WO2006115086A1

WO2006115086A1 - 電磁アクチュエータ

Info

Publication number: WO2006115086A1
Application number: PCT/JP2006/307929
Authority: WO
Inventors: Nobuhide Okada
Original assignee: Shindengen Mechatronics Co., Ltd.
Priority date: 2005-04-19
Filing date: 2006-04-14
Publication date: 2006-11-02
Also published as: JP4823554B2; US20090021334A1; JP2006303090A

Abstract

　電磁コイル１４を装着した固定磁極１１と、該固定磁極の挿通孔１２に軸方向に移動可能に設けられた可動磁極２０とを備え、可動磁極にはその移動方向に沿い先細り形状をなす凸状テーパ部２２が設けられる一方、固定磁極の挿通孔には可動磁極の凸状テーパ部と対応する凹状テーパ部１３が形成されており、固定磁極に、凹状テーパ部の開口端から軸方向に延びるように筒状の補助磁極４０が連設されている。

Description

明細書

電磁ァクチユエータ

技術分野

[0001] この発明は、負荷を駆動する電磁ァクチユエータに係り、特に電磁コイルを有する固定磁極内に可動磁極が軸方向に移動可能に設けられた電磁ァクチユエ一タに関する。

背景技術

[0002] 一般に、電子錠、プリンタ等のような機器に利用されている電磁ァクチユエータにあつては、小型でありながら大きな吸引力が得られ、また外部への漏洩磁束が少なくかつ動作音が小さいなど、種々の特性が求められる。このような電磁ァクチユエータにぉ、ては、固定磁極とプランジャとしての可動磁極との対面形状に工夫が施されてヽる（例えば、特許文献 1及び特許文献 2参照)。

例えば、図 11に示す電磁ァクチユエータは、磁性材によって略筒状に形成された固定磁極 51が電磁コイル 52を有しており、固定磁極 51の揷通孔 53内に磁性材からなる可動磁極 55が軸方向に移動可能に揷通されて、る。

そして、電磁コイル 52に直流電流が印加されると、該電磁コイル 52によって磁束が生じて、電磁コイル 52、可動磁極 55、固定磁極 51を経由する磁気回路が形成され、可動磁極 55に図示の右側から左側へ軸方向に移動する推力が働く結果、可動磁極 55が軸方向に作動することとなる。

[0003] この場合、可動磁極 55の先端部には、作動方向前方に向けて先細り形状となる凸状テーパ部 56が設けられる一方、固定磁極 51の揷通孔 53においては、その後端部 (図示の右側）が凸状テーパ部 56と対応する凹状テーパ部 57をなしており、この固定磁極 51の凹状テーパ部 57と可動磁極 55の凸状テーパ部 56とによって可動磁極 55の作動距離を長くできるようにしている。符号 58は、可動磁極 55に一体に設けられた出力軸である。

[0004] また、上記の構成を利用し、作動距離をさらに長くできるようにするため、図 12に示す電磁ァクチユエータのように、可動磁極 55の凸状テーパ部 56の角度及び固定磁極 51の凹状テーパ部 57の角度をそれぞれ小さくし、各々のテーパ部 56、 57が軸方向により長く形成されることで、可動磁極 55の作動距離を長くできるようにしたものもある。

特許文献 1 :実用新案登録第 2526713号公報

特許文献 2：特開平 9 - 17630号公報

発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0005] 上述したように、図 11及び図 12に示す例では、可動磁極 55及び固定磁極 51にテーパ部 56、 57がそれぞれ設けられることで可動磁極 55の作動距離を大きくできるようにしているから、そのテーパ部 56, 57の角度を小さくするには限界があり、今日のように、つそう大きな作動距離を得る要請には対応し難!、と!/、う問題があった。

そのため、直線駆動型のソレノイドの代わりに回転型ソレノイドやモータを用いると共に、これら回転機構に回転-直線変換機構を組み合わせて、回転運動を直線運動に変換するものなどを用いることで大きな作動距離を得るようにして、るものもある力そのようにした場合、内部構造がそれだけ複雑になるば力りでなぐ全体が著しく大型化すると!ヽぅ問題があった。

