WO2007142273A1 - 高熱伝導で柔軟なシート - Google Patents

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WO2007142273A1
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graphite
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heat
elastic layer
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Sayuri Kohara
Kuniaki Sueoka
Yohichi Taira
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Definitions

  • the present invention generally relates to a sheet having high thermal conductivity and flexibility.
  • the present invention is more particularly described.
  • the present invention relates to a heat conduction module using a flexible sheet with high heat conduction, the sheet, and a method for manufacturing the heat conduction module.
  • Japanese published patent publication 'Hei 8-238707 discloses a heat-dissipating sheet in which an additive such as metal powder is added to a silicone rubber base material.
  • US Pat. Nos. 6,651, 736 disclose a method of adding a carbon material as a filler to a binder such as grease or polymer.
  • a binder such as grease or polymer.
  • Japanese patent publications' Hei 10-56114, Hei 11-302545, and US Pat. No. 5,695,847 disclose sheet-like heat transfer members in which graphite fibers and the like are oriented perpendicular to the joint surface. It is.
  • the carbon-based composite member obtained by this method exhibits a high thermal conductivity in the Balta state.
  • a gap is generated at the joint as in the case of using a hard heat transfer material such as metal as described above. As a result, the thermal resistance of the entire junction gap including the gap increases.
  • Patent Document 1 Japanese published patent gazette, Hei 8-238707
  • Patent Document 2 US Patent 6,651,736
  • Patent Document 3 Japanese Published Patent Gazette, Hei 10-56114
  • Patent Document 4 Japanese published patent gazette, Hei 11-302545
  • Patent Document 5 US Patent 5,695,847
  • An object of the present invention is to provide a joining member having high thermal conductivity and flexibility.
  • An object of the present invention is to reduce the thermal resistance between the heating element and the heat radiating body (gap).
  • An object of the present invention is to increase the efficiency of heat conduction from the surface of the heat generator to the surface of the heat radiator.
  • An object of the present invention is to reduce the contact thermal resistance at the joint surface regardless of the surface state of the joint surface.
  • the sheet is a highly heat conductive and flexible sheet, in which the graphite layer and the elastic layer are alternately laminated, and the end in the surface direction of the graphite layer protrudes from the end of the elastic layer, and A sheet is provided that is bent so as to cover at least a part of the end of the elastic layer.
  • the heating element, the radiator, and the sheet disposed between the heating element and the radiator, the graphite layer and the elastic layer are alternately disposed, and the surface of the graphite layer
  • the end in the direction protrudes from the end of the elastic layer and is bent so as to cover at least a part of the end of the elastic layer, and one end surface in the plane direction of the graphite layer is in contact with the surface of the radiator.
  • a heat conducting module is provided in which the other end face is in contact with the surface of the heating element.
  • the efficiency of heat conduction from the surface of the heat generating body to the surface of the heat radiating body can be increased.
  • FIG. 1 is a conceptual diagram of an embodiment of a heat conduction module of the present invention.
  • a highly heat-conductive and flexible sheet 5 is disposed between the heating element 1 and the radiator 7 via the filler 3.
  • the heating element 1 corresponds to an electronic component (IC chip, semiconductor element) such as a microprocessor.
  • the heat sink 7 is a heat sink made of aluminum or the like.
  • Filler 3 is not an essential requirement. Filler 3 may be filled at least between heating element 1 and sheet 5 or between radiator 7 and sheet 5. Filler 3 is made of a fluid material such as silicone oil, liquid metal, or thermal grease.
  • FIG. 2 is an enlarged view of a portion of the sheet 5 in FIG.
  • the graphite layer 50 and the elastic layer 52 are alternately arranged (laminated).
  • the elastic layer 52 is made of a resin material having adhesiveness with the graphite layer 50. Examples of the resin material include silicone, polyimide, and acrylic.
  • the end of the graphite layer 50 in the plane direction (vertical direction in FIG. 2) protrudes from the end of the elastic layer 52 and is bent so as to cover at least a part of the end of the elastic layer 52.
  • One (upper) end face of the graphite layer 50 is in contact with the surface of the radiator 7, and the other (lower) end face is in contact with the surface of the heating element 1.
  • FIG. 1 is an enlarged view of a portion of the sheet 5 in FIG.
  • the graphite layer 50 and the elastic layer 52 are alternately arranged (laminated).
  • the elastic layer 52 is made of a resin material having adhesiveness with the graphite layer 50. Examples of the resin material
  • the present invention is not limited to this configuration, and the end face of the graphite layer 50 may be in direct contact with the surface of the radiator 7 or the surface of the heater 1.
  • the graphite layer 50 has a multilayer structure of graphites.
  • the graph item is shown in Figure 3.
  • it has a layer in which carbon atoms are arranged in a honeycomb structure in an ab plane.
  • This single layer is called darafen.
  • Graphite is bonded as a layer with polymer.
  • the plane direction of the graph eye (ab plane) coincides with the vertical direction of Fig.2.
  • heat is transmitted mainly by crystal lattice vibrations called phonons.
  • the distance between graphenes is about 2.4 times greater than the distance between adjacent atoms in the graphene plane. For this reason, Dulla Fight has high thermal conductivity (thermal anisotropy) in the graph plane ab plane.
  • the end portion of the graphite layer spreads so as to cover the end portion of the elastic layer.
  • the reason is that the contact area between the end of the elastic layer with low thermal conductivity and the heating element (heat radiating element) is reduced, and at the same time, the end face of the graphite layer with high thermal conductivity and contact with the heating element (heat radiating element). This is because the area can be increased. As a result, combined with the contact at the end face described above, the thermal resistance at the contact portion can be further reduced.
