JPH0774224A

JPH0774224A - 異常処理装置及び異常処理方法

Info

Publication number: JPH0774224A
Application number: JP5238782A
Authority: JP
Inventors: Riyougo Komatsu; 良悟小松; Koichi Ito; 浩一伊藤
Original assignee: Ando Electric Co Ltd
Current assignee: Ando Electric Co Ltd
Priority date: 1993-08-31
Filing date: 1993-08-31
Publication date: 1995-03-17
Anticipated expiration: 2017-11-20
Also published as: JP3348479B2

Abstract

(57)【要約】【目的】制御装置に影響のないような異常が試験装置
内で瞬時点に発生した場合に、測定条件や測定結果等の
テストデータを失う事なく、しかも稼働状態の復帰に時
間を費やすことのない異常処理装置と異常処理方法とを
提供する。【構成】ＩＣ試験装置２及び制御装置１の各種異常セ
ンサ14,22A,22Bと、その異常検出出力を処理する異常監
視回路15と、制御装置１の供給電力の異常を監視し、そ
の異常発生時には制御装置１に所定時間に渡って電力を
供給し動作中か否かを異常監視回路15へ知らせる無瞬断
電源装置３と、異常監視回路15より異常要因及び無瞬断
電源装置３の動作中か否かを読み取ってＩＣ試験装置２
の稼働状態への復帰が可能かを判断する制御用コンピュ
ータ17と、制御用コンピュータ17の出力が電源制御回路
13を動作させて制御装置１の電源が動作状態のままＩＣ
試験装置２の電源のみを断ち、ＩＣ試験装置２の電源を
停止状態から始動する手段とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は異常処理装置及び処理
方法についてのものであり、特に、ＩＣ試験装置または
その制御装置において火災に発展する恐れのあるような
異常が発生した場合の異常処理を的確に行うことの出来
る処理装置及び処理方法についてのものである。

【０００２】

【従来の技術】次に、従来技術によるＩＣ試験装置の異
常処理装置の構成を図５に示す。ＩＣ試験装置２は制御
装置１により制御されてＩＣ素子に対する各種試験を行
う。操作員が電源スイッチ１２を制御して制御装置１の
各種電源１１及びＩＣ試験装置２の各種電源２１を動作
状態にしたり停止状態にしたりすることができる。

【０００３】ＩＣ試験装置２には温度センサ、煙セン
サ、ファンセンサ等の火災に発展する恐れのあるような
異常を検出する各種異常センサ２２が設けられ、また各
種電源２１には各々その異常を検出する図示しないセン
サが内蔵されている。そして温度異常、発煙、電源異
常、ファン停止等の異常が発生すると該当する異常セン
サ２２が動作し、その異常検出出力は異常監視回路１５
で処理され、その出力により表示部１６を動作させ、外
部へ異常発生を知らせる。表示部１６は通常ＬＥＤ、ブ
ザー等で構成されており、操作員に視覚的、聴覚的に異
常発生を知らせることを目的とする。

【０００４】また異常監視回路１５は制御用コンピュー
タ１７へ割り込み、制御用コンピュータ１７は図６のフ
ローチャートに示すように、この割り込みが異常割り込
みであることを感知すると（Ｓ６０１）、その異常要因
を調べ（Ｓ６０２）、それを端末１８に送って画面に表
示する（Ｓ６０３）。その後、電源制御回路１３にＯＦ
Ｆ命令を送って制御装置１の電源１１及びＩＣ試験装置
２の電源２１を断つ（Ｓ６０４）。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】従来技術によれば、制
御装置に影響のないような異常が発生した場合において
も、例えばＩＣ試験装置への供給電力の瞬停により瞬時
的に異常が発生したが、供給電力の復帰と共に正常状態
に戻った場合等においても、ＩＣ試験装置及び制御装置
のすべての電源が断たれることになる。

