JP5008676B2 - プログラム、記録媒体、試験装置および診断方法 - Google Patents

Description

本発明は、記録媒体、試験装置および診断方法に関する。特に本発明は、試験信号を被試験デバイスに供給する複数の試験モジュールと、複数の試験モジュールを制御する制御装置とを備える試験装置において、試験モジュールを診断させるプログラムを記録した記録媒体、試験装置および診断方法に関する。文献の参照による組み込みが認められる指定国については、下記の出願に記載された内容を参照により本出願に組み込み、本出願の一部とする。
１．米国特許出願番号 １１／６０７，８２４ 出願日２００６年１２月０１日

メモリ、ロジックＬＳＩ、又はＳｏＣ（Ｓｙｓｔｅｍ ｏｎ Ｃｈｉｐ）等のＤＵＴ（Ｄｅｖｉｃｅ Ｕｎｄｅｒ Ｔｅｓｔ：被試験デバイス）を試験する試験装置は、ＤＵＴとの間で信号を入出力する試験モジュールを備える。試験装置は、一例として、試験モジュールからＤＵＴの基準パラメータの値を計測することを指示する呼び出しに対して試験信号を供給し、試験信号に応じてＤＵＴの出力端子から出力される出力信号を試験モジュールにより受けて期待値と比較することにより、ＤＵＴの良否を判定する。

試験装置は、異常有無を判定することを目的として診断機能を有する。試験装置は、診断の過程において、各試験モジュールに異常があるかどうかについても診断する。試験モジュールの診断において、試験装置は、一例として、診断対象の試験モジュールの基準電圧、基準電流および基準抵抗等を計測器により計測し、計測結果が正常な範囲にあるかを判定する。また、試験モジュールの診断において、試験装置の制御装置は、プログラムを実行し、例えばＧＰ−ＩＢ等のバスを介してコマンドを送信して計測器を制御する。なお、現時点で先行技術文献の存在を認識していないので、先行技術文献に関する記載を省略する。

ところで、試験装置に備えられる計測器の種類を変更した場合、制御装置から計測器に与えるコマンドが変更されてしまうので、プログラムについても対応する修正を行う必要があった。また、試験装置に備えられる計測器の種類を変更した場合、計測器および制御装置の間を接続するバスも変更される場合がある。この場合も、プログラムの修正が必要となった。従って、試験モジュールの設計者は、試験装置に搭載された計測器の種類が変更する毎に、当該試験モジュールを診断するプログラムを修正しなければならなかった。

そこで本発明の１つの側面においては、上記の課題を解決することのできる記録媒体、試験装置および診断方法を提供することを目的とする。この目的は請求の範囲における独立項に記載の特徴の組み合わせにより達成される。また従属項は本発明の更なる有利な具体例を規定する。

即ち、本発明の第１形態によると、試験信号を被試験デバイスに供給する試験モジュールと、試験モジュールが有する基準電圧、基準抵抗、および基準電流の少なくとも１つを含む基準パラメータを計測する計測器と、試験モジュールおよび計測器を制御する制御装置とを備える試験装置において、制御装置により計測器を用いて複数の試験モジュールを診断させる診断プログラムを記録した記録媒体であって、診断プログラムは、診断対象となる試験モジュールを制御装置により診断させる対象診断ソフトウェアモジュールと、試験装置に搭載された計測器の種類を示す計測器識別情報を制御装置により取得させる取得モジュールと、計測器の種類毎に設けられ、制御装置上で実行されて、試験モジュールの基準パラメータの値を当該計測器により計測させるコマンドを制御装置から計測器へと発行させ、基準パラメータの計測結果を計測器から受け取る計測ソフトウェアモジュールと、試験モジュールが有する基準パラメータの値を計測することを指示する呼び出しを対象診断ソフトウェアモジュールから受けたことに応じて、計測器識別情報により識別される計測器に応じた計測ソフトウェアモジュールを呼び出して制御装置により実行させ、基準パラメータの計測結果を対象診断ソフトウェアモジュールに返送する切替ソフトウェアモジュールとを備える記録媒体を提供する。

本発明の第２形態によると、試験信号を被試験デバイスに供給する試験モジュールと、試験モジュールが有する基準電圧、基準抵抗、および基準電流の少なくとも１つを含む基準パラメータを計測する計測器と、試験モジュールおよび計測器を制御する制御装置とを備える試験装置において、診断対象となる試験モジュールを制御装置により診断させる対象診断ソフトウェアモジュールから呼び出されて、制御装置により計測器を制御させる診断インターフェイスプログラムを記録した記録媒体であって、診断インターフェイスプログラムは、試験装置に搭載された計測器の種類を示す計測器識別情報を制御装置により取得させる取得モジュールと、計測器の種類毎に設けられ、制御装置上で実行されて、試験モジュールの基準パラメータの値を当該計測器により計測させるコマンドを制御装置から計測器へと発行させ、基準パラメータの計測結果を計測器から受け取る計測ソフトウェアモジュールと、試験モジュールが有する基準パラメータの値を計測することを指示する呼び出しを対象診断ソフトウェアモジュールから受けたことに応じて、計測器識別情報により識別される計測器に応じた計測ソフトウェアモジュールを呼び出して制御装置により実行させ、基準パラメータの計測結果を対象診断ソフトウェアモジュールに返送する切替ソフトウェアモジュールとを備える記録媒体を提供する。

本発明の第３形態によると、被試験デバイスを試験する試験装置であって、試験信号を被試験デバイスに供給する試験モジュールと、試験モジュールが有する基準電圧、基準抵抗、および基準電流の少なくとも１つを含む基準パラメータを計測する計測器と、試験モジュールおよび計測器を制御する制御装置とを備え、制御装置は、計測器を用いて複数の試験モジュールを診断させる診断プログラムを実行することにより、診断対象となる試験モジュールを診断する対象診断部と、試験装置に搭載された計測器の種類を示す計測器識別情報を取得する取得部と、計測器の種類毎に設けられ、制御装置上で実行されて、試験モジュールの基準パラメータの値を当該計測器により計測させるコマンドを計測器へと発行し、基準パラメータの計測結果を計測器から受け取る計測処理部と、試験モジュールが有する基準パラメータの値を計測することを指示する呼び出しを対象診断部から受けたことに応じて、計測器識別情報により識別される計測器に応じた計測処理部を呼び出して実行させ、基準パラメータの計測結果を対象診断部に返送する切替部として機能する試験装置を提供する。