  • FIG. 4 is a view showing an example of the shape of the graphite layer 50.
  • Each graphite layer is shown with multiple lines to clarify the multilayer structure.
  • the end face of the graphite layer 50 almost completely covers the end of the elastic layer 52.
  • the shape of Fig. 4 shows the ideal shape of the graphite layer.
  • the ends of the graphite layer are not limited to bending in one direction as shown in FIG. As shown in FIG.
  • the end portion of the graphite layer may be widened so as to cover the end portions of two adjacent elastic layers (fan shape, inverted triangle shape). Also, the graphite layer may be shaped like an “S-shape” that is bent in the opposite direction on the two surfaces that contact the ends.
  • FIG. 6 shows the block formation process.
  • a mold 60 made of Teflon (R). Graffite layers and elastic layers are alternately placed on the mold and stacked. The number of the graphite layer and the neutral layer is appropriately selected according to the size of the heating element (heat dissipation element).
  • a commercially available graphite sheet for example, “PGS” graphite sheet (model number: EYGS0913 10, thickness: 0.1 mm) manufactured by Matsushita is used.
  • a commercially available uncured liquid elastomer such as a silicone elastomer is used.
  • Fig. 6 (b) place the weight 62 on the laminate and pressurize it in an oven at 150 ° C for 60 minutes. By heating, the liquid elastomer is cured to form a solid block 64 (FIG. 6 (c)).
  • FIG. Figure 7 (a) shows block 64.
  • a graphite layer (PGS) 66 and an elastic layer (silicone elastomer) 68 are laminated.
  • Block 64 is cut along the stacking direction to form a plurality of sub-blocks. For example, cut vertically along the dotted line A-A in Fig. 7 (a).
  • a cutting machine with a diamond blade or a diamond saw is used for cutting.
  • the thickness of the sheet to be cut is between 1 ⁇ m and 2 mm.
  • the end portion (cut surface) of the graphite layer 66 in one cut sub-block is protruded from the end portion (cut surface) of the elastic layer 68.
  • the elastic layer 68 is bent so as to cover at least part of the end (cut surface). Therefore, it is necessary to adjust the cutting speed, the load applied to the blade, and the blade type. For example, when the rotation speed of the diamond blade is set to 120 mm and the load is 25 g, the end of the present invention can be formed with good reproducibility. When the load was 75 g and the speed was set to 200 rpm, the end shape of the present invention could not be achieved. By this process, the shape of the edge of the graphite layer protruding and bent as shown in FIG. 7B or FIG. 4 was obtained.
  • the adhesive strength between the graphite layers (PGS) in the process of FIG. 6 is adjusted. Specifically, the curing temperature and time of the elastic layer (silicone elastomer) are adjusted. This is to give the PGS sheet flexibility in the cutting process of FIG.
  • an elastic layer silicone elastomer with low hardness is selectively cut when it is cut with a blade such as a diamond blade.
  • a blade such as a diamond blade.
  • An elastic layer having a very low hardness for example, a silicone elastomer KE1308 (JIS_A hardness 7) manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., can be used to provide flexibility.
  • the periphery of the block is fixed.
  • a fixing method first, in order to maintain the flexibility of the block, the periphery of the block is hardened with a flexible material such as an elastomer. Specifically, for example, a block is put in an uncured silicone elastomer material, and a vacuum is drawn. The elastomer penetrates into the composite block. The silicone elastomer is then cured. After that, harden the periphery of the block with a hard material such as epoxy so that the sheet (sub'block) will not bend due to stress during cutting. This fixing is performed as necessary.
  • a hard material such as epoxy
  • the graphite layer with bent edges is shaved with a grinder, and the surface (end face) is flattened. The reason is that the end face of the graphite layer and the surface of the heating element or the heat radiating element are more closely joined. This flatness may not be present.
  • FIG. Fig. 8 (a) is the same block 64 as Fig. 7 (a).
  • a plurality of sub-blocks are formed by cutting the block 64 along the stacking direction. For example, cut vertically along the dotted line A-A in Fig. 7 (a).
  • the process up to this point is basically the same as in Fig. 7.
  • the cut surface is cut so as to be flat. In other words, do not cut so that the end face of the graphite layer protrudes from the end face of the elastic layer. For this purpose, the rotational speed and load of the diamond blade used for cutting are adjusted.
  • a sub-block (sheet) 70 having a substantially flat cut surface is obtained (FIG. 8 (b)).
  • the surface of the elastic layer (silicone elastomer) in the block after cutting is etched.
  • the sheet (block) 70 is put in an etching solution for silicone, or the etching solution is sprayed on the surface of the block 70.
  • the amount of silicone removed is controlled by the etching time and temperature.
  • FIG. 8 (c) shows the sheet 72 after etching.
  • the end of the graphite layer protrudes as much as the silicone elastomer is removed.
  • the end of the graphite layer protrudes Apply pressure to the surface with a roller and bend the protruding end.
  • the end of one dullite layer is bent so as to cover the end surface of the adjacent elastic layer.
  • FIG. 8 (d) shows the sheet 74 with the end of the graphite layer bent.
  • the graphite layer having a bent end is shaved with a grinder or the like to flatten the surface (end face). This flatness may not be present.
  • the structure 76 of FIG. 8 (e) is obtained.
  • the end of one graphite layer may be bent so that it covers the two adjacent elastic layers (front and back). In this case, the shape (fan shape) of the graphite layer 50 shown in FIG. 5 is obtained.
