JP2007192586A - 診断装置、初期化装置、プログラム、及び記録媒体 - Google Patents

Abstract

【課題】試験装置の複数の構成要素のうち、試験に必要な構成要素の診断及び初期化を、短時間で、且つ漏れなく行う。
【解決手段】被試験デバイスを試験する試験装置を診断する診断装置であって、被試験デバイスを試験する試験プログラムに基づいて、試験装置の複数の構成要素のうち、被試験デバイスの試験に用いる構成要素を抽出する機能抽出部と、機能抽出部が抽出したそれぞれの構成要素を診断する診断部とを備える診断装置を提供する。機能抽出部は、試験装置に予め格納されている前記試験プログラムを実行させるプログラム制御部と、試験プログラムを実行させた後に、試験装置のそれぞれの構成要素の状態を検出する状態検出部と、状態検出部が検出したそれぞれの構成要素の状態に基づいて、試験プログラムに応じて動作した構成要素を抽出する抽出部とを有してよい。
【選択図】図１

Description

本発明は、半導体回路等の被試験デバイスを試験する試験装置を診断する診断装置、試験装置を初期化する初期化装置、診断装置及び初期化装置を機能させるプログラム、並びにプログラムを格納した記録媒体に関する。

従来、半導体回路等の被試験デバイスの出荷前等に、被試験デバイスが所定のスペックを満たすか否かを試験している。当該試験には、被試験デバイスの様々な機能を試験できる試験装置が用いられている。このため、当該試験装置は、様々な機能を有している。

また、被試験デバイスの試験を精度よく行うために、被試験デバイスの試験前、又は所定の期間毎に試験装置が正常に動作しているかを診断している。従来の診断方式としては、試験装置システムの全機能を診断する方式、試験装置システムの所望の機能を診断する方式、及び試験装置システムの使用頻度又は故障頻度の高い機能を診断する方式等が知られている。

また、被試験デバイスの試験を行う前に、試験装置の初期化を行う場合がある。この場合においても、従来の初期化方式として、試験装置システムの全機能を初期化する方式等が知られている。

現在、関連する特許文献等は認識していないので、その記載を省略する。

しかし、上述した試験装置システムの全機能を診断・初期化する方式では、被試験デバイスの当該試験には必要のない機能まで診断・初期化する。このため、診断・初期化時間が非常に長くなり、試験コストが増大してしまう。

また、上述した試験装置システムの所定の機能を診断・初期化する方式では、必ずしも被試験デバイスの当該試験に必要な機能を診断・初期化することができず、試験精度が劣化してしまう。

このため本発明は上記の課題を解決する診断装置、初期化装置、プログラム、及び記録媒体を提供することを目的とする。この目的は、請求の範囲における独立項に記載の特徴の組み合わせにより達成される。また従属項は本発明の更なる有利な具体例を規定する。

上記課題を解決するために、本発明の第１形態においては、被試験デバイスを試験する試験装置を診断する診断装置であって、被試験デバイスを試験する試験プログラムに基づいて、試験装置の複数の構成要素のうち、被試験デバイスの試験に用いる構成要素を抽出する機能抽出部と、機能抽出部が抽出したそれぞれの構成要素を診断する診断部とを備える診断装置を提供する。

機能抽出部は、試験装置に予め格納されている前記試験プログラムを実行させるプログラム制御部と、試験プログラムを実行させた後に、試験装置のそれぞれの構成要素の状態を検出する状態検出部と、状態検出部が検出したそれぞれの構成要素の状態に基づいて、試験プログラムに応じて動作した構成要素を抽出する抽出部とを有してよい。

試験装置は、複数の構成要素に対応して設けられ、それぞれ対応する構成要素を制御する複数の設定レジスタを備え、それぞれの設定レジスタは、試験プログラムが実行されることにより、試験プログラムに応じた設定情報を格納し、状態検出部は、試験プログラムを実行させた後の、それぞれの設定レジスタが格納した設定情報を、構成要素の状態として検出してよい。

抽出部は、それぞれの設定情報が、予め定められた初期設定値と異なる場合に、当該設定情報に対応する構成要素が、試験プログラムに応じて動作したと判定してよい。抽出部は、それぞれの設定情報が、試験プログラムを実行する前と比較して変化している場合に、当該設定情報に対応する構成要素が、試験プログラムに応じて動作したと判定してよい。

試験装置は、複数の設定レジスタに対応して設けられ、それぞれ対応する設定レジスタが格納する設定情報が変化したか否かを示すフラグ情報を保存するフラグレジスタを備え、状態検出部は、試験プログラムを実行させた後の、それぞれのフラグレジスタが格納したフラグ情報を、構成要素の状態として検出してよい。

状態検出部は、試験プログラムに、設定レジスタの設定情報を初期設定値に初期化する旨の初期化命令が含まれている場合に、初期化命令を実行する前に、それぞれの設定レジスタが格納した設定情報を検出してよい。

機能抽出部は、試験プログラムを試験装置から受け取り、格納するプログラム格納部と、プログラム格納部が格納した試験プログラムを解析し、試験プログラムに応じて動作する構成要素を抽出する解析部とを有してよい。

