JP4173229B2 - Ic試験装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は各種の半導体集積回路素子(IC)を試験するIC試験装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
図3にIC試験装置の概略の構成を示す。図中TESはIC試験装置の全体を示す。IC試験装置TESは主制御器111と、パターン発生器112、タイミング発生器113、波形フォーマッタ114、論理比較器115、ドライバ116、第1アナログ比較器117、不良解析メモリ118、プログラマブルロード120、論理振幅基準電圧源121、比較基準電圧源122、デバイス電源123、プログラマブルロードコントローラ124等の各ユニットにより構成される。
【0003】
主制御器111は一般にコンピュータシステムによって構成され、利用者が作成した試験プログラムに従って各ユニットを制御する。パターン発生器112は試験パターンデータを発生し、この試験パターンデータを波形フォーマッタ114で実波形を持つ試験パターン信号に変換し、この試験パターン信号を論理振幅基準電圧源121で設定した振幅値を持った波形に電圧増幅するドライバ116を通じて被試験IC119に印加する。
【0004】
被試験IC119から出力される応答信号は第1アナログ比較器117で比較基準電圧源122から与えられる基準電圧と比較し、所定の論理レベル(H論理の電圧、L論理の電圧)を持っているか否かを判定し、所定の論理レベルを持っていると判定した信号は論理比較器115でパターン発生器112から出力される期待値と比較し、期待値と不一致が発生した場合、被試験IC119がメモリの場合は、その読み出したアドレスのメモリセルに不良があるものと判定し、不良発生毎に不良解析メモリ118に不良となった応答信号と読み出したアドレスを記憶し、試験終了時点で例えば不良セルの救済が可能か否かを判定する。
【0005】
被試験IC119が例えばCPUのように論理演算回路とメモリとを混載したICの場合は、被試験ICに入力した試験パターンに対して、応答される応答信号を論理比較器で期待値と比較し、不一致が検出される毎に応答信号と、この応答信号を出力させるために入力した試験パターン信号及びこの試験パターン信号の発生アドレス等を不良解析メモリ118に記憶させる。
【0006】
尚、図3に示した構成においてドライバ116、第1アナログ比較器117、プログラマブルロード120はピンエレクトロニクスPNEと呼ばれる一つのユニットに実装される。各ピンエレクトロニクスPNEは被試験IC119の一つの入力端子又は入出力端子に試験パターン信号を供給し、一つの出力端子から出力される応答信号の論理値を比較する構成を具備している。実際にはこのピンエレクトロニクスPNEを500〜1000チャンネル分用意し、メモリのように比較的ピン数(端子数)が少ないICの場合は一度に16個或は32個程度のICを試験し、効率よく試験を実行させている。またピン数が多い、例えば256ピンのCPUのようなICの場合は一度に2個程度ずつ試験を行っている。
【0007】
ここで各ピンエレクトロニクスPNEに実装されているプログラマブルロード120について説明する。プログラマブルロード120は被試験IC119の負荷試験を実行する場合に用いられる。図4はプログラマブルロード120と、その周辺の回路構成を示す。被試験ICの負荷試験とは被試験ICの入出力ピンI/Oが出力モードの状態でその出力モードにある端子に所定の負荷電流を流し、その負荷電流を流した状態でも、被試験IC119が正しく論理レベルを出力することができるか否かを試験する試験モードを指す。
【0008】
このためにプログラマブルロード120は正の負荷電流と負の負荷電流を出力する2つの電流源IPOG とINEG 及び例えばダイオードブリッジから成るスイッチ回路SWと、電流源IPOG とINEG とがドライバ116と、第1アナログ比較器117の共通接続点に接続された状態でその接続点に試験パターン信号のほぼ中間の電圧VTTを印加する電圧源として動作するバッファアンプBUF−1とによって構成される。