  • FIGS. 9 (a) Another manufacturing method will be described with reference to FIGS.
  • a mold having two plates 80 separated by a sheet height (thickness) d is prepared.
  • a PGS sheet 82 is joined to one end face of the plate 80.
  • the sheet 82 is pressed against the plate 80 with the rod 84 and fixed.
  • the cutting direction is a direction inclined by an angle from the direction perpendicular to the surface of the sheet 82 (FIG. 9 (a)).
  • the cut sheet (block) 88 is pushed into the mold (between the two plates) using the rod 84.
  • the end of the sheet block 88 is bent along the surface of the plate 80 by the pushing force (FIG.
  • step (b) Next, uncured elastic material 90 is added (Fig. 9 (c)). Again, as in (a), the PGS sheet 82 is joined to one end face of the plate 80. The PGS sheet 82 is cut using the two blades 86 (FIG. 9 (d)). The cut sheet (block) 92 is pushed into the mold (between the two plates) using the rod 84 (FIG. 9 (e)). Steps (a) to (e) are repeated to obtain a structure in which a predetermined number of PGS sheet blocks and elastic layers are laminated (FIG. 9 (f)). Finally, the structure obtained in step (f) is heated in an oven. The elastic material is cured to obtain the sheet 94 of the present invention (FIG. 9 (g)).
  • FIG. 9 In order to more accurately control the width of the elastic material 90 in FIG. 9, a sheet-shaped elastic material 94 that has been hardened in advance is pressed against the plate 80 and fixed. The blade 96 is used to cut in a direction perpendicular to the surface of the elastic sheet 94. Push the cut elastic sheet (block) into the mold (between the two plates) using the rod 84. Thereafter, a liquid elastic material may be injected to fill the gap. All these steps may be performed under reduced pressure to prevent air from entering and creating bubbles.
  • the sheet 5 of the present invention produced by using any one of the above-described manufacturing methods can be joined to the surface of the heat generating body and the surface of the heat dissipating body on the upper and lower surfaces thereof.
  • the heat shown in Figure 1 A conduction module is created.
  • a fluorinated oil having a good affinity (thermal bondability) with graphite may be applied to the contact surface.
  • FIG. 11 shows a photomicrograph of the surface (end surface) of the sheet (Example) produced by the method of the present invention.
  • a Matsushita "PGS" graph eye sheet (model number: EYGS091310, thickness: 0.1 mm) was used.
  • the thickness of the silicone elastomer after curing was 0.1 mm.
  • the width of each PGS sheet (graphite layer) on the surface (end face) was 0 ⁇ 16 -0.17 mm.
  • the graphite layer is about 60-70 / i m wider than the original width.
  • Figure 12 is a photomicrograph of a cross section of the same sample.
  • the graphite layer 100 bends on the surface C, forming a “U” shape that covers the surface of the elastomer 200.
  • the width of the graphite layer 100 on the surface C is about 0.18 mm, which is about 80 / im wider than the original width.
  • the same PGS sheet was used, and a laminated structure (sheet) with a flat end surface (cut surface) was prepared.
  • FIG. 13 is a photomicrograph of the surface of the sheet. In this case, the graphite layer was 100 ⁇ m, approximately the same width as the original.
  • FIG. 14 is a graph showing a change in temperature difference between both sides of the sheet with respect to the heat inflow rate (q) for the example and the comparative example.
  • the horizontal axis is the heater power (W) corresponding to the heat inflow rate (q).
  • the vertical axis is the temperature difference (° C) on both sides of the sheet.
  • Each thermal resistance value was obtained from the slope of this graph.
  • the thermal resistance value of the example was 14.6 ° Cmm 2 / W
  • the thermal resistance value of the comparative example was 27.4 ° Cmm 2 / W.
  • the thermal resistance of the example of the present invention is about half (53%) of the comparative example.
  • Fig. 15 is a graph showing the relationship between the thickness ( ⁇ m) and the contact thermal resistance (° Cmm 2 / W) for the examples and comparative examples.
  • Fig. 15 also shows the contact thermal resistance value of a single PGS sheet ( ⁇ ⁇ ⁇ ).
  • the contact thermal resistance value is about 10 ° Cm m 2 / W (45%) smaller than that of the comparative example and the single PGS sheet.
  • the sheet of the present invention can be applied not only to small electronic components such as a microprocessor but also to large electric products such as a plasma television.
  • the horizontal length scale is several tens of millimeters, such as a processor
  • the thickness of the graphite layer (sheet) will be several tens of nanometers to 100 ⁇ m.
  • the horizontal length scale is several tens of centimeters, such as a plasma TV
  • the thickness can be adjusted from several mm to 10 mm.
  • FIGS. 1 to 15 as an example. However, the present invention is not limited to these examples. It will be apparent to those skilled in the art that variations and modifications can be made without departing from the spirit of the present invention.
  • FIG. 1 is a conceptual diagram of one embodiment of a heat conduction module of the present invention.
  • FIG. 2 is an enlarged view of the sheet 5 portion of FIG.
  • FIG. 3 is a diagram showing a darafen structure in which carbon atoms are arranged.
  • FIG. 4 is a diagram showing an example of the shape of the graphite layer 50 of the present invention.
  • FIG. 5 is a diagram showing the shape of a graphite layer according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 6 is a diagram showing a block forming step in the manufacturing method of the present invention.
  • FIG. 7 shows an example of the production method of the present invention.
  • FIG. 8 is a diagram showing an example of the production method of the present invention.
  • FIG. 9 is a diagram showing an example of the production method of the present invention.
  • FIG. 10 shows an example of the production method of the present invention.
