WO2006109463A1

WO2006109463A1 - 診断プログラム、切替プログラム、試験装置、および診断方法

Info

Publication number: WO2006109463A1
Application number: PCT/JP2006/305679
Authority: WO
Inventors: Satoshi Iwamoto
Original assignee: Advantest Corporation
Priority date: 2005-03-30
Filing date: 2006-03-22
Publication date: 2006-10-19
Also published as: US7802140B2; US20060224926A1; KR100919942B1; KR20070121020A; TW200634507A; JP2006275986A; MY141134A; CN101147074A; DE602006010685D1; TWI403894B; EP1876458A1; EP1876458B1; EP1876458A4

Abstract

　試験装置の制御装置により試験モジュールを診断させる診断プログラムであって、診断対象試験モジュールを診断させる対象診断ソフトウェアモジュールと、診断対象試験モジュールに対して診断用信号を出力させるべく非診断対象試験モジュールを制御させる診断用信号入出力ソフトウェアモジュールと、対象診断ソフトウェアモジュールからの呼び出しを受けたことに応じて、非診断対象試験モジュールの種類に応じた診断用信号入出力ソフトウェアモジュールを特定させる種類特定ソフトウェアモジュールと、特定された診断用信号入出力ソフトウェアモジュールを呼び出し、非診断対象試験モジュールから診断対象試験モジュールに対して診断用信号を出力させる呼出先切替ソフトウェアモジュールとを備える診断プログラムを提供する。

Description

明細書

診断プログラム、切替プログラム、試験装置、および診断方法

技術分野

[0001] 本発明は、診断プログラム、切替プログラム、試験装置、および診断方法に関する。

特に本発明は、試験信号を被試験デバイスに供給する複数の試験モジュールと、複数の試験モジュールを制御する制御装置とを備える試験装置にぉ、て、試験モジュールを診断するための診断プログラム、切替プログラム、試験装置、および診断方法に関する。

本出願は、下記の日本出願に関連する。文献の参照による組み込みが認められる指定国については、下記の出願に記載された内容を参照により本出願に組み込み、本出願の一部とする。

1.特願 2005— 100018 出願日 2005年 03月 30日

背景技術

[0002] メモリ、ロジック LSI、又は SoC (System on Chip)等の DUT (Device Under Test:被試験デバイス)を試験する試験装置は、一例として、 DUTの入力端子に対して試験信号を供給し、試験信号に応じて出力端子力出力される出力信号を期待値と比較することにより DUTの良否を判定する。従来の試験装置においては、 DUT との間で信号を入出力する試験モジュールの種類は、当該試験モジュールを試験装置本体に挿入するスロット位置に応じて固定的に定められていた。

[0003] 試験装置は、異常有無を判定することを目的として診断機能を有する。試験装置は、診断の過程において、各試験モジュールの機能に異常があるかどうかについても診断する。診断対象の試験モジュールの診断においては、当該試験モジュールが出力した診断用信号を他の試験モジュールに入力して期待値と比較し、他の試験モジュールが出力した診断用信号を当該試験モジュールに入力して期待値と比較する等の入出力試験等を行う。

[0004] 従来、試験装置の障害有無を検出することを目的として、試験装置の制御装置上で診断プログラムを実行し、試験装置の各部を診断する方法が用いられる。ここで、従来の試験装置においては、各スロットに挿入される試験モジュールの種類は予め定められている。このため従来においては、診断対象の試験モジュールを診断する対象診断プログラムは、診断対象の試験モジュールと既知の他の試験モジュールとの間で診断用信号を入出力させていた。すなわち、当該対象診断プログラムは、予め定められた種類の他の試験モジュールを制御する診断用信号入出力プログラムを呼び出すことにより、当該他の試験モジュールと診断対象の試験モジュールの間で診断用信号の入出力を行っていた。

[0005] これに対し、近年、試験装置の構成の自由度を高めることを目的として、例えば非特許文献 1に示す OPENSTAR (登録商標）等のオープンアーキテクチャが提案されている。

非特許文献 1 : Semiconductor Test Consortium, "STC ANNOUNCES PUBLIC ACC ESS TO THE OPENSTAR(tm) SPECS", [online],平成 16年 12月 7日、 [平成 17年 3 月 16日検索]、インターネットく URL:http：〃 www.semitest.org/site/News/STC— Spec— Open— to— Public

発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0006] オープンアーキテクチャを採用する試験装置の場合、試験装置の各スロットには、オープンアーキテクチャに基づく各種の試験モジュールを搭載することができる。このような試験装置において、従来と同様にして診断対象の試験モジュールの対象診断プログラム力予め定められた種類の他の試験モジュールを制御する診断用信号入出力プログラムを呼び出すようにプログラムした場合、試験装置が搭載する他の試験モジュールが変更されると適切な診断ができなくなる。したがって、他の試験モジュールを変更する度に、対象診断プログラムを変更する必要が生じていた。

[0007] そこで本発明は、上記の課題を解決することのできる診断プログラム、切替プロダラム、試験装置、および診断方法を提供することを目的とする。この目的は請求の範囲における独立項に記載の特徴の組み合わせにより達成される。また従属項は本発明の更なる有利な具体例を規定する。

課題を解決するための手段 [0008] 本発明の第 1の形態によると、試験信号を被試験デバイスに供給する複数の試験モジュールと、前記複数の試験モジュールを制御する制御装置とを備える試験装置にお 1ヽて、前記制御装置により前記試験モジュールを診断させる診断プログラムであつて、診断対象となる診断対象試験モジュールを前記制御装置により診断させる対象診断ソフトウェアモジュールと、診断対象でな!、非診断対象試験モジュールの種類毎に設けられ、前記診断対象試験モジュールに対して診断用信号を出力させ、または前記診断対象試験モジュールが出力する診断用信号を入力させるベく前記非診断対象試験モジュールを前記制御装置により制御させる診断用信号入出力ソフトウェアモジュールと、前記非診断対象試験モジュールとの間で前記診断用信号を入力または出力することを指示する呼び出しを前記対象診断ソフトウェアモジュールから受けたことに応じて、当該非診断対象試験モジュールの種類に応じた前記診断用信号入出力ソフトウェアモジュールを前記制御装置により特定させる種類特定ソフトウェアモジュールと、前記種類特定ソフトウエアモジュールにより特定された前記診断用信号入出力ソフトウェアモジュールを前記制御装置により呼び出させ、当該非診断対象試験モジュールにより前記診断対象試験モジュールから前記診断用信号を入力させ、または前記診断対象試験モジュールに対して前記診断用信号を出力させる呼出先切替ソフトウェアモジュールとを備える診断プログラムを提供する。

