WO2008065863A1 - Programme, support d'enregistrement, appareil de test et procédé de diagnostic - Google Patents

Description

明 細 書

プログラム、記録媒体、試験装置および診断方法

技術分野

[0001] 本発明は、記録媒体、試験装置および診断方法に関する。特に本発明は、試験信 号を被試験デバイスに供給する複数の試験モジュールと、複数の試験モジュールを 制御する制御装置とを備える試験装置にお!/、て、試験モジュールを診断させるプロ グラムを記録した記録媒体、試験装置および診断方法に関する。文献の参照による 組み込みが認められる指定国については、下記の出願に記載された内容を参照に より本出願に組み込み、本出願の一部とする。

1.米国特許出願番号 11/607, 824 出願日 2006年 12月 01日

背景技術

[0002] メモリ、ロジック LSI、又は SoC (System on Chip)等の DUT (Device Under Test :被試験デバイス）を試験する試験装置は、 DUTとの間で信号を入出力する試 験モジュールを備える。試験装置は、一例として、試験モジュールから DUTの基準 ノ ラメータの値を計測することを指示する呼び出しに対して試験信号を供給し、試験 信号に応じて DUTの出力端子から出力される出力信号を試験モジュールにより受け て期待値と比較することにより、 DUTの良否を判定する。

[0003] 試験装置は、異常有無を判定することを目的として診断機能を有する。試験装置は 、診断の過程において、各試験モジュールに異常があるかどうかについても診断す る。試験モジュールの診断において、試験装置は、一例として、診断対象の試験モジ ユールの基準電圧、基準電流および基準抵抗等を計測器により計測し、計測結果が 正常な範囲にある力、を判定する。また、試験モジュールの診断において、試験装置 の制御装置は、プログラムを実行し、例えば GP— IB等のバスを介してコマンドを送 信して計測器を制御する。なお、現時点で先行技術文献の存在を認識していないの で、先行技術文献に関する記載を省略する。

発明の開示

発明が解決しょうとする課題 [0004] ところで、試験装置に備えられる計測器の種類を変更した場合、制御装置から計測 器に与えるコマンドが変更されてしまうので、プログラムについても対応する修正を行 う必要があった。また、試験装置に備えられる計測器の種類を変更した場合、計測器 および制御装置の間を接続するバスも変更される場合がある。この場合も、プロダラ ムの修正が必要となった。従って、試験モジュールの設計者は、試験装置に搭載さ れた計測器の種類が変更する毎に、当該試験モジュールを診断するプログラムを修 正しなければならなかった。

[0005] そこで本発明の 1つの側面においては、上記の課題を解決することのできる記録媒 体、試験装置および診断方法を提供することを目的とする。この目的は請求の範囲 における独立項に記載の特徴の組み合わせにより達成される。また従属項は本発明 の更なる有利な具体例を規定する。

課題を解決するための手段

[0006] 即ち、本発明の第 1形態によると、試験信号を被試験デバイスに供給する試験モジ ユールと、試験モジュールが有する基準電圧、基準抵抗、および基準電流の少なくと も 1つを含む基準パラメータを計測する計測器と、試験モジュールおよび計測器を制 御する制御装置とを備える試験装置にお!/、て、制御装置により計測器を用いて複数 の試験モジュールを診断させる診断プログラムを記録した記録媒体であって、診断プ ログラムは、診断対象となる試験モジュールを制御装置により診断させる対象診断ソ フトウェアモジュールと、試験装置に搭載された計測器の種類を示す計測器識別情 報を制御装置により取得させる取得モジュールと、計測器の種類毎に設けられ、制 御装置上で実行されて、試験モジュールの基準パラメータの値を当該計測器により 計測させるコマンドを制御装置力 計測器へと発行させ、基準パラメータの計測結果 を計測器から受け取る計測ソフトウェアモジュールと、試験モジュールが有する基準 ノ ラメータの値を計測することを指示する呼び出しを対象診断ソフトウェアモジュール 力 受けたことに応じて、計測器識別情報により識別される計測器に応じた計測ソフ トウエアモジュールを呼び出して制御装置により実行させ、基準パラメータの計測結 果を対象診断ソフトウェアモジュールに返送する切替ソフトウェアモジュールとを備え る記録媒体を提供する。 [0007] 本発明の第 2形態によると、試験信号を被試験デバイスに供給する試験モジュール と、試験モジュールが有する基準電圧、基準抵抗、および基準電流の少なくとも 1つ を含む基準パラメータを計測する計測器と、試験モジュールおよび計測器を制御す る制御装置とを備える試験装置にお!/、て、診断対象となる試験モジュールを制御装 置により診断させる対象診断ソフトウェアモジュールから呼び出されて、制御装置によ り計測器を制御させる診断インターフェイスプログラムを記録した記録媒体であって、 診断インターフェイスプログラムは、試験装置に搭載された計測器の種類を示す計測 器識別情報を制御装置により取得させる取得モジュールと、計測器の種類毎に設け られ、制御装置上で実行されて、試験モジュールの基準パラメータの値を当該計測 器により計測させるコマンドを制御装置から計測器へと発行させ、基準パラメータの 計測結果を計測器力 受け取る計測ソフトウェアモジュールと、試験モジュールが有 する基準パラメータの値を計測することを指示する呼び出しを対象診断ソフトウェアモ ジュール力 受けたことに応じて、計測器識別情報により識別される計測器に応じた 計測ソフトウェアモジュールを呼び出して制御装置により実行させ、基準パラメータの 計測結果を対象診断ソフトウェアモジュールに返送する切替ソフトウェアモジュールと を備える記録媒体を提供する。

