JP2002174663A - Ｉｃ試験装置における自己診断方式 - Google Patents
Ｉｃ試験装置における自己診断方式Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 作業者の手を介すことなく自動的に自己診断
を行うことにより手順ミスや判断ミスをなくし正確な診
断を行うＩＣ試験装置における自己診断方式を提供する
ことにある。 【解決手段】 曜日Ｙと時刻Ｔと診断項目Ｓから成る起
動条件を設定し、所定の曜日Ｙと時刻Ｔに到達したこと
を検出した場合に、ＩＣ試験装置３０を制御し所定の診
断項目Ｓについての自己診断プログラム３４を実行させ
ることにより、自動的に自己診断を行う。
を行うことにより手順ミスや判断ミスをなくし正確な診
断を行うＩＣ試験装置における自己診断方式を提供する
ことにある。 【解決手段】 曜日Ｙと時刻Ｔと診断項目Ｓから成る起
動条件を設定し、所定の曜日Ｙと時刻Ｔに到達したこと
を検出した場合に、ＩＣ試験装置３０を制御し所定の診
断項目Ｓについての自己診断プログラム３４を実行させ
ることにより、自動的に自己診断を行う。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明はＩＣ試験装置にお
ける自己診断方式、特に人手を介せずに自己診断を自動
的に行うようにしたＩＣ試験装置における自己診断方式
に関する。
ける自己診断方式、特に人手を介せずに自己診断を自動
的に行うようにしたＩＣ試験装置における自己診断方式
に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、ＩＣ試験装置においては装置
各部の機能や精度が正常であるか否かを自己の機能を使
用して判定する自己診断が行われていることは、よく知
られている。
各部の機能や精度が正常であるか否かを自己の機能を使
用して判定する自己診断が行われていることは、よく知
られている。
【０００３】この自己診断は、ＩＣ試験装置が測定性能
を維持しているかどうかの確認をするために行われるも
のであり、従来の自己診断方式の例を図３に示す。
を維持しているかどうかの確認をするために行われるも
のであり、従来の自己診断方式の例を図３に示す。
【０００４】図３において、自己診断を行うための準備
作業として、先ずステップ１０１において、デバイスの
測定を中断し、次にステップ１０２において、ＩＣ試験
装置とハンドラの接続を解除し、最後にステップ２０３
において、それまで行われたテスト結果、テストプログ
ラム等のデータをテスタメモリからディスクに一旦退避
させる。
作業として、先ずステップ１０１において、デバイスの
測定を中断し、次にステップ１０２において、ＩＣ試験
装置とハンドラの接続を解除し、最後にステップ２０３
において、それまで行われたテスト結果、テストプログ
ラム等のデータをテスタメモリからディスクに一旦退避
させる。
【０００５】このような準備作業の後、ステップ２０４
において、テスタメモリをクリア（初期化）し、ステッ
プ２０５において、自己診断プログラムをテスタメモリ
にロードし、ステップ２０６において、自己診断プログ
ラムを実行する。
において、テスタメモリをクリア（初期化）し、ステッ
プ２０５において、自己診断プログラムをテスタメモリ
にロードし、ステップ２０６において、自己診断プログ
ラムを実行する。
【０００６】そして、ステップ２０７において、自己診
断の合否を判定し、不合格の場合には（ＮＯ）、ステッ
プ２１１において、その原因を調査する。
断の合否を判定し、不合格の場合には（ＮＯ）、ステッ
プ２１１において、その原因を調査する。
【０００７】また、合格の場合には（ＹＥＳ）、測定再
開の準備作業として、先ずステップ２０８において、デ
ィスクに退避させていたデータをテスタメモリに復帰さ
せ、次にステップ２０９において、ＩＣ試験装置をハン
ドラと再度接続させる。
開の準備作業として、先ずステップ２０８において、デ
ィスクに退避させていたデータをテスタメモリに復帰さ
