JPH0580093A - 電子回路のインピーダンス検査装置 - Google Patents
電子回路のインピーダンス検査装置Info
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- JPH0580093A JPH0580093A JP3239113A JP23911391A JPH0580093A JP H0580093 A JPH0580093 A JP H0580093A JP 3239113 A JP3239113 A JP 3239113A JP 23911391 A JP23911391 A JP 23911391A JP H0580093 A JPH0580093 A JP H0580093A
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- Japan
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Abstract
(57)【要約】
【構成】 ゆるやかな交流波形の電圧を発生す印加電圧
発生回路によって電圧を印加し、その電圧値を計測開始
の信号とする。 【効果】 安定で電気的ストレスがなく、しかも高速に
インピーダンスの検査を行うことができる。
発生回路によって電圧を印加し、その電圧値を計測開始
の信号とする。 【効果】 安定で電気的ストレスがなく、しかも高速に
インピーダンスの検査を行うことができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、回路素子を組合わせた
電子回路の接続状態を検査するために、回路のインピー
ダンスを調べる電子回路のインピーダンス検査装置に関
する。
電子回路の接続状態を検査するために、回路のインピー
ダンスを調べる電子回路のインピーダンス検査装置に関
する。
【０００２】
【従来の技術】図３は従来の電子回路のインピーダンス
検査装置の一例を示すブロック図である。
検査装置の一例を示すブロック図である。
【０００３】回路素子を組合わせた電子回路の接続状態
を検査するために、回路のインピーダンスを調べるため
の従来の電子回路のインピーダンス検査装置は、図３に
示すように、Ｄ／Ａ変換回路３１で発生した電圧を電源
回路２８で受け、電源回路２８からワークホルダ１に保
持した非検査体の電子回路基板（回路基板）２に対して
規定の電圧を印加し、この電圧によって回路基板２の内
部抵抗３２に流れる還流電流を電流電圧変換回路２９に
よって電圧に変換し、その変換した電圧をＡ／Ｄ変換回
路３０において数値データに変換している。このとき電
源回路２８は、常時電圧を発生しており、回路基板２に
対する電圧の印加は、電極３を上下に移動させて回路基
板２と機械的に接触させたり分離したりすることによっ
て行っている。
を検査するために、回路のインピーダンスを調べるため
の従来の電子回路のインピーダンス検査装置は、図３に
示すように、Ｄ／Ａ変換回路３１で発生した電圧を電源
回路２８で受け、電源回路２８からワークホルダ１に保
持した非検査体の電子回路基板（回路基板）２に対して
規定の電圧を印加し、この電圧によって回路基板２の内
部抵抗３２に流れる還流電流を電流電圧変換回路２９に
よって電圧に変換し、その変換した電圧をＡ／Ｄ変換回
路３０において数値データに変換している。このとき電
源回路２８は、常時電圧を発生しており、回路基板２に
対する電圧の印加は、電極３を上下に移動させて回路基
板２と機械的に接触させたり分離したりすることによっ
て行っている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述したように、従来
のインピーダンス検査装置は、電圧の印加を電極を回路
基板に機械的に接触させることによって行っているた
め、印加電圧はステップ状になる。従って、回路を構成
している配線等のイピーダンス成分により、本来印加し
たい電圧以外の過大な電圧が印加されることがあり、こ
のため、電子回路の構成要素の半導体装置を劣化させる
という欠点を有している。また、電圧を比較検出する回
路が１回路しかなく、しかも印加電圧が直流電圧である
ため、複数の動作点の電圧を調べるためには、複数回の
電圧印加を行わなければならないため、その間に多大の
待時間が生ずるという欠点も有している。
のインピーダンス検査装置は、電圧の印加を電極を回路
基板に機械的に接触させることによって行っているた
め、印加電圧はステップ状になる。従って、回路を構成
している配線等のイピーダンス成分により、本来印加し
たい電圧以外の過大な電圧が印加されることがあり、こ
のため、電子回路の構成要素の半導体装置を劣化させる