[0009] 前記種類特定ソフトウェアモジュールは、前記制御装置上に記憶された、前記試験装置が備える前記複数の試験モジュールのそれぞれに応じた前記診断用信号入出力ソフトウェアモジュールを識別するソフトウェアモジュール識別情報を格納する構成ファイルを検索し、前記非診断対象試験モジュールに応じた前記診断用信号入出力ソフトウェアモジュールの識別情報を読み出してもよい。

[0010] 前記試験装置が備える前記複数の試験モジュールのそれぞれについて、当該試験モジュール内に記憶された当該試験モジュールの種類を識別する種類識別情報を前記制御装置により読み出させる種類識別情報読出ソフトウェアモジュールと、前記試験装置が備える前記複数の試験モジュールのそれぞれにつ、て、前記種類識別情報読出ソフトウェアモジュールが読み出した前記種類識別情報に基づいて、当該試験モジュールに応じた前記診断用信号入出力ソフトウェアモジュールを識別するソフトウェアモジュール識別情報を前記構成ファイルに格納する構成ファイル書込ソフトウェアモジュールとを更に備えてもよ、。

[0011] 一の前記非診断対象試験モジュールが 2以上の前記診断用信号入出力ソフトゥェァモジュールを前記制御装置上で実行させることにより前記診断用信号を入力または出力する場合において、前記呼出先切替ソフトウェアモジュールは、当該非診断対象試験モジュールとの間で前記診断用信号を入力または出力することを指示する呼び出しに応じて、当該 2以上の前記診断用信号入出力ソフトウェアモジュールを前記制御装置により順次呼び出させてもよい。

[0012] 本発明の第 2の形態によると、試験信号を被試験デバイスに供給する複数の試験モジュールと、前記複数の試験モジュールを制御する制御装置とを備える試験装置において、診断対象となる診断対象試験モジュールを前記制御装置により診断させる対象診断ソフトウェアモジュールカゝら呼び出される、診断対象でなヽ非診断対象試験モジュールを前記制御装置により制御させる診断用信号入出力ソフトウェアモジュールを切り替える切替プログラムであって、前記診断用信号入出力ソフトウェアモジユールは、診断対象でない非診断対象試験モジュールの種類毎に設けられ、前記診断対象試験モジュールに対して診断用信号を出力させ、または前記診断対象試験モジュールが出力する診断用信号を入力させるベく前記非診断対象試験モジュールを前記制御装置により制御させるものであり、当該切替プログラムは、前記非診断対象試験モジュールとの間で前記診断用信号を入力または出力することを指示する呼び出しを前記対象診断ソフトウェアモジュール力受けたことに応じて、当該非診断対象試験モジュールの種類に応じた前記診断用信号入出力ソフトウェアモジュールを前記制御装置により特定させる種類特定ソフトウェアモジュールと、前記種類特定ソフトウェアモジュールにより特定された前記診断用信号入出力ソフトウェアモジユールを前記制御装置により呼び出させ、当該非診断対象試験モジュールにより前記診断対象試験モジュールから前記診断用信号を入力させ、または前記診断対象試験モジュールに対して前記診断用信号を出力させる呼出先切替ソフトウェアモジュ一ルとを備える切替プログラムを提供する。

[0013] 本発明の第 3の形態によると、被試験デバイスを試験する試験装置であって、試験信号を被試験デバイスに供給する複数の試験モジュールと、前記複数の試験モジュールを制御する制御装置とを備え、前記制御装置は、前記試験モジュールを診断する診断プログラムを実行することにより、診断対象となる診断対象試験モジュールを診断する対象診断部と、診断対象でな!、非診断対象試験モジュールの種類毎に設けられ、前記非診断対象試験モジュールから前記診断対象試験モジュールに対して診断用信号を出力させ、または前記診断対象試験モジュールが出力する診断用信号を前記非診断対象試験モジュールにより入力させる診断用信号入出力部と、前記非診断対象試験モジュールとの間で前記診断用信号を入力または出力することを指示する呼び出しを前記対象診断部から受けたことに応じて、当該非診断対象試験モジュールの種類に応じた前記診断用信号入出力部を特定する種類特定部と、前記種類特定部により特定された前記診断用信号入出力部を呼び出して、当該非診断対象試験モジュールにより前記診断対象試験モジュールから前記診断用信号を入力させ、または前記診断対象試験モジュールに対して前記診断用信号を出力させる呼出先切替部として機能する試験装置を提供する。

本発明の第 4の形態によると、試験信号を被試験デバイスに供給する複数の試験モジュールと、前記複数の試験モジュールを制御する制御装置とを備える試験装置にお 1、て、前記制御装置により前記試験モジュールを診断させる診断方法であって、診断対象となる診断対象試験モジュールを前記制御装置により診断させる対象診断段階と、診断対象でない非診断対象試験モジュールの種類毎に設けられ、前記診断対象試験モジュールに対して診断用信号を出力させ、または前記診断対象試験モジュールが出力する診断用信号を入力させるベく前記非診断対象試験モジュールを前記制御装置により制御させる診断用信号入出力段階と、前記非診断対象試験モジュールとの間で前記診断用信号を入力または出力することを前記対象診断段階力指示されたことに応じて、当該非診断対象試験モジュールの種類に応じた前記診断用信号入出力段階を前記制御装置により特定させる種類特定段階と、前記種類特定段階により特定された前記診断用信号入出力段階の処理を前記制御装置により行わせ、当該非診断対象試験モジュールにより前記診断対象試験モジユールから前記診断用信号を入力させ、または前記診断対象試験モジュールに対して前記診断用信号を出力させる呼出先切替段階とを備える診断方法を提供する。

[0015] なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではなぐこれらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。

