JP2002174666A - Ｉｃテスタ調整方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 各信号用パッドを強制接地するために専用治
具を必要とすることなく各試験用入力信号の正確なタイ
ミング調整を行う。 【解決手段】 各信号用パッドに各々供給される試験用
入力信号を択一的に選択してコンパレータに順次入力
し、該コンパレータの出力が反転する反転タイミングに
各試験用入力信号を仮調整する行程Ａと、各信号用パッ
ドに供給された試験用入力信号を波形観測することによ
り、該波形観測によって得られた各試験用入力信号のタ
イミングの反転タイミングに対するばらつきデータを取
得・保存する行程Ｂと、各信号用パッドに各々供給され
る試験用入力信号を択一的に選択してコンパレータに順
次入力し、上記ばらつきデータを補正値として各試験用
入力信号を規定タイミングに本調整する行程Ｃとを有す
る

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、試験用入力信号を
ＩＣに入力することにより各種動作試験を行うＩＣテス
タに対して、試験用入力信号のタイミング調整を行うＩ
Ｃテスタ調整方法及び装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】周知のように、ＩＣテスタは各種ＩＣの
動作特性を試験する装置であり、試験用入力信号に対す
る出力信号を評価することにより、ＩＣの動作が正常で
あるか否かを試験するものである。このようなＩＣテス
タは、試験用入力信号相互のタイミング関係を定期的に
あるいは任意に調整することが行われており、この調整
に専用の調整装置、すなわちＩＣテスタ調整装置が用い
られている。ＩＣテスタ調整装置を用いた試験用入力信
号相互のタイミング関係の調整（タイミング調整）は、
近年のＩＣの高速化に伴って極めて重要になっており、
より正確にＩＣの動作特性を試験する必要から調整回数
も増えている。

【０００３】図３は、従来のＩＣテスタ調整装置の一例
を示す模式図である。この図において、符号１は測定ボ
ード、２ａ，２ｂ，……２ｎはテスト用ドライバ、３
ａ，３ｂ，……３ｎ，８ａ，８ｂ，……８ｎは開閉スイ
ッチ、４ａ，４ｂ，……４ｎ，５ａ，５ｂ，……５ｎは
同軸ケーブル、６ａ，６ｂ，……６ｎは終端抵抗、７
ａ，７ｂ，……７ｎはテスト用コンパレータ、９はリレ
ーマトリクス回路、１０は基準コンパレータ、Ｈはテス
トヘッド、またＳa〜Ｓnは試験用入力信号である。

【０００４】測定ボード１の表面には試験対象ＩＣに接
触接続される信号用パッドが表面に多数形成されてお
り、この各信号用パッドには、試験対象ＩＣに入力する
試験用入力信号Ｓa〜Ｓnが互いに直列接続されたテスト
用ドライバ２ａ，２ｂ，……２ｎ、閉状態とされた開閉
スイッチ３ａ，３ｂ，……３ｎ及び同軸ケーブル４ａ，
４ｂ，……４ｎを介してＩＣテスタ本体（図示略）から
各々供給される。そして、上記試験用入力信号Ｓa〜Ｓn
に対して試験対象ＩＣから出力された信号は、上記同軸
ケーブル４ａ，４ｂ，……４ｎと同一長さかつ同一電気
特性の同軸ケーブル５ａ，５ｂ，……５ｎを介して各テ
スト用コンパレータ７ｂ，……７ｎに入力され、ＩＣテ
スタ本体にて評価されるようになっている。

【０００５】なお、各テスト用コンパレータ７ｂ，……
７ｎの入力端に設けられている終端抵抗６ａ，６ｂ，…
…６ｎは、同軸ケーブル４ａ，４ｂ，……４ｎ，５ａ，
５ｂ，……５ｎの特性インピーダンスに相当する抵抗値
を有するものであり、各信号用パッド上における試験用
入力信号Ｓa〜Ｓnの歪みを最小限に抑えるため、すなわ
ちインピーダンス・マッチングを確保するために介挿さ
れている。このようなインピーダンス・マッチングは、
高速動作する試験対象ＩＣを試験するための配慮であ
る。

【０００６】このようなＩＣテスタ調整装置において各
試験用入力信号Ｓa〜Ｓnのタイミング調整を行う場合に
は、各開閉スイッチ３ａ，３ｂ，……３ｎが開状態とさ
れると共に各開閉スイッチ８ａ，８ｂ，……８ｎが閉状
態とされて、各試験用入力信号Ｓa〜Ｓnをリレーマトリ
クス回路９に入力させる。そして、このリレーマトリク
ス回路９によって各試験用入力信号Ｓa〜Ｓnを択一的に
選択して基準コンパレータ１０に入力し、該基準コンパ
レータ１０の出力信号の反転タイミングＴa〜Ｔnが検出
される。