せ、次にステップ２０９において、ＩＣ試験装置をハン
ドラと再度接続させる。
【０００８】そして、ステップ２１０において、ハンド
ラと接続させたＩＣ試験装置によりデバイスの測定を開
始する。
ラと接続させたＩＣ試験装置によりデバイスの測定を開
始する。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の自己診
断方式では、図３に示す各ステップの手順の殆どが作業
者の手に委ねられている。
断方式では、図３に示す各ステップの手順の殆どが作業
者の手に委ねられている。
【００１０】従って、自己診断の時間中は、作業者がＩ
Ｃ試験装置を監視している必要があり、そのため他の作
業が中断される等の弊害があった。
Ｃ試験装置を監視している必要があり、そのため他の作
業が中断される等の弊害があった。
【００１１】また、人手を介するため、図３に示す手順
の間違いや判断のミスがあり、そのたへめ、正確な診断
が行われない場合があった。
の間違いや判断のミスがあり、そのたへめ、正確な診断
が行われない場合があった。
【００１２】この発明の目的は、作業者の手を介すこと
なく自動的に自己診断を行うことにより手順ミスや判断
ミスをなくし正確な診断を行うＩＣ試験装置における自
己診断方式を提供することにある。
なく自動的に自己診断を行うことにより手順ミスや判断
ミスをなくし正確な診断を行うＩＣ試験装置における自
己診断方式を提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、この発明によれば、例えば図１に示すように自己診
断装置を入力装置１０と制御装置４０とＩＣ試験装置３
０と出力装置２０により構成し、曜日Ｙと時刻Ｔと診断
項目Ｓから成る起動条件を設定し、所定の曜日Ｙと時刻
Ｔに到達したことを検出した場合に、ＩＣ試験装置３０
を制御し所定の診断項目Ｓについての自己診断プログラ
ム３４を実行させることにより、自動的に自己診断を行
うようにした。
に、この発明によれば、例えば図１に示すように自己診
断装置を入力装置１０と制御装置４０とＩＣ試験装置３
０と出力装置２０により構成し、曜日Ｙと時刻Ｔと診断
項目Ｓから成る起動条件を設定し、所定の曜日Ｙと時刻
Ｔに到達したことを検出した場合に、ＩＣ試験装置３０
を制御し所定の診断項目Ｓについての自己診断プログラ
ム３４を実行させることにより、自動的に自己診断を行
うようにした。
【００１４】この構成によれば、作業者の手を介すこと
なくＩＣ試験装置３０が自動的に自己診断を行うことに
より、手順ミスや判断ミスがなくなり正確な診断が行え
る。
なくＩＣ試験装置３０が自動的に自己診断を行うことに
より、手順ミスや判断ミスがなくなり正確な診断が行え
る。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、この発明を実施の形態によ
り添付図面を参照して説明する。図１は、この発明の実
施形態を示す図である。図示する自己診断装置は、入力
装置１０と、出力装置２０と、ＩＣ試験装置３０と、制
御装置４０を備えている。
り添付図面を参照して説明する。図１は、この発明の実
施形態を示す図である。図示する自己診断装置は、入力
装置１０と、出力装置２０と、ＩＣ試験装置３０と、制
御装置４０を備えている。
【００１６】入力装置１０は、自己診断を行う場合の起
動条件を入力する装置であり、例えばキーボードであ
る。起動条件には、自己診断を行う曜日Ｙ、時刻Ｔ、診
断項目Ｓがある。
動条件を入力する装置であり、例えばキーボードであ
る。起動条件には、自己診断を行う曜日Ｙ、時刻Ｔ、診
断項目Ｓがある。
【００１７】曜日Ｙは、自己診断を実行する曜日であ
り、例えば月曜日、火曜日・・・金曜日、時刻Ｔは、あ
る曜日の内での時刻、例えば午前１０時、１１時、午後
３時、４時等である。
り、例えば月曜日、火曜日・・・金曜日、時刻Ｔは、あ
る曜日の内での時刻、例えば午前１０時、１１時、午後
３時、４時等である。
【００１８】また、診断項目Ｓは、自己診断プログラム