本発明の第４形態によると、試験信号を被試験デバイスに供給する試験モジュールと、試験モジュールが有する基準電圧、基準抵抗、および基準電流の少なくとも１つを含む基準パラメータを計測する計測器と、試験モジュールおよび計測器を制御する制御装置とを備える試験装置において、制御装置により計測器を用いて複数の試験モジュールを診断させる診断方法であって、診断対象となる試験モジュールを診断させる対象診断ソフトウェアモジュールを制御装置上で実行させることと、試験装置に搭載された計測器の種類を示す計測器識別情報を制御装置により取得させることと、計測器の種類毎に設けられ、制御装置上で実行されて、試験モジュールの基準パラメータの値を当該計測器により計測させるコマンドを制御装置から計測器へと発行させ、基準パラメータの計測結果を計測器から受け取る計測ソフトウェアモジュールを制御装置上で実行させることと、試験モジュールが有する基準パラメータの値を計測することを指示する呼び出しを対象診断ソフトウェアモジュールから受けたことに応じて、計測器識別情報により識別される計測器に応じた計測ソフトウェアモジュールを呼び出して制御装置により実行させ、基準パラメータの計測結果を対象診断ソフトウェアモジュールに返送することとを備える診断方法を提供する。

即ち、本発明の第５形態によると、試験信号を被試験デバイスに供給する試験モジュールと、試験モジュールが有する基準電圧、基準抵抗、および基準電流の少なくとも１つを含む基準パラメータを計測する計測器と、試験モジュールおよび計測器を制御する制御装置とを備える試験装置において、制御装置により計測器を用いて複数の試験モジュールを診断させる診断プログラムであって、診断対象となる試験モジュールを制御装置により診断させる対象診断ソフトウェアモジュールと、試験装置に搭載された計測器の種類を示す計測器識別情報を制御装置により取得させる取得モジュールと、計測器の種類毎に設けられ、制御装置上で実行されて、試験モジュールの基準パラメータの値を当該計測器により計測させるコマンドを制御装置から計測器へと発行させ、基準パラメータの計測結果を計測器から受け取る計測ソフトウェアモジュールと、試験モジュールが有する基準パラメータの値を計測することを指示する呼び出しを対象診断ソフトウェアモジュールから受けたことに応じて、計測器識別情報により識別される計測器に応じた計測ソフトウェアモジュールを呼び出して制御装置により実行させ、基準パラメータの計測結果を対象診断ソフトウェアモジュールに返送する切替ソフトウェアモジュールとを備える診断プログラムを提供する。

本発明の第６形態によると、試験信号を被試験デバイスに供給する試験モジュールと、試験モジュールが有する基準電圧、基準抵抗、および基準電流の少なくとも１つを含む基準パラメータを計測する計測器と、試験モジュールおよび計測器を制御する制御装置とを備える試験装置において、診断対象となる試験モジュールを制御装置により診断させる対象診断ソフトウェアモジュールから呼び出されて、制御装置により計測器を制御させる診断インターフェイスプログラムであって、試験装置に搭載された計測器の種類を示す計測器識別情報を制御装置により取得させる取得モジュールと、計測器の種類毎に設けられ、制御装置上で実行されて、試験モジュールの基準パラメータの値を当該計測器により計測させるコマンドを制御装置から計測器へと発行させ、基準パラメータの計測結果を計測器から受け取る計測ソフトウェアモジュールと、試験モジュールが有する基準パラメータの値を計測することを指示する呼び出しを対象診断ソフトウェアモジュールから受けたことに応じて、計測器識別情報により識別される計測器に応じた計測ソフトウェアモジュールを呼び出して制御装置により実行させ、基準パラメータの計測結果を対象診断ソフトウェアモジュールに返送する切替ソフトウェアモジュールとを備える診断インターフェイスプログラムを提供する。なお上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群のサブコンビネーションも又発明となりうる。

図１は、本発明の実施形態に係る試験装置１０の構成をＤＵＴ１００とともに示す。（実施例１） 図２は、本発明の実施形態に係る制御装置２０のハードウェア構成の一例を示す。（実施例１） 図３は、本発明の実施形態に係る制御装置２０上で動作する診断プログラム３０の構成を、計測器１６およびバス２２とともに示す。（実施例１） 図４は、本発明の実施形態に係る診断プログラム３０による試験装置１０の診断フローを示す。（実施例１） 図５は、本発明の実施形態に係る診断プログラム３０によるステップＳ１０１２における動作フローを示す。（実施例１）

符号の説明

１０ 試験装置
１２ ロードボード
１４ 試験モジュール
１６ 計測器
２０ 制御装置
２２ バス
３０ 診断プログラム
４２ 診断制御ソフトウェアモジュール
４４ 対象診断ソフトウェアモジュール
４６ バス制御ソフトウェアモジュール
４８ 診断インターフェイスプログラム
５２ 取得モジュール
５４ 計測ソフトウェアモジュール
５６ 切替ソフトウェアモジュール
６０ 構成ファイル
１００ DUT
１９００ コンピュータ
２０００ ＣＰＵ
２０１０ ＲＯＭ
２０２０ ＲＡＭ
２０３０ 通信インターフェイス
２０４０ ハードディスクドライブ
２０５０ フレキシブルディスク・ドライブ
２０６０ ＣＤ−ＲＯＭドライブ
２０７０ 入出力チップ
２０７５ グラフィック・コントローラ
２０８０ 表示装置
２０８２ ホスト・コントローラ
２０８４ 入出力コントローラ
２０９０ フレキシブルディスク
２０９５ ＣＤ−ＲＯＭ