特に、電子錠、プリンタ等のような機器に利用される電磁ァクチユエータにあっては近年著しく小型化されており、その中でより大きな作動距離を得るものが望まれていた。

[0006] この発明は、このような事情を考慮してなされたもので、特別の変換機構などを組み合わせることなぐ簡単な構成で作動距離をより確実に大きくすることができ、しかも可動磁極を安定して作動させることができる電磁ァクチユエータを提供することを目的とする。

課題を解決するための手段

[0007] 上記目的を達成するために、この発明は以下の手段を提案している。

すなわち、本発明は、軸方向に揷通孔を有すると共に、電磁コイルを装着した固定磁極と、該固定磁極の揷通孔に軸方向に移動可能に設けられた可動磁極とを備えてなり、これら固定磁極又は可動磁極の一方に、可動磁極の移動方向に沿い他方に向けて突出する凸状磁極部が設けられ、他方に、前記凸状磁極部と対応する凹状磁極部が形成されている電磁ァクチユエータであって、前記凹状磁極部に、その開口端力軸方向に延びるように補助磁極が連設されて、ることを特徴とする。

これにより、電磁コイルへ給電されたとき、凹状磁極部と凸状磁極部との間の軸方向の距離が大きくても、補助磁極が凹状磁極部カゝら延長するように設けられているため、該補助磁極を経由して凹状磁極部と凸状磁極部との間で磁束が発生することにより可動磁極を作動させることができる。つまり、固定磁極と可動磁極との間で二系統の磁束を生じさせ、作動の初期の段階では補助磁極と凸状磁極部との間での磁束によって可動磁極を移動させ、後半には、凹状磁極部と凸状磁極部との間でも磁束を生じさせるのである。

なお、この凸状磁極部、凹状磁極部としては、テーパ状、段付き状等のものを採用することができる。

この場合、補助磁極は凹状磁極部の開口端を延長するように設けられているため、その補助磁極内に凸状磁極部が進入した状態となると、補助磁極と凸状磁極部との間に磁束が半径方向に生じ、これにより、可動磁極に作用する磁力が、その移動方向と共に半径方向にも分散されてしまうため、その分、推力が減少することとなる。そこで、この推力の減少を抑えることが必要な場合には、前記凹状磁極部と前記補助磁極との間に非磁性体を介在させた構成とするとよい。

このような構成とすること〖こより、凸状磁極部が補助磁極内に進入した際には、凸状磁極部と補助磁極との間を通る半径方向の磁束は小さいため、凸状磁極部と凹状磁極部間の磁束が支配的に作用して、大きな推力を生じさせることができる。もちろん、凹状磁極部に対して補助磁極が延長するように設けられているので、凹状磁極部と凸状磁極部との距離が離れている状態においては、凸状磁極部と補助磁極との間で磁力が作用するので、大きな作動距離を確保することができる。

非磁性体としては、非磁性材料力も構成したリング状のものを用いてもよいし、凹状磁極部と補助磁極との間に隙間を設けて、そのエアギャップを非磁性体としてもょヽなお、前記補助磁極は、周方向側に複数に分割した構成としてもよい。 [0009] この発明によれば、凹状磁極部を延長するように補助磁極を連設したので、凹状磁極部と凸状磁極部との距離が大きくても、補助磁極を介して凸状磁極部に磁力を作用させることができ、特別の変構などを具備させることなぐ簡単な構成で作動距離を確実に大きくすることができる効果が得られ、また電磁ァクチユエータ全体の小型化を実現できる

という効果も得られる。

また、凹状磁極部と補助磁極との間に非磁性体を設けた構成とすることにより、作動距離の後半において可動磁極に対する推力が減少することを抑制し得て、全ての作動範囲に亘つて良好な推力が得られる結果、大きな負荷にも可動磁極を安定して作動させることができ、それだけ汎用性を高めることができる効果が得られる。