[0008] 本発明の第 3形態によると、被試験デバイスを試験する試験装置であって、試験信 号を被試験デバイスに供給する試験モジュールと、試験モジュールが有する基準電 圧、基準抵抗、および基準電流の少なくとも 1つを含む基準パラメータを計測する計 測器と、試験モジュールおよび計測器を制御する制御装置とを備え、制御装置は、 計測器を用いて複数の試験モジュールを診断させる診断プログラムを実行すること により、診断対象となる試験モジュールを診断する対象診断部と、試験装置に搭載さ れた計測器の種類を示す計測器識別情報を取得する取得部と、計測器の種類毎に 設けられ、制御装置上で実行されて、試験モジュールの基準パラメータの値を当該 計測器により計測させるコマンドを計測器へと発行し、基準パラメータの計測結果を 計測器から受け取る計測処理部と、試験モジュールが有する基準パラメータの値を 計測することを指示する呼び出しを対象診断部から受けたことに応じて、計測器識別 情報により識別される計測器に応じた計測処理部を呼び出して実行させ、基準パラメ ータの計測結果を対象診断部に返送する切替部として機能する試験装置を提供す

[0009] 本発明の第 4形態によると、試験信号を被試験デバイスに供給する試験モジュール と、試験モジュールが有する基準電圧、基準抵抗、および基準電流の少なくとも 1つ を含む基準パラメータを計測する計測器と、試験モジュールおよび計測器を制御す る制御装置とを備える試験装置において、制御装置により計測器を用いて複数の試 験モジュールを診断させる診断方法であって、診断対象となる試験モジュールを診 断させる対象診断ソフトウェアモジュールを制御装置上で実行させることと、試験装 置に搭載された計測器の種類を示す計測器識別情報を制御装置により取得させるこ とと、計測器の種類毎に設けられ、制御装置上で実行されて、試験モジュールの基 準パラメータの値を当該計測器により計測させるコマンドを制御装置力 計測器へと 発行させ、基準パラメータの計測結果を計測器から受け取る計測ソフトウェアモジュ ールを制御装置上で実行させることと、試験モジュールが有する基準パラメータの値 を計測することを指示する呼び出しを対象診断ソフトウェアモジュールから受けたこと に応じて、計測器識別情報により識別される計測器に応じた計測ソフトウェアモジュ ールを呼び出して制御装置により実行させ、基準パラメータの計測結果を対象診断 ソフトウェアモジュールに返送することとを備える診断方法を提供する。

[0010] 即ち、本発明の第 5形態によると、試験信号を被試験デバイスに供給する試験モジ ユールと、試験モジュールが有する基準電圧、基準抵抗、および基準電流の少なくと も 1つを含む基準パラメータを計測する計測器と、試験モジュールおよび計測器を制 御する制御装置とを備える試験装置にお!/、て、制御装置により計測器を用いて複数 の試験モジュールを診断させる診断プログラムであって、診断対象となる試験モジュ ールを制御装置により診断させる対象診断ソフトウェアモジュールと、試験装置に搭 載された計測器の種類を示す計測器識別情報を制御装置により取得させる取得モ ジュールと、計測器の種類毎に設けられ、制御装置上で実行されて、試験モジユー ルの基準パラメータの値を当該計測器により計測させるコマンドを制御装置から計測 器へと発行させ、基準パラメータの計測結果を計測器から受け取る計測ソフトウェア モジュールと、試験モジュールが有する基準パラメータの値を計測することを指示す る呼び出しを対象診断ソフトウェアモジュールから受けたことに応じて、計測器識別 情報により識別される計測器に応じた計測ソフトウェアモジュールを呼び出して制御 装置により実行させ、基準パラメータの計測結果を対象診断ソフトウェアモジュール に返送する切替ソフトウェアモジュールとを備える診断プログラムを提供する。

[0011] 本発明の第 6形態によると、試験信号を被試験デバイスに供給する試験モジュール と、試験モジュールが有する基準電圧、基準抵抗、および基準電流の少なくとも 1つ を含む基準パラメータを計測する計測器と、試験モジュールおよび計測器を制御す る制御装置とを備える試験装置にお!/、て、診断対象となる試験モジュールを制御装 置により診断させる対象診断ソフトウェアモジュールから呼び出されて、制御装置によ り計測器を制御させる診断インターフェイスプログラムであって、試験装置に搭載され た計測器の種類を示す計測器識別情報を制御装置により取得させる取得モジユー ルと、計測器の種類毎に設けられ、制御装置上で実行されて、試験モジュールの基 準パラメータの値を当該計測器により計測させるコマンドを制御装置力 計測器へと 発行させ、基準パラメータの計測結果を計測器から受け取る計測ソフトウェアモジュ ールと、試験モジュールが有する基準パラメータの値を計測することを指示する呼び 出しを対象診断ソフトウェアモジュール力も受けたことに応じて、計測器識別情報によ り識別される計測器に応じた計測ソフトウェアモジュールを呼び出して制御装置によ り実行させ、基準パラメータの計測結果を対象診断ソフトウェアモジュールに返送す る切替ソフトウェアモジュールとを備える診断インターフェイスプログラムを提供する。 なお上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではなぐこ れらの特徴群のサブコンビネーションも又発明となりうる。

図面の簡単な説明

[0012] [図 1]図 1は、本発明の実施形態に係る試験装置 10の構成を DUT100とともに示す 。 （実施例 1)

[図 2]図 2は、本発明の実施形態に係る制御装置 20のハードウェア構成の一例を示 す。 （実施例 1)

[図 3]図 3は、本発明の実施形態に係る制御装置 20上で動作する診断プログラム 30 の構成を、計測器 16およびバス 22とともに示す。 （実施例 1) 園 4]図 4は、本発明の実施形態に係る診断プログラム 30による試験装置 10の診断 フローを示す。 （実施例 1)

[図 5]図 5は、本発明の実施形態に係る診断プログラム 30によるステップ S 1012にお ける動作フローを示す。 （実施例 1)

