JP2002202354A

JP2002202354A - Ｉｃテスタ調整装置及び方法

Info

Publication number: JP2002202354A
Application number: JP2000400063A
Authority: JP
Inventors: Takeshi Sekiya; 剛関谷
Original assignee: Ando Electric Co Ltd
Current assignee: Ando Electric Co Ltd
Priority date: 2000-12-28
Filing date: 2000-12-28
Publication date: 2002-07-19

Abstract

(57)【要約】【課題】基準ピンとを試験ヘッドに対して別体として
設ける場合においてもＤＣユニットを用いて基準ピンの
診断・調整を行う。【解決手段】信号用パッドを介することにより試験ヘ
ッドから試験対象ＩＣに試験用入力信号を供給すると共
に該試験用入力信号に対する試験対象ＩＣの出力信号を
試験ヘッドに取り込んで試験対象ＩＣを試験するＩＣテ
スタについて、移動自在に支持された接触子を各信号用
パッドに順次接触させることにより、試験用入力信号を
基準ピンに順次供給して各試験用入力信号のタイミング
を調整すると共に交流信号を試験ヘッドに取り込んで試
験ヘッドのタイミングを調整する装置において、任意に
選択した信号用パッドを介して試験ヘッド内に備えられ
た直流電圧発生・測定手段と基準ピンとを接続状態とす
ることにより基準ピンを校正する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ＩＣの各種動作試
験を行うＩＣテスタの調整に係わるＩＣテスタ調整装置
及び方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】周知のように、ＩＣテスタは各種ＩＣの
動作特性を試験する装置である。このＩＣテスタは、テ
ストボード上に実装されたＩＣの各端子に対して試験用
ドライバを介して試験用入力信号をそれぞれ入力すると
共に、各端子から試験用入力信号に対して出力された出
力信号のタイミングを試験用コンパレータを用いて評価
することにより、ＩＣの動作が正常であるか否かを試験
するものである。このようなＩＣテスタでは試験用入力
信号相互のタイミング関係を調整することが行われてい
る。上記試験用入力信号相互のタイミング調整は、近年
のＩＣの高速化に伴って極めて重要になっており、より
正確にＩＣの動作特性を試験する必要から調整回数も増
えている。

【０００３】上記試験用入力信号のタイミング調整で
は、一例として各試験用ドライバから出力された試験用
入力信号（パルス信号）をテストボード上の信号用パッ
ドにそれぞれ供給し、各信号用パッドにＸ−Ｙロボット
に把持された接触子を順次接触させることにより試験用
入力信号を択一的に順次選択して基準ピン内に備えられ
た基準コンパレータに入力することにより各試験用入力
信号のタイミングスキューを調整する。また、基準ピン
内に備えられた基準ドライバから交流信号（パルス信
号）を上記接触子及び信号用パッドを介して各試験用コ
ンパレータに順次入力することにより各試験用コンパレ
ータのタイミングスキューを調節する。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、通常、ＩＣ
テスタにはＤＣユニットが備えられている。このＤＣユ
ニットは、ＩＣの直流動作試験を行うために、ＩＣに試
験用入力信号の１つとして高精度の試験用直流電圧を供
給すると共に、各種直流電圧を高精度に測定するための
ものである。ＩＣテスタを高精度に調整するためには、
基準ピンに供給される各種直流電圧を高精度に設定・維
持する必要があるので、従来のＩＣテスタでは、このＤ
Ｃユニットを上記基準コンパレータ及び基準ドライバ
（すなわち基準ピン）の校正用に用いている。

【０００５】しかし、基準ピンを一体として試験ヘッド
内に実装しているＩＣテスタでは、このような基準ピン
の校正にＤＣユニットを流用することが可能であるが、
上述したタイミング調整を行うＩＣテスタでは、基準ピ
ンが試験ヘッドに対して別体、すなわちＸ−Ｙロボット
によって移動自在に構成されているので、基準ピンの校
正にＤＣユニットを用いることができない。また、この
ように基準ピンが試験ヘッドに対して別体となった場
合、交流の試験用入力信号を基準ピンに供給することが
できないので、基準ピンの動作診断をも行うことができ
ない。

