JP4078042B2 - 複数の素子を有するチップ型電子部品の製造方法 - Google Patents

複数の素子を有するチップ型電子部品の製造方法 Download PDF

Info

Publication number
JP4078042B2
JP4078042B2 JP2001177206A JP2001177206A JP4078042B2 JP 4078042 B2 JP4078042 B2 JP 4078042B2 JP 2001177206 A JP2001177206 A JP 2001177206A JP 2001177206 A JP2001177206 A JP 2001177206A JP 4078042 B2 JP4078042 B2 JP 4078042B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ceramic material
material plate
rod
shaped ceramic
elements
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2001177206A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2002367817A (ja
Inventor
虎之 塚田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Rohm Co Ltd
Original Assignee
Rohm Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Rohm Co Ltd filed Critical Rohm Co Ltd
Priority to JP2001177206A priority Critical patent/JP4078042B2/ja
Priority to US10/170,012 priority patent/US6727111B2/en
Publication of JP2002367817A publication Critical patent/JP2002367817A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4078042B2 publication Critical patent/JP4078042B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01CRESISTORS
    • H01C17/00Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors
    • H01C17/28Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for applying terminals
    • H01C17/281Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for applying terminals by thick film techniques
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01CRESISTORS
    • H01C17/00Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors
    • H01C17/006Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for manufacturing resistor chips
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01CRESISTORS
    • H01C7/00Non-adjustable resistors formed as one or more layers or coatings; Non-adjustable resistors made from powdered conducting material or powdered semi-conducting material with or without insulating material
    • H01C7/003Thick film resistors
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/40Forming printed elements for providing electric connections to or between printed circuits
    • H05K3/403Edge contacts; Windows or holes in the substrate having plural connections on the walls thereof
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/02Details
    • H05K1/03Use of materials for the substrate
    • H05K1/0306Inorganic insulating substrates, e.g. ceramic, glass
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2201/00Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
    • H05K2201/09Shape and layout
    • H05K2201/09145Edge details
    • H05K2201/09181Notches in edge pads
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2203/00Indexing scheme relating to apparatus or processes for manufacturing printed circuits covered by H05K3/00
    • H05K2203/02Details related to mechanical or acoustic processing, e.g. drilling, punching, cutting, using ultrasound
    • H05K2203/0228Cutting, sawing, milling or shearing
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/0011Working of insulating substrates or insulating layers
    • H05K3/0044Mechanical working of the substrate, e.g. drilling or punching
    • H05K3/0052Depaneling, i.e. dividing a panel into circuit boards; Working of the edges of circuit boards
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00Metal working
    • Y10T29/49Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49002Electrical device making
    • Y10T29/49082Resistor making
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00Metal working
    • Y10T29/49Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49002Electrical device making
    • Y10T29/49082Resistor making
    • Y10T29/49087Resistor making with envelope or housing
    • Y10T29/49098Applying terminal
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00Metal working
    • Y10T29/49Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49002Electrical device making
    • Y10T29/49117Conductor or circuit manufacturing
    • Y10T29/49124On flat or curved insulated base, e.g., printed circuit, etc.
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00Metal working
    • Y10T29/49Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49002Electrical device making
    • Y10T29/49117Conductor or circuit manufacturing
    • Y10T29/49124On flat or curved insulated base, e.g., printed circuit, etc.
    • Y10T29/49126Assembling bases
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00Metal working
    • Y10T29/49Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49002Electrical device making
    • Y10T29/49117Conductor or circuit manufacturing
    • Y10T29/49124On flat or curved insulated base, e.g., printed circuit, etc.
    • Y10T29/49155Manufacturing circuit on or in base

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Apparatuses And Processes For Manufacturing Resistors (AREA)