という欠点を有している。また、電圧を比較検出する回
路が１回路しかなく、しかも印加電圧が直流電圧である
ため、複数の動作点の電圧を調べるためには、複数回の
電圧印加を行わなければならないため、その間に多大の
待時間が生ずるという欠点も有している。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の電子回路のイン
ピーダンス検査装置は、非検査体の電子回路基板と電気
的に接触する２個の電極と、前記２個の電極のうちの対
応する１個の電極を保持して前記電子回路基板上の任意
の位置に移動しかつ上下方向に移動可能な２個のプロー
ブ機構部と、前記２個の電極間の電位を計測する第一の
緩衝増幅器と、前記２個の電極間を流れる電流を電圧に
変換する電流観測抵抗と、前記電流観測抵抗の両端に発
生する電位を計測する第二の緩衝増幅器と、前記電子回
路基板に対して印加するためのゆるやかな交流波形の電
圧を発生する印加電圧発生回路と、前記印加電圧発生回
路によって前記２個の電極間に印加された電圧を検出す
る電圧検出回路と、前記２個の電極間を流れた電流値を
規格値と比較する電流値比較回路と、前記プローブ機構
部および前記印加電圧発生回路および前記電圧検出回路
および前記電流比較回路を協調して動作させるための制
御信号を発生する制御信号発生回路と、プログラムおよ
びデータを一時的に格納する主記憶装置と、前記プログ
ラムおよび前記データを記憶しておく外部記憶装置と、
出力印字を行うプリンタと、操作者とのインターフェイ
スを司るコンソールと、前記外部記憶装置および前記プ
リンタおよび前記コンソールの動作の制御を行う入出力
制御装置と、前記プログラムの実行を行うＣＰＵとを備
えている。
ピーダンス検査装置は、非検査体の電子回路基板と電気
的に接触する２個の電極と、前記２個の電極のうちの対
応する１個の電極を保持して前記電子回路基板上の任意
の位置に移動しかつ上下方向に移動可能な２個のプロー
ブ機構部と、前記２個の電極間の電位を計測する第一の
緩衝増幅器と、前記２個の電極間を流れる電流を電圧に
変換する電流観測抵抗と、前記電流観測抵抗の両端に発
生する電位を計測する第二の緩衝増幅器と、前記電子回
路基板に対して印加するためのゆるやかな交流波形の電
圧を発生する印加電圧発生回路と、前記印加電圧発生回
路によって前記２個の電極間に印加された電圧を検出す
る電圧検出回路と、前記２個の電極間を流れた電流値を
規格値と比較する電流値比較回路と、前記プローブ機構
部および前記印加電圧発生回路および前記電圧検出回路
および前記電流比較回路を協調して動作させるための制
御信号を発生する制御信号発生回路と、プログラムおよ
びデータを一時的に格納する主記憶装置と、前記プログ
ラムおよび前記データを記憶しておく外部記憶装置と、
出力印字を行うプリンタと、操作者とのインターフェイ
スを司るコンソールと、前記外部記憶装置および前記プ
リンタおよび前記コンソールの動作の制御を行う入出力
制御装置と、前記プログラムの実行を行うＣＰＵとを備
えている。
【０００６】
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。
て説明する。
【０００７】図１は本発明の一実施例を示すブロック図
である。
である。
【０００８】図１において、２個の電極３および４は、
それぞれプローブ機構部６および５によって保持され
て、ワークホルダ１に保持した非検査体の電子回路基板
（回路基板）２の観測点に接触している。ゆるやかな交
流波形の電圧を発生す印加電圧発生回路１１は、その発
生した電圧を電流観測抵抗９を経由して回路基板２に印
加する。このとき、印加電圧発生回路１１の高電位端子
１１ａからプローブ機構部６および電極３および回路基
板２および電極４およびプローブ機構部５および電流観
測抵抗９を経て印加電圧発生回路１１の低電位端子１１
ｂまで一巡する電流が発生する。印加電圧発生回路１１
は、三角波や正弦波や対数波や階段波等の種々の波形の
パルス波を発生でき、必要に応じてそれらのうちの所望
の波形を任意に選択できる機能を有している。従って、
非検査体の回路基板２の特性に合せて適当な波形を選択
することにより、測定誤差が少い条件で計測することが
できる。
それぞれプローブ機構部６および５によって保持され
て、ワークホルダ１に保持した非検査体の電子回路基板
（回路基板）２の観測点に接触している。ゆるやかな交
流波形の電圧を発生す印加電圧発生回路１１は、その発
生した電圧を電流観測抵抗９を経由して回路基板２に印
加する。このとき、印加電圧発生回路１１の高電位端子
１１ａからプローブ機構部６および電極３および回路基
板２および電極４およびプローブ機構部５および電流観
測抵抗９を経て印加電圧発生回路１１の低電位端子１１