図面の簡単な説明

[0010] [図 1]この発明の第 1の実施の形態に係る電磁ァクチユエータを示す断面図である。

[図 2]図 1に示す電磁ァクチユエータの初期状態と磁束との関係を示す説明図である

[図 3]図 1に示す電磁ァクチユエータの作動途中の状態と磁束との関係を示す説明図である。

[図 4]図 3に示す状態からさらに可動磁極が移動した状態と磁束との関係を示す説明図である。

[図 5]この発明の第 2の実施の形態に係る電磁ァクチユエータを示す断面図である。

[図 6]図 5に示す電磁ァクチユエータの初期状態と磁束との関係を示す説明図である

[図 7]図 5に示す電磁ァクチユエータの作動途中の状態と磁束との関係を示す説明図である。

[図 8]図 7に示す状態からさらに可動磁極が移動した状態と磁束との関係を示す説明図である。

[図 9]図 8に示す状態力さらに可動磁極が移動した状態と磁束との関係を示す説明図である。

[図 10]各実施形態の電磁ァクチユエータの作動距離—推力特性線図である。 [図 11]第 1の従来例の電磁ァクチユエータを示す断面図である。

[図 12]第 2の従来例の電磁ァクチユエータを示す断面図である。

発明を実施するための形態

[0011] 以下、図面を参照し、この発明の実施の形態について説明する。

図 1から図 4はこの発明の第 1の実施の形態に係る電磁ァクチユエータを示す図であって、図 1は電磁ァクチユエータの断面図、図 2から図 4は電磁ァクチユエ一タの作動状態と磁束との関係を順に示す説明図である。

図 1において、この電磁ァクチユエータ 10は、固定磁極 11と、該固定磁極 11に軸方向に移動可能に設けられた可動磁極 20とを備えて、る。

固定磁極 11は、磁性材カゝらなっていて略筒状に形成されており、その内部に軸方向に沿う揷通孔 12が形成されている。該揷通孔 12は、可動磁極 20の作動方向に沿う先端側（図示の左側）が最も小径をなし、そこから後部（図示の右側）に至るに従い次第に拡径された凹状テーパ部（凹状磁極部） 13を有している。

[0012] また、固定磁極 11に連設して筒状の電磁コイル 14が装着されてヽる。該電磁コィル 14は、固定磁極 11及び可動磁極 20間で磁束を発生させて可動磁極 20を固定磁極 11の軸方向に吸引作動させるためのものであり、コイル線 15が卷枠としての筒状のボビン 16に卷回されると共に、そのボビン 16が固定磁極 11の後端にさらに後方に向力よう軸方向に沿って装着されて、る。電磁コイル 14と固定磁極 11との組付けに際しては、電磁コイル 14が磁性材カもなる格納筒 17の内周部に取り付けられ、その格納筒 17が固定磁極 11の後部に取り付けられると共に、電磁コイル 14の内周側に非磁性の薄肉体力ゝらなる摺動筒 18が設けられることで、電磁コイル 14が固定磁極 11に装着される。格納筒 17及び摺動筒 18の後端が電磁コイル 14のさらに後方位置で終端輪 19に支持されている。つまり、固定磁極 11及び終端輪 19の間に電磁コィル 14が装着されている。

[0013] 一方、可動磁極 20は、固定磁極 11と同様磁性材によって構成されており、全体として略円柱状をなすと共に、先端部（図示左側）が固定磁極 11における凹状テーパ部 13に対応する凸状テーパ部（凸状磁極部） 22として形成され、該凸状テーパ部 2 2の後端側の最も太い部分がそのままの大きさで軸方向に適宜の長さをなして小径部 23とされ、その小径部 23の後端部にそれより大きな径の大径部 24が設けられ、該大径部 24の後端側が前記終端輪 19を挿通することで、固定磁極 11の後方に突出している。その大径部 24が前記摺動筒 18の内径よりわずかに小さい外径を有して、該摺動筒 18内を摺動するようになっており、この大径部 24の先端に前記小径部 23、該小径部 23の先端に先細り形状の凸状テーパ部 22が設けられる。

[0014] この可動磁極 20は、電磁コイル 14への通電によって磁束が生じたとき、電磁コイル 14と可動磁極 20と固定磁極 11との間で磁気回路が形成されることで、固定磁極 11 の揷通孔 12内で図示右側力も左方向に吸引移動される。したがって、可動磁極 20 は、右側から左側へ移動する作動方向となる。

なお、図 1では、作動終了時点よりもわずかに両磁極 11、 20を離した状態に描かれている。また、電磁コイル 14に対する通電が遮断された時点では、図示しないパネ (例えば負荷側に設けられる）の弾性力により、可動磁極 20が図 1におヽて右方向に復帰するようになって!/、る。

[0015] また、可動磁極 20における凸状テーパ部 22の先端中央部には出力軸 25がー体に取り付けられ、該出力軸 25が固定磁極 11の揷通孔 12の先端部を揷通して固定磁極 11の外方に突出している。固定磁極 11の揷通孔 12の開口端部（図 1の左側端部）には、出力軸 25を摺動自在に支持する軸受 30が設けられている。