診断部が診断した構成要素の履歴を格納する履歴格納部を更に備え、診断部は、機能抽出部が抽出した構成要素から、履歴格納部が診断済みとして格納した構成要素を除外して診断を行ってよい。

履歴格納部は、診断部が診断した構成要素の識別情報と、当該構成要素が診断された時期とを対応付けて格納し、診断部は、機能抽出部が抽出した構成要素から、予め定められた期間内に診断された構成要素を除外して診断を行ってよい。

本発明の第２の形態においては、被試験デバイスを試験する試験装置を診断する診断装置を機能させるプログラムであって、診断装置を、被試験デバイスを試験する試験プログラムに基づいて、試験装置の複数の構成要素のうち、被試験デバイスの試験に用いる構成要素を抽出する機能抽出部と、機能抽出部が抽出したそれぞれの構成要素を診断する診断部として機能させるプログラムを提供する。

本発明の第３の形態においては、被試験デバイスを試験する試験装置を診断する診断装置を機能させるプログラムを格納した記録媒体であって、診断装置を、被試験デバイスを試験する試験プログラムに基づいて、試験装置の複数の構成要素のうち、被試験デバイスの試験に用いる構成要素を抽出する機能抽出部と、機能抽出部が抽出したそれぞれの構成要素を診断する診断部として機能させるプログラムを格納した記録媒体を提供する。

本発明の第４の形態においては、被試験デバイスを試験する試験装置を初期化する初期化装置であって、被試験デバイスを試験する試験プログラムに基づいて、試験装置の複数の構成要素のうち、被試験デバイスの試験に用いる構成要素を抽出する機能抽出部と、機能抽出部が抽出したそれぞれの構成要素を初期化する初期化部とを備える初期化装置を提供する。

本発明の第５の形態においては、被試験デバイスを試験する試験装置を初期化する初期化装置を機能させるプログラムであって、初期化装置を、被試験デバイスを試験する試験プログラムに基づいて、試験装置の複数の構成要素のうち、被試験デバイスの試験に用いる構成要素を抽出する機能抽出部と、機能抽出部が抽出したそれぞれの構成要素を初期化する初期化部として機能させるプログラムを提供する。

本発明の第６の形態においては、被試験デバイスを試験する試験装置を初期化する初期化装置を機能させるプログラムを格納した記録媒体であって、初期化装置を、被試験デバイスを試験する試験プログラムに基づいて、試験装置の複数の構成要素のうち、被試験デバイスの試験に用いる構成要素を抽出する機能抽出部と、機能抽出部が抽出したそれぞれの構成要素を初期化する初期化部として機能させるプログラムを格納した記録媒体を提供する。

本発明の第７の形態においては、被試験デバイスを試験する試験装置と、試験装置を診断する診断装置とを備える試験装置システムであって、診断装置は、被試験デバイスを試験する試験プログラムに基づいて、試験装置の複数の構成要素のうち、被試験デバイスの試験に用いる構成要素を抽出する機能抽出部と、機能抽出部が抽出したそれぞれの構成要素を診断する診断部とを備える試験装置システムを提供する。

本発明の第８の形態においては、被試験デバイスを試験する試験装置と、試験装置を初期化する初期化装置とを備える試験装置システムであって、初期化装置は、被試験デバイスを試験する試験プログラムに基づいて、試験装置の複数の構成要素のうち、被試験デバイスの試験に用いる構成要素を抽出する機能抽出部と、機能抽出部が抽出したそれぞれの構成要素を初期化する初期化部とを備える試験装置システムを提供する。

なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。

以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではなく、また実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。

図１は、本発明の実施形態に係る試験装置システム１００の構成の一例を示す図である。試験装置システム１００は、半導体回路等の被試験デバイス２００を試験する試験装置と、当該試験装置を診断する診断装置２６を備える。また、当該試験装置は、パフォーマンスボード１０、テストヘッド１２、ピンエレクトロニクス部１４、パターン発生部２２、判定部２４、装置制御部４２、プログラム格納部２８、及び複数の設定レジスタ４０を備える。

まず、試験装置システム１００が被試験デバイス２００を試験する場合の動作の概要を説明する。パフォーマンスボード１０は、被試験デバイス２００を載置し、被試験デバイス２００と信号の授受を行う。例えば、パフォーマンスボード１０は、被試験デバイス２００の各ピンと電気的に接続される複数のピンを有してよい。

テストヘッド１２は、パフォーマンスボード１０を載置し、パフォーマンスボード１０と信号の授受を行う。例えば、テストヘッド１２は、ピンエレクトロニクス部１４の各ピンと、パフォーマンスボード１０の各ピンとを任意の組み合わせで接続する機能を有してよい。これにより、ピンエレクトロニクス部１４の各ピンを、被試験デバイス２００の各ピンに任意に接続することができる。