【０００６】本発明は、上述する問題点に鑑みてなされ
たもので、基準ピンとを試験ヘッドに対して別体として
設ける場合においても、ＤＣユニットを用いて基準ピン
の診断・調整を行うことを目的とするものである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明では、ＩＣテスタ調整装置に係わる第１の手
段として、テストボード上に複数形成された信号用パッ
ドを介して試験ヘッドから試験対象ＩＣに試験用入力信
号を供給すると共に該試験用入力信号に対する試験対象
ＩＣの出力信号を信号用パッドを介して試験ヘッドに取
り込んで試験対象ＩＣを試験するＩＣテスタについて、
移動自在に支持された接触子を前記各信号用パッドに順
次接触させることにより、試験ヘッドから試験用入力信
号を基準ピンに順次供給して各試験用入力信号のタイミ
ングを調整すると共に、前記基準ピンから前記信号用パ
ッド及び接触子を介して交流信号を試験ヘッドに取り込
んで試験ヘッドのタイミングを調整する装置であって、
任意に選択した信号用パッドを介して試験ヘッド内に備
えられた直流電圧発生・測定手段と基準ピンとを接続状
態とすることにより基準ピンを校正するという手段を採
用する。

【０００８】また、ＩＣテスタ調整装置に係わる第２の
手段として、テストボード上に複数形成された信号用パ
ッドを介して試験用ドライバあるいは直流電圧発生・測
定手段から試験用入力信号を試験対象ＩＣに供給すると
共に、該試験用入力信号に対する試験対象ＩＣの出力信
号を信号用パッドを介して試験用コンパレータあるいは
直流電圧発生・測定手段に供給して前記試験対象ＩＣを
試験するＩＣテスタについて、移動自在に支持された接
触子を前記各信号用パッドに順次接触させることにより
試験用ドライバから試験用入力信号を基準コンパレータ
に順次供給し、該基準コンパレータの反転タイミングに
基づいて各信号用パッド上における試験用入力信号のタ
イミングを調整すると共に、前記接触子及び信号用パッ
ドを介して基準ドライバから試験用コンパレータに交流
信号を供給することにより当該試験用コンパレータのタ
イミングを調整する装置であって、任意に選択した信号
用パッドを介して基準ドライバから出力された調整用直
流電圧を直流電圧発生・測定手段に入力することによ
り、前記調整用直流電圧を校正するという手段を採用す
る。

【０００９】ＩＣテスタ調整装置に係わる第３の手段と
して、上記第２の手段において、任意に選択した信号用
パッドを介して直流電圧発生・測定手段から校正用直流
電圧を基準コンパレータに入力して当該基準コンパレー
タのしきい値を校正するという手段を採用する。

【００１０】一方、本発明では、ＩＣテスタ調整方法に
係わる第１の手段として、テストボード（１）上に複数
形成された信号用パッドを介して試験ヘッドから試験対
象ＩＣに試験用入力信号を供給すると共に該試験用入力
信号に対する試験対象ＩＣの出力信号を信号用パッドを
介して試験ヘッドに取り込んで試験対象ＩＣを試験する
ＩＣテスタについて、移動自在に支持された接触子を前
記各信号用パッドに順次接触させることにより、試験ヘ
ッドから試験用入力信号を基準ピンに順次供給して各試
験用入力信号のタイミングを調整すると共に、前記基準
ピンから前記信号用パッド及び接触子を介して交流信号
を試験ヘッドに取り込んで試験ヘッドのタイミングを調
整する方法であって、任意に選択した信号用パッドを介
して試験ヘッド内に備えられた直流電圧発生・測定手段
と基準ピンとを接続状態とすることにより基準ピンを校
正するという手段を採用する。

【００１１】また、ＩＣテスタ調整方法に係わる第２の
手段として、テストボード上に複数形成された信号用パ
ッドを介して試験用ドライバあるいは直流電圧発生・測
定手段から試験用入力信号を試験対象ＩＣに供給すると
共に、該試験用入力信号に対する試験対象ＩＣの出力信
号を信号用パッドを介して試験用コンパレータあるいは
直流電圧発生・測定手段に供給して前記試験対象ＩＣを
試験するＩＣテスタについて、移動自在に支持された接
触子を前記各信号用パッドに順次接触させることにより
試験用ドライバから試験用入力信号を基準コンパレータ
に順次供給し、該基準コンパレータの反転タイミングに
基づいて各信号用パッド上における試験用入力信号のタ
イミングを調整すると共に、前記接触子及び信号用パッ
ドを介して基準ドライバから試験用コンパレータに交流
信号を供給することにより当該試験用コンパレータのタ
イミングを調整する方法であって、任意に選択した信号
用パッドを介して基準ドライバから出力された調整用直
流電圧を直流電圧発生・測定手段に入力することによ
り、前記調整用直流電圧を校正するという手段を採用す
る。