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、二つ以上の抵抗膜を有する多連のチップ型抵抗器等のように、一つのチップ型絶縁基板に複数の素子を設けたチップ型電子部品において、その製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、二つ以上の抵抗膜を有する多連チップ型抵抗器は、図1及び図2に示すように、チップ型に構成したセラミック製の絶縁基板1の上面に、複数(図面では二つ)の抵抗膜2と、この各抵抗膜2の両端に対する端子電極3とを形成するとともに、この各抵抗膜2を覆うカバーコート4を形成する一方、前記絶縁基板1における左右両側面1a,1bの各々に、前記端子電極4に対して電気的に導通する側面電極5を形成し、更に、前記絶縁基板1における左右両側面1a,1bの各々には、両側面電極5の間の部位に、当該両側面電極を電気的に完全に分断するための凹み溝6を設けるという構成にしている(例えば、実願平3−30409号公報及び特開平6−99567号公報等参照)。
【0003】
また、従来、このような構成の多連チップ型抵抗器の製造に際しては、先ず、図3に示すように、絶縁基板1の多数個を並べて一体化したセラミック素材板Aを用意して、このセラミック素材板Aに、当該セラミック素材板Aを前記各絶縁基板1ごとにブレイクするための複数本の縦方向のブレイク溝A1と、複数本の横方向のブレイク溝A2とを刻設するとともに、前記各縦方向のブレイク溝A1上で、且つ、前記各絶縁基板1における各凹み溝7に該当する箇所に、当該凹み溝6を形成するためのスルーホールA3を穿設する。
【0004】
次いで、このセラミック素材板Aの表面のうち各絶縁基板1の箇所に、図4に示すように、複数個の抵抗膜2、この各抵抗膜2の両端に対する端子電極3、及び各抵抗膜2を覆うカバーコート4の各々を、材料ペーストのスクリーン印刷と、このスクリーン印刷後における焼成とで形成する。
【0005】
次いで、前記セラミック素材板Aを、図5に示すように、各縦方向のブレイク溝A1に沿って複数本の棒状セラミック素材板A′にブレイク(一次分割)したのち、この棒状セラミック素材板A′における左右両長手側面に、側面電極5を材料ペーストの塗布と、その後における焼成とによって形成し、そして、最後に、この棒状セラミック素材板A′を、各横方向のブレイク溝A2に沿って、各絶縁基板1ごとにブレイク(二次分割)するという製造方法が採用されている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、前記セラミック素材板Aは、焼成前のグリーンシートの状態において、これに多数個のスルーホールA3を穿設し、この後において高い温度で焼成して製造するもので、この高い温度での焼成により、このセラミック素材板Aの全体は、各ブレイク溝A1,A2の間隔寸法が広くなったり狭くなったりするように面方向に伸縮するように歪み変形するが、この面方向に伸縮するという歪み変形のバラ付きは、多数個のスルーホールA3が存在することによって大きくなる。
【0007】
そこで、従来では、セラミック素材板Aにおける各絶縁基板1の箇所に複数の抵抗膜2、端子電極3及びカバーコート4をスクリーン印刷にて形成するに際しては、その各々のスクリーン印刷に使用するスクリーンマスクを、前記大きいバラ付きに合わせて多数枚を用意し、この多数枚のスクリーンマスクを、前記バラ付きに応じて使い分けるようにしているから、これら抵抗膜、端子電極及びカバーコートをスクリーン印刷にて形成することに要する経費が嵩むのであり、これに加えて、前記セラミック素材板Aを、焼成後に縦方向のブレイク溝に沿って棒状セラミック素材板A′ごとにブレイク(一次分割)する作業中に、各棒状セラミック素材板Aがその途中の前記スルーホールA3の箇所において折れることが多発し、不良品の発生率が高くて、歩留り率が低くなるから、製造コストが更にアップするという問題があった。
【0008】
また、前記セラミック素材板Aからブレイク(一次分割)された棒状セラミック素材板A′は、その左右両長手側面に前記スルーホールA3による凹み溝6が設けられていることにより、その左右両長手側面に対して側面電極を形成する作業中においても、その途中の前記凹み溝の箇所から折れることになり、これに加えて、前記棒状セラミック素材板A′の両長手側面に際して、側面電極5を形成するための材料ペーストを塗布するとき、この材料ペーストが前記凹み溝6内に垂れ込んで、隣接する両側面電極が電気的に導通することになり、換言すると、側面電極5を形成するときにおいても、不良品の発生率が高く、従って、歩留り率が低くなるから、製造コストが更にアップするのであった。
【0009】
本発明は、これらの問題を解消した製造方法を提供することを技術的課題とするものである。
【0010】
【課題を解決するための手段】
この技術的課題を達成するため本発明における請求項1は,
「一つの電子部品を構成する絶縁基板の多数個を並べて一体化して成るセラミック素材板の表面のうち前記各絶縁基板の箇所に,少なくとも二つの抵抗膜等の素子と,この各素子の両端に対する端子電極と,各素子を覆うカバーコートとを形成し,次いで,前記セラミック素材板を,前記絶縁基板の複数個を一列に並べた棒状セラミック素材板ごとに一次分割し,次いで,この棒状セラミック素材板における左右両長手側面のうち前記各端子電極間の部位に凹み溝を刻設し,次いで,前記棒状セラミック素材板における左右両長手側面に側面電極を,材料ペーストの塗布と,その後における焼成とによって形成したのち,前記棒状セラミック素材板を各絶縁基板ごとに二次分割する。」
