JP5015188B2 - 電気チャネル自己検査式半導体試験システム - Google Patents
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Description
22 伝送チャネル 23 駆動チャネル 24 パラメータ検出ユニット
3 試験ヘッド 31 ロードボード 32 ポゴタワー
321 ポゴピン 4 自己検査コントローラ 5 メモリ
50 合格パラメータセット
51 第1合格電流範囲 53 第2合格電流範囲 54 第3合格電流範囲
52 合格電圧範囲 6 アラーム 7 電源供給モジュール
8 ベース 9 ウエハー a、b、c 位置
E1 第1検査信号 E2 第2検査信号 E3 第3検査信号
E11 検査電圧 E12 検査電流
R1、R2、R3 応答信号 R11 応答電流 R12 応答電圧
Claims (6)
- 電気チャネル自己検査式半導体試験システムにおいて、
試験ヘッドであって、複数の試験回路板が挿入され、該複数の試験回路板が複数の電源チャネル、複数の伝送チャネル、及び複数の駆動チャネルを具えている、上記試験ヘッドと、
複数のパラメータ検出ユニットであって、それぞれが該複数の試験回路板の該複数の電源チャネル、該複数の伝送チャネル、及び該複数の駆動チャネルに接続された、上記複数のパラメータ検出ユニットと、
自己検査コントローラであって、該複数の試験回路板の該複数の電源チャネル、該複数の伝送チャネル、及び該複数の駆動チャネルにそれぞれ電気的に接続され、該自己検査コントローラは検査信号セットを各該電源チャネル、各該伝送チャネル及び各該駆動チャネルにそれぞれ入力し、該複数のパラメータ検出ユニットは各該電源チャネル、各該伝送チャネル及び各該駆動チャネルが該検査信号セットを受けて発生する応答信号を検出し並びにそれを出力する、上記自己検査コントローラと、
を包含したことを特徴とする、電気チャネル自己検査式半導体試験システム。 - 請求項1記載の電気チャネル自己検査式半導体試験システムにおいて、該自己検査コントローラに電気的に接続されたメモリを具え、該メモリ内に合格パラメータセットが保存され、該自己検査コントローラが該応答信号をキャプチャし並びに該メモリ内の該合格パラメータセットと対比して符合しない時、対応するアラーム信号を出力することを特徴とする、電気チャネル自己検査式半導体試験システム。
- 請求項2記載の電気チャネル自己検査式半導体試験システムにおいて、該合格パラメータセットは第1合格電流範囲、及び合格電圧範囲を包含し、該検査信号セットは第1検査信号を包含し、
該自己検査コントローラは該第1検査信号の電圧値を各該電源チャネルに入力し、該複数のパラメータ検出ユニットはそれぞれ各電源チャネルが該第1検査信号の電圧値を受けて発生する応答電流を検出し並びに該メモリに保存された該第1合格電流範囲と対比し、該自己検査コントローラは該第1検査信号の電流値を各該伝送チャネル及び各該駆動チャネルに入力し、該複数のパラメータ検出ユニットは各該伝送チャネル及び各該駆動チャネルが該第1検査信号の電流値を受けて発生する応答電圧を検出し並びに該メモリ内に保存された該合格電圧範囲と対比することを特徴とする、電気チャネル自己検査式半導体試験システム。 - 請求項3記載の電気チャネル自己検査式半導体試験システムにおいて、該合格パラメータセットは第2合格電流範囲を包含し、該検査信号セットは第2検査信号を包含し、
該自己検査コントローラは該第2検査信号を各該伝送チャネル及び各該駆動チャネルに入力し、該複数のパラメータ検出ユニットは各該伝送チャネル及び各該駆動チャネルが該第2検査信号を受けて発生する応答電流を検出し並びに該メモリに保存された該第2合格電流範囲と対比することを特徴とする、電気チャネル自己検査式半導体試験システム。 - 請求項4記載の電気チャネル自己検査式半導体試験システムにおいて、該合格パラメータセットはさらに第3合格電流範囲を包含し、該検査信号セットはさらに第3検査信号を包含し、
該自己検査コントローラは該第3検査信号を各該伝送チャネル及び各該駆動チャネルに入力し、該複数のパラメータ検出ユニットは各該伝送チャネル及び各該駆動チャネルが該第3検査信号を受けて発生する応答電流を検出し並びに該メモリに保存された該第3合格電流範囲と対比することを特徴とする、電気チャネル自己検査式半導体試験システム。 - 請求項1記載の電気チャネル自己検査式半導体試験システムにおいて、中央サーバーをさらに包含し、該中央サーバーはネットワークを通して該自己検査コントローラと電気的に接続され、該自己検査コントローラは該応答信号をキャプチャし並びに該ネットワークを通してそれを該中央サーバー内に保存することを特徴とする、電気チャネル自己検査式半導体試験システム。
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