【００１２】ＩＣテスタ調整方法に係わる第３の手段と
して、上記第２手段において、任意に選択した信号用パ
ッドを介して直流電圧発生・測定手段から校正用直流電
圧を基準コンパレータに入力して当該基準コンパレータ
のしきい値を校正するという手段を採用する。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、本発明に
係わるＩＣテスタ調整装置及び方法の一実施形態につい
て説明する。

【００１４】図１は、本実施形態におけるＩＣテスタ調
整装置のブロック図である。この図において、符号１は
テストボード、２は試験ヘッド、３は基準ピン、４は接
触子である。テストボード１は、その表面（上面）に信
号用パッド１ａが設けられている。この信号用パッド１
ａには、上面に圧接された接触子４を介して基準ピン３
が接続され、またテストボード１内に形成されたスルー
ホール（図示略）を介してテストボード１の下方に配置
された試験ヘッド２に接続されている。

【００１５】試験ヘッド２は、図示するように、少なく
とも試験用ドライバ２ａ、試験用コンパレータ２ｂ、Ｄ
Ｃユニット２ｃ（直流電圧発生・測定手段）及び開閉ス
イッチ２ｄ〜２ｇを備えるものである。試験用ドライバ
２ａは、交流の試験用入力信号をバッファリングして信
号用パッド１ａに供給するものであり、その出力端が開
閉スイッチ２ｄを介して信号用パッド１ａに接続されて
いる。試験用コンパレータ２ｂは、信号用パッド１ａを
介して入力された信号を所定のしきい値と比較するもの
であり、その入力端が開閉スイッチ２ｆを介して信号用
パッド１ａに接続されている。

【００１６】ＤＣユニット２ｃは、試験対象ＩＣの直流
動作試験を行うために、試験用入力信号の１つとしての
高精度な試験用直流電圧を出力すると共に、開閉スイッ
チ２ｅ，２ｇを介して信号用パッド１ａから入力された
各種直流電圧を高精度に測定するためのものである。こ
のＤＣユニット２ｃは、開閉スイッチ２ｅを介して信号
用パッド１ａに接続されると共に、開閉スイッチ２ｇを
も介して信号用パッド１ａに接続されている。また、上
記各開閉スイッチ２ｄ〜２ｇは、図示しない制御装置に
よって開閉動作が制御されるようになっている。

【００１７】基準ピン３は、少なくとも基準ドライバ３
ａ、基準コンパレータ３ｂ、レベル電源用Ｄ／Ａ３ｃ，
３ｆ、キャリブレーション用Ｄ／Ａ３ｄ，３ｇ及び加算
器３ｅ，３ｈを備えるものである。基準ドライバ３ａ
は、その出力端が接触子４に接続されていると共に、加
算器３ｅから入力された直流電圧が出力電圧レベルとさ
れるものである。上記加算器３ｅには、レベル電源用Ｄ
／Ａ３ｃの出力直流電圧とキャリブレーション用Ｄ／Ａ
３ｄの出力直流電圧とがそれぞれ入力されており、加算
器３ｅは、この両出力直流電圧を加算して基準ドライバ
３ａに供給する。

【００１８】基準コンパレータ３ｂは、その入力端が接
触子４に接続されると共に、加算器３ｈから入力された
直流電圧をしきい値とするものである。上記加算器３ｈ
には、レベル電源用Ｄ／Ａ３ｆの出力直流電圧とキャリ
ブレーション用Ｄ／Ａ３ｇの出力直流電圧とがそれぞれ
入力されており、加算器３ｈは、この両出力直流電圧を
加算して基準コンパレータ３ｂにしきい値として供給す
る。このように構成された基準ピン３及び接触子４は、
図示しないＸ−Ｙロボットに実装されており、テストボ
ード１の表面上を２次元移動するようになっている。