【０００６】ＩＣ試験装置の電源が断たれると、異常発
生時にハードウエアに記憶されていた測定条件、測定結
果等の情報が失われてしまうという問題があった。また
いったん制御装置の電源を断ってしまうと、再びＩＣ試
験装置を稼働状態に復帰させるためには分単位の比較的
長い時間がかかる。初期設定のためのオペレーションシ
ステムを外部記憶装置から取り込み、それを起動させな
くてはならないからである。

【０００７】従って制御装置に影響のないような異常が
ＩＣ試験装置内で瞬時的に発生した後、直ちに正常状態
に戻ったような場合、ＩＣ試験装置内は火災発生の危険
性が回避された状態にもかかわらず、上記処理のために
操作員の作業が必要となり、時間を費やさなくてはなら
ないという問題があった。

【０００８】この発明は、制御装置に影響のないような
異常が試験装置内で瞬時的に発生した場合に、測定条件
や測定結果等の情報を失う事なく、しかも稼働状態の復
帰に時間を費やすことのない異常処理装置と異常処理方
法とを提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、この発明は、ＩＣ試験装置で火災に発展する恐れの
あるような異常が発生すると異常センサが動作し、その
異常検出出力を処理した異常監視回路の出力が制御用コ
ンピュータへ割り込み、制御用コンピュータがその異常
要因を端末に表示すると共に、電源制御回路を動作させ
てＩＣ試験装置及びその制御装置の電源を断つＩＣ試験
装置の異常処理装置において、異常要因の種類によって
分類されたＩＣ試験装置及び制御装置の各種異常センサ
と、その異常検出出力を処理して制御用コンピュータへ
割り込む異常監視回路と、制御装置の供給電力の異常を
監視し、その異常発生時には制御装置に所定時間に渡っ
て電力を供給すると共に動作中か否かを異常監視回路へ
知らせる無瞬断電源装置と、異常監視回路より異常要因
及び無瞬断電源装置の動作中か否かを読み取ってＩＣ試
験装置の稼働状態への復帰が可能かどうかを判断する制
御用コンピュータと、制御用コンピュータの出力が電源
制御回路を動作させて制御装置の電源が動作状態のまま
ＩＣ試験装置の電源のみを断ち、ＩＣ試験装置の電源を
停止状態から始動する手段とを備える。

【００１０】

【作用】ランク２の異常が検出された場合に、特定の試
験装置のテスト情報をいったん退避させて電源を所定時
間だけオフし、所定時間経過後に再びオンし、異常が検
出されない場合には退避させたテスト情報を特定の試験
装置に戻し、運転を再開する。

【００１１】

【実施例】次に、この発明の実施例による異常処理装置
のブロック図を図１に示す。図１で、図５に示す従来の
装置と対応する部分には同一符号を付けてある。この発
明においては各種異常センサがその検出する異常要因の
種類によって分類される。制御装置１で発生した異常
と、ＩＣ試験装置２で発生した異常のうち制御装置１に
影響が及ぶと考えられる異常をランク１異常とし、ＩＣ
試験装置２で発生した異常のうち制御装置１に直接影響
が及ばないと考えられる異常をランク２異常とする。異
常センサ１４、異常センサ２２Ａはランク１異常を検出
する各種異常センサであり、異常センサ２２Ｂはランク
２異常を検出する各種異常センサである。電源１１の異
常はランク１異常であり、電源２１の異常はランク２異
常である。

【００１２】異常センサ１４は制御装置１の内部の温度
異常、発煙、ファン停止等の異常を検出するものであ
る。異常センサ２２ＡはＩＣ試験装置２の内部の異常を
検出するセンサのうち、危険度が高く即座に火災に発展
する恐れのある、温度異常、発煙等の異常を検出するも
ので、これらの異常は制御装置１に影響が及ぶと考えら
れる。異常センサ２２ＢはＩＣ試験装置２の内部の異常
を検出するセンサのうち、比較的危険度が低く制御装置
１に影響が及ばないと考えられるファン停止等の異常を
検出するものである。