ごとに分かれており、入力装置１０において該当する自
己診断プログラムのキーを入力すれば、所定の診断項目
が入力されたことになる。
ごとに分かれており、入力装置１０において該当する自
己診断プログラムのキーを入力すれば、所定の診断項目
が入力されたことになる。
【００１９】出力装置２０は、前記入力装置１０から入
力された起動条件や、後述する診断結果を出力する装置
であり、例えば、ＣＲＴや液晶表示部である。
力された起動条件や、後述する診断結果を出力する装置
であり、例えば、ＣＲＴや液晶表示部である。
【００２０】ＩＣ試験装置３０は、ＤＣ特性試験やＡＣ
特性試験又は機能試験等のＩＣ試験を行うと共に、この
発明による自己診断を行う装置である。
特性試験又は機能試験等のＩＣ試験を行うと共に、この
発明による自己診断を行う装置である。
【００２１】ＩＣ試験装置は、図示するように、テスタ
メモリ３１と診断対象ユニット３２とアラーム装置３３
を備えている。
メモリ３１と診断対象ユニット３２とアラーム装置３３
を備えている。
【００２２】前記テスタメモリ３１には、ＩＣ試験を行
う場合にはデバイス測定結果、テストプログラム等のデ
ータが格納され、この発明による自己診断を行う場合に
は、自己診断プログラム３４がロードされる。
う場合にはデバイス測定結果、テストプログラム等のデ
ータが格納され、この発明による自己診断を行う場合に
は、自己診断プログラム３４がロードされる。
【００２３】前記診断対象ユニット３２は、自己診断の
対象となるユニットであり、例えば、ＤＣ測定ユニッ
ト、ＡＬＰＧの他、テストボード等全ての自己診断対象
ユニットを含む。
対象となるユニットであり、例えば、ＤＣ測定ユニッ
ト、ＡＬＰＧの他、テストボード等全ての自己診断対象
ユニットを含む。
【００２４】前記アラーム装置３３は、後述するように
（図２のステップ１１１）、自己診断の結果が不合格の
場合にその旨を作業者に知らせる装置である。
（図２のステップ１１１）、自己診断の結果が不合格の
場合にその旨を作業者に知らせる装置である。
【００２５】制御装置４０は、入力装置１０から入力さ
れた起動条件に従って、前記ＩＣ試験装置３０を制御す
る装置である。
れた起動条件に従って、前記ＩＣ試験装置３０を制御す
る装置である。
【００２６】制御装置４０は、図示するように、設定手
段４１と検出手段４２と第１の制御手段４３と第２の制
御手段４４とディスク４５を備えている。
段４１と検出手段４２と第１の制御手段４３と第２の制
御手段４４とディスク４５を備えている。
【００２７】前記設定手段４１は、入力装置１０から入
力された起動条件を解析して次段の検出手段４２にデー
タ信号Ｄ２として送信する。
力された起動条件を解析して次段の検出手段４２にデー
タ信号Ｄ２として送信する。
【００２８】前記検出手段４２は、設定手段４１からデ
ータ信号Ｄ２として入力された起動条件を検出し、所定
の起動日時の到来を検出した場合に、次段の第１の制御
手段４３へ通知する（図１の制御信号Ｃ１）。
ータ信号Ｄ２として入力された起動条件を検出し、所定
の起動日時の到来を検出した場合に、次段の第１の制御
手段４３へ通知する（図１の制御信号Ｃ１）。
【００２９】第１の制御手段４３と第２の制御手段４４
は、共にＩＣ試験装置３０を制御し自己診断プログラム
３４を実行させる。
は、共にＩＣ試験装置３０を制御し自己診断プログラム
３４を実行させる。
【００３０】前記ディスク４５は、ＩＣ試験装置３０の
テスタメモリ３１に格納されたデータを退避させる領域
と、この発明による自己診断プログラム３１を格納する
領域を有している。
テスタメモリ３１に格納されたデータを退避させる領域
と、この発明による自己診断プログラム３１を格納する
領域を有している。
【００３１】そして、後述するように、ＩＣ試験装置３
０が自己診断を行う場合には、前記テスタメモリ３１の
データを一旦このディスク４５に退避させると共に（図
２のステップ１０５）、自己診断プログラム３１をディ
スク４５からテスタメモリ３１にロードする（図２のス