【0009】
尚、図4に示したドライバ116に供給している電圧VIHとVILはドライバ116から出力される試験パターン信号のH論理とL論理の電圧を決定する電圧である。この電圧VIHとVILは図3に示した論理振幅電圧源121から供給される。
電流源IPOG とINEG は図3に示したプログラマブルロードコントローラ124からの制御信号によりスイッチS1とS2が例えばオンの状態に制御され、これらのスイッチS1とS2がオンの状態に制御されることにより電流I1 とI2 を流し始める。この電流I1 とI2 が流れ始まると、スイッチ回路SWがオンの状態に制御され、電流源IPOG とINEG とがドライバ116の出力端子に電気的に接続され、これと共にバッファアンプBUF−1の入力端子には被試験IC119の入出力端子I/Oに入力される試験パターン信号のほぼ中間の電圧VTTが与えられる。従って入出力端子I/OがL論理のときは電流源IPOG からこの入出力端子I/Oに向って負荷電流I1 を流し込む。また入出力端子I/OがH論理のときはこの入出力端子I/Oから電流源INEG に向って負荷電流I2 を吸引する。第1アナログ比較器117は負荷電流I1 ,I2 が流れた状態で入出力端子I/Oが所定の電圧値を持つH論理とL論理を出力するか否かを判定する。
【0010】
ところで上述では被試験IC119の入出力端子I/Oを試験する構成について説明したが、ICの中には出力専用ピン又は入力専用ピンを具備したデバイスが多く存在する。このためピンエレクトロニクスPNEに出力専用ピンOUTを試験する第2アナログ比較器125が設けられる。この第2アナログ比較器125によって出力専用ピンOUTから出力される応答信号の論理レベルを比較判定している。
【0011】
被試験ICが出力する応答信号の論理レベルが正しいか否かを比較判定する場合、被試験IC119が出力する応答信号を第2アナログ比較器125の入力インピーダンスのまま(高インピーダンス)で信号を取り込む高インピーダンスモードと、所定の抵抗値で終端した状態で信号を取り込む整合モードとがある。このために第2アナログ比較器125の入力端子には制御機能を持つバッファアンプ126の出力端子が接続される。このバッファアンプ126は制御端子CONTを有し、この制御端子CONTに例えばL論理を入力するとバッファアンプ126の出力端子は高インピーダンスモードに制御される。従ってこの場合には第2アナログ比較器125は高インピーダンスモードで動作する。
【0012】
これに対し、制御端子CONTに例えばH論理を入力すると、バッファアンプ126の出力端子は低インピーダンスモードに制御される。従って、この場合には第2アナログ比較器125の入力端子は終端抵抗器127を通じて共通電位点に接続され、所定のインピーダンスに整合された状態で被試験IC119の応答信号を取り込む整合モードで動作する。
【0013】
尚、ドライバ116側に接続された第1アナログ比較器117ではドライバ116がバッファアンプ126の代用として動作する。つまり、ドライバ116はH論理及びL論理を出力するモードでは出力インピーダンスが低く例えば50Ωに選定される。被試験IC119が応答信号を出力するモードでは一般には高インピーダンスモードに制御される。従って通常の機能試験では被試験IC119が応答信号を出力するモードではドライバ116は出力端子を高インピーダンスに制御されるが、整合モードで試験する場合にはドライバ116は出力端子にL論理又はH論理を出力させ、50Ωの低インピーダンスに整合させた状態に制御される。
【0014】
また、被試験IC119の入出力ピンI/Oを試験するか、出力専用ピンを試験するかは各ピンエレクトロニクスPNEに設けたセレクタ128の切替によって設定される。
【0015】
【発明が解決しようとする課題】
上述したように各ピンエレクトロニクスPNEに出力専用ピンOUTを試験するために第2アナログ比較器125を設ける場合には、この第2アナログ比較器125を高インピーダンスモードで動作させるか又はインピーダンスの整合モードで動作させるかを切替るためのバッファアンプ126を設けなくてはならなくなる。各ピンエレクトロニクスPNEにバッファアンプ126を設けることにより、その分部品数が増加すると共に、電力消費量が増加し、これが数100チャンネル分に集計されると大きな電力消費量となる。
【0016】
また、その他の欠点としてはピンエレクトロニクスPNEに設けた第2アナログ比較器125に被試験IC119の入力専用ピンが接続されたとすると、ピンエレクトロニクスPNE自体には入力専用ピンに信号を入力する手段がなく、例えば入力専用ピンに或る設定電圧(直流)を印加したい場合でもその目的を達するには特に図示していないが、ピンエレクトロニクスPNEの各入出力端子を被試験IC119の任意の端子に接続する切替を行うためのリレーマトリックス回路を通じて必要なピンエレクトロニクスPNEに所望の電圧を印加するようにリレーマトリックスを切替制御する必要がある。図中RXは各ピンエレクトロニクスPNEをリレーマトリックスに接続するためのリレー接点を示す。このようにリレーマトリックスを介して、所望のピンエレクトロニクスに例えば直流電圧を供給するには、その切替の設定が面倒であり、手間が掛る欠点がある。
【0017】
更に他の欠点としては一般にIC試験装置ではピンエレクトロニクスPNEを被試験IC119の端子(ICソケットの端子)との間に接続される信号伝送路130の伝搬遅延時間TPdを測定しておく必要がある。ドライバ116が接続された信号伝送路130の伝搬遅延時間TPdを測定する場合はドライバ116から伝搬遅延時間測定用の信号を出力させ、その出力のタイミングと、被試験IC119の接続点からの反射波が第1アナログ比較器117の入力端子に戻って来るタイミングを第1アナログ比較器117で検出し、その時間差から信号伝送路130の伝搬遅延時間を測定している。
【0018】
然るに第2アナログ比較器125の入力端子と被試験IC119との間に接続される信号伝送路130の伝搬遅延時間を測定する場合にはドライバが存在しないから信号の供給手段がなく、これにより信号伝送路130の伝搬遅延時間の測定が難しい欠点がある。強いて測定しようとするならば外部からリレーマトリックス等を通じて伝搬遅延時間測定用の信号を第2アナログ比較器125の入力端子に供給し、その供給タイミングと、被試験ICの端子部分で反射した反射波が戻って来るまでの時間差によって信号伝送路130の遅延時間を測定するか、或はサンプリングオシロスコープのような測定器を用いて信号が信号伝送路130を往復する時間を測定する等の方法が考えられる。
【0019】
然し乍ら、これらの方法はIC試験装置の外部に他の測定器を用意しなければならないため、手間が掛り測定に時間が掛る欠点がある。特にIC試験装置の場合数100チャンネルに渡って測定しなければならないからその手間と時間は多大なものとなる。
この発明の第1の目的は第2アナログ比較器125を設ける場合に、バッファアンプ126を不用とし、電力消費量を小さくできるIC試験装置を提案するものである。
【0020】
この発明の第2の目的はドライバを有さない第2アナログ比較器に接続されている信号伝送路の伝搬遅延時間を簡単に測定することができる構成を具備したIC試験装置を提案するものである。
またこの発明の第3の目的は被試験ICの入力専用ピンがピンエレクトロニクスに接続された場合でも、その入力専用ピンに任意の電圧値を持つ設定電圧等を印加することができる機能を具備したIC試験装置を提供するものである。
【0021】
【課題を解決するための手段】
この発明ではプログラムロードを構成するバッファアンプを出力端子が高インピーダンスと低インピーダンスに切替制御することができるバッファアンプとし、このバッファアンプの出力端子と第2アナログ比較器の入力端子との間に終端抵抗器を接続した構成を具備したIC試験装置を提案するものである。
【0022】
この発明によるIC試験装置の構成によれば、被試験ICの入出力ピンI/O又は入力専用ピンINを試験する場合にはドライバを通じて被試験ICの入出力ピンI/O又は入力専用ピンINに試験パターン信号を印加すればよい。被試験ICの端子が入出力ピンI/Oの場合はその応答信号を第1アナログ比較器に取り込みその論理値の電圧値が正常か否かを判定する。
【0023】
入出力ピンI/Oの負荷試験を行う場合にはプログラマブルロードを構成する電流源IPOG とINEG から電流を出力させ、この電流によってスイッチ回路を導通させ、この導通によってバッファアンプから試験パターン信号の振幅のほぼ中間値を持つ電圧VTTを入出力端子I/Oに印加すれば、負荷試験を実行することができる。
【0024】
第2アナログ比較器の入力側に被試験ICの出力専用ピンが接続された場合には、プログラマブルロードに設けたバッファアンプの出力を高インピーダンスの状態に制御すると第2アナログ比較器は高インピーダンスモードで比較動作する。また、バッファアンプの出力端子を低インピーダンスの状態に制御すると、第2アナログ比較器は整合モードで動作する。
【0025】
よって、この発明のIC試験装置によれば被試験ICの出力専用ピンの試験に対してはプログラマブルロードを構成するバッファアンプを第2アナログ比較器のモード切替手段として兼用させることができる。この結果、第2アナログ比較器のモード設定用のバッファアンプが不用となり、部品数の低減と電力消費量の増加を抑えることができる利点が得られる。
【0026】
また、この発明によればプログラマブルロードを構成するスイッチ回路を導通状態に制御した状態でドライバから信号を出力することにより、この信号をスイッチ回路と終端抵抗器を通じて第2アナログ比較器の入力端子に供給することができる。従ってこの信号を利用することにより第2アナログ比較器の入力端子と被試験ICの端子までの伝搬遅延時間を簡単に測定することができる利点が得られる。
【0027】
つまり、IC試験装置に用いられるアナログ比較器はストローブパルスの供給により、その供給タイミングにおける入力の状態を比較判定して出力すると共にストローブパルスの供給タイミングを順次移動させて信号の入来タイミングをサーチする機能を装備している。従って、このサーチ機能を利用して信号伝送路の伝搬遅延時間を測定するものである。
【0028】
また、被試験ICの入力専用ピンの試験に対しては、プログラムロードを構成するバッファアンプと終端抵抗器が電圧供給路を構成し、リレーマトリックスを用いずに入力専用ピンに任意の電圧を印加することができる利点が得られる。
【0029】
【発明の実施の形態】
図1にこの発明の要部の構成を示す。図4と対応する部分には同一符号を付して示す。この発明の特徴とする構成はプログラマブルロード120を構成するバッファアンプとして制御端子CONTを具備し、この制御端子CONTにL論理又はH論理の制御信号を入力することにより出力端子が高インピーダンスの状態と低インピーダンスで入力端子に供給している電圧を出力する状態に切替ることができるバッファアンプBUF−2を用いる点と、このバッファアンプBUF−2の出力端子と第2アナログ比較器125の入力端子との間に例えば50Ωの抵抗値を持つ終端抵抗器127を接続した構成とした点である。
【0030】
この発明の特徴とする構成において、セレクタ128を第1アナログ比較器117の出力を選択して論理比較器115に供給する状態に切替ることにより、通常の通り被試験IC119の入力専用ピンIN又は入出力ピンI/Oを試験することができる。
一方、セレクタ128を第2アナログ比較器125の出力を選択して論理比較器115に供給する状態に設定し、第2アナログ比較器125の入力端子に被試験IC219の出力専用ピンOUTを接続した状態では、この出力専用ピンOUTから出力される応答信号は第2アナログ比較器125に入力され、その論理値の電圧が正規の電圧を具備しているか否かを判定する。
【0031】
この場合、バッファアンプBUF−2の制御端子CONTに例えばL論理を入力し、出力端子を高インピーダンスの状態に制御すれば第2アナログ比較器125は高インピーダンスモードで比較動作を実行する。
これに対し、バッファアンプBUF−2の制御端子CONTにH論理を入力した場合には、バッファアンプBUF−2の出力端子は低インピーダンスとなり、終端抵抗器127の一端を交流的な共通電位点に接続することができる。この結果、被試験IC219の出力専用ピンOUTから見て、第2アナログ比較器125の入力端子は所定のインピーダンスで整合された状態に見え、第2アナログ比較器125を整合モードで比較動作させることができる。
【0032】
従って、第2アナログ比較器125にモード切替のためのバッファアンプを付設しなくても、プログラマブルロード120を構成するバッファアンプでモード切替を実行することができ、使用部品の数の低減と、消費電力の低減効果が得られる。
一方この発明の構成によればプログラマブルロード120を構成するスイッチ回路SWを導通状態に制御することにより、第2アナログ比較器125の入力端子にドライバ116から伝搬遅延時間測定用の信号を供給することができる。従ってこの信号を利用することにより第2アナログ比較器の入力端子と被試験IC119の端子との間に接続した信号伝送路230の伝搬遅延時間を簡単に測定することができる。
【0033】
つまり、プログラマブルロード120を構成するスイッチ回路SWを導通状態に制御した状態でドライバ116から伝搬遅延時間測定用の例えばパルス信号PSを出力すると、このパルス信号PSはスイッチ回路SWと終端抵抗器127を通じて第2アナログ比較器125の入力端子に供給することができる。第2アナログ比較器125はこのパルス信号PSの入来のタイミングと、被試験IC219の端子(ICソケットの端子)で反射し信号伝送路230を往復して戻って来た反射波の入来タイミングの時間差2TPdを測定し、この時間差2TPdから信号伝送路230の伝搬遅延時間TPdを求めることができる。
【0034】
図2は第2アナログ比較器125の入力端子に被試験IC119の入力専用ピンINを接続した場合を示す。この場合にはバッファアンプBUF−2の入力端子に任意の電圧VTHを入力すると共に、制御端子CONTにH論理の制御信号を与えることにより、バッファアンプBUF−2は入力端子に入力した電圧VTHを出力する。この電圧VTHを終端抵抗器127を通じて被試験IC119の入力専用ピンINに入力することができる。
【0035】
この結果、被試験IC119の例えば設定用の入力端子に任意の電圧を与え、被試験IC119の状態を所望の状態に設定する等の制御を簡単に実現することができる。
【0036】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明によれば簡単な接続変更によって第2アナログ比較器125に付設されるべきバッファアンプ126(図4参照)を省略し、プログラマブルロード120を構成するバッファアンプBUF−2を代用して第2アナログ比較器125の動作モードの切替を行うことができる。
【0037】
またこの発明の他の機能としてドライバが接続されない第2アナログ比較器125の入力側に対してプログラマブルロード120を構成するスイッチ回路SWと、終端抵抗器127を通じてドライバ116から伝搬遅延時間測定用の信号を供給することができる。この結果外部から伝搬遅延時間測定用の信号を供給するか又はサンプリングオシロのような測定器を用いることなく、IC試験装置自体の機能(アナログ比較器の信号の入来タイミングを測定する機能)を用いて信号伝送路の伝搬遅延時間を簡単に測定することができる。従って、パフォマンスボードを変換した場合等においてピンエレクトロニクスと被試験ICの端子までの信号伝送路130の伝搬遅延時間を簡単に然も短時間に測定することができ、その効果は実用に供して頗る大である。
【0038】
また、他の作用効果として図2に示したように、第2アナログ比較器125の入力端子に被試験IC119の入力専用ピンINが接続された場合には、この入力専用ピンINにバッファアンプBUF−2と終端抵抗器127を通じて任意の電圧値を持つ信号を入力することができる。従って、被試験IC119の動作モードの設定等を簡単に行うことができる利点も得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の要部の構成を説明するための接続図。