ことを特徴としている。
【0011】
【0012】
【発明の作用・効果】
このように、セラミック素材板を、棒状セラミック素材板ごとに一次分割したあとで、この棒状セラミック素材板における両長手側面に、凹み溝を形成するようにしたことにより、セラミック素材板には、各絶縁基板の両側面に凹み溝を形成するためのスルーホールを穿設する必要がなく、換言すると、セラミック素材板は、これに多数個のスルーホールを穿設しない状態で焼成することができて、その焼成に際して発生する面方向への歪み変形のバラ付きを小さくできるから、抵抗膜等の素子、端子電極及びカバーコートをスクリーン印刷にて形成することに要する経費を、前記従来の場合よりも、確実に軽減できるのである。
【0013】
これに加えて、前記セラミック素材板には、従来のように、凹み溝を形成するためスルーホールが存在しないことにより、このセラミック素材板を棒状セラミック素材板ごとに一次分割するときにおいて、当該棒状セラミック素材板がその途中で折れることを低減でき、不良品の発生率を低く、歩留り率を向上できるから、前記スクリーン印刷に要する経費の節減とを相俟って、製造コストを大幅に低減できるのである。
【0014】
【0015】
また、請求項又はに記載したように、前記棒状セラミック素材板の長手側面に対する凹み溝の刻設を、棒状セラミック素材板の複数枚を重ね合わせた状態で行うか、又は、棒状セラミック素材板における一つの長手側面における複数個の凹み溝について同時に行うことにより、複数個の凹み溝を同時に刻設することができて、凹み溝を刻設することに要する時間を短くできるから、製造コストをより低減できる利点がある。
【0016】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面ついて説明する。
【0017】
図6〜図12は、第1の実施の形態を示す。
【0018】
この図のうち図6は、チップ型の絶縁基板1の多数個を縦及び横方向に並べて一体化して成るセラミック素材板を示し、このセラミック素材板Aには、当該セラミック素材板Aを前記各絶縁基板1ごとにブレイクするための複数本の縦方向のブレイク溝A1と、複数本の横方向のブレイク溝A2とが刻設されている。
【0019】
そして、前記セラミック素材板Aの表面のうち各絶縁基板1の箇所に、図7に示すように、複数個の抵抗膜2、この各抵抗膜2の両端に対する端子電極3、及び各抵抗膜2を覆うカバーコート4の各々を、材料ペーストのスクリーン印刷と、このスクリーン印刷後における焼成とで形成する。
【0020】
次いで、前記セラミック素材板Aを、図8に示すように、各縦方向のブレイク溝A1に沿って複数本の棒状セラミック素材板A′にブレイク(一次分割)する。
【0021】
そして、この各棒状セラミック素材板A′における左右両長手側面には、前記各絶縁基板1における各端子電極3間の部位に、図9に示すように、回転する軸B1に取付けたダイシングカッターB2を押圧・接触して、このダイシングカッターB2による切削にて、凹み溝6を刻設する。
【0022】
この凹み溝6を回転するダイシングカッターB2にて刻設するに際しては、図10に示すように、前記棒状セラミック素材板A′の複数枚を重ね合わせることにより、凹み溝6の刻設を複数枚の棒状セラミック素材板A′について同時に行うことができる。
【0023】
また、図11に示すように、回転軸B1′に、複数個のダイシングカッターB2′を取付け、この複数個のダイシングカッターB2′を、一枚の棒状セラミック素材板A′又は複数枚重ね合わせた棒状セラミック素材板Aにおける一つの長手側面に対して押圧・接触することにより、複数の凹み溝6を同時に刻設するようにすることもできる。
【0024】
なお、前記凹み溝6は、ダイシングカッターB2による切削にて刻設することに代えて、レーザ光線の照射によっても刻設することができる。
【0025】
このようにして、棒状セラミック素材板A′における各絶縁基板1に対して凹み溝6を刻設すると、図12に示すように、この棒状セラミック素材板A′における左右両長手側面に対して側面電極5を、材料ペーストの塗布と、その後における焼成とによって形成したのち、この棒状セラミック素材板A′を、横方向のブレイク溝A2に沿って、各絶縁基板1ごとにブレイク(二次分割)することにより、図1及び図2に示す多連のチップ抵抗器を製造することができる。
【0026】
本発明は、このように、セラミック素材板Aを、棒状セラミック素材板A′ごとにブレイク(一次分割)したあとで、この棒状セラミック素材板A′における両長手側面に、凹み溝6を刻設することにより、前記セラミック素材板Aには、従来のように、スルーホールを穿設する必要がないから、このセラミック素材板Aを、グリーンシートから焼成するときに発生する面方向への歪み変形のバラ付きを確実に小さくことができるとともに、前記セラミック素材板Aを、縦方向のブレイク線A1に沿って棒状セラミック素材板A′ごとにブレイク(一次分割)するときにおいて、当該棒状セラミック素材板A′がその途中で折れることが発生することも、確実に低減できる。