ピンエレクトロニクス部１４は、テストヘッド１２と、パターン発生部２２及び判定部２４との間に設けられる。また、ピンエレクトロニクス部１４は、パターン発生部２２から与えられる試験信号をテストヘッド１２に伝送し、テストヘッド１２を介して与えられる被試験デバイス２００の出力信号を、判定部２４に伝送する。ピンエレクトロニクス部１４は複数のピンを有し、それぞれのピンは、被試験デバイス２００の任意のピンと電気的に接続される。

また、ピンエレクトロニクス部１４のそれぞれのピンは、スイッチ１６、ドライバ１８、及びコンパレータ２０を有してよい。ドライバ１８は、パターン発生部２２から与えられる試験信号をテストヘッド１２に伝送する。また、コンパレータ２０は、テストヘッド１２から与えられる出力信号を、判定部２４に伝送する。スイッチ１６は、対応するドライバ１８及びコンパレータを、テストヘッド１２に接続するか否かを切り替える。例えば、被試験デバイス２００の試験に用いられないピンに対応するスイッチ１６は、開放状態に制御されてよい。

パターン発生部２２は、被試験デバイス２００を試験する試験信号を生成する。例えばパターン発生部２２は、被試験デバイス２００に入力するデータ信号、当該データ信号の被試験デバイス２００への書き込みを許可するイネーブル信号、被試験デバイス２００の状態を制御する制御信号、当該データ信号を被試験デバイス２００に入力するタイミングを制御するタイミング信号等を生成する。データ信号、イネーブル信号、制御信号は、例えばピンエレクトロニクス部１４のドライバ１８を介して被試験デバイス２００に入力されてよい。また、タイミング信号は、例えばドライバ１８及びコンパレータ２０に入力されるクロックの位相を制御する情報として用いられてよい。

判定部２４は、それぞれのコンパレータ２０から被試験デバイス２００の出力信号を受け取り、当該出力信号に基づいて被試験デバイス２００の良否を判定する。例えば、判定部２４は、パターン発生部２２が生成する期待値信号と、当該出力信号とを比較することにより、被試験デバイス２００の良否を判定してよい。

それぞれの設定レジスタ４０は、試験装置システム１００が備える各構成要素に対応付けて設けられる。それぞれの設定レジスタ４０は、対応する構成要素を制御する設定情報を格納し、対応する構成要素を制御する。例えば、ピンエレクトロニクス部１４に対応して設けられる設定レジスタ４０は、それぞれのスイッチ１６を開放状態に制御するか、短絡状態に制御するかを示す設定情報を格納してよい。また、パターン発生部２２に対応する設定レジスタ４０は、例えばパターン発生部２２がそれぞれの信号を出力するタイミングを示す設定情報を格納してよい。また、テストヘッド１２に対応する設定レジスタ４０は、ピンエレクトロニクス部１４のそれぞれのピンを、被試験デバイス２００のいずれのピンに接続するかを示す設定情報を格納してよい。

これらの設定情報は、試験装置システム１００に予め与えられる試験プログラムに基づいて生成され、それぞれの設定レジスタに格納される。当該設定情報は、診断装置２６、パターン発生部２２、又はその他の制御装置が試験プログラムに基づいて生成し、設定レジスタ４０に格納してよい。本例において、当該試験プログラムは、プログラム格納部２８が格納する。

装置制御部４２は、プログラム格納部２８が格納した試験プログラムを実行し、試験装置システム１００の各構成要素を制御する。例えば、装置制御部４２は、当該試験プログラムに基づいて、パターン発生部２２が出力すべきデータパターン、それぞれの設定レジスタ４０に格納すべき設定情報を生成してよい。また、プログラム格納部２８は、複数の試験プログラムを格納してよい。この場合、装置制御部４２は、実行すべき試験プログラムを順次選択して実行してよい。このような構成により、試験装置システム１００を試験プログラムに応じて動作させ、被試験デバイス２００の試験を行うことができる。

次に、試験装置システム１００の各構成要素を診断する場合の動作を説明する。診断装置２６は、試験装置システム１００の各構成要素が正常に動作するか否かを診断する。診断装置２６は、試験装置システム１００が被試験デバイス２００を試験する前に当該診断を行ってよい。

本例において、診断装置２６は、機能抽出部３０及び診断部３８を備える。機能抽出部３０は、被試験デバイス２００を試験する試験プログラムに基づいて、試験装置システム１００の複数の構成要素のうち、被試験デバイス２００の試験に用いる構成要素を抽出する。

ここで、構成要素とは、上述したパフォーマンスボード１０、テストヘッド１２等の単位に限定されない。即ち、パフォーマンスボード１０、テストヘッド１２、ピンエレクトロニクス部１４、パターン発生部２２、及び判定部２４は、複数の機能を有しており、それぞれの機能毎に構成要素を有する。

例えば、パターン発生部２２は、被試験デバイス２００への入力データを生成する機能、被試験デバイス２００への電源電力を生成する機能、被試験デバイス２００への制御信号を生成する機能等の複数の機能を有しており、それぞれの機能に対応して、複数の試験基板を有してよい。それぞれの試験基板には、対応する機能を実行する回路等の構成要素が形成される。設定レジスタ４０は、これらの構成要素に対応して設けられてよい。診断装置２６は、例えばそれぞれの試験基板毎に、正常に動作するか否かを診断してよい。