【図2】この発明の変形実施例を説明するための接続図。
【図3】IC試験装置の全体の構成を説明するためのブロック図。
【図4】従来の技術を説明するための接続図。
【符号の説明】
111 主制御器
112 パターン発生器
113 タイミング発生器
114 波形フォーマッタ
115 論理比較器
116 ドライバ
117 第1アナログ比較器
118 不良解析メモリ
119 被試験IC
120 プログラマブルロード
121 論理振幅基準電圧源
122 比較基準電圧源
123 デバイス電源
124 プログラマブルロードコントローラ
125 第2アナログ比較器
127 終端抵抗器
128 セレクタ
SW スイッチ回路
S1,S2 スイッチ
IPOG ,INEG 電流源
BUF−2 バッファアンプ
Claims (4)
- A.被試験ICの入出力ピンに試験パターン信号を印加するドライバと、
B.このドライバの出力端子に入力端子が接続され上記被試験ICが出力する応答信号の論理値が所定の電圧値を維持しているか否かを判定する第1アナログ比較器と、
C.上記被試験ICの入出力ピンに所定の負荷電流を印加する正及び負の電流源と、ダイオードブリッジの一方の相対する端子のそれぞれに上記正及び負の電流源を接続し、上記ダイオードブリッジの他方の相対する端子のそれぞれに上記ドライバの出力端子と任意の電位を印加するバッファアンプの出力端子を接続するスイッチ回路と、制御信号によって出力端子が高インピーダンス状態と低インピーダンス状態とに切替ることができる上記バッファアンプとからなるプログラマブルロードと、
D.被試験ICの出力専用ピンから出力される応答信号の論理値が所定の電圧値を具備しているか否かを判定する第2アナログ比較器と、
E.上記バッファアンプの出力端子と上記第2アナログ比較器の入力端子との間に接続した終端抵抗器と、
を具備して構成したことを特徴とするIC試験装置。 - 請求項1記載のIC試験装置において、上記ドライバと第1アナログ比較器の共通接続点に被試験ICの入出力ピンを接続して試験を行う状態では、上記バッファアンプは上記ダイオードブリッジの他方の相対する端子の一方の端子に試験パターン信号のほぼ中間の電位を与えてプログラマブルロードの電圧源として動作し、上記第2アナログ比較器に被試験ICの出力専用ピンを接続して動作させる場合は、上記バッファアンプの出力端子を高インピーダンスの状態に制御して上記第2アナログ比較器を高インピーダンスモードで動作させ、上記バッファアンプの出力端子を低インピーダンスの状態に制御して上記第2アナログ比較器を低インピーダンスモードで動作させ、所定の特性インピーダンスで終端した状態で被試験ICの出力信号を取込む整合モードで動作させる状態に切替る機能を付加した構成を特徴とするIC試験装置。
- 請求項1記載のIC試験装置において、上記第2アナログ比較器の入力端子に被試験ICの入力専用ピンを接続した場合は、上記バッファアンプの出力端子から終端抵抗器を通じて上記入力専用ピンに上記任意の電位の電圧を印加した構成としたことを特徴とするIC試験装置。
- 請求項1記載のIC試験装置において、上記プログラマブルロードを構成するスイッチ回路を導通状態に制御した状態で上記ドライバから伝搬遅延時間測定用の信号を出力させ、この信号を上記スイッチ回路と上記終端抵抗器を通じて上記第2アナログ比較器の入力端子に入力し、上記第2アナログ比較器に入力した入力タイミングと、第2アナログ比較器の入力端子に接続された被試験ICの接続点からの反射波の入力タイミングとを上記第2アナログ比較器で検出し、上記第2アナログ比較器の入力端子と被試験ICとの間に接続した信号伝送路の遅延時間を測定する機能を付加した構成を特徴とするIC試験装置。
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