【０００７】ここで、上記反転タイミングＴa〜Ｔnは、
各テスト用ドライバ２ａ，２ｂ，……２ｎの出力端にお
ける各試験用入力信号Ｓa〜Ｓnのタイミングを示すもの
であり、測定ボード１上の各信号用パッドに供給される
試験用入力信号Ｓa〜Ｓnのタイミングに対して、試験用
入力信号Ｓa〜Ｓnが各テスト用ドライバ２ａ，２ｂ，…
…２ｎの出力端から各信号用パッドまで伝搬する伝搬時
間Ｔpd（主に同軸ケーブル４ａ，４ｂ，……４ｎの伝搬
時間）の分だけ誤差を含むものである。

【０００８】この誤差を補正するために従来では、専用
治具を用いて各信号用パッドを強制的に接地することに
より、上記終端抵抗６ａ，６ｂ，……６ｎによってイン
ピーダンス・マッチングが取れた状態を崩す（すなわ
ち、ミスマッチング状態とする）。そして、このミスマ
ッチング状態において、各開閉スイッチ３ａ，３ｂ，…
…３ｎ及び各開閉スイッチ８ａ，８ｂ，……８ｎをどち
らも閉状態として各試験用入力信号Ｓa〜Ｓnを択一的に
基準コンパレータ１０に入力させ、このときの基準コン
パレータ１０の反転タイミングから各試験用入力信号Ｓ
a〜Ｓnが同軸ケーブル４ａ，４ｂ，……４ｎを往復する
伝搬時間を計測して、この伝搬時間の１／２すなわち上
記伝搬時間Ｔpdを算出する。そして、このようにして得
られた伝搬時間Ｔpdをを上記反転タイミングＴa〜Ｔnに
加味したものが、各信号用パッド上における試験用入力
信号Ｓa〜Ｓnのタイミングとして算出され、このタイミ
ングが規定タイミングＴRとなるように試験用入力信号
Ｓa〜Ｓnが調節される。

【０００９】なお、上記ミスマッチング状態において、
各試験用入力信号Ｓa〜Ｓnを例えばある時刻でローレベ
ルからハイレベルに立ち上がるステップ波とした場合、
コンパレータ１０の出力信号は、各テスト用ドライバ２
ａ，２ｂ，……２ｎの出力端と各信号用パッドとの間を
往復する伝搬時間（２Ｔpd）後に立ち下がる信号とな
る。すなわち、当該立ち下がり時刻と上記立ち上がり時
刻との時間幅は伝搬時間Ｔpdの２倍となるので、伝搬時
間Ｔpdを容易に算出することができる。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来技術では、各信号用パッドを強制接地するため
に専用治具を必要とする。この専用治具は、信号用パッ
ドの配置が異なる試験対象ＩＣの品種毎に用意しなけれ
ばならないため、コストが掛かる。

【００１１】本発明は、上述する問題点に鑑みてなされ
たもので、各信号用パッドを強制接地するために専用治
具を必要とすることなく、各試験用入力信号の正確なタ
イミング調整を行うことを目的とするものである。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明では、ＩＣテスタ調整方法に係わる第１の手
段として、測定ボードに複数形成された信号用パッドを
介して、インピーダンス・マッチングを取った状態での
試験対象ＩＣに対する試験用入力信号の入力と該試験用
入力信号に対する試験対象ＩＣの出力信号の取得とを行
って前記試験対象ＩＣを試験するＩＣテスタについて、
各信号用パッドに各々供給される前記試験用入力信号の
タイミングを規定タイミングに調整する方法であって、
各信号用パッドに各々供給される試験用入力信号を択一
的に選択してコンパレータに順次入力し、該コンパレー
タの出力が反転する反転タイミングに各試験用入力信号
を仮調整する行程Ａと、各信号用パッドに供給された試
験用入力信号を波形観測することにより、該波形観測に
よって得られた各試験用入力信号のタイミングの反転タ
イミングに対するばらつきデータを取得・保存する行程
Ｂと、各信号用パッドに各々供給される試験用入力信号
を択一的に選択してコンパレータに順次入力し、上記ば
らつきデータを補正値として各試験用入力信号を規定タ
イミングに本調整する行程Ｃとを有する手段を採用す
る。