テップ１０７）。
０が自己診断を行う場合には、前記テスタメモリ３１の
データを一旦このディスク４５に退避させると共に（図
２のステップ１０５）、自己診断プログラム３１をディ
スク４５からテスタメモリ３１にロードする（図２のス
テップ１０７）。
【００３２】また、自己診断終了後は、ディスク４５に
退避させたデータを元のテスタメモリ３１に復帰させる
（図２のステップ１１０）。
退避させたデータを元のテスタメモリ３１に復帰させる
（図２のステップ１１０）。
【００３３】以下、前記構成を備えたこの発明の動作
を、図２に基づいて、説明する。
を、図２に基づいて、説明する。
【００３４】Ａ．設定手段４１による起動条件の設定 先ず、図２のステップ１０１において、入力装置１０か
ら曜日Ｙと時刻Ｔと診断項目Ｓか成る起動条件を入力す
ると、これらがデータ信号Ｄ１として設定手段４１（図
１）に入力し、起動条件が設定される。
ら曜日Ｙと時刻Ｔと診断項目Ｓか成る起動条件を入力す
ると、これらがデータ信号Ｄ１として設定手段４１（図
１）に入力し、起動条件が設定される。
【００３５】Ｂ．検出手段４２による起動日時の検出 前記設定手段４１は設定した起動条件を解析して、デー
タ信号Ｄ２として検出手段４２に送信し、ステップ１０
２において、検出手段４２は起動時刻が到来したか否か
を検出する。
タ信号Ｄ２として検出手段４２に送信し、ステップ１０
２において、検出手段４２は起動時刻が到来したか否か
を検出する。
【００３６】Ｃ．第１の制御手段４３と第２の制御手段
４４による制御動作（事前動作）
４４による制御動作（事前動作）
【００３７】（１）第１の制御手段４３による動作（ス
テップ１０３から１０４まで） 前記ステップ１０２において、検出手段４２が起動日時
の到来を検出した場合には（ＹＥＳ）、その旨を第１の
制御手段４３に通知し（図１の制御信号Ｃ１）、ステッ
プ１０３において、第１の制御手段４３は、ＩＣ試験装
置３０でのデバイス測定が終了するまで待つ。
テップ１０３から１０４まで） 前記ステップ１０２において、検出手段４２が起動日時
の到来を検出した場合には（ＹＥＳ）、その旨を第１の
制御手段４３に通知し（図１の制御信号Ｃ１）、ステッ
プ１０３において、第１の制御手段４３は、ＩＣ試験装
置３０でのデバイス測定が終了するまで待つ。
【００３８】即ち、ステップ１０３においては、第１の
制御手段４３は、ＩＣ試験装置３０との間で制御信号Ｃ
３（図１）を授受することにより、ＩＣ試験装置３０に
おいてデバイスの測定が終了したか否かを監視する。
制御手段４３は、ＩＣ試験装置３０との間で制御信号Ｃ
３（図１）を授受することにより、ＩＣ試験装置３０に
おいてデバイスの測定が終了したか否かを監視する。
【００３９】そして、デバイスの測定が終了した場合に
は（ステップ１０３のＹＥＳ）、第１の制御手段４３
は、ステップ１０４において、ＩＣ試験装置３０とハン
ドラとの接続を解除する。
は（ステップ１０３のＹＥＳ）、第１の制御手段４３
は、ステップ１０４において、ＩＣ試験装置３０とハン
ドラとの接続を解除する。
【００４０】ハンドラは、よく知られているように、組
立完了したデバイスをＩＣ試験装置３０に自動的に供給
し、試験結果に基づいてデバイスを自動的に分類収納す
る装置であり、ステップ１０４においては、第１の制御
手段４３がＩＣ試験装置３０に自己診断を行わせる前に
予めこのハンドラとの接続を解除しておく。
立完了したデバイスをＩＣ試験装置３０に自動的に供給
し、試験結果に基づいてデバイスを自動的に分類収納す
る装置であり、ステップ１０４においては、第１の制御
手段４３がＩＣ試験装置３０に自己診断を行わせる前に
予めこのハンドラとの接続を解除しておく。
【００４１】（２）第２の制御手段４４による動作（ス
テップ１０５から１０７まで） 次いで、ステップ１０５において、第１の制御手段４３
からＩＣ試験装置３０とハンドラとの接続解除の通知を
受けた第２の制御手段４４は（図１の制御信号Ｃ５）、
テスタメモリ３１のデータをディスク４５へ退避させ
（図１のデータ信号Ｄ４とＤ３）、ステップ１０６にお
いて、テスタメモリ３１をクリア（初期化）する（図１
の制御信号Ｃ４）。
テップ１０５から１０７まで） 次いで、ステップ１０５において、第１の制御手段４３
からＩＣ試験装置３０とハンドラとの接続解除の通知を
受けた第２の制御手段４４は（図１の制御信号Ｃ５）、
テスタメモリ３１のデータをディスク４５へ退避させ
（図１のデータ信号Ｄ４とＤ３）、ステップ１０６にお
いて、テスタメモリ３１をクリア（初期化）する（図１
の制御信号Ｃ４）。
【００４２】更に、第２の制御手段４４は、ステップ１
０７において、前記検出手段４２に対してどのような診
断項目Ｓが設定されたかを問い合わせることにより（図
１の制御信号Ｃ２）、該当する自己診断プログラム３４
をディスク４５から選択し、ＩＣ試験装置３０のテスタ
メモリ３１にロードする（図１のデータ信号Ｄ３とＤ
４）。
０７において、前記検出手段４２に対してどのような診
断項目Ｓが設定されたかを問い合わせることにより（図
１の制御信号Ｃ２）、該当する自己診断プログラム３４
をディスク４５から選択し、ＩＣ試験装置３０のテスタ
メモリ３１にロードする（図１のデータ信号Ｄ３とＤ
４）。
【００４３】Ｄ．自己診断プログラム３４の実行 ステップ１０８において、第２の制御手段４４はＩＣ試
験装置３０を制御し（図１の制御信号Ｃ４）、先にテス
タメモリ３１にロードされた自己診断プログラム３４を
実行させる。
験装置３０を制御し（図１の制御信号Ｃ４）、先にテス
タメモリ３１にロードされた自己診断プログラム３４を
実行させる。
【００４４】これにより、ＩＣ試験装置３０では、入力
装置１０から入力された所定の診断項目について、ＩＣ
試験装置３０を構成する診断対象ユニット３２に対し
（図１）自己診断が自動的に行われる。
装置１０から入力された所定の診断項目について、ＩＣ
試験装置３０を構成する診断対象ユニット３２に対し
（図１）自己診断が自動的に行われる。
【００４５】Ｅ．第１の制御手段４３と第２の制御手段
４４による制御動作（事後動作） （１）第２の制御手段４４による動作（ステップ１０９
から１１０まで） ＩＣ試験装置３０による自己診断の後は、第２の制御手
段４４は、ステップ１０９において、自己診断の結果を
ディスク４５に保存すると共に出力装置２０の画面に表
示し（図１のデータ信号Ｄ４とＤ３とＤ５）、次いで、
ステップ１１０において、ディスク４５に退避させてお
いたデータを元のテスタメモリ３１に復帰させる（図１
のデータ信号Ｄ３とＤ４）。
４４による制御動作（事後動作） （１）第２の制御手段４４による動作（ステップ１０９
から１１０まで） ＩＣ試験装置３０による自己診断の後は、第２の制御手
段４４は、ステップ１０９において、自己診断の結果を
ディスク４５に保存すると共に出力装置２０の画面に表
示し（図１のデータ信号Ｄ４とＤ３とＤ５）、次いで、
ステップ１１０において、ディスク４５に退避させてお
いたデータを元のテスタメモリ３１に復帰させる（図１
のデータ信号Ｄ３とＤ４）。
【００４６】また、第２の制御手段４４は、診断結果、
即ち、自己診断の結果が合格か不合格かを第１の制御手
段４３に通知する（図１の制御信号Ｃ５）。
即ち、自己診断の結果が合格か不合格かを第１の制御手
段４３に通知する（図１の制御信号Ｃ５）。
【００４７】（２）第１の制御手段４３による動作（ス
テップ１１１から１１２まで） 第２の制御手段４４から診断結果の通知を受けた第１の
制御手段４３は、ステップ１１１において、診断結果が
不合格の場合には（ＮＯ）、ステップ１１４において、
デバイス測定を停止させた状態のままアラーム装置３３
を制御し（図１の制御信号Ｃ６）、作業者に不合格を知
らせる。
テップ１１１から１１２まで） 第２の制御手段４４から診断結果の通知を受けた第１の
制御手段４３は、ステップ１１１において、診断結果が
不合格の場合には（ＮＯ）、ステップ１１４において、
デバイス測定を停止させた状態のままアラーム装置３３
を制御し（図１の制御信号Ｃ６）、作業者に不合格を知