本例において機能抽出部３０は、プログラム制御部３２、状態検出部３４、及び抽出部３６を有する。プログラム制御部３２は、プログラム格納部２８に予め格納されている試験プログラムを実行させる。例えばプログラム制御部３２は、被試験デバイス２００の試験前に、プログラム格納部２８が格納した試験プログラムを、装置制御部４２に予め実行させ、試験装置システム１００を動作させる。このとき、テストヘッド１２は、診断用のパフォーマンスボード１０を載置してよい。診断用のパフォーマンスボード１０は、被試験デバイス２００を載置しなくてよい。例えば、診断用のパフォーマンスボード１０は、テストヘッド１２の所定のピン間を短絡するボードであってよい。

状態検出部３４は、プログラム制御部３２が試験プログラムを実行させた後に、試験装置システム１００のそれぞれの構成要素の状態を検出する。例えば、状態検出部３４は、それぞれの構成要素に対応して設けられる設定レジスタ４０が格納している設定情報を、それぞれの構成要素の状態として検出してよい。

抽出部３６は、状態検出部３４が検出したそれぞれの構成要素の状態に基づいて、試験プログラムに応じて動作した構成要素を抽出する。試験プログラムを実行した場合、当該試験プログラムに応じて動作する構成要素には、試験プログラムに応じた設定情報が格納される。このため、抽出部３６は、状態検出部３４が検出した設定情報に基づいて、それぞれの構成要素が当該試験プログラムに応じて動作したか否かを判定することができる。

例えば、抽出部３６は、それぞれの設定情報が、予め定められた初期設定値と異なる場合に、当該設定情報に対応する構成要素が、試験プログラムに応じて動作したと判定してよい。この場合、当該初期設定値は、それぞれの構成要素毎に異なる値であってもよい。

また、抽出部３６は、それぞれの設定情報が、試験プログラムを実行する前と比較して変化している場合に、当該設定情報に対応する構成要素が、試験プログラムに応じて動作したと判定してもよい。この場合、状態検出部３４は、試験プログラムを実行する前のそれぞれの設定情報を更に検出することが好ましい。

また、状態検出部３４は、試験プログラムに、設定レジスタ４０の設定情報を初期設定値に初期化する旨の初期化命令が含まれている場合に、初期化命令を実行する前に、それぞれの設定レジスタ４０が格納した設定情報を検出してよい。これにより、例えば試験プログラムが、試験の終了時にそれぞれの設定情報を初期化する場合であっても、当該試験プログラムに応じて動作する構成要素を検出することができる。

また、試験装置システム１００が複数の試験プログラムを順次実行することにより、被試験デバイス２００の試験を行う場合、機能抽出部３０は、当該複数の試験プログラムに基づいて、被試験デバイス２００の試験に用いる構成要素を抽出してよい。例えば、状態検出部３４は、プログラム制御部３２が一つの試験プログラムを実行させる毎に、設定レジスタ４０の設定情報を検出してよい。また、試験プログラムに初期化命令が含まれていない場合、状態検出部３４は、プログラム制御部３２が複数の試験プログラムを実行させた後に、設定レジスタ４０の設定情報を検出してよい。

そして、診断部３８は、機能抽出部３０が抽出した構成要素を診断する。このような構成により、試験装置システム１００が備える構成要素のうち、被試験デバイス２００の試験に用いる構成要素を抽出し、診断を行うことができる。このため、診断時間を短縮し、且つ漏れの無い診断を行うことができる。

また、本例においては、被試験デバイス２００の出力信号に基づいて試験を行う試験装置システム１００を例として説明したが、他の例においては、試験装置システム１００は、被試験デバイス２００に供給される電源電力に基づいて試験を行う装置であってもよい。例えば、試験装置システム１００は、被試験デバイス２００の動作時又は静止時に、予め定められた電流値の電源電圧を被試験デバイス２００に供給した場合における、被試験デバイス２００が消費する電源電流に基づいて被試験デバイス２００の良否を判定する装置であってよい。また、試験装置システム１００は、被試験デバイス２００の動作時又は静止時に、予め定められた電流値の電源電流を供給した場合における、被試験デバイス２００に印加される電源電圧に基づいて被試験デバイス２００の良否を判定する装置であってよい。このような試験装置システム１００においても、設定レジスタ４０は、試験装置システム１００の各構成要素に対応して設けられ、各構成要素の動作を制御する。この場合であっても、診断装置２６は、試験に用いる構成要素を抽出して診断することができる。

また、試験装置システム１００は、被試験デバイス２００の出力信号のジッタを測定して試験を行う装置であってもよい。このような試験装置システム１００においても、設定レジスタ４０は、試験装置システム１００の各構成要素に対応して設けられ、各構成要素の動作を制御する。この場合であっても、診断装置２６は、試験に用いる構成要素を抽出して診断することができる。