発明の効果

[0016] 本発明によれば、試験装置に搭載する試験モジュールによらず適切な診断処理を行うことができる診断プログラムを提供することができる。

図面の簡単な説明

[0017] [図 1]本発明の実施形態に係る試験装置 10の構成を示す。

[図 2]本発明の実施形態に係るサイト制御装置 130の構成を示す。

[図 3]本発明の実施形態に係るサイト制御装置 130上で動作する診断プログラム 20 の構成を示す。

[図 4]本発明の実施形態に係る診断プログラム 20による構成ファイル 330の作成フロ一を示す。

[図 5]本発明の実施形態に係る診断プログラム 20による試験装置 10の診断フローを示す。

[図 6]本発明の実施形態に係る診断プログラム 20による S510の動作フローの前半部分を示す。

[図 7]本発明の実施形態に係る診断プログラム 20による S510の動作フローの後半部分を示す。

符号の説明

[0018] 10 試験装置

20 診断プログラム

100a〜b DUT

110 システム制御装置

120 通信ネットワーク

130a〜c サイト制御装置

140 バススィッチ

150a〜b 同期モジユーノレ 160a〜b 同期接続モジュール

170a〜b 試験モジュール

180 ロードボード

300a〜b 対象診断 SWモジュール

310a〜b 診断用信号入出力 SWモジュ

320 切替 SWモジュール

322 種類識別情報読出 SWモジュール

324 構成ファイル書込 SWモジュール

326 種類特定 SWモジュール

328 呼出先切替 SWモジュール

330 構成ファイル

340 診断制御 SWモジュール

1900 コンピュータ

2000 CPU

2010 ROM

2020 RAM

2030 通信インターフェイス

2040 ハードディスクドライブ

2050 フレキシブルディスク ·ドライブ

2060 CD— ROMドライブ

2070 入出力チップ

2075 グラフィック 'コントローラ

2080 表示装置

2082 ホスト.コントローラ

2084 入出力コントローラ

2090 フレキシブルディスク

2095 CD-ROM

発明を実施するための最良の形態 [0019] 図 1は、本実施形態に係る試験装置 10の構成を示す。試験装置 10は、試験信号を生成して DUTIOO (Device Under Test:被試験デバイス）に供給し、 DUTIO 0が試験信号に基づいて動作した結果出力する出力信号が期待値と一致するか否かに基づいて DUT100の良否を判断する。本実施形態に係る試験装置 10は、ォープンアーキテクチャにより実現され、 DUT100に試験信号を供給する試験モジユール 170等として、オープンアーキテクチャに基づく各種のモジュールを用いることができる。

[0020] 試験装置 10は、システム制御装置 110と、通信ネットワーク 120と、サイト制御装置 130a〜cと、バススィッチ 140と、同期モジュール 150a〜bと、同期接続モジュール 1 60a〜bと、試験モジユーノレ 170a〜bと、ロード、ボード、 180とを備免、 DUT100a〜b に接続される。同期モジュール 150a〜b、同期接続モジュール 160a〜b、および試験モジュール 170a〜bは、本発明に係る試験モジュールの一例である。

[0021] システム制御装置 110は、試験装置 10が DUT100a〜bの試験に用いる試験制御プログラム、試験プログラム及び試験データ等と、試験装置 10の内部を診断するための診断プログラム等とを外部のネットワーク等を介して受信し、格納する。通信ネットワーク 120は、システム制御装置 110、サイト制御装置 130a〜c、及び試験エミユレート装置 190を接続し、これらの間の通信を中継する。

[0022] サイト制御装置 130a〜cは、本発明に係る制御装置の一例であり、同期モジユール 150、同期接続モジュール 160、及び試験モジュール 170を制御することにより D UT100の試験を制御する。ここで、複数のサイト制御装置 130は、それぞれ一の D UT100の試験を制御する。例えば、図 1においては、サイト制御装置 130aは DUT 100aの試験を制御し、サイト制御装置 130bは DUTlOObの試験を制御する。これに代えて、複数のサイト制御装置 130は、それぞれ複数の DUT100の試験を制御してもよい。

[0023] より具体的には、サイト制御装置 130は、通信ネットワーク 120を介してシステム制御装置 110から試験制御プログラムを取得し実行する。次に、サイト制御装置 130は、試験制御プログラムに基づいて、当該 DUT100の試験に用いる試験プログラム及び試験データをシステム制御装置 110から取得し、バススィッチ 140を介して当該 D UT100の試験に用いる同期モジュール 150及び 1又は複数の試験モジュール 170 等のモジュールに格納する。次に、サイト制御装置 130は、試験プログラム及び試験データに基づく試験の開始をバススィッチ 140を介して同期モジュール 150に指示する。そして、サイト制御装置 130は、試験が終了したことを示す割込み等を例えば同期モジュール 150から受信し、試験結果に基づいて次の試験を各モジュールに行わせる。以上において、サイト制御装置 130は、同期モジュール 150および複数の試験モジュール 170のそれぞれにつ!/、て、試験用ソフトウェアモジュール（以下「ソフトウェアモジュール」を「SWモジュール」と示す）を実行することにより、当該モジュールによる試験動作を制御する。

[0024] また、サイト制御装置 130a〜cは、診断プログラムを実行し、試験装置 10の各部を診断する。診断処理において、複数のサイト制御装置 130のそれぞれは、ノススイツチ 140により当該サイト制御装置 130に接続される同期モジュール 150、同期接続モジュール 160、及び試験モジュール 170を診断する。それぞれの試験モジュール 17 0の診断において、サイト制御装置 130は、診断対象の試験モジュール 170と診断対象でない非診断対象試験モジュール 170との間で診断用の信号を授受させる。そして、診断対象試験モジュール 170が出力し非診断試験モジュール 170により取得された診断用信号と期待値との比較結果に基づいて、診断対象試験モジュール 170 の出力チャネルの良否を診断する。また、非診断対象試験モジュール 170が出力し診断対象試験モジュール 170により取得された診断用信号と期待値との比較結果に基づいて、診断対象試験モジュール 170の入力チャネルの良否を診断する。

[0025] ノススィッチ 140は、複数のサイト制御装置 130のそれぞれを、当該サイト制御装置 130が制御する同期モジュール 150及び 1又は複数の試験モジュール 170に接続し、これらの間の通信を中継する。ここで、予め定められた一のサイト制御装置 130 は、試験装置 10の使用者または試験制御プログラム等の指示に基づいて、複数のサイト制御装置 130のそれぞれを、当該サイト制御装置 130が DUT100の試験に用いる同期モジュール 150及び 1以上の試験モジュール 170に接続させるベくバススィツチ 140を設定してよい。例えば、図 1においては、サイト制御装置 130aは、同期モジュール 150a及び複数の試験モジュール 170aに接続する様に設定され、これらを用いて DUTlOOaの試験を行う。また、サイト制御装置 130bは、同期モジュール 15 Ob及び複数の試験モジュール 170bに接続する様に設定され、これらを用いて DUT 100bの試験を行う。

[0026] ここで、サイト制御装置 130bが同期モジュール 150b、同期接続モジュール 160b、及び 1又は複数の試験モジュール 170bを用いて DUTlOObを試験するための構成及び動作は、サイト制御装置 130aが同期モジュール 150a、同期接続モジュール 16 0a、及び 1又は複数の試験モジュール 170aを用いて DUTlOOaを試験するための構成及び動作と略同様であるので、以下相違点を除きサイト制御装置 130aが DUT 100aを試験するための構成及び動作を中心に説明する。

[0027] 同期モジュール 150aは、サイト制御装置 130aの指示に基づいて、 DUTlOOaの試験に用いる複数の試験モジュール 170aが試験信号を生成すべき試験信号生成タイミングを生成する。また、同期モジュール 150aは、同期接続モジュール 160aを介して 1又は複数の試験モジュール 170aから試験結果を受信し、試験結果の良否に対応した試験プログラムのシーケンスを 1又は複数の試験モジュール 170aに実行させる。

