der Kontaktsonden 34 an die jeweiligen Zonen 24 erleichtert, da zu diesem Zeitpunkt des Verfahrens auch die Fläche der Zwischenbereiche 30 der Zonen 24 hierfür zur Verfügung steht. Für das Prüfen der Streifen 16 des Widerstandsmate- rials wird wenigstens ein Paar von Kontaktsonden 34 benötigt (je eine Kon- taktsonde 34 auf den beiden Seiten des jeweiligen Streifens 16), wobei auch meh- rere Paare von Kontaktsonden 34 dazu verwendet werden können, mehrere Strei fen 16 gleichzeitig zu prüfen.

Fig. 5 zeigt Schritt d) des erfindungsgemäßen Verfahrens, in welchem durch eine Abfolge von Schnitten eine Vielzahl von Widerstandsbaueinheiten 44 aus der, mit Reihen 18 von Streifen 16 des Widerstandsmaterials und Reihen 26 von Zonen 24 des elektrisch leitenden Materials besetzen, Trägerplatte 10 herausgetrennt wer- den. Die Abfolge von Schnitten umfasst Querrichtungsschnitte 36 entlang der Qu- errichtung Q, erste Längsrichtungsschnitte 38 entlang der Längsrichtung L und zweite Längsrichtungsschnitte 40 entlang der Längsrichtung L.

Die regelmäßige Anordnung der Querrichtungsschnitte 36, der ersten Längsrich- tungsschnitte 38 und der zweiten Längsrichtungsschnitte 40 entspricht dem re- gelmäßigen Muster der Streifen 16 des Widerstandsmaterials und dem regelmä- ßigen Muster der Zonen 24 des elektrisch leitenden Materials. Hierbei verlaufen die Querrichtungsschnitte 36 zwischen Gruppen 42 von einander zugeordneten, in Längsrichtung L zueinander benachbarten Streifen 16 des Widerstandsmaterials. In der beschriebenen Ausführungsform umfassen die Gruppen 42 jeweils zwei Streifen 16. Die Gruppen 42 können jedoch auch mehr oder auch nur einen Strei- fen 16 umfassen. Durch eine einfache Anpassung der Schnittabstände kann die Anzahl der Streifen 16 des Widerstandsmaterials der Widerstandsbaueinheiten 44 geändert werden.

Die ersten Längsrichtungsschnitte 38 trennen die ersten Enden 28 von den Zwi- schenbereichen 30 einer jeweiligen Reihe 26 von Zonen 24 des elektrisch leiten den Materials ab. Durch die zweiten Längsrichtungsschnitte 40 werden hingegen die zweiten Enden 32 von den Zwischenbereichen 30 einer jeweiligen Reihe 26 von Zonen 24 des elektrisch leitenden Materials abgetrennt. Somit wird durch die Abfolge von Schnitten 36, 38, 40 entlang der Querrichtung Q abwechselnd eine jeweilige Widerstandsbaueinheit 44 und ein jeweiliger Restabschnitt 46 der Trä- gerplatte ausgebildet. Der jeweilige Restabschnitt 46 umfasst abgetrennte Zwi- schenbereiche 30 einer Reihe 26 von Zonen 24 des elektrisch leitenden Materials und wird nach der Beendigung des Herstellungsverfahrens nicht mehr benötigt.

Es versteht sich, dass für das Durchtrennen der Trägerplatte 10 die Querrich- tungsschnitte 36, die ersten Längsrichtungsschnitte 38 und die zweiten Längsrich- tungsschnitte 40 generell in einer beliebigen Reihenfolge ausgeführt werden. Das Durchtrennen der Trägerplatte 10 kann beispielsweise mittels eines Laser-Strahls durchgeführt werden, was eine präzise und effiziente Strukturierung der Träger- platte 10 in einem Arbeitsgang erlaubt.