また、試験装置システム１００は、上述したそれぞれの装置には限定されない。他の様々な試験を行う装置に対して、診断装置２６は、試験に用いる構成要素を抽出して、短時間且つ漏れの無い診断を行うことができる。

図２は、診断装置２６の動作の一例を示すフローチャートである。上述したように、診断装置２６は、被試験デバイス２００の試験前に、試験装置システム１００の構成要素のうち、当該試験に用いる構成要素を抽出し、診断を行う。

まず、プログラム実行段階Ｓ３００において、プログラム制御部３２は、被試験デバイス２００の試験に用いるべき試験プログラムを、被試験デバイス２００の実試験前に予め実行する。

次に、状態検出段階Ｓ３０２において、状態検出部３４は、それぞれの設定レジスタ４０の設定情報を検出する。状態検出段階Ｓ３０２は、試験プログラムを実行した後に行ってよい。

次に、抽出段階Ｓ３０４において、抽出部３６は、試験プログラムに応じて動作した試験装置システム１００の構成要素を抽出する。上述したように、抽出部３６は、状態検出部３４が検出した設定情報に基づいて、構成要素を抽出してよい。

次に、診断段階Ｓ３０６において、診断部３８は、抽出部３６が抽出した構成要素の診断を行う。診断部３８は、これらの構成要素が正常に動作するか否かを診断してよい。上述したように、このような動作により、試験装置システム１００の診断を短時間且つ漏れなく行うことができる。

図３は、試験装置システム１００の構成の他の例を示す図である。本例における試験装置システム１００は、図１において説明した試験装置システム１００の構成に加え、複数のフラグレジスタ４４を更に備える。他の構成については、図１において同一の符号を付した構成と同一又は同様である。

複数のフラグレジスタ４４は、複数の設定レジスタ４０に対応して設けられる。フラグレジスタ４４は、設定レジスタ４０と一対一で対応してよく、また一つのフラグレジスタ４４が複数の設定レジスタ４０と対応してもよい。それぞれのフラグレジスタ４４は、対応する設定レジスタ４０が格納する設定情報が変化したか否かを示すフラグ情報を保存する。

例えば、それぞれのフラグレジスタ４４は、対応する設定レジスタ４０に新たな設定情報が書き込まれた場合に、フラグ情報として論理値１を格納する。また、フラグレジスタ４４は、対応する設定レジスタ４０が初期化された場合であっても、既に格納しているフラグ情報を保持する。

また、状態検出部３４は、それぞれの機能の状態として、試験プログラムを実行した後の、対応するフラグレジスタ４４が格納しているフラグ情報を検出する。このような構成により、例えば試験プログラムに初期化命令が含まれている場合であっても、動作した構成要素を抽出することができる。

図４は、診断装置２６の構成の他の例を示す図である。本例における診断装置２６は、解析部４６及び抽出部３６を備える。解析部４６は、プログラム格納部２８が格納した試験プログラムを解析する。例えば、解析部４６は、試験装置システム１００の各構成要素に対応したフラグ情報を保持してよい。当該フラグ情報は、試験プログラムを擬似的に実行した場合に、対応する構成要素を使用する旨の命令に応じて、所定の論理値を保持する情報である。解析部４６は、試験プログラムを擬似的に実行して、それぞれの構成要素に対応するフラグ情報を出力する。当該フラグ情報は、図３において説明したフラグレジスタ４４が格納するフラグ情報と同一であってよい。

抽出部３６は、解析部４６が出力するフラグ情報に基づいて、当該試験プログラムに応じて動作する構成要素を抽出する。このような構成によっても、被試験デバイス２００の試験に使用される試験装置システム１００の構成要素を漏れなく抽出することができる。そして、診断部３８が当該構成要素の診断を行うことにより、試験装置システム１００の診断を短時間且つ漏れなく行うことができる。

図５は、診断装置２６の構成の他の例を示す図である。本例における診断装置２６は、図１又は図４において説明した診断装置２６の構成に加え、履歴格納部４８を更に備える。他の構成は、図１又は図４において同一の符号を付した構成と同一又は同様の機能を有する。

履歴格納部４８は、診断部３８が診断を行った試験装置システム１００の構成要素の履歴を格納する。例えば、履歴格納部４８は、試験装置システム１００のそれぞれの構成要素の識別情報と、当該構成要素が診断された時期とを対応付けて格納してよい。構成要素の識別情報とは、当該構成要素を、他の構成要素と区別できる情報である。

診断部３８は、機能抽出部３０が抽出した構成要素から、履歴格納部４８が診断済みとして格納した構成要素を除外して診断を行ってよい。また、診断部３８は、機能抽出部３０が抽出した構成要素から、予め定められた期間内に診断された構成要素を除外して診断を行ってもよい。この場合、診断部３８には、現在の日時を示す情報が与えられてよい。また、当該予め定められた期間は、それぞれの構成要素で異なる期間であってもよい。例えば、故障頻度の高い構成要素に対する期間は、故障頻度の低い構成要素に対する期間より短くてよい。このような構成により、診断装置２６は、更に短時間で試験装置システム１００の診断を行うことができる。