以下、発明の実施の形態を通じて本発明の一側面を説明するが、以下の実施形態は請求の範囲にかかる発明を限定するものではなく、又実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。

図１は、本実施形態に係る試験装置１０の構成をＤＵＴ１００とともに示す。試験装置１０は、ＤＵＴ１００（Ｄｅｖｉｃｅ Ｕｎｄｅｒ Ｔｅｓｔ：被試験デバイス）を試験する。より詳しくは、試験装置１０は、試験信号を生成してＤＵＴ１００に供給し、ＤＵＴ１００が試験信号に基づいて動作した結果出力する出力信号が期待値と一致するか否かに基づいてＤＵＴ１００の良否を判断する。
試験装置１０は、ロードボード１２と、少なくとも１つの試験モジュール１４と、計測器１６と、制御装置２０とを備える。ロードボード１２は、ＤＵＴ１００を載置し、試験モジュール１４とＤＵＴ１００との間を接続する。ここで、診断をする場合、試験装置１０は、試験用のロードボード１２に代えて、ＤＵＴ１００を載置しない診断用のロードボード１２を備えてよい。

各試験モジュール１４（１４−１〜１４−ｎ（ｎは正の整数））は、ＤＵＴ１００が有する端子に接続され、制御装置２０から与えられた試験プログラム及び試験データに基づいてＤＵＴ１００の試験を行う。ＤＵＴ１００の試験において、各試験モジュール１４は、試験プログラムにより定められたシーケンスに基づいて試験データから試験信号を生成し、当該試験モジュール１４に接続されたＤＵＴ１００の端子に試験信号を供給する。さらに、試験モジュール１４は、ＤＵＴ１００が試験信号に基づいて動作した結果出力する出力信号を取得し、期待値と比較する。そして、試験モジュール１４は、出力信号と期待値との比較結果を、試験結果として制御装置２０に送信する。

また、試験モジュール１４は、一例として、基準電圧源、基準抵抗および基準電流源等を有してよい。試験時において、試験モジュール１４は、基準電圧源、基準抵抗および基準電流源等を用いて試験信号の生成および出力信号の取得をする。
計測器１６は、試験モジュールが有する基準電圧、基準抵抗、および基準電流の少なくとも１つを含む基準パラメータを計測する。計測器１６は、制御装置２０からコマンドが与えられ、与えられたコマンドに応じた計測をする。そして、計測器１６は、計測して得られた結果を制御装置２０に返信する。

診断時において、計測器１６は、制御装置２０によるスイッチ制御等により、診断対象となる試験モジュール１４が有する例えば電圧源、抵抗および電流源と接続される。そして、計測器１６は、制御装置２０から与えられたコマンドに応じて、接続された試験モジュール１４が有する電圧源から発生された基準電圧の値、当該試験モジュール１４が有する基準抵抗の値、当該試験モジュール１４が有する基準電流源により発生される基準電流の値の少なくとも一つを、基準パラメータとして計測する。

制御装置２０は、各試験モジュール１４および制御装置２０を制御する。試験時において、制御装置２０は、試験モジュール１４を制御する。制御装置２０は、一例として、ＤＵＴ１００の試験に用いる試験プログラム及び試験データを当該試験に用いる試験モジュール１４に格納する。次に、制御装置２０は、試験プログラム及び試験データに基づく試験の開始を当該試験に用いる試験モジュール１４に指示して、試験を実行させる。そして、制御装置２０は、試験が終了したことを示す割込み等を試験モジュール１４から受信し、試験結果に基づいて次の試験を試験モジュール１４に行わせる。

また、試験モジュール１４の診断時において、制御装置２０は、計測器１６を制御する。制御装置２０は、例えば記録媒体により提供される診断プログラムを実行することにより、計測器１６を制御する。それぞれの試験モジュール１４の診断において、制御装置２０は、スイッチ等を制御して、診断対象の試験モジュール１４と計測器１６とを接続する。続いて、制御装置２０は、計測器１６にコマンドを発行して、診断対象の試験モジュール１４が有する基準パラメータ（基準電圧、基準抵抗および基準電流の少なくとも１つを含むパラメータ）を当該計測器１６により計測させる。そして、制御装置２０は、基準パラメータの計測結果を受信して、診断対象の試験モジュールの基準パラメータが本来出力されるべき値となるように補正する。また、制御装置２０は、計測器１６による計測結果を受信し、当該計測結果に基づき診断対象の試験モジュール１４が正常に動作しているか否かを判定してもよい。

以上のような構成の試験装置１０によれば、ＤＵＴ１００を試験することができる。さらに、試験装置１０によれば、各試験モジュール１４が正常に動作するように補正することができる。

ここで、試験装置１０は、搭載している第１種類の計測器１６（１６−１）を、例えば製造元、製品バージョン等が異なることにより制御装置２０から与えられるコマンド体系が異なる第２種類の計測器１６（１６−２）に交換可能となっている。搭載された計測器１６を種類の異なる他の計測器１６に交換した場合であっても、試験装置１０によれば、制御装置２０が実行する診断プログラムの記述を変更せずに、各試験モジュール１４の診断を行うことができる。

また、試験装置１０は、制御装置２０および計測器１６の間を接続する複数種類のバス２２（２２−１、２２−２、…）を更に備えてよい。バス２２は、一例として、ＧＰ−ＩＢ（Ｇｅｎｅｒａｌ Ｐｕｒｐｏｓｅ − Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ ｂｕｓ）およびＵＳＢ（Ｕｎｉｖｅｒｓａｌ Ｓｅｒｉａｌ Ｂｕｓ）等であってよい。ここで、試験装置１０に搭載された計測器１６が他の計測器１６に交換された場合、交換後の計測器１６は、交換前の計測器１６が接続されていた第１種類のバス２２（２２−１）とは異なる、第２種類のバス２２（２２−２）に接続されてよい。このように計測器１６に接続されるバス２２の種類が切り替えられた場合であっても、試験装置１０は、制御装置２０が実行する診断プログラムの記述を変更せずに、各試験モジュール１４の診断を行うことができる。