【0027】
【0028】
【0029】
【0030】
【0031】
【0032】
【0033】
【0034】
前記第1の実施の形態は、セラミック素材板Aに、複数本の縦方向のブレイク溝A1と、複数本の横方向のブレイク溝A2とを設けて、各縦方向のブレイク溝A1に沿って棒状セラミック素材板A′ごとにブレイク(一次分割)し、この棒状セラミック素材板A′を各横方向のブレイク溝A2に沿って各絶縁基板1ことにブレイク(二次分割)する場合であったが、本発明は、ブレイク溝A1に沿ってブレイク(一次分割)し、ブレイク溝A2に沿ってブレイク(二次分割)ことに限らず、次に述べるような一次分割及び二次分割を採用することができる。
【0035】
13,図14及び図15は、この場合、つまり、第2の実施の形態を示す。セラミック素材板Aは、これに縦方向のブレイク溝A1及び横方向のブレイク溝A2を設けない形態にする。但し、この図において、符号A1′及びA2′は、ブレイク溝ではなく、各絶縁基板1の境界線である。
【0036】
そして、前記セラミック素材板Aの表面における各絶縁基板1の箇所に、前記同様に抵抗膜2、端子電極3及びカバーコート4を形成したのち、図16に示すように、回転するダイシングカッターC1にて、前記縦方向の各境界線A1′の部分を、当該境界線A1′に沿って切断することにより、各棒状セラミック素材板A′ごとに一次分割する。
【0037】
次いで、前記第1の実施の形態と同様に、棒状セラミック素材板A′における左右両長手側面に凹み溝6を刻設したのち、側面電極5を形成する
【0038】
次いで、この棒状セラミック素材板A′を、図17に示すように、回転するダイシングカッターC2にて、前記横方向の各境界線A2′の部分を、当該境界線A2′に沿って切断することにより、各絶縁基板1ごとに二次分割する。
【0039】
この方法によると、セラミック素材板Aに、ブレイク溝を設ける必要ないから、このセラミック素材板Aを、グリーンシートから焼成するときに発生する面方向への歪み変形のバラ付きを更に小さくことができる。
【0040】
なお、このダイシングカッターC1の切断による一次分割を、前記第1及び第2の実施の形態に適用することにより、第1及び第2の実施の形態においてセラミック素材板Aに縦方向のブレイク溝A1を刻設することを廃止して、セラミック素材板Aを、グリーンシートから焼成するときに発生する面方向への歪み変形のバラ付きを小さくすることができる。
【0041】
また、前記の一次分割及び二次分割に際しては、グリーンシートから焼成したあとにおけるセラミック素材板Aに対して、縦方向のフレイク溝A1と、横方向のブレイク溝A2とを、レザー光線の照射によって刻設するようにすることができ、これによっても、セラミック素材板Aを、グリーンシートから焼成するときに発生する面方向への歪み変形のバラ付きを小さくすることができる。
【0042】
更にまた、前記各実施の形態は、一つのチップ型絶縁基板1に、二つの抵抗膜2を設けた多連のチップ型抵抗器であったが、本発明は、これに限らず、三つ以上の抵抗膜を備えた多連のチップ型抵抗器に適用ことは勿論のこと、一つのチップ型絶縁基板に、二つ以上のコンデンサを備えた多連のチップ型コンデンサ等のように、その他の複数の素子を備えたチップ型の電子部品に適用できることはいうまでもない。
【図面の簡単な説明】
【図1】 多連のチップ型抵抗器を示す平面図である。
【図2】 図1のII−II視断面図である。
【図3】 従来の製造方法に使用するセラミック素材板を示す斜視図である。
【図4】 従来の製造方法において前記セラミック素材板に抵抗膜等を形成した状態を示す斜視図である。
【図5】 従来の製造方法において前記セラミック素材板を棒状セラミック素材板に分割した状態を示す斜視図である。
【図6】 本発明の第1の実施に形態において使用するセラミック素材板を示す斜視図である。
【図7】 本発明の第1の実施に形態において前記セラミック素材板に抵抗膜等を形成した状態を示す斜視図である。
【図8】 本発明の第1の実施に形態において前記セラミック素材板を棒状セラミック素材板に分割した状態を示す斜視図である。
【図9】 本発明の第1の実施に形態において前記棒状セラミック素材板に凹み溝を刻設している状態を示す斜視図である。
【図10】 本発明の第1の実施に形態において前記棒状セラミック素材板に凹み溝を別の方法で刻設している状態を示す斜視図である。
【図11】 本発明の第1の実施に形態において前記棒状セラミック素材板に凹み溝を更に別の方法で刻設している状態を示す斜視図である。
【図12】 本発明の第1の実施に形態において前記棒状セラミック素材板に側面電極を形成している状態を示す斜視図である。
【図13】 本発明の第の実施に形態において使用するセラミック素材板を示す斜視図である。
【図14】 本発明の第の実施に形態において前記セラミック素材板を棒状セラミック素材板に分割している状態を示す斜視図である。
【図15】 本発明の第の実施に形態において前記棒状セラミック素材板を絶縁基板に分割している状態を示す斜視図である。
【符号の説明】
1 チップ型絶縁基板
2 抵抗膜
3 端子電極
4 カバーコート
5 側面電極
6 凹み溝
A セラミック素材板
A1,A2 ブレイク溝