Die Streifen 16 des Widerstandsmaterials können generell eine Längsform auf- weisen (insbesondere im Wesentlichen rechteckig), wobei die jeweilige Längsach- se der Streifen 16 des Widerstandsmaterials entlang der Längsrichtung L oder entlang der Querrichtung Q ausgerichtet sein kann. Alternativ hierzu können die Streifen 16 des Widerstandsmaterials beispielsweise auch eine im Wesentlichen quadratische Form aufweisen. Fig. 6 zeigt in einer Unteransicht beispielhaft eine Widerstandsbaueinheit 44 der Vielzahl von Widerstandsbaueinheiten, welche durch die Schritte a) bis d) des er- läuterten Verfahrens erzeugt wurden. Jede Widerstandsbaueinheit 44 umfasst dementsprechend einen Abschnitt der Trägerplatte 10, der den Träger 48 der Wi- derstandsbaueinheit 44 bildet, eine Gruppe 42 von Streifen 16 des Widerstands- materials, die eine Gruppe von Widerstandselementen 50 der Widerstandsbau- einheit 44 bilden, eine Anzahl von ersten Enden 28 von Zonen 24 des elektrisch leitenden Materials, die erste elektrischen Anschlüsse 52 der Widerstandselemen- te 50 bilden, und eine Anzahl von zweiten Enden 32 von Zonen 24 des elektrisch leitenden Materials, die zweite elektrischen Anschlüsse 54 der Widerstandsele- mente 50 bilden. Dabei sind die ersten elektrische Anschlüsse 52 mit einem jewei- ligen ersten Ende der Widerstandselemente 50 verbunden und die zweiten elektri- schen Anschlüsse 54 mit einem jeweiligen zweiten Ende der Widerstandselemen- te 50 verbunden. Durch die Anordnung der Widerstandselemente 50 an der Un- terseite des Trägers 48 ist die Widerstandsbaueinheit 44 insbesondere für eine Montage und Kontaktierung in einer Flip-Chip Bauweise geeignet.

Im Verfahren sind die gegenseitigen Abstände der Querrichtungsschnitte 36 und die gegenseitigen Abstände der ersten und zweiten Längsrichtungsschnitte 38, 40 derart gewählt, dass die Widerstandsbaueinheit 44 eine Breite kleiner als 0,6 mm und eine Länge kleiner als 0,8 mm aufweist, wobei die Breite insbesondere in ei- nem Bereich von 0,3 mm bis 0,34 mm liegen kann und die Länge insbesondere in einem Bereich von 0,54 mm bis 0,62 mm liegen kann. Durch ihre geringe Größe, die durch das erfindungsgemäße Verfahren erreicht werden kann, ist die Wider- standsbaueinheit 44 in elektrischen Bauteilen oder Geräten einsetzbar, die eine besonders kleine und kompakte Ausbildung der Widerstandsbaueinheiten erfor- dern. Bezuqszeichenliste

10 Trägerplatte

12 Oberseite

14 Unterseite

16 Streifen des Widerstandsmaterials

18 Reihe der Streifen 16 des Widerstandsmaterials

20 erstes Ende eines Streifens 16 des Widerstandsmaterials

22 zweites Ende eines Streifens 16 des Widerstandsmaterials

24 Zone des elektrisch leitenden Materials

26 Reihe der Zonen 24 des elektrisch leitenden Materials

28 erstes Ende einer Zone 24 des elektrisch leitenden Materials

30 Zwischenbereich einer Zone 24 des elektrisch leitenden Materials

32 zweites Ende einer Zone 24 des elektrisch leitenden Materials

34 Kontaktsonde

36 Querrichtungsschnitt

38 erster Längsrichtungsschnitt

40 zweiter Längsrichtungsschnitt

42 Gruppe benachbarter Streifen

44 Widerstandsbaueinheit

46 Restabschnitt

48 Träger

50 Widerstandselement

52 erster elektrischer Anschluss

54 zweiter elektrischer Anschluss

Q Querrichtung

L Längsrichtung

Claims

Patentansprüche

1 . Verfahren zur Herstellung einer Vielzahl von Widerstandsbaueinheiten (44), die jeweils einen Träger (46) mit einer Gruppe von Widerstandselementen (50) umfassen, an deren Enden ein jeweiliger erster und zweiter elektri scher Anschluss (52, 54) vorgesehen ist,