さらに、可動磁極 20の後部においては、可動磁極 20が作動したとき、その可動磁極 20の作動距離を規制すると共に、作動音を小さくさせるための緩衝輪 31が設けられ、該緩衝輪 31よりも後方位置の可動磁極 20の外周には E型の留め輪 32が装着されている。この留め輪 32は作動終了時点で緩衝輪 31に当接される。

[0016] そして、この電磁ァクチユエータ 10においては、固定磁極 11の後端に筒状の補助磁極 40がー体に設けられている。この補助磁極 40は、固定磁極 11の後端部が可動磁極 20の小径部 23の外周まで張り出すように、電磁コイル 14の軸方向の途中位置まで後方に延長して形成されている。つまり、補助磁極 40は、固定磁極 11の凹状テーパ部 13の後端カも該固定磁極 11を延長するように筒状に形成されており、その内径が可動磁極 20の小径部 23より若干大きく設定されて、該小径部 23と電磁コイル 1 4との間に形成されるリング状の空間 35内に配置されるように設けられている。 [0017] 上記のように構成された電磁ァクチユエータ 10は、初期状態においては、図 2に示すように、図示しないパネの弾性力によって、可動磁極 20が固定磁極 11から離れた位置、図 2では右側に寄った位置に配置される。

この状態にあるとき、電磁コイル 14に直流電流が印加して給電されると、可動磁極 20が前記パネの弾性力に抗し、矢印 Pに示すように右側から左側に吸引される。

[0018] この図 2に示す状態では、固定磁極 11の凹状テーパ部 13と可動磁極 20の凸状テーパ部 22との間の距離が最も大きくなつている力固定磁極 11に一体に形成されて V、る筒状の補助磁極 40が後方位置まで張り出して、可動磁極 20に近くなつて、るので、該補助磁極 40と可動磁極 20の凸状テーパ部 22との間の間隔力固定磁極 11 の凹状テーパ部 13と可動磁極 20の凸状テーパ部 22との間の距離に比べて十分に小さぐこの補助磁極 40と可動磁極 20の凸状テーパ部 22との間を矢印 flで示すように経由して、固定磁極 11、格納筒 17、終端輪 19、可動磁極 20の大径部 24及び小径部 23を通る磁束が発生する結果、可動磁極 20が作動し始めることとなる。

[0019] 次いで、可動磁極 20が作動するに伴い、図 3に示すように、可動磁極 20の凸状テーパ部 22と固定磁極 11の凹状テーパ部 13との間の距離が次第に小さくなり、それら両テーパ部 22、 13間においても矢印 f2で示すように磁束が流れ、これが次第に増加しながら可動磁極 20の作動が継続して行われる。この場合においても、可動磁極 20の凸状テーパ部 22と固定磁極 11の補助磁極 40との間でも矢印 flで示すように磁束が流れ続ける。

つまり、固定磁極 11と可動磁極 20との間に、補助磁極 40と凸状テーパ部 22との間の磁束 flと、凹状テーパ部 13と凸状テーパ部 22との間の磁束 f 2との二系統の磁束が生じること〖こなる。

[0020] その後、可動磁極 20の作動がさらに進み、図 4に示すように、可動磁極 20の凸状テーパ部 22が固定磁極 11の凹状テーパ部 13に当接するように近づくに従、、可動磁極 20の凸状テーパ部 22と固定磁極 11の凹状テーパ部 13との間を流れる磁束 (f 2)がさらに増加する。そして、可動磁極 20の凸状テーパ部 22が固定磁極 11の凹状テーパ部 13と略当接する位置まで作動し、留め輪 32が緩衝輪 31に当接した時点で、可動磁極 20がその位置で停止することとなる。なお、図 2から図 4に fl、 f2で示す矢印は、磁束の増加に伴ってその太さを変えている。また、このようにして可動磁極 20を作動させた後、電磁コイル 14に対する通電が遮断されると、可動磁極 20に対する吸引力が解除されるので、図示しないパネの弾性力により可動磁極 20が図 2に示す元の位置に復帰することとなる。