Claims (3)

  1. 一つの電子部品を構成する絶縁基板の多数個を並べて一体化して成るセラミック素材板の表面のうち前記各絶縁基板の箇所に、少なくとも二つの抵抗膜等の素子と、この各素子の両端に対する端子電極と、各素子を覆うカバーコートとを形成し、次いで、前記セラミック素材板を、前記絶縁基板の複数個を一列に並べた棒状セラミック素材板ごとに一次分割し、次いで、この棒状セラミック素材板における左右両長手側面のうち前記各端子電極間の部位に凹み溝を刻設し、次いで、前記棒状セラミック素材板における左右両長手側面に側面電極を、材料ペーストの塗布と、その後における焼成とによって形成したのち、前記棒状セラミック素材板を各絶縁基板ごとに二次分割することを特徴とする複数の素子を有するチップ型電子部品の製造方法。
  2. 前記請求項1の記載において、前記棒状セラミック素材板の長手側面に対する凹み溝の刻設を、棒状セラミック素材板の複数枚を重ね合わせた状態で行うことを特徴とする複数の素子を有するチップ型電子部品の製造方法。
  3. 前記請求項1又は2の記載において、前記棒状セラミック素材板の長手側面に対する凹み溝の刻設を、一つの棒状セラミック素材板における一つの長手側面における複数個の凹み溝について同時に行うことを特徴とする複数の素子を有するチップ型電子部品の製造方法。
JP2001177206A 2001-06-12 2001-06-12 複数の素子を有するチップ型電子部品の製造方法 Expired - Fee Related JP4078042B2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001177206A JP4078042B2 (ja) 2001-06-12 2001-06-12 複数の素子を有するチップ型電子部品の製造方法
US10/170,012 US6727111B2 (en) 2001-06-12 2002-06-11 Process for making electronic chip device incorporating plural elements