符号の説明

10 験装置

12 ロードボード

14 試験モジュール

16 計測器

20 制御装置

22 ノ ス

30 診断プログラム

42 診断制御ソフトウェア eジュール

44 対象診断ソフトウェア: eジュール

46 バス制御ソフトウェア ジュール

48 診断インターフェイス:ズログラム

52 取得モジュール

54 計測ソフトウェアモジニール

56 切替ソフトウェアモジニール

60 構成ファイル

100 DUT

1900 コンピュータ

2000 CPU

2010 ROM

2020 RAM

2030 通信インターフェイス

2040 ハードディスクドライブ

2050 フレキシブルディスク'ドライブ 2060 CD— ROMドライブ

2070 入出力チップ

2075 グラフィック 'コントローラ

2080 表示装置

2082 ホスト'コントローラ

2084 入出力コントローラ

2090 フレキシブルディスク

2095 CD-ROM

発明を実施するための最良の形態

[0014] 以下、発明の実施の形態を通じて本発明の一側面を説明するが、以下の実施形態 は請求の範囲に力、かる発明を限定するものではなぐ又実施形態の中で説明されて いる特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。

[0015] 図 1は、本実施形態に係る試験装置 10の構成を DUT100とともに示す。試験装置

10は、 DUT100 (Device Under Test :被試験デバイス）を試験する。より詳しく は、試験装置 10は、試験信号を生成して DUT100に供給し、 DUT100が試験信号 に基づいて動作した結果出力する出力信号が期待値と一致するか否かに基づいて DUT100の良否を判断する。

試験装置 10は、ロードボード 12と、少なくとも 1つの試験モジュール 14と、計測器 1 6と、制御装置 20とを備える。ロードボード 12は、 DUT100を載置し、試験モジユー ル 14と DUT100との間を接続する。ここで、診断をする場合、試験装置 10は、試験 用のロードボード 12に代えて、 DUT100を載置しない診断用のロードボード 12を備 えてよい。

[0016] 各試験モジュール 14 (14 14 n (nは正の整数））は、 DUT100が有する端 子に接続され、制御装置 20から与えられた試験プログラム及び試験データに基づ!/ヽ て DUT100の試験を行う。 DUT100の試験において、各試験モジュール 14は、試 験プログラムにより定められたシーケンスに基づいて試験データから試験信号を生成 し、当該試験モジュール 14に接続された DUT100の端子に試験信号を供給する。 さらに、試験モジュール 14は、 DUT100が試験信号に基づいて動作した結果出力 する出力信号を取得し、期待値と比較する。そして、試験モジュール 14は、出力信 号と期待値との比較結果を、試験結果として制御装置 20に送信する。

[0017] また、試験モジュール 14は、一例として、基準電圧源、基準抵抗および基準電流 源等を有してよい。試験時において、試験モジュール 14は、基準電圧源、基準抵抗 および基準電流源等を用いて試験信号の生成および出力信号の取得をする。 計測器 16は、試験モジュールが有する基準電圧、基準抵抗、および基準電流の少 なくとも 1つを含む基準パラメータを計測する。計測器 16は、制御装置 20からコマン ドが与えられ、与えられたコマンドに応じた計測をする。そして、計測器 16は、計測し て得られた結果を制御装置 20に返信する。

[0018] 診断時において、計測器 16は、制御装置 20によるスィッチ制御等により、診断対 象となる試験モジュール 14が有する例えば電圧源、抵抗および電流源と接続される 。そして、計測器 16は、制御装置 20から与えられたコマンドに応じて、接続された試 験モジュール 14が有する電圧源から発生された基準電圧の値、当該試験モジユー ル 14が有する基準抵抗の値、当該試験モジュール 14が有する基準電流源により発 生される基準電流の値の少なくとも一つを、基準パラメータとして計測する。

[0019] 制御装置 20は、各試験モジュール 14および制御装置 20を制御する。試験時にお いて、制御装置 20は、試験モジュール 14を制御する。制御装置 20は、一例として、 DUT100の試験に用レ、る試験プログラム及び試験データを当該試験に用レ、る試験 モジュール 14に格納する。次に、制御装置 20は、試験プログラム及び試験データに 基づく試験の開始を当該試験に用いる試験モジュール 14に指示して、試験を実行さ せる。そして、制御装置 20は、試験が終了したことを示す割込み等を試験モジユー ノレ 14から受信し、試験結果に基づいて次の試験を試験モジュール 14に行わせる。

[0020] また、試験モジュール 14の診断時にお!/、て、制御装置 20は、計測器 16を制御す る。制御装置 20は、例えば記録媒体により提供される診断プログラムを実行すること により、計測器 16を制御する。それぞれの試験モジュール 14の診断において、制御 装置 20は、スィッチ等を制御して、診断対象の試験モジュール 14と計測器 16とを接 続する。続いて、制御装置 20は、計測器 16にコマンドを発行して、診断対象の試験 モジュール 14が有する基準パラメータ（基準電圧、基準抵抗および基準電流の少な くとも 1つを含むパラメータ）を当該計測器 16により計測させる。そして、制御装置 20 は、基準パラメータの計測結果を受信して、診断対象の試験モジュールの基準パラメ ータが本来出力されるべき値となるように補正する。また、制御装置 20は、計測器 16 による計測結果を受信し、当該計測結果に基づき診断対象の試験モジュール 14が 正常に動作してレ、るか否かを判定してもよレ、。

[0021] 以上のような構成の試験装置 10によれば、 DUT100を試験することができる。さら に、試験装置 10によれば、各試験モジュール 14が正常に動作するように補正するこ と力 Sできる。

[0022] ここで、試験装置 10は、搭載している第 1種類の計測器 16 (16— 1)を、例えば製 造元、製品バージョン等が異なることにより制御装置 20から与えられるコマンド体系 が異なる第 2種類の計測器 16 (16— 2)に交換可能となっている。搭載された計測器 16を種類の異なる他の計測器 16に交換した場合であっても、試験装置 10によれば 、制御装置 20が実行する診断プログラムの記述を変更せずに、各試験モジュール 1 4の診断を行うことができる。