[0028] 同期接続モジュール 160aは、同期モジュール 150aが生成した試験信号生成タイミングを、当該試験信号生成タイミングに対応して動作させるべき試験モジュール 17 Oaに通知し、 1又は複数の試験モジュール 170aのそれぞれを指定したタイミングで動作させる。また、同期接続モジュール 160aは、 1又は複数の試験モジュール 170a 力試験結果を受信し、同期モジュール 150aに送信する。

[0029] 複数の試験モジュール 170aは、 DUTlOOaが有する複数の端子の一部ずつにそれぞれ接続され、サイト制御装置 130aにより格納された試験プログラム及び試験データに基づいて DUTlOOaの試験を行う。 DUTlOOaの試験において、試験モジュール 170aは、試験プログラムにより定められたシーケンスに基づ!/、て試験データから試験信号を生成し、当該試験モジュール 170aに接続された DUTlOOaの端子に試験信号を供給する。次に、試験モジュール 170aは、 DUTlOOaが試験信号に基づいて動作した結果出力する出力信号を取得し、期待値と比較する。そして、試験モジュール 170aは、出力信号と期待値との比較結果を、試験結果として同期接続モジュール 160aに送信する。ここで複数の試験モジュール 170aは、試験プログラム及び試験データに基づいて、試験信号のサイクル周期を動的に変化させるため、異なるサイクル周期に基づ!、て試験信号を生成する。

[0030] また、試験モジュール 170aは、試験プログラムの処理が完了した場合、または試験プログラムの実行中に異常が生じた場合等において、サイト制御装置 130aに対して割込みを発生する。この割込みは、バススィッチ 140を介して当該試験モジュール 1 70aに対応するサイト制御装置 130aに通知され、サイト制御装置 130aが有するプロセッサにより割込み処理が行われる。

[0031] ロードボード 180は、複数の DUT100を載置し、複数の試験モジュール 170を対応する DUT100の端子に接続する。ここで、試験装置 10の診断をする場合には、通常試験用のロードボード 180に代えて、診断用のロードボード 180を用いてもよい。この診断用のロードボード 180は、診断対象試験モジュール 170と非診断対象試験モジュール 170との間を直接接続する構成を採ってよい。

[0032] 以上において、試験装置 10は、オープンアーキテクチャにより実現され、オープンアーキテクチャ規格を満たす各種のモジュールを使用することができる。そして、試験装置 10は、同期モジュール 150、同期接続モジュール 160、及び試験モジュール 170等のモジュールを、バススィッチ 140が有する任意の接続スロットに挿入して使用することができる。この際、試験装置 10の使用者等は、例えばサイト制御装置 130 aを介してバススィッチ 140の接続形態を変更し、 DUT100の試験に用、る複数のモジュールを、当該 DUT100の試験を制御するサイト制御装置 130に接続させることができる。これにより、試験装置 10の使用者は、複数の DUT100のそれぞれの端子数、端子の配置、端子の種類、又は試験の種類等に応じて適切なモジュールを選択し、試験装置 10に実装することができる。

[0033] なお、以上に代えて、同期接続モジュール 160a及び同期接続モジュール 160bは、試験装置 10に用いられる全ての試験モジュール 170に共通して設けられた一の同期接続部により実現されてもよい。この場合において、試験装置 10の使用者等は、バススィッチ 140の接続形態の変更と共に同期接続部と試験モジュール 170との接続形態を変更することにより、複数の DUT100の特性に応じて適切なモジュールを選択することができる。

[0034] 図 2は、本実施形態に係るサイト制御装置 130のハードウェア構成を示す。サイト制御装置 130として動作するコンピュータ 1900は、ホスト'コントローラ 2082により相互に接続される CPU2000、 RAM2020,グラフィック 'コントローラ 2075、及び表示装置 2080を有する CPU周辺部と、入出力コントローラ 2084によりホスト'コントローラ 2 082に接続される通信インターフェイス 2030、ハードディスクドライブ 2040、及び C D— ROMドライブ 2060を有する入出力部と、入出力コントローラ 2084に接続される ROM2010、フレキシブルディスク 'ドライブ 2050、及び入出力チップ 2070を有するレガシー入出力部とを備える。

[0035] ホスト'コントローラ 2082は、 RAM2020と、高い転送レートで RAM2020をァクセスする CPU2000及びグラフィック 'コントローラ 2075とを接続する。 CPU2000は、 R OM2010及び RAM2020に格納されたプログラムに基づいて動作し、各部の制御を行う。グラフィック 'コントローラ 2075は、 CPU2000等が RAM2020内に設けたフレーム ·バッファ上に生成する画像データを取得し、表示装置 2080上に表示させる

。これに代えて、グラフィック 'コントローラ 2075は、 CPU2000等が生成する画像データを格納するフレーム ·ノッファを、内部に含んでもょヽ。

[0036] 入出力コントローラ 2084は、ホスト'コントローラ 2082と、比較的高速な入出力装置である通信インターフェイス 2030、ハードディスクドライブ 2040、 CD—ROMドライブ 2060を接続する。通信インターフェイス 2030は、ネットワークを介して他の装置と通信する。ハードディスクドライブ 2040は、コンピュータ 1900内の CPU2000が使用するプログラム及びデータを格納する。 CD—ROMドライブ 2060は、 CD—ROM20 95力プログラム又はデータを読み取り、 RAM2020を介してハードディスクドライブ 2040に提供する。

[0037] また、入出力コントローラ 2084〖こは、 ROM2010と、フレキシブルディスク 'ドライブ 2050、及び入出力チップ 2070の比較的低速な入出力装置とが接続される。 ROM 2010は、コンピュータ 1900が起動時に実行するブート'プログラムや、コンピュータ 1900のハードウェアに依存するプログラム等を格納する。フレキシブルディスク'ドライブ 2050は、フレキシブルディスク 2090からプログラム又はデータを読み取り、 RA M2020を介してハードディスクドライブ 2040に提供する。入出力チップ 2070は、フレキシブルディスク 'ドライブ 2050や、例えばパラレル 'ポート、シリアル 'ポート、キーボード'ポート、マウス'ポート等を介して各種の入出力装置を接続する。

[0038] RAM2020を介してハードディスクドライブ 2040に提供される診断プログラム等のプログラムは、フレキシブノレディスク 2090、 CD— ROM2095、又は ICカード等の記録媒体に格納されて利用者によって提供される。プログラムは、記録媒体から読み出され、 RAM2020を介してコンピュータ 1900内のハードディスクドライブ 2040にインストールされ、 CPU2000において実行される。

[0039] 以上に示したプログラム又はモジュールは、外部の記憶媒体に格納されてもよい。

記憶媒体としては、フレキシブルディスク 2090、 CD—ROM2095の他に、 DVDや CD等の光学記録媒体、 MO等の光磁気記録媒体、テープ媒体、 ICカード等の半導体メモリ等を用いることができる。また、専用通信ネットワークやインターネットに接続されたサーバシステムに設けたノ、ードディスク又は RAM等の記憶装置を記録媒体として使用し、ネットワークを介してプログラムをコンピュータ 1900に提供してもよい。

[0040] 図 3は、本実施形態に係るサイト制御装置 130上で動作する診断プログラム 20の構成を示す。診断プログラム 20は、サイト制御装置 130により同期モジュール 150、同期接続モジュール 160、及び試験モジュール 170を診断させるプログラムである。以下、試験モジュール 170を診断する場合を例として説明する。

[0041] 診断プログラム 20は、試験装置 10が診断用のロードボード 180を搭載した状態においてサイト制御装置 130により実行されて、診断対象の試験モジュール 170と診断対象でない試験モジュール 170とを制御し診断用の信号を授受させる。そして、診断用信号を授受した結果に基づいて、診断対象の試験モジュール 170の入出力チヤネルが正常カゝ否かを診断する。

[0042] 診断プログラム 20は、対象診断 SWモジュール 300a〜bと、診断用信号入出力 S Wモジュール 310a〜bと、切替 SWモジュール 320と、診断制御 SWモジュール 340 とを備える。これらのソフトウェアモジュールは、サイト制御装置 130の CPU2000等により実行され、サイト制御装置 130を、 1又は複数の対象診断部、 1又は複数の対象診断用信号入出力部、切替部、および診断制御部としてそれぞれ機能させるプログラムである。

[0043] 1又は複数の対象診断 SWモジュール 300 (300a〜b)のそれぞれは、サイト制御装置 130により実行され、診断対象となる試験モジュール 170をサイト制御装置 130 により診断させる。これらの対象診断 SWモジュール 300は、試験モジュール 170の種類毎に試験モジュール 170の設計者等により記述され、試験モジュール 170内の各部のハードウェアが正常に動作するか否力をサイト制御装置 130により診断させる。診断処理において、対象診断 SWモジュール 300は、切替 SWモジュール 320を介して非診断対象の試験モジュール 170を制御する診断用信号入出力 SWモジユール 310を呼び出して、診断対象の試験モジュール 170と当該非診断対象の試験モジュール 170との間で診断用信号を授受させる。そして対象診断 SWモジュール 300 は、診断用信号を授受した結果に基づいて、診断対象の試験モジュール 170の入出力チャネルが正常か否かを診断する。

[0044] 1又は複数の診断用信号入出力 SWモジュール 310 (310a〜b)のそれぞれは、診断対象でない非診断対象試験モジュール 170の種類毎に設けられる。各診断用信号入出力 SWモジュール 310は、サイト制御装置 130により実行され、診断対象試験モジュール 170に対して診断用信号を出力させ、または診断対象試験モジュール 17 0が出力する診断用信号を入力させるベく非診断対象試験モジュール 170をサイト制御装置 130により制御させる。

[0045] 切替 SWモジュール 320は、サイト制御装置 130により実行され、診断対象試験モジュール 170と非診断対象試験モジュール 170との間で診断用信号を授受することを指示する呼び出しを対象診断 SWモジュール 300から受けて、非診断対象試験モジュール 170を制御する診断用信号入出力 SWモジュール 310を呼び出す。切替 S Wモジュール 320は、種類識別情報読出 SWモジュール 322と、構成ファイル書込 S Wモジュール 324と、種類特定 SWモジュール 326と、呼出先切替 SWモジュール 32 8とを有する。これらのプログラム又は SWモジュールは、サイト制御装置 130の CPU 2000等により実行され、サイト制御装置 130を、種類識別情報読出部と、構成フアイル書込部と、種類特定部と、呼出先切替部としてそれぞれ機能させるプログラムである。 [0046] 種類識別情報読出 SWモジュール 322は、サイト制御装置 130により実行され、試験装置 10が備える複数の試験モジュール 170のそれぞれから、当該試験モジユール 170の種類を識別する種類識別情報をサイト制御装置 130により読み出させる。構成フアイル書込 SWモジュール 324は、それぞれの試験モジュール 170について、種類識別情報読出 SWモジュール 322が読み出した種類識別情報に基づ、て、当該試験モジュール 170に応じた診断用信号入出力 SWモジュール 310を識別する S Wモジュール識別情報を構成ファイル 330に格納する。ここで、構成ファイル 330は、例えばノヽードディスクドライブ 2040上のファイルとして設けられ、例えば試験装置 1 0の各スロットに挿入されたそれぞれの試験モジュール 170の種類等の構成情報をサイト制御装置 130上に記憶する。

[0047] 種類特定 SWモジュール 326は、サイト制御装置 130により実行され、診断対象試験モジュール 170と非診断対象試験モジュール 170との間で診断用信号を入力または出力することを指示する呼び出しを対象診断 SWモジュール 300から受ける。そして、種類特定 SWモジュール 326は、当該呼び出しを受けたことに応じて、当該非診断対象試験モジュール 170の種類に応じた診断用信号入出力 SWモジュール 310 をサイト制御装置 130により特定させる。

[0048] 呼出先切替 SWモジュール 328は、サイト制御装置 130により実行され、種類特定 SWモジュール 326により特定された診断用信号入出力 SWモジュール 310をサイト制御装置 130により呼び出させる。これにより呼出先切替 SWモジュール 328は、当該非診断対象試験モジュール 170により診断対象試験モジュール 170から診断用信号を入力させ、または診断対象試験モジュール 170に対して診断用信号を出力させる。

[0049] 診断制御 SWモジュール 340は、サイト制御装置 130により実行され、複数の試験モジュール 170の診断を制御する。

[0050] 以上に示した診断プログラム 20によれば、試験装置 10に挿入する他の試験モジュール 170を変更することにより試験装置 10の構成を変更した場合においても、診断対象の試験モジュール 170を診断する対象診断 SWモジュール 300を変更する必要がなくなる。これにより診断プログラム 20は、試験装置 10に搭載する試験モジュール 170の種類によらず適切な診断処理を行うことができる。

[0051] 図 4は、本実施形態に係る診断プログラム 20による構成ファイル 330の作成フローを示す。

まず、試験対象となる DUT100に応じて、試験装置 10の各スロットに同期モジユール 150、同期接続モジュール 160、および試験モジュール 170が挿入され、試験装置 10のハードウェアが構成される（S400)。次に、 1又は複数のサイト制御装置 130 のそれぞれにおいて診断プログラム 20が起動され、診断処理が開始される。それぞれのサイト制御装置 130上で実行される診断プログラム 20は、当該サイト制御装置 1 30に対応付けられた複数の試験モジュール 170のそれぞれについて順次 S420から S440の処理を行う（S410、 S450)。