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001177206A JP4078042B2 (ja) 2001-06-12 2001-06-12 複数の素子を有するチップ型電子部品の製造方法

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007265378A Division JP2008028422A (ja) 2007-10-11 2007-10-11 複数の素子を有するチップ型電子部品の製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2002367817A JP2002367817A (ja) 2002-12-20
JP4078042B2 true JP4078042B2 (ja) 2008-04-23

Family

ID=19018085

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2001177206A Expired - Fee Related JP4078042B2 (ja) 2001-06-12 2001-06-12 複数の素子を有するチップ型電子部品の製造方法

Country Status (2)

Country Link
US (1) US6727111B2 (ja)
JP (1) JP4078042B2 (ja)

Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3846312B2 (ja) * 2002-01-15 2006-11-15 松下電器産業株式会社 多連チップ抵抗器の製造方法
US7612443B1 (en) 2003-09-04 2009-11-03 University Of Notre Dame Du Lac Inter-chip communication
JP4792726B2 (ja) * 2003-10-30 2011-10-12 日亜化学工業株式会社 半導体素子用支持体の製造方法
US7135415B2 (en) * 2004-07-23 2006-11-14 Inpaq Technology Co., Ltd. Insulated structure of a chip array component and fabrication method of the same
PL1889920T3 (pl) * 2005-04-13 2010-06-30 Consejo Superior Investigacion Sposób identyfikacji związków do terapii antynowotworowej in vitro
JP2007073693A (ja) * 2005-09-06 2007-03-22 Rohm Co Ltd チップ抵抗器とのその製造方法
JP4891181B2 (ja) * 2007-08-27 2012-03-07 北陸電気工業株式会社 可変抵抗器用接触子の製造方法
JP6134507B2 (ja) * 2011-12-28 2017-05-24 ローム株式会社 チップ抵抗器およびその製造方法
US9620473B1 (en) 2013-01-18 2017-04-11 University Of Notre Dame Du Lac Quilt packaging system with interdigitated interconnecting nodules for inter-chip alignment
JP2015041635A (ja) * 2013-08-20 2015-03-02 ローム株式会社 チップ抵抗器
WO2018013671A1 (en) 2016-07-12 2018-01-18 Advense Technology Inc. A nanocomposite force sensing material
DE102018115205A1 (de) * 2018-06-25 2020-01-02 Vishay Electronic Gmbh Verfahren zur Herstellung einer Vielzahl von Widerstandsbaueinheiten
JP7306051B2 (ja) * 2019-05-16 2023-07-11 株式会社村田製作所 電子部品の製造方法
KR20210074612A (ko) * 2019-12-12 2021-06-22 삼성전기주식회사 저항 부품
CN114765086A (zh) * 2021-01-12 2022-07-19 国巨电子(中国)有限公司 电阻器的制造方法
DE102022131916A1 (de) 2022-12-01 2024-06-06 Innovative Sensor Technology Ist Ag Elektrisches oder elektronisches Bauelement und Verfahren zu dessen Herstellung