[0023] また、試験装置 10は、制御装置 20および計測器 16の間を接続する複数種類のバ ス 22 (22— 1、 22— 2、 · · ·）を更に備えてよい。ノ ス 22は、一例として、 GP— IB (Gen eral Purpose ― Interface bus)および USB (Universal serial Bus あってよい。ここで、試験装置 10に搭載された計測器 16が他の計測器 16に交換さ れた場合、交換後の計測器 16は、交換前の計測器 16が接続されていた第 1種類の ノ ス 22 (22 - 1)とは異なる、第 2種類のバス 22 (22— 2)に接続されてよ!/、。このよう に計測器 16に接続されるバス 22の種類が切り替えられた場合であっても、試験装置 10は、制御装置 20が実行する診断プログラムの記述を変更せずに、各試験モジュ ール 14の診断を行うことができる。

[0024] 図 2は、本実施形態に係る制御装置 20のハードウェア構成の一例を示す。制御装 置 20として動作するコンピュータ 1900は、ホスト'コントローラ 2082により相互に接 続される CPU2000、 RAM2020、グラフィック ·コントローラ 2075、及び表示装置 2 080を有する CPU周辺部と、入出力コントローラ 2084によりホスト ·コントローラ 2082 に接続される通信インターフェイス 2030、ノヽードディスクドライブ 2040、及び CD— R OMドライブ 2060を有する入出力部と、入出力コントローラ 2084に接続される ROM 2010、フレキシブルディスク'ドライブ 2050、及び入出力チップ 2070を有するレガ シー入出力部とを備える。

ホスト.コントローラ 2082は、 RAM2020と、高い転送レートで RAM2020をァクセ スする CPU2000及びグラフィック ·コントローラ 2075とを接続する。 CPU2000は、 R OM2010及び RAM2020に格納されたプログラムに基づいて動作し、各部の制御 を行う。グラフィック 'コントローラ 2075は、 CPU2000等が RAM2020内に設けたフ レーム .バッファ上に生成する画像データを取得し、表示装置 2080上に表示させる 。これに代えて、グラフィック 'コントローラ 2075は、 CPU2000等が生成する画像デ ータを格納するフレーム 'バッファを、内部に含んでもよい。

[0025] 入出力コントローラ 2084は、ホスト ·コントローラ 2082と、比較的高速な入出力装置 である通信インターフェイス 2030、ハードディスクドライブ 2040、 CD— ROMドライ ブ 2060を接続する。通信インターフェイス 2030は、ネットワークを介して他の装置と 通信する。ハードディスクドライブ 2040は、コンピュータ 1900内の CPU2000が使用 するプログラム及びデータを格納する。 CD— ROMドライブ 2060は、 CD— ROM20 95からプログラム又はデータを読み取り、 RAM2020を介してハードディスクドライブ 2040に提供する。

[0026] また、入出力コントローラ 2084には、 ROM2010と、フレキシブルディスク'ドライブ

2050、及び入出力チップ 2070の比較的低速な入出力装置とが接続される。 ROM 2010は、コンピュータ 1900が起動時に実行するブート'プログラムや、コンピュータ 1900のハードウェアに依存するプログラム等を格納する。フレキシブルディスク'ドラ イブ 2050は、フレキシブルディスク 2090力もプログラム又はデータを読み取り、 RA M2020を介してハードディスクドライブ 2040に提供する。入出力チップ 2070は、フ レキシブルディスク 'ドライブ 2050や、例えばパラレル.ポート、シリアル 'ポート、キー ボード'ポート、マウス'ポート等を介して各種の入出力装置を接続する。

[0027] RAM2020を介してハードディスクドライブ 2040に提供される診断プログラム等の プログラムは、フレキシブノレディスク 2090、 CD— ROM2095、又は ICカード等の記 録媒体に格納されて利用者によって提供される。プログラムは、記録媒体から読み出 され、 RAM2020を介してコンピュータ 1900内のハードディスクドライブ 2040にイン スト一ノレされ、 CPU2000において実行される。

[0028] 以上に示したプログラム又はモジュールは、外部の記憶媒体に格納されてもよい。

記憶媒体としては、フレキシブルディスク 2090、 CD— ROM2095の他に、 DVDや CD等の光学記録媒体、 MO等の光磁気記録媒体、テープ媒体、 ICカード等の半導 体メモリ等を用いることができる。また、専用通信ネットワークやインターネットに接続 されたサーバシステムに設けたハードディスク又は RAM等の記憶装置を記録媒体と して使用し、ネットワークを介してプログラムをコンピュータ 1900に提供してもよい。

[0029] 図 3は、本実施形態に係る制御装置 20上で動作する診断プログラム 30の構成を、 計測器 16およびバス 22とともに示す。診断プログラム 30は、制御装置 20により制御 装置 20を用いて試験装置 10に搭載された複数の試験モジュール 14を診断させるプ ログラムである。診断プログラム 30は、試験装置 10が例えば診断用のロードボード 1 2を搭載した状態において制御装置 20により実行され、制御装置 20により計測器 16 を制御し、試験装置 10に搭載された診断対象の試験モジュール 14を診断する。

[0030] 診断プログラム 30は、診断制御ソフトウェアモジュール 42と、少なくとも一つの対象 診断ソフトウェアモジュール 44と、診断インターフェイスプログラム 48と、少なくとも一 つのバス制御ソフトウェアモジュール 46とを備える。これらのソフトウェアモジュールは 、制御装置 20の CPU2000により実行される。

[0031] より詳しくは、診断制御ソフトウェアモジュール 42は、 CPU2000により実行されるこ とにより、当該制御装置 20を診断制御部として機能させる。各対象診断ソフトウェア モジュール 44は、 CPU2000により実行されることにより、当該制御装置 20を対象診 断部として機能させる。バス制御ソフトウェアモジュール 46は、 CPU2000により実行 されることにより、当該制御装置 20をバス制御部として機能させる。診断インターフエ イスプログラム 48は、 CPU2000により実行されることにより、当該制御装置 20を診 断インターフェイス部として機能させる。

[0032] 診断制御ソフトウェアモジュール 42は、制御装置 20により実行され、当該試験装置

10による試験モジュール 14の診断処理を制御する。診断制御ソフトウェアモジユー ル 42は、一例として、診断対象となる試験モジュール 14を選択し、診断対象となる試 験モジュール 14に対応した 1つの対象診断ソフトウェアモジュール 44を呼び出して、 制御装置 20に実行させる。