【００１９】ここで、上記テストボード１は、ＩＣの試
験時に多数の試験対象ＩＣを実装するものである。実際
のテストボード１には、多数の信号用パッド１ａ，１
ａ，……が形成されており、これら各信号用パッド１
ａ，１ａ，……について試験用ドライバ２ａと試験用コ
ンパレータ２ｂとが対として備えられている。そして、
各試験対象ＩＣの端子が各信号用パッド１ａ，１ａ，…
…を介して試験ヘッド２に接続されることにより、交流
及び直流の試験用入力信号が各試験対象ＩＣの各端子に
入力されると共に、上記試験用入力信号に対する試験対
象ＩＣの出力信号が各試験用コンパレータ２ｂに入力さ
れてタイミングの評価がなされるようになっている。こ
のようなテストボード１に対して、本実施形態では、多
数の信号用パッド１ａ，１ａ，……の中から、図示する
ように任意に選択した１つの信号用パッド１ａを用い
る。

【００２０】次に、このように構成されたＩＣテスタ調
整装置を用いた基準ピン３の調整（校正）及び動作診
断、すなわち基準ドライバ３ａの出力電圧レベル及び基
準コンパレータ３ｂのしきい値の調整（校正）並びに基
準ドライバ３ａ及び基準コンパレータ３ｂの動作診断に
ついて詳しく説明する。

【００２１】基準ピン３の校正及び交流動作診断を行う
場合、Ｘ−Ｙロボットを作動させることにより、図１に
示すように、任意の信号用パッド１ａ上に接触子４を移
動させて接触状態とする。これによって基準ドライバ３
ａの出力端と基準コンパレータ３ｂの入力端とが試験ヘ
ッド２、つまり開閉スイッチ２ｄ〜２ｇを介して試験用
ドライバ２ａの出力端、試験用コンパレータ２ｂの入力
端あるいはＤＣユニット２ｃに対して接続状態とされ
る。

【００２２】まず最初に、基準ドライバ３ａの出力電圧
レベルの校正について説明する。この場合、開閉スイッ
チ２ｅが閉状態とされると共に、レベル電源用Ｄ／Ａ３
ｃの入力データが例えばレベル電源用Ｄ／Ａ３ｃの調整
値として予め規定された標準出力電圧レベルに対応する
コードに設定され、またキャリブレーション用Ｄ／Ａ３
ｄの入力データがキャリブレーション用Ｄ／Ａ３ｄの出
力直流電圧の「０」ボルトに対応するコードに設定され
る。そして、この状態における基準ドライバ３ａの出力
電圧レベルがＤＣユニット２ｃによって高精度に測定さ
れる。

【００２３】この状態においては、本来は基準ドライバ
３ａの出力電圧レベルは、標準出力電圧レベルに設定さ
れるが、各種誤差が生じていた場合には標準出力電圧レ
ベルから変位した直流電圧となる。もし、このような変
位が生じていた場合には、キャリブレーション用Ｄ／Ａ
３ｄの入力データを調節することにより基準ドライバ３
ａの出力電圧レベルが標準出力電圧レベルとなるように
校正する。

【００２４】続いて、基準コンパレータ３ｂのしきい値
の校正について説明する。この場合には、開閉スイッチ
２ｅを閉状態とすることにより基準コンパレータ３ｂに
しきい値の調整値として予め規定された標準直流電圧を
基準コンパレータ３ｂに入力する。この状態において、
加算器３ｈの出力電圧によって設定されている基準コン
パレータ３ｂのしきい値を基準コンパレータ３ｂの出力
が反転するように校正する。すなわち、この状態におい
て基準コンパレータ３ｂの出力が反転するように、キャ
リブレーション用Ｄ／Ａ３ｇの入力データを調節する。

【００２５】一方、基準ドライバ３ａ及び基準コンパレ
ータ３ｂの動作診断については以下のように行う。すな
わち、基準ドライバ３ａの動作診断を行う場合は、基準
ドライバ３ａに所定のパルス信号を入力すると共に開閉
スイッチ２ｆを閉状態として基準ドライバ３ａの出力信
号を試験用コンパレータ２ｂに入力し、該試験用コンパ
レータ２ｂの反転を確認する。また、基準コンパレータ
３ｂの動作診断を行う場合には、所定のパルス信号を試
験用ドライバ２ａに入力すると共に開閉スイッチ２ｄを
閉状態として試験用ドライバ２ａの出力信号を基準コン
パレータ３ｂに入力し、該基準コンパレータ３ｂの反転
を確認する。