ｂまで一巡する電流が発生する。印加電圧発生回路１１
は、三角波や正弦波や対数波や階段波等の種々の波形の
パルス波を発生でき、必要に応じてそれらのうちの所望
の波形を任意に選択できる機能を有している。従って、
非検査体の回路基板２の特性に合せて適当な波形を選択
することにより、測定誤差が少い条件で計測することが
できる。
【０００９】上述の電流は、電流観測抵抗９の両端に電
圧を生じさせる。この電圧を乱さないようにするため、
電流観測抵抗９の両端に緩衝増幅器１０を接続し、この
緩衝増幅器１０の出力信号を電流値比較回路１２に入力
している。また、電極３および４の間の電圧を乱さない
ようにするため、プローブ機構部５および６の間に緩衝
増幅器７を接続し、この緩衝増幅器７の出力信号を電圧
検出回路８に入力している。
圧を生じさせる。この電圧を乱さないようにするため、
電流観測抵抗９の両端に緩衝増幅器１０を接続し、この
緩衝増幅器１０の出力信号を電流値比較回路１２に入力
している。また、電極３および４の間の電圧を乱さない
ようにするため、プローブ機構部５および６の間に緩衝
増幅器７を接続し、この緩衝増幅器７の出力信号を電圧
検出回路８に入力している。
【００１０】図２は、電圧検出回路８および電流値比較
回路１２の詳細を示すブロック図である。
回路１２の詳細を示すブロック図である。
【００１１】図２において、緩衝増幅器７の出力信号
は、電圧検出回路８の複数のコンパレータ２３に分配さ
れる。一方Ｄ／Ａコンバータ２２は、データバス１３を
介して入力した情報によって比較電圧を発生し、それを
比較用の基準電圧としてコンパレータ２３に対して送出
する。コンパレータ２３は、緩衝増幅器７の出力信号と
Ｄ／Ａコンバータ２２からの基準電圧とを入力し、緩衝
増幅器７の出力信号の電圧が基準電圧を超えたときにパ
ルス発生器２４に対して信号を出力する。パルス発生器
２４は、入力した信号を整形して１個のパルス波とし、
これをストローブ信号２１として電流値比較回路１２に
送出する。
は、電圧検出回路８の複数のコンパレータ２３に分配さ
れる。一方Ｄ／Ａコンバータ２２は、データバス１３を
介して入力した情報によって比較電圧を発生し、それを
比較用の基準電圧としてコンパレータ２３に対して送出
する。コンパレータ２３は、緩衝増幅器７の出力信号と
Ｄ／Ａコンバータ２２からの基準電圧とを入力し、緩衝
増幅器７の出力信号の電圧が基準電圧を超えたときにパ
ルス発生器２４に対して信号を出力する。パルス発生器
２４は、入力した信号を整形して１個のパルス波とし、
これをストローブ信号２１として電流値比較回路１２に
送出する。
【００１２】電流値比較回路１２は、緩衝増幅器１０の
出力信号を入力してそれを複数のコンパレータ２６ａお
よび２６ｂに分配する。一方Ｄ／Ａコンバータ２５ａお
よび２５ｂは、データバス１３を介して入力した情報に
よってそれぞれ上限および下限の電圧値を発生し、それ
ぞれをコンパレータ２６ａおよび２６ｂの比較用の電圧
として供給する。コンパレータ２６ａおよび２６ｂは、
それぞれ緩衝増幅器１０の出力信号とＤ／Ａコンバータ
２５ａおよび２５ｂからの比較用電圧とを入力し、それ
らを比較してその結果をそれぞれレジスタ２７ａおよび
２７ｂに出力し、そこで一時的に記憶する。
出力信号を入力してそれを複数のコンパレータ２６ａお
よび２６ｂに分配する。一方Ｄ／Ａコンバータ２５ａお
よび２５ｂは、データバス１３を介して入力した情報に
よってそれぞれ上限および下限の電圧値を発生し、それ
ぞれをコンパレータ２６ａおよび２６ｂの比較用の電圧
として供給する。コンパレータ２６ａおよび２６ｂは、
それぞれ緩衝増幅器１０の出力信号とＤ／Ａコンバータ
２５ａおよび２５ｂからの比較用電圧とを入力し、それ
らを比較してその結果をそれぞれレジスタ２７ａおよび
２７ｂに出力し、そこで一時的に記憶する。
【００１３】再び図１を参照して本実施例の構成および
動作について説明する。
動作について説明する。
【００１４】電流値比較回路１２がレジスタ２７ａおよ
び２７ｂに一時的に記憶した情報は、データバス１３を
介して主記憶装置１５に蓄積し、最終的には外部記憶装
置１７に保存する。制御信号発生回路２０は、プローブ
機構部５おおび６に対して上下方向および左右方向に移
動させるパルス信号を印加する。電圧検出回路８および
電流値比較回路１２に対しては、比較電圧値をＤ／Ａコ
ンバータ２２ならびにＤ／Ａコンバータ２５ａおよび２
５ｂに書込むタイミングを指示するタイミングパルスを
印加する。印加電圧発生回路１１に対しては、発生する
電圧の諸元（波形の種類や電圧値等）をデータバス１３
を介して取込むタイミングを指示するタイミングパルス
を印加し、また発生した電圧を出力する時刻を指示する