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2836303B2 (ja) * 1990-08-13 1998-12-14 松下電器産業株式会社 角形チップ抵抗器およびその製造方法
JPH05243020A (ja) * 1992-03-02 1993-09-21 Rohm Co Ltd チップネットワーク型抵抗器
JPH0645101A (ja) * 1992-07-27 1994-02-18 Matsushita Electric Ind Co Ltd チップ抵抗器およびその製造方法
DE69315907T2 (de) * 1992-07-27 1998-04-16 Murata Manufacturing Co Elektronisches Vielschichtbauteil, Verfahren zur dessen Herstellung und Verfahren zur Messung seiner Charakteristiken
JP2701672B2 (ja) * 1992-09-04 1998-01-21 松下電器産業株式会社 トリミング用抵抗器
JP2788156B2 (ja) 1992-09-18 1998-08-20 ローム株式会社 多連型チップ抵抗器における捺印方法
JP3753252B2 (ja) * 1995-07-05 2006-03-08 ローム株式会社 マルチエレメント型チップデバイス及びその製造方法
JPH0950703A (ja) * 1995-08-07 1997-02-18 Ohbayashi Corp 配線レス照明システム
JPH09320893A (ja) * 1996-05-31 1997-12-12 Rohm Co Ltd 厚膜コンデンサと厚膜抵抗器との複合素子の製造方法
WO1998011567A1 (en) * 1996-09-13 1998-03-19 Philips Electronics N.V. Thin-film resistor and resistance material for a thin-film resistor
JPH10189318A (ja) * 1996-12-27 1998-07-21 Hokuriku Electric Ind Co Ltd ネットワーク抵抗器の製造方法
JPH11204301A (ja) * 1998-01-20 1999-07-30 Matsushita Electric Ind Co Ltd 抵抗器

Also Published As

Publication number Publication date
JP2002367817A (ja) 2002-12-20
US6727111B2 (en) 2004-04-27
US20030005576A1 (en) 2003-01-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4078042B2 (ja) 複数の素子を有するチップ型電子部品の製造方法
JPH02159008A (ja) 塔状縁部に埋込電極と端子を有するセラミック基板
KR100468373B1 (ko) 저항기 및 그 제조 방법
US7882621B2 (en) Method for making chip resistor components
JP3846312B2 (ja) 多連チップ抵抗器の製造方法
JPH0878273A (ja) 積層型電子部品の製造方法
JP2007049071A (ja) チップ抵抗器とその製造方法
JP3358990B2 (ja) チップ型抵抗器の製造方法
JP3753252B2 (ja) マルチエレメント型チップデバイス及びその製造方法
JP2008028422A (ja) 複数の素子を有するチップ型電子部品の製造方法
JP4875327B2 (ja) チップ抵抗器の製造方法
JP2017152576A (ja) チップ抵抗器の製造方法
JPH10189305A (ja) 角板型チップ抵抗器及びその製造方法
CA1098763A (en) Electro-erosion head and manufacturing method
JP4602738B2 (ja) チップ抵抗器の製造方法
JPH11111513A (ja) チップ抵抗器の製造方法
JP3155851B2 (ja) チップ型抵抗器の製造方法
JP2002334802A (ja) 複数の素子を有するチップ型電子部品用セラミック素材板の製造方法
JP3846311B2 (ja) 多連チップ抵抗器の製造方法
JP3801843B2 (ja) 配線基板の製造方法
JP2000238034A (ja) セラミックス基板及び同セラミックス基板の分割方法
JPH09180904A (ja) 電子部品の製造方法
JP2000357604A (ja) 集合基板
JPH0831620A (ja) チップ部品の製造方法
JPH09232101A (ja) チップ型電子部品の製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20041215

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20070523

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20070606

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20070706

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20070912

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20071011

A911 Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911

Effective date: 20071205

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20080116

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20080204

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Ref document number: 4078042

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110208

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120208

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120208

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130208

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140208

Year of fee payment: 6

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees