JPH0559354U - Ｉｃ試験装置 - Google Patents
Ｉｃ試験装置Info
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- JPH0559354U JPH0559354U JP248492U JP248492U JPH0559354U JP H0559354 U JPH0559354 U JP H0559354U JP 248492 U JP248492 U JP 248492U JP 248492 U JP248492 U JP 248492U JP H0559354 U JPH0559354 U JP H0559354U
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 被試験ＩＣの端子ピンの直流特性を試験する
直流試験装置と、被試験ＩＣの機能を試験する機能試験
装置とを具備して構成されるＩＣ試験装置の構成を簡素
化する。 【構成】 機能試験装置に設けられる電圧発生回路と直
流試験装置とを共用する構成としたＩＣ試験装置。
直流試験装置と、被試験ＩＣの機能を試験する機能試験
装置とを具備して構成されるＩＣ試験装置の構成を簡素
化する。 【構成】 機能試験装置に設けられる電圧発生回路と直
流試験装置とを共用する構成としたＩＣ試験装置。
Description
【０００１】
この考案はＩＣの良否を判定するＩＣ試験装置に関する。
【０００２】
図４に従来のＩＣ試験装置の特にテストシステム本体１００と、テストヘッド ２００との間の接続部分について示す。図では被試験ＩＣ３００の一つの端子ピ ンに必要とされるケーブルの類を示す。 テストシステム本体１００には直流試験装置１１０と機能試験装置１５０とが 用意される。直流試験装置１１０は電流印加電圧測定モードと電圧印加電流測定 モードで動作することができ、被試験ＩＣ３００の端子の直流特性を試験する。 つまり電圧印加電流測定モードではモード切替スイッチＶＳＩＭがオンにされ、 ＤＡ変換器１１２からバッファ増幅器１１３に所定の電圧を印加する。増幅器１ １３の出力電圧は電流検出用抵抗器Ｒと直流試験用シールドケーブル１１４、ス イッチ１１１を通じて被試験ＩＣ３００の一つの端子ピンに与えられる。増幅器 １１３には電圧検出線１１５を通じて被試験ＩＣ３００の端子ピン近傍の電圧Ｖ ＤＣを帰還させ、被試験ＩＣ３００の端子ピンに与える電圧が、ＤＡ変換器１１ ２から与えた電圧に合致するように閉ループが構成され、被試験ＩＣ３００の端 子ピンに所定の電圧を印加した状態で電流検出用抵抗器Ｒに発生する電圧を差動 増幅器１１６で取出し、これをＡＤ変換器１１７でＡＤ変換することによりコン ピュータに読込み、電流値の測定を行なう。ＤＡ変換器１１２に与えられるディ ジタル信号の値をステップ状に変換させ、所要の電圧範囲内において、直流電圧 の印加時に流れる電流値が規定の範囲に、入っている否かによって良否の判定を 行なう。
【０００３】 電流印加電流測定モードではモード切替スイッチＩＳＶＭをオンにする。モー ド切替スイッチＩＳＶＭがオンに制御されることにより差動増幅器１１６の電流 検出電圧が増幅器１１３に帰還される。よってこの場合には電流検出用抵抗器Ｒ に流れる電流が安定するように閉ループが構成され、ＤＡ変換器１１２から与え られる電圧値に対応した電流が、被試験ＩＣ３００の端子ピンに与えられる。電 圧検出線１１５に発生する電圧をバッファ増幅器１１８を通じてＡＤ変換器１１ ７に与え、所定の電流を印加した状態で被試験ＩＣ３００の端子ピンに発生する 電圧を測定する。
【０００４】 機能試験装置１５０は被試験ＩＣ３００を動作させ、正常に動作するか否かを 試験する。このために機能試験装置１５０には試験パターン発生器１５２が用意 される。この試験パターン発生器１５２から出力される試験パターン信号をケー ブル１５３を通じてテストヘッド２００側に設けたドライバ１５４に与え、ドラ イバ１５４の能動素子Ａ１とＡ２をオン、オフさせることによりドライバ１５４ の出力端子に印加電圧ＶＩＨとＶＩＬの間で変化する矩形波を発生させ、この矩 形波をスイッチ１５１を通じて被試験ＩＣ３００の端子ピンに与える。ケーブル １５５，１５６はドライバ１５４の電源端子に矩形波のＨ論理レベルＶＩＨをＬ 論理レベルＶＩＬの電位を与えるケーブルを示す。
【０００５】 被試験ＩＣ３００が端子ピンに信号を出力するタイミング区間では能動素子Ａ １とＡ２をオフに制御し、ドライバ１５４の出力を高インピーダンス状態に制御 する。この状態でコンパレータ１５７に被試験ＩＣ３００の出力信号を取込む。 コンパレータ１５７は被試験ＩＣ３００から出力される信号の論理波形のＨ論理 レベルとＬ論理レベルが正規のレベルＶＯＨ以上あるか、ＶＯＬ以下かを判定す る電圧比較器１５７Ａと１５７Ｂを有し、信号の波形が所定の論理レベルに入っ ている場合に正規の取込信号を出力する。ケーブル１５８はこの取込信号をテス トシステム本体１００に設けた機能試験装置１５０に送り込むためのケーブルを 示す。またケーブル１５８と１６０はコンパレータ１５７を構成する電圧比較器 １５７Ａと１５７Ｂに比較電圧ＶＯＨとＶＯＬを与えるためのケーブルを示す。
【０００６】 １６１は負荷試験回路を示す。この負荷試験回路１６１は定電流回路１６１Ａ と１６１Ｂを有し、スイッチ１６２をオンにすることにより機能試験中の被試験 ＩＣ３００に電流ＩＣを流し込み、またスイッチ１６３をオンにすることにより 機能試験中の被試験ＩＣ３００から電流ＩＣを引き出し、そのとき、正常に論理 レベルを持つ応答信号を出力するか否かを試す負荷試験を行なう。ケーブル１６ ４はこの負荷試験用のケーブルを示す。
【０００７】
上述したように、テストシステム本体１００とテストヘッド２００との間には 多くのケーブルが張られる。図示したケーブルは被試験ＩＣ３００の一つの端子 ピン用の本数である。被試験ＩＣの端子の数は数１００ピン分用意しなければな らないから、テストシステム本体１００とテストヘッド２００との間に張られる ケーブルの本数は膨大な数となる。またテストシステム本体１００には似たよう な機能を持つ回路装置が多数用意されているためコスト高と、小型化の障害にな っている。
【０００８】 この考案の目的はテストシステム本体１００とテストヘッド２００との間に張 られるケーブルの本数を少なくすることができ、更にテストシステム内の回路装 置を共用化してコストダウンと小型化も達することができる構造を提案しようと するものである。
【０００９】
この考案では直流試験用ケーブルと機能試験用ケーブルの一部を共用し、更に 直流試験装置と機能試験装置の一部とを共用しケーブルの本数と回路装置の数を 少なくするように構成したものである。
【００１０】
図１にこの考案の一実施例を示す。この実施例では直流試験装置１１０を機能 試験装置１５０に設けられる電圧発生回路１５２Ａに直流試験機能を付加し、電 圧発生回路１５２Ａを直流試験装置に機能試験用の電圧発生回路として共用した 場合を示す。
【００１１】 つまり電圧発生回路１５２Ａは本来はドライバ１５４のＨ論理レベルを与える 電圧ＶＩＨを発生する回路として設けられるが、この考案では電圧発生回路１５ ２Ａに直流試験機能を付加する。このために電圧発生回路１５２Ａにモード切替 スイッチＶＳＩＭとＩＳＶＭを付加し、図４で説明した直流試験装置１１０と同 様の構成とし、出力端子に直流試験用のケーブル１１４（電流リークの少ないシ ールドケーブル）を接続し、このシールドケーブル１１４をテストヘッド２００ 側でスイッチ１１１の一方の端子に共通接続し、更にドライバ１５４の電源端子 １５４Ａに接続する。
【００１２】 直流試験時はスイッチ１１１をオンに、スイッチ１５１はオフに制御する。こ の状態で電圧発生回路１５２Ａを電圧印加電流測定モードで動作させ、また、電 流印加電圧測定モードで動作させることにより被試験ＩＣ３００の端子ピンの直 流特性の試験を行なうことができる。このときＤＡ変換器１７０にはステップ状 に電圧又は電流を変化させるためのディジタル信号を入力し、被試験ＩＣ３００ に与える電圧又は電流を変化させ、その各電圧値又は電流値毎にＡＤ変換器１７ １から電圧印加モードでは被試験ＩＣ３００の端子ピンに流れる電流値を、また 電流印加モードでは被試験ＩＣ３００の端子ピンに発生する電圧値を出力させ、 コンピュータ（特に図示しない）等に取込む。コンピュータは被試験ＩＣ３００ に印加した電圧値又は電流値に対して正規のレベルの電流値又は電圧値になって いるか否かを判定し、良否を判定する。
【００１３】 一方機能試験モードではスイッチ１１１をオフに、スイッチ１５１をオンに制 御する。このとき電圧発生器１５２Ａはモード切替スイッチＶＳＩＭをオンの状 態に制御して電圧印加モードに切替え、この電圧印加モードにおいて、ＤＡ変換 器１７０にドライバ１５４の電源端子１５４Ａに与えるＨ論理レベルを決めるＶ ＩＨを発生させるためのディジタル信号を入力する。
【００１４】 この状態でパターン発生器１５２から出力される試験パターン信号によってド ライバ１５４の能動素子Ａ１とＡ２をオン、オフ制御することによりドライバ１ ５４の出力端子にＨ論理レベルがＶＩＨ、Ｌ論理レベルがＶＩＬとなる試験パタ ーン信号が出力され、被試験ＩＣ３００の端子ピンに与えられ、機能試験が行な われる。
【００１５】 図２はこの考案の変形実施例を示す。この例ではスイッチ回路１５２Ａを直流 試験時は電圧印加モード専用型とし、電流印加電圧測定モードは負荷試験回路１ ６１とコンパレータ１５７を利用して行なうように構成した場合を示す。 つまり、図２の例では電圧発生回路１５２Ａはモード切替スイッチＶＳＩＭ及 びＩＳＶＭを具備することなく、電圧印加モード専用に接続構成される。従って 電圧発生回路１５２Ａは直流試験時は電圧印加電流測定モードで動作する。また 機能試験時にはドライバ１５４の電源端子１５４ＡにＨ論理の論理レベル電圧Ｖ ＩＨを与える電圧発生回路として動作する。
【００１６】 直流試験における電流印加電圧測定モードは負荷試験回路１６１とコンパレー タ１５７に接続したＡＤ変換器１７２とを利用して実行する。つまり機能試験に 用いる電流源１６１Ａと１６１Ｂの可変電流ピッチを高分解能型に改造を施し、 被試験ＩＣ３００の端子に電流ＩH を流し込み、またＩL を吸引する。この電流 ＩH 又はＩL を流している状態でコンパレータ１５７に設けたバッファアンプ１ ５７ｃの出力をＡＤ変換器１７２に与え被試験ＩＣ３００の端子に発生する電圧 をＡＤ変換してコンピュータ（特に図示しない）に取出す。コンピュータは各電 流値における被試験ＩＣ３００の端子の電圧が規定範囲に入っているか否かを比 較し、被試験ＩＣ３００の端子の直流特性の良否を判定する。
【００１７】 この図２の実施例によれば直流試験装置１１０が省略できる外に、直流試験装 置１１０の代りに用いる電圧発生回路１５２Ａは電圧印加電流測定モードの機能 だけで済むから簡単な構成のものでよい。更に電流印加電圧測定モードも機能試 験に用いる負荷試験回路１６１を流用するから全体として回路規模を小さくでき コスト減と、小型化を達することができる。
【００１８】 図３はこの考案の更に他の実施例を示す。この例では電圧発生回路１５２Ａの 出力側に切替スイッチ１７３と１７４を設け、この切替スイッチ１７３と１７４ によって直流試験時は電圧発生回路１５２Ａから出力する直流電圧又は直流電流 を直流試験用シールドケーブル１１４を通じて被試験ＩＣ３００に与え、機能試 験時は切替スイッチ１７３，１７４を機能試験用ケーブル１５５に接続し、機能 試験用ケーブル１５５を通じてＨ論理レベルを規定する電圧ＶＩＨをコンパレー タ１５４の電源端子１５４Ａに与える構造とした場合を示す。
【００１９】 このように構成した場合には既存の直流試験用シールドケーブル１１４と機能 試験用ケーブル１５５を利用するから、テストヘッド２００側に何等手を加える 必要がない。よって既存のＩＣ試験装置において電圧発生回路１５２Ａを直流試 験装置として流用するように改造する場合に適している。 尚、上述では電圧発生回路１５２Ａを用いて直流試験用の直流電圧又は電流と 、機能試験時の電圧ＶＩＨを発生させたが、電圧発生器１５２Ｂを用いて直流試 験用の直流電圧及び電流と、機能試験時の電圧ＶＩＬを発生させるように構成す ることもできる。
【００２０】 また上述では機能試験装置の電圧発生回路１５２Ａを直流試験装置として流用 したが、直流試験装置１１０を機能試験用電圧発生回路１５２Ａ（又は１５２Ｂ ）の代用として利用することもできる。
【００２１】
以上説明したように、この考案によれば機能試験用の電圧発生回路１５２Ａ（ 又は１５２Ｂ）を直流試験装置として流用したから、直流試験装置１１０（図３ 参照）の数をＩＣ試験装置に用意した被試験ＩＣ３００の端子ピン数分だけ少な くすることができる。通常ＩＣ試験装置には数１００ピン分用意するからその数 は大きく、コストダウンに有効である。
【００２２】 また直流試験用シールドケーブル１１４を機能試験時の電圧ＶＩＨ（又はＶＩ Ｌ）を送り込むケーブルとして流用するからケーブルの本数を１本分少なくする ことができる。 また図２に示した実施例のように構成した場合には電圧発生回路１５２Ａ（又 は１５２Ｂ）は機能試験用の電圧ＶＩＨ（又はＶＩＬ）を発生する機能と、直流 試験用として電圧印加電流測定機能だけを具備すればよいから簡単な回路構成で 済む。また電流印加電圧測定モードは機能試験時に用いる負荷試験回路１６１と ＡＤ変換器１６５によって実行するからテストシステム本体１００の回路規模を 小さくすることができる利点が得られる。
【提出日】平成４年１１月２５日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００３
【補正方法】変更
【０００３】 電流印加電圧測定モードではモード切替スイッチＩＳＶＭをオンにする。モー ド切替スイッチＩＳＶＭがオンに制御されることにより差動増幅器１１６の電流 検出電圧が増幅器１１３に帰還される。よってこの場合には電流検出用抵抗器Ｒ に流れる電流が安定するように閉ループが構成され、ＤＡ変換器１１２から与え られる電圧値に対応した電流が、被試験ＩＣ３００の端子ピンに与えられる。電 圧検出線１１５に発生する電圧をバッファ増幅器１１８を通じてＡＤ変換器１１ ７に与え、所定の電流を印加した状態で被試験ＩＣ３００の端子ピンに発生する 電圧を測定する。
【図１】この考案の一実施例を示す接続図。
【図２】この考案の変形実施例を示す接続図。
【図３】この考案の更に他の変形実施例を示す接続図。
【図４】従来の技術を説明するための接続図。
１００ テストシステム本体 １１０ 直流試験装置 １１４ シールドケーブル １５０ 機能試験装置 １５１ スイッチ １５２ 試験パターン発生器 １５２Ａ，１５２Ｂ 電圧発生回路 １５３ ケーブル １５４ ドライバ １５５，１５６ ケーブル １５８，１５９，１６０ ケーブル １６１ 負荷試験回路 ２００ テストヘッド ３００ 被試験ＩＣ
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成４年１１月２５日
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図４
【補正方法】変更
【補正内容】
【図４】
Claims (2)
- 【請求項１】 被試験ＩＣの端子ピンの直流特性を試験
する直流試験装置と、被試験ＩＣの機能を試験する機能
試験装置とを具備して構成されるＩＣ試験装置におい
て、 機能試験装置に設けられる電圧発生回路と直流試験装置
とを共通化し、一つの電圧発生回路を直流試験装置と機
能試験用の電圧発生回路として動作させるように構成し
たことを特徴とするＩＣ試験装置。 - 【請求項２】 被試験ＩＣの端子ピンの直流特性を試験
する直流試験装置と、被試験ＩＣの機能を試験する機能
試験装置とを具備して構成されるＩＣ試験装置におい
て、 機能試験装置に設けられる電圧発生回路に上記直流試験
装置と同等の電圧印加電流測定モードで動作させ、電流
印加電圧測定モードは機能試験装置に設けた負荷試験回
路から被試験ＩＣの端子ピンに既知の値を持つ電流を流
し込み、または吸引して、既知の値を持つ電流を流して
いる状態で被試験ＩＣの端子ピンに発生する電圧を機能
試験装置を構成するコンパレータに設けたバッファアン
プの出力側から取出した信号により計測し、この計測値
が正規の値の範囲に入っているか否かにより試験を行な
うように構成したことを特徴とするＩＣ試験装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP248492U JPH0559354U (ja) | 1992-01-28 | 1992-01-28 | Ｉｃ試験装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP248492U JPH0559354U (ja) | 1992-01-28 | 1992-01-28 | Ｉｃ試験装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0559354U true JPH0559354U (ja) | 1993-08-06 |
Family
ID=11530632
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP248492U Withdrawn JPH0559354U (ja) | 1992-01-28 | 1992-01-28 | Ｉｃ試験装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0559354U (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3426254B2 (ja) * | 1997-11-20 | 2003-07-14 | 株式会社アドバンテスト | Ｉｃ試験方法及びこの試験方法を用いたｉｃ試験装置 |
| WO2005059926A1 (ja) * | 2003-12-17 | 2005-06-30 | Advantest Corporation | 同軸ケーブル、より対線ケーブル、同軸ケーブルユニット、試験装置、及びｃｐｕシステム |
| JP2007107894A (ja) * | 2005-10-11 | 2007-04-26 | Yokogawa Electric Corp | Ｉｃテスタ |
-
1992
- 1992-01-28 JP JP248492U patent/JPH0559354U/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3426254B2 (ja) * | 1997-11-20 | 2003-07-14 | 株式会社アドバンテスト | Ｉｃ試験方法及びこの試験方法を用いたｉｃ試験装置 |
| WO2005059926A1 (ja) * | 2003-12-17 | 2005-06-30 | Advantest Corporation | 同軸ケーブル、より対線ケーブル、同軸ケーブルユニット、試験装置、及びｃｐｕシステム |
| JP2007107894A (ja) * | 2005-10-11 | 2007-04-26 | Yokogawa Electric Corp | Ｉｃテスタ |
| JP4596264B2 (ja) * | 2005-10-11 | 2010-12-08 | 横河電機株式会社 | Ｉｃテスタ |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19960404 |