パルス信号を印加する。
び２７ｂに一時的に記憶した情報は、データバス１３を
介して主記憶装置１５に蓄積し、最終的には外部記憶装
置１７に保存する。制御信号発生回路２０は、プローブ
機構部５おおび６に対して上下方向および左右方向に移
動させるパルス信号を印加する。電圧検出回路８および
電流値比較回路１２に対しては、比較電圧値をＤ／Ａコ
ンバータ２２ならびにＤ／Ａコンバータ２５ａおよび２
５ｂに書込むタイミングを指示するタイミングパルスを
印加する。印加電圧発生回路１１に対しては、発生する
電圧の諸元（波形の種類や電圧値等）をデータバス１３
を介して取込むタイミングを指示するタイミングパルス
を印加し、また発生した電圧を出力する時刻を指示する
パルス信号を印加する。
【００１５】主記憶装置１５は、プログラムおよびデー
タを一時的に格納する。外部記憶装置１７は、プログラ
ムおよびデータを記憶して保存しておく。プリンタ１９
は、情報の出力印字を行う。コンソール１８は、操作者
とのインターフェイスを司る。入出力制御装置１６は、
外部記憶装置１７およびプリンタ１９およびコンソール
１８の動作の制御を行う。ＣＰＵ１４は、プログラムの
実行を行う。
タを一時的に格納する。外部記憶装置１７は、プログラ
ムおよびデータを記憶して保存しておく。プリンタ１９
は、情報の出力印字を行う。コンソール１８は、操作者
とのインターフェイスを司る。入出力制御装置１６は、
外部記憶装置１７およびプリンタ１９およびコンソール
１８の動作の制御を行う。ＣＰＵ１４は、プログラムの
実行を行う。
【００１６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のインピー
ダンス検査装置は、ゆるやかな交流波形の電圧を発生す
印加電圧発生回路によって電圧を印加し、その電圧値を
計測開始の信号とするため、安定で電気的ストレスがな
く、しかも高速にインピーダンスの検査を行うことがで
きるという効果がある。
ダンス検査装置は、ゆるやかな交流波形の電圧を発生す
印加電圧発生回路によって電圧を印加し、その電圧値を
計測開始の信号とするため、安定で電気的ストレスがな
く、しかも高速にインピーダンスの検査を行うことがで
きるという効果がある。
【図１】本発明の一実施例を示すブロック図である。
【図２】図１の実施例の電圧検出回路および電流比較回
路の詳細を示すブロック図である。
路の詳細を示すブロック図である。
【図３】従来の電子回路のインピーダンス検査装置の一
例を示すブロック図である。
例を示すブロック図である。
１ ワークホルダ ２ 電子回路基板（回路基板） ３ 電極 ４ 電極 ５ プローブ機構部 ６ プローブ機構部 ７ 緩衝増幅器 ８ 電圧検出回路 ９ 電流観測抵抗 １０ 緩衝増幅器 １１ 印加電圧発生回路 １１ａ 高電位端子 １１ｂ 低電位端子 １２ 電流値比較回路 １３ データバス １４ ＣＰＵ １５ 主記憶装置 １６ 入出力制御装置 １７ 外部記憶装置 １８ コンソール １９ プリンタ ２０ 制御信号発生回路 ２１ ストローブ信号 ２２ Ｄ／Ａコンバータ ２３ コンパレータ ２４ パルス発生器 ２５ａ Ｄ／Ａコンバータ ２５ｂ Ｄ／Ａコンバータ ２６ａ コンパレータ ２６ｂ コンパレータ ２７ａ レジスタ ２７ｂ レジスタ ２８ 電源回路 ２９ 電流電圧変換回路 ３０ Ａ／Ｄ変換回路 ３１ Ｄ／Ａ変換回路 ３２ 内部抵抗
Claims (2)
- 【請求項１】 非検査体の電子回路基板と電気的に接触
する２個の電極と、前記２個の電極のうちの対応する１
個の電極を保持して前記電子回路基板上の任意の位置に
移動しかつ上下方向に移動可能な２個のプローブ機構部
と、前記２個の電極間の電位を計測する第一の緩衝増幅
器と、前記２個の電極間を流れる電流を電圧に変換する
電流観測抵抗と、前記電流観測抵抗の両端に発生する電
位を計測する第二の緩衝増幅器と、前記電子回路基板に
対して印加するための交流波形の電圧を発生する印加電
圧発生回路と、前記印加電圧発生回路によって前記２個
の電極間に印加された電圧を検出する電圧検出回路と、
前記２個の電極間を流れる電流値を規格値と比較する電
流比較回路と、前記プローブ機構部および前記印加電圧
発生回路および前記電圧検出回路および前記電流比較回
路を協調して動作させるための制御信号を発生する制御
信号発生回路とを備えることを特徴とする電子回路のイ
ンピーダンス検査装置。 - 【請求項２】 非検査体の電子回路基板と電気的に接触
する２個の電極と、それぞれ前記２個の電極のうちの対
応する１個の電極を保持して前記電子回路基板上の任意
の位置に移動しかつ上下方向に移動可能な２個のプロー
ブ機構部と、前記２個の電極間の電位を計測する第一の
緩衝増幅器と、前記２個の電極間を流れる電流を電圧に