[0033] 各対象診断ソフトウェアモジュール 44 (44— 1、 44 2、 · · ·）«、制御装置 20により 実行され、診断対象となる試験モジュール 14の基準パラメータの値を制御装置 20に より診断させる。これらの対象診断ソフトウェアモジュール 44は、試験モジュール 14 の種類毎に試験モジュール 14の設計者等により記述される。

[0034] ここで、対象診断ソフトウェアモジュール 44は、診断時において、計測器 16に対し て診断対象となる試験モジュール 14の基準パラメータを計測させる。計測器 16に対 して基準パラメータを計測させる場合、対象診断ソフトウェアモジュール 44は、診断ィ ンターフェイスプログラム 48を呼び出し、試験モジュール 14が有する基準パラメータ の値を計測することを、呼び出した診断インターフェイスプログラム 48を介して計測器 16に指示する。そして、対象診断ソフトウェアモジュール 44は、呼び出した診断イン ターフェイスプログラム 48を介して、計測器 16から計測結果を取得する。

[0035] 各バス制御ソフトウェアモジュール 46 (46— 1、 46— 2、 · · ·）は、制御装置 20により 実行される。各バス制御ソフトウェアモジュール 46は、制御装置 20および計測器 16 の間を接続するバス 22の種類毎に設けられ、当該バス 22を介して制御装置 20およ び計測器 16の間の通信を制御装置 20により行わせる。

[0036] 診断インターフェイスプログラム 48は、試験モジュール 14が有する基準パラメータ の値を計測することを指示する呼び出しに応じて、制御装置 20により実行される。診 断インターフェイスプログラム 48は、呼び出しを対象診断ソフトウェアモジュール 44か ら受けると、呼び出された機能を実行させるコマンドを計測器 16に送信する。そして、 診断インターフェイスプログラム 48は、実行結果を計測器 16から受信し、呼び出しを した対象診断ソフトウェアモジュール 44に計測処理の結果を返信する。

[0037] ここで、診断インターフェイスプログラム 48は、試験装置 10に搭載された計測器 16 の種類 (例えばコマンド体系）に対応したコマンドを、制御装置 20から計測器 16に発 行させる。例えば、診断インターフェイスプログラム 48は、同一の計測機能を計測器 16に実行させる場合であっても、種類の異なる計測器 16に対しては、互いに記述が 異なるコマンドを発行する。さらに、診断インターフェイスプログラム 48は、搭載された 計測器 16の種類に関わらず、対象診断ソフトウェアモジュール 44から共通の記述の 呼び出しを受け付ける。例えば、試験装置 10に搭載された計測器 16が異なる種類 の計測器 16に交換された場合であっても、同一の計測機能を計測器 16に実行させ る場合には、診断インターフェイスプログラム 48は、対象診断ソフトウェアモジュール 44から共通の記述により呼び出される。

[0038] 診断インターフェイスプログラム 48は、取得モジュール 52と、複数の計測ソフトゥェ ァモジュール 54と、切替ソフトウェアモジュール 56とを有する。これらのソフトウェアモ ジュールは、制御装置 20の CPU2000により実行される。より詳しくは、取得モジユー ル 52は、 CPU2000により実行されることにより、当該制御装置 20を取得部として機 能させる。計測ソフトウェアモジュール 54は、 CPU2000により実行されることにより、 当該制御装置 20を計測部として機能させる。切替ソフトウェアモジュール 56は、 CP U2000により実行されることにより、当該制御装置 20を切替部として機能させる。

[0039] 取得モジュール 52は、制御装置 20上で実行され、試験装置 10に搭載された計測 器 16の種類を示す計測器識別情報を制御装置 20により取得させる。取得モジユー ノレ 52は、一例として、当該試験装置 10の構成時または対象診断ソフトウェアモジュ ール 44からの呼び出し時等に、計測器 16の計測器識別情報を制御装置 20により取 得させてよい。また、例えば、取得モジュール 52は、バス制御ソフトウェアモジュール 46を呼び出して、試験装置 10に搭載された計測器 16内の例えば外部からアクセス 可能なレジスタに記憶された、当該計測器 16の種類を識別する計測器識別情報を、 制御装置 20により読み出させてもよい。また、取得モジュール 52は、試験装置 10の 製造者により制御装置 20内の記憶装置に直接格納された計測器識別情報を、当該 記憶装置を当該制御装置 20により読み出させてもよい。

[0040] 計測器識別情報に加えて、取得モジュール 52は、制御装置 20および計測器 16の 間を接続するバス 22の種類を示すバス識別情報を制御装置 20により更に取得させ てよい。この場合において、取得モジュール 52は、制御装置 20に接続されたそれぞ れのバス 22に計測器 16が接続されているか否かを制御装置 20により検出させて、 計測器 16が検出されたバスの識別情報をバス識別情報としてよい。

[0041] ここで、制御装置 20上の例えばハードディスクドライブ 2040または RAM2020等 は、試験装置 10が搭載している試験モジュール 14、計測器 16、およびバス 22の識 別情報を格納する構成ファイル 60を記憶してよい。この場合、取得モジュール 52は 、制御装置 20上のハードディスクドライブ 2040等に記憶された、構成ファイル 60を 制御装置 20により検索させ、試験装置 10に搭載された計測器 16に対応する計測器 識別情報およびバス識別情報を制御装置 20により読み出させてよ!/、。また、取得モ ジュール 52は、取得した計測器識別情報と、構成ファイル 60に格納された情報とを 比較して、構成ファイル 60に格納された計測器 16の種類と、計測器識別情報に示さ れた計測器 16の種類とがー致しているか否かを判断してよい。

[0042] 各計測ソフトウェアモジュール 54 (54— 1、 54— 2、 · · ·）は、当該試験装置 10が搭 載可能な計測器 16の種類毎に設けられる。各計測ソフトウェアモジュール 54は、切 替ソフトウェアモジュール 56からの呼び出しに応じて制御装置 20上で実行される。 複数の計測ソフトウェアモジュール 54のそれぞれは、対応する種類の計測器 16によ り受け付け可能なコマンドを発行し、当該種類の計測器 16から計測結果を受け取る