【００２６】このような本実施形態によれば、基準ピン
３すなわち基準ドライバ３ａと基準コンパレータ３ｂと
がＸ−Ｙロボット上に実装されて、ＤＣユニット２ｃを
含む試験ヘッド２とは別体として設けられているＩＣテ
スタ調整装置であっても、テストボード１上の信号用パ
ッド１ａを介することによりＤＣユニット２ｃを利用し
た基準ドライバ３ａの出力電圧レベル及び基準コンパレ
ータ３ｂのしきい値の校正を実現することができる。ま
た、試験用ドライバ２ａと試験用コンパレータ２ｂとを
用いて基準ドライバ３ａ及び基準コンパレータ３ｂの動
作診断をも行うことが可能である。

【００２７】

【発明の効果】以上説明したように、本発明に係わるＩ
Ｃテスタ調整装置及び方法によれば、テストボード上に
複数形成された信号用パッドを介して試験ヘッドから試
験対象ＩＣに試験用入力信号を供給すると共に該試験用
入力信号に対する試験対象ＩＣの出力信号を信号用パッ
ドを介して試験ヘッドに取り込んで試験対象ＩＣを試験
するＩＣテスタについて、移動自在に支持された接触子
を前記各信号用パッドに順次接触させることにより、試
験ヘッドから試験用入力信号を基準ピンに順次供給して
各試験用入力信号のタイミングを調整すると共に、前記
基準ピンから前記信号用パッド及び接触子を介して交流
信号を試験ヘッドに取り込んで試験ヘッドのタイミング
を調整する装置あるいは方法であって、任意に選択した
信号用パッドを介して試験ヘッド内に備えられた直流電
圧発生・測定手段と基準ピンとを接続状態とすることに
より基準ピンを校正するので、試験ヘッド内に備えられ
た直流電圧発生・測定手段を用いて基準ピンの性能を規
定する各種設定電圧を校正することができる。

【００２８】また、本発明によれば、任意に選択した信
号用パッドを介して基準ピンと試験ヘッドとを接続する
ことにより、試験ヘッドを用いた基準ピンの動作診断を
も行うことが可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態に係わるＩＣテスタ調整
装置の機能構成を示すブロック図である。

【符号の説明】

１……テストボード１ａ……信号用パッド２……試験ヘッド２ａ……試験用ドライバ２ｂ……試験用コンパレータ２ｃ……ＤＣユニット（直流電圧発生・測定手段）２ｄ〜２ｇ……開閉スイッチ３……基準ピン３ａ……基準ドライバ３ｂ……基準コンパレータ３ｃ，３ｆ……レベル電源用Ｄ／Ａ３ｄ，３ｇ……キャリブレーション用Ｄ／Ａ３ｅ，３ｈ……加算器４……接触子