【００１３】一方、本発明では、ＩＣテスタ調整装置に
係わる第１の手段として、測定ボードに複数形成された
信号用パッドを介して、インピーダンス・マッチングを
取った状態での試験対象ＩＣに対する試験用入力信号の
入力と該試験用入力信号に対する試験対象ＩＣの出力信
号の取得とを行って試験対象ＩＣを試験するＩＣテスタ
について、各信号用パッドに各々供給される前記試験用
入力信号のタイミングを規定タイミングに調整する装置
であって、前記各信号用パッドに供給された各試験用入
力信号のタイミングをそれぞれ波形観測する波形観測手
段と、各信号用パッドに各々供給される各試験用入力信
号を択一的に選択して出力するリレーマトリクス回路
と、該リレーマトリクス回路の出力を所定しきい値と比
較するコンパレータと、各信号用パッドへの試験用入力
信号の供給とリレーマトリクス回路への試験用入力信号
の供給とを切り替える切換手段とを備え、該切換手段に
よって各試験用入力信号をリレーマトリクス回路を介し
てコンパレータに順次入力させて得られた反転タイミン
グに各試験用入力信号を仮調整し、波形観測手段の観測
波形によって取得・保存された各試験用入力信号のタイ
ミングの前記反転タイミングに対するばらつきデータに
よって、各試験用入力信号をコンパレータに再度入力さ
せて得られた反転タイミングを補正するという手段を採
用する。

【００１４】また、ＩＣテスタ調整装置に係わる第２の
手段として、上記第１の手段において、切換手段は、各
試験用入力信号毎に設けられた複数のテスト用ドライバ
の出力と各信号用パッドとの間にそれぞれ介挿された複
数の開閉スイッチと、テスト用ドライバの出力とリレー
マトリクス回路の各入力との間にそれぞれ介挿された複
数の開閉スイッチとから構成されるという手段を採用す
る。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、本発明に
係わるＩＣテスタ調整方法及び装置の一実施形態につい
て説明する。なお、以下の説明では、既に説明した構成
要素には、同一符号を付しその説明を省略する。

【００１６】図１は、本実施形態のＩＣテスタ調整装置
の構成を示す模式図である。この構成の特徴は、上述し
た各構成要素に加えて、Ｘ−Ｙロボット１１、波形観測
プローブ１２及びオシロスコープ１３を備える点であ
る。Ｘ−Ｙロボット１１は、波形観測プローブ１２を保
持して測定ボードの表面上を移動し、各信号用パッドに
波形観測プローブ１２を択一的に接触接続させるもので
ある。波形観測プローブ１２は、各信号用パッドに供給
される試験用入力信号Ｓa〜Ｓnを検知してオシロスコー
プ１３に供給するものである。オシロスコープ１３は、
波形観測プローブ１２によって入力された各試験用入力
信号Ｓa〜Ｓnの信号波形を観測するものである。

【００１７】なお、このような各構成要素のうち、Ｘ−
Ｙロボット１１、波形観測プローブ１２及びオシロスコ
ープ１３は、本発明における波形観測手段を構成する構
成要素であり、また各開閉スイッチ３ａ，３ｂ，……３
ｎ，８ａ，８ｂ，……８ｎは、本発明における切換手段
を構成する構成要素である。

【００１８】次に、図２に示すフローチャートを参照
し、本ＩＣテスタ調整装置を用いた各試験用入力信号Ｓ
a〜Ｓnのタイミング調整方法について説明する。なお、
以下の各工程における試験用入力信号（Ｓa〜Ｓn）は、
実際の試験対象ＩＣを試験する場合と同一の周波数に設
定されている。

【００１９】まず最初に、各開閉スイッチ３ａ，３ｂ，
……３ｎが開状態、また各開閉スイッチ８ａ，８ｂ，…
…８ｎが閉状態とされる（ステップＳ1）。この状態に
おいて、各テスト用ドライバ２ａ，２ｂ，……２ｎから
出力される各試験用入力信号Ｓa〜Ｓnは、リレーマトリ
クス回路９に入力される状態となる。この状態におい
て、リレーマトリクス回路９を作動させることにより所
定の順番で択一的に試験用入力信号Ｓa〜Ｓnを選択して
基準コンパレータ１０に入力する（ステップＳ2）。

【００２０】そして、基準コンパレータ１０の出力信号
の反転タイミングＴa〜Ｔnを検出することにより、試験
用入力信号Ｓa〜Ｓnのタイミングが規定タイミングＴR
に仮調整される（ステップＳ3）。この仮調整の段階で
は、試験用入力信号Ｓa〜Ｓnのタイミングは、各テスト
用ドライバ２ａ，２ｂ，……２ｎの出力端に対してそれ
ぞれ調整された状態である。