また、履歴格納部４８は、診断部３８における診断結果を、それぞれの構成要素の識別情報と対応付けて更に格納してもよい。診断部３８は、当該診断結果に基づいて、それぞれの構成要素の故障時期の間隔を算出し、当該故障時期の間隔に基づいて、上述した予め定められた期間を設定してもよい。

また、診断部３８は、履歴格納部４８が格納した診断時期に基づいて、それぞれの構成要素の使用頻度を算出してよい。診断部３８は、当該使用頻度が所定の値より高い構成要素を、機能抽出部３０が抽出した構成要素に加え、更に診断を行ってもよい。

また、診断部３８は、履歴格納部４８が格納したそれぞれの構成要素の診断結果に基づいて、それぞれの構成要素の故障頻度を算出してよい。診断部３８は、当該故障頻度が所定の値より高い構成要素を、機能抽出部３０が抽出した構成要素に加え、更に診断を行ってよい。

図６は、本発明の実施形態に係る初期化装置６０の構成の一例を示す図である。初期化装置６０は、図１に関連して説明した診断装置２６に変えて設けられてよく、また診断装置２６と並列に設けられてもよい。初期化装置６０は、被試験デバイス２００の試験前に、試験装置システム１００を初期化する装置であって、機能抽出部３０及び初期化部５０を備える。

機能抽出部３０は、図１又は図４に関連して説明した機能抽出部３０と同一又は同様の機能及び構成を有する。つまり、機能抽出部３０は、被試験デバイス２００を試験する試験プログラムに基づいて、試験装置システム１００の複数の構成要素のうち、被試験デバイス２００の試験に用いる構成要素を抽出する。

初期化部５０は、機能抽出部３０が抽出したそれぞれの構成要素を初期化する。例えば、初期化部５０は、機能抽出部３０が抽出したそれぞれの構成要素に対応する設定レジスタに、予め定められた初期設定値を格納してよい。また、初期化部５０は、機能抽出部３０が抽出したそれぞれの構成要素をキャリブレーションしてもよい。例えば、初期化部５０は、ピンエレクトロニクス部１４の各ピンと、被試験デバイス２００の各ピンまでの信号伝送時間を計測し、それぞれの伝送時間の差分に基づいて、それぞれのドライバ１８及びコンパレータ２０に与えるクロックの位相を調整してよい。このように、初期化部５０は、機能抽出部３０が抽出した構成要素について、被試験デバイス２００を精度よく試験することができるように、必要な調整を行ってよい。

このような構成により、初期化装置６０は、被試験デバイス２００の試験を行うのに必要な構成要素の初期化を行い、短時間且つ漏れなく試験装置システム１００の初期化を行うことができる。また、初期化装置６０は、図５において説明した履歴格納部４８を更に備えてもよい。この場合、初期化部５０は、診断部３８と同様に、履歴格納部４８が格納した情報に基づいて、試験装置システム１００の初期化を行ってよい。

図７は、診断装置２６を制御するコンピュータ４００の構成の一例を示す図である。本例において、コンピュータ４００は、診断装置２６を、図１から図５において説明したように機能させるプログラムを格納し、当該プログラムに基づいて診断装置２６を制御する。コンピュータ４００は、ＣＰＵ７００と、ＲＯＭ７０２と、ＲＡＭ７０４と、通信インターフェース７０６と、ハードディスクドライブ７１０と、ＦＤドライブ７１２と、ＣＤ−ＲＯＭドライブ７１４とを備える。ＣＰＵ７００は、ＲＯＭ７０２、ＲＡＭ７０４、ハードディスクドライブ７１０、フレキシブルディスク７２０、及び／又はＣＤ−ＲＯＭ７２２に格納されたプログラムに基づいて動作する。また、コンピュータ４００は、初期化装置６０を、図６において説明したように機能させるプログラムを格納し、当該プログラムに基づいて初期化装置６０を制御してもよい。

例えば、診断装置２６を機能させるプログラムは、診断装置２６を、図１から図５において説明した機能抽出部３０、診断部３８、及び履歴格納部４８として機能させる。また、初期化装置６０を機能させるプログラムは、初期化装置６０を、図６において説明した機能抽出部３０及び初期化部５０として機能させる。

また、コンピュータ４００は、当該プログラムに基づいて、機能抽出部３０、診断部３８、履歴格納部４８、及び／又は初期化部５０として機能してもよい。例えば、コンピュータ４００が、図４において説明した診断装置２６として機能する場合、ＣＰＵ７００及びＲＡＭ７０４が、解析部４６及び抽出部３６として機能してよい。

通信インターフェース７０６は、例えば診断装置２６及び／又は初期化装置６０と通信し、診断装置２６及び／又は初期化装置６０を制御する。格納装置の一例としてのハードディスクドライブ７１０は、コンピュータ４００の設定情報及びＣＰＵ７００を動作させるプログラムを格納する。ＲＯＭ７０２、ＲＡＭ７０４、及び／又はハードディスクドライブ７１０は、診断装置２６及び／又は初期化装置６０を機能させるためのプログラムを格納する。また、当該プログラムは、フレキシブルディスク７２０、ＣＤ−ＲＯＭ７２２、ハードディスクドライブ７１０等の記録媒体に格納されていてもよい。