らせる。
【００４８】また、第１の制御手段４３は、診断結果が
合格の場合には（ＹＥＳ）、ステップ１１２において、
ＩＣ試験装置３０とハンドラとを再度接続させ、このこ
とを第２の制御手段４４に通知する（図１の制御信号Ｃ
５）。
合格の場合には（ＹＥＳ）、ステップ１１２において、
ＩＣ試験装置３０とハンドラとを再度接続させ、このこ
とを第２の制御手段４４に通知する（図１の制御信号Ｃ
５）。
【００４９】そして最後に、第１の制御手段４３からハ
ンドラとの再接続の通知を受けた第２の制御手段４４
は、ステップ１１３において、ＩＣ試験装置３０を制御
しデバイスの測定を再開させる（図１の制御信号Ｃ
４）。
ンドラとの再接続の通知を受けた第２の制御手段４４
は、ステップ１１３において、ＩＣ試験装置３０を制御
しデバイスの測定を再開させる（図１の制御信号Ｃ
４）。
【００５０】このようにして、前記Ａ（ステップ１０
１）において起動条件を設定した後は、上述したＢから
Ｅまで（ステップ１０２から１１３まで）の手順を繰り
返すことにより、ＩＣ試験装置３０において自己診断が
自動的に行われるので、自己診断の間も作業者がＩＣ試
験装置３０を監視する必要はなく、また、手順ミスや判
断ミスがなくなり正確な診断が行われるようになった。
１）において起動条件を設定した後は、上述したＢから
Ｅまで（ステップ１０２から１１３まで）の手順を繰り
返すことにより、ＩＣ試験装置３０において自己診断が
自動的に行われるので、自己診断の間も作業者がＩＣ試
験装置３０を監視する必要はなく、また、手順ミスや判
断ミスがなくなり正確な診断が行われるようになった。
【００５１】
【発明の効果】この発明によれば、ＩＣ試験装置におけ
る自己診断方式を、曜日と時刻と診断項目から成る起動
条件を設定し、所定の曜日と時刻に到達したことを検出
した場合に、ＩＣ試験装置を制御し所定の診断項目につ
いての自己診断プログラムを実行させるように構成した
ことにより、作業者の手を介すことなく自動的に自己診
断を行うことにより手順ミスや判断ミスをなくし正確な
診断を行うことができるようになった。
る自己診断方式を、曜日と時刻と診断項目から成る起動
条件を設定し、所定の曜日と時刻に到達したことを検出
した場合に、ＩＣ試験装置を制御し所定の診断項目につ
いての自己診断プログラムを実行させるように構成した
ことにより、作業者の手を介すことなく自動的に自己診
断を行うことにより手順ミスや判断ミスをなくし正確な
診断を行うことができるようになった。
【図１】 この発明の実施形態を示す図である。
【図２】 この発明の動作を説明するフローチャートで
ある。
ある。
【図３】 従来技術を示すフローチャートである。
１０ 入力装置 ２０ 出力装置 ３０ ＩＣ試験装置 ３１ テスタメモリ ３２ 診断対象ユニット ３３ アラーム装置 ３４ 自己診断プログラム ４０ 制御装置 ４１ 設定手段 ４２ 検出手段 ４３ 第１の制御手段 ４４ 第２の制御手段 ４５ ディスク Ｙ 曜日 Ｔ 時刻 Ｓ 診断項目 Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３、Ｄ４、Ｄ５ データ信号 Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３、Ｃ４、Ｃ５、Ｃ６ 制御信号
Claims (4)
- 【請求項１】 曜日（Ｙ）と時刻（Ｔ）と診断項目
（Ｓ）から成る起動条件を設定し、所定の曜日（Ｙ）と
時刻（Ｔ）に到達したことを検出した場合に、ＩＣ試験
装置（３０）を制御し所定の診断項目（Ｓ）についての
自己診断プログラム（３４）を実行させることにより、
自動的に自己診断を行うことを特徴とするＩＣ試験装置
における自己診断方式。 - 【請求項２】 入力装置（１０）と制御装置（４０）と
ＩＣ試験装置（３０）と出力装置（２０）を備えた請求
項１記載のＩＣ試験装置における自己診断方式。 - 【請求項３】 前記制御装置（４０）が、設定手段（４
１）と検出手段（４２）と第１の制御手段（４３）と第