mit den Schritten:

a) Bereitstellen einer Trägerplatte (10), die eine Oberseite (12) und eine Unterseite (14) aufweist;

b) Ausbilden einer Vielzahl von Streifen (16) eines Widerstandsmateri- als an der Unterseite (14) der Trägerplatte (10), die entlang einer Querrichtung (Q) ein erstes Ende (20) und ein zweites Ende (22) aufweisen, in einem regelmäßigen Muster dergestalt, dass entlang einer Längsrichtung (L), die senkrecht zu der Querrichtung (Q) ver- läuft, eine jeweilige Reihe (18) von Streifen (16) des Widerstandsma- terials gebildet ist und dass mehrere derartiger Reihen (18) in Quer- richtung (Q) nebeneinander angeordnet sind;

c) Ausbilden einer Vielzahl von Zonen (24) eines elektrisch leitenden Materials an der Unterseite (14) der Trägerplatte (10), die entlang der Querrichtung (Q) ein erstes Ende (28), einen Zwischenbereich (30) und ein zweites Ende (32) aufweisen, in einem regelmäßigen Muster dergestalt, dass entlang der Längsrichtung (L) eine jeweilige Reihe (26) von Zonen (24) des elektrisch leitenden Materials gebildet ist und dass mehrere derartiger Reihen (26) in Querrichtung (Q) neben- einander angeordnet sind, wobei die Reihen (18) von Streifen (16) des Widerstandsmaterials und die Reihen (26) von Zonen (24) des elektrisch leitenden Materials in Querrichtung (Q) abwechselnd an- geordnet sind, und wobei, mit Ausnahme von Randbereichen der Trägerplatte (10), die Streifen (16) des Widerstandsmaterials an ih- ren ersten Enden (20) mit dem ersten Ende (28) einer jeweiligen Zo- ne (24) des elektrisch leitenden Materials überlappen und an ihren zweiten Enden (22) mit dem zweiten Ende (32) einer jeweiligen Zone (24) des elektrisch leitenden Materials überlappen;

d) Durchtrennen der Trägerplatte (10) durch regelmäßige Querrich- tungsschnitte (36) entlang der Querrichtung (Q), erste Längsrich- tungsschnitte (38) entlang der Längsrichtung (L) und zweite Längs- richtungsschnitte (40) entlang der Längsrichtung (L) dergestalt, dass die Querrichtungsschnitte (36) zwischen Gruppen (42) von einander zugeordneten, in Längsrichtung (L) zueinander benachbarten Strei- fen (16) des Widerstandsmaterials verlaufen, dass ferner die ersten Längsrichtungsschnitte (38) die ersten Enden (28) von den Zwi- schenbereichen (30) einer jeweiligen Reihe (26) von Zonen (24) des elektrisch leitenden Materials abtrennen, und dass die zweiten Längsrichtungsschnitte (40) die zweiten Enden (32) von den Zwi- schenbereichen (30) einer jeweiligen Reihe (26) von Zonen (24) des elektrisch leitenden Materials abtrennen, so dass entlang der Quer- richtung (Q) abwechselnd eine jeweilige Widerstandsbaueinheit (44) und ein jeweiliger Restabschnitt (46) der Trägerplatte (10) gebildet ist, der abgetrennte Zwischenbereiche (30) einer Reihe (26) von Zo- nen (24) des elektrisch leitenden Materials aufweist.

2. Verfahren nach Anspruch 1 , wobei die durch das Durchtrennen der Träger- platte (10) gebildete jeweilige Widerstandsbaueinheit (44)

einen Abschnitt der Trägerplatte (10), der den Träger (48) der Wider- standsbaueinheit (44) bildet, eine Gruppe (42) von Streifen (16) des Widerstandsmaterials, die die Gruppe von Widerstandselementen (50) der Widerstandsbaueinheit (44) bilden,

eine Anzahl von ersten Enden (28) von Zonen (24) des elektrisch lei tenden Materials, die die ersten elektrischen Anschlüsse (52) der Widerstandselemente (50) bilden, und

eine Anzahl von zweiten Enden (32) von Zonen (24) des elektrisch leitenden Materials, die die zweiten elektrischen Anschlüsse (54) der Widerstandselemente (44) bilden,

aufweist.