図２は、本実施形態に係る制御装置２０のハードウェア構成の一例を示す。制御装置２０として動作するコンピュータ１９００は、ホスト・コントローラ２０８２により相互に接続されるＣＰＵ２０００、ＲＡＭ２０２０、グラフィック・コントローラ２０７５、及び表示装置２０８０を有するＣＰＵ周辺部と、入出力コントローラ２０８４によりホスト・コントローラ２０８２に接続される通信インターフェイス２０３０、ハードディスクドライブ２０４０、及びＣＤ−ＲＯＭドライブ２０６０を有する入出力部と、入出力コントローラ２０８４に接続されるＲＯＭ２０１０、フレキシブルディスク・ドライブ２０５０、及び入出力チップ２０７０を有するレガシー入出力部とを備える。
ホスト・コントローラ２０８２は、ＲＡＭ２０２０と、高い転送レートでＲＡＭ２０２０をアクセスするＣＰＵ２０００及びグラフィック・コントローラ２０７５とを接続する。ＣＰＵ２０００は、ＲＯＭ２０１０及びＲＡＭ２０２０に格納されたプログラムに基づいて動作し、各部の制御を行う。グラフィック・コントローラ２０７５は、ＣＰＵ２０００等がＲＡＭ２０２０内に設けたフレーム・バッファ上に生成する画像データを取得し、表示装置２０８０上に表示させる。これに代えて、グラフィック・コントローラ２０７５は、ＣＰＵ２０００等が生成する画像データを格納するフレーム・バッファを、内部に含んでもよい。

入出力コントローラ２０８４は、ホスト・コントローラ２０８２と、比較的高速な入出力装置である通信インターフェイス２０３０、ハードディスクドライブ２０４０、ＣＤ−ＲＯＭドライブ２０６０を接続する。通信インターフェイス２０３０は、ネットワークを介して他の装置と通信する。ハードディスクドライブ２０４０は、コンピュータ１９００内のＣＰＵ２０００が使用するプログラム及びデータを格納する。ＣＤ−ＲＯＭドライブ２０６０は、ＣＤ−ＲＯＭ２０９５からプログラム又はデータを読み取り、ＲＡＭ２０２０を介してハードディスクドライブ２０４０に提供する。

また、入出力コントローラ２０８４には、ＲＯＭ２０１０と、フレキシブルディスク・ドライブ２０５０、及び入出力チップ２０７０の比較的低速な入出力装置とが接続される。ＲＯＭ２０１０は、コンピュータ１９００が起動時に実行するブート・プログラムや、コンピュータ１９００のハードウェアに依存するプログラム等を格納する。フレキシブルディスク・ドライブ２０５０は、フレキシブルディスク２０９０からプログラム又はデータを読み取り、ＲＡＭ２０２０を介してハードディスクドライブ２０４０に提供する。入出力チップ２０７０は、フレキシブルディスク・ドライブ２０５０や、例えばパラレル・ポート、シリアル・ポート、キーボード・ポート、マウス・ポート等を介して各種の入出力装置を接続する。

ＲＡＭ２０２０を介してハードディスクドライブ２０４０に提供される診断プログラム等のプログラムは、フレキシブルディスク２０９０、ＣＤ−ＲＯＭ２０９５、又はＩＣカード等の記録媒体に格納されて利用者によって提供される。プログラムは、記録媒体から読み出され、ＲＡＭ２０２０を介してコンピュータ１９００内のハードディスクドライブ２０４０にインストールされ、ＣＰＵ２０００において実行される。

以上に示したプログラム又はモジュールは、外部の記憶媒体に格納されてもよい。記憶媒体としては、フレキシブルディスク２０９０、ＣＤ−ＲＯＭ２０９５の他に、ＤＶＤやＣＤ等の光学記録媒体、ＭＯ等の光磁気記録媒体、テープ媒体、ＩＣカード等の半導体メモリ等を用いることができる。また、専用通信ネットワークやインターネットに接続されたサーバシステムに設けたハードディスク又はＲＡＭ等の記憶装置を記録媒体として使用し、ネットワークを介してプログラムをコンピュータ１９００に提供してもよい。

図３は、本実施形態に係る制御装置２０上で動作する診断プログラム３０の構成を、計測器１６およびバス２２とともに示す。診断プログラム３０は、制御装置２０により制御装置２０を用いて試験装置１０に搭載された複数の試験モジュール１４を診断させるプログラムである。診断プログラム３０は、試験装置１０が例えば診断用のロードボード１２を搭載した状態において制御装置２０により実行され、制御装置２０により計測器１６を制御し、試験装置１０に搭載された診断対象の試験モジュール１４を診断する。

診断プログラム３０は、診断制御ソフトウェアモジュール４２と、少なくとも一つの対象診断ソフトウェアモジュール４４と、診断インターフェイスプログラム４８と、少なくとも一つのバス制御ソフトウェアモジュール４６とを備える。これらのソフトウェアモジュールは、制御装置２０のＣＰＵ２０００により実行される。

より詳しくは、診断制御ソフトウェアモジュール４２は、ＣＰＵ２０００により実行されることにより、当該制御装置２０を診断制御部として機能させる。各対象診断ソフトウェアモジュール４４は、ＣＰＵ２０００により実行されることにより、当該制御装置２０を対象診断部として機能させる。バス制御ソフトウェアモジュール４６は、ＣＰＵ２０００により実行されることにより、当該制御装置２０をバス制御部として機能させる。診断インターフェイスプログラム４８は、ＣＰＵ２０００により実行されることにより、当該制御装置２０を診断インターフェイス部として機能させる。