【００１３】また電源１１と制御装置１への供給電力と
の間に、所定時間に渡って電力供給が可能な無瞬断電源
装置３が設けられる。制御装置１またはＩＣ試験装置２
で火災に発展する恐れのあるような異常が発生すると、
その異常検出出力は異常監視回路１５で処理され、その
出力により表示部１６を動作させ、外部へ異常発生を知
らせる。同時に、無瞬断電源装置３は制御装置１の電源
１１への供給電力の電圧を監視していて、これに異常あ
った場合はこれに代わって電源１１への電力供給を開始
し、異常監視回路１５に対して動作中の信号を出力す
る。また異常検出出力を処理した異常監視回路１５は制
御用コンピュータ１７へ割り込み、制御用コンピュータ
１７は図２に示すような処理を行うが、異常要因を調べ
る（Ｓ２０２）処理までは図６のフローチャートに示す
従来の手順と同様である。

【００１４】この後の処理を図２に示すフローチャート
に従って説明する。次に制御用コンピュータ１７は異常
がランク１異常なのかランク２異常なのかを、異常監視
回路１５より異常要因を読み取って（Ｓ２０３）判別す
る。これは異常要因を調べることにより直ちに全ての電
源を断つ必要があるのか、それともＩＣ試験装置２の稼
働状態への復帰の可能性があるのかを判断するためであ
る。

【００１５】異常がランク１異常であった場合は稼働状
態への復帰の可能性は無いと見なして、従来と同様にそ
の異常要因を端末１８に送ってそれを画面に表示した
（Ｓ２０４）後で、電源制御回路１３にＯＦＦ命令を送
って制御装置１の電源１１及びＩＣ試験装置２の電源２
１を断って（Ｓ２０５）処理を終了する。この状態は従
来と同様で、異常を取り除いた後でＩＣ試験装置２を稼
働状態に復帰させるためには、初期設定のためのオペレ
ーションシステムを外部記憶装置から取り込み、それを
起動させなくてはならない。

【００１６】しかし異常がランク２異常であった場合は
ＩＣ試験装置２の稼働状態への復帰の可能性があると見
なして、その際に失われては困るハードウエアレジスタ
のテスタ情報、例えば各種測定条件及び各種測定結果等
の情報を制御用コンピュータ１７のメモリに退避し（Ｓ
２０６）、その異常要因を端末１８に送ってそれを画面
に表示した（Ｓ２０７）後で、電源制御回路１３にＯＦ
Ｆ命令を送ってＩＣ試験装置２の電源２１のみを断つ
（Ｓ２０８）。この状態は制御装置１の電源１１が動作
状態であり制御装置１は稼働状態を継続しているので、
ＩＣ試験装置２に対して処理をすることが可能である。

【００１７】制御用コンピュータ１７はこの状態で所定
時間待つ（Ｓ２０９）。これは異常が瞬時的に終わるも
のであった場合は、この間にＩＣ試験装置２は再び正常
な状態に戻るものと考えられる時間であり、例えば３秒
程度である。次に異常監視回路１５に無瞬断電源装置３
から動作中の信号が入力されているかどうかを調べるこ
とによって、その後の制御装置１の稼働の継続が可能か
どうかを判断する（Ｓ２１０）。これはＩＣ試験装置２
の稼働状態への復帰のためには制御装置１が稼働を継続
することが条件となるからである。

【００１８】無瞬断電源装置３が動作中であった場合に
は、電源１１への本来の供給電力が停止したと見なして
制御装置１の稼働の継続は不可能と判断し、制御用コン
ピュータ１７のメモリに記憶されている試験プログラム
等のファイル及び前述の退避されたハードウエアレジス
タの情報を、外部記憶装置に保存して（Ｓ２１１）処理
を終了する。この状態は従来と同様で、異常を取り除い
た後でＩＣ試験装置２を稼働状態に復帰させるために
は、初期設定のためのオペレーションシステムを外部記
憶装置から取り込み、それを起動させなくてはならな
い。しかし外部記憶装置に上記処理により記憶さたファ
イル、情報を読み出すことによって、異常発生時の測定
状態を再現することができる。