[0021] このように、固定磁極 11の凹状テーパ部 13と可動磁極 20の凸状テーパ部 22との間の軸方向の距離が大きぐその間で磁束が発生することがなくとも、固定磁極 11の後方に延びる補助磁極 40と可動磁極 20との間で図 2の矢印 flで示すように磁束が発生することで可動磁極 20を作動させることができるので、長、作動距離を要する場合であっても、作動の開始を確実に行わせることができる。

そのため、従来技術のように、それぞれのテーパ部 13、 22の形状を軸方向に著しく長くする必要がないば力りでなぐ特別の変構などを具備させることが不要になる。しかも、固定磁極 11の一部を延長させて補助磁極 40を設けるだけの簡単な構成であり、電磁ァクチユエータ 10全体の小型化を阻害することがない。

[0022] 因みに、この実施の形態に係る電磁ァクチユエータの特性を測定したところ、図 10 の曲線 Aに示す結果となった。図 10は、横軸に可動磁極のストローク (作動距離)を、縦軸に可動磁極に対する推力の大きさをそれぞれとった作動距離一推力特性線図であり、図中の曲線 Aが本実施形態の電磁ァクチユエータ 10の特性を示し、曲線 Bは図 11に示す第 1の従来技術の特性を、曲線 Cは図 12に示す第 2の従来技術の特性をそれぞれ表し、 Lは負荷 (パネ）の大きさを表して、る。

図 10において、曲線 Bでは、約 9mmのストローク以上になると、負荷 Lよりも推力が小さくなるので、作動することができず、約 9mm以内のストロークにしか適用できない。曲線 Cでは、曲線 Bに比較すると、作動距離を大きくとれ、約 16mmまでストロークが延びるものの、それ以上のストロークには対応できない。

[0023] これらに対し、曲線 Aでは、この作動距離一推力特性線図の範囲内のストローク 30 mmまでは、負荷 Lよりも常に大きな推力が得られることが理解できる。したがって、この電磁ァクチユエータ 10によれば、作動距離を確実に大きくすることができ、し力も作動距離が大きくなつても、可動磁極 20を安定して作動できる。

[0024] 図 5から図 9は、この発明の第 2の実施の形態に係る電磁ァクチユエータを示している。この実施形態の電磁ァクチユエータ 50において、前記第 1の実施形態のものと異なるのは、固定磁極 11から筒状の補助磁極 41を分離して、該固定磁極 11と補助磁極 41との間に、非磁性体 42を設けた点にある。

即ち、非磁性体 42は、環状をなしており、その後端部に、筒状の補助磁極 41の先端部を嵌合する環状凹部 43が形成されると共に、自身は固定磁極 11の後端部に形成された環状凹部 44に嵌合されることにより、固定磁極 11、非磁性体 42、補助磁極 41がこの順で一体化されている。その他の図 1と同一部分には図 5から図 9においても同一符号を付している。

[0025] ところで、第 1の実施の形態における電磁ァクチユエータ 10においては、補助磁極 40を経由して磁束が発生するために、図 10の曲線 Aに示したように、可動磁極 20の作動距離の範囲内において負荷 Lより大きな推力が得られるようになっているが、可動磁極 20の小径部 23が固定磁極 11の補助磁極 40内に進入した後は、図 4の矢印 flに示すように、可動磁極 20の小径部 23と補助磁極 40との間で磁束が半径方向に発生する形態となる。

[0026] したがって、可動磁極 20の凸状テーパ部 22が固定磁極 11の凹状テーパ部 13に近づくにつれ、両テーパ部 22、 13間を通る磁束 (f 2)の量は増大するものの、可動磁極 20に対する半径方向の吸引力の影響によって軸方向の推力が低減することになり、図 10における曲線 Aのストローク 7mm付近、具体的には 4〜9mm付近に示されるように推力が落ち込んでしまう。

これに対して、第 2の実施の形態に係る電磁ァクチユエータ 50の場合は、前述したように固定磁極 11と補助磁極 41との間にこれらを分断するように非磁性体 42が設けられているため、該非磁性体 42によって可動磁極 20の小径部 23から補助磁極 41を経由する磁束を抑制することができる。