変換する電流観測抵抗と、前記電流観測抵抗の両端に発
生する電位を計測する第二の緩衝増幅器と、前記電子回
路基板に対して印加するための交流波形の電圧を発生す
る印加電圧発生回路と、前記印加電圧発生回路によって
前記２個の電極間に印加された電圧を検出する電圧検出
回路と、前記２個の電極間を流れた電流値を規格値と比
較する電流比較回路と、前記プローブ機構部および前記
印加電圧発生回路および前記電圧検出回路および前記電
流比較回路を協調して動作させるための制御信号を発生
する制御信号発生回路と、プログラムおよびデータを一
時的に格納する主記憶装置と、前記プログラムおよび前
記データを記憶しておく外部記憶装置と、出力印字を行
うプリンタと、操作者とのインターフェイスを司るコン
ソールと、前記外部記憶装置および前記プリンタおよび
前記コンソールの動作の制御を行う入出力制御装置と、
前記プログラムの実行を行うＣＰＵと、前記ＣＰＵおよ
び前記部記憶装置および前記入出力制御装置および前記
制御信号発生回路および前記印加電圧発生回路および前
記電圧検出回路および前記電流比較回路間のデータの伝
達を行うデータバスとを備えることを特徴とする電子回
路のインピーダンス検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3239113A JPH0580093A (ja) | 1991-09-19 | 1991-09-19 | 電子回路のインピーダンス検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3239113A JPH0580093A (ja) | 1991-09-19 | 1991-09-19 | 電子回路のインピーダンス検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0580093A true JPH0580093A (ja) | 1993-03-30 |
Family
ID=17039993
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3239113A Pending JPH0580093A (ja) | 1991-09-19 | 1991-09-19 | 電子回路のインピーダンス検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0580093A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008107170A (ja) * | 2006-10-25 | 2008-05-08 | Yokogawa Electric Corp | アナログ出力装置 |
| JP2008516508A (ja) * | 2004-10-06 | 2008-05-15 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | インピーダンス検出器 |
| CN112881929A (zh) * | 2020-12-30 | 2021-06-01 | 北京交通大学 | 基于阶梯波的锂离子电池eis低频段在线测量方法 |
-
1991
- 1991-09-19 JP JP3239113A patent/JPH0580093A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008516508A (ja) * | 2004-10-06 | 2008-05-15 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | インピーダンス検出器 |
| JP4828542B2 (ja) * | 2004-10-06 | 2011-11-30 | エプコス アクチエンゲゼルシャフト | インピーダンス検出器 |
| US8330475B2 (en) | 2004-10-06 | 2012-12-11 | Epcos Ag | Circuit for detecting a magnitude and phase of an impedance of a load |
| JP2008107170A (ja) * | 2006-10-25 | 2008-05-08 | Yokogawa Electric Corp | アナログ出力装置 |
| CN112881929A (zh) * | 2020-12-30 | 2021-06-01 | 北京交通大学 | 基于阶梯波的锂离子电池eis低频段在线测量方法 |
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