  • FIG. 11 is a view showing the surface (end face) of a sheet (Example) manufactured by the method of the present invention.
  • FIG. 12 is a view showing a cross section of the sheet in FIG.
  • FIG. 13 is a view showing the surface (end face) of a sheet according to a comparative example of the present invention.
  • FIG. 14 is a graph showing a change in temperature difference between both sides of a sheet with respect to a heat inflow rate q.
  • FIG. 15 is a diagram showing the relationship between thickness and contact thermal resistance.

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Abstract

【課題】　発熱体と放熱体の間（ギャップ）での熱抵抗を小さくする。 【解決手段】　高熱伝導で柔軟なシートであって、グラファイト層と弾性層が交互に積層され、グラファイト層の面方向、あるいはグラフェンの端部が弾性層の端部よりも突出しかつ弾性層の端部の少なくとも一部を覆うように曲がっているシートが提供される。本発明のシートを発熱体と放熱体の間（ギャップ）に設置することにより、発熱体の表面あるいは放熱体の表面の平坦性が低い場合であっても、そのギャップでの熱抵抗、特に接合面での接触熱抵抗を小さくすることができる。

Description

明 細 書
高熱伝導で柔軟なシート
技術分野
[0001] 本発明は、一般的には高熱伝導で柔軟なシートに関する。本発明は、より詳細には
、高熱伝導で柔軟なシートを用いる熱伝導モジュール、そのシートおよびその熱伝導 モジュールの製造方法に関する。
背景技術
[0002] 近年、マイクロプロセッサ (CPU)などの電子デバイスの高性能化および小型化に 伴レ、、その電子デバイスが発生する熱も増大している。したがって、電子デバイスの 冷却能力が大きい冷却技術が求められている。一般に電子デバイスはヒートシンクな どの放熱部品を用いて冷却される。電子デバイスと放熱部品は、接合部（ギャップ)で の熱抵抗を下げるため、高熱伝導材料で接合される。
[0003] 電子デバイスおよび放熱部品の表面は完全に平坦ではなぐ微細な凹凸を有する 。このため、電子デバイスと放熱部品の接合ギャップに金属などの硬い伝熱材料を用 レ、た場合、その材料と電子デバイスあるいは放熱部品との接合 (密着性）が不十分に なる。その結果、その接合部での熱抵抗が大きくなる。したがって、現在、その不均 一な接合ギャップを隙間無く埋めることのできるサーマルグリースやフェイズチェンジ ングシートなどが広く使用されている。しかし、これらの伝熱材料の熱伝導率は金属 材料に比べて低い（多くの場合、 <<10W/mK)。したがって、特に接合ギャップが厚く なると熱抵抗が大きくなつてしまうという問題がある。
[0004] 日本の公開特許公報'平 8-238707には、シリコーンゴム基材に金属粉などの添カロ 剤が加えられた放熱シートが開示されている。米国特許 6,651, 736には、炭素素材を グリースやポリマーなどのバインダーの中に充填剤として加える方法が開示されてい る。しかし、これらの方法を用いても、全体の熱伝導率は基材 (バインダー）の熱伝導 率に制約されてしまうので、熱抵抗を十分に下げることはできなレ、。
[0005] 日本の公開特許公報'平 10-56114、平 11-302545、米国特許 5,695,847に、グラファ イト'ファイバーなどを接合面に対して垂直に配向した、シート状の伝熱部材が開示さ れている。この方法で得られたカーボン系複合部材は、バルタ状態では高い熱伝導 率を示す。しかし、この伝熱部材は、上述した金属などの硬い伝熱材料を用いる場合 と同様に、接合部に隙間が発生してしまう。その結果、その隙間を含む接合ギャップ 全体の熱抵抗が大きくなつてしまう。
特許文献 1 :日本国の公開特許公報、平 8-238707
特許文献 2：米国特許 6，651，736
特許文献 3 :日本国の公開特許公報、平 10-56114
特許文献 4 :日本国の公開特許公報、平 11-302545
特許文献 5：米国特許 5，695，847
発明の開示
発明が解決しょうとする課題
[0006] 本発明の目的は、高熱伝導性で柔軟性のある接合部材を提供することである。
[0007] 本発明の目的は、発熱体と放熱体の間（ギャップ)での熱抵抗を小さくすることであ る。
[0008] 本発明の目的は、発熱体の表面から放熱体の表面への熱伝導効率を高めることで ある。
[0009] 本発明の目的は、接合面の表面状態に拘らず、接合面での接触熱抵抗を小さくす ることである。
課題を解決するための手段
[0010] 本発明によれば、高熱伝導で柔軟なシートであって、グラフアイト層と弾性層が交互 に積層され、グラフアイト層の面方向の端部が弾性層の端部よりも突出しかつ弾性層 の端部の少なくとも一部を覆うように曲がっているシートが提供される。