〇

[0043] 切替ソフトウェアモジュール 56から呼び出された計測ソフトウェアモジュール 54は、 対象診断ソフトウェアモジュール 44により指示された試験モジュール 14の基準パラメ 一タの値を当該計測器 16により計測させるコマンドを、制御装置 20から計測器 16へ と発行させる。計測ソフトウェアモジュール 54は、一例として、電圧を計測するコマン ド、抵抗値を計測するコマンド、電流値を計測するコマンドを、制御装置 20から計測 器 16へと発行させる。さらに、各計測ソフトウェアモジュール 54は、基準パラメータの 計測結果を計測器 16から受け取る。

[0044] また、この場合において、切替ソフトウェアモジュール 56から呼び出された計測ソフ トウエアモジュール 54は、バス識別情報により識別されるバスに応じた 1つのバス制 御ソフトウェアモジュール 46を呼び出して制御装置 20により実行させる。そして、当 該計測ソフトウェアモジュール 54は、制御装置 20から対応するバス 22を介して計測 器 16へとコマンドを発行させ、基準パラメータの計測結果を計測器 16から受け取ら せる。

[0045] 切替ソフトウェアモジュール 56は、試験モジュール 14が有する基準パラメータの値 を計測することを指示する呼び出しを対象診断ソフトウェアモジュール 44から受けた ことに応じて、制御装置 20により実行される。当該呼び出しを受けた対象診断ソフト ウェアモジュール 44は、計測器識別情報により識別される計測器 16に応じた 1つの 計測ソフトウェアモジュール 54を呼び出して制御装置 20により実行させる。

[0046] すなわち、切替ソフトウェアモジュール 56は、計測器識別情報に基づき当該試験 装置 10に搭載された計測器 16の種類を特定し、複数の計測ソフトウェアモジュール 54のうち特定した種類に対応する 1つの計測ソフトウェアモジュール 54を呼び出す。 そして、切替ソフトウェアモジュール 56は、呼び出した計測ソフトウェアモジュール 54 により、対象診断ソフトウェアモジュール 44からの指示に応じた計測を実行させるコ マンドを、制御装置 20から計測器 16に発行させる。なお、この場合において、切替ソ フトウェアモジュール 56は、対象診断ソフトウェアモジュール 44からの指示に応じた 1 つの計測動作を計測器 16に実行させることを目的として、複数のコマンドを制御装 置 20から計測器 16に発行させてもよい。そして、切替ソフトウェアモジュール 56は、 呼び出した計測ソフトウェアモジュール 54が計測器 16から受け取った基準パラメ一 タの計測結果を、対象診断ソフトウェアモジュール 44に返送する。

[0047] このような診断インターフェイスプログラム 48によれば、対象診断ソフトウェアモジュ ール ₄₄から与えられた共通記述の呼び出しを、試験装置 10に搭載された計測器 16 の種類に対応したコマンドに変換して、制御装置 20から計測器 16に送信することが できる。さらに、診断インターフェイスプログラム 48によれば、対象診断ソフトウェアモ ジュール 44から与えられた共通記述の呼び出しを、計測器 16が接続されたバス 22 の種類に対応したコマンドに変換して、制御装置 20から計測器 16に送信することが できる。

[0048] 以上に示した診断プログラム 30によれば、試験装置 10に搭載する計測器 16の種 類または当該計測器 16に接続するバス 22の種類を変更した場合においても、対象 診断ソフトウェアモジュール 44の記述を変更する必要がなくなる。これにより診断プロ グラム 30は、試験装置 10に搭載する計測器 16の種類によらず適切な診断処理を行 うこと力 Sでさる。

[0049] 図 4は、本実施形態に係る診断プログラム 30による試験装置 10の診断フローを示 す。診断処理が開始すると、制御装置 20上で実行される診断制御ソフトウェアモジュ ール 42は、複数の試験モジュール 14のそれぞれについて順次に、対応する対象診 断ソフトウェアモジュール 44を実行させる（S 1012)。これにより診断制御ソフトウェア モジュール 42は、複数の試験モジュール 14のそれぞれを順次制御装置 20により診 断させることカできる（S 1011、 S1013) _o

[0050] 全ての試験モジュール 14の診断を終えると、診断制御ソフトウェアモジュール 42は 、それぞれの対象診断ソフトウェアモジュール 44から取得した診断結果を出力する（ S 1014)。試験装置 10の使用者は、当該診断結果に基づいて、試験装置 10が正常 に動作するか否かの情報、および、不良である試験モジュール 14を特定する情報等 を得ること力 Sでさる。

[0051] 図 5は、本実施形態に係る診断プログラム 30による S1012の動作フローを示す。診 断プログラム 30内の対象診断ソフトウェアモジュール 44、バス制御ソフトウェアモジュ ール 46および診断インターフェイスプログラム 48は、制御装置 20上で実行されること により、図 4の S1012において、図 5に示した処理を行う。

[0052] まず、診断プログラム 30内の対象診断ソフトウェアモジュール 44は、診断対象の試 験モジュール 14を診断する（S1021)。次に、診断プログラム 30は、試験モジュール 14の診断中において、適宜、基準パラメータの値を計測することを指示する呼び出 しを行う。診断プログラム 30は、当該呼び出し毎に、 S 1023力、ら S 1029までの処理 を行う（S1022、 S1030)。

[0053] 対象診断ソフトウェアモジュール 44は、診断インターフェイスプログラム 48内の切替 ソフトウェアモジュール 56を呼び出す（S1023)。次に、ステップ S 1023において呼 び出された切替ソフトウェアモジュール 56は、計測器識別情報により識別される計測 ソフトウェアモジュール 54を呼び出して、実行する（S1024)。すなわち、切替ソフトゥ エアモジュール 56は、当該試験装置 10に搭載された計測器 16の種類に対応する計 測ソフトウェアモジュール 54を呼び出して、実行する。