3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, wobei die gegenseitigen Abstände der Querrichtungsschnitte (36) und die gegenseitigen Abstände der ersten und zweiten Längsrichtungsschnitte (38, 40) derart gewählt sind, dass die gebil dete jeweilige Widerstandsbaueinheit (44) eine Breite kleiner als 0,6 mm und eine Länge kleiner als 0,8 mm aufweist, wobei die Breite insbesondere in einem Bereich von 0,3 mm bis 0,34 mm liegt und die Länge insbesonde- re in einem Bereich von 0,54 mm bis 0,62 mm liegt.

4. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Gruppe (42) von Streifen (16) des Widerstandsmaterials zwei Streifen (16) des Wi- derstandsmaterials umfasst.

5. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Streifen (16) des Widerstandsmaterials der gebildeten Widerstandsbaueinheit (44) gleich groß sind.

6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, wobei die Streifen (16) des Widerstandsmaterials der gebildeten Widerstandsbaueinheit (44) unter- schiedlich groß sind, insbesondere mit unterschiedlicher Breite quer zu der Erstreckung der Streifen (16) des Widerstandsmaterials zwischen dem ers- ten Ende (20) und dem zweiten Ende (22).

7. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Träger- platte (10) ein keramisches Substrat umfasst.

8. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das Wider- standsmaterial und das elektrisch leitende Material lediglich an der Unter- seite (14) der Trägerplatte (10) aufgebracht werden.

9. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei der Schritt b) des Ausbildens der Vielzahl von Streifen (16) des Widerstandsmaterials umfasst:

Aufbringen einer Metallschicht an der Unterseite (14) der Trägerplatte (10) durch Kathodenzerstäubung; und

lokales Abtragen der Metallschicht durch Abdampfen.

10. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei der Schritt c) des Ausbildens der Vielzahl von Zonen (24) des elektrisch leitenden Mate- rials umfasst:

Bedrucken der Unterseite (14) der Trägerplatte (10) mit einer elektrisch lei tenden Paste.

11. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das Durch- trennen der Trägerplatte (10) in dem Schritt d) mittels eines Laser-Strahls erfolgt.

12. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei vor dem

Durchtrennen der Trägerplatte (10) durch die ersten und zweiten Längsrich- tungsschnitte (38, 40) der elektrische Widerstand eines jeweiligen Streifens (16) des Widerstandsmaterials gemessen wird, wobei Kontaktsonden (34) an derjenigen Zone (24) des elektrisch leitenden Materials, die mit dem ers- ten Ende (20) des jeweiligen Streifens (16) des Widerstandsmaterials über- lappt, und an derjenigen Zone (24) des elektrisch leitenden Materials, die mit dem zweiten Ende (22) des jeweiligen Streifens (16) des Widerstands- materials überlappt, angelegt werden.

13. Widerstandsbaueinheit (44), die gemäß einem Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche hergestellt worden ist, mit einem Träger (48), einer an der Unterseite des Trägers (48) angeordneten Gruppe von Wider- standselementen (50), ersten elektrischen Anschlüssen (52), die mit einem jeweiligen ersten Ende der Widerstandselemente (50) verbunden sind, und zweiten elektrischen Anschlüssen (54), die mit einem jeweiligen zweiten Ende der Widerstandselemente (50) verbunden sind,

wobei die Widerstandsbaueinheit (44) eine Breite kleiner als 0,6 mm und eine Länge kleiner als 0,8 mm aufweist, wobei die Breite insbesondere in einem Bereich von 0,3 mm bis 0,34 mm liegt und die Länge insbesondere in einem Bereich von 0,54 mm bis 0,62 mm liegt.