診断制御ソフトウェアモジュール４２は、制御装置２０により実行され、当該試験装置１０による試験モジュール１４の診断処理を制御する。診断制御ソフトウェアモジュール４２は、一例として、診断対象となる試験モジュール１４を選択し、診断対象となる試験モジュール１４に対応した１つの対象診断ソフトウェアモジュール４４を呼び出して、制御装置２０に実行させる。

各対象診断ソフトウェアモジュール４４（４４−１、４４−２、…）は、制御装置２０により実行され、診断対象となる試験モジュール１４の基準パラメータの値を制御装置２０により診断させる。これらの対象診断ソフトウェアモジュール４４は、試験モジュール１４の種類毎に試験モジュール１４の設計者等により記述される。

ここで、対象診断ソフトウェアモジュール４４は、診断時において、計測器１６に対して診断対象となる試験モジュール１４の基準パラメータを計測させる。計測器１６に対して基準パラメータを計測させる場合、対象診断ソフトウェアモジュール４４は、診断インターフェイスプログラム４８を呼び出し、試験モジュール１４が有する基準パラメータの値を計測することを、呼び出した診断インターフェイスプログラム４８を介して計測器１６に指示する。そして、対象診断ソフトウェアモジュール４４は、呼び出した診断インターフェイスプログラム４８を介して、計測器１６から計測結果を取得する。

各バス制御ソフトウェアモジュール４６（４６−１、４６−２、…）は、制御装置２０により実行される。各バス制御ソフトウェアモジュール４６は、制御装置２０および計測器１６の間を接続するバス２２の種類毎に設けられ、当該バス２２を介して制御装置２０および計測器１６の間の通信を制御装置２０により行わせる。

診断インターフェイスプログラム４８は、試験モジュール１４が有する基準パラメータの値を計測することを指示する呼び出しに応じて、制御装置２０により実行される。診断インターフェイスプログラム４８は、呼び出しを対象診断ソフトウェアモジュール４４から受けると、呼び出された機能を実行させるコマンドを計測器１６に送信する。そして、診断インターフェイスプログラム４８は、実行結果を計測器１６から受信し、呼び出しをした対象診断ソフトウェアモジュール４４に計測処理の結果を返信する。

ここで、診断インターフェイスプログラム４８は、試験装置１０に搭載された計測器１６の種類（例えばコマンド体系）に対応したコマンドを、制御装置２０から計測器１６に発行させる。例えば、診断インターフェイスプログラム４８は、同一の計測機能を計測器１６に実行させる場合であっても、種類の異なる計測器１６に対しては、互いに記述が異なるコマンドを発行する。さらに、診断インターフェイスプログラム４８は、搭載された計測器１６の種類に関わらず、対象診断ソフトウェアモジュール４４から共通の記述の呼び出しを受け付ける。例えば、試験装置１０に搭載された計測器１６が異なる種類の計測器１６に交換された場合であっても、同一の計測機能を計測器１６に実行させる場合には、診断インターフェイスプログラム４８は、対象診断ソフトウェアモジュール４４から共通の記述により呼び出される。

診断インターフェイスプログラム４８は、取得モジュール５２と、複数の計測ソフトウェアモジュール５４と、切替ソフトウェアモジュール５６とを有する。これらのソフトウェアモジュールは、制御装置２０のＣＰＵ２０００により実行される。より詳しくは、取得モジュール５２は、ＣＰＵ２０００により実行されることにより、当該制御装置２０を取得部として機能させる。計測ソフトウェアモジュール５４は、ＣＰＵ２０００により実行されることにより、当該制御装置２０を計測部として機能させる。切替ソフトウェアモジュール５６は、ＣＰＵ２０００により実行されることにより、当該制御装置２０を切替部として機能させる。

取得モジュール５２は、制御装置２０上で実行され、試験装置１０に搭載された計測器１６の種類を示す計測器識別情報を制御装置２０により取得させる。取得モジュール５２は、一例として、当該試験装置１０の構成時または対象診断ソフトウェアモジュール４４からの呼び出し時等に、計測器１６の計測器識別情報を制御装置２０により取得させてよい。また、例えば、取得モジュール５２は、バス制御ソフトウェアモジュール４６を呼び出して、試験装置１０に搭載された計測器１６内の例えば外部からアクセス可能なレジスタに記憶された、当該計測器１６の種類を識別する計測器識別情報を、制御装置２０により読み出させてもよい。また、取得モジュール５２は、試験装置１０の製造者により制御装置２０内の記憶装置に直接格納された計測器識別情報を、当該記憶装置を当該制御装置２０により読み出させてもよい。

計測器識別情報に加えて、取得モジュール５２は、制御装置２０および計測器１６の間を接続するバス２２の種類を示すバス識別情報を制御装置２０により更に取得させてよい。この場合において、取得モジュール５２は、制御装置２０に接続されたそれぞれのバス２２に計測器１６が接続されているか否かを制御装置２０により検出させて、計測器１６が検出されたバスの識別情報をバス識別情報としてよい。

ここで、制御装置２０上の例えばハードディスクドライブ２０４０またはＲＡＭ２０２０等は、試験装置１０が搭載している試験モジュール１４、計測器１６、およびバス２２の識別情報を格納する構成ファイル６０を記憶してよい。この場合、取得モジュール５２は、制御装置２０上のハードディスクドライブ２０４０等に記憶された、構成ファイル６０を制御装置２０により検索させ、試験装置１０に搭載された計測器１６に対応する計測器識別情報およびバス識別情報を制御装置２０により読み出させてよい。また、取得モジュール５２は、取得した計測器識別情報と、構成ファイル６０に格納された情報とを比較して、構成ファイル６０に格納された計測器１６の種類と、計測器識別情報に示された計測器１６の種類とが一致しているか否かを判断してよい。