ＦＤドライブ７１２はフレキシブルディスク７２０からプログラムを読み取りＣＰＵ７００に提供する。ＣＤ−ＲＯＭドライブ７１４はＣＤ−ＲＯＭ７２２からプログラムを読み取りＣＰＵ７００に提供する。

また、プログラムは記録媒体から直接ＲＡＭに読み出されて実行されても、一旦ハードディスクドライブにインストールされた後にＲＡＭに読み出されて実行されても良い。更に、上記プログラムは単一の記録媒体に格納されても複数の記録媒体に格納されても良い。また記録媒体に格納されるプログラムは、オペレーティングシステムとの共同によってそれぞれの機能を提供してもよい。例えば、プログラムは、機能の一部または全部を行うことをオペレーティングシステムに依頼し、オペレーティングシステムからの応答に基づいて機能を提供するものであってもよい。

プログラムを格納する記録媒体としては、フレキシブルディスク、ＣＤ−ＲＯＭの他にも、ＤＶＤ、ＰＤ等の光学記録媒体、ＭＤ等の光磁気記録媒体、テープ媒体、磁気記録媒体、ＩＣカードやミニチュアーカードなどの半導体メモリ等を用いることができる。又、専用通信ネットワークやインターネットに接続されたサーバシステムに設けたハードディスクまたはＲＡＭ等の格納装置を記録媒体として使用してもよい。

以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。

以上から明らかなように、本発明によれば、試験装置の複数の構成要素のうち、試験に必要な構成要素の診断及び初期化を、短時間で、且つ漏れなく行うことができる。

本発明の実施形態に係る試験装置システム１００の構成の一例を示す図である。 診断装置２６の動作の一例を示すフローチャートである。 試験装置システム１００の構成の他の例を示す図である。 診断装置２６の構成の他の例を示す図である。 診断装置２６の構成の他の例を示す図である。 本発明の実施形態に係る初期化装置６０の構成の一例を示す図である。 診断装置２６を制御するコンピュータ４００の構成の一例を示す図である。

符号の説明

１０・・・パフォーマンスボード、１２・・・テストヘッド、１４・・・ピンエレクトロニクス部、１６・・・スイッチ、１８・・・ドライバ、２０・・・コンパレータ、２２・・・パターン発生部、２４・・・判定部、２６・・・診断装置、２８・・・プログラム格納部、３０・・・機能抽出部、３２・・・プログラム制御部、３４・・・状態検出部、３６・・・抽出部、３８・・・診断部、４０・・・設定レジスタ、４２・・・装置制御部、４４・・・フラグレジスタ、４６・・・解析部、４８・・・履歴格納部、５０・・・初期化部、６０・・・初期化装置、１００・・・試験装置システム、２００・・・被試験デバイス、４００・・・コンピュータ、７００・・・ＣＰＵ、７０２・・・ＲＯＭ、７０４・・・ＲＡＭ、７０６・・・通信インターフェース、７１０・・・ハードディスクドライブ、７１２・・・ＦＤドライブ、７１４・・・ＣＤ−ＲＯＭ、７２０・・・フレキシブルディスク、７２２・・・ＣＤ−ＲＯＭ

Claims (17)