[0054] 次に、ステップ S 1024において呼び出された計測ソフトウェアモジュール 54は、ノ ス識別情報により識別されるバス 22に応じたバス制御ソフトウェアモジュール 46を呼 び出して、実行する（S 1026)。すなわち、当該計測ソフトウェアモジュール 54は、試 験装置 10に搭載された試験装置 10および制御装置 20の間を接続するバス 22の種 類に対応したバス制御ソフトウェアモジュール 46を呼び出して、実行する。

[0055] 次に、ステップ S 1024において呼び出された計測ソフトウェアモジュール 54は、指 示された基準パラメータを計測器 16により計測させるベぐ指示に応じたコマンドを制 御装置 20から計測器 16へバス 22を介して発行する（S 1027)。次に、ステップ S102 4において呼び出された計測ソフトウェアモジュール 54は、基準パラメータの計測結 果を、計測器 16からバス 22を介して制御装置 20により受け取らせる（S1028)。そし て、切替ソフトウェアモジュール 56は、ステップ S1024において呼び出された計測ソ フトウェアモジュール 54が受け取った基準パラメータの計測結果を、対象診断ソフト ウェアモジュール 44に返送する（S1029)。対象診断ソフトウェアモジュール 44は、こ の結果を受けて、診断対象となる試験モジュール 14の診断をすることができる。

[0056] 以上、本発明の一側面を実施の形態を用いて説明した力 本発明の技術的範囲 は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変 更又は改良を加えることができる。その様な変更又は改良を加えた形態も本発明の 技術的範囲に含まれ得ることが、請求の範囲の記載から明らかである。

Claims

請求の範囲

[1] 試験信号を被試験デバイスに供給する試験モジュールと、前記試験モジュールが 有する基準電圧、基準抵抗、および基準電流の少なくとも 1つを含む基準パラメータ を計測する計測器と、前記試験モジュールおよび前記計測器を制御する制御装置と を備える試験装置にお!/、て、前記制御装置により前記計測器を用いて前記複数の 試験モジュールを診断させる診断プログラムを記録した記録媒体であって、

前記診断プログラムは、

診断対象となる前記試験モジュールを前記制御装置により診断させる対象診断ソ フトウエアモジユーノレと、

前記試験装置に搭載された前記計測器の種類を示す計測器識別情報を前記制御 装置により取得させる取得モジュールと、

前記計測器の種類毎に設けられ、前記制御装置上で実行されて、前記試験モジュ ールの前記基準パラメータの値を当該計測器により計測させるコマンドを前記制御 装置から前記計測器へと発行させ、前記基準パラメータの計測結果を前記計測器か ら受け取る計測ソフトウェアモジュールと、

前記試験モジュールが有する前記基準パラメータの値を計測することを指示する呼 び出しを前記対象診断ソフトウェアモジュールから受けたことに応じて、前記計測器 識別情報により識別される前記計測器に応じた前記計測ソフトウェアモジュールを呼 び出して前記制御装置により実行させ、前記基準パラメータの計測結果を前記対象 診断ソフトウェアモジュールに返送する切替ソフトウェアモジュールと

を備える記録媒体。

[2] 前記診断プログラムは、前記制御装置および前記計測器の間を接続するバスの種 類毎に設けられ、当該バスを介して前記制御装置および前記計測器の間の通信を 前記制御装置により行わせるバス制御ソフトウェアモジュールを更に備え、

前記取得モジュールは、前記制御装置および前記計測器の間を接続するバスの 種類を示すバス識別情報を前記制御装置により更に取得させ、

前記切替ソフトウェアモジュールは、前記試験モジュールが有する前記基準パラメ 一タの値を計測することを指示する呼び出しを前記対象診断ソフトウェアモジュール 力 受けたことに応じて、前記計測器識別情報により識別される前記計測器に応じた 前記計測ソフトウェアモジュールを呼び出して前記制御装置により実行させ、 前記切替ソフトウェアモジュールから呼び出された前記計測ソフトウェアモジュール は、前記バス識別情報により識別されるバスに応じた前記バス制御ソフトウェアモジュ ールを呼び出して前記制御装置により実行させて、前記制御装置から前記計測器へ と前記コマンドを発行させ前記基準パラメータの計測結果を前記計測器力 受け取 らせる

請求項 1に記載の記録媒体。

[3] 前記取得モジュールは、前記制御装置上に記憶された、前記試験装置が搭載して いる前記試験モジュール、前記計測器、および前記バスの識別情報を格納する構成 ファイルを前記制御装置により検索させ、前記試験装置に搭載された前記計測器に 対応する前記計測器識別情報および前記バス識別情報を前記制御装置により読み 出させる請求項 2に記載の記録媒体。

[4] 前記取得モジュールは、

前記制御装置に接続されたそれぞれの前記バスに前記計測器が接続されている か否力、を前記制御装置により検出させて、前記計測器が検出された前記バスの識別 情報を前記バス識別情報とし、

前記バス制御ソフトウェアモジュールを呼び出して、前記試験装置に搭載された前 記計測器内に記憶された、当該計測器の種類を識別する前記計測器識別情報を前 記制御装置により読み出させる

請求項 2または 3に記載の記録媒体。

[5] 試験信号を被試験デバイスに供給する試験モジュールと、前記試験モジュールが 有する基準電圧、基準抵抗、および基準電流の少なくとも 1つを含む基準パラメータ を計測する計測器と、前記試験モジュールおよび前記計測器を制御する制御装置と を備える試験装置にお!/、て、診断対象となる前記試験モジュールを前記制御装置に より診断させる対象診断ソフトウェアモジュールから呼び出されて、前記制御装置に より前記計測器を制御させる診断インターフェイスプログラムを記録した記録媒体で あって、 前記試験装置に搭載された前記計測器の種類を示す計測器識別情報を前記制御 装置により取得させる取得モジュールと、

前記計測器の種類毎に設けられ、前記制御装置上で実行されて、前記試験モジュ ールの前記基準パラメータの値を当該計測器により計測させるコマンドを前記制御 装置から前記計測器へと発行させ、前記基準パラメータの計測結果を前記計測器か ら受け取る計測ソフトウェアモジュールと、