各計測ソフトウェアモジュール５４（５４−１、５４−２、…）は、当該試験装置１０が搭載可能な計測器１６の種類毎に設けられる。各計測ソフトウェアモジュール５４は、切替ソフトウェアモジュール５６からの呼び出しに応じて制御装置２０上で実行される。複数の計測ソフトウェアモジュール５４のそれぞれは、対応する種類の計測器１６により受け付け可能なコマンドを発行し、当該種類の計測器１６から計測結果を受け取る。

切替ソフトウェアモジュール５６から呼び出された計測ソフトウェアモジュール５４は、対象診断ソフトウェアモジュール４４により指示された試験モジュール１４の基準パラメータの値を当該計測器１６により計測させるコマンドを、制御装置２０から計測器１６へと発行させる。計測ソフトウェアモジュール５４は、一例として、電圧を計測するコマンド、抵抗値を計測するコマンド、電流値を計測するコマンドを、制御装置２０から計測器１６へと発行させる。さらに、各計測ソフトウェアモジュール５４は、基準パラメータの計測結果を計測器１６から受け取る。

また、この場合において、切替ソフトウェアモジュール５６から呼び出された計測ソフトウェアモジュール５４は、バス識別情報により識別されるバスに応じた１つのバス制御ソフトウェアモジュール４６を呼び出して制御装置２０により実行させる。そして、当該計測ソフトウェアモジュール５４は、制御装置２０から対応するバス２２を介して計測器１６へとコマンドを発行させ、基準パラメータの計測結果を計測器１６から受け取らせる。

切替ソフトウェアモジュール５６は、試験モジュール１４が有する基準パラメータの値を計測することを指示する呼び出しを対象診断ソフトウェアモジュール４４から受けたことに応じて、制御装置２０により実行される。当該呼び出しを受けた対象診断ソフトウェアモジュール４４は、計測器識別情報により識別される計測器１６に応じた１つの計測ソフトウェアモジュール５４を呼び出して制御装置２０により実行させる。

すなわち、切替ソフトウェアモジュール５６は、計測器識別情報に基づき当該試験装置１０に搭載された計測器１６の種類を特定し、複数の計測ソフトウェアモジュール５４のうち特定した種類に対応する１つの計測ソフトウェアモジュール５４を呼び出す。そして、切替ソフトウェアモジュール５６は、呼び出した計測ソフトウェアモジュール５４により、対象診断ソフトウェアモジュール４４からの指示に応じた計測を実行させるコマンドを、制御装置２０から計測器１６に発行させる。なお、この場合において、切替ソフトウェアモジュール５６は、対象診断ソフトウェアモジュール４４からの指示に応じた１つの計測動作を計測器１６に実行させることを目的として、複数のコマンドを制御装置２０から計測器１６に発行させてもよい。そして、切替ソフトウェアモジュール５６は、呼び出した計測ソフトウェアモジュール５４が計測器１６から受け取った基準パラメータの計測結果を、対象診断ソフトウェアモジュール４４に返送する。

このような診断インターフェイスプログラム４８によれば、対象診断ソフトウェアモジュール４４から与えられた共通記述の呼び出しを、試験装置１０に搭載された計測器１６の種類に対応したコマンドに変換して、制御装置２０から計測器１６に送信することができる。さらに、診断インターフェイスプログラム４８によれば、対象診断ソフトウェアモジュール４４から与えられた共通記述の呼び出しを、計測器１６が接続されたバス２２の種類に対応したコマンドに変換して、制御装置２０から計測器１６に送信することができる。

以上に示した診断プログラム３０によれば、試験装置１０に搭載する計測器１６の種類または当該計測器１６に接続するバス２２の種類を変更した場合においても、対象診断ソフトウェアモジュール４４の記述を変更する必要がなくなる。これにより診断プログラム３０は、試験装置１０に搭載する計測器１６の種類によらず適切な診断処理を行うことができる。

図４は、本実施形態に係る診断プログラム３０による試験装置１０の診断フローを示す。診断処理が開始すると、制御装置２０上で実行される診断制御ソフトウェアモジュール４２は、複数の試験モジュール１４のそれぞれについて順次に、対応する対象診断ソフトウェアモジュール４４を実行させる（Ｓ１０１２）。これにより診断制御ソフトウェアモジュール４２は、複数の試験モジュール１４のそれぞれを順次制御装置２０により診断させることができる（Ｓ１０１１、Ｓ１０１３）。

全ての試験モジュール１４の診断を終えると、診断制御ソフトウェアモジュール４２は、それぞれの対象診断ソフトウェアモジュール４４から取得した診断結果を出力する（Ｓ１０１４）。試験装置１０の使用者は、当該診断結果に基づいて、試験装置１０が正常に動作するか否かの情報、および、不良である試験モジュール１４を特定する情報等を得ることができる。

図５は、本実施形態に係る診断プログラム３０によるＳ１０１２の動作フローを示す。診断プログラム３０内の対象診断ソフトウェアモジュール４４、バス制御ソフトウェアモジュール４６および診断インターフェイスプログラム４８は、制御装置２０上で実行されることにより、図４のＳ１０１２において、図５に示した処理を行う。

まず、診断プログラム３０内の対象診断ソフトウェアモジュール４４は、診断対象の試験モジュール１４を診断する（Ｓ１０２１）。次に、診断プログラム３０は、試験モジュール１４の診断中において、適宜、基準パラメータの値を計測することを指示する呼び出しを行う。診断プログラム３０は、当該呼び出し毎に、Ｓ１０２３からＳ１０２９までの処理を行う（Ｓ１０２２、Ｓ１０３０）。

対象診断ソフトウェアモジュール４４は、診断インターフェイスプログラム４８内の切替ソフトウェアモジュール５６を呼び出す（Ｓ１０２３）。次に、ステップＳ１０２３において呼び出された切替ソフトウェアモジュール５６は、計測器識別情報により識別される計測ソフトウェアモジュール５４を呼び出して、実行する（Ｓ１０２４）。すなわち、切替ソフトウェアモジュール５６は、当該試験装置１０に搭載された計測器１６の種類に対応する計測ソフトウェアモジュール５４を呼び出して、実行する。