1. 被試験デバイスを試験する試験装置を診断する診断装置であって、
   前記被試験デバイスを試験する試験プログラムに基づいて、前記試験装置の複数の構成要素のうち、前記被試験デバイスの試験に用いる構成要素を抽出する機能抽出部と、
   前記機能抽出部が抽出したそれぞれの前記構成要素を診断する診断部と
   を備える診断装置。
2. 前記機能抽出部は、
   前記試験装置に予め格納されている前記試験プログラムを実行させるプログラム制御部と、
   前記試験プログラムを実行させた後に、前記試験装置のそれぞれの前記構成要素の状態を検出する状態検出部と、
   前記状態検出部が検出したそれぞれの前記構成要素の状態に基づいて、前記試験プログラムに応じて動作した前記構成要素を抽出する抽出部と
   を有する請求項１に記載の診断装置。
3. 前記試験装置は、前記複数の構成要素に対応して設けられ、それぞれ対応する前記構成要素を制御する複数の設定レジスタを備え、
   それぞれの前記設定レジスタは、前記試験プログラムが実行されることにより、前記試験プログラムに応じた設定情報を格納し、
   前記状態検出部は、前記試験プログラムを実行させた後の、それぞれの前記設定レジスタが格納した前記設定情報を、前記構成要素の状態として検出する
   請求項２に記載の診断装置。
4. 前記抽出部は、それぞれの前記設定情報が、予め定められた初期設定値と異なる場合に、当該設定情報に対応する前記構成要素が、前記試験プログラムに応じて動作したと判定する
   請求項３に記載の診断装置。
5. 前記抽出部は、それぞれの前記設定情報が、前記試験プログラムを実行する前と比較して変化している場合に、当該設定情報に対応する前記構成要素が、前記試験プログラムに応じて動作したと判定する
   請求項３に記載の診断装置。
6. 前記試験装置は、前記複数の設定レジスタに対応して設けられ、それぞれ対応する前記設定レジスタが格納する設定情報が変化したか否かを示すフラグ情報を保存するフラグレジスタを備え、
   前記状態検出部は、前記試験プログラムを実行させた後の、それぞれの前記フラグレジスタが格納した前記フラグ情報を、前記構成要素の状態として検出する
   請求項３に記載の診断装置。
7. 前記状態検出部は、前記試験プログラムに、前記設定レジスタの前記設定情報を前記初期設定値に初期化する旨の初期化命令が含まれている場合に、前記初期化命令を実行する前に、それぞれの前記設定レジスタが格納した前記設定情報を検出する
   請求項４に記載の診断装置。
8. 前記機能抽出部は、
   前記試験プログラムを前記試験装置から受け取り、格納するプログラム格納部と、
   前記プログラム格納部が格納した前記試験プログラムを解析し、前記試験プログラムに応じて動作する前記構成要素を抽出する解析部と
   を有する請求項１に記載の診断装置。
9. 前記診断部が診断した前記構成要素の履歴を格納する履歴格納部を更に備え、
   前記診断部は、前記機能抽出部が抽出した前記構成要素から、前記履歴格納部が診断済みとして格納した前記構成要素を除外して診断を行う
   請求項１に記載の診断装置。
10. 前記履歴格納部は、前記診断部が診断した前記構成要素の識別情報と、当該構成要素が診断された時期とを対応付けて格納し、
    前記診断部は、前記機能抽出部が抽出した前記構成要素から、予め定められた期間内に診断された前記構成要素を除外して診断を行う
    請求項９に記載の診断装置。
11. 被試験デバイスを試験する試験装置を診断する診断装置を機能させるプログラムであって、
    前記診断装置を、
    前記被試験デバイスを試験する試験プログラムに基づいて、前記試験装置の複数の構成要素のうち、前記被試験デバイスの試験に用いる構成要素を抽出する機能抽出部と、
    前記機能抽出部が抽出したそれぞれの前記構成要素を診断する診断部と
    して機能させるプログラム。
12. 被試験デバイスを試験する試験装置を診断する診断装置を機能させるプログラムを格納した記録媒体であって、
    前記診断装置を、
    前記被試験デバイスを試験する試験プログラムに基づいて、前記試験装置の複数の構成要素のうち、前記被試験デバイスの試験に用いる構成要素を抽出する機能抽出部と、
    前記機能抽出部が抽出したそれぞれの前記構成要素を診断する診断部と
    として機能させる前記プログラムを格納した記録媒体。
13. 被試験デバイスを試験する試験装置を初期化する初期化装置であって、
    前記被試験デバイスを試験する試験プログラムに基づいて、前記試験装置の複数の構成要素のうち、前記被試験デバイスの試験に用いる構成要素を抽出する機能抽出部と、
    前記機能抽出部が抽出したそれぞれの前記構成要素を初期化する初期化部と
    を備える初期化装置。
14. 被試験デバイスを試験する試験装置を初期化する初期化装置を機能させるプログラムであって、
    前記初期化装置を、
    前記被試験デバイスを試験する試験プログラムに基づいて、前記試験装置の複数の構成要素のうち、前記被試験デバイスの試験に用いる構成要素を抽出する機能抽出部と、
    前記機能抽出部が抽出したそれぞれの前記構成要素を初期化する初期化部と
    して機能させるプログラム。
15. 被試験デバイスを試験する試験装置を初期化する初期化装置を機能させるプログラムを格納した記録媒体であって、
    前記初期化装置を、
    前記被試験デバイスを試験する試験プログラムに基づいて、前記試験装置の複数の構成要素のうち、前記被試験デバイスの試験に用いる構成要素を抽出する機能抽出部と、
    前記機能抽出部が抽出したそれぞれの前記構成要素を初期化する初期化部と
    して機能させるプログラムを格納した記録媒体。
16. 被試験デバイスを試験する試験装置と、前記試験装置を診断する診断装置とを備える試験装置システムであって、
    前記診断装置は、
    前記被試験デバイスを試験する試験プログラムに基づいて、前記試験装置の複数の構成要素のうち、前記被試験デバイスの試験に用いる構成要素を抽出する機能抽出部と、
    前記機能抽出部が抽出したそれぞれの前記構成要素を診断する診断部と
    を備える試験装置システム。
17. 被試験デバイスを試験する試験装置と、前記試験装置を初期化する初期化装置とを備える試験装置システムであって、
    前記初期化装置は、
    前記被試験デバイスを試験する試験プログラムに基づいて、前記試験装置の複数の構成要素のうち、前記被試験デバイスの試験に用いる構成要素を抽出する機能抽出部と、
    前記機能抽出部が抽出したそれぞれの前記構成要素を初期化する初期化部と
    を備える試験装置システム。

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