[0011] 本発明によれば、発熱体と、放熱体と、発熱体と放熱体の間に配置されたシートで あって、グラフアイト層と弾性層が交互に配置され、グラフアイト層の面方向の端部は 弾性層の端部よりも突出しかつ弾性層の端部の少なくとも一部を覆うように曲がって おり、さらにグラフアイト層の面方向の一方の端面は放熱体の表面に接し、その他方 の端面は発熱体の表面に接する、熱伝導モジュールが提供される。 発明の効果
[0012] 本発明のシートを発熱体と放熱体の間（ギャップ）に設置することにより、そのギヤッ プでの熱抵抗を小さくすることができる。
[0013] 本発明のシートを発熱体と放熱体の間（ギャップ）に設置することにより、発熱体の 表面あるいは放熱体の表面の平坦性が低い場合であっても、そのギャップでの熱抵 抗、特に接合面での接触熱抵抗を小さくすることができる。
[0014] 本発明のシートを発熱体と放熱体の間（ギャップ）に設置することにより、発熱体の 表面から放熱体の表面への熱伝導効率を高めることができる。
発明を実施するための最良の形態
[0015] 本発明について図面を参照しながら以下に詳細に説明する。図 1は、本発明の熱 伝導モジュールの一実施例の概念図である。発熱体 1と放熱体 7の間に充填材 3を 介して高熱伝導で柔軟なシート 5が配置される。発熱体 1としては例えばマイクロプロ セッサなどの電子部品（ICチップ、半導体素子）が該当する。放熱体 7としては例え ばアルミニウムなどで作られたヒートシンクが該当する。充填材 3は必須の要件ではな レ、。充填材 3は発熱体 1とシート 5の間あるいは放熱体 7とシート 5の間の少なくとも一 方に充填してもよレ、。充填材 3はシリコーンオイル、液体金属、または放熱グリースな どの流動性材料からなる。
[0016] 図 2は図 1のシート 5部分の拡大図である。シート 5はグラフアイト層 50と弾性層 52 が交互に配置 (積層）されている。弾性層 52はグラフアイト層 50と接着性のある樹脂 材料からなる。その樹脂材料としては、例えばシリコーン系、ポリイミド系、アクリル系 などが該当する。グラフアイト層 50の面方向（図 2では垂直方向）の端部は、弾性層 5 2の端部よりも突出しかつ弾性層 52の端部の少なくとも一部を覆うように曲がっている 。グラフアイト層 50の一方（上）の端面は放熱体 7の表面に接し、その他方（下）の端 面は発熱体 1の表面に接する。なお、図 2は、グラフアイト層 50の端面が充填材 3を 介して放熱体 7の表面あるいは発熱体 1の表面に接する場合を示している。しかし、 この構成に限られず、グラフアイト層 50の端面が直接に放熱体 7の表面あるいは発熱 体 1の表面に接してもよい。
[0017] グラフアイト層 50は、グラフアイトの多層構造からなる。グラフアイトは、図 3に示され るように、面方向（a-b plane)に炭素原子が蜂の巣構造に配置された層を有する。こ の一枚の層はダラフェンと呼ばれる。グラフアイトはポリマーで一つの層として結合さ れる。グラフアイトの面方向（a-b plane)は、図 2の垂直方向に一致する。グラフアイト の中では熱は主にフォノンと呼ばれる結晶の格子振動によって伝わる。グラフェン間 の距離はグラフヱン面内の原子の隣接距離よりも約 2. 4倍離れている。このためダラ ファイトはグラフ工ンの面方向（a-b plane)に高い熱伝導性を有する (熱異方性)。図 3 の面方向（a-b plane)は垂直（c-axis)方向よりもおよそ 100倍から 1000倍熱伝導性が 大きレ、。したがって、グラフアイトの面方向で、すなわちグラフ工ンの端面で、放熱体 あるいは発熱体の表面に接触することが重要である。その理由は、グラフヱンの端面 が接触することで格子振動、あるいはフオノンがグラフェン面内に伝わりやすくなり、 結果的に接触部での熱抵抗を小さくすることができるからである。本発明ではグラファ イトの炭素原子の層、あるいはグラフヱンが、その端面 (接触部）を含む、発熱体と放 熱体の間のギャップ全体に渡って維持されていることが重要である。
[0018] 同時に本発明ではグラフアイト層の端部が弾性層の端部を覆うように広がっている ことが重要である。その理由は、熱伝導性の低い弾性層の端部と発熱体 (放熱体）と の接触面積を小さくすると同時に熱伝導性の高いグラフアイト層の端面と発熱体 (放 熱体）との接触面積を大きくすることができるからである。その結果、上述した端面で の接触と相まって接触部での熱抵抗をさらに小さくすることができる。
[0019] 図 4はグラフアイト層 50の形状の一例を示す図である。多層構造であることを明確 にするために、各グラフアイト層が複数の線で示されている。グラフアイト層の端面の 広がり Lは、曲げ角を Θ、グラフアイト層 50の厚さを tとすると、 L = t/cos Θで見積もる こと力 Sできる。図 4ではグラフアイト層 50の端面が弾性層 52の端部をほぼ完全に覆つ ている。図 4の形状はいわばグラフアイト層の理想的な形状を示している。グラフアイト 層の端部は、図 4で示されるように一方向に曲がっている場合に限られない。グラファ イト層の端部は、図 5で示されるように隣り合う二つの弾性層の端部を覆うように広が つている場合 (扇形状、逆三角形状)でもよい。また、グラフアイト層は、その端部が接 触する 2つの表面で逆方向に曲がった" S字型"のような形でもよい。
