JP2010185862A - 電気チャネル自己検査式半導体試験システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本電気チャネル自己検査式半導体試験システムは、試験ヘッド、複数のパラメータ検出ユニット、自己検査コントローラを包含し、該試験ヘッド内に複数の試験回路板が挿入され、それは複数の電源チャネル、複数の伝送チャネル、及び複数の駆動チャネルを具備する。自己検査コントローラが異なる検査信号を各電源チャネル、伝送チャネル、及び駆動チャネルにそれぞれ入力し、さらに複数のパラメータ検出ユニットにより各電源チャネル、伝送チャネル、及び駆動チャネルが上述の検査信号を受けて発生する応答信号を検出し並びに判断する。これにより本発明はウエハ試験の前に、各電気チャネルのオープンループ或いは短絡状態が正常であるか、或いは漏電が発生しているか否かを自己検査できる。
【選択図】図4
Description
Tower)32がロードボード31に組み付けられ、ポゴタワー32に複数のポゴピン321が取付けられている。
22 伝送チャネル 23 駆動チャネル 24 パラメータ検出ユニット
3 試験ヘッド 31 ロードボード 32 ポゴタワー
321 ポゴピン 4 自己検査コントローラ 5 メモリ
50 合格パラメータ 51、53、54 合格電流範囲
52 合格電圧範囲 6 アラーム 7 電源供給モジュール
8 ベース 9 ウエハー a、b、c 位置
E1、E2、E3 検査信号 E11 検査電圧 E12 検査電流
R1、R2、R3 応答信号 R11 応答電流 R12 応答電圧
Claims (6)
- 電気チャネル自己検査式半導体試験システムにおいて、
試験ヘッドであって、複数の試験回路板が挿入され、該複数の試験回路板が複数の電源チャネル、複数の伝送チャネル、及び複数の駆動チャネルを具えている、上記試験ヘッドと、
複数のパラメータ検出ユニットであって、それぞれが該複数の試験回路板の該複数の電源チャネル、該複数の伝送チャネル、及び該複数の駆動チャネルに接続された、上記複数のパラメータ検出ユニットと、
自己検査コントローラであって、該複数の試験回路板の該複数の電源チャネル、該複数の伝送チャネル、及び該複数の駆動チャネルにそれぞれ電気的に接続され、該自己検査コントローラは異なる検査信号を各該電源チャネル、各該伝送チャネル及び各該駆動チャネルにそれぞれ入力し、該複数のパラメータ検出ユニットは各該電源チャネル、各該伝送チャネル及び各該駆動チャネルが上述の検査信号を受けて発生する応答信号を検出し並びにそれを出力する、上記自己検査コントローラと、
を包含したことを特徴とする、電気チャネル自己検査式半導体試験システム。 - 請求項1記載の電気チャネル自己検査式半導体試験システムにおいて、該自己検査コントローラに電気的に接続されたメモリを具え、該メモリ内に一組の合格パラメータが保存され、該自己検査コントローラが該応答信号をキャプチャし並びに該メモリ内の該一組の合格パラメータと対比して符合しない時、対応するアラーム信号を出力することを特徴とする、電気チャネル自己検査式半導体試験システム。
- 請求項2記載の電気チャネル自己検査式半導体試験システムにおいて、該一組の合格パラメータは合格電流範囲、及び合格電圧範囲を包含し、該検査信号は検査電圧と検査電流を包含し、
該自己検査コントローラは該検査電圧を各該電源チャネルに入力し、該複数のパラメータ検出ユニットはそれぞれ各電源チャネルが上述の検査電圧を受けて発生する応答電流を検出し並びに該メモリに保存された該合格電流範囲と対比し、該自己検査コントローラは該検査電流を各該伝送チャネル及び各該駆動チャネルに入力し、該複数のパラメータ検出ユニットは各該伝送チャネル及び各該駆動チャネルが該検査電流を受けて発生する応答電圧を検出し並びに該メモリ内に保存された該合格電圧範囲と対比することを特徴とする、電気チャネル自己検査式半導体試験システム。 - 請求項2記載の電気チャネル自己検査式半導体試験システムにおいて、該一組の合格パラメータは別の合格電流範囲を包含し、該検査信号は別の検査電圧を包含し、
該自己検査コントローラは該別の検査電圧を各該伝送チャネル及び各該駆動チャネルに入力し、該複数のパラメータ検出ユニットは各該伝送チャネル及び各該駆動チャネルが上述の別の検査電圧を受けて発生する応答電流を検出し並びに該メモリに保存された該別の合格電流範囲と対比することを特徴とする、電気チャネル自己検査式半導体試験システム。 - 請求項4記載の電気チャネル自己検査式半導体試験システムにおいて、該一組の合格パラメータはさらに別の合格電流範囲を包含し、該検査信号はさらに別の検査電圧を包含し、
該自己検査コントローラは該別の検査電圧を各該伝送チャネル及び各該駆動チャネルに入力し、該複数のパラメータ検出ユニットは各該伝送チャネル及び各該駆動チャネルが上述のさらに別の検査電圧を受けて発生する応答電流を検出し並びに該メモリに保存されたさらに別の合格電流範囲と対比することを特徴とする、電気チャネル自己検査式半導体試験システム。 - 請求項1記載の電気チャネル自己検査式半導体試験システムにおいて、中央サーバーをさらに包含し、該中央サーバーはネットワークを通して該自己検査コントローラと電気的に接続され、該自己検査コントローラは該応答信号をキャプチャし並びに該ネットワークを通してそれを該中央サーバー内に保存することを特徴とする、電気チャネル自己検査式半導体試験システム。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
TW098104302 | 2009-02-11 | ||
TW098104302A TWI398649B (zh) | 2009-02-11 | 2009-02-11 | Semiconductor test system with self - test for electrical channel |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010185862A true JP2010185862A (ja) | 2010-08-26 |
JP5015188B2 JP5015188B2 (ja) | 2012-08-29 |
Family
ID=42541115
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009082416A Active JP5015188B2 (ja) | 2009-02-11 | 2009-03-30 | 電気チャネル自己検査式半導体試験システム |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8275568B2 (ja) |
JP (1) | JP5015188B2 (ja) |
TW (1) | TWI398649B (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2013250250A (ja) | 2012-06-04 | 2013-12-12 | Advantest Corp | テスターハードウェアおよびそれを用いた試験システム |
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2009
- 2009-02-11 TW TW098104302A patent/TWI398649B/zh active
- 2009-03-30 JP JP2009082416A patent/JP5015188B2/ja active Active
- 2009-06-23 US US12/457,815 patent/US8275568B2/en active Active
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---|---|
JP5015188B2 (ja) | 2012-08-29 |
TW201030351A (en) | 2010-08-16 |
US20100204949A1 (en) | 2010-08-12 |
TWI398649B (zh) | 2013-06-11 |
US8275568B2 (en) | 2012-09-25 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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