次に、ステップＳ１０２４において呼び出された計測ソフトウェアモジュール５４は、バス識別情報により識別されるバス２２に応じたバス制御ソフトウェアモジュール４６を呼び出して、実行する（Ｓ１０２６）。すなわち、当該計測ソフトウェアモジュール５４は、試験装置１０に搭載された試験装置１０および制御装置２０の間を接続するバス２２の種類に対応したバス制御ソフトウェアモジュール４６を呼び出して、実行する。

次に、ステップＳ１０２４において呼び出された計測ソフトウェアモジュール５４は、指示された基準パラメータを計測器１６により計測させるべく、指示に応じたコマンドを制御装置２０から計測器１６へバス２２を介して発行する（Ｓ１０２７）。次に、ステップＳ１０２４において呼び出された計測ソフトウェアモジュール５４は、基準パラメータの計測結果を、計測器１６からバス２２を介して制御装置２０により受け取らせる（Ｓ１０２８）。そして、切替ソフトウェアモジュール５６は、ステップＳ１０２４において呼び出された計測ソフトウェアモジュール５４が受け取った基準パラメータの計測結果を、対象診断ソフトウェアモジュール４４に返送する（Ｓ１０２９）。対象診断ソフトウェアモジュール４４は、この結果を受けて、診断対象となる試験モジュール１４の診断をすることができる。

以上、本発明の一側面を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更又は改良を加えることができる。その様な変更又は改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、請求の範囲の記載から明らかである。

Claims (9)