[0020] 本発明のシート 5の製造方法について、図 6 _図 10を参照しながら説明する。最初 にグラフアイト層と弾性層を交互に積層して一つのブロックを形成する。図 6はそのブ ロックの形成工程を示す。図 6 (a)で、テフロン (R)製の铸型（モールド） 60を準備す る。そのモールドにグラフアイト層と弾性層を交互に入れて重ねる。グラフアイト層と弹 性層の数は発熱体 (放熱体）のサイズに応じて適宜選択する。グラフアイト層としては 、市販のグラフアイトシート、例えば松下製" PGS"グラフアイトシート（型番： EYGS0913 10、厚さ： 0.1mm)を利用する。弾性層としては、市販の未硬化の液状のエラストマ一 、例えばシリコーンエラストマ一などを利用する。図 6 (b)で、積層体の上に重し 62を 置いて加圧しながら、オーブン中で、 150°Cで 60分間加熱する。加熱によって液状 のエラストマ一が硬化して、固形のブロック 64が形成される（図 6 (c) )。
[0021] 図 7を参照する。図 7 (a)はブロック 64を示す。グラフアイト層（PGS)66と弾性層（シリ コーンエラストマ一） 68が積層されている。ブロック 64を積層方向に沿って切断して、 複数のサブ'ブロックを形成する。例えば図 7 (a)の点線 A-Aに沿って垂直方向に切 断する。切断にはダイヤモンドブレードの付いた切断機、あるいはダイヤモンドソーな どを用いる。切断するシートの厚みは 1 μ mから 2mmの間である。この切断の際に、切 断された 1つのサブ.ブロック中のグラフアイト層 66の端部（切断面）を弾性層 68の端 部 (切断面)よりも突出させる。同時に弾性層 68の端部 (切断面）の少なくとも一部を 覆うように曲げる。そのために、切断速度、刃に加える荷重、刃の種類を調整する必 要がある。例えば、ダイヤモンドブレードの回転速度を 120卬 mに設定し、荷重が 25g である場合、再現性よく本発明の端部を形成することができる。なお、荷重を 75gにし 、速度を 200rpmに設定した場合は本発明の端部形状はできなかった。この工程によ り、図 7 (b)あるいは図 4で示される、グラフアイト層の端部が突出しかつ曲がった形状 が得られた。
[0022] このグラフアイト層の端部形状をより容易に得るためには、さらに以下の点に留意す る必要がある。まず図 6の工程におけるグラフアイト層（PGS)間の接着強度を調整する 。具体的には弾性層（シリコーンエラストマ一）の硬化の温度および時間を調整する。 これは図 7の切断工程において PGSシートに自由度をもたせるためである。 PGSシー トに自由度があると、ダイアモンドブレードなどの刃で切断されるときに、硬度の低い 弾性層（シリコーンエラストマ一）が選択的に切削される。その結果、硬度の高い PGS シートの端部は残り、その端面が弾性層の端面よりも突出する。さらに、刃の荷重が その突出部を曲げる方向にかかるので、その突出部は曲がり、弾性層の表面 (端面） を覆う（図 4)。 自由度を持たせるには硬度の非常に低い弾性層、例えば信越化学製 シリコーンエラストマ一 KE1308 (JIS _A硬さ 7)などを用いることもできる。
[0023] もしグラフアイト層（PGS)間の接着強度が低すぎて、切断の際にブロック自体が支え られなくなる恐れがある場合は、ブロックの周囲を固定する。固定方法としては、まず ブロックの柔軟性を維持するため、ブロック周囲をエラストマ一などの柔軟性のある材 料で固める。具体的には、例えば、未硬化のシリコーンエラストマ一材料の中にブロ ックを入れて、真空引きをする。エラストマ一は複合ブロックに浸透する。その後シリコ ーンエラストマ一を硬化させる。その後さらに、切断時の応力でシート（サブ'ブロック )が曲がってしまわないように、硬度の高いエポキシなどの材料でブロックの周囲を固 める。なお、この固定は必要に応じて行われる。図 7 (c)に戻って、端部が曲がったグ ラフアイト層をグラインダーなどで削って、その表面（端面）を平坦化する。その理由は 、グラフアイト層の端面と発熱体あるいは放熱体の表面の接合をより密にするためで ある。なお、この平坦ィ匕は無くてもよい。
[0024] 図 8を参照しながら別の製造方法を説明する。図 8(a)は図 7 (a)と同じブロック 64で ある。ブロック 64を積層方向に沿って切断して、複数のサブ ·ブロックを形成する。例 えば図 7 (a)の点線 A-Aに沿って垂直方向に切断する。ここまでは図 7の場合と基本 的に同じである。図 7の場合と違って、図 8 (a)では、切断面が平坦になるように切断 する。すなわち、グラフアイト層の端面が弾性層の端面から突出するようには切断しな レ、。そのために、切断に使うダイアモンドブレードの回転速度、荷重などを調整する。 切断後、ほぼ平坦な切断面を持つサブブロック（シート） 70が得られる（図 8 (b) )。切 断後のブロック中の弾性層（シリコーンエラストマ一）の表面をエッチングする。具体 的には、シート（ブロック） 70をシリコーン用エッチング液中に入れる、あるいはエッチ ング液をブロック 70の表面にスプレーする。除去するシリコーンの量は、エッチングの 時間、温度などで制御する。
[0025] 図 8 (c)にエッチング後のシート 72を示す。シリコーンエラストマ一が除去された分 だけグラフアイト層の端部が突出している。次に、グラフアイト層の端部が突出した表 面にローラーなどで圧力を加えて、その突出した端部を曲げる。その際、一つのダラ ファイト層の端部がその隣の弾性層の端面を覆うように曲げる。図 8 (d)にグラフアイト 層の端部が曲がった状態のシート 74を示す。その後、図 7 (c)の場合と同様に、端部 が曲がったグラフアイト層をグラインダーなどで削って、その表面（端面）を平坦化する 。この平坦ィ匕は無くてもよい。最終的に図 8 (e)の構造 76が得られる。なお、曲げる際 、一つのグラフアイト層の端部がその隣りの（前後の） 2つの弾性層を覆うように曲げて もよレ、。この場合、図 5に示されるグラフアイト層 50の形状 (扇形状）が得られる。