２の制御手段（４４）とディスク（４５）を備えた請求
項２記載のＩＣ試験装置における自己診断方式。 - 【請求項４】 前記ＩＣ試験装置（３０）が、自己診断
プログラム（３４）をロードするテスタメモリ（３１）
と診断対象ユニット（３２）とアラーム装置（３３）を
備えた請求項２記載のＩＣ試験装置における自己診断方
式。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000372000A JP2002174663A (ja) | 2000-12-06 | 2000-12-06 | Ｉｃ試験装置における自己診断方式 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000372000A JP2002174663A (ja) | 2000-12-06 | 2000-12-06 | Ｉｃ試験装置における自己診断方式 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002174663A true JP2002174663A (ja) | 2002-06-21 |
Family
ID=18841620
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000372000A Pending JP2002174663A (ja) | 2000-12-06 | 2000-12-06 | Ｉｃ試験装置における自己診断方式 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002174663A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006109463A1 (ja) * | 2005-03-30 | 2006-10-19 | Advantest Corporation | 診断プログラム、切替プログラム、試験装置、および診断方法 |
| US7552028B2 (en) | 2006-12-01 | 2009-06-23 | Advantest Corporation | Recording medium, test apparatus and diagnostic method |
| JP2010185862A (ja) * | 2009-02-11 | 2010-08-26 | King Yuan Electronics Co Ltd | 電気チャネル自己検査式半導体試験システム |
-
2000
- 2000-12-06 JP JP2000372000A patent/JP2002174663A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006109463A1 (ja) * | 2005-03-30 | 2006-10-19 | Advantest Corporation | 診断プログラム、切替プログラム、試験装置、および診断方法 |
| US7802140B2 (en) | 2005-03-30 | 2010-09-21 | Advantest Corporation | Diagnostic program, a switching program, a testing apparatus, and a diagnostic method |
| US7552028B2 (en) | 2006-12-01 | 2009-06-23 | Advantest Corporation | Recording medium, test apparatus and diagnostic method |
| JP2010185862A (ja) * | 2009-02-11 | 2010-08-26 | King Yuan Electronics Co Ltd | 電気チャネル自己検査式半導体試験システム |
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