【００２１】このようにして全ての試験用入力信号Ｓa
〜Ｓnについて仮調整が終了すると（ステップＳ4）、各
開閉スイッチ３ａ，３ｂ，……３ｎが閉状態、また各開
閉スイッチ８ａ，８ｂ，……８ｎが開状態とされる（ス
テップＳ5）。この結果、各テスト用ドライバ２ａ，２
ｂ，……２ｎから出力される各試験用入力信号Ｓa〜Ｓn
は、開閉スイッチ３ａ，３ｂ，……３ｎ及び同軸ケーブ
ル４ａ，４ｂ，……４ｎを介して各信号用パッドに供給
される。

【００２２】この状態においては、Ｘ−Ｙロボット１１
を作動させることにより波形観測プローブ１２を各信号
用パッドに所定の順番で順次接触させて、該信号用パッ
ドの各試験用入力信号Ｓa〜Ｓnをオシロスコープ１３に
順次入力し、上記ステップＳ3の仮調整終了状態におけ
る各試験用入力信号Ｓa〜ＳnのタイミングＴpa〜Ｔpnを
波形観測し、この各信号用パッド上におけるタイミング
Ｔpa〜Ｔpnの上記反転タイミングＴa〜Ｔnに対するばら
つきデータ△Ｔa〜△Ｔnをそれぞれ取得し、これを保存
する（ステップＳ6）。

【００２３】この場合、各試験用入力信号Ｓa〜Ｓnのタ
イミングは、上記反転タイミングＴa〜Ｔnに対して概略
して上記伝搬時間Ｔpdの分だけの偏差を持つが、個々の
開閉スイッチ３ａ，３ｂ，……３ｎあるいは同軸ケーブ
ル４ａ，４ｂ，……４ｎの伝搬時間のばらつきに起因し
て、各試験用入力信号Ｓa〜Ｓn毎に多少のばらつきを持
つ。

【００２４】続いて、上記ステップＳ1と同様に、各開
閉スイッチ３ａ，３ｂ，……３ｎを開状態、また各開閉
スイッチ８ａ，８ｂ，……８ｎを閉状態とし（ステップ
Ｓ7）、さらにリレーマトリクス回路９を作動させるこ
とにより択一的に試験用入力信号Ｓa〜Ｓnを選択して基
準コンパレータ１０に順次入力する（ステップＳ8）。
そして、上記ステップＳ6で取得した各信号用パッド上
における各試験用入力信号Ｓa〜Ｓnのばらつきデータ△
Ｔa〜△Ｔnを補正値として各試験用入力信号Ｓa〜Ｓnの
タイミングを再調整（本調整）する（ステップＳ9）。
このようにして全ての試験用入力信号Ｓa〜Ｓnについて
本調整が終了すると（ステップＳ10）、タイミング調整
が終了する。

【００２５】

【発明の効果】以上説明したように、本発明に係わるＩ
Ｃテスタ調整方法及び装置によれば、各信号用パッドを
強制接地することなく、各テスト用ドライバの出力端か
ら各信号用パッド迄の伝搬時間を取得することができる
ので、各信号用パッドを強制接地するために専用治具を
必要とすることなく、各試験用入力信号の正確なタイミ
ング調整を行うことができる。したがって、ＩＣテスタ
のタイミング調整に関するコストを低減することが可能
となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の一実施形態のＩＣテスタ調整装置の
構成を示す模式図である。

【図２】 本発明の一実施形態のＩＣテスタ調整装置を
用いたタイミング調整手順を示すフローチャートであ
る。

【図３】 ＩＣテスタにおける従来のＩＣテスタ調整装
置の一例を示す模式図である。

【符号の説明】

１：測定ボード ２ａ，２ｂ，……２ｎ：テスト用ドライバ ３ａ，３ｂ，……３ｎ，８ａ，８ｂ，……８ｎ：開閉ス
イッチ（切換手段） ４ａ，４ｂ，……４ｎ，５ａ，５ｂ，……５ｎ：同軸ケ
ーブル ６ａ，６ｂ，……６ｎ：終端抵抗 ７ａ，７ｂ，……７ｎ：テスト用コンパレータ ９：リレーマトリクス回路 １０：基準コンパレータ（コンパレータ） １１：Ｘ−Ｙロボット（波形観測手段） １２：波形観測プローブ（波形観測手段） １３：オシロスコープ（波形観測手段）