1. 試験信号を被試験デバイスに供給する試験モジュールと、前記試験モジュールが有する基準電圧、基準抵抗、および基準電流の少なくとも１つを含む基準パラメータを計測する計測器と、前記試験モジュールおよび前記計測器を制御する制御装置とを備える試験装置において、前記制御装置により前記計測器を用いて前記複数の試験モジュールを診断させる診断プログラムを記録した記録媒体であって、
   前記診断プログラムは、
   診断対象となる前記試験モジュールを前記制御装置により診断させる対象診断ソフトウェアモジュールと、
   前記試験装置に搭載された前記計測器の種類を示す計測器識別情報を前記制御装置により取得させる取得モジュールと、
   前記計測器の種類毎に設けられ、前記制御装置上で実行されて、前記試験モジュールの前記基準パラメータの値を当該計測器により計測させるコマンドを前記制御装置から前記計測器へと発行させ、前記基準パラメータの計測結果を前記計測器から受け取る計測ソフトウェアモジュールと、
   前記試験モジュールが有する前記基準パラメータの値を計測することを指示する呼び出しを前記対象診断ソフトウェアモジュールから受けたことに応じて、前記計測器識別情報により識別される前記計測器に応じた前記計測ソフトウェアモジュールを呼び出して前記制御装置により実行させ、前記基準パラメータの計測結果を前記対象診断ソフトウェアモジュールに返送する切替ソフトウェアモジュールと
   を備える記録媒体。
2. 前記診断プログラムは、前記制御装置および前記計測器の間を接続するバスの種類毎に設けられ、当該バスを介して前記制御装置および前記計測器の間の通信を前記制御装置により行わせるバス制御ソフトウェアモジュールを更に備え、
   前記取得モジュールは、前記制御装置および前記計測器の間を接続するバスの種類を示すバス識別情報を前記制御装置により更に取得させ、
   前記切替ソフトウェアモジュールは、前記試験モジュールが有する前記基準パラメータの値を計測することを指示する呼び出しを前記対象診断ソフトウェアモジュールから受けたことに応じて、前記計測器識別情報により識別される前記計測器に応じた前記計測ソフトウェアモジュールを呼び出して前記制御装置により実行させ、
   前記切替ソフトウェアモジュールから呼び出された前記計測ソフトウェアモジュールは、前記バス識別情報により識別されるバスに応じた前記バス制御ソフトウェアモジュールを呼び出して前記制御装置により実行させて、前記制御装置から前記計測器へと前記コマンドを発行させ前記基準パラメータの計測結果を前記計測器から受け取らせる
   請求項１に記載の記録媒体。
3. 前記取得モジュールは、前記制御装置上に記憶された、前記試験装置が搭載している前記試験モジュール、前記計測器、および前記バスの識別情報を格納する構成ファイルを前記制御装置により検索させ、前記試験装置に搭載された前記計測器に対応する前記計測器識別情報および前記バス識別情報を前記制御装置により読み出させる請求項２に記載の記録媒体。
4. 前記取得モジュールは、
   前記制御装置に接続されたそれぞれの前記バスに前記計測器が接続されているか否かを前記制御装置により検出させて、前記計測器が検出された前記バスの識別情報を前記バス識別情報とし、
   前記バス制御ソフトウェアモジュールを呼び出して、前記試験装置に搭載された前記計測器内に記憶された、当該計測器の種類を識別する前記計測器識別情報を前記制御装置により読み出させる
   請求項２または３に記載の記録媒体。
5. 試験信号を被試験デバイスに供給する試験モジュールと、前記試験モジュールが有する基準電圧、基準抵抗、および基準電流の少なくとも１つを含む基準パラメータを計測する計測器と、前記試験モジュールおよび前記計測器を制御する制御装置とを備える試験装置において、診断対象となる前記試験モジュールを前記制御装置により診断させる対象診断ソフトウェアモジュールから呼び出されて、前記制御装置により前記計測器を制御させる診断インターフェイスプログラムを記録した記録媒体であって、
   前記診断インターフェイスプログラムは、
   前記試験装置に搭載された前記計測器の種類を示す計測器識別情報を前記制御装置により取得させる取得モジュールと、
   前記計測器の種類毎に設けられ、前記制御装置上で実行されて、前記試験モジュールの前記基準パラメータの値を当該計測器により計測させるコマンドを前記制御装置から前記計測器へと発行させ、前記基準パラメータの計測結果を前記計測器から受け取る計測ソフトウェアモジュールと、
   前記試験モジュールが有する前記基準パラメータの値を計測することを指示する呼び出しを前記対象診断ソフトウェアモジュールから受けたことに応じて、前記計測器識別情報により識別される前記計測器に応じた前記計測ソフトウェアモジュールを呼び出して前記制御装置により実行させ、前記基準パラメータの計測結果を前記対象診断ソフトウェアモジュールに返送する切替ソフトウェアモジュールと
   を備える記録媒体。
6. 被試験デバイスを試験する試験装置であって、
   試験信号を被試験デバイスに供給する試験モジュールと、
   前記試験モジュールが有する基準電圧、基準抵抗、および基準電流の少なくとも１つを含む基準パラメータを計測する計測器と、
   前記試験モジュールおよび前記計測器を制御する制御装置と
   を備え、
   前記制御装置は、前記計測器を用いて前記複数の試験モジュールを診断させる診断プログラムを実行することにより、
   診断対象となる前記試験モジュールを診断する対象診断部と、
   前記試験装置に搭載された前記計測器の種類を示す計測器識別情報を取得する取得部と、
   前記計測器の種類毎に設けられ、前記制御装置上で実行されて、前記試験モジュールの前記基準パラメータの値を当該計測器により計測させるコマンドを前記計測器へと発行し、前記基準パラメータの計測結果を前記計測器から受け取る計測処理部と、
   前記試験モジュールが有する前記基準パラメータの値を計測することを指示する呼び出しを前記対象診断部から受けたことに応じて、前記計測器識別情報により識別される前記計測器に応じた前記計測処理部を呼び出して実行させ、前記基準パラメータの計測結果を前記対象診断部に返送する切替部と
   して機能する試験装置。
7. 試験信号を被試験デバイスに供給する試験モジュールと、前記試験モジュールが有する基準電圧、基準抵抗、および基準電流の少なくとも１つを含む基準パラメータを計測する計測器と、前記試験モジュールおよび前記計測器を制御する制御装置とを備える試験装置において、前記制御装置により前記計測器を用いて前記複数の試験モジュールを診断させる診断方法であって、
   診断対象となる前記試験モジュールを診断させる対象診断ソフトウェアモジュールを前記制御装置上で実行させることと、
   前記試験装置に搭載された前記計測器の種類を示す計測器識別情報を前記制御装置により取得させることと、
   前記計測器の種類毎に設けられ、前記制御装置上で実行されて、前記試験モジュールの前記基準パラメータの値を当該計測器により計測させるコマンドを前記制御装置から前記計測器へと発行させ、前記基準パラメータの計測結果を前記計測器から受け取る計測ソフトウェアモジュールを前記制御装置上で実行させることと、
   前記試験モジュールが有する前記基準パラメータの値を計測することを指示する呼び出しを前記対象診断ソフトウェアモジュールから受けたことに応じて、前記計測器識別情報により識別される前記計測器に応じた前記計測ソフトウェアモジュールを呼び出して前記制御装置により実行させ、前記基準パラメータの計測結果を前記対象診断ソフトウェアモジュールに返送することと
   を備える診断方法。
8. 試験信号を被試験デバイスに供給する試験モジュールと、前記試験モジュールが有する基準電圧、基準抵抗、および基準電流の少なくとも１つを含む基準パラメータを計測する計測器と、前記試験モジュールおよび前記計測器を制御する制御装置とを備える試験装置において、前記制御装置により前記計測器を用いて前記複数の試験モジュールを診断させる診断プログラムであって、
   診断対象となる前記試験モジュールを前記制御装置により診断させる対象診断ソフトウェアモジュールと、
   前記試験装置に搭載された前記計測器の種類を示す計測器識別情報を前記制御装置により取得させる取得モジュールと、
   前記計測器の種類毎に設けられ、前記制御装置上で実行されて、前記試験モジュールの前記基準パラメータの値を当該計測器により計測させるコマンドを前記制御装置から前記計測器へと発行させ、前記基準パラメータの計測結果を前記計測器から受け取る計測ソフトウェアモジュールと、
   前記試験モジュールが有する前記基準パラメータの値を計測することを指示する呼び出しを前記対象診断ソフトウェアモジュールから受けたことに応じて、前記計測器識別情報により識別される前記計測器に応じた前記計測ソフトウェアモジュールを呼び出して前記制御装置により実行させ、前記基準パラメータの計測結果を前記対象診断ソフトウェアモジュールに返送する切替ソフトウェアモジュールと
   を備える診断プログラム。
9. 試験信号を被試験デバイスに供給する試験モジュールと、前記試験モジュールが有する基準電圧、基準抵抗、および基準電流の少なくとも１つを含む基準パラメータを計測する計測器と、前記試験モジュールおよび前記計測器を制御する制御装置とを備える試験装置において、診断対象となる前記試験モジュールを前記制御装置により診断させる対象診断ソフトウェアモジュールから呼び出されて、前記制御装置により前記計測器を制御させる診断インターフェイスプログラムであって、
   前記試験装置に搭載された前記計測器の種類を示す計測器識別情報を前記制御装置により取得させる取得モジュールと、
   前記計測器の種類毎に設けられ、前記制御装置上で実行されて、前記試験モジュールの前記基準パラメータの値を当該計測器により計測させるコマンドを前記制御装置から前記計測器へと発行させ、前記基準パラメータの計測結果を前記計測器から受け取る計測ソフトウェアモジュールと、
   前記試験モジュールが有する前記基準パラメータの値を計測することを指示する呼び出しを前記対象診断ソフトウェアモジュールから受けたことに応じて、前記計測器識別情報により識別される前記計測器に応じた前記計測ソフトウェアモジュールを呼び出して前記制御装置により実行させ、前記基準パラメータの計測結果を前記対象診断ソフトウェアモジュールに返送する切替ソフトウェアモジュールと
   を備える診断インターフェイスプログラム。

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