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】テストボード（１）上に複数形成された
信号用パッド（１ａ）を介して試験ヘッド（２）から試
験対象ＩＣに試験用入力信号を供給すると共に該試験用
入力信号に対する試験対象ＩＣの出力信号を信号用パッ
ド（１ａ）を介して試験ヘッド（２）に取り込んで試験
対象ＩＣを試験するＩＣテスタについて、移動自在に支
持された接触子（４）を前記各信号用パッド（１ａ）に
順次接触させることにより、試験ヘッド（２）から試験
用入力信号を基準ピン（３）に順次供給して各試験用入
力信号のタイミングを調整すると共に、前記基準ピン
（３）から前記信号用パッド（１ａ）及び接触子（４）
を介して交流信号を試験ヘッド（２）に取り込んで試験
ヘッド（２）のタイミングを調整する装置であって、任
意に選択した信号用パッド（１ａ）を介して試験ヘッド
（２）内に備えられた直流電圧発生・測定手段（２ｃ）
と基準ピン（３）とを接続状態とすることにより基準ピ
ン（３）を校正する、ことを特徴とするＩＣテスタ調整
装置。
【請求項２】テストボード（１）上に複数形成された
信号用パッド（１ａ）を介して試験用ドライバ（２ａ）
あるいは直流電圧発生・測定手段（２ｃ）から試験用入
力信号を試験対象ＩＣに供給すると共に、該試験用入力
信号に対する試験対象ＩＣの出力信号を信号用パッド
（１ａ）を介して試験用コンパレータ（２ｂ）あるいは
直流電圧発生・測定手段（２ｃ）に供給して前記試験対
象ＩＣを試験するＩＣテスタについて、移動自在に支持
された接触子（４）を前記各信号用パッド（１ａ）に順
次接触させることにより試験用ドライバ（２ａ）から試
験用入力信号を基準コンパレータ（３ｂ）に順次供給
し、該基準コンパレータ（３ｂ）の反転タイミングに基
づいて各信号用パッド（１ａ）上における試験用入力信
号のタイミングを調整すると共に、前記接触子（４）及
び信号用パッド（１ａ）を介して基準ドライバ（３ｅ）
から試験用コンパレータ（２ｂ）に交流信号を供給する
ことにより当該試験用コンパレータ（２ｂ）のタイミン
グを調整する装置であって、任意に選択した信号用パッド（１ａ）を介して基準ドラ
イバ（３ｅ）から出力された調整用直流電圧を直流電圧
発生・測定手段（２ｃ）に入力することにより、前記調
整用直流電圧を校正する、ことを特徴とするＩＣテスタ
調整装置。
【請求項３】任意に選択した信号用パッド（１ａ）を
介して直流電圧発生・測定手段（２ｃ）から校正用直流
電圧を基準コンパレータ（３ｂ）に入力して当該基準コ
ンパレータ（３ｂ）のしきい値を校正する、ことを特徴
とする請求項１記載のＩＣテスタ調整装置。
【請求項４】テストボード（１）上に複数形成された
信号用パッド（１ａ）を介して試験ヘッド（２）から試
験対象ＩＣに試験用入力信号を供給すると共に該試験用
入力信号に対する試験対象ＩＣの出力信号を信号用パッ
ド（１ａ）を介して試験ヘッド（２）に取り込んで試験
対象ＩＣを試験するＩＣテスタについて、移動自在に支
持された接触子（４）を前記各信号用パッド（１ａ）に
順次接触させることにより、試験ヘッド（２）から試験
用入力信号を基準ピン（３）に順次供給して各試験用入
力信号のタイミングを調整すると共に、前記基準ピン
（３）から前記信号用パッド（１ａ）及び接触子（４）
を介して交流信号を試験ヘッド（２）に取り込んで試験
ヘッド（２）のタイミングを調整する方法であって、任意に選択した信号用パッド（１ａ）を介して試験ヘッ
ド（２）内に備えられた直流電圧発生・測定手段（２
ｃ）と基準ピン（３）とを接続状態とすることにより基
準ピン（３）を校正する、ことを特徴とするＩＣテスタ
調整方法。
【請求項５】テストボード（１）上に複数形成された
信号用パッド（１ａ）を介して試験用ドライバ（２ａ）
あるいは直流電圧発生・測定手段（２ｃ）から試験用入
力信号を試験対象ＩＣに供給すると共に、該試験用入力
信号に対する試験対象ＩＣの出力信号を信号用パッド
（１ａ）を介して試験用コンパレータ（２ｂ）あるいは
直流電圧発生・測定手段（２ｃ）に供給して前記試験対
象ＩＣを試験するＩＣテスタについて、移動自在に支持
された接触子（４）を前記各信号用パッド（１ａ）に順
次接触させることにより試験用ドライバ（２ａ）から試
験用入力信号を基準コンパレータ（３ｂ）に順次供給
し、該基準コンパレータ（３ｂ）の反転タイミングに基
づいて各信号用パッド（１ａ）上における試験用入力信
号のタイミングを調整すると共に、前記接触子（４）及
び信号用パッド（１ａ）を介して基準ドライバ（３ｅ）
から試験用コンパレータ（２ｂ）に交流信号を供給する
ことにより当該試験用コンパレータ（２ｂ）のタイミン
グを調整する方法であって、任意に選択した信号用パッド（１ａ）を介して基準ドラ
イバ（３ｅ）から出力された調整用直流電圧を直流電圧
発生・測定手段（２ｃ）に入力することにより、前記調
整用直流電圧を校正する、ことを特徴とするＩＣテスタ
調整方法。
【請求項６】任意に選択した信号用パッド（１ａ）を
介して直流電圧発生・測定手段（２ｃ）から校正用直流
電圧を基準コンパレータ（３ｂ）に入力して当該基準コ
ンパレータ（３ｂ）のしきい値を校正する、ことを特徴
とする請求項５記載のＩＣテスタ調整方法。