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 測定ボード（１）に複数形成された信号
   用パッドを介して、インピーダンス・マッチングを取っ
   た状態での試験対象ＩＣに対する試験用入力信号（Ｓa
   〜Ｓn）の入力と該試験用入力信号（Ｓa〜Ｓn）に対す
   る試験対象ＩＣの出力信号の取得とを行って前記試験対
   象ＩＣを試験するＩＣテスタについて、各信号用パッド
   に各々供給される前記試験用入力信号（Ｓa〜Ｓn）のタ
   イミングを規定タイミング（ＴR）に調整する方法であ
   って、 各信号用パッドに各々供給される試験用入力信号（Ｓa
   〜Ｓn）を択一的に選択してコンパレータ（１０）に順
   次入力し、該コンパレータ（９）の出力が反転する反転
   タイミング（Ｔa〜Ｔn）に各試験用入力信号（Ｓa〜Ｓ
   n）を仮調整する行程Ａと、 各信号用パッドに供給された試験用入力信号（Ｓa〜Ｓ
   n）を波形観測することにより、該波形観測によって得
   られた各試験用入力信号（Ｓa〜Ｓn）のタイミング（Ｔ
   pa〜Ｔpn）の前記反転タイミング（Ｔa〜Ｔn）に対する
   ばらつきデータ（△Ｔa〜△Ｔn）を取得・保存する行程
   Ｂと、 各信号用パッドに各々供給される試験用入力信号（Ｓa
   〜Ｓn）を択一的に選択してコンパレータ（１０）に順
   次入力し、前記ばらつきデータ（△Ｔa〜△Ｔn）を補正
   値として各試験用入力信号（Ｓa〜Ｓn）を規定タイミン
   グ（ＴR）に本調整する行程Ｃと、 を有することを特徴とするＩＣテスタ調整方法。
2. 【請求項２】 測定ボード（１）に複数形成された信号
   用パッドを介して、インピーダンス・マッチングを取っ
   た状態での試験対象ＩＣに対する試験用入力信号（Ｓa
   〜Ｓn）の入力と該試験用入力信号（Ｓa〜Ｓn）に対す
   る試験対象ＩＣの出力信号の取得とを行って試験対象Ｉ
   Ｃを試験するＩＣテスタについて、各信号用パッドに各
   々供給される前記試験用入力信号（Ｓa〜Ｓn）のタイミ
   ングを規定タイミング（ＴR）に調整する装置であっ
   て、 前記各信号用パッドに供給された各試験用入力信号（Ｓ
   a〜Ｓn）のタイミング（Ｔpa〜Ｔpn）をそれぞれ波形観
   測する波形観測手段（１１〜１３）と、 各信号用パッドに各々供給される各試験用入力信号（Ｓ
   a〜Ｓn）を択一的に選択して出力するリレーマトリクス
   回路（９）と、 該リレーマトリクス回路（９）の出力を所定しきい値と
   比較するコンパレータ（１０）と、 各信号用パッドへの試験用入力信号（Ｓa〜Ｓn）の供給
   とリレーマトリクス回路（９）への試験用入力信号（Ｓ
   a〜Ｓn）の供給とを切り替える切換手段（３ａ〜３n，
   ８ａ〜８n）とを備え、 該切換手段（３ａ〜３n，８ａ〜８n）によって各試験用
   入力信号（Ｓb〜Ｓn）をリレーマトリクス回路（８）を
   介してコンパレータ（９）に順次入力させて得られた反
   転タイミング（Ｔa〜Ｔn）に各試験用入力信号（Ｓa〜
   Ｓn）を仮調整し、波形観測手段（１１〜１３）の観測
   波形によって取得・保存された各試験用入力信号（Ｓa
   〜Ｓn）のタイミング（Ｔpa〜Ｔpn）の前記反転タイミ
   ング（Ｔa〜Ｔn）に対するばらつきデータ（△Ｔa〜△
   Ｔn）を補正値として各試験用入力信号（Ｓa〜Ｓn）を
   コンパレータ（１０）に再度入力させた際の反転タイミ
   ング（Ｔa〜Ｔn）を補正することにより、各試験用入力
   信号（Ｓa〜Ｓn）を規定タイミング（ＴR）に調整す
   る、ことを特徴とするＩＣテスタ調整装置。
3. 【請求項３】 切換手段（３ａ〜３n，８ａ〜８n）は、
   各試験用入力信号（Ｓb〜Ｓn）毎に設けられた複数のテ
   スト用ドライバ（２ａ，２ｂ，……２ｎ）の出力と各信
   号用パッドとの間にそれぞれ介挿された複数の開閉スイ
   ッチ（３ａ〜３n）と、前記テスト用ドライバ（２ａ，
   ２ｂ，……２ｎ）の出力とリレーマトリクス回路（９）
   の各入力との間にそれぞれ介挿された複数の開閉スイッ
   チ（８ａ〜８n）とから構成される、ことを特徴とする
   請求項２記載のＩＣテスタ調整装置。