[0052] 次に、種類識別情報読出 SWモジュール 322は、処理対象の試験モジュール 170 内のレジスタ又はフラッシュメモリ等に記憶された、当該試験モジュール 170の種類識別情報をサイト制御装置 130により取得させる（S420)。この種類識別情報は、例えば試験モジュール 170の製造者および製品番号等を識別する情報であってよい。

[0053] 次に、構成ファイル書込 SWモジュール 324は、 S420において種類識別情報読出 SWモジュール 322が読み出した種類識別情報に基づ、て、当該試験モジュール 1 70に応じた SWモジュール識別情報を特定し（S430)、当該試験モジュール 170に対応付けて構成ファイル 330に格納する（S440)。

[0054] 複数の試験モジュール 170のそれぞれについて上記の S420から S440の処理を行うことにより、サイト制御装置 130は、試験装置 10に挿入された試験モジュール 17 0の構成を示す構成ファイル 330を作成することができる。これに代えて、試験装置 1 0の使用者は、構成ファイル 330を人手で作成してもよ、。

[0055] 図 5は、本実施形態に係る診断プログラム 20による試験装置 10の診断フローを示す。図 4に示した構成ファイル 330の生成を終えると、サイト制御装置 130上で実行される診断制御 SWモジュール 340は、複数の試験モジュール 170のそれぞれについて対象診断 SWモジュール 300を順次実行させる（S510)。これにより診断制御 SW モジュール 340は、複数の試験モジュール 170のそれぞれを順次サイト制御装置 13 0により診断させる（S500、 S520)。 [0056] 全ての試験モジュール 170の診断を終えると、診断制御 SWモジュール 340は、それぞれの対象診断 SWモジュール 300から取得した診断結果を出力する（S530)。試験装置 10の使用者は、当該診断結果に基づいて、試験装置 10が正常に動作する力否かの情報、および、不良である試験モジュール 170を特定する情報等を得ることがでさる。

[0057] 図 6及び図 7は、本実施形態に係る診断プログラム 20による S510の動作フローを示す。診断プログラム 20内の対象診断 SWモジュール 300、診断用信号入出力 SW モジュール 310、及び切替 SWモジュール 320は、サイト制御装置 130上で実行されることにより、図 4の S510において、図 6及び図 7に示した処理を行う。

[0058] まず、診断プログラム 20内の対象診断 SWモジュール 300は、診断対象の試験モジュール 170の内部の機能を診断する（S600)。次に、診断プログラム 20は、診断対象の試験モジュール 170が有する 1又は複数の入力端子のそれぞれについて、 S 620力も S660の処理を行う（S610、 S670)。

[0059] それぞれの入力端子について、対象診断 SWモジュール 300は、当該入力端子に接続された非診断対象の試験モジュール 170から診断用の信号を出力することを指示する呼び出しをサイト制御装置 130により行う（S620)。次に、切替 SWモジュール 320内の種類特定 SWモジュール 326は、当該呼び出しに応じて、対象診断 SWモジュール 300により指定された非診断対象の試験モジュール 170の種類に応じた診断用信号入出力 SWモジュール 310をサイト制御装置 130により特定する（S630)。すなわち種類特定 SWモジュール 326は、非診断対象試験モジュール 170の種類をサイト制御装置 130により特定し、当該種類を用、て構成ファイル 330をサイト制御装置 130により検索する。そして切替 SWモジュール 320は、当該種類の非診断対象試験モジュール 170に応じた診断用信号入出力 SWモジュール 310の識別情報を読み出す。

[0060] 例えば対象診断 SWモジュール 300は、診断対象の試験モジュール 170の当該入力端子に接続された出力端子を有する試験モジュール 170のスロット位置等力当該試験モジュール 170のモジュール番号を特定する。そして、対象診断 SWモジユール 300は、当該モジュール番号及び当該試験モジュール 170内における出力端子の番号等を含むパラメータを用いて切替 SWモジュール 320の呼び出しを行ってよ!ヽ。この場合、種類特定 SWモジュール 326は、当該モジュール番号に基づいて当該モジュール番号が割り当てられた非診断対象試験モジュール 170を特定し、当該非診断対象試験モジュール 170の種類に応じた診断用信号入出力 SWモジュール 31 0を特定する。これに代えて、対象診断 SWモジュール 300は、診断対象の試験モジユール 170の入力端子を特定する情報を含むパラメータを用いて切替 SWモジユール 320を呼び出す構成を採ってもよい。この場合、切替 SWモジュール 320は、当該診断対象試験モジュール 170のモジュール番号及び当該試験モジュール 170内における当該入出力端子の情報に基づいて、当該入出力端子に接続された出力端子を有する試験モジュール 170を特定する。そして、切替 SWモジュール 320は、当該試験モジュール 170の種類に応じた診断用信号入出力 SWモジュール 310を特定する。

[0061] また、種類特定 SWモジュール 326は、対象診断 SWモジュール 300からの呼び出しに対し、同一種類又は異なる種類の 2以上の試験モジュール 170をそれぞれ制御する 2以上の診断用信号入出力 SWモジュール 310を特定してもよい。

[0062] また、種類特定 SWモジュール 326は、一の非診断対象試験モジュール 170が 2以上の診断用信号入出力 SWモジュール 310をサイト制御装置 130上で実行させることにより診断用信号を出力する場合において、対象診断 SWモジュール 300からの一の呼び出しに対し、 2以上の診断用信号入出力 SWモジュール 310を特定してもよい。

[0063] 次に、呼出先切替 SWモジュール 328は、種類特定 SWモジュール 326により特定された診断用信号入出力 SWモジュール 310を呼び出す（S640)。この呼び出しを受けた診断用信号入出力 SWモジュール 310は、制御対象の非診断対象試験モジユール 170を制御し、当該非診断対象試験モジュール 170から診断対象試験モジュール 170に対して診断用信号を出力させる。この結果、診断対象試験モジュール 17 0は、診断用信号を入力することができる（S650)。

[0064] ここで、呼出先切替 SWモジュール 328は、対象診断 SWモジュール 300からの一の呼び出しに対し、同一種類又は異なる種類の 2以上の試験モジュール 170をそれぞれ制御する 2以上の診断用信号入出力 SWモジュール 310を呼び出してもよい。一例として、対象診断 SWモジュール 300が 2以上の試験モジュール 170のリセットを指示した場合、又は 2以上の非診断対象試験モジュール 170から診断対象試験モジユール 170に対して同期して診断用信号を供給することを指示した場合において、呼出先切替 SWモジュール 328は、 2以上の診断用信号入出力 SWモジュール 310 を呼び出す。

[0065] また、一の非診断対象試験モジュール 170が 2以上の診断用信号入出力 SWモジユール 310をサイト制御装置 130上で実行させることにより診断用信号を出力する場合において、呼出先切替 SWモジュール 328は、対象診断 SWモジュール 300からの呼び出しに応じて、当該 2以上の診断用信号入出力 SWモジュール 310をサイト制御装置 130により順次呼び出させる。これにより、呼出先切替 SWモジュール 328は、 2以上の診断用信号入出力 SWモジュール 310の処理により非診断対象試験モジユール 170から診断用信号を出力させる。