【００１９】また無瞬断電源装置３が動作中でなかった
場合には、引続き以下に示す処理が行われる。電源１１
への供給電力には異常はなかったと見なして制御装置１
の稼働の継続は可能と判断し、ＩＣ試験装置２を稼働状
態へ復帰させるため電源制御回路１３にＯＮ命令を送っ
てＩＣ試験装置２の電源２１を投入させる（Ｓ２１
２）。この状態でさらに所定時間待つ（Ｓ２１３）。こ
の間に再び異常が発生するかどうかで、その異常が瞬時
的なものであったか継続的なものであったかを判断する
（Ｓ２１４）ためであり、例えば２０秒程度である。

【００２０】所定時間待ちの間に異常が発生して異常監
視回路１５が制御用コンピュータ１７へ割り込み、制御
用コンピュータ１７がこの割り込みが異常割り込みであ
ることを感知した場合は、異常は継続的なものであった
と見なして直ちにその異常要因を調べ（Ｓ２１６）、そ
れを端末１８に送って画面に表示した（Ｓ２１７）後
で、電源制御回路１３にＯＦＦ命令を送ってＩＣ試験装
置２の電源２１を断って（Ｓ２１８）処理を終了する。
この状態は制御装置１が稼働を継続し、制御用コンピュ
ータ１７は、ＩＣ試験装置２の電源２１が投入された時
に前述のメモリに退避した情報を再びハードウエアレジ
スタに転送するように待機しているため、異常を取り除
い後でＩＣ試験装置２を稼働状態に復帰させるために
は、操作員は電源スイッチ１２を操作してＩＣ試験装置
２の電源２１を投入させればよい。

【００２１】また所定時間が終了しても異常割り込みが
発生しなかった場合は、制御用コンピュータ１７は異常
が瞬時的なものであったと見なして前述のメモリに退避
した情報を再びハードウエアレジスタに転送し（Ｓ２１
５）、ＩＣ試験装置２を稼働状態に復帰させて処理を終
了する。この状態では異常発生時までの測定結果等の情
報は制御用コンピュータ１７のメモリに記憶されてお
り、ハードウエアは異常発生時の測定条件が再現されて
いるため、操作員は直ちに試験を実行することができ
る。

【００２２】図３は本発明の他の実施例に係る異常処理
装置のブロック図を示したものである。図１の実施例に
示すＩＣ試験装置２に該当する装置としてテスト制御装
置架３１・３２が設けられており、架内には図示しない
異常センサが取付けられている。異常が発生するとアラ
ームを発生する。テスト制御装置架３１・３２から発生
したアラームはアラーム解析部プロセッサ３３に伝達さ
れ、ここで集中的にアラーム内容の解析と各種処理が行
なわれる。図１の装置の異常監視回路１５と制御用コン
ピュータ１７に相当する。

【００２３】パワー制御回路３４はプロセッサ３３から
の制御信号に応答してテスト制御装置架３１・３２の電
源オン、オフ制御する。またプロセッサ３３は特定のテ
スト制御装置架からアラームを受付けると、その架に蓄
積されているテストデータをいったんテストデータ退避
／復帰制御部３５に退避させた後、パワー制御回路３４
に該当する架の電源をオフするよう指令する。テストデ
ータ退避／復帰制御部３５に退避したデータはメモリ３
６に格納されて保持される。特定架の電源がオフになっ
た後、一定期間の状態安定待ちを行った後、特定架の電
源を再度オンし、その後再度アラーム解析を行いアラー
ムが再発生しないようならば、テストデータ退避／復帰
制御部３５を通じてメモリ３６に退避されているテスト
データをテスト制御装置架３１・３２へ復帰させる。こ
れらの制御方式を実行させることにより、一部のアラー
ムはシステムを停止させることなくテスティングを継続
させることができる。