[0026] 図 9、 10を参照しながら別の製造方法を説明する。図 9 (a)で、シートの高さ（厚さ） d だけ離間した 2枚の板 80を持つ型を準備する。 PGSシート 82を板 80の一方の端面 に接合する。その際、棒 84でシート 82を板 80に押し付けて固定する。 2つの刃 86を 用いて PGSシート 82を切断する。切断方向はシート 82の表面に垂直な方向から角度 ひだけ傾いた方向である（図 9 (a) )。切断されたシート（ブロック） 88を、棒 84を用い て型の中（2つの板の間）に押し込む。押し込む際の力によって、シート'ブロック 88 の端部が、板 80の表面に沿うように曲がる（図 9 (b) )。次に未硬化の弾性材料 90を 入れる（図 9 (c) )。再び (a)と同様に PGSシート 82を板 80の一方の端面に接合する。 2つの刃 86を用いて PGSシート 82を切断する（図 9 (d) )。切断されたシート（ブロック） 92を、棒 84を用いて型の中（2つの板の間）に押し込む（図 9 (e) )。工程（a)—(e)を 繰り返して、所定数の PGSシート'ブロックと弾性層が積層された構造を得る（図 9 (f) ) 。最後に、工程 (f)で得られた構造をオーブン中で加熱する。弾性材料は硬化されて 本発明のシート 94を得る（図 9 (g) )。
[0027] 図 10を参照する。図 9の弾性材料 90の幅をより正確に制御するため、予め硬化さ せたシート状の弾性材料 94を板 80に押し付けて固定する。刃 96を用いて、弾性シ ート 94の表面と垂直方向に切断する。切断された弾性シート（ブロック）を、棒 84を用 いて型の中（2つの板の間）に押し込む。その後、隙間を坦めるために、液状の弾性 材料を注入してもよい。空気が入り気泡などができることを防ぐため、これらの工程は すべて減圧下で行ってもよい。
[0028] 上述した製造方法のいずれかを用いて作られた本発明のシート 5は、その上下の 面で発熱体の表面と放熱体の表面と接合せる。その結果、例えば図 1で示される熱 伝導モジュールができる。なお、その接合の際、より接触熱抵抗を下げるために、接 触面にグラフアイトとの親和性 (熱結合性）の良いフッ化オイルを塗布してもよい。 実施例
[0029] 図 11に本発明の方法で製造したシート（実施例）の表面 (端面）の顕微鏡写真を示 す。松下製" PGS"グラフアイトシート（型番： EYGS091310、厚さ： 0.1mm)を用いた。硬 化後のシリコーンエラストマ一の厚さは 0. 1mmであった。表面（端面）での各 PGSシー ト（グラフアイト層）の幅は、 0· 16 -0. 17mmであった。グラフアイト層は元の幅よりも 約 60— 70 /i m広力 Sつている。図 12は同じサンプルの断面の顕微鏡写真である。表 面 Cでグラフアイト層 100が曲がり、エラストマ一 200の表面を覆う"コの字"型になつ ている。表面 Cでのグラフアイト層 100の幅は約 0. 18mmとなり、元の幅よりも約 80 /i m広がっている。比較例として、同じ PGSシートを用いて、その端面（切断面）が平坦 な積層構造 (シート）を準備した。図 13はそのシートの表面の顕微鏡写真である。こ の場合、グラフアイト層は元の幅とほぼ同じ幅の 100 μ mであった。
[0030] 図 14は実施例と比較例についての熱流入率 (q)に対するシートの両面での温度差 の変化を示すグラフである。横軸は熱流入率 (q)に相当するヒーターパワー (W)であ る。縦軸はシートの両面での温度差 (°C)である。このグラフの傾きから、それぞれの 熱抵抗値を求めた。実施例の熱抵抗値は 14.6°Cmm2/W、比較例の熱抵抗値は 27.4 °Cmm2/Wであった。本発明の実施例の熱抵抗は、比較例の約半分（53%)となって いる。図 15は実施例と比較例についての厚さ（ μ m)と接触熱抵抗 (°Cmm2/W)の関 係を示すグラフである。参考として、図 15には PGSシート単体（ΙΟΟ μ πι)の接触熱抵 抗値も示している。本発明の実施例は、比較例および単体 PGSシートよりも約 10°Cm m2/W (45%)接触熱抵抗値が小さくなつてレ、る。
[0031] 本発明のシートの適用可能な範囲は広レ、。例えば本発明のシートは、マイクロプロ セッサのような小さな電子部品のみならずプラズマテレビのような大型の電気製品に も適用できる。プロセッサーのように水平方向の長さのスケールが数十 mmの場合、グ ラフアイト層（シート）の厚みは数十 n mから 100 μ mで対応できるであろう。またプラズ マテレビのように水平方向の長さのスケールが数十センチの場合は、その厚さは数 m mから 10mm程度で対応できるであろう。 [0032] 本発明について、図 1—図 15を例にとり説明をした。しかし、本発明はこれらの実施 例に限られるものではなレ、。本発明の趣旨を逸脱しなレ、範囲でレ、かなる変形も可能 であることは当業者には明らかであろう。
図面の簡単な説明
[0033] [図 1]本発明の熱伝導モジュールの一実施例の概念図である。
[図 2]図 1のシート 5部分の拡大図である。
[図 3]炭素原子が配置されたダラフェン構造を示す図である。