[0066] 次に、対象診断 SWモジュール 300は、診断対象試験モジュール 170が入力した診断用信号を期待値と比較して、診断対象試験モジュール 170の入力チャネルの良否を診断する（S660)。

[0067] 診断プログラム 20は、サイト制御装置 130上で実行されることにより、診断対象試験モジユーノレ 170の各人力端子につ!/、て、以上に示した S620力ら S660の処理を行う。これにより、診断プログラム 20は、診断対象試験モジュール 170の各入力チャネルを診断することができる。

[0068] 次に、診断プログラム 20は、診断対象の試験モジュール 170が有する 1又は複数の出力端子のそれぞれにつ！/、て、 S710力ら S750の処理を行う（S700、 S760)。ここで、出力端子につヽての S710力ら S750の処理 ίま、人力端子につ!ヽての S620力ら S660の処理にそれぞれ対応するので、以下相違点を除き説明を省略する。

[0069] それぞれの出力端子について、対象診断 SWモジュール 300は、当該出力端子に接続された非診断対象の同期モジュール 150、同期接続モジュール 160、又は試験モジュール 170に対し、診断用の信号を入力することを指示する呼び出しをサイト制御装置 130により行う（S710)。次に、切替 SWモジュール 320内の種類特定 SWモジュール 326は、当該呼び出しに応じて、対象診断 SWモジュール 300により指定された非診断対象の試験モジュール 170の種類に応じた診断用信号入出力 SWモジユール 310をサイト制御装置 130により特定する（S720)。ここで、種類特定 SWモジユール 326は、対象診断 SWモジュール 300からの呼び出しに対し、同一種類又は異なる種類の 2以上の試験モジュール 170を制御する 2以上の診断用信号入出力 S Wモジュール 310を特定してもよい。また、種類特定 SWモジュール 326は、一の非診断対象試験モジュール 170が 2以上の診断用信号入出力 SWモジュール 310をサイト制御装置 130上で実行させることにより診断用信号を入力する場合において、対象診断 SWモジュール 300からの一の呼び出しに対し、 2以上の診断用信号入出力 SWモジュール 310を特定してもよい。

[0070] 次に、呼出先切替 SWモジュール 328は、種類特定 SWモジュール 326により特定された診断用信号入出力 SWモジュール 310を呼び出す（S730)。この呼び出しを受けた診断用信号入出力 SWモジュール 310は、制御対象の非診断対象試験モジユール 170を制御し、診断対象試験モジュール 170から当該診断対象試験モジユール 170に対して出力される診断用信号を入力可能な状態とする。この状態において対象診断 SWモジュール 300は、診断対象試験モジュール 170を制御し、診断用信号を出力させる（S740)。

[0071] ここで、呼出先切替 SWモジュール 328は、対象診断 SWモジュール 300からの一の呼び出しに対し、同一種類又は異なる種類の 2以上の試験モジュール 170を制御する 2以上の診断用信号入出力 SWモジュール 310を呼び出してもよい。一例として、診断対象の同期接続モジュール 160から 2以上の試験モジュール 170に対して出力される同期信号を当該 2以上の試験モジュール 170により入力させる場合、呼出先切替 SWモジュール 328は 2以上の診断用信号入出力 SWモジュール 310を呼び出す。

[0072] また、一の非診断対象試験モジュール 170が 2以上の診断用信号入出力 SWモジユール 310をサイト制御装置 130上で実行させることにより診断用信号を入力する場合において、呼出先切替 SWモジュール 328は、対象診断 SWモジュール 300からの呼び出しに応じて、当該 2以上の診断用信号入出力 SWモジュール 310をサイト制御装置 130により順次呼び出させる。これにより、呼出先切替 SWモジュール 328は、 2以上の診断用信号入出力 SWモジュール 310の処理により診断対象試験モジュール 170から診断用信号を入力させる。

[0073] 次に、診断用信号入出力 SWモジュール 310は、非診断対象試験モジュール 170 が入力した診断用信号を期待値と比較して、診断対象試験モジュール 170の出力チャネルの良否を診断する（S750)。

[0074] 診断プログラム 20は、サイト制御装置 130上で実行されることにより、診断対象試験モジュール 170の各出力端子について、以上に示した S710力ら S750の処理を行う。これにより、診断プログラム 20は、診断対象試験モジュール 170の各出力チャネルを診断することができる。

[0075] 次に、診断プログラム 20は、診断対象試験モジュール 170の内部機能の診断結果

(S600)、各入力チャネルの診断結果（S610から S670)、および各出力チャネルの診断結果 (S700から S760)を試験装置 10の使用者に対して出力する。この診断結果を受けて、試験装置 10の使用者は、不良である試験モジュール 170を交換し、試験装置 10を正常な状態に保つことができる。

[0076] サイト制御装置 130は、例えば試験装置 10の電源が投入された場合、または試験装置 10の使用者により診断処理を指示された場合に、以上に示した診断処理を行う。そして、当該診断処理の後、試験装置 10は、 1又は複数の DUT100の試験を行つてよい。

[0077] 以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、請求の範囲の記載から明らかである。

[0078] 例えば、以上に示した対象診断 SWモジュール 300および診断用信号入出力 SW モジュール 310は、それぞれの試験モジュール 170に対応して設けられ、 DUT100 の試験時に対応する試験モジュール 170を制御する試験用 SWモジュールとは別に実装されてよい。これに代えて、対象診断 SWモジュール 300および診断用信号入出力 SWモジュール 310は、試験用 SWモジュールに組み込まれ、試験用 SWモジュールの一部の機能として実現されてもよ、。

また、同期モジュール 150および同期接続モジュール 160も試験信号を DUT100 に供給するために用いられるものであるから、診断プログラム 20は、試験モジュール 170と同様にして診断を行ってよい。すなわち、診断プログラム 20は、同期モジユール 150および同期接続モジュール 160等の他のモジュールについても診断対象の試験モジュールとして試験モジュール 170と同様にして診断を行ってよい。また、診断プログラム 20は、同期モジュール 150および同期接続モジュール 160等の他のモジュールを非診断対象の試験モジュールとして、診断対象試験モジュール 170との間で診断用信号を授受してもよヽ。

Claims

請求の範囲

[1] 試験信号を被試験デバイスに供給する複数の試験モジュールと、前記複数の試験モジュールを制御する制御装置とを備える試験装置において、前記制御装置により前記試験モジュールを診断させる診断プログラムであって、