【００２４】図４はその時のシーケンスを示すフローチ
ャートである。テスト制御装置架３１・３２からアラー
ムが発生すると、アラーム解析部プロセッサ３３で観測
を行い（Ｓ４０１）、アラーム発生か否かを判定する
（Ｓ４０２）。アラーム発生の時には、発生架の特定を
行い（Ｓ４０３）、その特定架に蓄積されているテスト
情報を制御部３５にいったん退避させる（Ｓ４０４）。
さらに、システムに含まれる各架のパワーオン状態の退
避（Ｓ４０５）を行い、アラーム要因によるアラーム発
生架の電源をオフする（Ｓ４０６）。そして、一定時間
状態安定待ちを行い（Ｓ４０７）、ついで電源を再投入
する（Ｓ４０８）。アラーム解析部プロセッサ３３で再
びアラームが発生するか否かの観測を行い（Ｓ４０
９）、同一要因による再アラームか否かを判断する（Ｓ
４１０）。

【００２５】再アラームが発生しなかった場合には、そ
の架は復帰可能と判断し、テストデータ退避／復帰制御
部３５に退避させておいたテストデータを架に復帰させ
る（Ｓ４１１）。再アラームが発生する場合には、その
架は復帰不可能と判断し、電源をオフする（Ｓ４１
２）。そして、図示しない警報ブザーを鳴らし（Ｓ４１
３）、システムを停止させる（Ｓ４１４）。

【００２６】この実施例では、アラームの中でも５０％
以上の割合を示す電源瞬断等の一時的なアラームを救済
できるため、量産体制で行なわれている半導体試験の稼
働率アップに大いに貢献する事ができる。

【００２７】

【発明の効果】この発明によれば、異常が発生した場合
に、その異常が制御装置に影響の及ばないものであれ
ば、制御装置は稼働状態を継続できるので、ハードウエ
ア情報が失われることはなく、さらに異常が瞬時的なも
のであった場合には試験装置を短時間で自動で稼働状態
に復帰させることができるので、操作員は異常が瞬時的
なものであったことが解ると共に、異常発生前と同様な
測定条件のもとに直ちに試験を実行することが可能であ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施例に係る異常処理装置の構成
を示すブロック図である。

【図２】この発明の実施例における異常発生時の処理を
示すフローチャートである。

【図３】この発明の他の実施例に係る異常処理装置の構
成を示すブロック図である。

【図４】この発明の他の実施例における異常発生時の処
理を示すフローチャートである。

【図５】従来の異常処理装置の構成を示すブロック図で
ある。

【図６】従来の異常処理装置における異常発生時の処理
を示すフローチャートである。

【符号の説明】

１制御装置２ＩＣ試験装置３無瞬断電源装置１１・２１電源１３電源制御回路１５異常監視回路１４・２２Ａ・２２Ｂ異常センサ１７制御用コンピュータ１８端末３１・３２テスト制御装置架３３アラーム解析部プロセッサ３４パワー制御回路３５テストデータ退避／復帰制御部３６メモリ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】異常発生を検出する異常センサと、この
異常センサからの異常検出出力を処理する異常監視回路
(15)と、この異常監視回路(15)からの割り込み信号に応
答して異常要因を端末(18)に通知すると共に試験装置
(2) 又は試験装置(23)と制御装置(1) の電源を断つ制御
用コンピュータ(17)とを備えた異常処理装置において、前記制御装置(1) 及び試験装置(2) に配設された危険度
の高い異常を検出するランク１異常センサ(14,22A)と、危険度の低い異常を検出するランク２異常センサ(22B)
と、前記制御装置(1) の電源(11)の供給電力の異常を監視
し、その異常発生時には前記制御装置(1) に所定時間に
渡って電力を供給すると共に動作中か否かを示す信号を
前記異常監視回路に知らせる無瞬断電源装置(3) と、前記ランク２異常センサ(22B)の異常検出出力発生時に
前記無瞬断電源装置(3)が非動作中の場合に前記試験装
置(2) のみの電源(21)を断とし、所定時間経過後に再び
オンするよう制御する前記制御用コンピュータとを設け
た事を特徴とする異常処理装置。
【請求項２】ランク２の異常が検出された場合に、特
定の試験装置のテスト情報をいったん退避させて電源を
所定時間だけオフし、所定時間経過後に再びオンし、異
常が検出されない場合には前記退避させたテスト情報を
前記特定の試験装置に戻し、運転を再開する事を特徴と
する異常処理方法。