前記試験モジュールが有する前記基準パラメータの値を計測することを指示する呼 び出しを前記対象診断ソフトウェアモジュールから受けたことに応じて、前記計測器 識別情報により識別される前記計測器に応じた前記計測ソフトウェアモジュールを呼 び出して前記制御装置により実行させ、前記基準パラメータの計測結果を前記対象 診断ソフトウェアモジュールに返送する切替ソフトウェアモジュールと

を備える記録媒体。

被試験デバイスを試験する試験装置であって、

試験信号を被試験デバイスに供給する試験モジュールと、

前記試験モジュールが有する基準電圧、基準抵抗、および基準電流の少なくとも 1 つを含む基準パラメータを計測する計測器と、

前記試験モジュールおよび前記計測器を制御する制御装置と

を備え、

前記制御装置は、前記計測器を用いて前記複数の試験モジュールを診断させる 診断プログラムを実行することにより、

診断対象となる前記試験モジュールを診断する対象診断部と、

前記試験装置に搭載された前記計測器の種類を示す計測器識別情報を取得する 取得部と、

前記計測器の種類毎に設けられ、前記制御装置上で実行されて、前記試験モジュ ールの前記基準パラメータの値を当該計測器により計測させるコマンドを前記計測 器へと発行し、前記基準パラメータの計測結果を前記計測器から受け取る計測処理 部と、 前記試験モジュールが有する前記基準パラメータの値を計測することを指示する呼 び出しを前記対象診断部から受けたことに応じて、前記計測器識別情報により識別 される前記計測器に応じた前記計測処理部を呼び出して実行させ、前記基準パラメ ータの計測結果を前記対象診断部に返送する切替部と

して機能する試験装置。

[7] 試験信号を被試験デバイスに供給する試験モジュールと、前記試験モジュールが 有する基準電圧、基準抵抗、および基準電流の少なくとも 1つを含む基準パラメータ を計測する計測器と、前記試験モジュールおよび前記計測器を制御する制御装置と を備える試験装置にお!/、て、前記制御装置により前記計測器を用いて前記複数の 試験モジュールを診断させる診断方法であって、

診断対象となる前記試験モジュールを診断させる対象診断ソフトウェアモジュール を前記制御装置上で実行させることと、

前記試験装置に搭載された前記計測器の種類を示す計測器識別情報を前記制御 装置により取得させることと、

前記計測器の種類毎に設けられ、前記制御装置上で実行されて、前記試験モジュ ールの前記基準パラメータの値を当該計測器により計測させるコマンドを前記制御 装置から前記計測器へと発行させ、前記基準パラメータの計測結果を前記計測器か ら受け取る計測ソフトウェアモジュールを前記制御装置上で実行させることと、 前記試験モジュールが有する前記基準パラメータの値を計測することを指示する呼 び出しを前記対象診断ソフトウェアモジュールから受けたことに応じて、前記計測器 識別情報により識別される前記計測器に応じた前記計測ソフトウェアモジュールを呼 び出して前記制御装置により実行させ、前記基準パラメータの計測結果を前記対象 診断ソフトウェアモジュールに返送することと

を備える診断方法。

[8] 試験信号を被試験デバイスに供給する試験モジュールと、前記試験モジュールが 有する基準電圧、基準抵抗、および基準電流の少なくとも 1つを含む基準パラメータ を計測する計測器と、前記試験モジュールおよび前記計測器を制御する制御装置と を備える試験装置にお!/、て、前記制御装置により前記計測器を用いて前記複数の 試験モジュールを診断させる診断プログラムであって、

診断対象となる前記試験モジュールを前記制御装置により診断させる対象診断ソ フトウエアモジユーノレと、

前記試験装置に搭載された前記計測器の種類を示す計測器識別情報を前記制御 装置により取得させる取得モジュールと、

前記計測器の種類毎に設けられ、前記制御装置上で実行されて、前記試験モジュ ールの前記基準パラメータの値を当該計測器により計測させるコマンドを前記制御 装置から前記計測器へと発行させ、前記基準パラメータの計測結果を前記計測器か ら受け取る計測ソフトウェアモジュールと、

前記試験モジュールが有する前記基準パラメータの値を計測することを指示する呼 び出しを前記対象診断ソフトウェアモジュールから受けたことに応じて、前記計測器 識別情報により識別される前記計測器に応じた前記計測ソフトウェアモジュールを呼 び出して前記制御装置により実行させ、前記基準パラメータの計測結果を前記対象 診断ソフトウェアモジュールに返送する切替ソフトウェアモジュールと

を備える診断プログラム。

試験信号を被試験デバイスに供給する試験モジュールと、前記試験モジュールが 有する基準電圧、基準抵抗、および基準電流の少なくとも 1つを含む基準パラメータ を計測する計測器と、前記試験モジュールおよび前記計測器を制御する制御装置と を備える試験装置にお!/、て、診断対象となる前記試験モジュールを前記制御装置に より診断させる対象診断ソフトウェアモジュールから呼び出されて、前記制御装置に より前記計測器を制御させる診断インターフェイスプログラムであって、

前記試験装置に搭載された前記計測器の種類を示す計測器識別情報を前記制御 装置により取得させる取得モジュールと、

前記計測器の種類毎に設けられ、前記制御装置上で実行されて、前記試験モジュ ールの前記基準パラメータの値を当該計測器により計測させるコマンドを前記制御 装置から前記計測器へと発行させ、前記基準パラメータの計測結果を前記計測器か ら受け取る計測ソフトウェアモジュールと、

前記試験モジュールが有する前記基準パラメータの値を計測することを指示する呼 び出しを前記対象診断ソフトウェアモジュールから受けたことに応じて、前記計測器 識別情報により識別される前記計測器に応じた前記計測ソフトウェアモジュールを呼 び出して前記制御装置により実行させ、前記基準パラメータの計測結果を前記対象 診断ソフトウェアモジュールに返送する切替ソフトウェアモジュールと

を備える診断インターフェイスプログラム。