[図 4]本発明のグラフアイト層 50の形状の一例を示す図である。
[図 5]本発明の一実施のグラフアイト層の形状を示す図である。
[図 6]本発明の製造方法におけるブロックの形成工程を示す図である。
[図 7]本発明の製造法の一実施例を示す図である。
[図 8]本発明の製造法の一実施例を示す図である。
[図 9]本発明の製造法の一実施例を示す図である。
[図 10]本発明の製造法の一実施例を示す図である。
[図 11]本発明の方法で製造したシート (実施例）の表面 (端面）を示す図である。
[図 12]図 11のシートの断面を示す図である。
[図 13]本発明の比較例のシートの表面 (端面）を示す図である。
[図 14]熱流入率 qに対するシートの両面での温度差の変化を示す図である。
[図 15]厚さと接触熱抵抗の関係を示す図である。
符号の説明
[0034] 1 発熱体
3 発熱体
5 シート
7 放熱体
50、 66 グラフアイト層
52、 68 弾性層
60 铸型（モールド）
62 重し ブロック
サブ'ブロック（シート） エッチング後のシート
2枚の板
PGSシート
棒
2つの刃
シー卜'ブロック
未硬化の弾性材料 切断されたシート（ブロック) シート

Claims

請求の範囲
[1] 高熱伝導で柔軟なシートであって、グラフアイト層と弾性層が交互に積層され、グラフ アイト層の面方向の端部が弾性層の端部よりも突出しかつ弾性層の端部の少なくとも 一部を覆うように曲がっている、シート。
[2] 前記グラフアイト層の面方向の端部は、隣りの二つの弾性層の端部を覆うように広が つている、請求項 1のシート。
[3] 前記弾性層は、前記グラフアイト層と接着性のある樹脂材料からなる、請求項 1または
2のシート。
[4] 発熱体と、
放熱体と、
発熱体と放熱体の間に配置されたシートであって、グラフアイト層と弾性層が交互に 配置され、グラフアイト層の面方向の端部は弾性層の端部よりも突出しかつ弾性層の 端部の少なくとも一部を覆うように曲がっており、さらにグラフアイト層の面方向の一方 の端面は放熱体の表面に接し、その他方の端面は発熱体の表面に接する、熱伝導 モジユーノレ。
[5] さらに、前記発熱体と前記シートの間および前記放熱体と前記シートの間の少なくと も一方に充填材を有する、請求項 4の熱伝導モジュール。
[6] 前記充填材は、シリコーンオイル、液体金属および放熱グリースからなるグノレープの 中から選択された一つの材料からなる、請求項 5の熱伝導モジュール。
[7] 前記グラフアイト層の面方向の端部は、隣りの二つの前記弾性層の端部を覆うように 広がっている、請求項 4の熱伝導モジュール。
[8] 前記弾性層は、前記グラフアイト層と接着性のある樹脂材料からなる、請求項 5の熱 伝導モジユーノレ。
[9] 前記放熱体は ICチップを含み、前記放熱体はヒートシンクを含む、請求項 4または 5 の熱伝導モジュール。
[10] 高熱伝導で柔軟なシートの製造方法であって、
グラフアイト層と弾性層を交互に積層して一つの積層ブロックを形成するステップと 積層ブロックを積層方向に沿って切断して複数のサブ ·ブロックを形成するステップ を含み、
前記複数のサブ ·ブロックを形成するステップは、サブ 'ブロック中のグラフアイト層 の端部を弾性層の端部よりも突出させ同時に弾性層の端部の少なくとも一部を覆うよ うに曲げることを含むことを特徴とする、製造方法。
[11] 高熱伝導で柔軟なシートの製造方法であって、
グラフアイト層と弾性層を交互に積層して一つのブロックを形成するステップと、 ブロックを積層方向に沿って切断して複数のサブ 'ブロックを形成するステップと、 サブ 'ブロック中のグラフアイト層の端部を弾性層の端部よりも突出させるステップと 突出したグラフアイト層の端部を弾性層の端部の少なくとも一部を覆うように曲げる ステップと、を含む製造方法。
[12] 前記グラフアイト層の端部を曲げるステップは、グラフアイト層の端部を隣りの二つの 弾性層の端部を覆うように広げるステップを含む、請求項 11の製造方法。
[13] 高熱伝導で柔軟なシートの製造方法であって、
(a)複数のグラフアイト ·ブロックを準備するステップと、
(b)グラフアイト'ブロックの一面の端部を中央部よりも突出させるステップと、
(c)グラフアイト'ブロックの前記一面に弾性層を接合するステップと、
(d)弾性層に別のグラフアイト'ブロックを接合し、当該グラフアイト'ブロックの弾性層 との接合面とは反対の面の端部を中央部よりも突出させるステップと、
ステップ ）と（d)を予め決められたサイズの積層構造が得られるまで繰り返すステ ップと、を含む製造方法。
[14] 熱伝導モジュールの製造方法であって、
発熱体を準備するステップと、
発熱体に高熱伝導で柔軟なシートを接合するステップであって、当該シートは、グ ラフアイト層と弾性層が交互に配置され、グラフアイト層の発熱体の表面に接合する 端面は弾性層の端面よりも突出しかつ弾性層の端面の少なくとも一部を覆うように曲 がっているステップと、 前記シートに放熱体を接合するステップであって、グラフアイト層の放熱体の表面に 接合する端面は弾性層の端面よりも突出しかつ弾性層の端面の少なくとも一部を覆 うように曲がっているステップと、を含む製造方法。
さらに、前記発熱体と前記シートの間に充填材を注入するステップと、 前記放熱体 と前記シートの間に充填材を注入するステップのいずれか一方または両方を実行す る、請求項 14の製造方法。
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