診断対象となる診断対象試験モジュールを前記制御装置により診断させる対象診断ソフトウェアモジュールと、

診断対象でな!ヽ非診断対象試験モジュールの種類毎に設けられ、前記診断対象試験モジュールに対して診断用信号を出力させ、または前記診断対象試験モジユールが出力する診断用信号を入力させるベく前記非診断対象試験モジュールを前記制御装置により制御させる診断用信号入出力ソフトウェアモジュールと、

前記非診断対象試験モジュールとの間で前記診断用信号を入力または出力することを指示する呼び出しを前記対象診断ソフトウェアモジュール力受けたことに応じて、当該非診断対象試験モジュールの種類に応じた前記診断用信号入出力ソフトゥエアモジュールを前記制御装置により特定させる種類特定ソフトウェアモジュールと、前記種類特定ソフトウェアモジュールにより特定された前記診断用信号入出力ソフトウエアモジュールを前記制御装置により呼び出させ、当該非診断対象試験モジュールにより前記診断対象試験モジュールから前記診断用信号を入力させ、または前記診断対象試験モジュールに対して前記診断用信号を出力させる呼出先切替ソフトウェアモジュールと

を備える診断プログラム。

[2] 前記種類特定ソフトウェアモジュールは、前記制御装置上に記憶された、前記試験装置が備える前記複数の試験モジュールのそれぞれに応じた前記診断用信号入出力ソフトウェアモジュールを識別するソフトウェアモジュール識別情報を格納する構成ファイルを検索し、前記非診断対象試験モジュールに応じた前記診断用信号入出力ソフトウェアモジュールの識別情報を読み出す請求項 1に記載の診断プログラム。

[3] 前記試験装置が備える前記複数の試験モジュールのそれぞれについて、当該試験モジュール内に記憶された当該試験モジュールの種類を識別する種類識別情報を前記制御装置により読み出させる種類識別情報読出ソフトウェアモジュールと、前記試験装置が備える前記複数の試験モジュールのそれぞれにつ、て、前記種類識別情報読出ソフトウェアモジュールが読み出した前記種類識別情報に基づいて、当該試験モジュールに応じた前記診断用信号入出力ソフトウェアモジュールを識別するソフトウェアモジュール識別情報を前記構成ファイルに格納する構成ファイル書込ソフトウェアモジュールと

を更に備える請求項 2に記載の診断プログラム。

[4] 一の前記非診断対象試験モジュールが 2以上の前記診断用信号入出力ソフトゥェァモジュールを前記制御装置上で実行させることにより前記診断用信号を入力または出力する場合において、前記呼出先切替ソフトウェアモジュールは、当該非診断対象試験モジュールとの間で前記診断用信号を入力または出力することを指示する呼び出しに応じて、当該 2以上の前記診断用信号入出力ソフトウェアモジュールを前記制御装置により順次呼び出させる請求項 1に記載の診断プログラム。

[5] 試験信号を被試験デバイスに供給する複数の試験モジュールと、前記複数の試験モジュールを制御する制御装置とを備える試験装置において、診断対象となる診断対象試験モジュールを前記制御装置により診断させる対象診断ソフトウェアモジユールから呼び出される、診断対象でな!ヽ非診断対象試験モジュールを前記制御装置により制御させる診断用信号入出力ソフトウェアモジュールを切り替える切替プロダラムであって、

前記診断用信号入出力ソフトウェアモジュールは、診断対象でない非診断対象試験モジュールの種類毎に設けられ、前記診断対象試験モジュールに対して診断用信号を出力させ、または前記診断対象試験モジュールが出力する診断用信号を入力させるベく前記非診断対象試験モジュールを前記制御装置により制御させるものであり、

当該切替プログラムは、

を備える切替プログラム。

[6] 被試験デバイスを試験する試験装置であって、

試験信号を被試験デバイスに供給する複数の試験モジュールと、

前記複数の試験モジュールを制御する制御装置と

を備え、

前記制御装置は、前記試験モジュールを診断する診断プログラムを実行することにより、

診断対象となる診断対象試験モジュールを診断する対象診断部と、

診断対象でな!、非診断対象試験モジュールの種類毎に設けられ、前記非診断対象試験モジュール力前記診断対象試験モジュールに対して診断用信号を出力させ、または前記診断対象試験モジュールが出力する診断用信号を前記非診断対象試験モジュールにより入力させる診断用信号入出力部と、

前記非診断対象試験モジュールとの間で前記診断用信号を入力または出力することを指示する呼び出しを前記対象診断部から受けたことに応じて、当該非診断対象試験モジュールの種類に応じた前記診断用信号入出力部を特定する種類特定部と、

前記種類特定部により特定された前記診断用信号入出力部を呼び出して、当該非診断対象試験モジュールにより前記診断対象試験モジュールから前記診断用信号を入力させ、または前記診断対象試験モジュールに対して前記診断用信号を出力させる呼出先切替部と

して機能する試験装置。

[7] 試験信号を被試験デバイスに供給する複数の試験モジュールと、前記複数の試験モジュールを制御する制御装置とを備える試験装置において、前記制御装置により前記試験モジュールを診断させる診断方法であって、

診断対象となる診断対象試験モジュールを前記制御装置により診断させる対象診断段階と、

診断対象でな!ヽ非診断対象試験モジュールの種類毎に設けられ、前記診断対象試験モジュールに対して診断用信号を出力させ、または前記診断対象試験モジユールが出力する診断用信号を入力させるベく前記非診断対象試験モジュールを前記制御装置により制御させる診断用信号入出力段階と、

前記非診断対象試験モジュールとの間で前記診断用信号を入力または出力することを前記対象診断段階力指示されたことに応じて、当該非診断対象試験モジュールの種類に応じた前記診断用信号入出力段階を前記制御装置により特定させる種類特定段階と、

前記種類特定段階により特定された前記診断用信号入出力段階の処理を前記制御装置により行わせ、当該非診断対象試験モジュールにより前記診断対象試験モジユールから前記診断用信号を入力させ、または前記診断対象試験モジュールに対して前記診断用信号を出力させる呼出先切替段階と

を備える診断方法。

試験信号を被試験デバイスに供給する複数の試験モジュールと、前記複数の試験モジュールを制御する制御装置とを備える試験装置において、前記制御装置により前記試験モジュールを診断させる診断プログラムを記録した記録媒体であって、前記診断プログラムは、

を備える記録媒体。

試験信号を被試験デバイスに供給する複数の試験モジュールと、前記複数の試験モジュールを制御する制御装置とを備える試験装置において、診断対象となる診断対象試験モジュールを前記制御装置により診断させる対象診断ソフトウェアモジユールから呼び出される、診断対象でな!ヽ非診断対象試験モジュールを前記制御装置により制御させる診断用信号入出力ソフトウェアモジュールを切り替える切替プロダラムを記録した記録媒体であって、

前記切替プログラムは、

当該切替プログラムは、

を備える記録媒体。