[0027] すなわち、図 6から図 9に基づき説明すると、図 6に示す初期位置では電磁コイル 1 4への通電によって可動磁極 20の凸状テーパ部 22と補助磁極 41との間で矢印 flで示すように磁束が生じて可動磁極 20が吸引される。この磁束 flは、補助磁極 41と固定磁極 11との間に非磁性体 42が介在していることにより、第 1実施形態のものより小さくなる。次いで、図 7に示すように可動磁極 20の凸状テーパ部 22が固定磁極 11の凹状テーパ部 13に接近すると、これら両テーパ部 22、 13間でも矢印 f 2で示すように磁束が生じる。さらに、図 8に示すように可動磁極 20の凸状テーパ部 22が補助磁極 41内に進入して、可動磁極 20と固定磁極 11との両テーパ部 22、 13間の磁束が強められていき、図 9に示すように、両テーパ部 22、 13間の距離が小さくなるにつれ、補助磁極 41と可動磁極 20との間の比較的小さい磁束 (fl)に比べて、両テーパ部 2 2、 13間の磁束 (f2)の方が十分支配的となり、可動磁極 20に対して作動距離の末端側まで大きな推力を作用させることができるのである。

[0028] この一連の工程における推力の変化を図 10に曲線 Dで示す。この曲線 Dで明らかなように、固定磁極 11と可動磁極 20との離間距離が大きい状態のときは、例えばストローク 20mm付近においては、可動磁極 20と補助磁極 41との間に生じる磁束 (fl) が第 1実施形態のものより小さいことから、第 1実施形態の曲線 Aよりも第 2実施形態の曲線 Dの方が推力が小さくなるが、第 1実施形態の場合には推力が落ち込むスト口ーク 4mn！〜 9mm付近では、その落ち込み量が小さくなつて、逆に、第 2実施形態の曲線 Dの方が推力が大きくなる。これは、非磁性体 42の存在によって補助磁極 41を経由する磁束 (fl)が少なくなることにより、前述したように、補助磁極 41内に可動磁極 20が進入したときに作用する半径方向の吸引力よりも、可動磁極 20と固定磁極 1 1との両テーパ部 22、 13間の軸方向の吸引力が支配的となるためである。

[0029] したがって、図 10の作動距離—推力特性線図に曲線 Dで示すように、ストローク 30 mmまでの範囲内では、その全範囲で十分に安定した作動を行わせることができる。また、このような推力特性の結果、負荷が大きくなつても良好に作動させることができ、図 10において負荷を L力も L1へと上昇させた場合でも、ストローク 30mmまでの全範囲で推力の方が上回り、より大きな負荷に対しても長いストロークを確保することができる。

なお、固定磁極 11及び可動磁極 12の両テーパ部の傾斜角度、小径部の大きさ、補助磁極の厚さ及びその軸方向の長さ等の寸法を変えることで特性を調整することができるのは勿論である。また、前記各実施形態では、テーパ状に形成しているが、必ずしもテーパ状でなくでもよぐ凸状、又は凹状の段付き形状のものでもよい。請求項では、これらテーパ状のもの、段付き形状のもの等を凸状磁極部、凹状磁極部といまた、前記実施形態では、固定磁極に凹状磁極部、可動磁極に凸状磁極部としたが、逆に、固定磁極に凸状磁極部、可動磁極に凹状磁極部としてもよぐその場合には、可動磁極に補助磁極が設けられる。

また、前記各実施形態の例では補助磁極を筒状に形成したが、凹状磁極部に対して、軸方向に延長するように形成されるものであれば必ずしも筒状でなくともよぐ例えば、周方向側に分割して、断面円弧状等のものを周方向に複数配置する構成としてもよい。

Claims

請求の範囲

[1] 軸方向に揷通孔を有すると共に、電磁コイルを装着した固定磁極と、該固定磁極の揷通孔に軸方向に移動可能に設けられた可動磁極とを備えてなり、これら固定磁極又は可動磁極の一方に、可動磁極の移動方向に沿い他方に向けて突出する凸状磁極部が設けられ、他方に、前記凸状磁極部と対応する凹状磁極部が形成されている電磁ァクチユエータであって、

前記凹状磁極部に、その開口端力軸方向に延びるように補助磁極が連設されて

V、ることを特徴とする電磁ァクチユエータ。

[2] 請求項 1記載の電磁ァクチユエータにおいて、

前記凹状磁極部と前記補助磁極との間に非磁性体を介在させたことを特徴とする電磁ァクチユエータ。

[3] 請求項 2記載の電磁ァクチユエータにおいて、

前記補助磁極は周方向側に複数に分割されていることを特徴とする電磁ァクチュェ¹ ~~タ.